FR3092879A1 - Pompe à vide primaire de type sèche - Google Patents

Pompe à vide primaire de type sèche Download PDF

Info

Publication number
FR3092879A1
FR3092879A1 FR1901520A FR1901520A FR3092879A1 FR 3092879 A1 FR3092879 A1 FR 3092879A1 FR 1901520 A FR1901520 A FR 1901520A FR 1901520 A FR1901520 A FR 1901520A FR 3092879 A1 FR3092879 A1 FR 3092879A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
vacuum pump
purge gas
conduit
heated
stator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR1901520A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3092879B1 (fr
Inventor
Thierry Neel
Antoine DENGREVILLE
Pierrick GODINAT
Yannick Grenier
Paul Decorde
Yann LEMARQUAND
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum SAS
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to FR1901520A priority Critical patent/FR3092879B1/fr
Application filed by Pfeiffer Vacuum SAS filed Critical Pfeiffer Vacuum SAS
Priority to EP20701063.8A priority patent/EP3924625A1/fr
Priority to JP2021547372A priority patent/JP2022520431A/ja
Priority to CN202080010259.8A priority patent/CN113330219A/zh
Priority to KR1020217020471A priority patent/KR20210126547A/ko
Priority to PCT/EP2020/051542 priority patent/WO2020164877A1/fr
Priority to US17/427,785 priority patent/US20220120279A1/en
Priority to TW109103240A priority patent/TWI825265B/zh
Publication of FR3092879A1 publication Critical patent/FR3092879A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3092879B1 publication Critical patent/FR3092879B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/123—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially or approximately radially from the rotor body extending tooth-like elements, co-operating with recesses in the other rotor, e.g. one tooth
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
    • F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
    • F04C29/042—Heating; Cooling; Heat insulation by injecting a fluid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/50—Bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/80—Other components
    • F04C2240/806—Pipes for fluids; Fittings therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
    • F04C2270/19—Temperature
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2280/00—Arrangements for preventing or removing deposits or corrosion
    • F04C2280/02—Preventing solid deposits in pumps, e.g. in vacuum pumps with chemical vapour deposition [CVD] processes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

L’invention concerne une pompe à vide (1) primaire de type sèche comportant un conduit formé dans le stator (2) dont un orifice d’entrée est destiné à être relié à au moins une source de gaz de purge et dont au moins un orifice de sortie communique avec le dernier étage de pompage (3e) communiquant avec le refoulement (5) et un dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé (15) comportant un dispositif de chauffage (24) configuré pour chauffer au moins en partie le gaz de purge injecté dans le conduit à une température supérieure à 40°C. Figure d’abrégé : numéro 7

