JP2000011870A

JP2000011870A - 露光装置

Info

Publication number: JP2000011870A
Application number: JP10177249A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Nakazawa; 雅博中澤; Kiyoshi Aoki; 潔青木; Yoshito Matsuura; 義人松浦
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1998-06-24
Filing date: 1998-06-24
Publication date: 2000-01-14

Abstract

(57)【要約】【課題】カラー受像管の特にブラックマトリックスホ
ールまたは、蛍光体ドットの形状を良好にする事が出来
る露光装置を提供する。【解決手段】直管状水銀ランプ１２の冷却水の流路を
構成する上部筐体１６ａに光透過窓９を設ける。上部筐
体１６ａは、上部筐体駆動機構１７ａによって光の透過
方向における位置（図における上下方向）を変更可能に
する。一方、直管状水銀ランプ１２の取り付けられた下
部筐体１６ｂも下部筐体駆動機構１７ｂによってその位
置を変更可能にする。露光の際には、制御部からの指示
に従って、上部筐体駆動機構１７ａおよび下部筐体駆動
機構１７ｂが作動することで、光透過窓９と、直管状水
銀ランプ１２とを互いに反対向きに移動させる。光透過
窓の移動量Ａを、直管状水銀ランプ１２の移動量Ｂの１
倍以上、５倍以下にすれば、パネルの全域におけるブラ
ックマトリックスホールの形状が改善される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、露光装置、特に、
カラー受像管の蛍光面形成に用いられてブラックマトリ
ックスホールまたは、蛍光体ドットの形状を良好にする
事が出来る露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、蛍光面をパネル内面に形成す
る際に、シャドーマスクをパターンとした写真印刷の技
術が用いられている。これは、偏向された電子ビームの
経路と偏向中心に置かれた光源からの光の経路とがほぼ
同じであることを利用したものである。実際の蛍光面の
製造においては、先ず、フェースパネル（以下「パネ
ル」という）の内側面に光を感光して硬化する蛍光体懸
濁液を塗布し、乾燥後シャドーマスクを装着し、偏向中
心に光源部（ランプハウス）を置いて蛍光体懸濁液から
なる感光剤層を露光し、シャドーマスクを外して現像を
する。すると、光源部からシャドーマスクの円形状開孔
を介して光が照射された部分のみに蛍光体が残る。この
工程を各色の蛍光体について行うことによって、カラー
受像管の蛍光面が完成する。また、パネル内側面に光吸
収層であるブラックマトリックス層を形成する場合に
は、蛍光面の形成の前に形成する。

【０００３】ところで、蛍光面の形成の際の露光は、図
７に示した露光装置によって以下のようにして行われ
る。光源部８の直管状水銀ランプ１２から放射された光
Ｌは、マスキングプレート１０のスリット１１を通過
し、補正フィルタ７、補正レンズ６などの光学系及び、
シャドーマスク３の円形状開孔４を通過しパネル１の内
側面に塗布された感光剤層２に照射される。

【０００４】尚、上記補正レンズ６は、光源部８から放
射される光Ｌの軌道を電子ビームの軌道に近似させるた
めのものである。また、補正フィルタ７は、感光剤層２
に照射される光Ｌの光量分布を補正するためのものであ
る。

【０００５】また、その光源部８は、図８に示すよう
に、光透過窓９が設けられた液密構造の筐体に直管状水
銀ランプ１２が配置され、この直管状水銀ランプ１２の
点灯時の発熱を、流入口１８ａ及び流出口１８ｂを通じ
て光源部８内を流れる水によって冷却する水冷方式とな
っている。そして直管状水銀ランプ１２からの放射光を
この直管状水銀ランプ１２を覆うマスキングプレート１
０で規制し、その放射光はマスキングプレート１０のス
リット１１及び、光透過窓９を介して支持台に位置決め
支持されたパネル１方向に放射する構造になっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、カラー受像管
のシャドーマスク３に照射される光Ｌの形状は、図９に
示すとおり、シャドーマスク３上での位置によって異な
る。すなわち、中央では図９（ａ）に示した形状（図
中、符号１４ａを付した）となり、Ｙ軸端では図９
（ｂ）に示す形状（図中、符号１４ｂを付した）とな
り、Ｘ軸端では図９（ｃ）に示す形状（図中、符号１４
ｃを付した）となり、また、対角部では図９（ｄ）に示
す形状（図中、符号１４ｄを付した）となる。そして、
これに起因して、感光剤層２上における、実際に光Ｌが
照射される部分（光被照射部、以下「スポット」と呼
ぶ）Ｓの形状も、パネル１上における位置によってそれ
ぞれ異なる。

