JP2000023491A - 位置センサを備えるステッピングモータ装置 - Google Patents
位置センサを備えるステッピングモータ装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 位置センサによる回転子位置を検出し、電源
投入時の回転子の不要な動作を抑え、励磁位相の零度に
おけるタイミング信号を外部に出力させる。 【解決手段】 位置センサ２を備えるステッピングモー
タ１であって、位置センサ２から出力される位置検出信
号を、復調器３により復調して、マイコン４の一方の入
力端に入力し、マイコン４は、この復調された位置検出
信号に、前記モータ１の回転磁界の励磁位相の零度と、
マイコン４の他方の入力端より入力される位置指令信号
とが、一致可能で、かつ最小限度の補正をかけて、初期
の回転磁界の励磁位相とする。マイコン４は、位置指令
信号によりステップ角ごとに励磁位相の加増をし、増幅
器５を介して励磁電流としてモータ１に供給するととも
に、マイコン４は、励磁位相が零度と一致するごとに、
タイミング信号６を外部に出力するものである。
投入時の回転子の不要な動作を抑え、励磁位相の零度に
おけるタイミング信号を外部に出力させる。 【解決手段】 位置センサ２を備えるステッピングモー
タ１であって、位置センサ２から出力される位置検出信
号を、復調器３により復調して、マイコン４の一方の入
力端に入力し、マイコン４は、この復調された位置検出
信号に、前記モータ１の回転磁界の励磁位相の零度と、
マイコン４の他方の入力端より入力される位置指令信号
とが、一致可能で、かつ最小限度の補正をかけて、初期
の回転磁界の励磁位相とする。マイコン４は、位置指令
信号によりステップ角ごとに励磁位相の加増をし、増幅
器５を介して励磁電流としてモータ１に供給するととも
に、マイコン４は、励磁位相が零度と一致するごとに、
タイミング信号６を外部に出力するものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ステッピングモー
タに回転子の位置センサを備え、該位置センサがステッ
ピングモータの回転磁界の励磁位相零度を励磁するごと
に、タイミング信号を外部に出力するステッピングモー
タ装置に関する。
タに回転子の位置センサを備え、該位置センサがステッ
ピングモータの回転磁界の励磁位相零度を励磁するごと
に、タイミング信号を外部に出力するステッピングモー
タ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のステッピングモータの制
御は、その固定子の磁界を回転（以下、回転磁界とい
う）させて、磁力の吸引、反発により、その回転子が前
記回転磁界に追従することで、機械的な回転力が発生す
る。普及しているステッピングモータは、その回転子の
歯数が５０など多極であるが、２極の簡単なステッピン
グモータを示すと、図３のようになる。
御は、その固定子の磁界を回転（以下、回転磁界とい
う）させて、磁力の吸引、反発により、その回転子が前
記回転磁界に追従することで、機械的な回転力が発生す
る。普及しているステッピングモータは、その回転子の
歯数が５０など多極であるが、２極の簡単なステッピン
グモータを示すと、図３のようになる。
【０００３】図３において、２極のステッピングモータ
Ｍのそれぞれ磁極に巻回されている固定子巻線Ａ相及び
固定子巻線Ｂ相に交流励磁電流を流し、前記それぞれの
固定子巻線により発生し、互いに９０度の位相差を有す
るＡ相磁界とＢ相磁界を合成して回転磁界を形成させ
る。この回転磁界に対し、所定の極性に磁化されている
回転子が追従するように回動して、機械的な回転力が発
生される。
Ｍのそれぞれ磁極に巻回されている固定子巻線Ａ相及び
固定子巻線Ｂ相に交流励磁電流を流し、前記それぞれの
固定子巻線により発生し、互いに９０度の位相差を有す
るＡ相磁界とＢ相磁界を合成して回転磁界を形成させ
る。この回転磁界に対し、所定の極性に磁化されている
回転子が追従するように回動して、機械的な回転力が発
生される。
【０００４】ところで、従来、この種のステッピングモ
ータの制御回路には、該モータの回転磁界の角度（以
下、励磁位相という）が零度のとき、タイミング信号が
出力されるように構成されている。
ータの制御回路には、該モータの回転磁界の角度（以
下、励磁位相という）が零度のとき、タイミング信号が
出力されるように構成されている。
【０００５】図４に示すとおり、通常、回転子の初期角
度はθ1,θ2,θ3,‥‥のように不定であり、前記制御回