Description

Pompe à vide primaire de type sèche
La présente invention concerne une pompe à vide primaire de type sèche telle que de type « Roots » ou « Claw » ou à vis.
Les pompes à vide primaire de type sèche comportent plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement. On distingue parmi les pompes à vide primaire connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » ou celles à bec, également connues sous le nom « Claw » ou encore celles à vis. Ces pompes à vide sont dites « sèches » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur d’un stator sans aucun contact mécanique entre eux ou avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans les étages de pompage.
Certaines pompes à vide primaire sont employées dans des procédés utilisant des chimies génératrices de sous-produits solides par exemple sous forme de poudre, pâte ou morceaux. C’est le cas par exemple de certains procédés de fabrication de semi-conducteurs, d’écrans photovoltaïques, d’écrans plats ou de LED. Ces sous-produits solides ou condensables peuvent être aspirés par la pompe à vide et altérer son fonctionnement, notamment en gênant la rotation des rotors voire en l’empêchant totalement dans le pire des cas. Certaines applications libèrent également des sous-produits ou des gaz potentiellement explosifs et/ou inflammables, tel que H2, SiH4, TEOS.
Pour limiter ces risques, les gaz pompés sont généralement dilués par un gaz de purge injecté dans la pompe à vide. De l’azote est généralement injecté à travers des buses d’injection réparties le long de la pompe à vide, à chaque étage de pompage. Il peut parfois être nécessaire de purger également la canalisation située en aval de la pompe à vide en injectant un gaz de purge additionnel, parfois chauffé, pour éviter que ces gaz ne se condensent en sortie de la pompe à vide, dans les canalisations ou les systèmes de traitement des gaz (également appelés systèmes d’abattement).
Cette injection de gaz de purge additionnel chauffé permet de diluer efficacement les gaz mais présente toutefois un coût important. Par ailleurs, cette purge supplémentaire ne profite pas aux éléments situés en amont du point d’injection du gaz de purge et notamment, ne profite pas à la pompe à vide.
Un but de la présente invention est d’améliorer l’efficacité de la purge de la pompe à vide. Un autre but de la présente invention est de diminuer les couts liés à la purge des gaz pompés.
A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide primaire de type sèche comportant :
- un stator comportant au moins deux étages de pompage montés en série entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide,
- deux rotors agencés dans les au moins deux étages de pompage, les rotors étant portés par des arbres configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper entre l’aspiration et le refoulement,
caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre :
- un conduit formé dans le stator, dont un orifice d’entrée est destiné à être relié à au moins une source de gaz de purge et dont au moins un orifice de sortie communique avec le dernier étage de pompage communiquant avec le refoulement, et
- un dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé comportant un dispositif de chauffage configuré pour chauffer au moins en partie le gaz de purge injecté dans le conduit à une température supérieure à 40°C.
Le chauffage d’une partie du flux du gaz de purge injecté dans l’étage de pompage de refoulement permet d’augmenter le flux du gaz de purge injecté de manière importante, sans modifier l’équilibre thermique de la pompe à vide. Le gaz de purge injecté dans l’étage de pompage de refoulement permet de diluer de manière efficace les gaz pompés, notamment les gaz potentiellement explosifs et/ou inflammables tel que H2, SiH4, TEOS ou les gaz condensables, tels que les sous-produits de réaction.
La dilution réalisée au niveau de l’étage de pompage de refoulement permet de diluer les gaz directement dans la pompe à vide, au plus près du refoulement, en supprimant les zones froides ou trop peu diluées, entre la pompe à vide et un point d’injection de gaz de purge de l’art antérieur en aval de la pompe à vide. On évite que les gaz pompés se condensent dans les canalisations situées en aval de la pompe à vide ou dans les systèmes de traitement des gaz et dans la pompe à vide.
La durée de vie de la pompe à vide peut être allongée.
De plus, le gaz de purge injecté directement dans la pompe à vide est plus chaud lorsqu’il atteint les canalisations situées en aval que s’il avait été chauffé avec la même énergie et injecté directement dans ces canalisations en aval. La consommation électrique de chauffage du gaz de purge peut donc être réduite par rapport à une solution de chauffage externe, en aval de la pompe à vide.
Selon un exemple de réalisation, l’orifice de sortie du conduit communique avec au moins un passage d’arbre du stator communiquant avec le dernier étage de pompage via un jeu entre l’arbre et le passage d’arbre. Le gaz de purge est ainsi diffusé dans l’étage de pompage, autour du au moins un arbre.
Le conduit communique par exemple avec les deux passages d’arbre de l’étage de pompage.
La pompe à vide peut en outre comporter au moins un dispositif d’étanchéité interposé entre un palier lubrifié de la pompe à vide et l’étage de pompage, pour étanchéifier un passage d’arbre. Selon un exemple de réalisation, le conduit communique avec le passage d’arbre, entre le dispositif d’étanchéité et l’étage de pompage. Le gaz de purge ainsi injecté devant le dispositif d’étanchéité permet de former une barrière entre les gaz pompés et le dispositif d’étanchéité, ce qui permet d’augmenter la durée de vie de ce dernier.
Selon un exemple de réalisation, le conduit présente une portion linéaire reliée à l’orifice d’entrée, la portion linéaire étant interposée entre les deux arbres et communiquant avec deux cavités en forme de croissants de lune, chaque cavité communiquant avec un passage d’arbre respectif. Le gaz de purge est ainsi diffusé dans l’étage de pompage, autour des arbres, par les cavités en forme de croissant de lune, devant les dispositifs d’étanchéité.
Le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé peut comporter en outre :
- une sonde de température en communication fluidique avec le gaz de purge chauffé par le dispositif de chauffage, et
- un contrôleur relié à une alimentation du dispositif de chauffage et à la sonde de température, pour contrôler la température du gaz de purge.
L’alimentation peut ainsi être contrôlée à une consigne de température donnée, en fonction de la mesure de température réalisée par la sonde de température. La puissance du chauffage du gaz de purge peut ainsi s’adapter automatiquement en fonction du débit du gaz de purge et de la consigne de température demandée. Le contrôleur peut en outre couper l’injection d’un gaz de purge par le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé s’il constate un défaut de température. Il est en effet préférable de ne pas sur-diluer si le gaz de purge en surplus ne peut pas être chauffé, car celui-ci modifierait l’équilibre thermique de la pompe à vide, ce qui risquerait de permettre par exemple le dépôt d’espèces condensables.