【０００７】スポットＳの形状を円形とするために、光
源部８を円形軌道Ｅに沿って公転させてはいるものの、
完成したブラックマトリックスホールの形状は、図１０
に示すとおり、やはりその位置によって異なっていた。
すなわち、完成したブラックマトリックスホールの形状
は、図１０に示すように、対角部では対角方向につぶ
れ、対角軸方向を短径とし、直交する方向を長径とする
楕円形状に歪んだ形状になっていた。パネル１の中央、
Ｙ軸端及び、Ｘ軸端各点のブラックマトリックスホール
の形状はほぼ真円に形成される。

【０００８】通常、３色蛍光体層に対する電子ビームの
ランディング余裕は、ブラックマトリックスホールまた
は、蛍光体ドットの長径で制約される。従って、対角部
領域におけるブラックマトリックスホールが楕円形であ
ると、ブラックマトリックスホールが真円の場合に比べ
て発光面積が小さくなり、蛍光面全域にわたり均一な輝
度が得られなくなったりあるいは色純度の劣化を招く。

【０００９】このような問題を解決するためにこれまで
様々な手法が提案されている。例えば特開平３―２３６
１３９号公報には、カムにより光源部をカラー受像管の
管軸方向に揺動する露光装置を用いて蛍光体ホールを変
形させる技術が開示されている。

【００１０】また、特開平９―２６５９０９号公報に
は、直管状水銀ランプと光源部の光透過窓との間に介在
する水層の厚さを変化させながら照射する露光装置を用
いた手段が示されている。

【００１１】図１１（ａ）は光源部８の位置をカラー受
像管の管軸方向に変化させた場合における光Ｌの軌道の
変化の概略を示すものである。光源部８より発せられた
光Ｌは、シャドーマスク３の円形状開孔４を通過しパネ
ル１の内側面に塗布された感光剤層２に到達する。この
図において、ΔＺ３は光源部８の駆動方向であり、ΔＬ
ｐ１は、光源部８をΔＺ３だけ移動させた場合におけ
る、感光剤層２に照射される光ＬのスポットＳの変位方
向である。図１１（ｂ）は前記の時、パネル１の各部分
におけるスポットＳの位置の変位方向ΔＬｐ２を示して
いる。この図からわかるように、光源部８をパネル１に
近づけると、スポットＳは外側に移動する。

【００１２】図１２（ａ）は直管状水銀ランプ１２と光
源部８の光透過窓９との間に介在する水層の厚さを変化
させた時の光Ｌの軌道の変化の概略を示すものである。
この図において、ΔＬｐ３はスポットＳの変位方向であ
る。光源部８から発せられた光Ｌは、シャドーマスク３
の円形状開孔４を通過しパネル１の感光剤層２に到達す
る。また、図１２（ｂ）は、水層の厚さの変化に伴って
生じるスポットＳの変位を示す図である。この図におい
て、ΔＬｐ４は、スポットＳの変位方向である。図中、
点線で描いた軌道（図１２（ａ））及びスポット（図１
２（ｂ））は水層が厚い場合、実線で描いた軌道（図１
２（ａ））及びスポット（図１２（ｂ））は水層が薄い
場合のものである。この図からわかるように、この水層
の厚さによって、シャドーマスク３の円形状開孔４を通
じて感光剤層２に照射される光Ｌの角度が変化する。水
層が薄いときは、シャドーマスク３側から見た見掛け上
の直管状水銀ランプ１２ａの位置は、直管状水銀ランプ
１２に近い位置となり、水層の厚さが厚いときは、見掛
け上の直管状水銀ランプ１２ｂの位置は、直管状水銀ラ
ンプ１２から離れた位置となる。

