IT1030218B - Dispositivo comprendente isolotti di silicio per la realizzazione di circuiti integrati e procedimento per la sua fabricazione - Google Patents

Dispositivo comprendente isolotti di silicio per la realizzazione di circuiti integrati e procedimento per la sua fabricazione

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IT1030218B
IT1030218B IT67482/75A IT6748275A IT1030218B IT 1030218 B IT1030218 B IT 1030218B IT 67482/75 A IT67482/75 A IT 67482/75A IT 6748275 A IT6748275 A IT 6748275A IT 1030218 B IT1030218 B IT 1030218B
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CN112938894B (zh) * 2021-03-11 2024-06-28 中北大学 一种多层次立体化的mems器件抗冲击防护结构的制备方法

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