FR3124235A1 - Vacuum pump - Google Patents

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Abstract

L’invention se rapporte à une pompe à vide (1) primaire sèche comportant un stator (11) formé d’au moins un support (12a, 12b) d’extrémité couplé axialement avec au moins deux éléments (13) de stator assemblés pour former au moins un étage (8a, 8b, 8c, 8d) de pompage et deux arbres (9) munis de rotors (10a, 10b, 10c, 10d) configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans chaque étage (8a, 8b, 8c, 8d) de pompage. Selon l'invention, la pompe à vide (1) comporte en outre un dispositif (17) de sûreté monté de manière étanche sur le support (12a, 12b) d’extrémité et qui enveloppe au moins les éléments (13) de stator afin de former un volume (21) de confinement du gaz à pomper entre les éléments (13) de stator et le dispositif (17) de sûreté. Figure pour l’abrégé : figure 2The invention relates to a dry primary vacuum pump (1) comprising a stator (11) formed of at least one end support (12a, 12b) coupled axially with at least two stator elements (13) assembled to forming at least one pumping stage (8a, 8b, 8c, 8d) and two shafts (9) fitted with rotors (10a, 10b, 10c, 10d) configured to rotate synchronously in opposite directions in each stage (8a, 8b , 8c, 8d) pumping. According to the invention, the vacuum pump (1) further comprises a safety device (17) mounted in leaktight manner on the end support (12a, 12b) and which surrounds at least the stator elements (13) in order to to form a volume (21) of confinement of the gas to be pumped between the elements (13) of the stator and the device (17) of safety. Figure for abstract: Figure 2

Description

Pompe à videVacuum pump

Domaine technique de l’inventionTechnical field of the invention

L’invention concerne le domaine des pompes à vides et, plus précisément, une telle pompe permettant d’obtenir un vide primaire comme du type à lobes (connu sous le nom anglais « roots »), du type à vis (connu sous le nom anglais « screws ») ou du type à becs (connu sous le nom anglais « claws »).The invention relates to the field of vacuum pumps and, more specifically, such a pump making it possible to obtain a primary vacuum such as the lobe type (known under the English name “roots”), the screw type (known under the name "screws") or of the claw type (known as "claws").

Arrière-plan techniqueTechnical background

Les pompes à vide primaires de type sec comportent en général plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une entrée d’aspiration et une sortie de refoulement. On distingue parmi les pompes à vide connues, celles à lobes rotatifs, celles à bec rotatifs ou encore celles à vis rotatives. Lors du montage des différents composants de la pompe à vide, il n'est pas possible d'engager axialement un rotor entier dans le stator par simple déplacement axial. II n'est pas possible, non plus, d'envisager l'usinage d'un stator monobloc pour réaliser les cavités constituant les chambres de compression.Dry-type primary vacuum pumps generally comprise several pumping stages in series in which a gas to be pumped circulates between a suction inlet and a discharge outlet. A distinction is made among the known vacuum pumps, those with rotary lobes, those with rotary claws or even those with rotary screws. When mounting the various components of the vacuum pump, it is not possible to engage an entire rotor axially in the stator by simple axial movement. Nor is it possible to envisage machining a one-piece stator to produce the cavities constituting the compression chambers.

Pour permettre à la fois l'usinage et le montage et assurer une bonne étanchéité, les stators de pompes à vide sèches sont par exemple constitués de l'assemblage axial de plusieurs éléments de stator, assemblés selon leurs parois transversales respectives, assemblage dit en tranche, avec interposition de joints d'étanchéité annulaires respectifs comprimés axialement et isolant chaque chambre de compression par rapport à l'atmosphère extérieure.To allow both machining and assembly and ensure good sealing, the stators of dry vacuum pumps are for example made up of the axial assembly of several stator elements, assembled along their respective transverse walls, so-called slice assembly , with the interposition of respective annular seals compressed axially and isolating each compression chamber with respect to the external atmosphere.