路は、電源投入時に、ステッピングモータの励磁位相を
零度として回転子を強制的に吸い寄せている。そして、
この場合、同図に示すように、座標軸を直線的に考え、
τR を回転磁界の一周期とすると、ｎ・τR （ただし、
ｎ＝‥‥−２，−１，０，１，２，３‥‥）にて、タイ
ミング信号が出力されるようになっている。このため、
該制御装回路から出力されたタイミング信号を監視する
ことにより、上位コントローラは該回転子の位置を、該
モータの励磁位相を零度に管理することが可能になる。
度はθ1,θ2,θ3,‥‥のように不定であり、前記制御回
路は、電源投入時に、ステッピングモータの励磁位相を
零度として回転子を強制的に吸い寄せている。そして、
この場合、同図に示すように、座標軸を直線的に考え、
τR を回転磁界の一周期とすると、ｎ・τR （ただし、
ｎ＝‥‥−２，−１，０，１，２，３‥‥）にて、タイ
ミング信号が出力されるようになっている。このため、
該制御装回路から出力されたタイミング信号を監視する
ことにより、上位コントローラは該回転子の位置を、該
モータの励磁位相を零度に管理することが可能になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】他方、位置センサを組
み付けたステッピングモータの制御回路では、電源投入
時において、図５に示すように、位置指令信号ステップ
において、回転子の位置θ0 を前記位置センサにより検
出できれば、回転子が動作しない励磁位相を得ることが
できる。
み付けたステッピングモータの制御回路では、電源投入
時において、図５に示すように、位置指令信号ステップ
において、回転子の位置θ0 を前記位置センサにより検
出できれば、回転子が動作しない励磁位相を得ることが
できる。
【０００７】しかしながら、前記位置センサの分解能が
細かく、位置指令信号の分解能が粗い場合、タイミング
信号を発生する前記位置ｎ・τR と位置指令信号ステッ
プとが一致しない場合がしばしば発生する。例えば、図
５の前記位置指令信号ステップをτR の５分の１である
0.2・τR とし、初期位置が0.26・ τR で起動すると、そ
れぞれの位置指令信号によるステップは次のようにな
る。（ここで、前記位置指令信号の各ステップとそのタ
イミング幅は、それぞれの矢印とその長さで示す。） すなわち、‥‥-0.14・τR ,0.06・τR ,0.26・τR ,0.46・
τR ‥‥0.86・ τR ,1.06・τR ,1.26・τR , ‥‥にな
り、該位置指令信号ステップとタイミング信号(I) の位
置ｎ・τR とが一致する点がなくなる。よって、タイミ
ング信号は発生しないという問題点があった。
細かく、位置指令信号の分解能が粗い場合、タイミング
信号を発生する前記位置ｎ・τR と位置指令信号ステッ
プとが一致しない場合がしばしば発生する。例えば、図
５の前記位置指令信号ステップをτR の５分の１である
0.2・τR とし、初期位置が0.26・ τR で起動すると、そ
れぞれの位置指令信号によるステップは次のようにな
る。（ここで、前記位置指令信号の各ステップとそのタ
イミング幅は、それぞれの矢印とその長さで示す。） すなわち、‥‥-0.14・τR ,0.06・τR ,0.26・τR ,0.46・
τR ‥‥0.86・ τR ,1.06・τR ,1.26・τR , ‥‥にな
り、該位置指令信号ステップとタイミング信号(I) の位
置ｎ・τR とが一致する点がなくなる。よって、タイミ
ング信号は発生しないという問題点があった。
【０００８】また、前記タイミング信号を発生させる方
法のひとつとして、図５に示すタイミング信号(II)のよ
うに、タイミング信号(I) の発生幅を広げておき、そし
て、前記の例にならって、位置指令信号ステップを0.2・
τR とすると、そのタイミング幅τは次のとおりにな
る。 (n-0.1)・τR 〈τ〈(n+0.1)・τR しかし、この場合、タイミング信号幅が広くなり、回転
子の位置が特定し辛くなるという問題点があった。
法のひとつとして、図５に示すタイミング信号(II)のよ
うに、タイミング信号(I) の発生幅を広げておき、そし
て、前記の例にならって、位置指令信号ステップを0.2・
τR とすると、そのタイミング幅τは次のとおりにな
る。 (n-0.1)・τR 〈τ〈(n+0.1)・τR しかし、この場合、タイミング信号幅が広くなり、回転
子の位置が特定し辛くなるという問題点があった。
【０００９】本発明はかかる点に鑑みなされたもので、
その目的は前記問題点を解消し、位置センサによる回転
