JP2000009551A - 高温目視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＬＣＤパネル等の目視検査装置の製造工程の
短縮、コスト低減、検査能率の向上、検査精度の向上等
を図る。 【解決手段】 送風機１４、加熱器１５、空気吹出口１
６、吸入口１７、扉１９等を備えた門型の恒温ブース
１、衝立状裏板２１に間隔を置いてワークＷを取り付け
られる棚２及び上板３１の下に駆動部を持つ駆動装置３
の一体化された２組の検査ユニット等を備え、恒温ブー
ス１と２組の検査ユニットとを組み合わせてワークＷを
駆動しつつ外部から目視検査する。 【効果】 恒温ブース１と駆動装置３とが別体になって
いるので、別個に製造でき工程が短縮され工程の合理化
によってコストが安くなる。改造も容易になる。空気循
環が良好になり検査精度が良くなり検査能率も向上す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、恒温槽で加熱した
空気を吹き出して棚に上下方向に複数段に且つ各段毎に
幅方向に複数列に立て掛けられた複数枚の平板状の被試
験物を加熱すると共に駆動手段で動作状態にして外部か
ら目視検査する高温目視検査装置に関し、特に大画面で
高精細なＬＣＤパネルのバーンインや画質比較評価等の
目視検査に最適な高温目視検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤパネル等のワークのバーンインを
含む試験を行う高温目視検査装置としては、従来、ＬＣ
Ｄモジュールを多段且つ多列に搭載したラックをエージ
ング架台と称されている透視性のある室内に入れ、その
側方に恒温槽を一体形成し、恒温槽の中に冷凍機、加熱
ヒータ、エージング電源、ＬＣＤモジュールの駆動装置
等を配設し、加熱又は冷却された空気を恒温槽からエー
ジング架台に送って循環させるようにした装置が提案さ
れている（特開平５ー２１８１５８号公報参照）。又、
電源及び駆動装置をエージング架台の外に設けた従来型
の他の装置も同公報に記載されている。

【０００３】しかしながら、このような装置では、ＬＣ
Ｄモジュールの駆動装置が恒温槽内に設けられているた
め、高温環境に曝されて回路の故障等が多くなること、
回路部品の温度ディレーティングを大きくすると装置が
高価になること、ビデオ信号発生器やドライバー基板等
を恒温槽の外部に出すと配線長さが長くなり、今後益々
高速化する信号の伝達に不利であること、ＬＣＤモジュ
ールの駆動方式等の技術開発に伴う新製品の検査に対応
すべく検査装置を改造する必要がある場合に、恒温槽と
駆動装置とが一体形成されていて改造に不便で、改造の
工事期間が長くなり費用も高くなること、通常の製造工
程においても、恒温槽の製造と駆動装置の組み付けや配
線工事とを順番にシリーズに行わなければならないた
め、工期が長くなって製造費も高くなること、エージン
グ架台と恒温槽とが横に並んで配置されているため、エ
ージング架台における空気の循環経路が長くなると共に
空気が円滑に循環しにくいこと、最下段のＬＣＤモジュ
ールが床面位置になり、装置を高い架台上に載せないと
目視検査をしにくいこと、等の諸問題がある。

【０００４】なお、電子電気機器のエージング装置とし
て、断熱用板体の上下にワークとその駆動部とを分離
し、ワークを恒温槽の中に入れて板体を搬送させるよう
にした装置が提案されている（特開昭６２−２０４１７
３号公報参照）。しかしながら、この装置では、ワーク
が積み重ねられていて目視検査できるようになっていな
い。又、積層支持されたワークを通過させて熱風を循環
させているが、独立の通気路が設けられていて、ワーク
の試験スペースの大きさに対して恒温槽が大型化してい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に於
ける上記問題を解決し、被試験物を駆動する駆動装置が
故障せず、信号伝達時間が短く、製造工程が短縮され、
コストが低減され、空気循環経路が短く且つ循環性が良
く、そして能率良く被試験物を目視検査できる高温目視
検査装置を提供することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、請求項１の発明は恒温槽で加熱した空気を
吹き出して棚に上下方向に複数段に且つ各段毎に幅方向
に複数列に立て掛けられた複数枚の平板状の被試験物を
加熱すると共に駆動手段で動作状態にして外部から目視
検査する高温目視検査装置において、前記恒温槽は、門
型に形成されていて、空調部であって送風機と加熱器と
下方に空気を吹き出すように開口し前記空調部における
前記外部の側に設けられた送気口と空気を上方に吸い込
むように開口し前記送気口より内側に設けられた吸気口
とを備え前記門型の前記幅方向に延設された空調部と、
該空調部の両側を支持する支持体とを有し、前記駆動手
段は前記恒温槽と分離されていて該恒温槽と組み合わせ
られたときに前記空調部と対向するように下方に設けら
れた仕切体を有し該仕切体の下方に配設されていて、前
記棚は前記空調部と前記仕切体との間で前記駆動手段と
一体的に形成されている、ことを特徴とする。

