HU202987B - Light optical method and apparatus based on transformation of phase information for testing material quality - Google Patents

Abstract

A találmány tárgya fázisinformáció leképzésén alapuló fényoptikai eljárás anyagi minőség vizsgálatára, amelynek során nagy felületi fényességű fénysugárforrás által kibocsátott fénysugárnyalábot megszaggatjuk, az így 5 modulált fénysu-gárnyalábot optikai lencsével a vizsgált anyagra, vagy az anyagba fókuszáljuk. Az arról visszavert, vagy az általa áteresztett fénysugárnyalábot további optikai lencsével fénydetektorra képezzük le, mely 10 elektromos jeleit a modulációs frekvencia kétszeresére állított fázisérzékeny erősítővel mérjük oly módon, hogy a modulálás során 50%-os kitöltésű, négy szögalakú intenzitást hozunk létre, a vizsgált anyagot pedig az 15 optikai tengelyben, az optikai lencséktől meghatározott - azonos - távolságra helyezzük el. A fénysugárnyaláb periodikus optikai úthosszváltozása alapján meghatározzuk a vizsgált anyag minőségi jellemzőit. Az eljárás 20 lényege, hogy nagy felületi fényességű fénysugárforrásként vonal alakú fénysugárforrást, vagy ettől eltérő alakú fénysugárforrás által kibocsátott, optikai módszerekkel vonalforrás alakúra hozott fénysugárnyalábot al- 25 kalmazunk, amelynek intenzitása a fényforrás felületén, vagy optikai szempontból fényforrás-felületnek tekinthető helyen vonal alakú. A vizsgált anyagról visszavert, vagy az általa áteresztett fénysugárnyalábból pedig a direkt és a szórt fénysugárnyalábokat megkülönböztetjük és közülük legalább az egyik fénysugárnyalábot oly módon befolyásoljuk, hogy vonal mentén elhelyezett fénydetektorsoron a szórt fénysugárnyaláb relatív intenzitását megnöveljük. A találmány tárgya továbbá fényoptikai berendezés, célszerűen az ismertetett eljárás foganatosítására. A berendezés úgy van kialakítva, hogy fénysugárforrása (A) vonalmentén sugárzó, vagy vonal alakúra hozott sugárzást kibocsátó fénysugárforrásként van kiképezve, több fénydetektorral rendelkezik, amelyek fénydetektorsorba (E, vannak elhelyezve. Fókuszáló optikai lencséje (B) van, mely meghatározott szélességű fényáteresztő tartománnyal (Bl) rendelkezik. A fényáteresztő tartomány (Bl) két oldalán vagy át nem eresztő területtel rendelkezik, vagy meghatározott szélességű további, csík alakú tartományok (B2) helyezkednek el, amelyek 90“-os fázistoló réteggel fedettek és meghatározott áteresztöképességűek. További optikai lencséje (D) is van, amely szintén rendelkezik meghatározott szélességű, csík alakú tartományokkal (D2). HU 202987 B A leírás terjedelme: 7 oldal, 2 rajz 4 ábra -1-

Description

A találmány tárgya fázisinformáció leképzésén alapuló fényoptikai eljárás és berendezés anyagi minőség vizsgálatára. A megoldás előnyösen alkalmas anyagfolytonossági vizsgálatok elvégzésére, mikroelektronikai technológiai folyamatellenőrzésre.

Ismeretes, ha valamely anyagra, vagy anyagba szaggatott elektron- vagy fénynyalábot irányítunk, akkor az anyagban a szaggatás frekvenciájával azonos frekvenciájú akusztikus jelet mérhetünk. Ez az akusztikus jel a szaggatott nyalábbal keltett, erősen csillapított hőhullámok eredménye. A hőhullámok nemcsak a fent említett akusztikus hullámokat keltik, hanem egyéb fizikai paramétereket is periodikusan megváltoztatnak, igy például periodikusan változik az anyag komplex törésmutatója, tehát abszorpciós és reflexiós együtthatói, fénytörési indexe, stb.: periodikusan változik a vizsgált anyag mérete és a vizsgált gáz, vagy a szilárd, vagy folyadék-halmazállapotú mintát körülvevő gáz nyomása is. E periodikus változások erőssége az anyagi tulajdonságok, mint például hókapacitás, hővezető képesség, abszorpciós együttható, stb. függvénye (A. Rosencwaig: Photoacoustics and Photoacoustic Spectroscopy, Chem. Anal. Vol. 57; Willey, 1980).