子位置を検出し、電源投入時の回転子の不要な動作を抑
えるとともに、確定された励磁位相の零度におけるタイ
ミング信号を外部に出力させる、位置センサを備えるス
テッピングモータ装置を提供することにある。
その目的は前記問題点を解消し、位置センサによる回転
子位置を検出し、電源投入時の回転子の不要な動作を抑
えるとともに、確定された励磁位相の零度におけるタイ
ミング信号を外部に出力させる、位置センサを備えるス
テッピングモータ装置を提供することにある。
【００１０】本発明の他の目的は、位置センサによる回
転子位置を検出し、電源投入時、外部に出力される励磁
位相の零度におけるタイミング信号の精度、又は分解能
を損なわない、位置センサを備えるステッピングモータ
装置を提供することにある。
転子位置を検出し、電源投入時、外部に出力される励磁
位相の零度におけるタイミング信号の精度、又は分解能
を損なわない、位置センサを備えるステッピングモータ
装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の装置の構成は、位置センサを備えるステッピ
ングモータであって、該位置センサから出力される、回
転子位置の検出信号を、マイコンの一方の入力端に入力
し、該マイコンは、前記位置検出を補正した前記モータ
の回転磁界の初期位相を決定し、他方の入力端に入力さ
れる位置指令信号から励磁位相を割り付け、増幅器を介
し、励磁電流として前記モータに供給するとともに、該
マイコンは、前記回転磁界の励磁位相の零度を検出する
ごとに、タイミング信号を外部に出力するものである。
の本発明の装置の構成は、位置センサを備えるステッピ
ングモータであって、該位置センサから出力される、回
転子位置の検出信号を、マイコンの一方の入力端に入力
し、該マイコンは、前記位置検出を補正した前記モータ
の回転磁界の初期位相を決定し、他方の入力端に入力さ
れる位置指令信号から励磁位相を割り付け、増幅器を介
し、励磁電流として前記モータに供給するとともに、該
マイコンは、前記回転磁界の励磁位相の零度を検出する
ごとに、タイミング信号を外部に出力するものである。
【００１２】そして、前記位置指令信号の１ステップず
つの停止角度を、前記励磁位相の零度を含むように、あ
らかじめ設定して置く。また、前記位置センサが、前記
ステッピングモータの回転子の歯数と同じ歯数を有する
可変リラクタンス形レゾルバである。
つの停止角度を、前記励磁位相の零度を含むように、あ
らかじめ設定して置く。また、前記位置センサが、前記
ステッピングモータの回転子の歯数と同じ歯数を有する
可変リラクタンス形レゾルバである。
【００１３】本発明の作用は、次のとおりである。 （ａ）電源投入に代表される初期に、位置センサからの
位置検出信号により、励磁位相の初期化を行う。この場
合、マイコンにて、位置センサより読み取った位相は、
割り付けられた停止角のうち、最も近い角度を励磁位相
とするように補正される。各停止角は、ステップ角ごと
に割り付けられ、零度を含んでいる。 （ｂ）初期化後は、前記位置検出信号は必要とせずに、
前記マイコンは、位置指令信号により、ステップ角ごと
に励磁位相が加増される。この励磁位相は、増幅され、
前記モータを駆動する。その回転子の角度は励磁位相に
追従する。 （ｃ）前記マイコンは、回転磁界が零度になるごとに、
タイミング信号を外部に出力する。
位置検出信号により、励磁位相の初期化を行う。この場
合、マイコンにて、位置センサより読み取った位相は、
割り付けられた停止角のうち、最も近い角度を励磁位相
とするように補正される。各停止角は、ステップ角ごと
に割り付けられ、零度を含んでいる。 （ｂ）初期化後は、前記位置検出信号は必要とせずに、
前記マイコンは、位置指令信号により、ステップ角ごと
に励磁位相が加増される。この励磁位相は、増幅され、
前記モータを駆動する。その回転子の角度は励磁位相に
追従する。 （ｃ）前記マイコンは、回転磁界が零度になるごとに、
タイミング信号を外部に出力する。
【００１４】本発明は、以上のように構成されているの
で、ステッピングモータに組み付けられた位置センサに
より、電源投入時、前記モータの回転子の位置を検出し
て、前記マイコンにより、前記モータの回転子の動作を
位置指令信号のステップ角の半分以内に抑えることがで
きる。同時に、元々の前記ステッピングモータの励磁位
相の零度におけるタイミング信号の精度、又は分解能を
損なうことはない。
で、ステッピングモータに組み付けられた位置センサに
より、電源投入時、前記モータの回転子の位置を検出し
