JP2000012651A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属ベルトの大きさを大きくすることなく、
基板搬送装置の剛性を高めることができる摩擦伝動ベル
トを備えた基板処理装置を提供する。 【解決手段】 摩擦伝動ベルト５０は、例えば、２枚の
金属ベルト５０１，５０２を重ね合わせることにより構
成されている。これにより、摩擦伝動ベルト５０にかけ
られるテンションは、２つの金属ベルト５０１，５０２
に分散される。その結果、各金属ベルト５０１，５０２
には、摩擦伝動ベルト５０にかけられるテンションより
小さなテンションがかけられる。これにより、摩擦伝動
ベルト５０には、各金属ベルト５０１，５０２にかける
ことが可能な最大テンションより大きなテンションをか
けることができる。その結果、各金属ベルト５０１，５
０２の大きさを大きくすることなく、摩擦伝動ベルト５
０に所望のテンションをかけることができる。これによ
り、各金属ベルト５０１，５０２の大きさを大きくする
ことなく、摩擦伝動ベルト５０の剛性を高めることがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板に所定の処理
を施す基板処理装置に係り、特に、基板を搬送する基板
搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体デバイスのウェーハに所
定の処理を施すウェーハ処理装置においては、ウェーハ
の投入位置と処理位置とが異なる位置に設定されてい
る。

【０００３】このため、このウェーハ処理装置では、ウ
ェーハの投入位置と処理位置との間に、ウェーハを搬送
するウェーハ搬送装置を設けるようになっている。

【０００４】このウェーハ搬送装置としては、例えば、
多関節アーム型のウェーハ搬送ロボットが用いられる。
このウェーハ搬送ロボットは、多関節ロボットアームを
用いてウェーハを搬送するロボットである。

【０００５】多関節ロボットアームは、複数のアームを
直列に連結することにより構成されている。各アームは
回転駆動源で発生される回転運動に基づいて回転駆動さ
れる。これにより、ロボットアームが回転駆動または伸
縮駆動される。この回転駆動や伸縮駆動によりウェーハ
の搬送が行われる。

【０００６】回転駆動源で発生される回転運動をアーム
に伝達するための回転伝動装置としては、例えば、巻掛
け伝動方式の回転伝動装置が用いられる。この巻掛け伝
動方式の回転伝動装置は、プーリと摩擦伝動ベルトを使
って回転運動を伝動する装置である。

【０００７】回転伝動装置として巻掛け伝動方式の回転
伝動装置を用いる場合、摩擦伝動ベルトからのパーティ
クルの発生が問題になる。この問題に対処するため、ウ
ェーハ搬送ロボットでは、通常、摩擦伝動ベルトとし
て、ゴム製のベルトではなく、金属製のベルトが用いら
れる。

【０００８】このような構成によれば、ゴム製のベルト
を用いる場合より、パーティクルの発生を抑えることが
できる。これにより、ウェーハ処理室等のシール構造を
簡単にすることができる。その結果、ウェーハ処理装置
の製作コストや組立コストを低減することができる。

【０００９】図９は、ウェーハ搬送ロボットに設けられ
る巻掛け伝動方式の回転伝動装置の構成の一例を示す平
面図である。図示のごとく、巻掛け伝動方式の回転伝動
装置は、アーム１０に取り付けられた２つのプーリ１
１，１２と、このプーリ１１，１２に巻き掛けられた摩
擦伝動ベルト１３により構成されている。

【００１０】図１０は、従来の摩擦伝動ベルト１３の構
成を示す平面図である。この図１０は、図９において、
破線Ａで囲む部分を拡大して示すものである。図示のご
とく、従来の摩擦伝動ベルト１３は、一枚の金属ベルト
１３１により構成されている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成では、ウェーハ搬送ロボットの剛性を十分に高
めることができないという問題があった。

【００１２】すなわち、ウェーハ搬送ロボットの剛性
は、使用する摩擦伝動ベルト１３の剛性に因るところが
大きい。摩擦伝動ベルト１３の剛性は、テンションをか
けることにより高めることができる。したがって、ウェ
ーハ搬送ロボットの剛性を高めるためには、摩擦伝動ベ
ルトにかけるテンションを大きくすればよい。