【０００７】請求項２の発明は、上記に加えて、前記棚
は前記被試験物が立て掛けられたときに前記内側に前記
被試験物と間隔を持って配置された裏板を有することを
特徴とする。

【０００８】請求項３の発明は、上記に加えて、前記駆
動手段と前記棚との結合体は第１組及び第２組の２組か
ら成り前記裏板が対向するように前記２組が組み合わせ
られたときに前記仕切体及び前記裏板が前記空調部と対
向し、前記送風機は前記幅方向に複数台設けられそれぞ
れの送風機の吸入口と吐出口とは順次交互に且つ相互に
反対の組を成す前記吸気口の部分及び前記送気口に導通
していることを特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明を適用した
高温目視検査装置の全体構造の一例を示し、図３乃至図
５はそれぞれ組み合わせられた状態の検査ユニット、送
風機部分及びワーク受けの構造例を示す。高温目視検査
装置は、恒温槽である恒温ブース１で加熱した空気を吹
き出して棚２に上下方向に複数段として例えば３段に且
つ各段毎に幅方向であるＸ方向に複数列として例えば４
列に立て掛けられた複数枚として例えば１２枚の平板状
の被試験物として本例では液晶表示器（ＬＣＤパネル）
から成るワークＷを駆動手段である駆動装置３で動作状
態にして外部から目視検査する装置である。

【００１０】恒温ブース１は図示のように門型の幅方向
であるＸ方向に延設された空調部１１とその両側を支持
する支持体である側壁１２を基本構造として形成されて
いる。側壁１２の一方側にはタッチパネル式の操作部１
３ａが設けられた操作動力盤１３が取り付けられてい
る。空調部１１は、送風機１４、加熱器１５、下方に空
気を吹き出すように開口し外部の側である恒温ブース１
の前後方向であるＹ方向のワーク側の端に設けられた送
気口１６、空気を上方に吸い込むように開口し送気口１
６より内側に設けられた吸気口１７等を備えている。符
号１８は送風機１４の駆動モータである。

【００１１】駆動装置３は、恒温ブース１と分離されて
いて、両者が組み合わせられたときにその空調部１１と
対向するように下方に設けられた仕切体としての上板３
１を有し、その下方に配設されている。上板３１は底板
３２上で側板３３で支持されている。駆動装置３の内部
は蓋３４で覆われている。又、底板３２の下方に装着さ
れたキャスター３２ａで移動可能になっている。駆動装
置３の駆動部としては、本例では、交流電源が供給され
る整流器等から成る直流電源装置３５、ワークＷへの画
像信号を発生させるビデオ信号発生器３６、画像信号の
分配、増幅、印加電圧の制御等を行うドライバー基板３
７、検査条件のプログラム設定と制御を行うＣＰＵ３８
等が設けられる。交流電源は恒温ブース１又は外部から
独立に供給される。

【００１２】この場合、交流電源や信号を恒温ブース１
から駆動装置３に供給するときには、それぞれに共に導
体から成る複数の突条形のバスバーと摺動接触子とを組
み合わせ可能なように取り付ける。これにより、図２に
示すように後述する検査ユニットＵを移動させて恒温ブ
ース１と組み合わると、バネ等で付勢されている摺動接
触子がバスバーと摺動しつつ圧接し、自動的に電気的接
続が得られる。従って、本例のような高温目視検査装置
によれば、電源供給等のための特別な操作が不要になる
利点も生ずる。

