JP2000011879A

JP2000011879A - 真空封止方法及び真空封止装置と真空封止具と真空密閉容器

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Publication number: JP2000011879A
Application number: JP18080598A
Authority: JP
Inventors: Tatsuo Horiuchi; 辰男堀内; Makoto Suzuki; 鈴木　　誠; Kiyoichi Shimizu; 喜代一清水; Takuo Kariya; 卓夫刈谷; Kiyoshi Iizuka; 清志飯塚
Original assignee: TOHOKU EREBAMU KK; Canon Inc
Current assignee: TOHOKU EREBAMU KK; Canon Inc
Priority date: 1998-06-26
Filing date: 1998-06-26
Publication date: 2000-01-14

Abstract

(57)【要約】【課題】排気完了後に、パネルに残る排気管の一部の
高さを極小に抑えることと、安全で壊れにくい構造と
し、水分の侵入を抑えて長時間の真空度を維持すること
を課題とする。【解決手段】容器の排気孔から排気手段で排気し、前
記容器内を所定の真空度として前記排気孔を封止する真
空封止方法において、前記容器の排気孔に接続された第
１の排気管に、前記排気手段と接続された第２の排気管
を接着する工程と、前記容器内を前記第１及び第２の排
気管を通じて排気して所定の真空度とする工程と、前記
第１の排気管に封止蓋を接着して封止する工程と、前記
第１の排気管から前記第２の排気管を離脱する工程とを
有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイや電界放出型や表面伝導放出型等の冷陰極電子源を
用いたフラットパネルディスプレイ等の密閉容器、特に
好適に高真空を必要とするディスプレイの密閉容器を密
閉する真空封止方法及び、当該方法に用いる真空封止具
並びに真空封止装置及び当該方法で形成した真空密閉容
器に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＣＲＴ管を用いたディスプレイか
ら、液晶やプラズマ、蛍光表示管、エレクトロルミナン
ス、冷陰極型電子放出素子等を用いたフラットパネルデ
ィスプレイ（以下、ＦＰＤと称する）の開発が進んでい
る。ＦＰＤは、奥行きが小さく、軽量であるので、その
需要は大きい。また、特に情報機器の中で、表示機器の
薄型化や高性能化が進み、液晶表示パネルに続いて、微
細な蛍光灯や電子放出素子、紫外線放出素子を平板上に
多数並べて、表示機能を付与したＦＰＤが開発されてい
る。ここで、液晶表示パネル装置は、それ自体では発光
せず、シャッターの役目を利用して、文字や記号等を表
示するのに対し、これ以外のＦＰＤ装置は、それ自体が
発光し、高輝度で高コントラストの性能特性上で優れて
いるとされている。特に、近年、電界放出型や表面伝導
放出型，ＭＩＭ型等の冷陰極電子源を用いたフラットパ
ネルディスプレイは自発光型でＣＲＴ管と同等の蛍光体
を用いるので、高輝度で高コントラスト及び広視野角を
備えているのでその期待度は高い。

【０００３】一方、従来、フラットパネルを構成する平
板のガラスに機械加工で排気孔を開け、この排気孔上に
孔をほぼ同心にガラス製の排気管をフリットガラスで接
着して取付け、このガラス製の排気管を介してパネルを
真空ポンプに接続して排気し、排気が完了すると、この
ガラス管をバーナー等で加熱して溶かし、溶着・封止し
ていた。しかしながら、封止後の排気管は、フラットパ
ネル容器外面から突出し、全く邪魔なものである他、ガ
ラス管であるために衝撃でクラックが生じ、真空漏れを
生じることがあった。