Selon une autre réalisation, les stators sont réalisés par l’assemblage de deux demi-coquilles s’assemblant ensemble dans le plan passant par les axes de rotation des rotors et s’assemblant avec des parois d’extrémité. Dans cette configuration, les joints d’étanchéité peuvent être des joints dits tridimensionnels, c’est-à-dire étanchéifiant à la fois les demi-coquilles entre elles dans un premier plan horizontal et les demi-coquilles avec les parois d’extrémité dans deux seconds plans parallèles entre eux. Il est également connu, en remplacement des joints tridimensionnels, d’utiliser des joints formés à partir d’une pâte déposée aux interfaces de contact qui se solidifie après assemblage ou d’utiliser des portions de joints assemblées.According to another embodiment, the stators are made by assembling two half-shells assembling together in the plane passing through the axes of rotation of the rotors and assembling with end walls. In this configuration, the seals can be so-called three-dimensional seals, that is to say sealing both the half-shells with each other in a first horizontal plane and the half-shells with the end walls in two second planes parallel to each other. It is also known, as a replacement for three-dimensional gaskets, to use gaskets formed from a paste deposited at the contact interfaces which solidifies after assembly or to use portions of assembled gaskets.

Quel que soit le type d’assemblage des éléments de stator, il est nécessaire d'usiner séparément chaque élément de stator, puis d'effectuer une opération d'assemblage longue et délicate consistant à adapter les deux arbres de rotor dans un support (formé généralement de deux supports d’extrémité recevant, à l’aide de paliers, chaque extrémité axiale des arbres de rotor et fermant le stator), de régler le positionnement des lobes de la dernière chambre de compression, de positionner le dernier élément de stator avec un joint d'étanchéité, d'adapter les lobes de l'avant-dernière chambre de compression, d'amener l'avant-dernier élément de stator avec un joint d'étanchéité, et ainsi de suite jusqu'au premier élément de stator. Sachant que les jeux entre les lobes de rotor et les parois de stator sont très réduits pour assurer une étanchéité de chaque étage de compression de la pompe à vide, on comprend que cet assemblage est particulièrement long et délicat, et on estime qu'il faut plusieurs heures de main d'œuvre pour cette opération effectuée sur une pompe à vide sèche à cinq ou six étages.Whatever the type of assembly of the stator elements, it is necessary to machine each stator element separately, then to carry out a long and delicate assembly operation consisting in adapting the two rotor shafts in a support (formed generally of two end supports receiving, using bearings, each axial end of the rotor shafts and closing the stator), to adjust the positioning of the lobes of the last compression chamber, to position the last stator element with a gasket, to adapt the lobes of the penultimate compression chamber, to bring the penultimate stator element with a gasket, and so on up to the first stator element . Knowing that the clearances between the rotor lobes and the stator walls are very small to ensure sealing of each compression stage of the vacuum pump, it is understood that this assembly is particularly long and delicate, and it is estimated that it is necessary several hours of labor for this operation carried out on a dry vacuum pump with five or six stages.

Dans l'industrie du traitement de surface ou du semi-conducteur (dépôts physique ou chimique en phase vapeur, diffusion d’éléments chimiques ou gravage), les gaz de procédé pompés sont de plus en plus agressifs envers les matériaux de la pompe à vide mais aussi de plus en plus dangereux pour les utilisateurs, c'est-à-dire pour le personnel qui peut être présent à proximité des pompes à vide (comme par exemple la phosphine, ou hydrure de phosphore, utilisée pour doper les semi-conducteurs). Ainsi, il devient un enjeu majeur pour la sûreté de l’installation où est présente la pompe à vide d’utiliser des joints très résistants chimiquement afin d’assurer que les gaz pompés ne s’échappent pas du stator de la pompe à vide.In the surface treatment or semiconductor industry (physical or chemical vapor deposition, diffusion of chemical elements or etching), the process gases pumped are increasingly aggressive towards the materials of the vacuum pump but also increasingly dangerous for users, i.e. for personnel who may be present near vacuum pumps (such as phosphine, or phosphorus hydride, used to dope semiconductors ). Thus, it becomes a major issue for the safety of the installation where the vacuum pump is present to use very chemically resistant seals in order to ensure that the pumped gases do not escape from the stator of the vacuum pump.