【００１３】棚２は、空調部１１と仕切板３１との間で
仕切板３１に取り付けられ駆動装置３と一体的に形成さ
れている。本例ではワークＷが立て掛けられたときに間
隔ｄを持ってＹ方向にワークＷより内側に配置された衝
立状の裏板２１を有する。上記間隔は上端で最小間隔ｄ
ｍになっている。この間隔は、後述するように空気循環
が良好になるように適当に定められる。なお、裏板２１
を設けず棚２を枠組み構造にすることも可能である。そ
の場合にも、後述するようにワークＷが循環空気のガイ
ド作用をする。

【００１４】裏板２１の上端は上仕切板２１ａになって
いる。裏板２１を設ける場合には、この裏板の表面部分
と上板３１とが空調部１１の下方になって空調部と対向
する形になる。又、棚には側板２３が設けら裏板２１は
側板２３と結合されていて、次に述べるように棚及び駆
動装置の２組が合わせられるとこれらによって空間Ｓを
形成する。そして本例では、上記駆動装置３の駆動部の
信号をそれぞれのワークＷに分割して伝達するためのバ
ッファー基板やインターフェース基板は、図示を省略し
ているが空間Ｓにおいて裏板２１に装着されている。

【００１５】更に本例では、裏板２１が対向するように
駆動装置３と棚２との結合体である検査ユニットＵが第
１組Ｕ₁ と第２組Ｕ₂ とから成る２組組み合わせられた
ときに、仕切板３１及び裏板２１の２組と空調部１１と
が対向するように形成されている。そして、図４にも示
す如く、送風機１４はＸ方向に複数台として本例では４
台設けられ、それぞれの送風機１４₁ 〜１４₄ の吸入口
１４ａ₁ 〜１４ａ₄ と吐出口１４ｂ₁ 〜１４ｂ₄ とは、
交互に、且つ相互に反対の組を成す吸気口１７の部分及
び送気口１６に導通している。

【００１６】即ち、送風機１４は、検査ユニットＵ₁ と
Ｕ₂ との合わせ面でもある恒温ブース１のＹ方向の中心
Ｃから交互に距離ｓだけ離れた位置に吸入口１４ａの中
心線Ｃ´を持つように配置されていて、Ｘ方向の最初の
送風機１４₁ の吐出口１４ｂ₁ 及び吸入口１４ａ₁ はそ
れぞれ送気口１６₂ 及び主として吸気口１７₁ に接続
し、次の送風機１４₂ の吐出口１４ｂ₂ 及び吸入口１４
ａ₂ はそれぞれ送気口１６₁ 及び主として吸気口１７₂
に接続し、Ｘ方向に順次このように配置され接続されて
いる。符号１４ｃ₁ 〜１４ｃ₄ は二点鎖線で示す送気ダ
クトである。送気口１６は整流格子として形成されてい
て、均一的に空気を吹き出されるようになっている。

【００１７】恒温ブース１には、試験時に恒温ブース１
と検査ユニットＵとで形成するワークＷの試験室Ｒを例
えば４０℃〜８０℃程度の高温環境に維持するためにＹ
方向の両側にガラス等の透明部材から成る扉１９を備え
ている。扉１９は、本例では引戸１９ａ及び吊り戸１９
ｂとして示されてれる。引戸又は吊り戸では、その下端
側は駆動装置３の上板３１の端部分に乗って支持され
る。なお、このような扉に代えて、開き戸や鎧戸等の他
の種類の扉や、捲き出し／巻取り式の透明な耐熱性のあ
るビニールシート等を用いるようにしてもよい。なお、
図２では扉の図示は省略されている。

【００１８】棚２には図５に示すようなワークＷ装着用
のワーク受け２２が装着される。ワーク受け２２は、側
板２２ａ、これに形成された上下の爪２２ｂ、両側の側
板間に長穴２２ｃで高さ調整可能に取り付けられるワー
ク立て掛け用のバー２２ｄ、ワーク載せ台２２ｅ、補強
兼受け板２２ｆ等で形成されていて、裏板２１と結合さ
れ外面側に図示しない差し込み用の多数の穴を備えた側
板２３（図２、３）の穴に爪２２ｂを差し込むことによ
って容易に棚に取り付けられる。従って、ワーク受けの
段数や位置は任意に調整可能になっている。