Sokféle eljárás ismeretes a hőhullámok közvetlen, vagy közvetett detektálására. Ilyen például a gáz-mikrofon rendszer, amelynél a minta és a környező gáz közötti periodikus hőátadás periodikus nyomásváltozást eredményez, amely mikrofonnal detektálható. Detektálható a minta által emittált infravörös sugárzás periodikus változása is. A mintát körülvevő gáz, vagy folyadék periodikus hőmérséklet-változása a törésmutató periodikus változását eredményezi, ami periodikusan eltéríti a minta felületével párhuzamosan haladó, mérő lézernyalábot.

Szilárd mintához piezoelektromos érzékelőt érintve ismert módon az akusztikus hullámok erősségét mérhetjük. A szilárd minta periodikus területi elmozdulása másik lézernyalábbal interferometrikusan is mérhető. Fókuszált szaggatott elektron-, vagy fénynyaláb lokális, periodikus deformáló hatása másik folyamatosan működő, fókuszált lézernyalábbal mérhető, mert a lokális deformáció ezt a második lézernyalábot periodikusan irányváltoztatásra kényszeríti. A visszavert fényt fotodiódapárra vetítve a periodikus eltéritődés hol egyik, hol pedig a másik fotodiódán növeli, illetve csökkenti a jelet és igy különbségképzéssel és zajszűrés szükségessége esetén fázisérzékeny detektálással a vizsgálandó minta felületének elmozdulása kimérhető (M.A.Olnistead, N.M. Amer, S.Kohn, D.Fournier nad A.C.Boccara; Appl. Phys. A32, 141-154, 1983).

Ismert megoldás például az is, ahol a fókuszált nyaláb optikai tengelyében hengerlencsés nyalábtorzitót alkalmazunk és kvadráns fotodetektort helyeznek el a reflektált nyaláb mentén ott, ahol a nyaláb keresztmetszete éppen kör alakú. A kvadráns fotodetektor szemben lévő elemeinek ósszegjelét, majd az összegjelek különbségét képezik. A periodikus optikai úthossz változás hol egyik fotodetektorpáron növeli és a másikon csökkenti a jelet, hol pedig fordítva. Ebben az esetben a hőhullámmikroszkóp jelét a szaggatás! frekvencia kétszeresére állított fázisérzékeny detektorral mérik.

A modern anyagkutatás és minőségellenőrzés roncsolásmentes, érintésmentes, vákuumot nem igénylő, de esetleg vákuumban is működőképes, mikrométeres felbontású anyagvizsgálati módszereket igényel. Az ismertetett megoldások közül az interferometrikus, illetve a lokális deformációt mérő nyalábeltérítéses módszer alapvetően nehézkes, mivel két lézernyaláb mikrométer, vagy annál is nagyobb pontosságú egymásra fokuszálását követeli meg. A szaggatás! frekvencia kétszeresén dolgozó ismert megoldás esetén problémát okoz az, hogy noha a szaggatási négyszögjel ideális esetben nem tartalmaz első felharmonikust, mégie a valóságban a létező elemek nemlinearitésa miatt ilyen komponens létrejön, ami kiszűrhetetlen (koherens) hamis jelet eredményez.