Le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé peut en outre comporter un régulateur de débit, par exemple manuel, pour régler le débit du gaz de purge, ainsi qu’un dispositif de mesure de débit configuré pour mesurer le débit de gaz de purge injecté.
La sortie du dispositif de mesure de débit peut en outre être reliée au contrôleur qui peut par exemple couper l’alimentation du chauffage s’il constate une absence de flux ou un flux de gaz de purge trop faible.
Le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé peut être configuré pour que la portion du flux de gaz de purge chauffée soit par exemple comprise entre 10% et 100% du gaz de purge injecté dans le conduit. Un mélange entre d’une part, un gaz de purge non chauffé (entre 0 et 90%) et d’autre part, un gaz de purge chauffé (entre 10 et 100%) est ainsi injecté dans le conduit.
Le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé peut être configuré pour que le débit du gaz de purge chauffé soit par exemple supérieur à 33,8 Pa.m3/s.
Le dispositif de chauffage peut être configuré pour chauffer le gaz de purge à une température inférieure à 200°C.
Selon un exemple de réalisation, le dispositif de chauffage comporte une cartouche chauffante comprenant des éléments résistifs chauffants agencés dans un tube entre une entrée et une sortie du tube dans lequel un gaz de purge est destiné à circuler pour être chauffé. La cartouche chauffante est avantageusement placée au plus près de l’orifice d’entrée du conduit par exemple au moyen d’une canalisation isolée thermiquement
La pompe à vide peut comporter un circuit refroidisseur au moins partiellement intégré dans le stator et entourant le conduit. Ainsi, le stator n’est pas surchauffé du fait de l’injection du gaz de purge chaud notamment car il peut être contrôlé en température au moyen du circuit refroidisseur.
La pompe à vide peut comporter en outre un conduit de purge de palier formé dans le stator, destiné à être relié à une source de gaz de purge, et débouchant dans au moins un palier de la pompe à vide.
La pompe à vide peut comporter en outre au moins un conduit de purge d’étage formé dans le stator, destiné à être relié à une source de gaz de purge, et débouchant dans un canal inter-étages raccordant la sortie d’un étage de pompage à une entrée de l'étage de pompage qui suit.
Selon un exemple de réalisation, la pompe à vide comporte un distributeur destiné à être raccordé d’une part, à une source de gaz de purge et d’autre part, au conduit de purge de palier, au(x) conduit(s) de purge d’étage, au conduit et à une canalisation reliée à une sortie du dispositif de chauffage.
La pompe à vide peut en outre comporter un dispositif de chauffage additionnel configuré pour chauffer au moins une partie du gaz de purge distribué par le distributeur.
Présentation des dessins
D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels :
représente une vue schématique de côté d’une coupe longitudinale verticale d’éléments d’une pompe à vide sèche selon l’invention.
montre une vue en coupe transversale des éléments de la pompe à vide de la Figure 1 au niveau d’un étage de pompage.
montre une vue schématique de dessus d’une coupe longitudinale horizontale des éléments de la pompe à vide de la Figure 1.
montre une vue en coupe transversale des éléments de la pompe à vide de la Figure 1 au niveau d’un premier support de la pompe à vide.
montre une vue schématique d’un dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé.
montre une vue schématique en coupe longitudinale d’un dispositif de chauffage du dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé.
montre une autre représentation schématique de la pompe à vide.
Sur ces Figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence.
Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations.
On définit par pompe à vide primaire, une pompe à vide volumétrique, qui est configurée pour, à l’aide de deux rotors, aspirer, transférer, puis refouler le gaz à pomper à la pression atmosphérique. Les rotors sont portés par deux arbres entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide primaire. La pompe à vide primaire peut être mise en route dès la pression atmosphérique.
On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper, l’élément situé en amont dans la direction de pompage des gaz étant à une pression plus basse que l’élément situé en aval.
La pompe à vide 1 primaire de type sèche comporte un stator 2 comportant au moins deux étages de pompage 3a-3e montés en série entre une aspiration 4 et un refoulement 5 et deux rotors 6 agencés dans les au moins deux étages de pompage 3a-3e (Figure 1).
Le stator 2 est défini par l’ensemble des pièces statiques de la pompe à vide 1 formant notamment les chambres des étages de pompage 3a-3e.
Les rotors 6 sont portés par des arbres 7 configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper entre l’aspiration 4 et le refoulement 5. Les arbres 7 sont entrainés par un moteur 8 de la pompe à vide 1.
Les rotors 6 présentent par exemple des lobes de profils identiques, par exemple de type « Roots » (Figure 2) ou de type « Claw » ou sont de type à vis ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique.
La pompe à vide 1 comporte par exemple cinq étages de pompage 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, dans lesquels un gaz à pomper peut circuler. Chaque étage de pompage 3a, 3b, 3c, 3d, 3e est formé par une chambre recevant les rotors 6, les chambres comprenant une entrée et une sortie respectives. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’entrée est emprisonné dans le volume engendré par les rotors 6 et le stator 2, puis est entraîné par les rotors 6 vers l’étage suivant. Les étages de pompage successifs 3a-3e sont raccordés en série les uns à la suite des autres par des canaux inter-étages 9 respectifs raccordant la sortie de l'étage de pompage 3a-3d qui précède à l'entrée de l'étage de pompage 3b-3e qui suit. L’entrée du premier étage de pompage 3a (également appelé étage de pompage basse pression) communique avec l’aspiration 4 de la pompe à vide 1. La sortie du dernier étage de pompage 3e (également appelé étage de pompage haute pression ou étage de pompage de refoulement), communique avec le refoulement 5. Les étages de pompage 3b-3c-3d interposés entre l’étage de pompage 3e haute pression et l’étage de pompage 3a basse pression sont appelés étages de pompage intermédiaires.
La pompe à vide 1 est une pompe à vide primaire pouvant être mise en route à pression atmosphérique et configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique.
Le moteur 8 entrainant les arbres 7 est par exemple situé à une extrémité de la pompe à vide 1, par exemple du côté du dernier étage de pompage 3e.
La pompe à vide 1 peut comporter au moins un carter de lubrifiant 10. Le lubrifiant, tel que la graisse et/ou de l’huile, permet de lubrifier notamment les roulements des paliers 11 supportant les arbres 7 des rotors 6 et les engrenages 12 de synchronisation des arbres 7 (Figure 3). La pompe à vide 1 comporte par exemple un carter de lubrifiant 10 agencé entre le moteur 8 et le premier ou le dernier étage de pompage 3a ou 3e. Les paliers 11 des arbres 7 peuvent être lubrifiés par de la graisse à l’autre extrémité de la pompe à vide 1 ou par un second carter de lubrifiant.
