JP2000019080A - 汚染粒子測定方法 - Google Patents
汚染粒子測定方法Info
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- JP2000019080A JP2000019080A JP10186673A JP18667398A JP2000019080A JP 2000019080 A JP2000019080 A JP 2000019080A JP 10186673 A JP10186673 A JP 10186673A JP 18667398 A JP18667398 A JP 18667398A JP 2000019080 A JP2000019080 A JP 2000019080A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルーム中における汚染粒子測定方法に
おけるタンブリング法において、様々な被検物に対して
信頼性のある汚染粒子測定を行う汚染粒子測定方法を提
供する。 【解決手段】ドラムの回転数を可変にすることにより、
質量が軽い被検物においても遠心力によりドラム内壁に
被検物が張り付かないようにすることで、信頼性の高い
発塵データを得ることが出来る。
おけるタンブリング法において、様々な被検物に対して
信頼性のある汚染粒子測定を行う汚染粒子測定方法を提
供する。 【解決手段】ドラムの回転数を可変にすることにより、
質量が軽い被検物においても遠心力によりドラム内壁に
被検物が張り付かないようにすることで、信頼性の高い
発塵データを得ることが出来る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、汚染粒子測定方法
に関するものであり、特にクリーンルーム中における汚
染粒子測定方法に好適なものである。
に関するものであり、特にクリーンルーム中における汚
染粒子測定方法に好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】図５に従来のクリーンルーム中における
汚染粒子測定方法におけるタンブリング法を示す。軸流
ファン５から流れてくる気流は、ヘパフィルタ４を通っ
てクリーンなエアになり、モータ２によって回転するド
ラム１内にある被検物から発塵するパーティクルを巻き
込んで、パーティクルカウンタ３の吸気口に流れパーテ
ィクルをカウントする。
汚染粒子測定方法におけるタンブリング法を示す。軸流
ファン５から流れてくる気流は、ヘパフィルタ４を通っ
てクリーンなエアになり、モータ２によって回転するド
ラム１内にある被検物から発塵するパーティクルを巻き
込んで、パーティクルカウンタ３の吸気口に流れパーテ
ィクルをカウントする。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の汚染粒子測定方法におけるタンブリング法では、ド
ラム１の回転数がＪＩＳ規格（ＪＩＳ Ｂ ９９２３）
により３０〜５０回転／ｍｉｎ．と決まっており、質量
が軽い被検物等を試験した場合に図６に示すように、ド
ラム１の回転の遠心力で被検物８がドラム壁に張り付い
てしまい（８'、８''、８'''）撹拌されずに回転するた
め、所望の発塵量を正確に測定することが出来ないとい
う問題を有していた。そこで、本発明は通常の場合には
ドラムの回転数をＪＩＳ規格に基づく回転数で使用する
ことが可能であり、かつ被検物によっては回転数を変更
して、被検物のドラム壁への張り付きのないタンブリン
グ試験法を提供することを目的とする。
来の汚染粒子測定方法におけるタンブリング法では、ド
ラム１の回転数がＪＩＳ規格（ＪＩＳ Ｂ ９９２３）
により３０〜５０回転／ｍｉｎ．と決まっており、質量
が軽い被検物等を試験した場合に図６に示すように、ド
ラム１の回転の遠心力で被検物８がドラム壁に張り付い
てしまい（８'、８''、８'''）撹拌されずに回転するた
め、所望の発塵量を正確に測定することが出来ないとい
う問題を有していた。そこで、本発明は通常の場合には
ドラムの回転数をＪＩＳ規格に基づく回転数で使用する
ことが可能であり、かつ被検物によっては回転数を変更
して、被検物のドラム壁への張り付きのないタンブリン
グ試験法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、汚染粒子測定
方法におけるタンブリング法において、ドラム回転用モ
ータにインバータ回路を取り付けドラム回転数を可変に
することにより、様々な被検物に対して信頼性のある汚
染粒子測定を行うことを特徴とする。
方法におけるタンブリング法において、ドラム回転用モ
ータにインバータ回路を取り付けドラム回転数を可変に
することにより、様々な被検物に対して信頼性のある汚