E probléma megoldását az interferometrikus eljárásnál L.Chen, K.H.Yang and

S.Y.Zhang; Appl. Phys. Lett. 50, 1349-1351, 1987., a koherens hamis jel kiejtését célzó optikai külónbségképzó eljárással valósította meg. Erre a célra dolgozott ki a fázisinformáció leképzésén alapuló - sötéttér vagy fáziskontraszt - megoldást jelen találmány feltalálója is. Ezen ismert megoldások, igy az összes fotoakusztikus, vagy azzal rokon eljárások hátránya a módszer lassúsága. A lassúság oka abban rejlik, hogy a leképzés szkenneléssel, pontonként történik és hogy minden képpont esetén a mérési eredményhez a szaggatási periódusidő többszörösére van szükség a fázisérzékeny detektálás miatt. Az ismert megoldásoknál kör alakú fénysugárforrásra van szükség, ehhez pedig a nagy teljesítményű félvezető lézerek vonalszerű fénysugarait kör alakúvá kell átalakítani, amely átalakítás jelentős teljesítménycsökkenéssel jár.

A találmány célja olyan megoldás létrehozása, amelynek segítségével a mérés gyorsítható és nincs szükség a fénysugarak átalakítására.

Felismertük, hogy a fázisinformáció leképzésén alapuló ismert megoldás esetén az eddig alkalmazott pontonkénti leképzés helyett ennél általánosabb, vonalmenti leképzés alkalmazható. Ez azt jelenti,- hogy nincs szükség a nagyteljesítményű félvezető lézerek fénysugarainak átalakítására, azok átalakítás nélkül, mint vonalsugárzók felhasználhatók. Szükség esetén természetesen pontszerű fényforrás is alkalmazható optikai nyalábtorzítóval együtt, amelyet vonalforrésként

HU 202987 Β a mérendő minta valamely szakaszára képezünk le. A visszavert, vagy az áthaladó fénynyalóbot ennek megfelelően fénydetektorsorral érzékeljük, amely igy a vonalon lévő képpontok párhuzamos kiértékelését teszi lehetővé. Megoldásunk lényege tehát, hogy egy lézer segítségével pontra fókuszált fénynyaláb helyett vonalforrással vonalra is fókuszálhatunk és az ismert optika alkalmas változtatásával, valamint vonal mentén elhelyezett detektorokkal a vonalmenti képpontok párhuzamos és igy lényegesen gyorsabb kiértékelése válik lehetővé.

A találmány tárgya fázisinformáció leképzésén alapuló fényoptikai eljárás anyagi minőség vizsgálatára, amelynek során nagy felületi fényességű fénysugárforrás által kibocsátott fénysugárnyalábot megszaggatjuk és az igy modulált fénysugárnyalábot optikai lencsével a vizsgált anyagra, vagy az anyagba fókuszáljuk. Az arról visszavert, vagy az általa áteresztett fénysugárnyalábot további optikai lencsével fénydetektorra képezzük le, mely elektromos jeleit a modulációs frekvencia kétszeresére állított fázisérzékeny erősítővel mérjük oly módon, hogy a modulálás során 50%-os kitöltésű, négyszög alakú intenzitást hozunk létre, a vizsgált anyagot pedig az optikai tengelyben, az optikai lencséktől meghatározott - azonos - távolságra helyezzük el. A fénysugárnyaláb periodikus optikai úthosszváltozása alapján meghatározzuk a vizsgált anyag minőségi jellemzőit. Az eljárás lényege, hogy nagy felületi fényességű fénysugárforrásként vonal alakú fénysugárforrást, vagy ettől eltérő alakú fénysugárforrás által kibocsátott, optikai módszerekkel vonalforrás alakúra hozott fénysugárnyalábot alkalmazunk, amelynek intenzitása a fényforrás felületén, vagy optikai szempontból fényforrás-felületnek tekinthető helyen vonal alakú. A vizsgált anyagról visszavert, vagy az általa áteresztett fénysugórnyalóbból pedig a direkt és a szórt fénysugárnyalóbokat megkülönböztetjük és közülük legalább az egyik fénysugárnyalábot oly módon befolyásoljuk, hogy vonal mentén elhelyezett fénydetektorsoron a szórt fénysugárnyaláb relatív intenzitását megnöveljük.

Célszerűen az eljárás sorén a direkt és/vagy a szórt fénysugárnyalábok befolyásolását a további optikai lencsével végezzük.

