JP2000009799A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2000009799A JP10173205A JP17320598A JP2000009799A JP 2000009799 A JP2000009799 A JP 2000009799A JP 10173205 A JP10173205 A JP 10173205A JP 17320598 A JP17320598 A JP 17320598A JP 2000009799 A JP2000009799 A JP 2000009799A
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    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/3185Reconfiguring for testing, e.g. LSSD, partitioning
    • G01R31/318533Reconfiguring for testing, e.g. LSSD, partitioning using scanning techniques, e.g. LSSD, Boundary Scan, JTAG
    • G01R31/318555Control logic

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は、構成の小型化及び/又は被テス
ト装置に応じてテストに有効な拡張データを供給できる
テストデータレジスタを備えた半導体装置を提供するこ
とを課題とする。 【解決手段】 この発明は、ID-CodeレジスタとBypass
レジスタの2種のレジスタを省き、これらの機能をBoun
dary-Scan レジスタ2に統括し、さらにレジスタ2のデ
ータ切り替えを行う回路4から固定的又はプログラムさ
れた拡張データを供給するように構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、バウンダリスキャ
ンテスト(Boundary-Scan-Test)回路を備えた半導体装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】Boundary-Scan-Test回路は半導体装置の
ボードテスト容易化を目的とした回路である。図7にBo
undary-Scan-Test回路を使用したボード設計の構成を示
す。図7において、ボード101に搭載された各ICチ
ップ102の入出力セル(Boundary-Scan-Cell (BSC) )
103にテスト用回路を内蔵させ、これらを1本の長い
直列パスとして連結する。さらにこれらのチップ102
の入出力を直列に連結すると、1本の長い直列パスが形
成される。このパスをテストデータの通り道(Scan-Pat
h)として利用することによって、エッジコネクタ(Scan
-IN (スキャン入力), Scan-OUT(スキャン出力))か
らチップ102のアクセスが可能となりボード101の
配線テスト等ができる。このようなBoundary-Scan-Test
回路によりテストプローブが立て難い高密度実装基板で
も配線のショート、オープン等のテストが可能となる。
【0003】図8にBoundary-Scan-Test回路の全体構成
のブロックを示す。図8において、Boundary-Scan-Test
回路を実現するための最小構成は、TAPコントローラ
104、スキャン可能な命令レジスタ105、スキャン
可能なテストデータレジスタ106である。Boundary-S
can-Test回路の全体制御はTAPコントローラ104に
よって行なわれる。テストデータレジスタ106は複数
のテスト用レジスタの総称であるが、これらのうち、1
種類が命令レジスタ105にロードされた命令によって
選択されるようになっている。JTAG (Joint Test
Action Group)準拠のテストデータレジスタは、バウン
ダリスキャン (Boundary-Scan)レジスタ107、ID-C
ode (コード)レジスタ108、バイパス(Bypass)レ
ジスタ109の3種である。
【0004】Boundary-Scan レジスタ107は、図9に
示すように複数のBS回路110がシリアルに接続され
て構成され、JTAG規定の命令であるSample命令等を
実現するため外部ピンに対応したシリアルシフト機能を
有するシフトレジスタである。図9に示すBS回路11
0の構成を図10に示す。図10において、BS回路1