Au moins un dispositif d’étanchéité 13a, 13b aux lubrifiants peut être interposé entre un palier 11 lubrifié et un étage de pompage 3e, 3a pour étanchéifier un passage d’arbre 14a, 14b. Les dispositifs d’étanchéité 13a, 13b créent une conductance très faible dans les passages d’arbre 14a, 14b, autour des arbres 7 rotatifs, permettant de limiter fortement le passage des fluides lubrifiants notamment depuis le carter de lubrifiant 10 vers les étages de pompage 3a-3e secs tout en permettant aux arbres 7 de tourner. Chaque dispositif d’étanchéité 13a, 13b comporte par exemple au moins un joint d’étanchéité, tel que deux, entourant un arbre 7 (Figure 3). Le joint d’étanchéité est par exemple un joint frottant dit à lèvres, un joint labyrinthe ou une chicane ou une combinaison de ces réalisations.
Comme on peut le voir sur les Figures 3, 4 et 5, la pompe à vide 1 comporte en outre un dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé 15 et un conduit 16.
Le conduit 16 est formé dans le stator 2. Un orifice d’entrée 16a du conduit 16 est destiné à être relié à au moins une source de gaz de purge. Le conduit 16 présente au moins un orifice de sortie 16b, 16c, qui communique avec le dernier étage de pompage 3e qui communique avec le refoulement 5, pour injecter un gaz de purge, tel que de l’azote, dans l’étage de pompage 3e de refoulement.
L’orifice de sortie du conduit débouche du stator 2 par exemple directement dans le dernier étage de pompage 3e, dans le logement recevant les rotors 6 (non représenté).
Selon un autre exemple de réalisation, l’orifice de sortie 16b, 16c du conduit 16 communique avec au moins un passage d’arbre 14a, 14b, communiquant avec le dernier étage de pompage 3e via un jeu entre l’arbre 7 et le passage d’arbre 14a, 14b du stator 2. Le conduit 16 traverse ainsi le stator 2 pour acheminer le gaz de purge dans l’étage de pompage 3e à travers le au moins un passage d’arbre 14a, 14b. Le gaz de purge est ainsi diffusé autour du au moins un arbre 7 dans l’étage de pompage 3e.
Le conduit 16 communique avec le au moins passage d’arbre 14a, 14b, entre le dispositif d’étanchéité 13a, 13b et l’étage de pompage 3e. Le gaz de purge ainsi injecté devant les dispositifs d’étanchéité 13a, 13b permet de former une barrière entre les gaz pompés et les dispositifs d’étanchéité 13a, 13b, ce qui permet d’augmenter la durée de vie de ces derniers.
Plus précisément, le conduit 16 peut être réalisé dans un premier support 17 (ou support haute pression) du stator 2 agencé contre l’étage de pompage 3e haute pression (Figures 1 et 3). Le conduit 16 communique par exemple avec les deux passages d’arbre 14a, 14b de l’étage de pompage 3e (Figure 4).
Selon un exemple de réalisation, le conduit 16 est réalisé par usinage. Il présente par exemple une portion linéaire 18 reliée à l’orifice d’entrée 16a. La portion linéaire 18 est perpendiculaire à l’axe des arbres 7 et interposée entre les deux arbres 7. La portion linéaire 18 communique avec deux cavités 20a, 20b, ici en forme de croissant de lune. Le diamètre de la lune est sensiblement inférieur à celui du passage d’arbre 14a, 14b. Les croissants de lune sont reliés dos à dos par la portion linéaire 18. Chaque cavité 20a, 20b communique avec un passage d’arbre 14a, 14b respectif au niveau des orifices de sortie 16a, 16b du conduit 16. Le gaz de purge est ainsi diffusé dans l’étage de pompage 3e, autour des arbres 7, par les cavités 20a, 20b en forme de croissant de lune, devant les dispositifs d’étanchéité 13a, 13b.
L’orifice d’entrée 16a de la portion linéaire 18 débouchant à l’extérieur du stator 2 est par exemple raccordé par au moins une canalisation 21a, 21b, telle que flexible, à un raccord 22, par exemple monté sur un châssis de la pompe à vide 1 et destiné à être raccordé à une source de gaz de purge, externe à la pompe à vide 1.
Le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé 15 comporte un dispositif de chauffage 24 configuré pour chauffer au moins en partie le gaz de purge injecté dans le conduit 16, à une température supérieure à 40°C. La température de chauffage est par exemple inférieure à 200°C.
On prévoit par exemple une consigne de température de chauffage du gaz de purge de 100°C.
La portion du flux de gaz de purge chauffée injectée dans le conduit 16 est par exemple comprise entre 10% et 100%.
Le débit du gaz de purge chauffé est par exemple supérieur à 20slm (soit 33,8Pa.m3/s) et par exemple inférieur à 200slm (soit 338Pa.m3/s), tel que 120slm (soit 202,7Pa.m3/s).
Un mélange de gaz de purge chauffé et de gaz de purge non chauffé peut ainsi être injecté dans le conduit 16.
Par exemple, pour un débit du gaz de purge de 120slm et une portion du flux de gaz de purge chauffée de 50%, le débit du gaz de purge chauffé est de 60slm (soit 101,35Pa.m3/s) et le débit du gaz de purge non chauffé est également de 60slm.
On peut aussi chauffer tout le gaz de purge qui est injecté dans le conduit 16 (100%).
Le chauffage d’une partie du flux du gaz de purge injecté dans l’étage de pompage 3e de refoulement permet d’augmenter le flux du gaz de purge injecté de manière importante, sans modifier l’équilibre thermique de la pompe à vide 1. Le mélange du gaz de purge potentiellement non chauffé et du gaz de purge chauffé, injecté au niveau du au moins un passage d’arbre 14a, 14b permet d’augmenter le flux du gaz de purge de manière significative pour diluer de manière efficace les gaz pompés, notamment les gaz potentiellement explosifs et/ou inflammables tel que H2, SiH4, TEOS ou les gaz condensables, tels que les sous-produits de réaction.
La dilution réalisée au niveau de l’étage de pompage 3e de refoulement permet de diluer les gaz directement dans la pompe à vide 1, au plus près du refoulement 5. L’injection d’une grande quantité de gaz de purge directement dans le dernier étage de pompage 3e permet de supprimer les zones froides ou trop peu diluées, entre la pompe à vide 1 et un point d’injection de gaz de purge de l’art antérieur, en aval de la pompe à vide. On évite que les gaz pompés se condensent dans les canalisations situées en aval de la pompe à vide 1 ou dans les systèmes de traitement des gaz et dans la pompe à vide 1.
La durée de vie de la pompe à vide peut être allongée.
De plus, le gaz de purge injecté directement dans la pompe à vide 1 est plus chaud lorsqu’il atteint les canalisations situées en aval que s’il avait été chauffé avec la même énergie et injecté directement dans ces canalisations en aval. La consommation électrique de chauffage du gaz de purge peut donc être réduite par rapport à une solution de chauffage externe, en aval de la pompe à vide 1.
Selon un exemple de réalisation, la pompe à vide 1 comporte un circuit refroidisseur 25 pour refroidir le stator 2 (Figure 4). Le circuit refroidisseur 25 comporte par exemple un circuit hydraulique permettant la circulation d’eau, par exemple à température ambiante. Le circuit refroidisseur 25 est par exemple au moins partiellement intégré dans le stator 2, par exemple dans le premier support 17 dans lequel le conduit 16 est ménagé. Il présente par exemple une forme en « U » entourant le conduit 16. Ainsi, le stator 2 n’est pas surchauffé du fait de l’injection du gaz de purge chaud notamment car il peut être contrôlé en température au moyen du circuit refroidisseur 25.