Az eljárás során előnyösen a direkt és a szórt fénysugárnyalábok megkülönböztetését

I = (d + is)² = d² - s² ahol I - a fénydetektoron mért fényintenzitás, d - a direkt fény amplitúdója, s - a szórt fény amplitúdója korong-apertúráknál, i - a komplex egységgyök összefüggés alapján végezzük.

További előnyös megoldás esetén a direkt és/vagy a szórt fénysugárnyalábok be- ⁴ folyásolását oly módon végezzük, hogy a direkt fénysugárnyalábot kitakarjuk és a fénydetektorsoron a fényintenzitás mértékét az

I = s² összefüggés alapján határozzuk meg.

Célszerű lehet továbbá az a megoldás is, ha a direkt és/vagy a szórt fénysugárnyalébok befolyásolását oly módon végezzük, hogy a direkt fénysugárnyalábot c²íl áteresztőképességű rétegen vezetjük keresztül, a szórt fénysugárnyalábon pedig 90“-os fázistolást hajtunk végre és a fénydetektorsoron a fényintenzitás mértékét

I = (cd - s)² = c²d² - 2cds + s² összefüggés alapján határozzuk meg.

A találmány tárgya továbbá fázisinformáció leképzésén alapuló fényoptikai berendezés anyagi minőség vizsgálatára, célszerűen az ismertetett eljárás foganatosítására, amelynek modulátorral rendelkező nagy felületi fényességű fénysugárforrósa, a fénysugárforrás által kibocsátott fénysugárnyaláb útjában fókuszáló optikai lencséje van, amelynek optikai tengelye mentén a fénysugárforrás képének helyén vizsgált anyag van elhelyezve. A vizsgált anyagról, vagy a vizsgált anyagból visszavert, vagy azon áthaladó fénysugárnyaláb útjában további optikai lencse van elhelyezve, a további lencsét követően pedig fénydetektort tartalmaz, amely kimenete a modulációs frekvencia kétszeresére állított fázisérzékeny erősítőn keresztül megjelenítő egységhez csatlakozik. Az optikai lencse és a további optikai lencse a vizsgált anyagtól azonos távolságra, a visszavert, vagy az áthaladó optikai tengely mentén van elhelyezve. A berendezés úgy van kialakítva, hogy fénysugár forrása vonalmentén sugárzó, vagy vonal alakúra hozott sugárzást kibocsátó fénysugárforrásként van kiképezve, több fénydetektorral rendelkezik, amelyek fénydetektorsorba vannak elhelyezve, a fókuszáló optikai lencse meghatározott szélességű apertúrával rendelkezik, amelynek szimmetriatengelye merőleges az optikai tengelyre és párhuzamos a vonal alakúra hozott, vagy vonal alakú fénysugárforrós egyenesével. Az apertúra két oldalán vagy át nem eresztő területtel rendelkezik, vagy meghatározott szélességű csik-apertúrák helyezkednek el, amelyek 90“-os fázistoló réteggel fedettek és meghatározott áteresztőképességűek. A további optikai lencse is rendelkezik meghatározott szélességű csík-apertúrával, amelynek szimmetriatengelye az optikai lencse szimmetriatengelyével azonos tulajdonságú és a csík-apertúra méretei megegyeznek az optikai lencse két, 90°-os fázistoló réteggel fedett csík-apertúrójának méreteivel, ha ilyenek vannak, vagy ha ilyenek nincsenek, akkor a csíkok közötti távolság legalább akkora, mint az optikai lencse apertúrájának szélessége.

HU 202987 Β

A mérendő anyagtól függően alapvetően kétfajta berendezés különböztethető meg, nevezetesen a transzmissziós - áteresztett fénysugaras - üzemmódú, valamint a reflexiós - visszavert fénysugaras - üzemmódú berendezés. Ennek megfelelően az optikai lencsék optikai tengelye egy egyenesbe is eshet, de a vizsgált anyag felületének normálisával azonos szöget is bezárhatnak úgy, hogy az optikai tengelyek a vizsgált anyag felületén, vagy a vizsgált anyag belsejében valamely tükröző síkon metszik egymást és a metszéspontban az adott felületre állított normálist tekintve az optikai tengelyek egymás tükörképei.