【０００４】かかる課題を解決しようとする従来例とし
て、特開平４−２９８９４４号公報、特開平６−１３９
９３５号公報、及び、特開平６−３０２２７９号公報に
は、表示装置、表示管、フラットディスプレイパネルの
製造方法において、真空容器の排気孔を蓋部材を用いて
封止する封止方法が記載されている。しかしながら、上
記各公報に記載された蓋部材を用いた封止方法では、上
記蓋部材による排気孔の封止に際し、真空容器内の排気
を、該真空容器の排気孔の周囲をＯリングを用いて真空
排気装置と密着させることで行っており、特に、高真空
度までの排気を要求される真空容器においては不適当な
方法であった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】以上の従来技術に鑑
み、とりわけ、本発明においては、高い真空度までの排
気と高真空の下での封止を可能とする真空容器の真空封
止方法を提供することを目的とする。本発明において
は、また、封止後の真空漏れの危険性の極めて少ない真
空封止方法、それに用いられる真空封止具を提供するこ
とを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するもので、容器の排気孔から排気手段で排気し、前
記容器内を所定の真空度として前記排気孔を封止する真
空封止方法において、前記容器の排気孔に接続された第
１の排気管に、前記排気手段と接続された第２の排気管
を互いの空洞部を連通させて接着する工程と、前記容器
内を前記第１及び第２の排気管を通じて排気して所定の
真空度とする工程と、前記第１の排気管の開口部を封止
蓋で封止する工程と、前記第１の排気管から前記第２の
排気管を離脱する工程とを有することを特徴とする。

【０００７】また、本発明は、容器の排気部位から排気
し、前記容器内を所定の真空度として前記排気部位を封
止する真空封止装置であって、排気手段と、前記排気手
段に接続された排気管と、前記排気管内に設けられてお
り前記排気部位の封止に用いられる封止蓋を保持するた
めの保持手段と、前記排気管の前記排気部位への接着と
その離脱とをなすための着脱手段とを有することを特徴
とする。

【０００８】また、本発明は、容器の排気孔から排気手
段で排気し、前記容器内を所定の真空度として前記排気
孔を封止する真空封止具であって、前記容器の排気孔に
接続される管と、前記管の開口部に接着材にて接着され
る封止蓋とを備えることを特徴とする。

【０００９】また、本発明は、真空に維持・密閉されて
いる真空密閉容器であって、前記容器の排気孔には、管
と前記管に接着材にて接着されている封土蓋とが備えら
れていることを特徴とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明による実施形態について、
図面を参照しつつ詳細に説明する。

【００１１】［第１の実施形態］図１に、本発明による
真空密閉容器の封止部分を示す。図１（ａ）は平面図で
あり、図１（ｂ）はそのＡ−Ａ’の断面図である。図に
おいて、１は内部に電子放出素子とその対面に蛍光体等
を有する画像表示装置や、プラズマ発生部とその対面に
蛍光体等を有するプラズマディスプレイパネル等の真空
密封容器であり、真空密封容器１はソーダガラス等から
なり、側壁２１とフリットガラス等で接着され、密封状
態になされる。

【００１２】また、２は排気管としての封止接続具であ
り、３は真空密閉容器１の密閉用孔を塞ぐ封止蓋であ
る。この封止接続具２は、図１（ａ）、（ｂ）に示され
るように、例えば、フランジ部Ｘを介して、互いに大き
さの異なる、開口部２７一ａと２７−ｂとを有し、開口
部２７−ｂ側は真空密閉容器１の排気孔２０と接着され
ている他、上記フランジ部Ｘに封止蓋３が接着される。
また、後述する通り、上記開口部２７−ａ側は、真空密
閉容器１の排気時に別の排気管が接続される。

【００１３】また、この封止接続具２の形状として、図
１（ｃ）に示されるように、フランジ部Ｘが所定の曲率
を有することは、同様の曲率を有する封止蓋３を用いて
封止をなす際に封止接続具２と封止蓋３との密着性をよ
り向上させることができ、また、図１（ｄ）に示される
ように、フランジ部Ｘに溝５’を有することは、封止蓋
３の該フランジ部Ｘへの接着に際して、接着材５の真空
密閉容器１内への流入をより少なくすることができ、真
空密閉容器１内の接着材５による汚染をより少なくする
ことができる。

【００１４】また、封止接続具２の真空密閉容器外面か
らの高さが１ｍｍ〜１０ｍｍであることは、封止後の真
空密閉容器の取り扱い上、さほど邪魔にはならず有利
で、封止接続具２が金属管であることは、衝撃などに対
し強度上好ましい。また、封止蓋３は、気密性維持やハ
ンドリング上、厚さが０．１ｍｍ〜３ｍｍ程度、好まし
くは、０．２ｍｍ〜２ｍｍ程度とされ、また、封止接続
具２とともに金属からなることが、真空密閉容器１の気
密性維持の点からより好ましい。