Dès lors, la matière et le montage des joints deviennent critiques pour la fabrication des pompes à vide. Il est ainsi généralement incontournable désormais d’utiliser des joints à base de matériaux spéciaux comme à base de fluoroélastomères (connus notamment sous les abréviations FKM, FFKM ou FEPM) qui sont très onéreux. Or, la fabrication de tels joints en trois dimensions entre les éléments de stator et chaque support est complexe et couteuse et rend très long et difficile l’usinage des gorges dans le stator pour recevoir ce type de joint. On comprend donc immédiatement la difficulté à fabriquer des pompes à vide garantissant un haut niveau de sûreté.Consequently, the material and the assembly of the seals become critical for the manufacture of vacuum pumps. It is therefore generally unavoidable now to use seals made from special materials such as fluoroelastomers (known in particular by the abbreviations FKM, FFKM or FEPM) which are very expensive. However, the manufacture of such seals in three dimensions between the stator elements and each support is complex and expensive and makes it very long and difficult to machine the grooves in the stator to receive this type of seal. We therefore immediately understand the difficulty of manufacturing vacuum pumps guaranteeing a high level of safety.

L'invention a notamment pour but de proposer une nouvelle architecture de pompe à vide à un haut niveau de sûreté qui soit simple, robuste et efficace pour garantir une haute fiabilité de confinement des gaz à pomper à moindres coûts même s’ils sont particulièrement agressifs chimiquement tout en proposant d’autres avantages tels qu’une meilleure gestion thermique, une meilleure gestion des pressions partielles, une meilleure gestion du bruit généré, une meilleure flexibilité de tout type de pompe à tout type de gaz à pomper ou une meilleure gestion des flux entrant et sortant.The aim of the invention is in particular to propose a new vacuum pump architecture with a high level of safety which is simple, robust and efficient to guarantee high reliability of containment of the gases to be pumped at lower costs even if they are particularly aggressive. chemically while offering other advantages such as better thermal management, better management of partial pressures, better management of the noise generated, better flexibility of any type of pump for any type of gas to be pumped or better management of incoming and outgoing flow.

À cet effet, l’invention se rapporte à une pompe à vide primaire sèche comportant un stator formé d’au moins un support d’extrémité couplé axialement avec au moins deux éléments de stator assemblés pour former au moins un étage de pompage montés entre une entrée d’aspiration et une sortie de refoulement, et deux arbres munis de rotors configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans chaque étage de pompage pour entrainer un gaz à pomper dans un sens de circulation allant depuis l’entrée d’aspiration vers la sortie de refoulement,caractérisée en ce quela pompe à vide comporte en outre un dispositif de sûreté monté de manière étanche sur le support d’extrémité et qui enveloppe au moins les éléments de stator afin de former un volume de confinement du gaz à pomper entre les éléments de stator et le dispositif de sûreté.To this end, the invention relates to a dry primary vacuum pump comprising a stator formed of at least one end support coupled axially with at least two stator elements assembled to form at least one pumping stage mounted between a suction inlet and a discharge outlet, and two shafts provided with rotors configured to rotate synchronously in opposite directions in each pumping stage to drive a gas to be pumped in a direction of circulation going from the suction inlet to the delivery outlet, characterized in that the vacuum pump further comprises a safety device mounted in leaktight manner on the end support and which envelops at least the stator elements in order to form a confinement volume for the gas to be pumped between the stator elements and the safety device.

