FR2892205A1 - Commutateur optique - Google Patents

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Keiichi Mori
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Osamu Imaki
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Abstract

L'invention concerne un commutateur optique comprenant un substrat (10) de support sur lequel les parties extrêmes de trois parties de guides d'ondes optiques (22A, 22B, 22C) sont placées mutuellement en parallèle de façon à constituer un accès d'entrée et deux accès de sortie. La lumière émise depuis l'accès d'entrée est commutée, au moyen de premier et second miroirs mobiles (40A, 40B), vers l'un ou l'autre des accès de sortie. Des miroirs fixes (41A, 41B) dévient la lumière provenant de l'un ou l'autre des miroirs mobiles pour l'appliquer par couplage au premier ou au second accès de sortie.Domaine d'application : Transmissions optiques, etc.

Description

L'invention concerne un commutateur optique utilisé dans la commutation de
lignes de transmission optique. Les demandes de brevet japonais mises à l'Inspection Publique, sous les numéros 2005-37885 et 2000-111815, décrivent des commutateurs optiques utilisant des techniques à systèmes de micro-électromécaniques (MEMS) d'un type à deux entrées et deux sorties et d'un type à une entrée et trois sorties. Dans le cas où la lumière d'entrée est commutée sur deux sorties, il est possible de prévoir de tels commutateurs optiques pour cette utilisation, mais il est approprié de préparer un dispositif composé d'un accès d'entrée et deux accès de sortie à des fins d'intégration miniature. Dans ce cas, il est en outre optimal, en particulier, pour utiliser de façon intensive l'espace, de choisir un dispositif ayant une structure dans laquelle les trois accès sont alignés sur un côté d'une puce. La figure 2B de la demande de brevet japonais mise à l'Inspection Publique sous le numéro 2001-201699 décrit un exemple d'un commutateur optique de type MEMS ayant une telle structure. Cependant, cette configuration présente des longueurs de chemins optiques qui ne sont pas identiques en allant de l'accès d'entrée associé au commutateur respectivement vers les deux accès de sortie, en sorte que les conditions des deux chemins optiques sont déséquilibrées et qu'on ne peut pas obtenir en sortie des deux accès de sortie une lumière de la même qualité optique. En général, dans un commutateur optique, il est souhaitable que les propriétés d'intensité, de taille du spot, de polarisation et autres des lumières de sortie commutées soient toutes uniformes au milieu de l'accès de sortie. A cet effet, une condition est que les conditions de propagation optique des chemins optiques commutés soient équivalentes. En conséquence, dans le cas d'un commutateur optique à une entrée et deux sorties, si deux chemins optiques commutables sont configurés de façon à être complètement symétriques, y compris la disposition et l'angle, la distance optique et les pièces collimatrices, etc., les conditions précitées sont totalement satisfaites, d'une façon idéale. De plus, même si deux chemins optiques ne peuvent pas être configurés de façon à être complètement symétriques, en amenant au moins leurs distances optiques à coïncider et en rendant équivalentes leurs relations d'angle de miroir, il est possible d'égaliser les deux lumières de sortie en ce qui concerne l'intensité et la taille du spot, ainsi que les propriétés de polarisation. En outre, la figure 3 de la demande N 2001-201699 précitée montre un exemple d'un commutateur optique ayant une structure dans laquelle les trois accès sont tous alignés sur un côté et, cependant, les chemins optiques des deux accès de sortie sont uniformes, mais il s'agit d'un commutateur utilisant un miroir tournant, et il n'est pas possible d'obtenir un fonctionnement bistable, etc. dans les pièces en mouvement. De plus, conformément à un dispositif classique, décrit dans les trois demandes précitées, avec une structure introduisant un miroir mobile dans le chemin optique et l'enlevant de celui-ci, et commutant et utilisant sa réflexion et sa transmission, le miroir mobile doit d'abord, dans le cas de l'utilisation d'une lumière réfléchie par l'introduction d'un miroir mobile dans le chemin optique, être complètement inséré dans le chemin optique avec une distance d'actionnement suffisante, et la lumière résiduelle transmise, c'est-à-dire la diaphonie vers l'accès de transmission, doit être suffisamment arrêtée et éteinte. De plus, dans le cas du retrait du miroir mobile et de l'utilisation de la lumière transmise, le miroir mobile doit être totalement retiré, uniquement sur la distance d'actionnement suffisante, du chemin optique, et la diaphonie de la lumière résiduelle réfléchie résultant du fait qu'une partie du miroir bloque légèrement le chemin optique doit être suffisamment éteinte. Dans le dispositif classique, il était finalement impératif, pour satisfaire à la spécification d'isolement, de prendre comme course la distance d'actionnement suffisante, dans les deux cas, et d'actionner chaque miroir mobile.
Un premier objet de la présente invention est de réaliser, en prenant en considération les circonstances précitées, et en utilisant un miroir actionné par translation, un commutateur optique de type MEMS ayant une structure dans laquelle trois accès sont alignés sur un côté et deux chemins optiques commutables sont constitués de façon aussi uniforme que possible. De cette manière, on peut obtenir un commutateur optique nouveau pour lequel une intégration miniature poussée, ne pouvant pas être obtenue classiquement, est possible et pour lequel les propriétés optiques des lumières de sortie associées à la commutation sont suffisamment ou complètement uniformes. Dans la présente invention, des technologies telles que le fonctionnement en régime bistable associé à l'actionneur cité dans la demande N 2005-37885 précitée, et une disposition à centre de gravité stable, peuvent être utilisées en ce qui concerne les miroirs mobiles. La présente invention a également pour deuxième objet de proposer une structure d'un commutateur optique ayant une structure dans laquelle les accès d'entrée et de sortie sont alignés sur un côté et les propriétés optiques de la lumière de sortie sont rendues uniformes, et dans lequel les courses d'actionnement des miroirs mobiles nécessaires pour la commutation optique sont raccourcies.
Un autre objet de l'invention est de proposer, dans le commutateur optique précité, un commutateur optique ayant une structure dans laquelle il est difficile que se produise un défaut d'alignement des axes optiques entre l'accès d'entrée et les accès de sortie même si des erreurs de fabrication apparaissent.
Le commutateur optique proposé en tant que premier aspect de l'invention comporte une partie de support supportant les parties extrêmes, mutuellement alignées en parallèle sur un substrat, de trois parties à guides 5 d'ondes optiques ; des premier et second miroirs mobiles dont les positions relatives peuvent varier par rapport au substrat ; et des premier et second miroirs fixes ayant des positions relatives fixes par rapport au substrat ; 10 commutateur dans lequel la partie extrême de la partie de guide d'onde optique centrale des trois parties de guides d'ondes optiques supportées par ladite partie de support est un accès d'entrée du commutateur optique concerné ; les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes 15 optiques, adjacentes sur les deux côtés de la partie de guide d'onde optique centrale, sont les premier et second accès de sortie du commutateur optique concerné ; le premier miroir mobile et le second miroir mobile peuvent respectivement être insérés dans des positions d'insertion, 20 ces positions d'insertion se trouvant sur le chemin optique d'une lumière émise depuis l'accès d'entrée, et les distances sur l'axe optique de l'accès d'entrée jusqu'à chaque position d'insertion étant les mêmes ; le commutateur est capable d'effectuer une commutation entre 25 un état dans lequel seul ledit premier miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état dans lequel seul le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion ; la lumière émise depuis l'accès d'entrée est réfléchie, par le premier miroir mobile ou le second miroir 30 mobile qui sont insérés dans la position d'insertion, respectivement vers le côté du premier accès de sortie ou vers le côté du second accès de sortie ; la lumière réfléchie par le premier miroir mobile vers le côté du premier accès de sortie est en outre réfléchie par le 35 premier miroir fixe et est appliquée par couplage au premier accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; la lumière réfléchie par le second miroir mobile vers le côté du second accès de sortie est en outre réfléchie par le second miroir fixe et appliquée par couplage au second accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée, et en sens inverse par rapport cette lumière émise ; et le chemin optique allant du premier miroir mobile au premier accès de sortie en passant par le premier miroir fixe et le chemin optique allant du second miroir mobile au second accès de sortie en passant par le second miroir fixe sont symétriques par rapport à l'axe de la lumière émise de l'accès d'entrée. Un commutateur optique proposé selon le deuxième aspect de l'invention comporte une partie de support supportant les parties extrêmes, mutuellement alignées en parallèle sur un substrat, de trois parties de guides d'ondes optiques ; des premier et second miroirs mobiles dont les positions relatives peuvent varier par rapport au substrat ; et des premier et second miroirs fixes ayant des positions relatives fixes par rapport au substrat, commutateur dans lequel la partie extrême de la partie de guide d'onde optique centrale des trois parties de guides d'ondes optiques supportées par la partie de support est un accès d'entrée du commutateur optique concerné ; les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques, adjacentes sur les deux côtés de la partie de guide d'onde optique centrale, sont les premier et second accès de sortie du commutateur optique concerné ; le premier miroir mobile et le second miroir mobile peuvent être respectivement insérés dans des positions d'insertion qui se trouvent sur le chemin optique d'une lumière émise depuis l'accès d'entrée, et les distances sur l'axe optique de l'accès d'entrée jusqu'à chacune des positions d'insertion sont les mêmes ; le commutateur est capable d'effectuer une commutation entre un état dans lequel seul le premier miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état dans lequel seul le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion ; la lumière émise depuis l'accès d'entrée est réfléchie, par le premier miroir mobile ou le second miroir mobile qui sont insérés dans la position d'insertion, respectivement vers le côté du premier accès de sortie ou vers le côté du second accès de sortie ; la lumière réfléchie par le premier miroir mobile vers le côté du premier accès de sortie est en outre réfléchie par le premier miroir fixe et appliquée par couplage au premier accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée, et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; la lumière réfléchie par le second miroir mobile vers le côté du second accès de sortie est en outre réfléchie par le second miroir fixe et appliquée par couplage au second accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; et les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont des parties extrêmes de trois parties de guides d'ondes optiques monomode ; la partie extrême qui est l'accès d'entrée et/ou les parties extrêmes qui sont les deux accès de sortie, comprennent une ou des parties de concentration ; les diagrammes d'émission de champ de lumière de chaque face extrême des parties extrêmes de parties de guides d'ondes optiques monomode qui sont les deux accès de sortie sont identiques ; le chemin optique allant du premier miroir mobile au premier accès de sortie en passant par le premier miroir fixe et le chemin optique allant du second miroir mobile au second accès de sortie en passant par le second miroir fixe sont symétriques par rapport à l'axe de la lumière émise de l'accès d'entrée. Dans un commutateur optique proposé en tant que troisième aspect de l'invention, le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont actionnés respectivement au moyen d'un premier actionneur électrostatique et d'un second actionneur électrostatique, dans une direction dans le plan du substrat, pour être insérés dans la position d'insertion et en être extraits ; les directions d'actionnement d'insertion/extraction du premier miroir mobile et du second miroir mobile sont inclinées dans des directions relativement rectilignes par rapport à l'axe optique de l'accès d'entrée ; et la direction d'actionnement d'insertion/extraction du premier miroir mobile et la direction d'actionnement d'insertion/extraction du second miroir mobile ont une symétrie linéaire par rapport à l'axe optique de l'accès d'entrée. Dans un commutateur optique proposé en tant que quatrième aspect de l'invention, un première articulation bistable supporte le premier miroir mobile et présente deux états stables qui sont un état inséré tel que le premier miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait tel que le premier miroir mobile est extrait de la même position ; et une seconde articulation bistable supporte le second miroir mobile et présente deux états stables qui sont un état inséré tel que le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait tel que le second miroir mobile est extrait de la même position, commutateur optique dans lequel une commande d'actionnement de commutation est exécutée à partir d'une étape dans laquelle l'un du premier miroir mobile et du second miroir mobile se trouve dans l'état inséré, et l'autre se trouve dans l'état extrait, en passant par une étape dans laquelle les deux miroirs mobiles sont en même temps dans l'état extrait, jusqu'à une étape dans laquelle l'un est dans l'état extrait et l'autre est dans l'état inséré ; et, dans chaque état extrait, une partie du premier/second miroir mobile extrait reste dans le chemin optique pouvant être pris dans lequel la lumière émise provenant de l'accès d'entrée se propage dans le cas où elle n'est pas arrêtée par le second/premier miroir mobile.