【００１９】検査ユニットＵ₁ とＵ₂ とが結合される
と、それぞれの上記枠板２３及び裏板２１の上仕切板２
１ａとが接続し、前述の如く高温環境から仕切られた空
間Ｓが形成される。この空間Ｓ内及び上板３１の高温環
境に接する部分は断熱される。又、本例では駆動装置３
の上板３１が一部切り欠かれていて空間Ｓと導通し、高
温環境からの侵入熱や内部の駆動機器からの発熱等は図
示しない換気装置によって適当に排出される。

【００２０】以上のような高温目視検査装置は次のよう
に運転される。検査ユニットＵ₁ 、Ｕ₂ の全てのワーク
受け２２に検査すべきワークＷを搭載し、裏板２１が対
向しそれぞれのワーク面が外側に向くように両ユニット
をドッキングさせた状態で一定位置に配置されている恒
温ブース１の側壁１２内に入れ、そのＹ方向の両面の扉
１９を閉めて内部を閉鎖し、試験室Ｒを形成させる。こ
の状態で恒温ブース１を作動させる。即ち、加熱器１５
をオンにして送風機１４を運転し、送気口１６から試験
室Ｒに高温空気を吹き出し、下方の上板３１部分からＵ
ターンさせてワークＷの側面及び裏面側を通過させ、吸
気口１７から送風機１４に吸入し、再び加熱して吹き出
し、加熱空気を循環させる。又、通常この時点で駆動装
置３の諸機器を作動させ、ワークＷに所定の表示をさせ
る。

【００２１】試験室Ｒ内には、加熱空気をＵターンさせ
て循環させるダクトやガイドは設けられていないが、本
発明のように上から吹き出し上に吸い込む構造にすれ
ば、目視検査装置用としてのワークの配置された向きと
の関係により、ワーク自体が空気循環のガイド的作用を
なし、良好な空気循環系が形成される。即ち、図１
（ｂ）及び図５の矢印で空気の流れ状態を示す如く、外
部の扉側に沿って下方に向いて吹き出される空気は、ワ
ークＷの表面側で案内されて確実に下方に流れ、下方で
駆動装置３の上板３１で行き止まりになって反転し、最
下段のワーク表面及びワークＷの間隔部からワークＷの
裏面側に入り、主として裏板２１に沿って上昇し、ワー
クの裏面側で案内されることによって吹き出し側空気と
衝突することなく良好に流れ、吸入口１７に至って吸入
される。

【００２２】なお、最下段のワークＷを上板３１から少
し上の位置にして、最下段ワークの下からもその裏面側
に空気が入るようにしてもよい。又、最上段のワークＷ
は、検査時の視点位置が高くなるときには、垂直又は他
のワークとは少し逆傾斜の配置になる可能性もあり得る
が、最上段のワーク位置は吹出口１６に近いため吹き出
し空気の直進性がある程度維持されているので、そのよ
うなワークの配置も問題にならない。

【００２３】このような空気循環系を構成すれば、従来
技術の装置のように横方向に空気循環させる装置に較べ
て、前記の如くワークがガイド的作用をなして乱れの少
ない循環系を形成できること、上部配置の空調部１１と
駆動装置上板３１との間にワークＷを配置するので、送
風距離が短いために仕切がなくても空気を循環させやす
いと共に、ワークが人の目視容易な高さ範囲になって目
視検査の能率が上がること、更に同じワーク加熱熱量、
従って同じ風量に対して送風抵抗が少なくなって送風機
の動力の節約にもなること、等の多くの利点がある。

【００２４】又、本例では検査ユニットＵ₁ とＵ₂ とを
設け、送風機１４が交互にユニット１、２間における吸
入−吐出方向を換えているので、両ユニット間の温度を
均一化し、ワーク温度の精度を良くして検査精度を向上
させることができる。更に、加熱空気が循環され試験室
Ｒが例えば８０℃程度の所定の試験温度になると、ワー
クＷもそれに伴って温度上昇する。この場合、ワークＷ
が加熱空気をガイドするので、その表裏両面に加熱空気
が十分に当たり、その昇温速度が速くなる。とができ
る。