10は、パッド(PAD)111から与えられるデータ
(PI)又はスキャン入力されるデータ(SI)を選択
信号(SFDR)に基づいて選択するマルチプレクサ
(MUX)112と、マルチプレクサ112により選択
されたデータをクロック(CKDR)に同期して保持す
るレジスタ(REG)113を備えて構成される。この
ようなBS回路110はパッド111からのデータを取
り込む必要があるので、基本的にはパッド数分が必要と
なる。
【0005】ID-Code レジスタ108は、図11に示す
ように複数のID回路114がシリアルに接続されて構
成され、チップの識別情報(IDコード)を電気的に読
み出す機能を有する。そのIDコードの具体的な内容
は、Address, Depth, I/O-Width, Interface等である。
ID回路114の構成を図12に示す。図12におい
て、ID回路114は、ハイレベル(電源)又はロウレ
ベル(グラウンド)で表されるIDコードのデータ(C
I)又はスキャン入力されるデータ(SI)を選択信号
(SFDR)に基づいて選択するマルチプレクサ(MU
X)115と、マルチプレクサ115により選択された
データをクロック(CKDR)に同期して保持するレジ
スタ(REG)116を備えて構成される。例えば32
ビットのID-Code レジスタを構成する場合はこのID回
路114が32個必要となる。
【0006】Bypassレジスタ109は、テストデータレ
ジスタをバイパスさせる機能のために設けられたレジス
タであり、回路的には図13に示すように、選択信号
(SFDR)とスキャン入力(SI)を受ける否定論理
積ゲート117と、この否定論理積ゲート117の出力
を受けてクロック(CKDR)に同期して保持するレジ
スタ(REG)109を備えた1ビットのレジスタであ
る。
【0007】JTAG準拠のBoundary-Scan-Test回路を
設計する場合は、これら3種のテストデータレジスタを
準備しなければならず、図14に示すようにテストデー
タレジスタ106は大量のレジスタを必要とすることに
なる。
【0008】このようなテストデータレジスタを備えた
Boundary-Scan-Test回路を搭載したLSIの欠点の1つ
に面積ペナルティが挙げられる。これは本来の機能を備
えたLSIチップ本体にさらにテスト用の回路としてBo
undary-Scan-Test回路を設ける分だけ余分なレイアウト
面積を必要とするからである。その中でも特に図14に
示すテストデータレジスタは大量のレジスタを必要とす
るため面積ペナルティの大きな要因となっていた。
【0009】そこで、特開平7−104035号公報に
開示されているように、バウンダリスキャンレジスタと
IDコードレジスタを兼用してバイパスレジスタと切り
替えるようにした技術がなされ、また、特開平7−15
1829号公報あるいは特開平8−136619号公報
に開示されているように、バウンダリスキャンレジスタ
とIDコードレジスタを兼用した技術がなされ、テスト
データレジスタの縮小化を図っている。
【0010】一方、近年ASIC以外の半導体装置にお
いてもテストの容易化が求められており、例えば半導体
記憶装置においてもBoundary-Scan-Test回路を搭載して
テストの容易化を図ることが望まれている。しかしなが
ら、上記従来のBoundary-Scan-Test回路は、主にASI
C等の半導体装置に搭載されることを前提としていたた
め、テストデータレジスタにおいて、固定的あるいはハ
ード的にプログラム(例えばヒューズ等の選択的な溶
断)されて取り扱われるデータはIDコードデータであ
った。このため、例えば半導体記憶装置にBoundary-Sca
n-Test回路を搭載した場合に、固定的あるいはハード的
にプログラムされて取り扱われるデータがIDコード情
報だけでは不十分であり、半導体記憶装置をテストする
際に有効となる半導体記憶装置に特有な情報を供給でき
ることが切望されていた。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のBoundary-Scan-Test回路におけるテストデータレ
ジスタにおいては、大量のレジスタを必要としていたた
め専有面積の縮小化が求められていた。また、従来のBo
undary-Scan-Test回路のテストデータレジスタにおいて
は、固定的又はプログラムされて取り扱われる情報がI
Dコードデータであったため、機能の異なる様々な半導
体装置をテストする際にそれぞれの装置のテストに有益
な情報を十分に供給することができないといった不具合
を招いていた。