Dans un commutateur optique proposé en tant que cinquième aspect de l'invention, une première articulation bistable supporte le premier miroir mobile et présente deux états stables qui sont un état inséré tel que le premier miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait tel que le premier miroir mobile est extrait de la même position ; et une seconde articulation bistable supporte le second miroir mobile et présente deux états stables qui sont un état inséré tel que le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait tel que le second miroir mobile est extrait de la même position ; commutateur optique dans lequel le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont disposés en laissant une zone neutre, qui est un espace juste assez grand pour que les deux miroirs ne se heurtent pas lorsque l'un, arbitraire, de ceux-ci est dans l'état inséré et l'autre dans l'état extrait, et un actionnement pour amener dans l'état extrait celui qui est dans l'état inséré, et un actionnement pour amener dans l'état inséré celui qui est dans l'état extrait sont amorcés simultanément et exécutés ensemble ; et l'actionnement pour placer dans l'état extrait celui des miroirs qui est dans l'état inséré et l'actionnement pour placer dans l'état inséré l'autre des miroirs qui est dans l'état extrait sont amorcés simultanément et exécutés ensemble. Dans un commutateur optique proposé en tant que sixième aspect de l'invention, le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont réalisés sous la forme d'un constituant d'un seul bloc, un état du premier miroir mobile inséré dans la position d'insertion et un état du second miroir mobile inséré dans la position d'insertion sont commutés au moyen d'un actionnement du constituant monobloc dans une direction contenue dans le plan du substrat, par un actionneur électrostatique. Un commutateur optique proposé en tant que septième aspect de l'invention comporte une partie de support supportant les parties extrêmes, mutuellement alignées en parallèle sur un substrat, de trois parties de guides d'ondes optiques ; un miroir mobile pouvant faire varier les positions relatives par rapport au substrat ; et des premier, deuxième et troisième miroirs fixes ayant des positions relatives fixes par rapport au substrat, commutateur optique dans lequel la partie extrême d'une partie de guide d'onde optique quelconque des trois parties de guides d'ondes optiques supportées par la partie de support est un accès d'entrée du commutateur concerné, et les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques sont les premier et second accès de sortie du commutateur concerné ; le premier miroir fixe, réfléchissant la lumière depuis l'accès d'entrée vers le côté du premier accès de sortie, est placé dans le chemin optique de la lumière émise depuis l'accès d'entrée ; le miroir mobile est constitué de façon à pouvoir être inséré dans, et extrait de, une position sur le chemin optique de l'accès d'entrée vers le premier miroir fixe, et le miroir mobile réfléchit la lumière provenant de l'accès d'entrée vers le côté du second accès de sortie lorsque le miroir mobile est inséré dans la position située sur le chemin optique ; la lumière réfléchie par le premier miroir fixe est en outre réfléchie par le deuxième miroir fixe, et la lumière réfléchie par le deuxième miroir fixe est appliquée par couplage au premier accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; la lumière réfléchie par le miroir mobile est en outre réfléchie par le troisième miroir fixe, et la lumière réfléchie par le troisième miroir fixe est appliquée par couplage au second accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; le total de la distance optique allant de l'accès d'entrée au premier accès de sortie en passant par le premier miroir fixe et le deuxième miroir fixe, et le total de la distance optique allant de l'accès d'entrée au second accès de sortie en passant par le miroir mobile et le troisième miroir fixe sont mutuellement égaux. Un commutateur optique proposé en tant que huitième aspect de l'invention comporte une partie de support supportant les parties extrêmes, mutuellement alignées en parallèle sur un substrat, de trois parties de guides d'ondes optiques ; un miroir mobile dont les positions relatives peuvent varier par rapport au substrat ; et des premier, deuxième et troisième miroirs fixes ayant des positions relatives fixes par rapport au substrat, commutateur optique dans lequel la partie extrême d'une partie de guide d'onde optique quelconque des trois parties de guides d'ondes optiques supportées par la partie de support est un accès d'entrée du commutateur concerné, et les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques sont les premier et second accès de sortie du commutateur concerné ; le premier miroir fixe réfléchissant la lumière émise depuis l'accès d'entrée vers le côté du premier accès de sortie est placé dans le chemin optique de la lumière émise depuis l'accès d'entrée ; le miroir mobile est constitué de façon à pouvoir être inséré dans, et extrait de, une position sur le chemin optique depuis l'accès d'entrée jusqu'au premier miroir fixe, et le miroir mobile réfléchit la lumière émise depuis l'accès d'entrée vers le côté du second accès de sortie lorsque le miroir mobile est inséré dans la position située sur le chemin optique ; la lumière réfléchie par le premier miroir fixe est en outre réfléchie par le deuxième miroir fixe, et la lumière réfléchie par le deuxième miroir fixe est appliquée par couplage au premier accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée, et en sens inverse de celui de cette lumière émise ; la lumière réfléchie par le miroir mobile est en outre réfléchie par le troisième miroir fixe, et la lumière réfléchie par le troisième miroir fixe est appliquée par couplage au second accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont des parties extrêmes de trois parties de guides d'ondes optiques monomode ; la partie extrême, qui est l'accès d'entrée et/ou les parties extrêmes qui sont les deux accès de sortie, ont une ou des parties de concentration ; les diagrammes d'émission de champ de lumière de chaque face extrême des parties extrêmes de parties de guides d'ondes optiques monomode qui sont les deux accès de sortie sont identiques ; le total de la distance optique allant de l'accès d'entrée au premier accès de sortie en passant par le premier miroir fixe et le deuxième miroir fixe et le total de la distance optique allant de l'axe d'entrée au second accès de sortie en passant par le miroir mobile et le troisième miroir fixe sont mutuellement égaux. Dans un commutateur optique proposé en tant que neuvième aspect de l'invention, les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont supportées par la partie de support de façon que les positions de leurs trois faces extrêmes soient alignées de manière rectiligne et que les axes optiques couplés aux mêmes faces extrêmes soient mutuellement alignés en parallèle ; la partie extrême d'une partie quelconque d'un guide d'onde optique du côté extérieur constitue l'accès d'entrée, l'autre partie de guide d'onde optique du côté extérieur constitue le second accès de sortie ; les faces du premier miroir fixe et du miroir mobile sont respectivement inclinées d'un angle de 45', par rapport à l'axe de la lumière émise depuis l'accès d'entrée, vers le côté des deux accès de sortie ; et les faces du deuxième miroir fixe et du troisième miroir fixe sont respectivement inclinées de 45 par rapport à la direction de l'axe de la lumière émise, vers le côté de l'accès d'entrée.
Dans un commutateur optique proposé en tant que dixième aspect de l'invention, le miroir mobile est actionné, au moyen d'un actionneur électrostatique, dans une direction contenue dans le plan du substrat qui est perpendiculaire à l'axe de la lumière émise depuis l'accès d'entrée.
Dans un commutateur optique proposé en tant qu'onzième aspect de l'invention, les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont supportées par la partie de support de façon que les positions de leurs trois faces extrêmes soient alignées de manière rectiligne et que les axes optiques couplés aux mêmes faces extrêmes soient mutuellement alignés en parallèle ; la partie extrême de leur partie de guide d'onde optique centrale constitue l'accès d'entrée, les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques, adjacentes aux deux côtés de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique centrale, constituent les premier et second accès de sortie ; et le miroir mobile est inséré dans le chemin optique depuis l'accès d'entrée vers le premier miroir fixe, depuis le côté du second accès d'entrée par rapport au même chemin optique, dans une direction contenue dans le plan du substrat, et le miroir mobile est extrait du même chemin optique vers le même côté du second accès de sortie, dans une direction contenue dans le plan du substrat. Dans un commutateur optique proposé en tant que douzième aspect de l'invention, le miroir mobile est constitué en revêtant d'une matière réfléchissante une partie en forme de plaque située à l'extrémité d'une pièce en forme de tige qui est actionnée pour être insérée dans le chemin optique et en être extraite ; et le miroir mobile est actionné pour 'être inséré et extrait sur un chemin faisant face à la partie arrière du premier miroir fixe, un évidement, situé à l'arrière du premier miroir fixe du substrat, s'ouvrant face à la piste sur laquelle ladite pièce en forme de tige est actionnée pour l'insertion dans le chemin optique et son extraction de celui-ci et, du fait de cet évidement, les deux côtés des faces avant et arrière du miroir mobile sont des espaces qui restent ouverts. Dans un commutateur optique proposé en tant que treizième aspect de l'invention, le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont constitués respectivement en revêtant d'une matière réfléchissante les parties en forme de plaque situées aux extrémités de pièces en forme de tige qui sont actionnées pour être insérées dans les positions d'insertion et en être extraites ; des parties oblitérées, situées sur les parties arrière du premier miroir mobile et du second miroir mobile du substrat, s'ouvrent face aux deux pistes sur lesquelles les deux pièces en forme de tige sont actionnées pour l'insertion et l'extraction ; et du fait de ces parties oblitérées, dans des positions dans lesquelles le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont extraits chacun des positions d'insertion, les deux côtés respectifs des faces avant et arrière du premier miroir mobile et du second miroir mobile des deux pièces en forme de tige sont des espaces qui restent ouverts. Dans un commutateur optique proposé en tant que quatorzième aspect de l'invention, les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont des parties extrêmes de trois fibres optiques ; trois gorges de section transversale rectangulaire, mutuellement alignées en parallèle, sont formées dans le substrat ; et des ressorts d'application de pression aux fibres, en forme de demi- langue, sont prévus sur chaque côté d'une paroi intérieure des trois gorges ; les parties extrêmes de trois fibres optiques sont placées dans les trois gorges, à raison d'une par gorge, les ressorts d'application de pression aux fibres poussent respectivement les côtés des parties extrêmes des trois fibres optiques vers les parois intérieures face à face des trois gorges et, sous l'effet de ces poussées, les parties extrêmes des trois fibres optiques sont positionnées respectivement sur les parois intérieures opposées ; les côtés d'une paroi intérieure où se trouvent les ressorts d'application de pression aux fibres sont prévus de façon à être mutuellement opposés entre les gorges dans lesquelles des accès en couplage optique mutuel sont respectivement placés. Conformément aux commutateurs optiques proposés selon les six premiers et le treizième aspect de l'invention, il est possible, dans un commutateur optique ayant un accès d'entrée et deux accès de sortie, d'égaliser mutuellement la lumière émise et commutée optiquement, pratiquement à un degré idéal, en réalisant les deux chemins optiques conformément à la symétrie de commutation. De plus, conformément aux commutateurs optiques proposés en tant que septième à douzième aspects de l'invention, il est possible, dans un commutateur optique ayant un accès d'entrée et deux accès de sortie, d'égaliser les propriétés optiques associées à l'intensité et à la taille du spot de la lumière émise et commutée, en rendant égales les distances optiques des deux chemins optiques associés à la commutation. En ce qui concerne en particulier les commutateurs optiques proposés en tant que neuvième et dixième aspects de l'invention, il est également possible, en plus de l'égalisation précitée des distances optiques, d'éliminer le manque d'uniformité résultant des propriétés, dépendantes de la polarisation des miroirs et d'assurer une uniformité concernant les propriétés optiques telles que les propriétés de polarisation des lumières émises en rendant également mutuellement égaux les angles des miroirs respectivement présents dans le milieu des deux chemins optiques commutés. De cette manière, il est possible d'égaliser la lumière émise à un degré qui est suffisant par rapport à ce qui estsouhaité. Conformément au commutateur optique proposé en tant que quatorzième aspect de l'invention, dans un commutateur optique ayant un accès d'entrée et deux accès de sortie, il est possible d'égaliser optiquement de façon pratiquement idéale, ou bien à un degré suffisant, les lumières émises qui sont commutées. Conformément au commutateur optique proposé en tant que troisième, quatrième et cinquième aspects de l'invention, étant donné qu'un miroir mobile dans un état extrait est disposé en arrière d'un miroir mobile dans un état inséré, le miroir mobile dans l'état extrait se trouve masqué par le miroir mobile dans l'état inséré, en sorte que, même si le miroir mobile dans l'état extrait n'est pas retiré de façon importante du chemin optique, il est impossible que le miroir mobile intercepte un faisceau lumineux se propageant le long du chemin optique. Il est donc possible de bloquer une condition dans laquelle de la lumière est projetée sur le miroir mobile dans