Selon un exemple de réalisation que l’on peut voir sur la Figure 6, le dispositif de chauffage 24 comporte une cartouche chauffante comprenant des éléments résistifs chauffants 26 agencés dans un tube 27 entre une entrée 27a et une sortie 27b du tube 27 dans lequel un gaz de purge est destiné à circuler pour être chauffé. La cartouche chauffante est avantageusement placée au plus près de l’orifice d’entrée 16a du conduit 16.
La canalisation 21b reliant la sortie 27b du tube 27 de la cartouche chauffante au conduit 16 de la pompe à vide 1 est par exemple isolée thermiquement.
Selon un exemple de réalisation, le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé 15 comporte en outre une sonde de température 28 en communication fluidique avec le gaz de purge chauffé par le dispositif de chauffage 24 et un contrôleur 30, tel qu’une carte électronique, relié à une alimentation du dispositif de chauffage 24 et à la sonde de température 28. Le contrôleur 30 est configuré pour contrôler la température de chauffage du gaz de purge.
La sonde de température 28, telle qu’un thermocouple, est par exemple agencée à une extrémité du tube 27 du côté de la sortie 27b et l’alimentation des éléments résistifs chauffants 26, par exemple en courant, passe par l’autre extrémité du tube 27 du côté de l’entrée 27a, au travers d’un passage étanche 31.
L’alimentation peut ainsi être contrôlée à une consigne de température donnée, en fonction de la mesure de température réalisée par la sonde de température 28. La puissance du chauffage du gaz de purge dans la cartouche chauffante peut ainsi s’adapter automatiquement en fonction du débit du gaz de purge et de la consigne de température demandée.
Le contrôleur 30 peut en outre couper l’injection d’un gaz de purge par le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé 15 s’il constate un défaut de température. Il est en effet préférable de ne pas sur-diluer si le gaz de purge en surplus ne peut pas être chauffé car celui-ci modifierait l’équilibre thermique de la pompe à vide 1, ce qui risquerait de permettre par exemple le dépôt d’espèces condensables.
Le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé 15 peut en outre comporter un régulateur de débit 32, par exemple manuel, pour régler le débit du gaz de purge, ainsi qu’un dispositif de mesure de débit 33 configuré pour mesurer le débit de gaz de purge injecté.
La sortie du dispositif de mesure de débit 33 peut en outre être reliée au contrôleur 30 qui peut par exemple couper l’alimentation du chauffage s’il constate une absence de flux ou un flux de purge trop faible.
Le régulateur de débit 32 et le dispositif de mesure de débit 33 sont par exemple agencés en amont du dispositif de chauffage 24 dans le sens d’écoulement du gaz de purge allant de la source de gaz de purge vers le dispositif de chauffage 24 (voir les flèches sur la Figure 5). Une vanne d’isolation 34 peut être agencée en amont du dispositif de chauffage 24, par exemple entre le régulateur de débit 32 et le dispositif de mesure de débit 33. Le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé 15 est par exemple monté sur le châssis de la pompe à vide 1 supportant le stator 2.
La pompe à vide 1 peut également comporter un conduit de purge de palier 35 formé dans le stator 2, et débouchant dans au moins un palier 11 de la pompe à vide 1 et/ou au moins un conduit de purge d’étage 36, formé dans le stator 2, et débouchant dans un canal inter-étages 9 raccordant la sortie d’un étage de pompage 3a-3d à une entrée de l'étage de pompage 3b-3e qui suit, pour distribuer un gaz de purge dans tout ou partie des canaux inter-étages 9 (Figure 1).
Le conduit de purge de palier 35 traverse le stator 2 pour acheminer le gaz de purge dans le au moins un palier 11 recevant les roulements.
Plus précisément, par exemple, le conduit de purge de palier 35 est ménagé dans un second support 37 (ou support basse pression) du stator 2 dans lequel les paliers 11 sont montés (Figures 1 et 3). Le second support 37 est agencé contre l’étage de pompage 3a basse pression.
Le conduit de purge de palier 35 communique par exemple avec les deux paliers 11. Selon un exemple de réalisation, le conduit de purge de palier 35 présente une première portion linéaire, perpendiculaire à l’axe des arbres 7 et interposée entre les deux arbres 7. La première portion linéaire communique avec une seconde portion linéaire dont les extrémités communiquent avec un palier 11 respectif (Figure 3).
Le conduit de purge d’étage 36 traverse le stator 2 pour acheminer le gaz de purge au niveau d’au moins un canal inter-étages 9. La pompe à vide 1 comporte par exemple trois conduits de purge d’étage 36 débouchant dans un canal inter-étages 9 respectif, par exemple à proximité de la sortie de l’étage de pompage 3b-3d.
Le conduit de purge de palier 35, les conduits de purge d’étage 36, le conduit 16 et la canalisation 21b reliée à la sortie 27b du dispositif de chauffage 24 sont destinés à être reliés à une source de gaz de purge, externe à la pompe à vide 1, via par exemple un distributeur 38 (Figure 7).
Selon un exemple de réalisation, le distributeur 38 comporte un tronc commun 38a relié à une première et une deuxième branche 38b, 38c. La première branche 38b relie le tronc commun 38a au conduit de purge de palier 35 ménagé dans le second support 37 du stator 2. La deuxième branche 38c est reliée par des conduites 38d, 38e aux conduits de purge d’étage 36 et au conduit 16.
L’entrée du tronc commun 38a est destinée à être raccordée à une source de gaz de purge, tel que de l’azote. Une première vanne d’isolation et un détendeur sont par exemple agencés sur le tronc commun 38a, une deuxième vanne d’isolation peut être agencée sur la première branche 38b et une troisième vanne d’isolation peut être agencée sur la deuxième branche 38c. Il est ainsi possible d’assurer une purge adaptée à la nature des gaz pompés. Par exemple, seuls les paliers 11 sont purgés dans le cas de pompage de gaz non condensables et/ou non inflammables.
La première branche 38b et les trois conduites 38d reliées aux conduits de purge d’étage 36 sont par exemple pourvues de buses d’injection ou gicleurs permettant de définir un débit de flux de purge dans le conduit de purge de palier 35 et dans chaque conduit de purge d’étage 36. La conduite 38e reliée au conduit 16 peut comporter également une buse d’injection ou gicleur, agencé en amont de l’intersection de la conduite 38e avec la canalisation 21b reliée à la sortie du dispositif de chauffage 24 dans le sens de circulation du gaz de purge.
Le gaz de purge injecté dans le distributeur 38 via la conduite 38e, le conduit de purge de palier 35 et les conduits de purge d’étage 36 peut ne pas être chauffé. Toutefois, la pompe à vide 1 peut comporter un dispositif de chauffage additionnel 39 configuré pour chauffer au moins en partie le gaz de purge distribué par le distributeur 38, dans la première et/ou la deuxième branche 38b, 38c et/ou dans la conduite 38e reliée au conduit 16 et à la canalisation 21b. Le dispositif de chauffage additionnel 39 est par exemple agencé sur la deuxième branche 38c reliée aux conduites 38d, 38e.
Ce chauffage peut être indépendant du chauffage du gaz de purge par le dispositif de chauffage 24. Le débit et/ou la température peuvent être contrôlés indépendamment pour chaque étage de pompage 3b-3e et pour les paliers 11 du second support 37, ou du moins indépendamment du débit et de la température du gaz de purge injectée au moyen du dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé 15.