【0012】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、構成の小型化
及び/又は被テスト半導体装置に応じてテストに有効な
拡張データを供給できるテストデータレジスタを備えた
半導体装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の発明は、複数のバウンダリスキャン
(Boundary Scan)セルがシリアルに接続されて与えら
れたデータが前記バウンダリスキャンセルをシリアルに
シフトされるバウンダリスキャンレジスタを含むバウン
ダリスキャンテスト(Boundary Scan Test)回路を備え
た半導体装置において、前記バウンダリスキャンレジス
タのバウンダリスキャンセルの内、2段目以降の1段又
はシリアルに接続された複数の前記バウンダリスキャン
セルは、外部端子から与えられる第1のデータと、前記
半導体装置の識別情報となるIDコードデータの第2の
データと、ユーザ外が必要とする情報をコード化した第
3のデータと、スキャン入力端子から与えられるデータ
の第4のデータを受けて、命令をデコードして得られる
選択信号に基づいて前記第1のデータ、前記第2のデー
タ、前記第3のデータ又は前記第4のデータを択一的に
選択して入力するバウンダリスキャンセルからなり、前
記バウンダリスキャンレジスタの最終段のバウンダリス
キャンセルの出力と、前記2段目以降の1又はシリアル
に接続された複数のバウンダリスキャンセルの最終段の
バウンダリスキャンセルの出力を受けて、命令をデコー
ドして得られる選択信号に基づいて両出力のいずれか一
方の出力を選択出力する第1のマルチプレクサと、前記
第1のマルチプレクサの出力と、前記バウンダリスキャ
ンレジスタの初段のバウンダリスキャンセルの出力を受
けて、両出力のいずれか一方の出力を命令をデコードし
て得られる選択信号に基づいて選択出力する第2のマル
チプレクサとを有することを特徴とする。
【0014】請求項2記載の発明は、複数のバウンダリ
スキャン(Boundary Scan)セルがシリアルに接続され
て与えられたデータが前記バウンダリスキャンセルをシ
リアルにシフトされるバウンダリスキャンレジスタを含
むバウンダリスキャンテスト(Boundary Scan Test)回
路を備えた半導体装置において、前記バウンダリスキャ
ンレジスタのバウンダリスキャンセルの内、1段又はシ
リアルに接続された複数の前記バウンダリスキャンセル
は、外部端子から与えられる第1のデータと、前記半導
体装置の識別情報となるIDコードデータの第2のデー
タと、ユーザ外が必要とする情報をコード化した第3の
データと、スキャン入力端子から与えられるデータの第
4のデータを受けて、命令をデコードして得られる選択
信号に基づいて前記第1のデータ、前記第2のデータ、
前記第3のデータ又は前記第4のデータを択一的に選択
して入力するバウンダリスキャンセルからなり、前記バ
ウンダリスキャンレジスタの最終段のバウンダリスキャ
ンセルの出力と、前記1段又はシリアルに接続された複
数のバウンダリスキャンセルの最終段のバウンダリスキ
ャンセルの出力を受けて、命令をデコードして得られる
選択信号に基づいて両出力のいずれか一方の出力を選択
出力するマルチプレクサを有することを特徴とする。
【0015】請求項3記載の発明は、複数のバウンダリ
スキャン(Boundary Scan)セルがシリアルに接続され
て与えられたデータが前記バウンダリスキャンセルをシ
リアルにシフトされるバウンダリスキャンレジスタを含
むバウンダリスキャンテスト(Boundary Scan Test)回
路を備えた半導体装置において、前記バウンダリスキャ
ンレジスタの初段のバウンダリスキャンセルの出力と、
前記バウンダリスキャンレジスタの最終段のバウンダリ
スキャンセルの出力を受けて、命令をデコードして得ら
れる選択信号に基づいて両出力の一方の出力を選択出力
するマルチプレクサを有することを特徴とする。
【0016】請求項4記載の発明は、請求項1又は2記
載の半導体装置において、前記半導体装置は半導体記憶
装置からなり、前記第3のデータは、前記半導体記憶装
置の予備エレメントに関するリダンダンシ情報、設計マ
スクセット情報、設計バージョン管理情報、ウェハのロ
ットナンバー又は製造工場番号からなることを特徴とす
る。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いてこの発明の一
実施形態を説明する。
【0018】図1は請求項1又は4記載の発明の一実施