l'état extrait et une diaphonie est générée par la lumière qui en est réfléchie. En conséquence, conformément à l'invention, il est possible de raccourcir les courses d'actionnement des miroirs mobiles. En particulier, conformément au commutateur optique proposé en tant que quatrième aspect de l'invention, sa course peut être diminuée à pratiquement la moitié de la course d'un commutateur optique classique du type à extraction du miroir mobile. De plus, conformément au commutateur optique proposé en tant que sixième aspect et au commutateur optique proposé en tant que dixième aspect de l'invention, il est possible, étant donné que le miroir mobile présent, par exemple, avec une inclinaison de 45 par rapport à l'axe de la lumière incidente est actionné dans une direction qui est perpendiculaire au même axe de la lumière incidente, de réduire en proportion la course d'actionnement du même miroir mobile, par exemple jusqu'à pratiquement 1/127 de celle présente dans le passé. De plus, conformément aux commutateurs optiques proposés en tant que premier à quatorzième aspects de l'invention, il est possible de compenser mutuellement les erreurs de fabrication portant sur le positionnement des miroirs et les parties de guides d'ondes optiques, de maintenir l'alignement relatif mutuel de chaque élément et de garantir le couplage optique. En particulier, en ce qui concerne la configuration des chemins optiques reliant les accès, avec le renvoi par double réflexion comme dans la présente invention, même si les faces des deux miroirs associés à la même double réflexion sont déplacées symétriquement de la même grandeur dans une direction perpendiculaire à chaque face de miroir, le chemin optique fait uniquement varier la profondeur de la position des points de réflexion par lesquels le chemin lumineux est renvoyé de la partie correspondant aux déplacements de miroir et maintient le couplage des deux axes optiques des deux accès qui sont gardés intacts. De la même manière, en ce qui concerne les déplacements latéraux des accès d'entrée/sortie, aussi, si ces déplacements sont de la même grandeur et sont symétriques, le couplage des axes optiques est maintenu de la même manière. Alors, dans le cas de la formation d'un dispositif de type MEMS, par la gravure du substrat, étant donné que les structures telles que les miroirs et les gorges sont toutes formées dans le même processus de gravure et donc que les erreurs de position de faces des parois latérales formées, dues à une attaque excessive ou déficiente, sont toutes de la même grandeur ou symétriques, les erreurs de fabrication par ce procédé n'ont en principe aucune influence sur les alignements des axes optiques des accès, de façon avantageuse. L'invention sera décrite plus en détail en regard des 30 dessins annexés à titre d'exemples nullement limitatifs et sur lesquels : la figure 1 est une vue en plan à échelle agrandie pour expliquer une forme de réalisation d'un commutateur optique selon l'invention ; la figure 2 est une vue en perspective à échelle agrandie montrant une partie de la figure 1 de façon agrandie ; la figure 3 est un diagramme pour expliquer le 5 fonctionnement du miroir mobile qui est une caractéristique distinctive de l'invention ; la figure 4 est un diagramme pour expliquer un autre procédé de déplacement des miroirs mobiles ; la figure 5 est une vue en plan pour expliquer la 10 raison pour laquelle des décalages de l'axe optique dus à des erreurs de fabrication ne se produisent pas, ce qui constitue une autre caractéristique distinctive de l'invention ; la figure 6 est une vue en perspective à échelle 15 agrandie pour la description d'une variante de l'invention ; la figure 7 est une vue en plan à échelle agrandie pour la description d'une autre variante de l'invention ; la figure 8 est une vue en plan à échelle agrandie 20 pour la description d'une autre variante encore de l'invention ; et la figure 9 est une vue en plan pour la description d'une autre variante encore de celle montrée sur la figure 8. 25 Le commutateur optique selon l'invention est formé sur un substrat au moyen d'une technologie de micro-usinage. Il s'agit d'un commutateur optique ayant un accès d'entrée et deux accès de sortie, des premier et second accès de sortie, lequel commutateur comporte, sur un substrat, trois 30 parties de guides d'ondes optiques dont des parties extrêmes sont supportées de façon à être mutuellement alignées en parallèle. En ce qui concerne les parties de guides d'ondes optiques, il est souhaitable d'utiliser des parties de guides d'ondes optiques monomode. L'invention 35 peut être exécutée fondamentalement avec la même technologie d'éléments que pour la fabrication de dispositifs de type MEMS décrite dans la demande N 2005-37885 précitée. En ce qui concerne la totalité des treize premiers aspects de l'invention, les parties extrêmes des parties de guides d'ondes optiques monomode formant l'accès d'entrée et les accès de sortie du commutateur optique sont constituées par des parties extrêmes de fibres optiques monomode et, en tant que dispositif MEMS, il est approprié de prévoir pour celui-ci une gorge pour la fixation des parties extrêmes des mêmes fibres optiques. En particulier, dans le quatorzième aspect de l'invention, elles sont considérées comme une condition structuralement nécessaire. La partie extrême de fibre optique monomode indiquée ici entend inclure des parties extrêmes de fibres optiques monomode pourvues d'une partie de concentration qui comprend, par exemple, une lentille à barreau, conjointement avec une entretoise, d'un revêtement anti-réflexion et analogues. Un exemple en est décrit dans la demande de brevet japonais mise à l'Inspection Publique sous le numéro 2003-43270, et il peut être adopté dans l'invention. En utilisant en outre les parties extrêmes de fibres optiques monomode décrites dans cette même demande, en combinaison avec un revêtement anti-réflexion ou la technologie de remplissage des espaces vides du dispositif par un agent d'adaptation d'indice de réfraction, il est possible d'obtenir le degré nécessaire de prévention contre la réflexion sur les faces extrêmes. Pour prévenir également la réflexion sur les faces extrêmes, celles-ci peuvent être polies obliquement. On n'en donnera pas ci-après d'exemple mais, dans ce cas, pour toutes les formes de réalisation de l'invention, seules les trois fibres optiques et les gorges les supportant ont une inclinaison, uniforme, de plusieurs degrés par rapport à l'axe optique de la lumière incidente sur chaque face extrême et émergente de chacune d'elles et sont orientées de façon à assurer un parallélisme mutuel. Ce point seul diffère, ce qui est indiqué à titre d'exemple ci-après, d'autres parties n'ayant aucune modification par rapport à ce qui est indiqué ci-après à titre d'exemple.
Il est également possible de combiner la partie de concentration et la prévention de la réflexion en utilisant une fibre pourvue d'une lentille du type à bout sphérique. 11 est approprié que les positions des faces extrêmes des trois accès soient formées de façon à être toutes en ligne. Un exemple n'en est pas illustré, mais un mode dans lequel une fibre en forme de ruban, composée de trois fibres optiques, est placée dans une gorge de guidage et est assemblée, est également possible. En ce qui concerne la partie de concentration dans laquelle une lentille à barreau ou la lentille à bout sphérique précitée est considérée comme étant une forme de réalisation avantageuse, il est optimal de prévoir les mêmes lentilles pour la totalité des trois accès, mais il est également possible de choisir une configuration dans laquelle une partie de concentration est prévue soit uniquement dans l'accès d'entrée ou uniquement dans les deux accès de sortie où un accès qui n'est pas muni d'une partie de concentration applique par couplage un faisceau lumineux conique dont la conicité correspond à l'angle d'ouverture de la face extrême du même accès. Il est également possible, en outre, de configurer un commutateur optique en combinant un substrat à chemin de guide d'onde optique monomode qui n'est pas une fibre optique avec la structure MEMS d'une autre partie. Dans ce cas, une partie de concentration peut être constituée dans l'extrémité du chemin de guide d'onde optique en utilisant, par exemple, la technologie décrite dans la demande de brevet japonais mise à l'Inspection Publique sous le numéro 2004-125899.
En outre, même dans le cas de l'utilisation d'une partie de guide d'onde optique multimode pour la partie de guide d'onde optique et de la présence d'une partie de concentration et analogue dans la partie extrême, il est d'une importance essentielle qu'une partie de concentration soit placée dans l'accès d'entrée uniquement ou que des parties de concentration ayant la même configuration ou le même comportement de collecte soient placées dans les deux accès de sortie. Les figures 1 et 2 représentent une première forme de réalisation d'un commutateur optique proposé en tant que premier aspect de l'invention. La référence numérique 10 sur le schéma désigne un substrat, la référence numérique 20 désigne une partie de support formée dans le substrat 10 et la référence numérique 30 désigne une partie d'actionnement d'un miroir mobile, et les références numériques 40A et 40B désignent des miroirs mobiles. Le substrat 10 utilise un substrat à structure stratifiée telle que SOI (silicium sur isolant) et comporte une partie 20 de support d'accès d'entrée et de sortie, une partie 30 d'actionnement de miroirs mobiles et des miroirs mobiles 40A et 40B, formés dans ce substrat par une technologie de micro-usinage. Comme représenté de façon agrandie sur la figure 2, la partie 20 de support d'entrée et de sortie de cette forme de réalisation est constituée en formant trois gorges évidées 21A, 21B et 21C. Les parties extrêmes de parties de guides d'ondes optiques 22A, 22B et 22C, qui sont les parties extrêmes des fibres optiques monomode précitées, sont respectivement insérées et supportées dans ces trois gorges évidées 21A, 21B et 21C, de façon à constituer des accès d'entrée et de sortie. La partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B, qui est celle des trois parties de guides d'ondes optiques 22A, 22B et 22C qui est située dans le centre, est prise en tant qu'accès d'entrée, et les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques 22A et 22C, qui sont adjacentes sur les deux côtés de la partie centrale, sont prises en tant que deux accès de sortie, un premier et un second accès de sortie. La lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B, qui est l'accès d'entrée, est déviée respectivement de façon commutée par réflexion du côté du premier accès de sortie (la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A) ou du côté du second accès de sortie (la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22C) au moyen du premier miroir mobile 40A et du second miroir mobile 40B, respectivement, qui sont insérés de façon commutable dans des positions, à la même distance, sur le chemin optique de la lumière émise, depuis une face extrême 22BA de l'accès d'entrée. La lumière réfléchie provenant du même premier miroir mobile 40A et du même second miroir mobile 40B est en outre déviée respectivement par réflexion dans un premier miroir fixe 41A ou un second miroir fixe 41B, est orientée parallèlement à la lumière émise depuis l'accès d'entrée (la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B) et en sens inverse de celui de cette lumière émise depuis l'accès d'entrée, et est appliquée respectivement par couplage aux premier et second accès de sortie (les parties extrêmes des parties de guides d'ondes optiques 22A et 22C). Le chemin optique allant du premier miroir mobile 40A au premier accès de sortie (la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A) en passant par le premier miroir fixe 41A et le chemin optique allant du second miroir mobile 40B au second accès de sortie (la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22C) en passant par le second miroir fixe 41B sont symétriques par rapport à l'axe de la lumière de sortie provenant de l'accès d'entrée (la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B). Dans cette forme de réalisation, les trois gorges évidées 21A, 21B et 21C sont formées dans une orientation qui croise à peu près perpendiculairement un côté 11 du substrat 10 et elles s'étendent mutuellement en parallèle avec l'axe, et les faces extrêmes 22AA, 22BA et 22CA sont agencées suivant une ligne, dans une position à une distance souhaitée du côté 11. Dans cette forme de réalisation, il est montré un cas dans lequel le commutateur est actionné en prenant la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B, qui est insérée et supportée dans la gorge évidée 21B, agencée au centre, comme accès d'entrée et en prenant la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A et la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22C, qui sont insérées et supportées dans les gorges évidées 21A et 21C situées sur les deux côtés de la gorge centrale, comme accès de sortie. De ce fait, dans cette forme de réalisation, il est prévu des miroirs mobiles 40A et 40B ayant des plans de réflexion à +45 et -45 par rapport à l'axe optique de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B qui est située au centre, ces miroirs mobiles 40A et 40B étant insérés et extraits par rapport au chemin optique de la lumière émise par la partie de guide d'onde optique 22B. Lorsqu'un miroir mobile, 40A, est dans un état d'insertion par rapport au chemin optique, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est réfléchie du côté de la partie de guide d'onde optique 22A dans ce miroir mobile 40A, est en outre réfléchie dans le miroir fixe 41A et tombe sur la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A (figure 2). En revanche, dans le cas où le miroir mobile 40A est extrait du chemin optique de la lumière précitée et le miroir mobile 40B est inséré dans une position d'insertion, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est réfléchie dans le miroir mobile 40B du côté de la partie de guide d'onde optique 22C, est en outre réfléchie dans le miroir fixe 41B et est commutée en un état où elle tombe sur la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22C.