て、前記マイコンにより、前記モータの回転子の動作を
位置指令信号のステップ角の半分以内に抑えることがで
きる。同時に、元々の前記ステッピングモータの励磁位
相の零度におけるタイミング信号の精度、又は分解能を
損なうことはない。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の好
適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。図１および
図２は、本発明の位置センサを備えるステッピングモー
タ装置の一実施の形態を示す図で、図１は、位置センサ
を組み付けたステッピングモータとマイコンを含む駆動
回路を示す構成図、図２は、位置指令信号のステップ
と、マイコンから出力されるタイミング信号とのタイミ
ングを示す図で、該位置指令信号の各ステップとそのタ
イミング幅は、それぞれの矢印とその長さで示す。
適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。図１および
図２は、本発明の位置センサを備えるステッピングモー
タ装置の一実施の形態を示す図で、図１は、位置センサ
を組み付けたステッピングモータとマイコンを含む駆動
回路を示す構成図、図２は、位置指令信号のステップ
と、マイコンから出力されるタイミング信号とのタイミ
ングを示す図で、該位置指令信号の各ステップとそのタ
イミング幅は、それぞれの矢印とその長さで示す。
【００１６】図１において、ステッピングモータ（例え
ば、２相）１に、その回転子の位置を検出するための位
置センサ２として、可変リラクタンス形（以下、ＶＲ形
という）レゾルバを結合し、該位置センサ２から出力さ
れる前記モータ１の回転子の位置検出信号を、復調器３
により復調して、マイコン（マイクロコンピュータ、又
は中央処理装置）４の一方の入力端に入力する。該マイ
コン４の他方の入力端には、図示しない位置設定器から
位置指令信号が入力されている。
ば、２相）１に、その回転子の位置を検出するための位
置センサ２として、可変リラクタンス形（以下、ＶＲ形
という）レゾルバを結合し、該位置センサ２から出力さ
れる前記モータ１の回転子の位置検出信号を、復調器３
により復調して、マイコン（マイクロコンピュータ、又
は中央処理装置）４の一方の入力端に入力する。該マイ
コン４の他方の入力端には、図示しない位置設定器から
位置指令信号が入力されている。
【００１７】前記マイコン４において、前記復調器３か
らの復調された位置検出信号から、前記モータ１の固定
子磁極が発生する回転磁界の初期角度、すなわち補正さ
れた励磁位相を発生し、通常運転においては、前記位置
指令信号の単位送り量（ステップ角）ごとに励磁位相を
加算、又は減算し、励磁位相を信号として出力する。こ
こで、電源投入に代表される初期化については、前記位
置検出信号から補正分を演算して、初期励磁位相として
いる。その補正分は、単位送り量をもつ前記位置指令信
号と、励磁位相の零度とが一致可能な条件（角度）にな
る。そして、該マイコン４からの前記出力信号を、電力
増幅器５により増幅して、前記モータ１に励磁電流（例
えば、２相）として供給している。同時に、前記マイコ
ン４は、回転磁界の励磁位相の零度を励磁するごとに、
タイミング信号６を外部に出力する。
らの復調された位置検出信号から、前記モータ１の固定
子磁極が発生する回転磁界の初期角度、すなわち補正さ
れた励磁位相を発生し、通常運転においては、前記位置
指令信号の単位送り量（ステップ角）ごとに励磁位相を
加算、又は減算し、励磁位相を信号として出力する。こ
こで、電源投入に代表される初期化については、前記位
置検出信号から補正分を演算して、初期励磁位相として
いる。その補正分は、単位送り量をもつ前記位置指令信
号と、励磁位相の零度とが一致可能な条件（角度）にな
る。そして、該マイコン４からの前記出力信号を、電力
増幅器５により増幅して、前記モータ１に励磁電流（例
えば、２相）として供給している。同時に、前記マイコ
ン４は、回転磁界の励磁位相の零度を励磁するごとに、
タイミング信号６を外部に出力する。
【００１８】この場合、前記モータ１のステップ角は、
その回転子の歯数の周期に依存するので、該ステップ角
に対応させるため、前記位置センサ２としては、高い分
解能が必要である。このため、前記位置センサ２に、前
記ＶＲ形レゾルバを採用し、該レゾルバは、前記回転子
の歯数と同じ歯数（例えば、歯数が５０）を有し、高い
分解能を確保している。
その回転子の歯数の周期に依存するので、該ステップ角