【００１３】摩擦伝動ベルト１３にかけることが可能な
最大のテンション（以下「最大テンション」という。）
は、ベルト１３の材質やサイズ（厚さや横幅等）で規定
される。したがって、摩擦伝動ベルト１３にかけるテン
ションを大きくするには、例えば、ベルト１３の厚さを
厚くすればよい。

【００１４】金属ベルト１３１の厚さは、その曲率によ
って規定される。金属ベルト１３１の曲率は、これが巻
き掛けられるプーリ１１，１２の径によって規定され
る。したがって、摩擦伝動ベルト１３にかけるテンショ
ンを大きくするには、使用するプーリ１１，１２の径を
大きくすればよい。

【００１５】しかしながら、ウェーハ搬送ロボットで
は、アーム１０の内部空間が狭い。したがって、使用す
るプーリ１１，１２の径を大きくすることができない。
これにより、摩擦伝動ベルト１３にかけるテンションを
大きくすることができない。

【００１６】この問題を解決するためには、金属ベルト
１３１の厚さをプーリ１１，１２の径によって規定され
る厚さ（以下「最大厚さ」という）より厚くすればよ
い。しかしながら、このようにすると、金属ベルト１３
１の耐久性が低下する。その結果、金属ベルト１３１が
破断する等の問題が生じる。

【００１７】金属ベルト１３１の破断等を防止するため
には、金属ベルト１３１の横幅を大きくすればよい。し
かしながら、上記のごとく、アーム１０の内部空間は狭
い。したがって、金属ベルト１３１の横幅を大きくする
ことはできない。これにより、このような構成でも、ウ
ェーハ搬送ロボットの剛性を高めることができない。

【００１８】そこで、本発明は、金属ベルトのサイズ
（厚さや横幅等）を大きくすることなく、基板搬送ロボ
ット等の基板搬送装置の剛性を高めることができる摩擦
伝動ベルトを備えた基板処理装置を提供することを目的
とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の基板処理装置は、基板処理手段と、基
板搬送手段とを有する。ここで、基板処理手段は、基板
に所定の処理を施す手段である。また、基板搬送手段
は、基板を搬送する手段である。

【００２０】上記基板搬送手段は、回転運動発生手段
と、搬送手段と、回転伝動手段とを有する。ここで、回
転運動発生手段は、回転運動を発生する手段である。ま
た、搬送手段は、回転運動発生手段により発生された回
転運動に基づいて、基板を搬送する手段である。また、
回転伝動手段は、回転運動発生手段の回転運動を搬送手
段に伝動する手段である。この回転伝動手段は、プーリ
と摩擦伝動ベルトを使って回転運動を伝動する手段であ
る。ここで、摩擦伝動ベルトは、複数の金属製のベルト
を重ねることにより構成されている。

【００２１】この請求項１記載の基板処理装置では、摩
擦伝動ベルトが複数の金属ベルトを重ねることにより構
成されている。これにより、摩擦伝動ベルトにかけられ
たテンションは、複数の金属ベルトに分散される。その
結果、各金属ベルトには、摩擦伝動ベルトにかけられる
テンションより小さなテンションがかけられる。

【００２２】これにより、摩擦伝動ベルトには、各金属
ベルトにかけることが可能な最大テンションより大きな
テンションをかけることができる。その結果、各金属ベ
ルトのサイズを大きくすることなく、摩擦伝動ベルトに
所望のテンションをかけることができる。これにより、
各金属ベルトのサイズを大きくすることなく、摩擦伝動
ベルトの剛性を高めることができる。その結果、各金属
ベルトのサイズを大きくすることなく、基板搬送装置の
剛性を高めることができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態を詳細に説明する。

【００２４】［１］一実施の形態 ［１−１］基板処理装置の全体構成 まず、図３を参照しながら、本発明の一実施の形態の全
体的な構成を説明する。図３は、この全体的な構成を示
す平面図である。なお、図３には、本発明を枚葉式のウ
ェーハ処理装置に適用した場合を代表として示す。