Les miroirs fixes 41A et 41B peuvent être formés au moyen d'une technologie de micro-usinage en formant une face qui s'élève fortement, perpendiculairement à la face de la plaque du substrat 10, et croise d'un angle de 45 et -45 l'axe de chacune des gorges évidées 22A et 22C, cette face pouvant être formée par dépôt d'or par évaporation ou analogue. (Comme mentionné précédemment, dans le cas où l'on utilise un commutateur ayant des faces extrêmes polies obliquement aux parties extrêmes de fibres optiques monomode, on forme des faces coupant, sous des angles de +45 et -45 , l'axe optique couplant les mêmes faces extrêmes.) Les miroirs mobiles 40A et 40B ainsi que des tiges 31A et 31B, qui supportent et actionnent les mêmes miroirs mobiles 40A et 40B, sont découpés dans le substrat 10 au moyen d'une technologie de micro-usinage, les miroirs mobiles 40A et 40B étant formés par évaporation d'or ou analogue sur les faces devant devenir des miroirs mobiles. La partie 30 d'actionnement des miroirs mobiles est également formée au moyen d'une technologie de micro-usinage. Il est possible de constituer la partie 30 d'actionnement des miroirs mobiles au moyen des tiges précitées 31A et 31B, d'articulations bistables 32A et 32B qui déplacent dans une direction axiale en même temps qu'elles stabilisent et retiennent ces tiges 31A et 31B, et d'actionneurs électrostatiques 33A et 33B qui actionnent les miroirs mobiles 40A et 40B jusqu'à une position d'insertion à une position d'extraction par rapport au chemin optique. En ce qui concerne les articulations 32A et 32B, deux gorges évidées sont formées en parallèle dans la face du substrat 10 et des lamelles sont formées dans les positions centrales respectives de ces deux évidements, ces lamelles étant utilisées en tant qu'articulations 32A et 32B. Les articulations 32A et 32B ont une extrémité 32AA et 32BA reliées respectivement au substrat 10, les autres extrémités 32AB et 32BB étant reliées respectivement aux tiges 31A et 31B. Les articulations 32A et 32B sont formées dans l'état initial de façon à être courbées respectivement entre les extrémités fixes (les premières extrémités 32AA et 32BA) et les points de liaison avec les tiges 31A et 31B (les autres extrémités 32AB et 32BB) et, du fait de cette courbure, les extrémités fixes (les premières extrémités 32AA et 32BA) sont formées de façon à être d'une longueur supérieure à la distance allant jusqu'aux tiges 31A et 31B, afin que, grâce à cette longueur excédentaire, une première opération bistable devienne possible, ainsi qu'une autre opération bistable. Les actionneurs électrostatiques 33A et 33B peuvent être constitués respectivement en disposant les doigts interdigités respectifs d'électrodes interdigitées mobiles 33AA et 33BA, qui sont formées respectivement d'une seule pièce avec les tiges 31A et 31B, et d'électrodes interdigitées fixes 33AB et 33AC et 33BB et 33BC, respectivement reliées au substrat 10 et formées sur celui- ci, par paires, de façon à être orientées l'une vers l'autre. Cette électrode interdigitée mobile 33AA est connectée à la masse, et si une tension est appliquée à l'une des électrodes interdigitées fixes 33AB et 33AC, la même électrode interdigitée mobile 33AA est attirée vers celle des électrodes interdigitées fixes 33AB et 33AC à laquelle la tension est appliquée, permettant ainsi de déplacer le miroir mobile 40A, par exemple dans le sens d'insertion. Si une tension est appliquée à l'autre des électrodes interdigitées fixes 33AB et 33AC, il est possible, au moyen de la même force d'attraction, de déplacer le miroir mobile 40A, par exemple dans le sens d'extraction. Similairement, si l'électrode interdigitée mobile 33BA est connectée à la masse et si une tension est appliquée à l'une des électrodes interdigitées fixes 33BB et 33BC, la même électrode interdigitée mobile 33BA est attirée vers celle des électrodes interdigitées fixes 33BB et 33BC à laquelle la tension est appliquée, permettant ainsi de déplacer le miroir mobile 40B dans le sens d'insertion ou dans le sens d'extraction. Etant donné que le procédé de formation des miroirs mobiles 40A et 40B, le procédé de formation de la partie d'actionnement 30 du miroir mobile ainsi que sa structure ont déjà été décrits dans les demandes N 2005-37885, N 2000-111815 et N 2001-201699 précitées, on n'en donnera pas davantage d'explications. On donnera ci-après une explication concernant les effets du travail inédit de l'invention. Dans la forme de réalisation montrée sur les figures 1 et 2, le chemin optique allant de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B formant l'accès d'entrée jusqu'à la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A formant un accès de sortie, en passant par le miroir mobile 40A et le miroir fixe 41A, et le chemin optique passant par le miroir mobile 40B et le miroir fixe 41B et allant jusqu'à la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22C, sont formés de façon à être complètement symétriques. En outre, dans le cas d'une configuration dans laquelle au moins la partie extrême des parties de guides d'ondes optiques 22A et 22C est pourvue d'une partie de concentration ou analogue, les deux accès de sortie, c'est- à-dire les parties de guides d'ondes optiques 22A et 22C, sont pourvus de préférence de lentilles ou analogues qui sont entièrement identiques ou au moins d'éléments tels que les configurations d'émission de champ de lumière aux mêmes faces extrêmes des deux coïncident. De cette manière, étant donné que les deux faisceaux lumineux ayant les mêmes conditions tombent sur les deux faces extrêmes des parties extrêmes, et les conditions des parties extrêmes des parties de guides d'ondes optiques couplées par les mêmes faisceaux lumineux sont également prises comme étant identiques, alors par conséquent deux lumières de sortie qui sont entièrement équivalentes quant à leurs propriétés se propagent à travers les deux parties de guides d'ondes optiques 22A et 22C pour être obtenues comme sortie. En outre, on entend ici par le fait que "les diagrammes d'émission de champ de lumière coïncident" le fait que, dans le cas où la lumière de propagation monomode est émise de façon inverse depuis respectivement les faces extrêmes des parties extrêmes des parties de guides d'ondes optiques 22A et 22C, les deux diagrammes de champs de mode (diagrammes de distribution d'amplitude de champ) et les configurations de distribution de phase optique formées à leurs faces extrêmes 22AA et 22CA deviennent identiques, respectivement, ou, en d'autres termes, les diagrammes de champs de mode au niveau des faces extrêmes 22AA et 22CA sont équivalentes et en même temps, les surfaces des ondes équiphases au niveau des faces extrêmes 22AA et 22CA sont équivalentes. En particulier, en pratique, la configuration des parties extrêmes des parties de guides d'ondes optiques 22A et 22C peut être prise comme étant la même mais, par exemple, dans le cas de l'utilisation de parties de concentration utilisant des lentilles à barreaux, il importe peu qu'il y ait une différence dans les longueurs des deux lentilles correspondant à un multiple entier du pas. En outre, dans les formes de réalisation montrées sur les figures 1 et 2, étant donné qu'on a choisi une structure utilisant deux miroirs mobiles 40A et 40B et une commutation de la direction de réflexion de la lumière, il est possible d'obtenir l'effet utile permettant de réduire la course du mouvement de chaque miroir mobile 40A et 40B.
La situation en est montrée sur la figure 3. Dans le schéma représenté sur la figure 3, il est représenté une configuration dans laquelle on exécute l'opération consistant d'abord à faire avancer le miroir mobile dans la position d'insertion, puis à amorcer son mouvement dans la direction d'extraction et, exactement au moment où le miroir mobile en mouvement a complètement atteint la position d'extraction, à commencer le mouvement du miroir mobile qui se trouvait dans la position d'extraction. De plus, l'expression "signal d'attaque N 1" apparaissant ci-après signifie un signal indiquant un "1 logique" ou un "0 logique" pour commander l'actionneur électrostatique 33A. En outre, l'actionneur électrostatique 33A déplace le miroir mobile 40A jusqu'à la position d'insertion dans le cas où le signal d'attaque N 1 est à la valeur 1 logique, et effectue l'actionnement pour déplacer le miroir mobile 40A vers la position d'extraction dans le cas où le signal d'attaque N 1 est une valeur 0 logique. L'expression "signal d'attaque N 2" signifie aussi un signal indiquant un "1 logique" ou un "0 logique" afin de commander l'actionneur électrostatique 33B. En outre, l'actionneur électrostatique 33B déplace le miroir mobile 40B jusqu'à la position d'insertion dans le cas où le signal d'attaque N 2 est un 1 logique, et effectue l'actionnement pour déplacer le miroir mobile 40B jusqu'à la position d'extraction dans le cas où le signal d'attaque N 2 est un 0 logique. Le diagramme A de la figure 3 montre la situation du miroir mobile 40A alors en position d'insertion et, du fait qu'il est dans cette position d'insertion, il reçoit un faisceau PB pratiquement à 100 % et le réfléchit. Dans cette situation, le signal d'attaque N 1 est à présent inversé, à un instant Tl, à une valeur 1 logique et, du fait de cette inversion du signal d'attaque N 1, le mouvement du miroir mobile 40A vers la position d'extraction commence, le miroir arrivant dans la position d'extraction à un instant T2. Ceci est la situation du diagramme B de la figure 3. Ensuite, à un instant T3 auquel s'est écoulé un temps pour vérifier que le miroir mobile 40A s'est complètement arrêté, le signal d'attaque N 2 est inversé. Du fait de cette inversion du signal d'attaque N 2, le miroir mobile 40B est déplacé dans le sens d'insertion et arrive dans la position d'insertion après un temps prescrit (diagramme C de la figure 3). De cette manière, en manoeuvrant les deux miroirs mobiles, 40A et 40B, conformément à une opération séquencée programmée à l'avance, il est possible de définir la position d'extraction au voisinage de l'axe du faisceau lumineux PB où le miroir mobile doit rester dans les limites de la région du chemin de lumière (le miroir mobile 40A et le miroir mobile 40B sont extraits et s'arrêtent au voisinage de l'axe du faisceau lumineux). Il en résulte alors que, pour la course allant de la position d'extraction jusqu'à la position d'insertion, on peut procéder avec une distance S traversant la partie radiale du faisceau lumineux PB obliquement dans une direction à 45 depuis la position de l'axe du faisceau lumineux PB, en sorte qu'il est possible de réduire la course du miroir mobile 40A et du miroir mobile 40B. En particulier, on suppose que les lignes pointillées dessinées dans le prolongement du faisceau lumineux PB sur le schéma expriment la plage dans laquelle un effet s'exerce sur le comportement d'isolation du commutateur optique. Dans le cas d'un commutateur optique classique du type à insertion et extraction de miroir, pour que le miroir mobile extrait ne réfléchisse pas l'énergie de la lumière incidente vers une zone égale ou supérieure à la limite de sa spécification d'isolement, il doit être placé en dehors de la plage précitée. En revanche, dans le cas de l'invention, il est possible de positionner les miroirs mobiles 40A et 40B à l'intérieur de la zone définie par les lignes pointillées sur le schéma et, de plus, en l'adoptant afin qu'elle se trouve au voisinage de l'axe du faisceau lumineux, comme indiqué précédemment, il est possible de réduire la course à pratiquement la moitié de la valeur classique, comme on peut l'apprécier d'après le schéma.