形態に係る半導体装置におけるBoundary-Scan-Test回路
おけるテストデータレジスタの構成を示す図である。
【0019】図1において、この実施形態のBoundary-S
can-Test回路おけるテストデータレジスタ1は、図2に
示すように半導体記憶装置の例えば周辺回路の一部領域
に搭載するようにしたものであり、従来、別個に必要と
していたID-CodeレジスタとBypass レジスタの2種のレ
ジスタを省き、これらの機能をBoundary-Scan レジスタ
2に統括したことを1つの特徴とするものである。な
お、この実施形態ではBoundary-Scan-Test回路おけるテ
ストデータレジスタを半導体記憶装置に搭載するように
したが、これに限ることはなく、ASIC等の他の様々
な機能を有する半導体装置に適用することができる。
【0020】このID-Codeレジスタ機能及びBypassレジ
スタ機能を有するBoundary-Scanレジスタ2の構成を図
3に示す。図3において、Boundary-Scan レジスタ2
は、図10に示すと同様に構成されてBypassレジスタと
して機能する初段のBS回路3と、この実施形態の他の
特徴である拡張データを出力する2〜4段目のA回路4
と、5段目以降の複数のBS回路3がシリアルに接続さ
れてなり、命令デコード信号から生成されたBS/ID
切り替え信号に基づいてA回路4の最終段となる4段目
のA回路4の出力又はBoundary-Scan レジスタ2の最終
段のBS回路3の出力を選択出力するマルチプレクサ
(MUX)5と、命令デコード信号から生成されたBP
/ID/BP切り替え信号に基づいてマルチプレクサ5
の出力又はBoundary-Scan レジスタ2の初段のBS回路
3の出力を選択出力するマルチプレクサ(MUX)6を
備えて構成される。なお、A回路4は図3に示す接続に
限ることはなく、A回路は1又は複数シリアルに接続さ
れて初段以降のいずれかのBS回路3に接続されてもよ
い。
【0021】A回路4は図4に示すように構成される。
図4において、A回路4は、命令デコード信号から生成
されたレジスタ切り替え信号に基づいてパッド7から与
えられるデータ(PI)、電源レベル又はグラウンドレ
ベルとして固定的もしくはハード的にプログラム(例え
ばヒューズ等の選択的な溶断)されて与えられるIDコ
ードデータ(CI)、固定的又はハード的にプログラム
されて与えられるスペア回路の使用の有無、ヒューズの
使用、リダンダンシアドレス等の記憶装置における予備
エレメントのリダンダンシ情報等の設計側(ユーザ外)
に必要なデータとなる拡張データを択一的に選択出力す
るマルチプレクサ(MUX)8と、選択信号(SFD
R)に基づいてマルチプレクサ8の出力あるいはスキャ
ン入力(SI)を選択出力するマルチプレクサ(MU
X)9と、クロック(CKDR)に同期してマルチプレ
クサ9の出力を保持するレジスタ(REG)10を備え
て構成される。なお、拡張データは、予備エレメントの
リダンダンシ情報の他に、設計マスクセット情報、設計
バージョン管理情報、ウェハのロットナンバー、製造工
場番号であってもよい。
【0022】このような構成において、Boundary-Scan
レジスタ2は、Boundary-Scanレジスタとして機能させ
る場合には、初段のBS回路3に与えられたデータが2
段目以降のA回路4ならびにBS回路3を介してスキャ
ンされ、あるいはパッド7からそれぞれのBS回路3又
はA回路4に与えられたデータがA回路4ならびにBS
回路3を介してスキャンされマルチプレクサ5及びマル
チプレクサ6により選択されて出力される。Bypassレジ
スタとして機能させる場合には、初段のBS回路3に与
えられたデータがマルチプレクサ6により選択されて出
力される。ID-Code レジスタとして機能させる場合に
は、シリアルに接続された最終段のA回路4の出力がマ
ルチプレクサ5及びマルチプレクサ6により選択されて
出力される。また、拡張データを選択する場合には、そ
れぞれのA回路4のマルチプレクサ8ならびにマルチプ
レクサ9により拡張データが選択され、それぞれのA回
路4から出力された拡張データは5段目以降のBS回路
3を介してスキャンされ、マルチプレクサ5ならびにマ
ルチプレクサ6により選択されて出力される。
【0023】このような実施形態においては、従来のよ
うにID-Code レジスタ、Bypassレジスタをわざわざ別個
に備える必要がなくなり、Boundary-Scan-Test回路のテ
ストデータレジスタを構成する素子数を大幅に減らすこ
とができる。その結果、Boundary-Scan-Test回路を搭載