Claims (15)

  1. Pompe à vide (1) primaire de type sèche comportant :
    - un stator (2) comportant au moins deux étages de pompage (3a, 3b, 3c, 3d, 3e) montés en série entre une aspiration (4) et un refoulement (5) de la pompe à vide (1),
    - deux rotors (6) agencés dans les au moins deux étages de pompage (3a-3e), les rotors (6) étant portés par des arbres (7) configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper entre l’aspiration (4) et le refoulement (5),
    caractérisée en ce que la pompe à vide (1) comporte en outre :
    - un conduit (16) formé dans le stator (2) dont un orifice d’entrée (16a) est destiné à être relié à au moins une source de gaz de purge et dont au moins un orifice de sortie (16b, 16b) communique avec le dernier étage de pompage (3e) communiquant avec le refoulement (5), et
    - un dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé (15) comportant un dispositif de chauffage (24) configuré pour chauffer au moins en partie le gaz de purge injecté dans le conduit (16) à une température supérieure à 40°C.
  2. Pompe à vide (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que l’orifice de sortie (16b, 16c) du conduit (16) communique avec au moins un passage d’arbre (14a, 14b) du stator (2), communiquant avec le dernier étage de pompage (3e) via un jeu entre l’arbre (7) et le passage d’arbre (14a, 14b).
  3. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le conduit (16) communique avec les deux passages d’arbre (14a, 14b) de l’étage de pompage (3e).
  4. Pompe à vide (1) selon la revendication 3, caractérisée en ce que le conduit (16) présente une portion linéaire (18) reliée à l’orifice d’entrée (16a), la portion linéaire (18) étant interposée entre les deux arbres (7) et communiquant avec deux cavités (20a, 20b) en forme de croissants de lune, chaque cavité (20a, 20b) communiquant avec un passage d’arbre (14a, 14b) respectif.
  5. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 2 à 4, comportant au moins un dispositif d’étanchéité (13a, 13b) interposé entre un palier (11) lubrifié de la pompe à vide (1) et l’étage de pompage (3e) pour étanchéifier un passage d’arbre (14a, 14b), caractérisée en ce que le conduit (16) communique avec le passage d’arbre (14a, 14b), entre le dispositif d’étanchéité (13a, 13b) et l’étage de pompage (3e).
  6. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé (15) comporte en outre :
    - une sonde de température (28) en communication fluidique avec le gaz de purge chauffé par le dispositif de chauffage (24), et
    - un contrôleur (30) relié à une alimentation du dispositif de chauffage (24) et à la sonde de température (28), pour contrôler la température du gaz de purge.
  7. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif de chauffage (24) comporte une cartouche chauffante comprenant des éléments résistifs chauffants (26) agencés dans un tube (27) entre une entrée (27a) et une sortie (27b) du tube (27) dans lequel un gaz de purge est destiné à circuler pour être chauffé.
  8. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé (15) est configuré pour que la portion du flux de gaz de purge chauffée soit comprise entre 10% et 100% du gaz de purge injecté dans le conduit (16).
  9. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif d’injection d’un gaz de purge chauffé (15) est configuré pour que le débit du gaz de purge chauffé soit supérieur à 33,8 Pa.m3/s.
  10. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif de chauffage (24) est configuré pour chauffer le gaz de purge à une température inférieure à 200°C.
  11. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un circuit refroidisseur (25) au moins partiellement intégré dans le stator (2) et entourant le conduit (16).
  12. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte en outre un conduit de purge de palier (35) formé dans le stator (2), destiné à être relié à une source de gaz de purge, et débouchant dans au moins un palier (11) de la pompe à vide (1).
  13. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte en outre au moins un conduit de purge d’étage (36) formé dans le stator (2), destiné à être relié à une source de gaz de purge, et débouchant dans un canal inter-étages (9) raccordant la sortie d’un étage de pompage à une entrée de l'étage de pompage qui suit.
  14. Pompe à vide (1) selon les revendications 12 et 13, caractérisée en ce qu’elle comporte un distributeur (38) destiné à être raccordé d’une part, à une source de gaz de purge et d’autre part, au conduit de purge de palier (35), au(x) conduit(s) de purge d’étage (36), au conduit (16) et à une canalisation (21b) reliée à une sortie (27b) du dispositif de chauffage (24).
  15. Pompe à vide (1) selon la revendication 14, caractérisée en ce qu’elle comporte un dispositif de chauffage additionnel (39) configuré pour chauffer au moins une partie du gaz de purge distribué par le distributeur (38).
FR1901520A 2019-02-14 2019-02-14 Pompe à vide primaire de type sèche Active FR3092879B1 (fr)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1901520A FR3092879B1 (fr) 2019-02-14 2019-02-14 Pompe à vide primaire de type sèche
JP2021547372A JP2022520431A (ja) 2019-02-14 2020-01-22 ドライタイプの粗引き真空ポンプ
CN202080010259.8A CN113330219A (zh) 2019-02-14 2020-01-22 干式粗真空泵
KR1020217020471A KR20210126547A (ko) 2019-02-14 2020-01-22 건식 저진공 펌프
EP20701063.8A EP3924625A1 (fr) 2019-02-14 2020-01-22 Pompe à vide primaire de type sèche
PCT/EP2020/051542 WO2020164877A1 (fr) 2019-02-14 2020-01-22 Pompe à vide primaire de type sèche
US17/427,785 US20220120279A1 (en) 2019-02-14 2020-01-22 Rough-vacuum pump of dry type
TW109103240A TWI825265B (zh) 2019-02-14 2020-02-03 乾式粗真空泵