Avantageusement selon l'invention, le dispositif de sûreté étant monté de manière étanche sur le support d’extrémité, de simples ensembles gorge – joint torique sont utilisés à base de matériaux spéciaux comme à base de fluoroélastomères (connus notamment sous les abréviations FKM, FFKM ou FEPM). Ainsi, d’une part, le volume de matière onéreuse est limité et, d’autre part, la géométrie est très simple, robuste et efficace ce qui garantit une haute fiabilité de confinement des gaz à pomper dans la pompe à vide. En outre, les ensembles gorge – joint torique peuvent être aisément doublés (deux gorges comportant chacune un joint) sans difficultés techniques particulières. De fait, quel que soit le type de pompe à vide sèche utilisé, il devient possible de pomper tout type de gaz sans risques pour les opérateurs présents autour de la pompe et à moindres coûts.Advantageously according to the invention, the safety device being mounted in a sealed manner on the end support, simple groove – O-ring assemblies are used based on special materials such as based on fluoroelastomers (known in particular by the abbreviations FKM, FFKM or FEMF). Thus, on the one hand, the volume of expensive material is limited and, on the other hand, the geometry is very simple, robust and efficient, which guarantees high reliability of confinement of the gases to be pumped in the vacuum pump. In addition, the groove – O-ring assemblies can easily be doubled (two grooves each comprising a seal) without any particular technical difficulties. In fact, regardless of the type of dry vacuum pump used, it becomes possible to pump any type of gas without risk for the operators present around the pump and at a lower cost.

En outre, le dispositif de sûreté enveloppant avantageusement les éléments de stator, un volume entre les éléments de stator et le dispositif de sûreté est créé permettant de rendre moins critique l’étanchéité entre les éléments de stator. On comprend tout d’abord que l’étanchéité critique est déplacée autorisant l’utilisation entre les éléments de stator des joints moins complexes et moins exigeants quant à la matière qui peut être utilisée sans risque de dégrader la sûreté, voire envisager l’absence de joints pour une partie des étages de pompage. On comprend également qu’une meilleure gestion thermique est obtenue notamment quant à l’homogénéisation du refroidissement des éléments du stator. Enfin, le volume entre les éléments de stator et le dispositif de sûreté permet selon l'invention d’apporter d’autres avantages comme précisés ci-dessous.In addition, the safety device advantageously enveloping the stator elements, a volume between the stator elements and the safety device is created making it possible to make the tightness between the stator elements less critical. It is understood first of all that the critical seal is moved, authorizing the use between the stator elements of less complex seals and less demanding as to the material which can be used without risk of degrading safety, or even considering the absence of seals for part of the pumping stages. It is also understood that better thermal management is obtained in particular with regard to the homogenization of the cooling of the elements of the stator. Finally, the volume between the stator elements and the safety device makes it possible, according to the invention, to provide other advantages as specified below.

L’invention peut également comporter l’une ou plusieurs des caractéristiques optionnelles suivantes, prises seules ou en combinaison.The invention may also include one or more of the following optional features, taken alone or in combination.

Le dispositif de sûreté peut comporter un fourreau de protection monté de manière étanche sur le support d’extrémité à l’aide d’au moins un ensemble gorge – joint torique. On comprend donc qu’une enveloppe de confinement est formée autour des éléments de stator de manière simple et robuste.The safety device may comprise a protective sheath mounted in leaktight manner on the end support using at least one groove – O-ring assembly. It is therefore understood that a confinement envelope is formed around the stator elements in a simple and robust manner.

Selon une alternative, l’autre support d’extrémité du stator peut être ou non enveloppé par le fourreau de protection. Plus précisément, le fourreau de protection peut envelopper les éléments de stator et un deuxième support d’extrémité de la pompe à vide ou le fourreau de protection peut envelopper les éléments de stator entre deux supports d’extrémité.According to an alternative, the other end support of the stator may or may not be enveloped by the protective sheath. More specifically, the protective sleeve can wrap the stator elements and a second end support of the vacuum pump or the protective sleeve can wrap the stator elements between two end supports.