A találmány szerinti fázisinformáció leképzésén alapuló fényoptikai berendezés lehetséges, példakénti megoldásait a mellékelt rajzok alapján ismertetjük részletesen, ahol az 1. ábra a transzmissziós üzemmódú berendezés vázlatát, a 2.a., 2.b., 2.c. ábrák pedig a reflexiós üzemmódú berendezés előnyös sematikus vázlatait ábrázolják.

Az 1. ábrán látható transzmissziós üzemmódú berendezésnek M modulátorral rendelkező nagy felületi fényességű, vonal mentén, az optikai tengelyre merőlegesen sugárzó A fénysugárforrása, az A fénysugárforrás által kibocsátott fénysugárnyaláb útjában fókuszáló B optikai lencséje van, amelynek optikai tengelye mentén, az A fénysugárforrás képének helyén C vizsgált anyag van elhelyezve. A C vizsgált anyagon áthaladó fénysugárnyaláb útjában további D optikai lencse van elhelyezve, a további D optikai lencsét követően pedig E fénydetektorsort - célszerűen fotodetektorsort - tartalmaz. Az E fénydetektorsor kimenetei a modulációs frekvencia kétszeresére állított H fázisérzékeny erósitósoron keresztül I megjelenítő egységhez csatlakozik.

A B optikai lencse és a további D optikai lencse a C vizsgált anyagtól azonos távolságra, az optikai tengely mentén van elhelyezve. A B optikai lencse kétféleképpen is kiképezhető.

A B optikai lencse fényáteresztó B1 tartománya (apertúrája) csík alakú, meghatározott szélességű. Az apertúra szimmetriatengelye párhuzamos az A fénysugárforrás vonalával és merőleges az optikai tengelyre. Ez az ún. sötéttér-elrendezés.

A B optikai lencse csík alakú B1 tartománya két oldalán egyforma további csík alakú B2 tartományokkal rendelkezik, amelyek 90°-os fázistoló réteggel fedettek és meghatározott áteresztőképességűek. Ez az elrendezés az ún. fáziskontraszt elrendezés.

A további D optikai lencse az alábbiak szerint van kiképezve. A további D optikai lencse két, az optikai tengelyre szimmetrikusan elhelyezett csík alakú, fényáteresztő D2 tartományokkal rendelkezik, amely tartományok szimmetriatengelye párhuzamos a fényforrás vonaléval. A két fényáteresztő D2 tartományok egymástól mért távolsága legalább akkora, mint a B optikai lencse esik alakú B1 tartományának szélessége. A további D optikai lencse a két csík alakú, fényáteresztő D2 tartományokon kívül nem rendelkezik fényáteresztő tartományokkal.

Az 1. ábra szerint a B, D optikai lencsék optikai tengelye célszerűen egy egyenesbe esik.

A H fázisérzékeny erösítősor olyan önmagában ismert erősítőkből van kiképezve, amelynek egyik bemenetére az E fénydetektorsor valamely eleme, másik bemenetére pedig a modulációs frekvencia kétszeresével megegyező referenciajel van kötve.

Az 1. ábra szerinti berendezés, amely a C vizsgált anyagon áthaladó fénysugárnyalábbal üzemel, az alábbiak szerint működik részletesen.

Az A fénysugárforrás nagy felületi fényességű, az optikai tengelyre merőleges vonal alakú felületről - amely lehet valódi, vagy virtuális felület - fényt bocsát ki. Az A fénysugárforrás folytonos fényét az M modulátor önmagában ismert módon, például elektronikus, vagy elektro-optikus, esetleg akuszto-optikus módon modulálja oly módon, hogy a lézerfény intenzitásának időfüggése 50%-os kitöltésű négyszögjel legyen. A modulált fényt a B optikai lencse a C vizsgált anyagra fókuszálja. A C vizsgált anyag a fény egy részét átengedi és/vagy reflektálja. A transzmittált, vagy reflektált nyalábot a további D optikai lencse képezi le az E fénydetektorsorra. A B optikai lencse és a további D optikai lencse kiképzése az ún. sötéttér-elrendezésben csak a szórt fényt engedi át, a direkt fényt nem A fáziskontraszt-elrendezésben pedig a direkt nyaláb intenzitását lecsökkenti és fázisát 90°-kal elforgatja. Az E fénydetektorsor kimenőjelét a modulációs frekvencia kétszeresére állított, önmagában ismert H fázisérzékeny erősitősorral mérjük, majd az I megjelenítő egységen megjelenítjük.