【００１５】なお、封止接続具２や封止蓋３の厚さや形
状は、上記に限らず適宜選択できる。また、真空密閉容
器１と封止接続具２とは、例えば、接着材４を用いて接
着されており、この接着材４としては、例えば、水ガラ
ス、または、Ｂ₂Ｏ₂−ＰｂＯ−ＺｎＯや、Ｂ₂Ｏ₂一Ｐｂ
Ｏ一ＳｉＯ₂等の結晶性または非結晶性のフリットガラ
スが用いられており、特に、接着強度の点から、結晶性
のフリットガラスが用いられていることが望ましい。

【００１６】また、真空密閉容器１と封止接続具２との
接着方法は、真空密閉容器１に封止接続具２を直接鋳込
んであっても良い。また、封止接続具２と封止蓋３と
は、接着材５を用いて接着されており、かかる接着材５
を介して接着されていることでより気密性維持の向上が
計られている。ここで、この接着材５は、好ましくは、
Ｓｎ−ＰｂあるいはＰｂ−Ａｇ等の二元系合金やＳｎ−
Ｐｂ−Ａｇ等の三元系合金のような半田が用いられてい
る。

【００１７】［第２の実施形態］次に、第２の実施形態
として、本発明の真空封止方法とその封止を行う真空封
止装置について説明する。

【００１８】（真空封止装置全体）図２に真空封止装置
の概念図を示す。図２において、７は真空排気手段１０
に接続された排気管であり、１２は排気管７内に設けら
れ、前述の封止蓋３の保持金具１２−１を備えた封止蓋
の保持手段である。ここで、保持手段には、更に、加熱
電源装置１５に電流導入端子１４を介して接続されたニ
クロム線などの発熱手段１１が備えられていることが望
ましい。

【００１９】また、図２において、下側駆動ベアリング
１６及び上側駆動ベアリング１７と、これら両方の駆動
ベアリングを支持する駆動案内シャフト１８と、前記排
気管の一部に設けられた蛇腹の可動真空隔壁１３とは、
排気管７及び封止蓋３の保持手段１２を上下動するため
の可動手段である。かかる可動手段は、真空密閉される
容器が設置されるステージ（台座）自体を上下動させる
ための別の可動手段を有する装置である場合には、排気
管７及び封止蓋３の保持手段１２のいずれか一方を上下
動する可動手段であっても構わない。

【００２０】また、図２において、８は、後述するよう
に、排気部位への排気管７の接着とその離脱とを可能に
する着脱手段であり、例えば、加熱電源装置９に接続さ
れたニクロム線などの発熱手段８−１が備えられてい
る。次に、上記真空封止装置を用いた真空封止方法につ
いて、該装置の動作とともに説明する。

【００２１】（排気準備）まず、排気準備段階として、
図３に従って説明する。

【００２２】まず、排気孔２０に第１の排気管Ａが接続
された容器１を、真空封止装置１９のステージ上に配置
する、ここで、本実施形態においては、第１の排気管Ａ
は、第１の実施形態として前述した封止接続具２であ
り、鉄、ニッケル、クロムを主成分とする合金からなる
金属製の封止接続具が用いられている。また、この封止
接続具２の排気孔２０への接続は、封止接続具２を容器
１に直接鋳込んであっても良いが、図３に示すように、
接続材としての第１の接着材４にてガラス容器１の排気
孔２０周辺で接着される。ここで、第１の接着材４とし
ては、例えば、水ガラス、または、Ｂ₂Ｏ₂−ＰｂＯ−Ｚ
ｎＯや、Ｂ₂Ｏ₂一ＰｂＯ一ＳｉＯ₂等の結晶性または非
結晶性のフリットガラスが用いられ、特に、接着強度の
点からは、結晶性のフリットガラスが用いられるのが好
ましい。尚、上記第１の接着材４による接着は、例えば
４１０℃以上でなされる。

【００２３】また、封止接続具２の封止蓋３が当接する
フランジ部Ｘには第２の接着材５が配置されており、封
止接続具２の外側の管部の内側には第３の接着材６が配
置されている。ここで、第２の接着材５及び第３の接着
材６としては、例えば、Ｓｎ一ＰｂあるいはＰｂ−Ａｇ
等の二元系合金やＳｎ−Ｐｂ−Ａｇ等の三元系合金のよ
うな半田が用いられるのが好ましい。尚、上記第２の接
着材５及び第３の接着材６による接着は、例えば、１８
０℃以上でなされる。