【００１３】図１１及び図１２からわかるように、上記
従来技術においては、ブラックマトリックスホールの形
状が、パネル１の対角部では真円となるものの、Ｘ軸端
部では横長、Ｙ軸端部では縦長となってしまう。つま
り、対角部のブラックマトリックスホールの形状を最適
化するために、そのほかの領域（Ｘ軸端部、Ｙ軸端部）
でのブラックマトリックスホールの形状を悪化させてし
まう。

【００１４】このように、従来の技術では、カラー受像
管のブラックマトリックスホールの形状は、蛍光面全域
で均一な形状が得られないため、蛍光面全域にわたり均
一な輝度が得られなくなったり、あるいは色純度の劣化
を招くという問題がある。

【００１５】本発明はこのような問題を解消するために
なされたもので、カラー受像管の蛍光面全域で均一なブ
ラックマトリックスホールの形状を得ることのできる露
光装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたものであり、開孔を備えたマスクを
介して露光対象物に発光デバイスの発する光を照射する
露光装置において、前記発光デバイスの発する光が前記
露光対象物に至る経路上に配置されるとともに、光の透
過方向における位置が変更可能に構成された光学デバイ
スと、前記光学デバイスを透過する光の透過方向におけ
る位置を変更する光学デバイス位置変更手段と、前記発
光デバイスを支持するとともにその位置を変更する発光
位置変更手段と、前記光学デバイス位置変更手段および
前記発光位置変更手段を制御する制御手段とを備え、前
記制御手段は、前記光学デバイス位置変更手段及び前記
発光位置変更手段によって、前記光学デバイスと前記発
光デバイスとを所定の範囲内において互いに反対向きに
移動させることを特徴とする露光装置が提供される。

【００１７】前記制御手段は、露光中、前記光学デバイ
スと前記発光デバイスとを互いに反対向きに移動させつ
つ往復運動を行わせることが好ましい。

【００１８】前記光学デバイスと前記発光デバイスとの
間に、前記発光デバイスを冷却する冷却流体が流される
流路を、前記光学デバイスとともに構成する流路構成部
材を有してもよい。この場合、前記冷却流体が水である
場合において、前記光学デバイスの移動量は、前記発光
デバイスの移動量の１倍以上、５倍以下であることが好
ましい。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を用い
て説明する。

【００２０】実施の形態１．本実施の形態１の露光装置
は、後述する直管状水銀ランプ１２の上に形成される冷
却水の層の厚さおよび直管状水銀ランプ１２の位置を調
整することで、パネル１の全領域においてブラックマト
リックスホールの形状を改善したことを主な特徴とする
ものである。以下、詳細に説明する。

【００２１】まず本実施の形態１の露光装置の概要を図
１を用いて説明する。

【００２２】この露光装置は、その装置底部には光源部
８が、一方、装置最上部にはパネル１を位置決め支持す
る支持台５が設置されている。そして、両者の間には、
補正フィルタ７、補正レンズ６が配置されている。

【００２３】光源部８の発する光Ｌは、補正フィルタ７
によって光量分布を補正され、さらに、補正レンズ６に
よってその軌道をカラー受像管の電子銃から放出される
電子ビームの軌道に近似させられる。そのうえで、この
光Ｌは、シャドーマスク３を通じてパネル１の感光剤層
２に照射される。シャドーマスク３には、微細な円形開
口が多数形成されているため、感光剤層２の上にはこの
円形開口に対応して多数のスポットが形成されることに
なる（図７参照）。そして、最終的にはこのスポット部
分がブラックマトリックスホールとなる。この露光は、
制御部２１による指示に従って行われる。