する場合の懸念事項であった面積ペナルティを抑えるこ
とが可能となる。さらに、拡張データとして、記憶装置
のリダンダンシ情報等を出力できるので、記憶装置のテ
ストに必要な情報を外部から与えることなくBoundary-S
can-Test回路のテストデータレジスタから与えることが
可能となり、記憶装置のテストに有益なデータが提供で
き、記憶装置のテストの容易化を図ることができる。
【0024】図5は請求項2又は4記載の発明の一実施
形態に係る半導体装置におけるBoundary-Scan-Test回路
おけるテストデータレジスタの構成を示す図である。
【0025】図5に示す実施形態の特徴とするところ
は、図3に示す構成に比べて、図3に示す初段のBS回
路3に代えてA回路4を設け、さらにマルチプレクサ6
を削除してID-Codeレジスタの機能をBoundary-Scan レ
ジスタ2に統括するようにしたことにある。このような
実施形態においては、図3に示す実施形態で得られる効
果に比べてバイパスレジスタの機能を除く効果を得るこ
とができる。
【0026】図6は請求項3又は4記載の発明の一実施
形態に係る半導体装置におけるBoundary-Scan-Test回路
おけるテストデータレジスタの構成を示す図である。
【0027】図6に示す実施形態の特徴とするところ
は、図3に示す複数のBS回路3をシリアルに接続し、
命令をデコードして得られるBS/BP切り替え信号に
基づいてマルチプレクサ11により初段のBS回路3の
出力又は最終段のBS回路3の出力を選択出力してBoun
dary-Scan レジスタ2を構成し、初段のBS回路3をBy
passレジスタとして機能させ、Bypassレジスタの機能を
Boundary-Scan レジスタ2に統括するようにしたことに
ある。このような実施形態においては、従来のようにBy
passレジスタをわざわざ別個に備える必要がなくなり、
Boundary-Scan-Test回路のテストデータレジスタを構成
する素子数を減らすことができる。その結果、Boundary
-Scan-Test回路を搭載する場合の懸念事項であった面積
ペナルティを抑えることが可能となる。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来のようにID-Codeレジスタ、Bypassレジスタをわざ
わざ別個に備える必要がなくなり、Boundary-Scan-Test
回路のテストデータレジスタを構成する素子数を削減
することが可能となり、Boundary-Scan-Test回路を搭載
する場合の懸念事項であった面積ペナルティを抑えるこ
とが可能となる。また、機能の異なる様々な半導体装置
をテストする際にそれぞれの装置のテストに有益な拡張
データを供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1又は4記載の発明の一実施形態に係る
半導体装置におけるBoundary-Scan-Test回路おけるテス
トデータレジスタの構成を示す図である。
【図2】テストデータレジスタを備えた半導体記憶装置
の構成を示す図である。
【図3】Boundary-Scan レジスタの構成を示す図であ
る。
【図4】図3に示すA回路の構成を示す図である。
【図5】請求項2又は4記載の発明の一実施形態に係る
半導体装置におけるBoundary-Scanレジスタの構成を示
す図である。
【図6】請求項3又は4記載の発明の一実施形態に係る
半導体装置におけるBoundary-Scanレジスタの構成を示
す図である。
【図7】従来のBoundary-Scan-Test回路を使用したボー
ド設計の構成を示す図である。
【図8】従来のBoundary-Scan-Test回路の全体回路の構
成を示す図である。
【図9】従来のBoundary-Scanレジスタの構成を示す図
である。
【図10】図9に示すBS回路の構成を示す図である。
【図11】従来のID-Codeレジスタの構成を示す図であ
る。
【図12】図11に示すID回路の構成を示す図であ
る。
【図13】従来のBypassレジスタの構成を示す図であ
る。
【図14】従来のテストデータレジスタの構成を示す図
である。
【符号の説明】
1 テストデータレジスタ 2 Boundary-Scanレジスタ 3 BS回路 4 A回路 5,6,8,9,11 マルチプレクサ 7 パッド 10 レジスタ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のバウンダリスキャン(Boundary
    Scan)セルがシリアルに接続されて与えられたデータが