【００２４】次に、排気手段１０に接続された第２の排
気管Ｂを上記第１の排気管Ａに互いの空洞部が連通する
ように接着する。ここで、本実施形態においては、第２
の排気管Ｂは、前述した真空封止装置１９の排気管７で
あり、鉄、ニッケル、クロムを主成金とする合金からな
る金属製の排気管が用いられている。

【００２５】また、本実施形態においては、前述した真
空封止装置１９の下側駆動ベアリング１６を下方に下げ
ることで、排気管７を下方に下げ、第１の排気管Ａであ
る封止接続具２の外側の管部と排気管７とを接合させ、
更に、着脱手段８の発熱手段８一１に加熱電源装置９よ
り電力を供給レて、排気管７と封止接続具２との接合部
を加熱し、前記第３の接着材６を溶かすことで図４に示
すように、排気管７と封止接続具２とを接着する。

【００２６】（排気工程）次に、前記容器１内を、前記
第１の排気管Ａ及び前記第２の排気管Ｂを通じて排気
し、所定の真空度とする。本実施形態におけるかかる排
気工程は図４に示すように、排気管７の突出部に接続さ
れた真空排気手段１０によって、容器１内部と排気管７
内部とを排気して真空化する。このとき、容器１自体を
加熱しながら行うことは、容器１内部の不要なガス成分
をより効率的に除去できるので好ましい。又、更には排
気のためイオンポンプやゲッターポンプを用いることに
より更に不要なガス成分の混入を除去でき、高真空を要
する冷陰極電子源に適した高真空密閉容器を作成でき
る。

【００２７】（封止蓋接着工程）次に、前記第１の排気
管Ａに封止蓋３を配して容器１を封止する。本実施形態
におけるかかる封止工程は、図５に示すように、前記排
気工程にて容器１の内部が所定の真空度に達した後、前
述した真空封止装置１９の上側駆動ベアリング１７を下
方に下げることで、この上側駆動ベアリング１７に接続
された保持手段１２の保持金具１２−１によって保持さ
れている封止蓋３を下方に移動させ、封止接続具２の内
側の連通する管部を塞ぐように封止蓋３で蓋をする。こ
の際、接着材を用いて封止蓋３を前記管部に接着するこ
とが好ましく、保持手段１２の発熱手段１１に加熱電源
装置１５より電力を供給して、封止蓋３と封止接続具２
との接合部を加熱し、前記第２の接着材５を溶かすこと
で、封止蓋３を封止接続具２のフランジ部Ｘに接着して
容器１の封止を行う。その後、排気手段１０による排気
を停止する。ここで、封止蓋３の封止接続具２への接着
において、更に、以下の方法が採用されることが好まし
い。

【００２８】図７は、前述の封止工程の別の形態を示す
ものであるが、真空封止装置１９の前記着脱手段８が冷
却手段２４を更に備えている点で図５と異なっている。
この冷却手段２４は冷却材導入手段２５に接続されてお
り、前述の封止蓋３と封止接続具２との接合部の加熱に
際して、空気や窒素ガスなどの冷却材を封止蓋３と封止
接続具２との接合部の近傍に流すものである、これによ
り、前述の封止蓋３と封止接続具２との接合部の加熱に
よる第３の接着材６の溶融を防ぐことが可能で、前述の
封止工程時における真空漏れを防ぐことができる。

【００２９】（真空容器と真空封止装置との離脱工程）
以上の工程の後、前記第１の排気管Ａから前記第２の排
気管Ｂを離脱する。本実施形態におけるかかる離脱工程
は、図６に示すように、真空封止装置１９の前記着脱手
段８の発熱手段８−１に加熱電源装置９より電力を供給
して、排気管７と封止接続具２との接合部を再び加熱
し、前記第３の接着材６を溶かすとともに、下側駆動ベ
アリング１６を上方に移動して排気管７と封止接続具２
とを離脱する。また、封止蓋３と前記保持手段１２とを
上側駆動ベアリング１７を上方に移動することで離脱す
る。