Le dispositif de sûreté peut comporter en outre au moins un élément de régulation destiné à changer la pression et/ou la nature du fluide présent dans le volume de confinement. L’élément de régulation peut ainsi être mis à profit pour y imposer une dépression pour, par exemple, améliorer les performances de pompage ou au contraire y imposer une surpression pour, par exemple, éviter le passage de gaz à pomper dans le volume de confinement. De plus, quelle que soit l’éventuelle pression imposée dans le volume de confinement par un élément de régulation, le même élément de régulation ou un autre élément peut ainsi être mis à profit pour apporter dans le volume de confinement un fluide de nature différente du gaz à pomper par la pompe à vide pour effectuer une dilution des gaz à pomper.The safety device may further comprise at least one regulation element intended to change the pressure and/or the nature of the fluid present in the confinement volume. The regulating element can thus be used to impose a depression therein to, for example, improve the pumping performance or, on the contrary, impose an overpressure therein to, for example, prevent the passage of gas to be pumped into the confinement volume. . Moreover, whatever the possible pressure imposed in the confinement volume by a regulation element, the same regulation element or another element can thus be used to bring into the confinement volume a fluid of a different nature from the gas to be pumped by the vacuum pump to carry out a dilution of the gases to be pumped.

Le dispositif de sûreté peut comporter au moins un élément de réduction de bruit monté dans le volume de confinement afin de réduire l’intensité sonore extérieure de la pompe à vide. L’élément de réduction de bruit peut, par exemple, former un résonateur et/ou au moins une chicane apte à absorber une partie du bruit généré par la pompe à vide.The safety device may comprise at least one noise reduction element mounted in the containment volume in order to reduce the external sound intensity of the vacuum pump. The noise reduction element can, for example, form a resonator and/or at least one baffle capable of absorbing part of the noise generated by the vacuum pump.

Le dispositif de sûreté peut comporter au moins un élément d’aménagement des flux destiné à faire communiquer le volume de confinement avec un élément extérieur à la pompe à vide et/ou un étage de pompage de la pompe à vide pour modifier sélectivement les flux entrant et sortant de la pompe à vide. Cela permet notamment de pouvoir facilement adapter l’architecture de la pompe à vide. À titre d'exemple nullement limitatif, l’élément d’aménagement des flux pourrait comporter l’entrée d’aspiration ou la sortie de refoulement aménagée dans le dispositif de sûreté pour déporter l’entrée d’aspiration ou la sortie de refoulement afin de s’adapter à l’encombrement autour de la pompe à vide.The safety device may comprise at least one flow management element intended to communicate the confinement volume with an element external to the vacuum pump and/or a pumping stage of the vacuum pump to selectively modify the incoming flows and coming out of the vacuum pump. In particular, this makes it possible to easily adapt the architecture of the vacuum pump. By way of non-limiting example, the flow management element could include the suction inlet or the discharge outlet arranged in the safety device to offset the suction inlet or the discharge outlet in order to adapt to the space around the vacuum pump.

Le dispositif de sûreté peut comporter au moins un élément de détection afin de surveiller le fonctionnement de la pompe à vide. On comprend qu’il est ainsi possible de, par exemple, surveiller le (ou les) gaz présent(s) dans ce volume de confinement pour adapter, éventuellement, le paramétrage de la pompe à vide.The safety device may include at least one sensing element to monitor operation of the vacuum pump. It is understood that it is thus possible, for example, to monitor the gas(es) present in this confinement volume in order to adapt, if necessary, the setting of the vacuum pump.

Avantageusement selon l'invention, la pompe à vide primaire sèche peut être du type à lobes, du type à becs ou du type à vis sans perdre les avantages citées ci-dessus. On comprend que l’invention peut être appliquée à tout type de pompe à vide sèche quelle que soit son architecture telle que, par exemple, le nombre d’étages de pompage ou la forme des rotors.Advantageously according to the invention, the dry primary vacuum pump can be of the lobe type, of the claw type or of the screw type without losing the advantages mentioned above. It is understood that the invention can be applied to any type of dry vacuum pump regardless of its architecture such as, for example, the number of pumping stages or the shape of the rotors.