染粒子測定を行うことを特徴とする。
【０００５】また、本発明は、汚染粒子測定方法におけ
るタンブリング法において、ドラム回転用モータのプー
リを交換しドラム回転数を可変にすることにより、様々
な被検物に対して信頼性のある汚染粒子測定を行うこと
を特徴とする。
るタンブリング法において、ドラム回転用モータのプー
リを交換しドラム回転数を可変にすることにより、様々
な被検物に対して信頼性のある汚染粒子測定を行うこと
を特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した実施例に
ついて、図面を参照して説明する。
ついて、図面を参照して説明する。
【０００７】図１に本発明を実現するための装置の構成
を示す。軸流ファン５から流れてくる空気は、ヘパフィ
ルタ４を通ってクリーンなエアになり、モータ２によっ
て回転するドラム１内にある被検物から発塵するパーテ
ィクルを巻き込んで、パーティクルカウンタ３の吸気口
に流れパーティクルをカウントする。その際ドラムを回
転するモータ２にインバータ回路６を取り付けることに
よりモータの回転数を調整する。回転数については、図
２に示すように被検物８がドラムの回転にあわせて回転
し、ある程度の高さに到達した時点（８'）で重力の垂
直方向のベクトルが、遠心力の垂直方向のベクトル及び
摩擦力による垂直方向のベクトルの合計よりも大きくな
り、ドラムの下方に落ちる（８''）ように調整する。こ
の回転数を記憶しておくことにより、同一形状の被検物
であれば、同一条件でタンブリング方による発塵試験を
行うことが可能となる。
を示す。軸流ファン５から流れてくる空気は、ヘパフィ
ルタ４を通ってクリーンなエアになり、モータ２によっ
て回転するドラム１内にある被検物から発塵するパーテ
ィクルを巻き込んで、パーティクルカウンタ３の吸気口
に流れパーティクルをカウントする。その際ドラムを回
転するモータ２にインバータ回路６を取り付けることに
よりモータの回転数を調整する。回転数については、図
２に示すように被検物８がドラムの回転にあわせて回転
し、ある程度の高さに到達した時点（８'）で重力の垂
直方向のベクトルが、遠心力の垂直方向のベクトル及び
摩擦力による垂直方向のベクトルの合計よりも大きくな
り、ドラムの下方に落ちる（８''）ように調整する。こ
の回転数を記憶しておくことにより、同一形状の被検物
であれば、同一条件でタンブリング方による発塵試験を
行うことが可能となる。
【０００８】次に図３に本発明を実現するための装置の
構成を示す。軸流ファン５から流れてくる空気は、ヘパ
フィルタ４を通ってクリーンなエアになり、モータ２に
よって回転するドラム１内にある被検物から発塵するパ
ーティクルを巻き込んで、パーティクルカウンタ３の吸
気口に流れパーティクルをカウントする。その際ドラム
を回転するモータ２のプーリ６を交換することによりモ
ータの回転数を調整する。回転数については、図４に示
すように被検物８がドラムの回転にあわせて回転し、あ
る程度の高さに到達した時点（８'）で重力の垂直方向
のベクトルが、遠心力の垂直方向のベクトル及び摩擦力
による垂直方向のベクトルの合計よりも大きくなり、ド
ラムの下方に落ちる（８''）ように調整する。この回転
数を記憶しておくことにより、同一形状の被検物であれ
ば、同一条件でタンブリング方による発塵試験を行うこ
とが可能となる。
構成を示す。軸流ファン５から流れてくる空気は、ヘパ
フィルタ４を通ってクリーンなエアになり、モータ２に
よって回転するドラム１内にある被検物から発塵するパ
ーティクルを巻き込んで、パーティクルカウンタ３の吸
気口に流れパーティクルをカウントする。その際ドラム
を回転するモータ２のプーリ６を交換することによりモ
ータの回転数を調整する。回転数については、図４に示
すように被検物８がドラムの回転にあわせて回転し、あ
る程度の高さに到達した時点（８'）で重力の垂直方向
のベクトルが、遠心力の垂直方向のベクトル及び摩擦力
による垂直方向のベクトルの合計よりも大きくなり、ド
ラムの下方に落ちる（８''）ように調整する。この回転
数を記憶しておくことにより、同一形状の被検物であれ
ば、同一条件でタンブリング方による発塵試験を行うこ
とが可能となる。
【０００９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項１及
び請求項２の汚染粒子測定方法によれば、タンブリング
法に用いられるドラムの回転数を可変にすることによ
り、質量の小さい被検物についても信頼性のある発塵デ
ータを得ることができる。
び請求項２の汚染粒子測定方法によれば、タンブリング
法に用いられるドラムの回転数を可変にすることによ
り、質量の小さい被検物についても信頼性のある発塵デ
ータを得ることができる。
【図１】本発明の実施の形態を示す構造図。