【００３０】こうして、図１に示したように、容器１内
部が所定の真空度とされ、排気孔２０に封止接続具２と
封止蓋３とで、封止がなされた真空密閉容器とすること
ができる。

【００３１】（接着材）上記説明したように、用いられ
る接着材としては、水ガラスや、フリットガラスや、半
田があり、特に容器１と封止接続具２とを接着する第１
の接着材４にはフリットガラスが接着力の点で好適であ
る。更に、結晶性のフリットガラスを用いることは接着
強度の点からより好適である。

【００３２】上記工程上、接着方法に着目すれば、例え
ば、容器１と封止接続具２とを、第１の接着材４とし
て、Ｂ₂Ｏ₂−ＰｂＯ−ＺｎＯや、Ｂ₂Ｏ₂一ＰｂＯ一Ｓｉ
Ｏ₂等のフリットガラスを用いて４１０℃以上で接着す
る。また、封止接続具２と封止蓋３とを接着する第２の
接着材５、及び、封止接続具２と排気管７とを接着する
第３の接着材６として、Ｓｎ一ＰｂあるいはＰｂ−Ａｇ
等の二系合金やＳｎ−Ｐｂ−Ａｇ等の三元系合金のよう
な半田を用い、１８０℃以上で接着する。ここで、上記
半田は、ＳｎーＰｂが１８０℃〜３２０℃程度の範囲、
Ｐｂ−Ａｇが３００℃〜３７０℃程度の範囲、ＳｎーＰ
ｔ−Ａｇが１８０℃〜３１０℃程度の範囲で溶融・接着
ができるので、例えば、上記第３の接着材６としてＳｎ
一Ｐｂ合金を用い、３００℃程度にて封止接続具２と排
気管７とを接着し、更に、上記第２の接着材５としてＰ
ｂ−Ａｇ合金を用い、３５０℃程度にて封止接続具２と
封止蓋３とを接着し、その後、封止接続具２と排気管７
の接着部を再び３００℃程度の温度に加熱して離脱させ
る。

【００３３】このような接着方法によれば、封止接続具
２への封止蓋３の接着作業時の温度、及び、封止接続具
２への排気管７の接着時の作業温度は、前工程における
容器１への封止接続具２の接着作業時の温度よりも低く
することができるので、封止接続具２への封止蓋３の接
着時、及ぴ、封止接続具２への排気管７の接着時におけ
る作業温度によって、容器１と封止接続具２の接着部の
劣化による真空漏れを抑制することができる。

【００３４】また、封止接続具２からの排気管７の離脱
時の作業温度は、前工程における封止接続具２への封止
蓋３の接着作業時の温度よりも低くすることができるの
で、封止接続具２からの排気管７の離脱時における作業
温度によって、封止接続具２と封止蓋３の接着部の劣化
による真空漏れを抑制することができる。

【００３５】上記容器１は内部に電子放出素子や紫外線
放出素子等で画像を形成する表示装置に用いるもので、
内部を排気して、特定のガスを混入する場合もあり、ま
たガスの混入を嫌う場合もあり、ケースバイケースで、
排気後の処理が若干異なってもよい。要は、本真空封止
装置により、真空容器１に内部の真空度を長期間、或い
は特定のガスを封じ込めてその真空度を長期間一定に保
持する手段として、封止接続具２とその封止蓋という薄
くて堅固な封止手段により表示装置の薄さが達成される
ことである。

【００３６】［第３の実施形態］上述の密閉容器と封止
接続具及び封止蓋を形成し終えた画像表示装置の例を図
８に示して説明する。図８は画像形成装置の表示パネル
の一例を示す模式図であり、図において、１２１はマト
リクス状に電子放出素子を複数配した電子源基板、１３
１は電子源基板１２１を固定したリアプレート、１３６
はガラス基板１３３の内面に蛍光膜１３４とメタルバッ
ク１３５等が形成されたフェースプレートである。１３
２は支持枠であり、該支持枠１３２には、リアプレート
１３１、フェースプレート１３６がフリットガラス等を
用いて接続され、真空密閉容器１３８を構成している。
この真空密閉容器１３８は、前述した真空封止装置を用
いて、上述の方法により、リアプレート１３１側の排気
孔１２０に封止接続具及び封止蓋が設けられ、容器内を
封止されている。