【００２５】図示の基板処理装置は、２つのウェーハ処
理室２１，２２と、２つのロードロック室２３,２４
と、１つのウェーハ搬送室２５とを有する。

【００２６】ここで、ウェーハ処理室２１，２２は、半
導体デバイスのウェーハＷに所定の処理を施すための部
屋である。また、ロードロック室２３，２４は、ウェー
ハ処理室２１，２２の内部が大気に開放されるのを防止
するための部屋である。また、ウェーハ搬送室２５は、
ウェーハＷを搬送するための部屋である。ウェーハ搬送
室２５の内部には、ウェーハＷを搬送するためのウェー
ハ搬送ロボット２６が収容されている。このウェーハ搬
送ロボット２６は、多関節アーム型のロボットにより構
成されている。

【００２７】［１−２］基板処理装置の動作 上記構成において、基板処理装置の動作を説明する。

【００２８】処理すべき複数のウェーハＷは、カセット
に収容された状態で、ロードロック室２３，２４の内部
に搬入される。この搬入処理は、図示しないカセット搬
送装置により行われる。この搬入処理が終了すると、ロ
ードロック室２３，２４が例えば不活性ガスにより浄化
される。この浄化処理が終了すると、ウェーハＷは、ウ
ェーハ搬送ロボット２６によりウェーハ処理室２１，２
２に搬送される。これにより、ウェーハＷに所定の処理
が施される。この処理が終了すると、ウェーハＷがウェ
ーハ搬送ロボット２６により、ロードロック室２３，２
４のカセットに戻される。

【００２９】以上の処理がカセットに収容されているす
べてのウェーハＷについて行われると、カセットがカセ
ット搬送装置によりロードロック室２３，２４から搬出
される。以下、同様に、次のカセットに収容されている
ウェーハＷに対して再び上述した処理が実行される。

【００３０】［１−３］ウェーハ搬送ロボット２６の構
成 次に、図４を参照しながら、ウェーハ搬送ロボット２６
の構成の一例を説明する。図４は、このロボット２６の
構成を示す側断面図である。

【００３１】図示のウェーハ搬送ロボット２６は、ロボ
ットアーム３１と、回転駆動装置３２と、回転伝動装置
３３，３４とを有する。ロボットアーム３１は、２関節
ロボットアームにより構成されている。回転駆動装置３
２は、２軸回転駆動装置により構成されている。ここ
で、２軸回転駆動装置とは、同軸的に配設された２つの
回転軸により２つの回転駆動対象を回転駆動する装置で
ある。回転伝動装置３３，３４は、巻掛け伝動方式の回
転伝動装置により構成されている。

【００３２】ロボットアーム３１は、下側アーム４１
と、上側アーム４２と、ウェーハ保持部４３とを有す
る。回転駆動装置３２は、ダイレクトドライブ方式の第
１，第２の駆動モータ４４，４５を有する。第１の駆動
モータ４４の回転軸４４１は、円柱状に形成され、第２
の駆動モータ４５の回転軸４５１は、円筒状に形成され
ている。両回転軸４４１，４５１は、同軸的に配設され
ている。

【００３３】回転伝動装置３３は、下側アーム４１に設
けられ、回転伝動装置３４は、上側アーム４２に設けら
れる。回転伝動装置３３は、固定プーリ４８と、伝動プ
ーリ４９と、摩擦伝動ベルト５０とを有する。回転伝動
装置３４は、遊動プーリ５１と、従動プーリ５２と、摩
擦伝動ベルト５３とを有する。

【００３４】下側アーム４１の基端部は、第１の駆動モ
ータ４４の回転軸４４１に固定されている。この下側ア
ーム４１の遊端部には、連結軸４６が設けられている。
この連結軸４６の中央部には、伝動プーリ４９が回転自
在に取付けられている。また、上端部には、遊動プーリ
５１が固定されている。

【００３５】伝動プーリ４９には、上側アーム４２が固
定されている。この上側アーム４２と遊動プーリ５１と
は、ベアリングを介して連結されている。上側アーム４
２の遊端部には、従動軸４７が固定されている。この従
動軸４７には、従動プーリ５２が回転自在に取り付けら
れている。この従動プーリ５２には、ウェーハ保持部４
３が固定されている。固定プーリ４８は、第２の駆動モ
ータ４５の回転軸４５１に固定されている。摩擦伝動ベ
ルト５０は、固定プーリ４８と伝動プーリ４９との間に
巻き掛けられている。摩擦伝動ベルト５３は、遊動プー
リ５１と従動プーリ５２との間に巻き掛けられている。