A következőkben olyan lehetséges megoldásokat írunk le, amelyek a C vizsgált anyagról, vagy a C vizsgált anyagból visszavert fénysugárnyalábbal üzemelnek, tehát a berendezések a következőkben reflexiós üzemmódúak. A következőkben ismertetett berendezések a már előzőekben ismertetettel azonos módon működnek, amelyre már utaltunk is.

A 2.a. ábrán a B, D optikai lencsék tengelye a C vizsgált anyag felületének normálisával azonos szöget zár be, és az optikai tengelyek a C vizsgált anyag felületén metszik egymást.

A 2.b. ábra szerint a B optikai lencse és a C vizsgált anyag között a C vizsgált anyagról visszavert fénysugárnyaláb legalább egy részét 90°-kai eltérítő F nyaléb5

HU 202987 Β osztó van elrendezve, a további D optikai lencse pedig az eltérített fénysugérnyaláb tengelyében van elhelyezve.

A 2.c. ábra további lehetséges megoldása szerint a B, D optikai lencsék közös G lencse részeit alkotják. A közős G lencse optikai tengelye merőleges a C vizsgált anyag felületére, a közös G lencsében a B, D optikai lencsék az optikai tengelyre szimmetrikusan vannak elhelyezve. Ebben az esetben az egyik B optikai lencsén átmenő fénysugárnyaláb a C vizsgált anyagról, vagy az anyagból a további D optikai lencsére verődik vissza.

A 2.a., 2.b., 2.c. ábrákon az egyszerűség kedvéért csak az E fénydetektorsort tüntettük fel, a berendezés további ismert részegységeit már nem. Ezeken az ábrákon ismertetett reflexiós üzemmódú berendezések esetén is a további D optikai lencse a már korábban leírtak szerint képezhető ki.

A hőhullámok amplitúdója függ az anyagi paraméterektől, úgy, mint a vizsgálandó anyag hókapacitásától, és hővezető képességétől. Ez utóbbi érzékeny felület alatti jellegzetességekre, például felület alatti rétegy határra, vagy például felület alatti repedésekre is. igy a hőhullámok okozta optikái út5 hosszváltozásból a felület, illetve felületi réteg által fedett tartományok tulajdonságaira lehet következtetni. A C vizsgált anyag szkennelésével felépíthető a hóhullámos kép, amiben jól láthatók a réteghatárok, doppolési tartományok, vagy például a felület alatti repedések is. Az a mélység, amelyből a hőhullámos módszer még információt hoz, változtatható a modulációs frekvencia változtatásával. Erre a hóhullámhossz és a modulációs frekvencia közti összefüggés ad lehetőséget, nevezetesen a hőhullámhossz a modulációs frekvencia növelésével csökkenthető.

A találmány szérinti megoldás vonal alakú A fénysugárforrással, tehát adott vonalra is fókuszálható, igy a vonal mentén elhelye. zett E fénydetektorsor segítségével vonalmenti képpontok párhuzamos és igy lényegesen gyorsabb kiértékelését teszi lehetővé.

Claims (3)