【００３７】尚、排気孔は側面の支持枠１３２側に設け
てあってもよい。

【００３８】

【発明の効果】本発明によれば、真空密閉容器に残る封
止具の高さは、該容器面から２ｍｍ〜１０ｍｍ程度で済
むので、取扱い上、さほど邪魔にならない。また、特
に、封止具が、いずれも金属からなる排気管（Ａ）と封
止蓋とを半田にて接着したものであることは、壊れる危
険が少ない上に、真空漏れの危険性も少ない。

【００３９】また、Ｏリングを用いずに、排気管と封止
接続具とを接着して排気するので、高真空の下で封止蓋
を接着でき、１０^-5Ｐａ以上の真空度を達成でき、実験
室で行われる封止方法というよりも、量産に適した封止
方法として効果的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態による真空容器の封止部分の
平面図と断面図である。

【図２】本発明の真空封止装置の外観図である。

【図３】本発明の排気前の準備段階の外観図である。

【図４】本発明の排気段階の外観図である。

【図５】本発明の封止蓋を接着する工程の外観図であ
る。

【図６】本発明の封止装置と真空容器とを分離する工程
の外観図である。

【図７】本発明の封止装置と真空容器とを分離する工程
の外観図である。

【図８】本発明の画像表示装置の外観図である。

【符号の説明】

１真空容器２封止接続具（第１の排気管Ａ）３封止蓋４第１の接着材５第２の接着材６第３の接着材７排気管（第２の排気管Ｂ）８−１，１１発熱手段９，１５加熱電源装置１０真空排気手段１２封止蓋保持手段１２−１封止蓋保持金具１３可動真空隔壁（蛇腹）１４電流導入端子１６下側駆動ベアリング１７上側駆動ベアリング１８駆動案内シャフト１９真空封止装置２０排気孔２４冷却手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｊ 29/86 Ｈ０１Ｊ 29/86 Ｚ (72)発明者鈴木誠福島県喜多方市関柴町下柴字市道上515− １東北エレバム株式会社内 (72)発明者清水喜代一福島県喜多方市関柴町下柴字市道上515− １東北エレバム株式会社内 (72)発明者刈谷卓夫東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者飯塚清志東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内Ｆターム(参考） 5C012 AA05 BC03 PP04 PP08 5C032 AA07 EE08 EE10 5C040 EE01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】容器の排気孔から排気手段で排気し、前
記容器内を所定の真空度として前記排気孔を封止する真
空封止方法において、前記容器の排気孔に接続された第
１の排気管に、前記排気手段と接続された第２の排気管
を互いの空洞部を連通させて接着する工程と、前記容器
内を前記第１及び第２の排気管を通じて排気して所定の
真空度とする工程と、前記第１の排気管の開口部を封止
蓋で封止する工程と、前記第１の排気管から前記第２の
排気管を離脱する工程とを有することを特徴とする真空
封止方法。
【請求項２】前記第１の排気管は、金属からなる請求
項１に記載の真空封止方法。
【請求項３】前記第１及び第２の排気管は、いずれも
金属からなる請求項１に記載の真空封止方法。
【請求項４】前記第１の排気管への前記第２の排気管
の接着は、半田を用いて行われる請求項３に記載の真空
封止方法。
【請求項５】前記第１及び第２の排気管、並びに前記
封止蓋は、いずれも金属からなる請求項１に記載の真空
封止方法。
【請求項６】前記第１の排気管の開口部を封止する工
程は、前記封止蓋を前記開口部に接着することで行うこ
とを特徴とする請求項１に記載の真空封止方法。
【請求項７】前記第１及び第２の排気管、並びに前記
封止蓋は、いずれも金属からなる請求項６に記載の真空
封止方法。
【請求項８】前記第１の排気管への前記第２の排気管
の接着、及び、前記第１の排気管への前記封止蓋の接着
は、いずれも半田を用いて行われる請求項５又は７に記
載の真空封止方法。
【請求項９】前記第１の排気管へ前記第２の排気管を