    前記バウンダリスキャンセルをシリアルにシフトされる
    バウンダリスキャンレジスタを含むバウンダリスキャン
    テスト(Boundary Scan Test )回路を備えた半導体装
    置において、 前記バウンダリスキャンレジスタのバウンダリスキャン
    セルの内、2段目以降の1段又はシリアルに接続された
    複数の前記バウンダリスキャンセルは、外部端子から与
    えられる第1のデータと、前記半導体装置の識別情報と
    なるIDコードデータの第2のデータと、ユーザ外が必
    要とする情報をコード化した第3のデータと、スキャン
    入力端子から与えられるデータの第4のデータを受け
    て、命令をデコードして得られる選択信号に基づいて前
    記第1のデータ、前記第2のデータ、前記第3のデータ
    又は前記第4のデータを択一的に選択して入力するバウ
    ンダリスキャンセルからなり、 前記バウンダリスキャンレジスタの最終段のバウンダリ
    スキャンセルの出力と、前記2段目以降の1又はシリア
    ルに接続された複数のバウンダリスキャンセルの最終段
    のバウンダリスキャンセルの出力を受けて、命令をデコ
    ードして得られる選択信号に基づいて両出力のいずれか
    一方の出力を選択出力する第1のマルチプレクサと、 前記第1のマルチプレクサの出力と、前記バウンダリス
    キャンレジスタの初段のバウンダリスキャンセルの出力
    を受けて、両出力のいずれか一方の出力を命令をデコー
    ドして得られる選択信号に基づいて選択出力する第2の
    マルチプレクサとを有することを特徴とする半導体装
    置。
  2. 【請求項2】 複数のバウンダリスキャン(Boundary
    Scan)セルがシリアルに接続されて与えられたデータが
    前記バウンダリスキャンセルをシリアルにシフトされる
    バウンダリスキャンレジスタを含むバウンダリスキャン
    テスト(Boundary Scan Test )回路を備えた半導体装
    置において、 前記バウンダリスキャンレジスタのバウンダリスキャン
    セルの内、1段又はシリアルに接続された複数の前記バ
    ウンダリスキャンセルは、外部端子から与えられる第1
    のデータと、前記半導体装置の識別情報となるIDコー
    ドデータの第2のデータと、ユーザ外が必要とする情報
    をコード化した第3のデータと、スキャン入力端子から
    与えられるデータの第4のデータを受けて、命令をデコ
    ードして得られる選択信号に基づいて前記第1のデー
    タ、前記第2のデータ、前記第3のデータ又は前記第4
    のデータを択一的に選択して入力するバウンダリスキャ
    ンセルからなり、 前記バウンダリスキャンレジスタの最終段のバウンダリ
    スキャンセルの出力と、前記1段又はシリアルに接続さ
    れた複数のバウンダリスキャンセルの最終段のバウンダ
    リスキャンセルの出力を受けて、命令をデコードして得
    られる選択信号に基づいて両出力のいずれか一方の出力
    を選択出力するマルチプレクサを有することを特徴とす
    る半導体装置。
  3. 【請求項3】 複数のバウンダリスキャン(Boundary
    Scan)セルがシリアルに接続されて与えられたデータが
    前記バウンダリスキャンセルをシリアルにシフトされる
    バウンダリスキャンレジスタを含むバウンダリスキャン
    テスト(Boundary Scan Test )回路を備えた半導体装
    置において、 前記バウンダリスキャンレジスタの初段のバウンダリス
    キャンセルの出力と、前記バウンダリスキャンレジスタ
    の最終段のバウンダリスキャンセルの出力を受けて、命
    令をデコードして得られる選択信号に基づいて両出力の
    一方の出力を選択出力するマルチプレクサを有すること
    を特徴とする半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記半導体装置は半導体記憶装置からな
    り、 前記第3のデータは、前記半導体記憶装置の予備エレメ
    ントに関するリダンダンシ情報、設計マスクセット情
    報、設計バージョン管理情報、ウェハのロットナンバー
    又は製造工場番号からなることを特徴とする請求項1又
    は2記載の半導体装置。
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