【００２４】本実施の形態は光源部８、制御部２１等に
主な特徴を有するものである。従って、これ以降は、こ
の特徴点を中心に説明を行うことにする。

【００２５】光源部８の詳細を図２を用いて説明する。

【００２６】図２は光源部８の斜視図であり、図３は断
面図である。光源部８は、露光に用いられる光を発生す
るためのものであり、直管状水銀ランプ１２と、この直
管状水銀ランプ１２の発する光を規制するスリット１１
の設けられたマスキングプレート１０とを備えている。
また、この光源部８は、直管状水銀ランプ１２等を囲ん
で配置された、互いに別体に構成された上部筐体１６ａ
と下部筐体１６ｂとを備えている。

【００２７】下部筐体１６ｂには、前述した直管状水銀
ランプ１２およびマスキングプレート１０が設置されて
いる。一方、上部筐体１６ａは、下部筐体１６ｂの上方
に配置されており、パネル１と対向する面にはガラス等
で構成された光透過窓９が設けられている。直管状水銀
ランプ１２の発する光のうちこの光透過窓９を通過した
光Ｌがパネル１へ照射される。上部筐体１６ａと下部筐
体１６ｂとの間には空間が確保されており、この空間を
直管状水銀ランプ１２の点灯時の発熱を冷却するための
冷却水が流通させられるようになっている。この冷却水
は、下部筐体１６ｂに設けられた流入口１８ａを通じて
この空間内に流入し、その後、同様に下部筐体１６ｂに
設けられた流出口１８ｂを通じて出て行くようになって
いる。

【００２８】上部筐体１６ａと下部筐体１６ｂとは、互
いに固定されておらず、それぞれがパネル１に対して垂
直な方向（図２、図３における上下方向）に移動可能に
構成されている。露光時、上部筐体１６ａ及び下部筐体
１６ｂはそれぞれ、後述する上部筐体駆動機構１７ａお
よび下部筐体駆動機構１７ｂによって上下方向に移動さ
れるようになっている。また、これに伴ってこの冷却水
の流される空間の大きさ（厚さ）も変動する構成となっ
ている。なお、上部筐体１６ａと下部筐体１６ｂとは、
パッキン１９を介して液密に組み合わされているため、
両者の接合部から冷却水が漏れることはない。

【００２９】上部筐体駆動機構１７ａは上部筐体１６ａ
を上下方向に、また、下部筐体駆動機構１７ｂは下部筐
体１６ｂを上下方向に移動させるものである。本実施の
形態においては、露光中、制御部２１からの指示の下、
上部筐体１６ａおよび下部筐体１６ｂを、所定の範囲内
において繰り返し往復させている。特に、この往復動
は、上部筐体１６ａの移動の向きと下部筐体１６ｂの移
動の向きとが互いに反対向きにされている。つまり、上
部筐体１６ａが上方に移動させられているときには、下
部筐体１６ｂは下方に移動させられ、逆に上部筐体１６
ａが下方に移動させられているときには下部筐体１６ｂ
は上方に移動させられるようになっている。

【００３０】さらに、本実施の形態においては、後述す
るとおり、上部筐体駆動機構１７ａによる上部筐体１６
ａの移動量（可動範囲）Ａと、下部筐体駆動機構１７ｂ
による下部筐体１６ｂの移動量Ｂ（可動範囲）とは、１
≦（Ａ／Ｂ）≦５の関係に設定されている。実際の比
（Ａ／Ｂ）は、適用されるカラー受像管の偏向角度や光
源部の構造などによって異なるが、本実施の形態では、
１７インチ９０°の受像管の場合には、上部筐体１６ａ
の移動量Ａ＝２．６ｍｍ、下部筐体１６ｂの移動量Ｂ＝
１．０ｍｍとしている。