La figure 4 montre une configuration dans laquelle un autre procédé d'actionnement est exécuté. Le procédé d'actionnement représenté sur la figure 4 est un procédé dans lequel les deux miroirs mobiles 40A et 40B ne sont pas actionnés séquentiellement mais, en revanche, les signaux d'attaque N 1 et N 2 sont inversés simultanément, de manière que les opérations s'achèvent en commençant simultanément. Le schéma A de la figure 4 indique une situation dans laquelle le miroir mobile 40A est dans la position d'insertion et le miroir mobile 40B est dans la positiond'extraction. Il convient de considérer avec attention ici le fait que l'extrémité du miroir mobile 40B, qui est dans la position d'extraction, ne se trouve pas au voisinage de la position axiale du faisceau lumineux comme c'est le cas de la figure 3, mais est située en un point davantage rétracté de son axe, uniquement d'une zone neutre BF, le long de la direction d'actionnement. En d'autres termes, pour actionner simultanément les miroirs mobiles 40A et 40B, il est montré un cas où il est prévu une zone BF afin de ne pas faire porter physiquement l'un contre l'autre les miroirs mobiles, en tant que marge de distance d'actionnement entre le miroir mobile 40A dans la position d'insertion et le miroir mobile 40B dans la position d'extraction, afin que, même si les deux miroirs mobiles 40A et 40B commencent à se déplacer simultanément, ils ne viennent pas porter physiquement l'un contre l'autre pendant que le mouvement est en cours. Dans ce cas, les signaux d'attaque N 1 et N 2 sont inversés simultanément à un instant Ti pour amorcer le mouvement des deux miroirs mobiles 40A et 40B en même temps. Le schéma B de la figure 4 montre la même situation alors que le mouvement est en cours ; après que le miroir mobile 40A a dégagé la trajectoire du miroir mobile 40B, le miroir mobile 40B atteint une position coupant l'axe du faisceau lumineux PB et, ainsi, on évite une collision entre les miroirs. Le schéma C de la figure 4 montre la situation où le miroir mobile 40A a atteint la position d'extraction et le miroir mobile 40B a atteint la position d'insertion. Par conséquent, dans le cas de l'adoption de ce procédé d'actionnement, la course S2 demandée par chaque miroir mobile 40A et 40B devient une distance constituée de la course S dans le cas de la figure 3 mentionné ci-dessus, à laquelle est ajoutée la zone neutre précitée BF. La figure 4 montre un exemple de conception dans laquelle on adopte une distance pour la taille de la zone neutre BF qui est une distance (la distance à partir d'une position axiale du faisceau lumineux PB coupant obliquement la partie radiale du faisceau lumineux PB d'un angle de 45 ) à peu près identique à la distance précitée S. Dans cet exemple, étant donné que le miroir mobile dans la position d'extraction arrive au-delà de la plage précitée dans laquelle un effet s'exerce sur le comportement d'isolement, la dimension de la course S2 ne change pas par rapport au cas de la technique antérieure précitée. Cependant, lors de la formation par gravure de l'articulation bistable dans le dispositif selon l'invention, si les positions dans lesquelles les deux miroirs mobiles 40A et 40B sont dans leurs états extraits respectifs sont fabriquées en tant qu'états naturels (les premiers états stables) conformément à un masque d'attaque et si les états insérés sont choisis comme étant l'état (les seconds états stables) qui est obtenu en en inversant les articulations, la distance de la zone neutre BF est établie de façon à être même encore plus petite que dans l'exemple de la figure 4, c'est-à-dire en choisissant les positions d'extraction des miroirs mobiles afin qu'elles se trouvent à l'intérieur de la plage précitée dans laquelle un effet est exercé sur le comportement d'isolement, afin qu'il soit possible de rendre la course S2 inférieure à celle de l'art antérieur. Ceci est dû au fait que, en général, dans le cas d'une articulation telle que celle-ci, l'opération pour atteindre le premier état stable à partir du second état stable peut être menée à bien plus rapidement que le processus opposé. De plus, le fait que ceci soit possible est dû au fait qu'on peut obtenir comme avantage l'absence d'effet sur la lumière réfléchie pourvu que le défaut d'alignement des positions de l'état inséré se trouve dans la direction d'actionnement, car la direction d'actionnement des miroirs mobiles est parallèle à la direction des faces des mêmes miroirs dans la présente forme de réalisation, même si le second état stable, pour lequel il est relativement plus difficile d'obtenir la précision de position en comparaison avec le premier état stable et qu'on préfère normalement choisir en tant qu'état extrait, est choisi en tant qu'état inséré dans lequel la lumière est réfléchie. Si une comparaison est réalisée entre le procédé d'actionnement montré sur la figure 3 et le procédé d'actionnement montré sur la figure 4, une légère incidence de coût affecte les moyens de génération des signaux d'attaque N 1 et N 2 selon le procédé d'actionnement montré sur la figure 3, en retour, du fait qu'on obtient l'avantage de pouvoir réduire la course demandée, car le temps de commutation des signaux d'attaque N 1 et N 2 doit être programmé à l'avance. En revanche, conformément au procédé d'actionnement montré sur la figure 4, pour la possibilité aussi de configurer aisément les moyens de génération des signaux d'attaque N 1 et N 2, la course demandée devient légèrement plus longue. On donnera une explication concernant l'effet par lequel aucun défaut d'alignement de l'axe optique par suite d'erreurs de fabrication n'est occasionné par la présente invention. A savoir, dans le commutateur optique de l'invention, on a expliqué que l'ensemble du commutateur, comprenant la partie 20 de support d'entrée et de sortie, est formé par une technologie de micro-usinage. La technologie de micro- usinage est une technologie par laquelle des gorges et analogues sont formés dans le substrat, principalement par gravure, et, au moyen de la formation de gorges, on forme une partie 20 de support d'entrée et de sortie, des miroirs mobiles 40A et 40B et une partie d'actionnement 30 des miroirs mobiles.
On considère ici en particulier le cas dans lequel la largeur des gorges évidées 21A, 21B et 21C constituant la partie 20 de support d'entrée et de sortie montrée sur la figure 2, n'a pas été tout à fait atteinte conformément aux dimensions prévues. Dans le cas où le degré de gravure latérale est insuffisant, les gorges évidées 21A, 21B et 21C sont formées à une largeur qui est inférieure aux dimensions prévues. Dans le cas où le degré de gravure latérale est dépassé, les gorges évidées sont formées de façon à avoir une largeur supérieure aux dimensions prévues. Pour les dimensions prévues, étant donné qu'une technologie de micro-usinage possède une telle propriété, les dimensions sont en pratique établies à des dimensions qui sont légèrement supérieures au diamètre de la fibre optique devant être insérée, en concevant le commutateur de façon que la fibre optique puisse sans exception être insérée dans la gorge, même en cas d'excès ou d'insuffisance de grandeur dans la gravure latérale. Il est proposé dans l'invention un procédé qui utilise adroitement les propriétés de cette technologie de micro- usinage pour rattraper le défaut d'alignement de l'axe optique entre les accès d'entrée et de sortie. Dans cette forme de réalisation, il est prévu en particulier de creuser des gorges 21A et 21B qui sont appareillées de façon à être mutuellement adjacentes parmi les trois gorges évidées 21A, 21B et 21C formées de façon à être mutuellement parallèles, des ressorts d'application de pression aux fibres sollicitant, dans une direction de rapprochement mutuel, des paires de guides d'ondes optiques 22A et 22B qui sont supportés respectivement par les mêmes gorges évidées. En outre, il est prévu de creuser des gorges 21B et 21C qui en forment l'autre paire, des ressorts d'application de pression aux fibres sollicitant, dans une direction de séparation mutuelle, des parties de guides d'ondes optiques 22B et 22C qui sont respectivement supportées par ces mêmes gorges évidées. Les références numériques 23A, 23B et 23C indiquées sur la figure 5 désignent ces ressorts d'application de pression aux fibres, qui sont prévus respectivement pour les gorges évidées 21A et 21B, et sollicitent les parties de guides d'ondes optiques 22A et 22B dans une direction les rapprochant mutuellement en appliquant une pression. Les ressorts 23B et 23C d'application de pression aux fibres, qui sont prévus respectivement pour les gorges évidées 21B et 21C, sollicitent les parties de guides d'ondes optiques 22B et 22C dans une direction les séparant mutuellement par l'application d'une pression. De cette manière, grâce à la présence des ressorts 23A, 23B et 23C d'application de pression aux fibres, même si une erreur est apparue sur les dimensions des gorges évidées 21A, 21B et 21C, il est possible de concevoir le commutateur de manière que n'apparaisse aucun défaut d'alignement dans l'axe optique entre l'accès d'entrée et les accès de sortie dû à la même erreur dimensionnelle. Les références numériques Li et L2 indiquées sur la figure 5 désignent des erreurs dimensionnelles des gorges évidées 21A, 21B et 21C, résultant d'un excédent ou d'un manque de gravure. La référence L1 désigne l'ouverture entre les gorges évidées 21A et 21B dans le cas d'une gravure latérale à un degré insuffisant. La référence numérique L2 désigne l'espace entre les gorges évidées 21A et 21B dans le cas d'une gravure latérale à un degré supérieur à celui associé au cas de l'ouverture L1. De plus, M1 désigne la position de la face réfléchissante du miroir mobile 40A formé par la gravure formant l'ouverture L1, et M2 désigne la position de la face réfléchissante du miroir mobile 40A formé par la gravure formant l'ouverture L2. En outre, Cl désigne les positions des faces réfléchissantes des miroirs fixes 41A et 41B formés pendant la gravure au cours de laquelle l'ouverture L1 a été formée, et C2 désigne les positions des faces réfléchissantes des miroirs fixes 41A et 41B formés au cours de la gravure qui a formé l'ouverture L2. Si, dans le cas où l'ouverture L1 est formée, le chemin optique de la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est Al, le chemin optique de la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B devient alors Al' dans le cas où l'ouverture L2 est formée. La lumière du chemin optique Al est réfléchie dans la face réfléchissante M1, est réfléchie par l'intermédiaire du chemin optique A2 dans la face réfléchissante Cl et, par l'intermédiaire du chemin optique A3, tombe sur l'axe de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A. Ici, dans le cas d'une variation de l'ouverture L2 par suite d'une erreur du degré d'attaque latérale lors de la gravure, les faces réfléchissantes des miroirs sont modifiées, du fait de la même erreur du degré d'attaque latérale, de M1 à M2 et de Cl à C2. Il en résulte que la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B suivant un chemin optique Al' est réfléchie dans la face réfléchissante M2, est réfléchie en passant par un chemin optique A2' dans la face réfléchissante C2 et, par l'intermédiaire d'un chemin optique A3', tombe sur l'axe optique de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A. En d'autres termes, même si l'ouverture entre les parties de guides d'ondes optiques 22A et 22B est modifiée de L1 à L2, la même erreur d'attaque agit aussi sur les faces réfléchissantes des miroirs et, étant donné que les positions des faces réfléchissantes des miroirs sont modifiées uniquement du même degré, le couplage optique, en fin de compte, est maintenu entre les parties de guides d'ondes optiques 22A et 22B.
En ce qui concerne la relation entre les parties de guides d'ondes optiques 22B et 22C, une partie de guide d'onde optique 22B est sollicitée dans le sens s'éloignant de la partie de guide d'onde optique 22C au moyen des ressorts 23B, et l'autre partie de guide d'onde optique 22C est sollicitée dans le sens s'éloignant de la partie de guide d'onde optique 22B au moyen des ressorts 23C. Dans ce cas, si l'axe optique de la partie de guide d'onde optique 22C supportée par la gorge évidée 21C formée par la gravure au cours de laquelle l'ouverture L1 est formée est considéré comme étant B1, la face réfléchissante du miroir fixe 41B est considérée comme étant Cl, et la face réfléchissante du miroir mobile 40B est considérée comme étant Ml', la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est réfléchie depuis le chemin optique Al dans la face réfléchissante Ml', est réfléchie en passant par le chemin optique B2 dans la face réfléchissante Cl, et tombe sur l'axe optique BI de la partie de guide d'onde optique 22C.
En revanche, dans le cas où l'ouverture L2 est formée, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B arrive au chemin optique Al'. La lumière émise avec le chemin optique Al' est réfléchie dans une face réfléchissante M2' et est réfléchie, en passant par un chemin optique B2', dans la face réfléchissante C2. En ce point, étant donné que l'axe optique de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22C se déplace vers Bl', la lumière réfléchie dans la face réfléchissante C2 tombe sur l'axe optique Bi' de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22C. Par conséquent, on s'oppose à tout défaut d'alignement de l'axe optique résultant d'une erreur de gravure, quels que soient les accès de sortie. La figure 6 représente une deuxième forme de réalisation d'un commutateur optique proposé en tant que sixième aspect de l'invention. Dans cette forme de réalisation, il est montré une structure dans laquelle des miroirs mobiles 40A et 40B sont combinés et actionnés en un seul bloc par une tige unique 31. Les miroirs mobiles 40A et 40B ont des faces réfléchissantes qui sont formées de façon monolithique dans une position formant entre elles un angle de 90 . Ces miroirs mobiles 40A et 40B sont formés d'une seule pièce avec la tige 31 en étant découpés dans un substrat 10 au moyen d'une technologie de micro-usinage. La tige 31 est actionnée au moyen d'une pièce d'actionnement analogue à la pièce 30 d'actionnement de miroirs mobiles décrite en regard de la figure 1 et elle déplace les miroirs mobiles 40A et 40B dans le sens des flèches A et B. Si les miroirs mobiles 40A et 40B sont déplacés dans le sens de la flèche B, le miroir mobile 40A fait face à l'axe optique de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B et la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est réfléchie par sa face réfléchissante vers le miroir fixe 41A. La lumière réfléchie vers le miroir fixe 41A est soumise à une autre réflexion par le miroir fixe 41A, arrive sur la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A agissant en tant qu'accès de sortie et est délivrée en sortie dans un sens opposé à celui de la lumière d'entrée. Si les miroirs mobiles 40A et 40B sont déplacés dans le sens de la flèche A, le miroir mobile 40B fait face à la face extrême de la partie de guide d'onde optique 22B. Dans ce cas, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est réfléchie par le miroir mobile 40B, est en outre réfléchie par le miroir fixe 41B, tombe sur la partie de guide d'onde optique 22C et est délivrée en sortie en un sens opposé à celui de la lumière d'entrée. En outre, la présence de ressorts 23A, 23B et 23C d'application de pression aux fibres, sollicitant respectivement les parties de guides d'ondes optiques 22A, 22B et 22C dans une direction n'est pas représentée sur la figure 1, 2 ou 6, mais, de la même manière que décrit en regard de la figure 5, les ressorts 23A, 23B et 23C d'application de pression aux fibres peuvent être associés aux gorges évidées 21A, 21B et 21C des figures 1, 2 et 6.