Enfin, l’étanchéité entre les éléments de stator peut être formée uniquement par la complémentarité de contact des organes du stator afin de n’utiliser de joint que pour le dispositif de sûreté. Cela permet de diminuer les coûts de fabrication par diminution du coût de matière utilisée et par simplification de l’usinage et du montage.Finally, the seal between the stator elements can be formed solely by the contact complementarity of the stator components in order to use a seal only for the safety device. This makes it possible to reduce manufacturing costs by reducing the cost of the material used and by simplifying machining and assembly.

Brève description des figuresBrief description of figures

D’autres particularités et avantages de l’invention ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels :Other features and advantages of the invention will emerge clearly from the description which is given below, by way of indication and in no way limiting, with reference to the appended drawings, in which:

la est une vue schématique d’une installation de fabrication comportant une pompe à vide selon l'invention ; the is a schematic view of a manufacturing installation comprising a vacuum pump according to the invention;

la est une vue en coupe d’un premier mode de réalisation de pompe à vide selon l'invention ; the is a sectional view of a first embodiment of the vacuum pump according to the invention;

la est une vue schématique d’un deuxième mode de réalisation de pompe à vide selon l'invention ; the is a schematic view of a second embodiment of the vacuum pump according to the invention;

la est une vue schématique d’une variante du deuxième mode de réalisation de pompe à vide selon l'invention. the is a schematic view of a variant of the second embodiment of the vacuum pump according to the invention.

Claims (10)