に対応させるため、前記位置センサ２としては、高い分
解能が必要である。このため、前記位置センサ２に、前
記ＶＲ形レゾルバを採用し、該レゾルバは、前記回転子
の歯数と同じ歯数（例えば、歯数が５０）を有し、高い
分解能を確保している。
【００１９】次いで、図２により、本実施の形態の主要
な動作を説明する。まず、位置指令信号の１ステップず
つの停止角度を、前記励磁位相の零度を含むようにあら
かじめ設定して置く。すなわち、前記位置指令信号の各
ステップでの停止角を、τR を回転磁界の一周期とし
て、0 τR ,0.2τR ,0.4τR ,0.6τR,0.8τR とする。
な動作を説明する。まず、位置指令信号の１ステップず
つの停止角度を、前記励磁位相の零度を含むようにあら
かじめ設定して置く。すなわち、前記位置指令信号の各
ステップでの停止角を、τR を回転磁界の一周期とし
て、0 τR ,0.2τR ,0.4τR ,0.6τR,0.8τR とする。
【００２０】このようにして置けば、電源投入時におい
て、前記回転子の初期位置から最も近いステップ停止角
に該回転子を吸い寄せることで、電源投入時の該回転子
の動作を少なく、かつステップ送りしている際に、確実
に励磁位相の零度を捕らえることができるので、前記マ
イコン４から、励磁位相の零度を励磁するごとに、タイ
ミング信号６を外部に出力することができる。
て、前記回転子の初期位置から最も近いステップ停止角
に該回転子を吸い寄せることで、電源投入時の該回転子
の動作を少なく、かつステップ送りしている際に、確実
に励磁位相の零度を捕らえることができるので、前記マ
イコン４から、励磁位相の零度を励磁するごとに、タイ
ミング信号６を外部に出力することができる。
【００２１】以上、本実施の形態によれば、前記位置セ
ンサ２からの位置信号を利用することにより、電源投入
時の前記回転子の動作を位置指令信号のステップ角の半
分に抑えることができるとともに、元々の前記モータ１
のタイミング信号の分解能を損なうことはない。
ンサ２からの位置信号を利用することにより、電源投入
時の前記回転子の動作を位置指令信号のステップ角の半
分に抑えることができるとともに、元々の前記モータ１
のタイミング信号の分解能を損なうことはない。
【００２２】なお、本発明の技術は前記実施の形態にお
ける技術に限定されるものではなく、同様な機能を果た
す他の態様の手段によってもよく、また本発明の技術は
前記構成の範囲内において種々の変更、付加が可能であ
る。
ける技術に限定されるものではなく、同様な機能を果た
す他の態様の手段によってもよく、また本発明の技術は
前記構成の範囲内において種々の変更、付加が可能であ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明の
位置センサを備えるステッピングモータ装置によれば、
マイコンにて、該位置センサからの回転子位置の検出信
号に、該モータの回転磁界の励磁位相の零度と位置指令
信号とが一致可能で、かつ最小限度の補正をかけて、初
期の回転磁界の励磁位相とし、位置指令信号によってス
テップ角ごとに動作する励磁位相が、零度を励磁するご
とに、タイミング信号を外部に出力するので、電源投入
時の回転子の不要な動作を抑えるとともに、確定された
励磁位相の零度におけるタイミング信号を外部に出力さ
せることができる。
位置センサを備えるステッピングモータ装置によれば、
マイコンにて、該位置センサからの回転子位置の検出信
号に、該モータの回転磁界の励磁位相の零度と位置指令
信号とが一致可能で、かつ最小限度の補正をかけて、初
期の回転磁界の励磁位相とし、位置指令信号によってス
テップ角ごとに動作する励磁位相が、零度を励磁するご
とに、タイミング信号を外部に出力するので、電源投入
時の回転子の不要な動作を抑えるとともに、確定された
励磁位相の零度におけるタイミング信号を外部に出力さ
せることができる。
【００２４】そして、位置センサによる回転子位置を検
出し、電源投入時、外部に出力される励磁位相の零度に
おけるタイミング信号の精度、又は分解能を損なうこと
はない。
出し、電源投入時、外部に出力される励磁位相の零度に
おけるタイミング信号の精度、又は分解能を損なうこと
はない。
【図１】本発明の一実施の形態を示す図で、位置センサ
を組み付けたステッピングモータとマイコンを含む回路
を示す構成図である。
を組み付けたステッピングモータとマイコンを含む回路
を示す構成図である。
【図２】位置指令信号のステップと、マイコンから出力
されるタイミング信号とのタイミングを示す図である。