【００３６】［１−４］ウェーハ搬送ロボット２６の動
作 上記構成において、ウェーハ搬送ロボット２６の動作を
説明する。この搬送動作としては、図５に示すように、
ウェーハＷを搬送する動作と、図６に示すように、ウェ
ーハＷの搬送方向を変更する動作とがある。

【００３７】まず、ウェーハＷを搬送する動作を説明す
る。図５（ａ）は、ロボットアーム３１を縮めた状態を
示す。この状態から、ウェーハＷを前方に搬送する場合
は、図５（ｂ）に示すように、下側アーム４１が反時計
方向に回転駆動され、上側アーム４２が時計方向に回転
駆動され、ウェーハ保持部４３が反時計方向に回転駆動
される。これにより、ロボットアーム３１が伸ばされ
る。その結果、ウェーハＷが前方に搬送される。

【００３８】この後、図７（ｃ）に示すように、下側ア
ーム４１が９０度回転駆動され、上側アーム４２が１８
０度回転駆動され、ウェーハ保持部４７が９０度回転駆
動されると、ロボットアーム３１が直線状になる。これ
により、ウェーハＷの前方への搬送が終了する。

【００３９】ウェーハＷを後方に搬送する場合は、前方
に搬送する場合とは逆に、下側アーム４１が、図中、時
計方向に回転駆動され、上側アーム４２が反時計方向に
回転駆動され、ウェーハ保持部４３が時計方向に回転駆
動される。これにより、ロボットアーム３１が縮められ
る。その結果、ウェーハＷが後方に搬送される。

【００４０】以上の動作を、図７を参照しながら、さら
に詳細に説明する。ここで、図７は、下側アーム４１
と、上側アーム４２と、固定プーリ４８と、遊動プーリ
５１と、従動プーリ５２と、摩擦伝動ベルト５０，５３
との回転を示す平面図である。

【００４１】ウェーハＷを前方に搬送する場合は、図４
に示す第２の駆動モータ４５が停止モードに設定され、
第１の駆動モータ４４が回転モードに設定される。この
場合、第１の駆動モータ４４の回転軸４４１は、上方か
ら見て反時計方向に回転駆動される。これにより、下側
アーム４１が反時計方向に回転駆動される。

【００４２】下側アーム４１が反時計方向に回転駆動さ
れることにより、固定プーリ４８が、図７に示すよう
に、相対的に時計方向に回転駆動される。この回転は、
摩擦伝動ベルト５０を介して伝動プーリ４９に伝達され
る。これにより、伝動プーリ４９が時計方向に回転駆動
される。その結果、上側アーム４２が時計方向に回転駆
動される。これにより、遊動プーリ５１が相対的に反時
計方向に回転駆動される。この回転は、摩擦伝動ベルト
５３を介して従動プーリ５２に伝達される。これによ
り、従動プーリ５２は、反時計方向に回転駆動される。
その結果、ウェーハ保持部４３が反時計方向に回転駆動
される。

【００４３】この場合、固定プーリ４８と伝動プーリ４
９との回転比は、１：２に設定されている。これによ
り、図８の略図に示すように、下側アーム４１が角度α
だけ回転すると、上側アーム４２は、角度２αだけ回転
する。

【００４４】また、遊動プーリ５１と従動プーリ５３と
の回転比は、上記のごとく、２：１に設定されている。
これにより、図８の略図に示すように、上側アーム４２
が角度２αだけ回転すると、ウェーハ保持部４３が角度
αだけ回転する。これにより、ウェーハＷが前方に搬送
される。

【００４５】ウェーハＷを後方に搬送する場合は、前方
に搬送する場合とは逆に、第１の駆動モータ４４の回転
軸４４１は、上方から見て時計方向に回転駆動される。
これにより、この場合は、前方に搬送する場合とは逆の
動作が行われる。

【００４６】次に、ウェーハＷの搬送方向を変更する場
合の動作を説明する。この場合は、ロボットアーム３１
は、図６（ａ）に示すように、縮んだ状態にある。この
状態から、ウェーハＷの搬送方向を時計方向に９０度変
更する場合は、下側アーム４１が、図６（ｂ）に示すよ
うに、例えば、時計方向に回転駆動される。これに対
し、上側アーム４２は、下側アーム４１に重なった姿勢
を保持される。また、基板保持部４３は、上側アーム４
２に対して９０度傾いた姿勢を保持される。