【００２５】ワークＷが所定の温度になると、一定時間
この状態を継続してワークをバーンインした後、検査ユ
ニットＵの外部から既に表示状態になっているワークを
目視検査する。この場合、検査ユニットＵがワークＷの
駆動に必要な機能を持つ全ての機器を収納しいているの
で、駆動回路からワークＷまでを最短に配線し、信号伝
達速度の高速化を図ることができる。その結果、図６に
示すような液晶パネルの大型化に伴って従来のＳＶＧＡ
からＵＸＧＡまでの画素数の飛躍的増加とこれに対応し
た動作周波数の高速化に対して、本発明が効果的にな
る。又、バッファ基板やインターフェース基板等の駆動
伝達回路も断熱された検査ユニット内に収容され換気冷
却可能であるため、温度ディレーティングが不要で安価
になり、故障も少なくなる。

【００２６】高温条件で所定の目視検査が終了すると、
扉１９を開いて棚２に搭載されているワークＷを入替え
る。あるいは、ワークの入替えに代えて、通常図３に示
すように検査ユニットＵ₁ 、Ｕ₂ を一体として恒温ブー
ス１から引き出すと共に、予めワークを積載して検査可
能状態にされている他の検査ユニットを交代配置するよ
うにしてもよい。この間には、扉１９が開いた状態にな
っていて、検査能率を上げるために送風機１４や加熱器
１５も運転状態に維持されている。しかし本発明によれ
ば、空気の吹き出し／吸入を上下方向にしているので、
吹き出し後の空気の温度が高いことから空気に自然上昇
作用があり、吹き出された空気が上部内側にある吸入口
に吸入され易くなるため、空気をＵターンさせるにもか
かわらず、恒温ブースの開放間口にエアーカーテン効果
を発生させることができる。その結果、内部の高温雰囲
気が維持され易くなり、少ないエネルギーロスの下に検
査能率を上げることができる。

【００２７】以上のような高温目視検査装置によれば、
恒温ブース１と検査ユニットＵとが別体になっているの
で、これらを並列工程で製造することができる。又、別
々の工場での製造も可能である。更に、ワークの駆動機
能を恒温槽から独立した駆動装置に組み込んでいるの
で、動作試験も含めて恒温槽と別々に共に作業性良く行
うことができる。このように種々の製造上の合理化によ
り、高温目視検査装置の製造工期の短縮とコスト低減を
図ることができる。

【００２８】又、例えば将来開発される新技術に基づく
新機種のワークに対応するために駆動機構に改造を加え
る場合に、同様に単独で能率良く作業できるため、迅速
且つ安価に改造することができる。又、駆動部の改造で
はワークに対応できない場合でも、恒温ブースをそのま
ま利用し検査ユニットだけを新替えすることにより、無
駄を省き迅速且つ安価に新機種に対応できる。

【００２９】更に、検査ユニットは単体としても機能を
発揮できるので、複数のワークを同一平面に並べてワー
ク間の画質の差を比較検査するような恒温槽を必要とし
ない場合にも検査ユニットをそのまま利用できる。この
場合、図４又は図７に示すように検査ユニット２台を背
中合わせにしたり横一例に配置することにより、そのよ
うな検査の能率を上げることができる。又、１台だけ使
用することもできる。更に、このような常温検査目的で
製作した検査ユニットを、恒温ブースだけの購入によっ
て高温目視検査装置として使用することもできる。

【００３０】又、本例のようなＬＣＤパネルの検査のみ
ならず、例えばプラズマディスプレイパネル等の他のワ
ークの検査ユニットを製作することにより、多種類のワ
ークの試験が可能である。更に、恒温ブースはコンピュ
ータや電子装置等のバーンインや温度試験用として多目
的に活用できる。

【００３１】なお、以上では検査ユニットＵ₁ 、Ｕ₂ を
恒温ブース１で組み合わせて検査する例を示したが、例
えば図８に示す如く、恒温ブース１の幅を狭くして１基
の検査ユニットＵ₁ 又はＵ₂ だけを検査する場合にも本
発明を適用できる。図８の例では、内側の扉１９ｂが金
属製等の透視性のない材料のものであってもよい。又、
裏板２１を設ける場合に内側の扉１９ｂを省略したり、
両側の扉１９ａ、１９ｂを設ける場合に裏板２１を省略
するような構造を採用することもできる。なお、検査ユ
ニット２組を組み合わせる場合でも、それぞれの検査ユ
ニット用に独立の送風機を設けることも可能である。