【００３１】制御部２１は、この露光装置全体を制御す
るものであり、メモリ２２と、プロセッサ２３と、各部
を駆動する駆動回路２４等とによって構成されている。

【００３２】プロセッサ２３は、メモリ２２に格納され
た制御プログラム、演算などを実行することで様々な機
能を実現している。特に本実施の形態の露光装置では、
露光中、上部筐体駆動機構１７ａおよび下部筐体駆動機
構１７ｂを駆動させることで、上部筐体１６ａおよび下
部筐体１６ｂを互いに反対向きに往復動させる機能を備
えている。また、シャッタ１３をオン／オフする機能を
備えている。

【００３３】メモリ２２には、制御プログラムの他に各
種制御に際して必要となる様々なデータ等が予め格納さ
れている。本実施の形態においては、上部筐体駆動機構
１７ａ、下部筐体駆動機構１７ｂ等の制御データ、例え
ば、駆動速度、駆動範囲（移動量Ａ、Ｂ）等が格納され
ている。

【００３４】特許請求の範囲において言う「発光デバイ
ス」とは本実施の形態においては直管状水銀ランプ１２
に相当する。「露光対象物」とはパネル１に相当する。
「光学デバイス」とは光透過窓９に相当する。「冷却流
体」とは冷却水に相当する。「流路」とは、上部筐体１
６ａと下部筐体１６ｂとの間に確保された冷却水の流さ
れる空間部に相当する。「流路構成部材」とは、上部筐
体１６ａ、下部筐体１６ｂに相当する。「光学デバイス
位置変更手段」とは上部筐体駆動機構１７ａに相当す
る。「発光位置変更手段」とは、光源部８の下部筐体１
６ｂ、下部筐体駆動機構１７ｂ等によって実現されてい
る。「制御手段」とは制御部２１に相当する。「所定の
範囲」とは、移動量Ａ，Ｂに相当する。

【００３５】次に、この露光装置による露光動作及びそ
の作用を説明する。

【００３６】図４は、光源部８による光Ｌの屈折を表し
た図である。θ１は直管状水銀ランプ１２から放射され
た光Ｌが冷却水中から光透過窓９に入射する角度（入射
角）であり、θ２は光透過窓９に入射した際の屈折角度
である。θ３は光が光透過窓９から出射する角度（出射
角）である。

【００３７】図５は上部筐体１６ａを移動させたときの
光Ｌの屈折状況を表した図である。

【００３８】露光に際しては、内側面に感光剤層２が形
成されたパネル１をあらかじめ支持台５に支持してお
く。また、直管状水銀ランプ１２は、当初、このパネル
１が組み込まれる受像管における電子ビームの偏向中心
に位置させる。この位置調整は、制御部２１が下部筐体
駆動機構１７ｂを作動させることで行う。

【００３９】この状態において、制御部２１は、光源部
８の直管状水銀ランプ１２を発光させるとともに、それ
まで閉じていたシャッタ１３を開く。すると、直管状水
銀ランプ１２の発した光は、マスキングプレート１０の
スリット１１で規制されたうえで、光源部８内の冷却水
中を通過し、さらに、光透過窓９を通って光Ｌとして光
源部８外に放射される。そして、この光源部８外に放射
された光Ｌは、更に、補正フィルタ７、補正レンズ６及
びシャドーマスク３を通過し、その後、パネル１の感光
剤層２に入射する。

【００４０】この時、制御部２１は、上部筐体駆動機構
１７ａによって上部筐体１６ａをパネル１方向にあらか
じめ定められた移動量（可動範囲）Ａの範囲内で繰り返
し往復移動させている。また、下部筐体駆動機構１７ｂ
によって下部筐体１６ｂを、あらかじめ定められた移動
量（可動範囲）Ｂの範囲内でだけ繰り返し往復移動をさ
せている。この場合、上部筐体１６ａと下部筐体１６ｂ
とはその移動の向きが常に反対向きである。すなわち、
上部筐体１６ａがパネル１に近づいているとき、下部筐
体１６ｂはパネル１から遠ざかってゆき、逆に上部筐体
１６ａがパネル１から遠ざかっているときには、下部筐
体１６ｂはパネル１に近づく方向に移動する。既に述べ
たとおり、移動量Ａ，Ｂの大きさの比は、１≦（Ａ／
Ｂ）≦５の関係が成立するように設定している。このよ
うに設定することで、パネル１上におけるＸ軸端および
Ｙ軸端でのスポットを移動させることなく、対角部での
スポットだけを移動させることができる。