1. SZABADALMI IGÉNYPONTOK

   1. Fázisinformáció leképzésén alapuló fényoptikai eljárás anyagi minőség vizsgálatára, amelynek során nagy felületi fényessé- 5 gű fénysugárforrás által kibocsátott fénysugárnyalábot megszaggatjuk, az így modulált fénysugárnyalábot optikai lencsével a vizsgált anyagra, vagy az anyagba fókuszáljuk, az arról visszavert, vagy az általa áteresz- 10 tett fénysugárnyalábot további optikai lencsével fénydetektorra képezzük le, mely elektromos jeleit a modulációs frekvencia kétszeresére állított fázisérzékeny erősítővel mérjük oly módon, hogy a modulálás során 15 50%-os kitöltésű négyszög alakú intenzitást hozunk létre, a vizsgált anyagot pedig az optikai tengelyben, az optikai lencséktől meghatározott - azonos - távolságra helyezzük el, és a fénysugórnyaláb periodikus op- 20 tikai úthosszváltozósa alapján meghatározzuk a vizsgált anyag minőségi jellemzőit, azzal jellemezve, hogy a nagy felületi fényességű fénysugárforrásként vonal alakú fénysugárforrást, vagy ettől eltérő alakú fénysugár- 25 forrás által kibocsátott, optikai módszerekkel vonalforrás alakúra hozott fénysugárnyalóbot alkalmazunk, amelynek intenzitása a fényforrás felületén, vagy optikai szempontból fényforrás-felületnek tekinthető helyen vonal 30 alakú, a vizsgált anyagról visszavert, vagy az általa áteresztett fénysugórnyalóbból pedig a direkt és a szórt fénysugárnyalóbokat megkülönböztetjük és közülük . legalább az egyik fénysugárnyalábot oly módon befolyó- 35 soljuk, hogy vonal mentén elhelyezett fénydetektorsoron a szórt fénysugórnyaláb relatív intenzitását megnöveljük.
2. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a direkt, és/vagy a szórt 40 fénysugárnyalábok befolyásolósót a további optikai lencsével végezzük.
3. 3. Fázisinformáció leképzésén alapuló fényoptikai berendezés anyagi minőség vizsgálatára, célszerűen az 1., 2. igénypontok 45 bármelyike szerinti eljárás foganatosítására, amelynek modulátorral rendelkezó nagy felületi fényességű fénysugárforrósa, a fénysugárforrás által kibocsátott fénysugórnyaláb útjában fókuszáló optikai lencséje van, amelynek optikai tengelye mentén, a fénysugárforrós képének helyén, vizsgált anyag van elhelyezve, a vizsgált anyagról, vagy a vizsgált anyagból visszavert, vagy azon áthaladó fénysugórnyaláb útjában további optikai lencse van elhelyezve, a további optikai lencsét követően pedig fénydetektort tartalmaz, amely kimenete a modulációs frekvencia kétszeresére állított fázisérzékeny erősítőn keresztül megjelenítő egységhez csatlakozik, az optikai lencse és a további optikai lencse a vizsgált anyagtól azonos távolságra, a visszavert, vagy az áthaladó optikai tengely mentén van elhelyezve, azzal jellemezve, hogy fénysugárforrása (A) vonal mentén sugárzó, vagy vonal alakúra hozott sugárzást kibocsátó fénysugórforrásként van kiképezve, több fénydetektorral rendelkezik, amelyek fénydetektorsorba (E) vannak elhelyezve, a fókuszáló optikai lencse (B) meghatározott szélességű fényóteresztő tartománnyal (Bl) rendelkezik, amelynek szimmetriatengelye merőleges az optikai tengelyre és párhuzamos a vonal alakúra hozott, vagy vonal alakú fénysugárforrós (A) egyenesével, a fényóteresztő tartomány (Bl) két oldalán vagy át nem eresztő területtel rendelkezik, vagy meghatározott szélességű további, csík alakú tartományok (B2) helyezkednek el, amelyek 90°-os fázistoló réteggel fedettek és meghatározott áteresztöképességűek, a további optikai lencse (D) is rendelkezik meghatározott szélességű, csík alakú tartományokkal (D2), amelyek szimmetriatengelye az optikai lencse (D) szimmetriatengelyével azonos tulajdonságú, és a esik alakú tartományok (D2) méretei megegyeznek az optikai lencse (B) két, 90°os fázistoló réteggel fedett, csík alakú tartomány (B2) méreteivel, ha ilyenek vannak, vagy ha ezek nincsenek, akkor a csík alakú tartományok (D2) közötti távolság legalább akkora, mint az optikai lencse (B) fényáteresztő tartományának (Bl) szélessége.