【００３２】

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項１の
発明においては、恒温槽を門型に形成し、門型の幅方向
に空調部を延設し、その両側を支持体で支持し、空調部
に送風機と加熱器と下方に吹き出すように外部の側に開
口した送気口と上方に吸い込むように送気口より内側に
開口した吸気口とを設けているので、空気を上から吹き
出し、外部から内側にＵターンさせて上に吸い込む空気
循環系を形成させることができる。

【００３３】この門型の恒温槽は、被試験物を駆動する
駆動装置を備える必要がないので、駆動装置部分とは独
立して製造されるため、製造期間が短く安価であるこ
と、駆動装置部分が技術の進歩等によって変更される場
合でも恒温槽を変更することなく駆動装置だけを容易、
迅速且つ安価に改造できること、多種類の被試験物への
利用が容易であること、等の多くの利点を有する。

【００３４】次に、被試験物を動作状態に駆動する駆動
手段を恒温槽と分離し、組み合わせられたときに恒温槽
の空調部と対向するように下方に仕切体を設け、その下
方に駆動手段を配置しているので、駆動手段を恒温槽の
空調部と上下関係になるように組み合わせられると共
に、空調部からの加熱空気の遮断された常温環境下に置
くことができる。その結果、駆動手段を構成する信号発
生器やドライバー回路等の高温条件に基づく故障を防止
できると共に、回路部品の温度ディレーティングを大き
くする必要がなくなって回路を安価に構成することがで
きる。

【００３５】又、棚を恒温槽の空調部と仕切体との間に
駆動手段と一体的に形成しているので、駆動手段と棚と
を一体として門型の恒温槽の中に入れて恒温槽と組み合
わせ、棚に立て掛けられた被試験物を試験することがで
きる。なお、試験時には門型の恒温槽は通常設けられ透
視性のある前後の扉で閉鎖される。この状態で、被試験
物は棚に立て掛けられているが、目視検査の性格上、被
試験物の外側からの目視面は通常垂直よりも上向きに傾
斜した姿勢になっている。

【００３６】被試験物は棚に上下方向の複数段に且つ幅
方向に複数列に設けられるが、この配置において上下方
向の複数段は空調部と駆動手段との間に形成されるの
で、恒温槽の通常の高さを考慮すれば、被試験物は例え
ば０．５ｍ程度から１．７ｍ程度の高さ範囲に設けられ
るので、目視検査上最も検査能率の良い高さ範囲にな
る。即ち、従来では幅方向端に立設されていた空調部や
駆動手段を本発明では上下に配置し、幅方向寸法を小さ
くすると共に高さ範囲を適当にし、目視検査に便利な構
造にすることができる。なお、処理すべき被試験物の枚
数を多くするときには、従来の装置よりも小さくなって
いる幅方向寸法を広げればよい。

【００３７】又、このように被試験物の配置において、
高さ方向の寸法を適当にして幅方向に展開すれば、空調
部を幅方向に配置する場合や駆動手段を外部配置にする
場合に較べて、駆動手段と被試験物との距離が短縮さ
れ、高速信号の伝達に有利になる。そして、このような
配置により、前記の如く空調部の送気口及び吸気口を下
向きにして下方に吹き出してＵターンさせるときに、幅
方向循環に較べて循環距離を短くすることができる。そ
の結果、同じ容積の試験スペースにおける空気循環を容
易且つ確実にすることができる。又、扉開時におけるエ
アーカーテン効果の発生にも有利になる。更に、上記の
如く被試験物が通常上向きに傾斜配置されるため、下方
に向いた送気時及び上方に向いた吸気時のそれぞれにお
いて、被試験物が空気のガイド板的機能を果たし、この
点からも空気循環が良くなると共に、被試験物の加熱効
果も上げることができる。