Pompe à vide (1) primaire sèche comportant un stator (11) formé d’au moins un support (12a, 12b) d’extrémité couplé axialement avec au moins deux éléments (13) de stator assemblés pour former au moins un étage (8a, 8b, 8c, 8d) de pompage monté entre une entrée d’aspiration (4) et une sortie de refoulement (6), et deux arbres (9) munis de rotors (10a, 10b, 10c, 10d) configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse dans chaque étage (8a, 8b, 8c, 8d) de pompage pour entrainer un gaz à pomper dans un sens de circulation allant depuis l’entrée d’aspiration (4) vers la sortie de refoulement (6),caractérisée en ce qu ela pompe à vide (1) comporte en outre un dispositif (17, 17’, 17’’) de sûreté monté de manière étanche sur le support (12a, 12b) d’extrémité et qui enveloppe au moins les éléments (13) de stator afin de former un volume (21) de confinement du gaz à pomper entre les éléments (13) de stator et le dispositif (17, 17’, 17’’) de sûreté.Dry primary vacuum pump (1) comprising a stator (11) formed of at least one end support (12a, 12b) coupled axially with at least two stator elements (13) assembled to form at least one stage (8a , 8b, 8c, 8d) pump mounted between a suction inlet (4) and a discharge outlet (6), and two shafts (9) provided with rotors (10a, 10b, 10c, 10d) configured to rotate synchronized manner in opposite direction in each stage (8a, 8b, 8c, 8d) of pumping to cause a gas to be pumped in a direction of circulation going from the suction inlet (4) to the discharge outlet (6), characterized in that the vacuum pump ( 1) further comprises a safety device (17, 17', 17'') mounted in leaktight manner on the end support (12a, 12b) and which surrounds at least the stator elements (13) in order to form a volume (21) for confining the gas to be pumped between the stator elements (13) and the safety device (17, 17', 17''). Pompe à vide (1) primaire sèche selon la revendication précédente, dans laquelle le dispositif (17, 17’, 17’’) de sûreté comporte un fourreau (18, 18’, 18’’) de protection monté de manière étanche sur le support (12a, 12b) d’extrémité à l’aide d’au moins un ensemble gorge (19) – joint (20) torique.Dry primary vacuum pump (1) according to the preceding claim, in which the safety device (17, 17', 17'') comprises a protective sheath (18, 18', 18'') mounted in leaktight manner on the end support (12a, 12b) using at least one groove (19) – O-ring (20) assembly. Pompe à vide (1) primaire sèche selon la revendication précédente, dans laquelle le fourreau (18) de protection enveloppe les éléments (13) de stator et un deuxième support (12b, 12a) d’extrémité de la pompe à vide.Dry primary vacuum pump (1) according to the preceding claim, in which the protective sheath (18) envelops the stator elements (13) and a second support (12b, 12a) at the end of the vacuum pump. Pompe à vide (1) primaire sèche selon la revendication 2, dans laquelle le fourreau (18’, 18’’) de protection enveloppe les éléments (13) de stator entre deux supports (12a, 12b) d’extrémité.Dry primary vacuum pump (1) according to Claim 2, in which the protective sheath (18', 18'') surrounds the stator elements (13) between two end supports (12a, 12b). Pompe à vide (1) primaire sèche selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le dispositif (17, 17’, 17’’) de sûreté comporte en outre au moins un élément de régulation destiné à changer la pression et/ou la nature du fluide présent dans le volume (21) de confinement.Dry primary vacuum pump (1) according to any one of the preceding claims, in which the safety device (17, 17', 17'') further comprises at least one regulation element intended to change the pressure and/or the nature of the fluid present in the confinement volume (21). Pompe à vide (1) primaire sèche selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le dispositif (17, 17’, 17’’) de sûreté comporte au moins un élément de réduction de bruit monté dans le volume (21) de confinement afin de réduire l’intensité sonore extérieure de la pompe à vide (1).Dry primary vacuum pump (1) according to any one of the preceding claims, in which the safety device (17, 17', 17'') comprises at least one noise reduction element mounted in the volume (21) of the confinement in order to reduce the external sound intensity of the vacuum pump (1). Pompe à vide (1) primaire sèche selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le dispositif (17, 17’, 17’’) de sûreté comporte au moins un élément d’aménagement des flux destiné à faire communiquer le volume (21) de confinement avec un élément extérieur à la pompe à vide (1) et/ou un étage (8a, 8b, 8c, 8d) de pompage de la pompe à vide (1) pour modifier sélectivement les flux entrant et sortant de la pompe à vide (1).Dry primary vacuum pump (1) according to any one of the preceding claims, in which the safety device (17, 17', 17'') comprises at least one flow management element intended to communicate the volume ( 21) of confinement with an element external to the vacuum pump (1) and/or a pumping stage (8a, 8b, 8c, 8d) of the vacuum pump (1) to selectively modify the flows entering and leaving the vacuum pump (1). Pompe à vide (1) primaire sèche selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle le dispositif (17, 17’, 17’’) de sûreté comporte au moins un élément de détection afin de surveiller le fonctionnement de la pompe à vide (1).Dry primary vacuum pump (1) according to any one of the preceding claims, in which the safety device (17, 17', 17'') comprises at least one detection element in order to monitor the operation of the vacuum pump (1). Pompe à vide (1) primaire sèche selon l'une quelconque des revendications précédentes, étant du type à lobes, du type à becs ou du type à vis.A dry primary vacuum pump (1) according to any preceding claim being of the lobe type, claw type or screw type. Pompe à vide (1) primaire sèche selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle l’étanchéité entre les éléments (13) de stator est formée uniquement par la complémentarité de contact des organes (12a, 12b, 13) du stator (11) afin de n’utiliser de joint (20) que pour le dispositif (17, 17’, 17’’) de sûreté.Dry primary vacuum pump (1) according to any one of the preceding claims, in which the seal between the stator elements (13) is formed solely by the contact complementarity of the members (12a, 12b, 13) of the stator ( 11) in order to use seal (20) only for the safety device (17, 17', 17'').
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