Conformément à la forme de réalisation montrée sur cette figure 6, l'avantage est qu'une miniaturisation est possible du fait qu'il suffit d'un équipage constitué d'une pièce 30 et d'une tige 31 d'actionnement de miroir mobile. La figure 7 représente une troisième forme de réalisation d'un commutateur optique proposé conformément au septième aspect de l'invention. Les caractéristiques distinctives de structure de cette forme de réalisation résident dans le fait que la partie extrême de chacune des parties de guides d'ondes optiques situées sur les deux côtés du centre des trois parties de guides d'ondes optiques 22A, 22B et 22C, qui sont mutuellement parallèles et supportées par la partie 20 de support, est mise en œuvre en tant qu'accès d'entrée, que les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques sont mises en oeuvre en tant qu'accès de sortie, et dans le fait qu'on choisit une structure dans laquelle les miroirs mobiles sont déplacés dans une direction coupant à angle droit l'axe du chemin optique. Dans la forme de réalisation montrée sur la figure 7, la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A supportée dans une position proche de la partie 30 d'actionnement du miroir mobile est prise en tant que partie d'entrée, et les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques, 22B et 22C, sont prises en tant qu'accès de sortie. Une tige 31 est configurée dans une orientation dans laquelle l'axe est orienté dans une direction coupant à angle droit l'axe du faisceau lumineux émis depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A agissant en tant qu'accès d'entrée. La tige 31 est actionnée au moyen de la partie 30 d'actionnement de miroir mobile d'une structure similaire à celle décrite en regard de la figure 1, le miroir mobile 40 auquel elle est associée étant déplacé dans une direction croisant à angle droit le chemin optique de la lumière émise par la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A. De cette manière, le miroir mobile 40 peut être agencé dans la position d'insertion ou dans la position d'extraction. Le miroir mobile 40 est formé à l'extrémité de la tige 31 dans une orientation croisant sous un angle de 45 l'axe de la tige 31 et il réfléchit la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A à un angle de 90 afin de replier le chemin optique. Si, au moyen de la puissance d'actionnement de la partie 30 d'actionnement du miroir mobile, le miroir mobile 40 est extrait du chemin optique de la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A pénètre dans la position où le miroir mobile 40 était présent et irradie un premier miroir fixe 42. Le premier miroir fixe 42 présente une face réfléchissante agencée de façon à être tournée du même angle que la face réfléchissante du miroir mobile 40 et il réfléchit la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A d'un angle de 90 pour replier le chemin optique. Dans l'axe du faisceau lumineux couplé à la partie de guide d'onde optique 22B située au centre, il est prévu un second miroir fixe 43 ayant une face réfléchissante croisant, sous un angle de 90 , la face réfléchissante du premier miroir fixe 42. En outre, dans l'axe du faisceau lumineux couplé à la partie de guide d'onde optique 22C, il est prévu un troisième miroir fixe 44 ayant une orientation telle qu'il s'étend parallèlement à la face réfléchissante du deuxième miroir fixe 43. Au moyen de ces miroirs, à savoir le premier miroir fixe 42, le deuxième miroir fixe 43 et le troisième miroir fixe 44, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A est commutée vers un état où elle est amenée à être incidente sur l'une de la partie de guide d'onde optique 22B et de la partie de guide d'onde optique 22C, suivant la position d'extraction du miroir mobile 40.
En d'autres termes, lorsque le miroir mobile 40 se déplace jusqu'à la position d'extraction, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A est réfléchie dans le premier miroir fixe 42 et le deuxième miroir fixe 43 et tombe sur la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B située au centre. Si le miroir mobile 40 se déplace jusqu'à la position d'insertion, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A est réfléchie dans le miroir mobile 40, est réfléchie dans le troisième miroir fixe 44 et tombe sur la partie de guide d'onde optique 22C. Ici, les positions du premier miroir fixe 42, du deuxième miroir fixe 43 et du troisième miroir fixe 44 sont sélectionnées de façon que la longueur du chemin optique partant de la partie de guide d'onde optique 22A et tombant sur la partie de guide d'onde optique 22B en passant par le premier miroir fixe 42 et le deuxième miroir fixe 43, et la longueur de l'onde optique allant de la partie de guide d'onde optique 22A jusqu'à la partie de guide d'onde optique 22C en passant par le miroir mobile 40 et le troisième miroir fixe 44, deviennent égales. Conformément à la structure de cette forme de réalisation, étant donné qu'un équipage est suffisant pour la partie 30 d'actionnement du miroir mobile, il est possible d'en réduire les dimensions en comparaison avec celles d'un commutateur optique utilisant deux équipages pour la partie d'actionnement du miroir mobile. En outre, étant donné que l'actionnement est exécuté dans des directions perpendiculaires au chemin optique du miroir mobile 40, il est en principe suffisant que la course du miroir mobile 40 soit d'une distance correspondant à la largeur de la plage dans laquelle un effet est exercé sur le comportement d'isolement précité du faisceau lumineux. En d'autres termes, si l'on prend en compte la diaphonie, il est nécessaire d'insérer et d'extraire le miroir mobile dans, et à partir de, une position dans laquelle il est suffisamment inséré ou extrait par rapport à la plage dans laquelle l'énergie du faisceau lumineux est présente, mais, en comparaison avec le cas d'une structure dans laquelle le miroir mobile unique, indiqué dans les demandes N 2005-37885, N 200-111815 et N 2001-201699 précitées, est inséré ou extrait sous un angle de 45 par rapport à l'axe du faisceau lumineux, la course d'actionnement du miroir mobile 40 de la présente forme de réalisation peut être réduite à l'ordre 1/V-i. La figure 8 représente une quatrième forme de réalisation d'un commutateur optique proposé en tant que onzième aspect de l'invention. Sur la figure 8, une portion de la partie d'actionnement du miroir mobile n'est pas représentée mais, en réalité, le miroir mobile 40 est actionné vers la position d'insertion et la position d'extraction au moyen de la partie 30 d'actionnement de miroirs mobiles représentée sur la figure 1 ou sur la figure 7. Dans cette forme de réalisation, il est montré le cas d'une configuration dans laquelle la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B, placée dans la position centrale des trois parties de guides d'ondes optiques 22A, 22B et 22C supportées par la partie de support 20, est mise en oeuvre en tant qu'accès d'entrée, et les parties extrêmes des parties de guides d'ondes optiques 22A et 22C, disposées sur les deux côtés de la partie centrale, sont mises en oeuvre en tant qu'accès de sortie. Pour cette raison, le premier miroir fixe 42 est disposé sur l'axe du faisceau lumineux émis depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B et, en outre, le deuxième miroir fixe 43 est disposé sur l'axe du faisceau lumineux couplé à la partie de guide d'onde optique 22A. En outre, le troisième miroir 44 est disposé sur l'axe de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22C. Le premier miroir fixe 42 et le deuxième miroir fixe 43 sont dans une relation telle qu'ils forment entre eux un angle de 90', la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est réfléchie par le premier miroir fixe, et si la lumière qui en est réfléchie est réfléchie par le deuxième miroir fixe 43, le chemin optique de la même lumière réfléchie devient un chemin optique parallèle à la lumière tombant sur le premier miroir fixe 42. Le miroir mobile 40 est inséré et extrait entre la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B et le premier miroir fixe 42. La face réfléchissante du miroir mobile 40 est prise comme ayant une orientation coupant à 45' l'axe du faisceau lumineux émis depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B et, dans une situation où le miroir mobile est inséré dans l'axe optique du faisceau lumineux émis depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est réfléchie vers le côté du troisième miroir fixe 44. Ce troisième miroir fixe 44 présente une face oblique croisant à 45' l'axe optique de chacune des parties extrêmes des parties de guides d'ondes optiques 22A à 22C.
Il en résulte que, si la lumière réfléchie par le miroir mobile 40 est réfléchie par le troisième miroir fixe 44, le résultat est que la même lumière réfléchie est dans une disposition parallèle à chaque partie extrême des parties de guides d'ondes optiques 22A à 22C.
Dans l'analyse finale, dans cette forme de réalisation, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est réfléchie dans le premier miroir fixe 42 et le deuxième miroir fixe 43, et tombe sur la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22A dans le cas où le miroir mobile 40 est présent dans la position d'extraction. En outre, dans le cas où le miroir mobile 40 est présent dans la position d'insertion, la lumière émise depuis la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22B est réfléchie par le miroir mobile 40 vers le troisième miroir fixe 44 et tombe, en passant par le troisième miroir fixe 44, sur la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 22. Même dans ce mode de l'invention, les longueurs des deux chemins optiques partant de la partie de guide d'onde optique 22B et allant respectivement aux parties extrêmes des parties de guides d'ondes optiques 22A et 22C sont constituées de façon à être équivalentes et, pour satisfaire aux mêmes conditions, les angles et autres sont déterminés en fonction de la lumière incidente du premier miroir fixe 42. Si une comparaison est réalisée avec la troisième forme de réalisation, la configuration de la quatrième forme de réalisation présente, en ce qui concerne les deux chemins optiques commutables, des angles d'incidence respectifs du miroir mobile 40 et du premier miroir fixe 42 et du troisième miroir fixe 44 et du deuxième miroir fixe 43, qui sont mutuellement symétriques l'un par rapport à l'autre. Cependant, dans la configuration de la quatrième forme de réalisation, du fait que l'on choisit la partie extrême de la partie de guide d'onde optique centrale 22B comme étant l'accès d'entrée, la commutation optique est constituée par un couplage optique entre les accès adjacents, en sorte qu'il est possible de rendre la longueur absolue du chemin optique plus courte que dans la troisième forme de réalisation. Une caractéristique de cette forme de réalisation est l'avantage de pouvoir obtenir une miniaturisation, car il est possible d'obtenir une configuration au moyen d'un miroir mobile unique 40 et d'une partie d'actionnement du miroir mobile et, en outre, grâce à une structure dans laquelle un évidement 45 est formé sur le côté de la face arrière du premier miroir fixe 42. Cette structure est une structure qui est proposée en tant que douzième aspect de l'invention et elle a pour objectif de permettre, dans le processus de fabrication, de former des couches par évaporation avec une densité uniforme sur les deux faces du miroir mobile 40 en laissant un espace formé sur les deux côtés du miroir mobile 40 lorsde l'application d'un revêtement antiréflexion sur la face du miroir mobile 40. La figure 9 montre une forme de réalisation dans laquelle aucun évidement 45 n'est formé. Comme montré sur la figure 9, le dispositif peut être mis en oeuvre en tant que commutateur optique sans problème, même dans le cas où un évidement 45 n'est pas présent. Cependant, dans le cas de la configuration de la figure 9, dans son processus de fabrication, un problème est que, lors du découpage du miroir mobile 40 et de la tige 31 dans le substrat 10 par une technologie de micro-usinage et de la formation par application d'une couche réfléchissante à l'aide d'un procédé à évaporation sur la face servant de couche réfléchissante du miroir mobile 40, la couche métallique servant de couche réfléchissante finit par être appliquée uniquement sur la partie ou les parties du côté faisant face à l'espace (c'est-à-dire le côté faisant face au miroir fixe 43, 44) entre le miroir réfléchissant 40 et la tige 31, du fait qu'aucun évidement 45 n'est présent. Dans l'exemple montré sur la figure 9, si une couche réfléchissante est appliquée uniquement sur la face qui servira de face réfléchissante principale du miroir mobile 40, le but peut être atteint, mais si une couche réfléchissante est formée de façon à être épaisse sur une seule face de cette manière, il apparaît un manque d'uniformité dans la contrainte de la couche, sur les deux côtés du miroir mobile, en sorte que l'inconvénient qui survient est que le miroir s'incurve. Pour s'opposer à ceci, en formant un évidement 45 tel que montré sur la figure 8 et s'ouvrant largement sur les deux côtés (les côtés des faces avant et arrière du miroir mobile 40), il est possible de former de manière uniforme, par l'application d'une couche réfléchissante, les faces avant et arrière du miroir mobile 40 et de la tige 31, en sorte qu'il devient possible de produire un commutateur optique assurant un comportement optique d'une grande précision. En outre, même dans la forme de réalisation montrée sur la figure 2, on parvient à empêcher la même courbure des deux miroirs mobiles 40A et 40B en prévoyant une partie oblitérée 45 selon la même conception. Si l'on assure, en tant qu'espace s'ouvrant sur les deux côtés d'un miroir mobile, un espace d'un ordre de grandeur d'un tiers ou plus de la hauteur de la face du côté latéral (la face de miroir) du miroir mobile en tant qu'ouverture à partir de la même face de miroir et dans une direction contenue dans le plan du substrat, l'objectif précité est atteint. La couche réfléchissante est déposée par évaporation lorsque le miroir mobile est dans la position du premier état stable décrit ci-dessus, c'est-à-dire l'état naturel conformément au masque de gravure. Ici, dans la forme de réalisation de la figure 2, comme décrit précédemment, l'état extrait de chaque miroir mobile est choisi en tant que premier état stable et, dans la forme de réalisation de la figure 7, l'état inséré, dans lequel la précision du positionnement est exigée pour la réflexion de la lumière, est choisi en tant que premier état stable. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au commutateur optique décrit et représenté sans sortir du cadre de l'invention.