【図２】本発明の実施の形態を示す説明図。
【図３】本発明の実施の形態を示す構造図。
【図４】本発明の実施の形態を示す説明図。
【図５】従来の実施の形態を示す構造図。
【図６】従来の実施の形態を示す説明図。
１ ドラム ２ モータ ３ パーティクルカウンタ ４ ヘパフィルタ ５ 軸流ファン ６ インバータ回路 ７ プーリ ８ 被検物 ８' 被検物 ８'' 被検物 ８''' 被検物
Claims (2)
- 【請求項１】 汚染粒子測定方法におけるタンブリング
法において、ドラム回転用モータにインバータ回路を取
り付けドラム回転数を可変にすることにより、様々な被
検物に対して信頼性のある汚染粒子測定を行うことを特
徴とする汚染粒子測定方法。 - 【請求項２】 汚染粒子測定方法におけるタンブリング
法において、ドラム回転用モータのプーリを交換しドラ
ム回転数を可変にすることにより、様々な被検物に対し
て信頼性のある汚染粒子測定を行うことを特徴とする汚
染粒子測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10186673A JP2000019080A (ja) | 1998-07-01 | 1998-07-01 | 汚染粒子測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10186673A JP2000019080A (ja) | 1998-07-01 | 1998-07-01 | 汚染粒子測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000019080A true JP2000019080A (ja) | 2000-01-21 |
Family
ID=16192663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10186673A Withdrawn JP2000019080A (ja) | 1998-07-01 | 1998-07-01 | 汚染粒子測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000019080A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101137651B1 (ko) | 2009-07-17 | 2012-04-19 | 한국건설기술연구원 | 뿜칠석면의 고형화 정도 측정장치 및 고형화 정도 측정방법 |
| CN102539075A (zh) * | 2011-12-19 | 2012-07-04 | 上海理工大学 | 现场安装高效过滤器整体泄漏效率检测装置及方法 |
| CN108279203A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-07-13 | 龙钜超洁净科技（苏州）有限公司 | 一种无尘布用大颗粒检测装置 |
| CN114839122A (zh) * | 2022-07-04 | 2022-08-02 | 山东省煤田地质局第五勘探队 | 一种环境颗粒物取样测量装置及其测量方法 |
-
1998
- 1998-07-01 JP JP10186673A patent/JP2000019080A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101137651B1 (ko) | 2009-07-17 | 2012-04-19 | 한국건설기술연구원 | 뿜칠석면의 고형화 정도 측정장치 및 고형화 정도 측정방법 |
| CN102539075A (zh) * | 2011-12-19 | 2012-07-04 | 上海理工大学 | 现场安装高效过滤器整体泄漏效率检测装置及方法 |
| CN108279203A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-07-13 | 龙钜超洁净科技（苏州）有限公司 | 一种无尘布用大颗粒检测装置 |
| CN114839122A (zh) * | 2022-07-04 | 2022-08-02 | 山东省煤田地质局第五勘探队 | 一种环境颗粒物取样测量装置及其测量方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040611 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040622 |
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| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040708 |