接着する工程は、前記容器の排気孔への前記第１の排気
管の接続がなされた作業温度よりも低い温度にて行われ
る請求項１に記載の真空封止方法。
【請求項１０】前記第１の排気管へ前記第２の排気管
を接着する工程、及び、前記第１の排気管へ前記封止蓋
を接着する工程は、いずれも、前記容器の排気孔への前
記第１の排気管の接続がなされた作業温度よりも低い温
度にて行われる請求項１に記載の真空封止方法。
【請求項１１】前記第１の排気管へ前記封止蓋を接着
する工程は、前記第１の排気管と前記第２の排気管との
接着部の温度を制御しながら行われる請求項１又は６に
記載の真空封止方法。
【請求項１２】容器の排気部位から排気し、前記容器
内を所定の真空度として前記排気部位を封止する真空封
止装置であって、排気手段と、前記排気手段に接続され
た排気管と、前記排気管内に設けられており前記排気部
位の封止に用いられる封止蓋を保持するための保持手段
と、前記排気管の前記排気部位への接着とその離脱とを
なすための着脱手段とを有することを特徴とする真空封
止装置。
【請求項１３】前記着脱手段は、発熱手段を有するこ
とを特徴とする請求項１２に記載の真空封止装置。
【請求項１４】更に、前記封止蓋を前記排気部位に接
着するための接着手段を有する請求項１２に記載の真空
封止装置。
【請求項１５】前記接着手段は、発熱手段を有する請
求項１４に記載の真空封止装置。
【請求項１６】更に、前記排気管と前記排気部位との
接着部の温度を制御するための手段を有する請求項１２
に記載の真空封止装置。
【請求項１７】前記温度を制御するための手段は、前
記排気管と前記排気部位との接着部を冷却する手段を有
する請求項１６に記載の真空封止装置。
【請求項１８】前記排気管は、金属からなる請求項１
２乃至１７のいずれかに記載の真空封止装置。
【請求項１９】前記封止蓋は、金属からなる請求項１
２乃至１８のいずれかに記載の真空封止装置。
【請求項２０】容器の排気孔から排気手段で排気し、
前記容器内を所定の真空度として前記排気孔を封止する
真空封止具であって、前記容器の排気孔に接続される管
と、前記管の開口部に接着材にて接着される封止蓋とを
備えることを特徴とする真空封止具。
【請求項２１】前記管と前記封止蓋は、いずれも金属
からなる請求項２０に記載の真空封止具。
【請求項２２】前記管は、前記接着材が配されるフラ
ンジ部と、該フランジ部を介して、互いに大きさの異な
る、前記排気手段に接続される開口部及び前記排気孔に
接続される開口部とを有する請求項２０に記載の真空封
止具。
【請求項２３】前記フランジ部は、前記接着材が配さ
れる溝を有する請求項２２に記載の真空封止具。
【請求項２４】前記フランジ部及び前記封止蓋の双方
の接着面は、同じ曲率の曲面を有する請求項２２に記載
の真空封止具。
【請求項２５】真空に維持・密閉されている真空密閉
容器であって、前記容器の排気孔には、管と前記管に接
着材にて接着されている封土蓋とが備えられていること
を特徴とする真空密閉容器。
【請求項２６】前記管と前記封止蓋は、いずれも金属
からなる請求項２５に記載の真空密閉容器。
【請求項２７】前記管は、フランジ部を介して、互い
に大きさの異なる、前記排気孔に接続された開口部と大
気中に解放された開口部とを有し、前記フランジ部には
接着材にて前記封止蓋が接着されている請求項２５に記
載の真空密閉容器。
【請求項２８】前記フランジ部は、前記接着材が配さ
れた溝を有する請求項２５に記載の真空密閉容器。
【請求項２９】前記フランジ部及び前記封止蓋の双方
の接着面は、同じ曲率の曲面を有する請求項２５に記載
の真空密閉容器。
【請求項３０】請求項２５乃至２９のいずれかに記載
された真空密閉容器において、前記容器内部には、複数
の電子放出素子と該電子放出素子からの電子が照射され
る蛍光体とを備える画像表示装置であることを特徴とす
る真空密閉容器。
【請求項３１】請求項２５〜２９のいずれかに記載さ
れた真空密閉容器において、前記容器が、少なくとも一
面に蛍光表示面を有し、これと対面する容器内の位置
に、該蛍光表示面へ電子を照射する複数の電子放出素子
が配置されているフラットパネルディスプレイであるこ
とを特徴とする真空密閉容器。