Claims (22)

REVENDICATIONS
1. Commutateur optique, caractérisé en ce qu'il comporte : une partie (20) de support supportant les parties extrêmes, mutuellement alignées en parallèle sur un substrat (10), de trois parties de guides d'ondes optiques (22A, 22B, 22C) ; des premier et second miroirs mobiles (40A, 40B) dont les positions relatives peuvent varier par rapport audit 10 substrat ; et des premier et second miroirs fixes (41A, 41B) ayant des positions relatives fixes par rapport au substrat ; dans lequel la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 15 centrale des trois parties de guides d'ondes optiques supportées par la partie de support est un accès d'entrée du commutateur optique concerné ; les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques, adjacentes, sur les deux côtés, à ladite 20 partie de guide d'onde optique centrale, sont les premier et second accès de sortie du commutateur optique concerné ; le premier miroir mobile et le second miroir mobile peuvent respectivement être insérés dans des positions d'insertion qui se trouvent sur le chemin optique d'une 25 lumière émise depuis l'accès d'entrée, les distances, sur l'axe optique, de l'accès d'entrée jusqu'à chaque position d'insertion étant les mêmes ; le commutateur peut effectuer une commutation entre un état dans lequel seul le premier miroir mobile est inséré 30 dans la position d'insertion et un état dans lequel seul le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion ; la lumière émise depuis l'accès d'entrée est réfléchie, par le premier miroir mobile ou le second miroir 35 mobile qui est inséré dans la position d'insertion,respectivement vers le côté du premier accès de sortie ou le côté du second accès de sortie ; la lumière réfléchie par le premier miroir mobile vers le côté du premier accès de sortie est en outre réfléchie par le premier miroir fixe et appliquée par couplage au premier accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; la lumière réfléchie par le second miroir mobile vers le côté du second accès de sortie est en outre réfléchie par le second miroir fixe et appliquée par couplage au second accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée, et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; et le chemin optique allant du premier miroir mobile au premier accès de sortie en passant par le premier miroir fixe et le chemin optique allant du second miroir mobile au second accès de sortie en passant par le second miroir fixe sont symétriques par rapport à l'axe de la lumière émise de l'accès d'entrée.
2. Commutateur optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont actionnés respectivement au moyen d'un premier actionneur électrostatique (33A) et d'un second actionneur électrostatique (33B), dans une direction contenue dans le plan du substrat, pour être insérés dans la position d'insertion et en être extraits ; les directions d'actionnement d'insertion/extraction du premier miroir mobile et du second miroir mobile sont inclinées dans des directions respectivement rectilignes par rapport à l'axe optique de l'accès d'entrée ; et la direction d'actionnement d'insertion/extraction du premier miroir mobile et la direction d'actionnement d'insertion/extraction du second miroir mobile ont unesymétrie linéaire par rapport à l'axe optique de l'accès d'entrée.
3. Commutateur optique selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte : une première articulation bistable (32A) supportant le premier miroir mobile et ayant deux états stables qui sont un état inséré tel que le premier miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait tel que le premier miroir mobile est extrait de la même position ; et une seconde articulation bistable (32B) supportant le second miroir mobile et ayant deux états stables qui sont un état inséré tel que le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait tel que le second miroir mobile est extrait de la même position ; dans lequel une commande d'actionnement de commutation est exécutée à partir d'une étape dans laquelle un certain dudit premier miroir mobile et dudit second miroir mobile se trouve dans l'état inséré et l'autre se trouve dans l'état extrait, en passant par une étape dans laquelle les deux sont en même temps dans l'état extrait, jusqu'à une étape dans laquelle l'un est dans l'état extrait et l'autre est dans l'état inséré ; et dans chaque état extrait, une partie du premier/second miroir mobile extrait reste dans le chemin optique pouvant être pris dans lequel la lumière émise provenant de l'accès d'entrée se propage dans le cas où elle n'est pas arrêtée par le second/premier miroir mobile.
4. Commutateur optique selon la revendication 2, 30 caractérisé en ce qu'il comporte : une première articulation bistable (32A) supportant le premier miroir mobile et ayant deux états stables qui sont un état inséré tel que le premier miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait tel que le 35 premier miroir mobile est extrait de la même position ; et 2892205 4 8 une seconde articulation bistable (32B) supportant le second miroir mobile et ayant deux états stables qui sont un état inséré tel que le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait tel que le 5 second miroir mobile est extrait de la même position ; dans lequel le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont disposés en laissant une zone neutre, qui est un espace juste assez grand pour que les deux miroirs ne se 10 heurtent pas lorsque l'un, arbitraire, d'entre eux se trouve dans l'état inséré et que l'autre se trouve dans l'état extrait, et qu'un actionnement pour amener dans l'état extrait celui qui est trouve dans l'état inséré et un actionnement pour amener dans l'état inséré l'autre qui 15 se trouve dans l'état extrait sont amorcés simultanément et exécutés ensemble ; et l'actionnement pour amener dans l'état extrait le miroir se trouvant dans l'état inséré et l'actionnement pour amener dans l'état inséré le miroir se trouvant dans 20 l'état extrait sont amorcés simultanément et exécutés ensemble.
5. Commutateur optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le premier miroir mobile et le second miroir mobile 25 sont formés en un constituant d'un seul bloc, un état dans lequel le premier miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état dans lequel le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion sont commutés au moyen du constituant d'un seul bloc qui est actionné dans une direction contenue dans le plan du substrat, par un actionneur électrostatique (30).
6. Commutateur optique, caractérisé en ce qu'il comporte : une partie (20) de support supportant les parties 35 extrêmes, mutuellement alignées en parallèle sur unsubstrat (10), de trois parties de guides d'ondes optiques (22A, 22B, 22C) ; des premier et second miroirs mobiles (40A, 40B) dont les positions relatives peuvent varier par rapport au 5 substrat ; et des premier et second miroirs fixes (41A, 41B) ayant des positions relatives fixes par rapport au substrat ; commutateur dans lequel la partie extrême de la partie de guide d'onde optique 10 centrale des trois parties de guides d'ondes optiques supportées par la partie de support est un accès d'entrée du commutateur optique concerné ; les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques, adjacentes sur les deux côtés à ladite 15 partie de guide d'onde optique centrale, sont les premier et second accès de sortie du commutateur optique concerné ; le premier miroir mobile et le second miroir mobile peuvent respectivement être amenés dans des positions d'insertion, les positions d'insertion se trouvant sur le 20 chemin optique d'une lumière émise depuis l'accès d'entrée, et les distances, sur l'axe optique, de l'accès d'entrée jusqu'à chaque position d'insertion, étant les mêmes ; le commutateur est capable d'une commutation entre un état dans lequel seul le premier miroir mobile est inséré 25 dans la position d'insertion et un état dans lequel seul le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion ; la lumière émise depuis l'accès d'entrée est réfléchie, par le premier miroir mobile ou le second miroir 30 mobile qui est inséré dans la position d'insertion, respectivement vers le côté du premier accès de sortie ou le côté du second accès de sortie ; la lumière réfléchie par le premier miroir mobile vers le côté du premier accès de sortie étant en outre réfléchie 35 par le premier miroir fixe et appliquée par couplage au premier accès de sortie en parallèle avec la lumière émisedepuis l'accès d'entrée, et en sens inverse par rapport A celui de cette lumière émise ; la lumière réfléchie par le second miroir mobile vers le côté du second accès de sortie est en outre réfléchie par le second miroir fixe et appliquée par couplage au second accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport a cette lumière émise ; et les parties extrêmes des trois parties de guides 10 d'ondes optiques sont des parties extrêmes de trois parties de guides d'ondes optiques monomode ; la partie extrême qui est l'accès d'entrée et/ou les parties extrêmes qui sont les deux accès de sortie ont une ou des parties de concentration ; les diagrammes d'émission 15 de champ de lumière de chaque face extrême des parties extrêmes de parties de guides d'ondes optiques monomode qui sont les deux accès de sortie étant identiques ; le chemin optique allant du premier miroir mobile au premier accès de sortie en passant par le premier miroir 20 fixe et le chemin optique allant du second miroir mobile au second accès de sortie en passant par le second miroir fixe sont symétriques par rapport A l'axe de la lumière émise de l'accès d'entrée.
7. Commutateur optique selon la revendication 6, 25 caractérisé en ce que le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont actionnés respectivement au moyen d'un premier actionneur électrostatique (33A) et d'un second actionneur électrostatique (33B), dans une direction contenue dans le 30 plan du substrat, pour être insérés dans la position d'insertion et en être extraits ; les directions d'actionnement d'insertion/extraction du premier miroir mobile et du second miroir mobile sont inclinées dans des directions respectivement rectilignes 35 par rapport A l'axe optique de l'accès d'entrée ; etla direction d'actionnement d'insertion/extraction du premier miroir mobile et la direction d'actionnement d'insertion/extraction du second miroir mobile ont une symétrie linéaire par rapport à l'axe optique de l'accès d'entrée.
8. Commutateur optique selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte : une première articulation bistable (32A) supportant le premier miroir mobile et ayant deux états stables qui sont un état inséré tel que le premier miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait tel que le premier miroir mobile est extrait de la même position ; et une seconde articulation bistable (32B) supportant le second miroir mobile et ayant deux états stables qui sont un état inséré tel que le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait dans lequel le second miroir mobile est extrait de la même position ; commutateur dans lequel une commande d'actionnement de commutation est exécutée à partir d'une étape dans laquelle l'un du premier miroir mobile et du second miroir mobile se trouve dans l'état inséré et l'autre dans l'état extrait, en passant par une étape dans laquelle les deux miroirs sont en même temps dans l'état extrait, jusqu'à une étape dans laquelle celui qui était dans l'état inséré est dans l'état extrait et l'autre est dans l'état inséré ; et dans chaque état extrait, une partie du premier/second miroir mobile extrait reste dans le chemin optique pouvant être pris dans lequel la lumière émise provenant de l'accès d'entrée se propage dans le cas où elle n'est pas arrêtée par le second/premier miroir mobile.
9. Commutateur optique selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte : une première articulation bistable (32A) supportant le premier miroir mobile et ayant deux états stables qui sont un état inséré tel que le premier miroir mobile est insérédans la position d'insertion et un état extrait tel que le premier miroir mobile est extrait de la même position ; et une seconde articulation bistable (32B) supportant le second miroir mobile et ayant deux états stables qui sont un état inséré tel que le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état extrait dans lequel le second miroir mobile est extrait de la même position ; commutateur dans lequel la direction du mouvement du premier miroir mobile et 10 la direction du mouvement du second miroir mobile sont coplanaires ; le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont disposés en laissant une zone neutre, qui est un espace juste assez grand pour que les deux miroirs ne se 15 heurtent pas lorsque l'un, arbitraire, d'entre eux est dans l'état inséré et que l'autre est dans l'état extrait, et qu'un actionnement pour amener dans l'état extrait le miroir qui se trouve dans l'état inséré et un actionnement pour amener dans l'état inséré le miroir qui se trouve dans 20 l'état extrait sont amorcés simultanément et exécutés ensemble ; et l'actionnement pour amener dans l'état extrait le miroir se trouvant dans l'état inséré et l'actionnement pour amener dans l'état inséré le miroir se trouvant dans 25 l'état extrait sont amorcés simultanément et exécutés ensemble.