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1901520A FR3092879B1 (fr) 2019-02-14 2019-02-14 Pompe à vide primaire de type sèche
FR1901520 2019-02-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3092879A1 true FR3092879A1 (fr) 2020-08-21
FR3092879B1 FR3092879B1 (fr) 2021-02-19

Family

ID=66776608

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1901520A Active FR3092879B1 (fr) 2019-02-14 2019-02-14 Pompe à vide primaire de type sèche

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20220120279A1 (fr)
EP (1) EP3924625A1 (fr)
JP (1) JP2022520431A (fr)
KR (1) KR20210126547A (fr)
CN (1) CN113330219A (fr)
FR (1) FR3092879B1 (fr)
TW (1) TWI825265B (fr)
WO (1) WO2020164877A1 (fr)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3129851A1 (fr) * 2021-12-08 2023-06-09 Pfeiffer Vacuum Ligne de vide et installation comportant la ligne de vide
WO2024209194A1 (fr) * 2023-04-05 2024-10-10 Edwards Limited Pompe à vide
CN116428185A (zh) * 2023-04-12 2023-07-14 北京通嘉宏瑞科技有限公司 真空泵以及气体供给系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH086708B2 (ja) * 1988-03-18 1996-01-29 株式会社日立製作所 真空ポンプ
JP2004293466A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Aisin Seiki Co Ltd 真空ポンプ
GB2440341A (en) * 2006-07-24 2008-01-30 Boc Group Plc Vacuum pump with purge gas channel
JP2012248867A (ja) * 2012-07-25 2012-12-13 Fujitsu Semiconductor Ltd 真空ポンプの運転方法及び半導体装置の製造方法
WO2014147876A1 (fr) * 2013-03-22 2014-09-25 株式会社テクノス Procédé pour empêcher un sous-produit de se solidifier et de s'accumuler à l'intérieur d'une pompe à vide sèche, et dispositif d'élévation de température d'azote gazeux