【００４１】ここで、直管状水銀ランプ１２から放射さ
れた光Ｌが光源部８内を通過するとき、光Ｌは、スネル
の法則により図４に実線で描いたとおり屈折する。ここ
で冷却水の屈折率をｎ１、光透過窓９の屈折率をｎ２、
空気の屈折率をｎ３、光Ｌの光透過窓９への入射角（法
線に対する角度）をθ１、屈折角をθ２、光透過窓９か
らの出射角（法線に対する角度）をθ３とすると、下記
式（１）が成立する。

【００４２】ｎ１＊ｓｉｎθ１＝ｎ２＊ｓｉｎθ２＝ｎ３＊ｓｉｎθ３・・・（１）但し、ｎ２＞ｎ１＞ｎ３、θ２＜θ１＜θ３

【００４３】従って、θ１が臨界角以下であれば、入射
光と出射光との間に破線で示すずれが生じる。これは、
光源部８の位置が光透過窓９の法線方向すなわち、光源
部８とパネル１の中心とを結ぶ中心軸上をパネル１に近
づく方向に浮き上がったことと同じになる。

【００４４】上部筐体１６ａが移動すると、図５に示す
ようにそれまでΔＺ１であった浮き上がり量はΔＺ２へ
と増大するため、ΔＺ（＝ΔＺ２−ΔＺ１）だけ更に浮
き上がったことになる。また、この浮き上がり量ΔＺ
は、光透過窓９への入射角によっても異なる。つまり、
パネル１の中心からの距離の関係から、入射角θ１は、
Ｘ軸端およびＹ軸端に照射されている光についての値よ
りも、対角部に照射されている光についての値の方が大
きい。従って、光源部８の浮き上がり量ΔＺは、Ｘ軸端
およびＹ軸端についてよりも、対角部についての方が大
きい。そして、これに対応して、感光剤層２に照射され
る光ＬのスポットＳの位置の変位量も、Ｘ軸端およびＹ
軸端よりも、対角部の方が大きい。このため、下部筐体
１６ｂの移動量Ｂとして、Ｘ軸端およびＹ軸端での浮き
上がり量ΔＺすなわちＸ軸端およびＹ軸端でのスポット
の位置変位を相殺できるような値を設定してやれば、図
６のごとく、露光中、実質的には対角部でだけ、光Ｌす
なわちパネル１上におけるスポットＳの位置が変化する
ことになる。このようにして、Ｘ軸端およびＹ軸のブラ
ックマトリックスホールの形状を変えることなく、対角
部のブラックマトリックスホールの形状を改善できる。

【００４５】上述した説明では、露光中、上部筐体１６
ａおよび下部筐体１６ｂを往復動させ続けていた。しか
し、上部筐体１６ａおよび下部筐体１６ｂの位置を所定
位置に変更し停止させた状態で、露光を複数回に分けて
行ってもよい。但し、この場合の位置の変更量は、上述
した例と同様、１≦（Ａ／Ｂ）≦５の関係に従って設定
する必要がある。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば露光
対象物の被露光面の全域において、光の照射される被照
射部（スポット）がマスクの開孔に応じた均一な形状と
なる。これを受像管の蛍光面の形成に適用した場合に
は、フェースパネルのＸ軸端及びＹ軸端部のブラックマ
トリックスホールの形状を損なうことなく、対角部にお
けるブラックマトリックスホールの形状を円形に近づけ
ることができる。従って、この対角部でのブラックマト
リックスホールが楕円形であることが原因となって生ず
る蛍光面全域の輝度の均一性、色純度の劣化等を防止で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１における露光装置の概
要を示す模式図である。