されるタイミング信号とのタイミングを示す図である。
【図３】２極のステッピングモータのモデルを示す説明
図である。
図である。
【図４】従来のステッピングモータのタイミング信号を
示す図である。
示す図である。
【図５】位置センサによる検出位相角からスタートした
ときの従来のタイミング信号を示す図である。
ときの従来のタイミング信号を示す図である。
１ ステッピングモータ ２ 位置センサ（可変リラクタンス形レゾルバ） ３ 復調器 ４ マイコン ５ 電力増幅器 ６ タイミング信号
Claims (3)
- 【請求項１】 位置センサを備えるステッピングモータ
であって、該位置センサから出力される、回転子位置の
検出信号を、マイコンの一方の入力端に入力し、該マイ
コンは、前記位置検出を補正した前記モータの回転磁界
の初期位相を決定し、他方の入力端に入力される位置指
令信号から励磁位相を割り付け、増幅器を介し、励磁電
流として前記モータに供給するとともに、該マイコン
は、前記回転磁界の励磁位相の零度を検出するごとに、
タイミング信号を外部に出力することを特徴とする位置
センサを備えるステッピングモータ装置。 - 【請求項２】 前記位置指令信号の１ステップずつの停
止角度を、前記励磁位相の零度を含むように、あらかじ
め設定して置くことを特徴とする請求項１に記載の位置
センサを備えるステッピングモータ装置。 - 【請求項３】 前記位置センサが、前記ステッピングモ
ータの回転子の歯数と同じ歯数を有する可変リラクタン
ス形レゾルバであることを特徴とする請求項１に記載の
位置センサを備えるステッピングモータ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19021898A JP4166329B2 (ja) | 1998-07-06 | 1998-07-06 | 位置センサを備えるステッピングモータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19021898A JP4166329B2 (ja) | 1998-07-06 | 1998-07-06 | 位置センサを備えるステッピングモータ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000023491A true JP2000023491A (ja) | 2000-01-21 |
| JP4166329B2 JP4166329B2 (ja) | 2008-10-15 |
Family
ID=16254448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19021898A Expired - Lifetime JP4166329B2 (ja) | 1998-07-06 | 1998-07-06 | 位置センサを備えるステッピングモータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4166329B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012078690A (ja) * | 2010-10-05 | 2012-04-19 | Canon Inc | 光量調節装置 |
| JP2016016038A (ja) * | 2014-07-07 | 2016-02-01 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波診断装置及び超音波探触子 |
-
1998
- 1998-07-06 JP JP19021898A patent/JP4166329B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012078690A (ja) * | 2010-10-05 | 2012-04-19 | Canon Inc | 光量調節装置 |
| JP2016016038A (ja) * | 2014-07-07 | 2016-02-01 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波診断装置及び超音波探触子 |
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| JP4166329B2 (ja) | 2008-10-15 |
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