ITRM940494A0 - "procedimento e dispositivo per il trattamento chimico per via umida di materiale di silicio". - Google Patents

"procedimento e dispositivo per il trattamento chimico per via umida di materiale di silicio".

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ITRM940494A0
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wet chemical
wet
silicon
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ITRM940494A
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Heinz Herzer
Harald Voit
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Wacker Chemitronic
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    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67023—Apparatus for fluid treatment for general liquid treatment, e.g. etching followed by cleaning
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