IT971664B - Struttura e metodo per la produ zione di strutture ad immagine - Google Patents

Struttura e metodo per la produ zione di strutture ad immagine

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IT971664B
IT971664B IT32644/72A IT3264472A IT971664B IT 971664 B IT971664 B IT 971664B IT 32644/72 A IT32644/72 A IT 32644/72A IT 3264472 A IT3264472 A IT 3264472A IT 971664 B IT971664 B IT 971664B
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Energy Conversion Devices Inc
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/016—Diazonium salts or compounds

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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IT32644/72A 1971-12-08 1972-12-06 Struttura e metodo per la produ zione di strutture ad immagine IT971664B (it)

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