10. Commutateur optique selon la revendication 6, caractérisé en ce que le premier miroir mobile et le second miroir mobile 30 sont formés en un constituant d'un seul bloc, un état dans lequel le premier miroir mobile est inséré dans la position d'insertion et un état dans lequel le second miroir mobile est inséré dans la position d'insertion sont commutés au moyen du constituant d'un seul 35 bloc qui est actionné dans une direction contenue dans le plan du substrat, par un actionneur électrostatique (30).
11. Commutateur optique, caractérisé en ce qu'il comporte une partie (20) de support supportant les parties extrêmes, mutuellement alignées en parallèle sur un 5 substrat (10), de trois parties de guides d'ondes optiques (22A, 22B, 22C) ; un miroir mobile (40) dont les positions relatives peuvent varier par rapport au substrat ; et des premier, deuxième et troisième miroirs fixes (42, 10 43, 44) ayant des positions relatives fixes par rapport au substrat ; commutateur dans lequel la partie extrême de l'une quelconque des trois parties de guides d'ondes optiques supportées par la partie de support est un accès d'entrée du commutateur concerné, 15 et les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques sont les premier et second accès de sortie du commutateur concerné ; le premier miroir fixe réfléchissant la lumière provenant de l'accès d'entrée vers le côté du premier accès 20 de sortie est placé dans le chemin optique de la lumière émise provenant de l'accès d'entrée ; le miroir mobile est constitué de façon à pouvoir être inséré dans, et extrait de, une position située sur le chemin optique allant de l'accès d'entrée au premier miroir 25 fixe, et le miroir mobile réfléchit la lumière de l'accès d'entrée vers le côté du second accès de sortie lorsque le miroir mobile est inséré dans la position située sur le chemin optique ; la lumière réfléchie par le premier miroir fixe est en 30 outre réfléchie par le deuxième miroir fixe, et la lumière réfléchie par le deuxième miroir fixe est appliquée par couplage au premier accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; 35 la lumière réfléchie par le miroir mobile est en outre réfléchie par le troisième miroir fixe, et la lumièreréfléchie par le troisième miroir fixe est appliquée par couplage au second accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; le total de la distance optique allant de l'accès d'entrée au premier accès de sortie en passant par le premier miroir fixe et le deuxième miroir fixe, et le total de la distance optique allant de l'accès d'entrée au second accès de sortie en passant par le miroir mobile et le troisième miroir fixe, sont mutuellement égaux.
12. Commutateur optique selon la revendication 11, caractérisé en ce que les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont supportées par la partie de support de façon que les positions de leurs trois faces extrêmes soient alignées de manière rectiligne et que les axes optiques couplés aux mêmes faces extrêmes soient mutuellement alignés en parallèle ; la partie extrême de l'une quelconque des parties de 20 guides d'ondes optiques de côté extérieur en est l'accès d'entrée, et l'autre partie de guide d'onde optique du côté extérieur est le second accès de sortie ; les faces du premier miroir fixe et du miroir mobile sont respectivement inclinées d'un angle de 45 par rapport 25 à l'axe de la lumière émise depuis l'accès d'entrée, vers le côté des deux accès de sortie ; et les faces du deuxième miroir fixe et du troisième miroir fixe sont respectivement inclinées de 45 , par rapport à la direction de l'axe de la lumière émise, vers 30 le côté de l'accès d'entrée.
13. Commutateur optique selon la revendication 12, caractérisé en ce que le miroir mobile est actionné, au moyen d'un actionneur électrostatique (30), dans une direction 35 contenue dans le plan du substrat qui est perpendiculaire à l'axe de la lumière émise depuis l'accès d'entrée.
14. Commutateur optique selon la revendication 11, caractérisé en ce que les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont supportées par la partie de support de manière que les positions de leurs faces extrêmes soient alignées de manière rectiligne et que les axes optiques couplés aux mêmes faces extrêmes soient mutuellement alignés en parallèle ; la partie extrême de la partie de guide d'onde optique centrale en est l'accès d'entrée, les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques, adjacentes aux deux côtés de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique centrale, sont les premier et second accès de sortie ; et le miroir mobile est inséré dans le chemin optique allant de l'accès d'entrée au premier miroir fixe, depuis le côté du second accès de sortie par rapport au même chemin optique, dans une direction contenue dans le plan du substrat, et le miroir mobile est extrait du même chemin optique vers le côté du même second accès de sortie, dans une direction contenue dans le plan du substrat.
15. Commutateur optique selon la revendication 14, caractérisé en ce que le miroir mobile est constitué en revêtant d'une matière réfléchissante une partie en forme de plaque située à l'extrémité d'un constituant en forme de tige qui est actionné pour être inséré dans le chemin optique et en être extrait ; et le miroir mobile est actionné pour une insertion et 30 une extraction sur une voie faisant face à la partie arrière du premier miroir fixe, un évidement (45) étant présent, sur le côté arrière du premier miroir fixe du substrat, lequel évidement s'ouvre face à ladite voie sur laquelle le constituant en 35 forme de tige est actionné pour l'insertion et l'extraction, etdu fait de cet évidement, les deux côtés des faces avant et arrière du miroir mobile sont des espaces qui restent ouverts.
16. Commutateur optique, caractérisé en ce qu'il 5 comporte : une partie (20) de support supportant des parties extrêmes, mutuellement alignées en parallèle sur un substrat (10), de trois parties de guides d'ondes optiques (22A, 22B, 22C) ; 10 un miroir mobile (40) dont les positions relatives peuvent varier par rapport au substrat ; et des premier, deuxième et troisième miroirs fixes {42, 43, 44) ayant des positions relatives fixes par rapport au substrat ; commutateur dans lequel 15 la partie extrême d'une partie de guide d'onde optique quelconque des trois parties de guides d'ondes optiques supportées par la partie de support est un accès d'entrée du commutateur concerné, et les parties extrêmes des deux autres parties de guides d'ondes optiques sont les premier 20 et second accès de sortie du commutateur concerné ; le premier miroir fixe, réfléchissant la lumière depuis l'accès d'entrée vers le côté du premier accès de sortie, est placé dans le chemin optique de la lumière émise depuis l'accès d'entrée ; 25 le miroir mobile est constitué de façon à pouvoir être inséré dans, et extrait de, une position sur le chemin optique allant de l'accès d'entrée audit premier miroir fixe, et le miroir mobile réfléchit la lumière provenant de l'accès d'entrée vers le côté du second accès de sortie 30 lorsque le miroir mobile est inséré dans la position située sur le chemin optique ; la lumière réfléchie par le premier miroir fixe est en outre réfléchie par le deuxième miroir fixe, et la lumière réfléchie par le deuxième miroir fixe est appliquée par 35 couplage au premier accès de sortie en parallèle à lalumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; la lumière réfléchie par le miroir mobile est en outre réfléchie par le troisième miroir fixe, et la lumière réfléchie par le troisième miroir fixe est appliquée par couplage au second accès de sortie en parallèle avec la lumière émise depuis l'accès d'entrée et en sens inverse par rapport à cette lumière émise ; les parties extrêmes des trois parties de guides 10 d'ondes optiques sont des parties extrêmes de trois parties de guides d'ondes optiques monomode ; ladite partie extrême qui est l'accès d'entrée et/ou les parties extrêmes qui sont les deux accès de sortie comportent une partie ou des parties de concentration ; les 15 diagrammes d'émission de champ de lumière de chaque face extrême des parties extrêmes qui sont les deux accès de sortie sont identiques ; le total de la distance optique allant de l'accès d'entrée au premier accès de sortie en passant par le 20 premier miroir fixe et le deuxième miroir fixe et le total de la distance optique allant de l'accès d'entrée au second accès de sortie en passant par le miroir mobile et le troisième miroir fixe sont mutuellement égaux.
17. Commutateur optique selon la revendication 16, 25 caractérisé en ce que les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont supportées par la partie de support de manière que les positions de leurs faces extrêmes soient alignées de manière rectiligne et que les axes optiques 30 couplés aux mêmes faces extrêmes soient mutuellement alignés en parallèle ; la partie extrême d'une partie de guide d'onde optique quelconque d'un côté extérieur en est l'accès d'entrée, l'autre partie de guide d'onde optique du côté extérieur 35 est le second accès de sortie ;les faces du premier miroir fixe et du miroir mobile sont respectivement inclinées d'un angle de 45 , par rapport à l'axe de la lumière émise depuis l'accès d'entrée, vers le côté des deux accès de sortie ; et les faces du deuxième miroir fixe et du troisième miroir fixe sont respectivement inclinées de 45 , par rapport à la direction de l'axe de la lumière émise, vers le côté de l'accès d'entrée.
18. Commutateur optique selon la revendication 17, 10 caractérisé en ce que le miroir mobile est actionné, au moyen d'un actionneur électrostatique (30), dans une direction contenue dans le plan du substrat, qui est perpendiculaire à l'axe de la lumière émise depuis l'accès d'entrée. 15
19. Commutateur optique selon la revendication 16, caractérisé en ce que les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont supportées par la partie de support de manière que les positions de leurs trois faces extrêmes 20 soient alignées de façon rectiligne et que les axes optiques couplés aux mêmes faces extrêmes soient mutuellement alignés en parallèle ; la partie extrême de leur partie de guide d'onde optique centrale est l'accès d'entrée, les parties extrêmes 25 des deux autres parties de guides d'ondes optiques, adjacentes sur les deux côtés de la partie extrême de la partie de guide d'onde optique centrale, sont les premier et second accès de sortie ; et le miroir mobile est inséré dans le chemin optique 30 depuis l'accès d'entrée vers le premier miroir fixe, à partir du côté du second accès de sortie par rapport au même chemin optique, dans une direction contenue dans le plan du substrat, et le miroir mobile est extrait du même chemin optique vers le même côté du second accès de sortie, 35 dans une direction contenue dans le plan du substrat.
20. Commutateur optique selon la revendication 19, caractérisé en ce que le miroir mobile est constitué en revêtant d'une matière réfléchissante une partie en forme de plaque située 5 à l'extrémité d'un constituant en forme de tige qui est actionné pour une insertion dans le chemin optique et une extraction de celui-ci ; et le miroir mobile est actionné pour une insertion et une extraction sur une voie faisant face à la partie 10 arrière du premier miroir fixe, un évidement (45) sur le côté arrière du premier miroir fixe du substrat étant présent et s'ouvrant face à la voie sur laquelle le constituant en forme de tige est actionné pour une insertion et une extraction, et 15 du fait de cet évidement, les deux côtés des faces avant et arrière du miroir mobile sont des espaces qui restent ouverts.
21. Commutateur optique selon l'une quelconque des revendications 2 à 4 ou des revendications 7 à 9, 20 caractérisé en ce que le premier miroir mobile et le second miroir mobile sont constitués respectivement en revêtant d'une matière réfléchissante les parties en forme de plaque situées aux extrémités de constituants en forme de tige qui sont 25 actionnés pour une insertion dans les positions d'insertion et une extraction à partir de ces positions ; des parties oblitérées étant présentes, sur les parties arrière du premier miroir mobile et du second miroir mobile du substrat, lesquelles parties oblitérées 30 s'ouvrent face aux deux voies sur lesquelles les deux constituants en forme de tige sont actionnés pour une insertion dans les positions d'insertion et une extraction à partir de ces positions ; et du fait des parties oblitérées, dans des positions dans lesquelles le premier 35 miroir mobile et le second miroir mobile sont extraits chacun des positions d'insertion, les deux côtés respectifsdes faces avant et arrière du premier miroir mobile et du second miroir mobile des deux constituants en forme de tige sont des espaces qui restent ouverts.
22. Commutateur optique selon l'une quelconque des revendications 1, 6, 11 et 16, caractérisé en ce que les parties extrêmes des trois parties de guides d'ondes optiques sont des parties extrêmes de trois fibres optiques ; trois gorges (21A, 21B, 21C) de section transversale 10 rectangulaire, mutuellement alignées en parallèle, sont formées dans le substrat ; et des ressorts (23A, 23B, 23C) d'application de pression aux fibres, en forme de demi-langues, sont prévus sur chaque côté d'une paroi intérieure des trois gorges ; 15 les parties extrêmes des trois fibres optiques sont placéesdans les trois gorges, une par une, les ressorts d'application de pression aux fibres poussant respectivement les côtés des parties extrêmes des trois fibres optiques vers les parois intérieures opposées des 20 trois gorges, et sous l'effet de ces poussées, les parties extrêmes des trois fibres optiques étant positionnées respectivement sur les parois intérieures opposées ; les côtés de la paroi intérieure où les ressorts d'application de pression aux fibres sont placés sont 25 mutuellement opposés entre les gorges dans lesquelles des accès en couplage optique mutuel sont respectivement placés.
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