【００４７】これにより、ロボットアーム３１は、図６
（ａ）に示す状態を保ったまま、時計方向に回転駆動さ
れる。その結果、ウェーハＷの搬送方向が、図６（ｃ）
に示すように、時計方向に９０度変更される。

【００４８】この状態から、ウェーハＷの搬送方向を反
時計方向に回転搬送する場合は、下側アーム４１が今度
は反時計方向に９０度回転駆動される。その結果、ウェ
ーハＷの搬送方向が反時計方向に９０度変更される。

【００４９】以上の動作を図４を参照しながらさらに詳
細に説明する。

【００５０】ウェーハＷの搬送方向を時計方向に変更す
る場合は、第１，第２の駆動モータ４４，４５の回転軸
４４１，４５１は、時計方向に同期して回転駆動され
る。これにより、アーム４１，４２が、重なった状態を
保持しながら時計方向に回転駆動される。その結果、ウ
ェーハＷの搬送方向が時計方向に変更される。逆に、ウ
ェーハＷの搬送方向を反時計方向に変更する場合は、駆
動モータ４４，４５の回転軸４４１，４５１は、反時計
方向に同期駆動される。これにより、アーム４１，４２
が、重なった状態を保持しながら反時計方向に回転駆動
される。

【００５１】［１−５］摩擦伝動ベルトの構成 次に、図１を参照しながら、摩擦伝動ベルト５０の構成
を説明する。

【００５２】図１は、摩擦伝動ベルト５０の構成を示す
平面図である。図２は、この摩擦伝動ベルト５０が用い
られた回転伝動装置３３の構成を示す平面図である。な
お、上側アーム４２に配設された摩擦伝動ベルト５３の
構成は、摩擦伝動ベルト５０の構成と同じなので説明を
省略する。

【００５３】図１は、図２に示す回転伝動装置３３にお
いて、破線Ｂで囲む部分を拡大して示すものである。図
示のごとく、摩擦伝動ベルト５０は、例えば、２枚の金
属ベルト５０１，５０２を重ね合わせることにより構成
されている。この場合、２枚の金属ベルト５０１，５０
２は、接着剤で貼り付ける等の加工を施されることな
く、単に重ね合わせられている。これは、摩擦伝動ベル
ト５０にかけられたテンションを２つの金属ベルト５０
１，５０２に分散させるためである。

【００５４】［１−６］摩擦伝動ベルトの作用 上記構成において、摩擦伝動ベルト５０の作用を説明す
る。

【００５５】摩擦伝動ベルト５０は、上記のごとく、２
枚の金属ベルト５０１，５０２を重ね合わせることによ
り構成されている。これにより、図示しないテンション
調整装置により摩擦伝動ベルト５０にかけられるテンシ
ョンは、２つの金属ベルト５０１，５０２に分散され
る。その結果、各金属ベルト５０１，５０２には、摩擦
伝動ベルトにかけられるテンションより小さなテンショ
ンがかけられる。

【００５６】これにより、摩擦伝動ベルト５０には、各
金属ベルト５０１，５０２にかけることが可能な最大テ
ンションより大きなテンションをかけることができる。
その結果、各金属ベルト５０１，５０２のサイズを大き
くすることなく、摩擦伝動ベルト５０に所望のテンショ
ンをかけることができる。これにより、各金属ベルト５
０１，５０２のサイズを大きくすることなく、摩擦伝動
ベルト５０の剛性を高めることができる。その結果、各
金属ベルト５０１，５０２のサイズを大きくすることな
く、ウェーハ搬送ロボット２６の剛性を高めることがで
きる。

【００５７】［１−７］効果 以上詳述したように本実施の形態によれば、摩擦伝動ベ
ルト５０が複数の金属ベルト５０１，５０２を重ね合わ
せることにより構成されている。これにより、各金属ベ
ルト５０１，５０２に摩擦伝動ベルト５０にかけられる
テンションより小さなテンションをかけることができ
る。その結果、各金属ベルト５０１，５０２のサイズを
大きくすることなく、ウェーハ搬送ロボット２６の剛性
を高めることができる。