【００３８】請求項２の発明においては、棚は被試験物
が立て掛けられたときに内側に間隔を持って配置された
裏板を有するので、裏板によって被試験物の反対側を加
熱スペースから仕切り、温度の下がった良好な環境にす
ることができる。その結果、この部分に駆動手段と被試
験物とを接続させるために必要になる中継機器等を配置
することができる。そしてこの場合、裏板と被試験物と
の間に間隔を設けるので、被試験物の裏側に入った戻り
循環空気を通過させ、空気循環及び被試験物の加熱効果
を良好に維持することができる。

【００３９】請求項３の発明においては、上記の裏板が
対向するように駆動手段と棚との結合体を第１組及び第
２組として２組組み合わせ、そのときの仕切体及び裏板
の２組と空調部とが対向するように構成するので、２組
の検査されるユニットを恒温槽の中に共に検査可能な状
態に設置することができる。そしてこの場合、送風機を
幅方向に複数台設け、吸入口と吐出口とを順次交互に且
つ互いに反対の組の吸気口及び送気口と導通させるの
で、第１組の循環空気と第２組の循環空気とを置換しつ
つ循環させ、２組間の空気温度を均一化して被試験物の
検査精度を上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した高温目視検査装置の全体構造
の一例を示し、（ａ）は正面図で（ｂ）は側面図であ
る。

【図２】上記装置の組み合わせ前の状態を示す斜視図で
ある。

【図３】上記装置の検査ユニットの組み合わせ状態を示
す斜視図である。

【図４】上記装置の恒温ブースの送風機部分の構造を示
す平面図である。

【図５】上記装置のワーク受けの斜視図である。

【図６】上記装置で検査する液晶パネルの大きさと動作
周波数との関係を示す説明図である。

【図７】上記装置の検査ユニットを横一列配置にした状
態を示す斜視図である。

【図８】高温目視検査装置の他の例を示す側面図であ
る。

【符号の説明】

１ 恒温ブース（恒温槽） ２ 棚 ３ 駆動装置（駆動手段） １１ 空調部 １２ 側壁（支持体） １４（１４₁ 〜１４₄ ） 送風機 １４ａ 吸入口 １４ｂ 吐出口 １５ 加熱器 １６ 送気口 １７ 吸気口 ２１ 裏板 ３１ 上板（仕切体） ｄ 間隔 Ｕ 検査ユニット（結合体） Ｕ₁ ／Ｕ₂ 第１組／第２組検査ユニット
（第１組／第２組） Ｗ ワーク（被試験物）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 恒温槽で加熱した空気を吹き出して棚に
   上下方向に複数段に且つ各段毎に幅方向に複数列に立て
   掛けられた複数枚の平板状の被試験物を加熱すると共に
   駆動手段で動作状態にして外部から目視検査する高温目
   視検査装置において、 前記恒温槽は、門型に形成されていて、空調部であって
   送風機と加熱器と下方に空気を吹き出すように開口し前
   記空調部における前記外部の側に設けられた送気口と空
   気を上方に吸い込むように開口し前記送気口より内側に
   設けられた吸気口とを備え前記門型の前記幅方向に延設
   された空調部と、該空調部の両側を支持する支持体とを
   有し、 前記駆動手段は前記恒温槽と分離されていて該恒温槽と
   組み合わせられたときに前記空調部と対向するように下
   方に設けられた仕切体を有し該仕切体の下方に配設され
   ていて、 前記棚は前記空調部と前記仕切体との間で前記駆動手段
   と一体的に形成されている、 ことを特徴とする高温目視検査装置。
2. 【請求項２】 前記棚は前記被試験物が立て掛けられた
   ときに前記内側に前記被試験物と間隔を持って配置され
   た裏板を有することを特徴とする請求項１に記載の高温
   目視検査装置。
3. 【請求項３】 前記駆動手段と前記棚との結合体は第１
   組及び第２組の２組から成り前記裏板が対向するように
   前記２組が組み合わせられたときに前記仕切体及び前記
   裏板が前記空調部と対向し、前記送風機は前記幅方向に
   複数台設けられそれぞれの送風機の吸入口と吐出口とは
   順次交互に且つ相互に反対の組を成す前記吸気口の部分
   及び前記送気口に導通していることを特徴とする請求項
   ２に記載の高温目視検査装置。