【図２】本発明の実施の形態１における光源部の構成
を示す斜視図である。

【図３】本発明の実施の形態１における光源部の構成
を示す断面図である。

【図４】光透過窓を通過する光の屈折の様子を示す図
である。

【図５】光透過窓とパネルとの位置関係に応じた光の
軌道および光源の浮き上がり量の違いを示す図である。

【図６】実施の形態１においてパネルの各領域におけ
るスポットの形状を示す模式図である。

【図７】従来装置における露光の概要を示す模式図で
ある。

【図８】従来装置の光源部の構成を示す平面図であ
る。

【図９】シャドーマスクに光を照射する直管状水銀ラ
ンプより放射される光の形状を表す図であり、（ａ）は
中央、（ｂ）はＹ軸端、（ｃ）はＸ軸端、（ｄ）は対角
軸端より見た図である。

【図１０】従来の露光光源装置により露光した場合に
生ずるブラックマトリックスの形成パターンの図であ
る。

【図１１】従来技術における現象を表した図であり、
（ａ）は光源部の位置を管軸方向に変化させた時の光の
軌道の変化を示す説明図、（ｂ）は上記の時にパネル内
側面に照射する光の位置の変位を示す説明図である。

【図１２】従来技術における現象を表した図であり、
（ａ）は光透過窓をパネル方向に移動させ、水層の厚さ
を厚くしたときの光の軌道の変化を示す説明図、（ｂ）
は上記の時にパネル内側面に照射する光の位置の変位を
示す説明図である。

【符号の説明】

１パネル、２感光剤層、３シャドーマスク、
４円形状開孔、５支持台、６補正レンズ、
７補正フィルタ、８光源部、９光透過窓、
１０マスキングプレート、１１スリット、１２
直管状水銀ランプ、１３シャッタ、１４光源
形状、１６ａ上部筐体、１６ｂ下部筐体、１７
ａ上部筐体駆動機構、１７ｂ下部筐体駆動機構、
１８ａ流入口、１８ｂ流出口、１９パッキ
ン、Ｓスポット、Ｌ光。

フロントページの続き (72)発明者松浦義人東京都千代田区大手町二丁目６番２号三菱電機エンジニアリング株式会社内Ｆターム(参考） 2H097 AA04 AA16 CA02 CA12 EA01 LA11 5C028 GG01 GG04 GG06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】開孔を備えたマスクを介して露光対象物
に発光デバイスの発する光を照射する露光装置におい
て、前記発光デバイスの発する光が前記露光対象物に至る経
路上に配置されるとともに、光の透過方向における位置
が変更可能に構成された光学デバイスと、前記光学デバイスを透過する光の透過方向における位置
を変更する光学デバイス位置変更手段と、前記発光デバイスを支持するとともにその位置を変更す
る発光位置変更手段と、前記光学デバイス位置変更手段および前記発光位置変更
手段を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記光学デバイス位置変更手段及び前
記発光位置変更手段によって、前記光学デバイスと前記
発光デバイスとを所定の範囲内において互いに反対向き
に移動させることを特徴とする露光装置。
【請求項２】前記制御手段は、露光中、前記光学デバ
イスと前記発光デバイスとを互いに反対向きに移動させ
つつ往復運動を行わせることを特徴とする請求項１記載
の露光装置。
【請求項３】前記光学デバイスと前記発光デバイスと
の間に、前記発光デバイスを冷却する冷却流体が流され
る流路を、前記光学デバイスとともに構成する流路構成
部材を有することを特徴とする請求項１または２記載の
露光装置。
【請求項４】前記冷却流体が水である場合において、前記光学デバイスの移動量は、前記発光デバイスの移動
量の１倍以上、５倍以下であることを特徴とする請求項
３記載の露光装置。