【００５８】［２］そのほかの実施の形態 以上、本発明の一実施の形態を詳細に説明したが、本発
明は、上述したような実施の形態に限定されるものでは
ない。

【００５９】（１）例えば、先の実施の形態では、２枚
の金属ベルト５０１，５０２を重ね合わせることにより
摩擦伝動ベルト５０を構成する場合を説明した。しかし
ながら、本発明では、３枚以上の金属ベルトを重ね合わ
せることにより構成するようにしてもよい。

【００６０】（２）また、先の実施の形態では、本発明
を、半導体デバイスのウェーハＷを搬送するウェーハ搬
送ロボット２６の摩擦伝動ベルト５０に適用する場合を
説明した。しかしながら、本発明は、液晶表示デバイス
のガラス基板を搬送するガラス基板搬送ロボットの摩擦
伝動ベルトにも適用することができる。要は、本発明
は、固体デバイスの基板を搬送する基板搬送ロボット等
の基板搬送装置の摩擦伝動ベルト一般に適用することが
できる。

【００６１】（３）また、先の実施の形態では、本発明
を、基板搬送装置のテンション調整装置に適用する場合
を説明した。しかしながら、本発明は、基板搬送装置以
外の装置のテンション調整装置にも適用することができ
る。言い換えれば、本発明は、固体デバイスの基板に所
定の処理を施すために必要な装置であって、巻掛け伝動
装置を使用する装置のテンション調整装置一般に適用す
ることができる。

【００６２】（４）このほかにも、本発明は、その要旨
を逸脱しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論
である。

【００６３】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１記載の基板
処理装置によれば、摩擦伝動ベルトを複数の金属ベルト
を重ね合わせることにより構成したので、各金属ベルト
のサイズを大きくすることなく、基板搬送装置の剛性を
高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の基板処理装置における
摩擦伝動ベルトの構成を示す平面図である。

【図２】本発明の一実施の形態の基板処理装置における
回転伝動装置の構成を示す平面図である。

【図３】本発明の一実施の形態の基板処理装置における
全体的な構成を示す平面図である。

【図４】本発明の一実施の形態の基板処理装置における
ウェーハ搬送ロボットの構成を示す側断面図である。

【図５】本発明の一実施の形態の基板処理装置における
ウェーハ搬送ロボットの動作を説明するための図であ
る。

【図６】本発明の一実施の形態の基板処理装置における
ウェーハ搬送ロボットの動作を説明するための図であ
る。

【図７】本発明の一実施の形態の基板処理装置における
ウェーハ搬送ロボットの動作を説明するための図であ
る。

【図８】本発明の一実施の形態の基板処理装置における
ウェーハ搬送ロボットの動作を説明するための図であ
る。

【図９】回転伝動装置の構成の一例を示す平面図であ
る。

【図１０】従来の摩擦伝動ベルトの構成を示す平面図で
ある。

【符号の説明】

２１，２２…ウェーハ処理室、２３，２４…ロードロッ
ク室、２５…ウェーハ搬送室、２６…ウェーハ搬送ロボ
ット、３１…ロボットアーム、３２…回転駆動源、３
３，３４…回転伝動装置、４１…下側アーム、４２…上
側アーム、４３…ウェーハ保持部、４４…第１の駆動モ
ータ、４４１…回転軸、４５…第２の駆動モータ、４５
１…回転軸、４６…連結軸、４７…従動軸、４８…固定
プーリ、４９…伝動プーリ、５０…摩擦伝動ベルト、５
１…遊動プーリ、５２…従動プーリ、５３…摩擦伝動ベ
ルト、５０１，５０２…金属ベルト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に所定の処理を施す基板処理手段
   と、 前記基板を搬送する基板搬送手段とを備え、 前記基板搬送手段が、 回転運動を発生する回転運動発生手段と、 この回転運動発生手段により発生された回転運動に基づ
   いて、前記基板を搬送する搬送手段と、 プーリと複数の金属製のベルトを重ねることにより構成
   された摩擦伝動ベルトを使って前記回転運動発生手段の
   回転運動を前記搬送手段に伝動する回転伝動手段とを有
   することを特徴とする基板処理装置。