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4762980A (en) * 1986-08-07 1988-08-09 Thermar Corporation Electrical resistance fluid heating apparatus
KR101151954B1 (ko) * 2002-10-14 2012-06-01 에드워즈 리미티드 진공 펌프, 화학 증착 장치, 진공 펌프 내의 퇴적물 관리 방법, 진공 펌프 기구 내의 퇴적물 관리 방법 및 컴퓨터 판독가능한 저장 매체
US20040118343A1 (en) * 2002-12-18 2004-06-24 Tapp Frederick L. Vacuum chamber load lock purging method and apparatus
KR20060021696A (ko) * 2004-09-03 2006-03-08 삼성전자주식회사 반도체 제조 설비의 진공펌프
GB0519742D0 (en) * 2005-09-28 2005-11-09 Boc Group Plc Method of pumping gas
GB0922564D0 (en) * 2009-12-24 2010-02-10 Edwards Ltd Pump
JP2011163150A (ja) * 2010-02-05 2011-08-25 Toyota Industries Corp 水素ガスの排気方法及び真空ポンプ装置
KR101286187B1 (ko) * 2011-11-08 2013-07-15 데이비드 김 다단형 건식 진공펌프
FR2993614B1 (fr) * 2012-07-19 2018-06-15 Pfeiffer Vacuum Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
US10385448B2 (en) * 2012-09-26 2019-08-20 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for purging gaseous compounds
US20140112650A1 (en) * 2012-10-19 2014-04-24 Edwards Vacuum, Inc. Cartridge heater apparatus
GB2535703B (en) * 2015-02-23 2019-09-18 Edwards Ltd Gas supply apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH086708B2 (ja) * 1988-03-18 1996-01-29 株式会社日立製作所 真空ポンプ
JP2004293466A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Aisin Seiki Co Ltd 真空ポンプ
GB2440341A (en) * 2006-07-24 2008-01-30 Boc Group Plc Vacuum pump with purge gas channel
JP2012248867A (ja) * 2012-07-25 2012-12-13 Fujitsu Semiconductor Ltd 真空ポンプの運転方法及び半導体装置の製造方法
WO2014147876A1 (fr) * 2013-03-22 2014-09-25 株式会社テクノス Procédé pour empêcher un sous-produit de se solidifier et de s'accumuler à l'intérieur d'une pompe à vide sèche, et dispositif d'élévation de température d'azote gazeux

Also Published As

Publication number Publication date
CN113330219A (zh) 2021-08-31
TW202043621A (zh) 2020-12-01
US20220120279A1 (en) 2022-04-21
KR20210126547A (ko) 2021-10-20
FR3092879B1 (fr) 2021-02-19
JP2022520431A (ja) 2022-03-30
EP3924625A1 (fr) 2021-12-22
TWI825265B (zh) 2023-12-11
WO2020164877A1 (fr) 2020-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3924625A1 (fr) Pompe à vide primaire de type sèche
BE1018846A3 (fr) Compresseur a vis.
CA2671839C (fr) Procede et systeme de lubrification d'une turbomachine
EP2875240B1 (fr) Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
CA2738093C (fr) Procede et systeme de lubrification d'une turbomachine
EP0000131B1 (fr) Procédé et dispositif de lubrification de compresseurs
EP2619419B1 (fr) Systeme de pressurisation des enceintes de paliers des turbomachines par de l'air preleve dans la manche d'entree
FR2638788A1 (fr) Pompe a vide du type roots multietage
EP1281871A1 (fr) Garniture d'étanchéité pour compresseur et compresseur centrifuge pourvu d'une telle garniture
CA2564491A1 (fr) Dispositif de ventilation de disques de turbine dans un moteur a turbine a gaz
FR2605393A1 (fr) Separateur de courants pour conduite d'aspiration et circuit de refrigeration a compresseurs multiples
EP1653052A1 (fr) Dispositif de lubrification d'un composant dans une turbomachine
FR2991733A1 (fr) Dispositif de compression et systeme thermodynamique comprenant un tel dispositif de compression
FR2997739A1 (fr) Compresseur comprenant un equilibrage de poussee
EP2042739B1 (fr) Pompe à vide à deux rotors hélicoïdaux
FR2689185A1 (fr) Ensemble à pompe à huile pour moteur.
FR2566681A1 (fr) Appareil pour la thermonebulisation de liquides
FR2859836A1 (fr) Machine electrique equipee d'un moyen de refroidissement
EP1990543A1 (fr) Pompe à vide sèche
FR2939481A1 (fr) Module d'alimentation de fluide comportant une pompe et un systeme de purge perfectionne
EP3131656B1 (fr) Filtrage d'un flux gaz/particules
FR2579718A1 (fr) Dispositif d'alimentation en huile de paliers d'arbres
FR3128745A1 (fr) Pompe à vide sèche
FR3119209A1 (fr) Pompe à vide de type sèche et groupe de pompage
FR3112176A1 (fr) Pompe à vide primaire et Installation

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20200821

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 6