FR2872809A1 - Methode d'adressage d'electrodes - Google Patents

Methode d'adressage d'electrodes Download PDF

Info

Publication number
FR2872809A1
FR2872809A1 FR0451494A FR0451494A FR2872809A1 FR 2872809 A1 FR2872809 A1 FR 2872809A1 FR 0451494 A FR0451494 A FR 0451494A FR 0451494 A FR0451494 A FR 0451494A FR 2872809 A1 FR2872809 A1 FR 2872809A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
line
electrodes
selection
line selection
lines
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR0451494A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2872809B1 (fr
Inventor
Yves Fouillet
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to FR0451494A priority Critical patent/FR2872809B1/fr
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority to PCT/FR2005/050570 priority patent/WO2006008424A2/fr
Priority to DE602005005337T priority patent/DE602005005337T2/de
Priority to AT05789844T priority patent/ATE389113T1/de
Priority to EP05789844A priority patent/EP1778976B1/fr
Priority to US11/630,999 priority patent/US8603413B2/en
Priority to JP2007519856A priority patent/JP4814230B2/ja
Publication of FR2872809A1 publication Critical patent/FR2872809A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2872809B1 publication Critical patent/FR2872809B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B19/00Machines or pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B17/00
    • F04B19/006Micropumps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01FMIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F33/00Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
    • B01F33/30Micromixers
    • B01F33/302Micromixers the materials to be mixed flowing in the form of droplets
    • B01F33/3021Micromixers the materials to be mixed flowing in the form of droplets the components to be mixed being combined in a single independent droplet, e.g. these droplets being divided by a non-miscible fluid or consisting of independent droplets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01FMIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F33/00Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
    • B01F33/30Micromixers
    • B01F33/3031Micromixers using electro-hydrodynamic [EHD] or electro-kinetic [EKI] phenomena to mix or move the fluids
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00Additional constructional details
    • B01L2300/08Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/089Virtual walls for guiding liquids

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
  • Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)
  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

L'invention concerne un dispositif d'adressage d'une matrice d'électrodes de 2n lignes d'un dispositif électro-fluidique, chaque ligne possédant N électrodes (n<N), ce dispositif comportant :- sur chaque ligne, n électrodes dites de sélection (Esl - i), l'ensemble de ces électrodes de sélection de ligne étant reliées à 2n conducteurs (C1, C1', C2, C2', C3, C3') de sélection de lignes, 2n-1 électrodes de sélection de lignes de 2n-1 lignes étant connectées à chaque conducteur de sélection de lignes,- des moyens (Rsl-k, Rsl-k') de sélection, pour sélectionner un ou plusieurs conducteurs de sélection de ligne.

Description

METHODE D'ADRESSAGE D'ELECTRODES
DESCRIPTION
DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTERIEUR
L'invention concerne le multiplexage électro-fluidique pour la manipulation de plusieurs gouttes dans un microsystème.
L'invention est particulièrement bien adaptée au laboratoire sur puce nécessitant le contrôle d'un grand nombre de liquides différents, par exemple, pour des applications de haut débit d'analyse ou de chimie combinatoire.
Les volumes de réaction sont des gouttes manipulées par électromouillage sur des séries d'électrodes.
Un des modes de déplacements ou de manipulation les plus utilisés repose sur le principe de l'électromouillage sur un diélectrique, comme décrit dans l'article de M.G. Pollack, A.D. Shendorov, R.B.
Fair, intitulé Electro-wetting-based actuation of droplets for integrated microfluidics , Lab Chip 2 (1) (2002) 96-101.
Les forces utilisées pour le déplacement sont des forces électrostatiques.
Le document FR 2 841 063 décrit un dispositif mettant en uvre un caténaire en regard des électrodes activées pour le déplacement.
Le principe de ce type de déplacement est synthétisé sur les figures 1A 1C.
Une goutte 2 repose sur un réseau 4 d'électrodes, dont elle est isolée par une couche diélectrique 6 et une couche hydrophobe 8 (figure 1A).
Chaque électrode est reliée à une électrode commune via un commutateur, ou plutôt un système de commande individuel par relais électrique 11.
Initialement, toutes les électrodes ainsi que la contre électrode sont placées à un potentiel de référence VO.
Lorsque l'électrode 4 - 1 située à proximité de la goutte 2 est activée (placée à un potentiel V1 différent de VO par actionnement du relais 11), la couche diélectrique 6 et la couche hydrophobe 8 entre cette électrode activée et la goutte, polarisée par la contre- électrode 10, agissent comme une capacité, les effets de charge électro-statiques induisent le déplacement de la goutte sur l'électrode activée. La contre -électrode 10 peut être soit un caténaire comme décrit dans FR - 2 841 063 (figure 2A) soit un fil enterré, soit une électrode planaire sur un capot dans la cas d'un système confiné.
La couche hydrophobe devient donc localement plus hydrophile.
La goutte peut ainsi être déplacée de proche en proche (figure 1C), sur la surface hydrophobe 8, par activation successive des électrodes 4 - 1, 4 2,... etc. et le long du caténaire 10.
Les documents cités ci-dessus donnent des exemples de mises en oeuvre de séries d'électrodes adjacentes pour la manipulation d'une goutte dans un plan.
Il existe deux familles de réalisation de ce type de dispositif.
Dans un premier cas les gouttes reposent à la surface d'un substrat comportant la matrice d'électrodes, comme illustré sur la figure lA et comme décrit dans le document FR 2 841 063.
Une deuxième famille de réalisation consiste à confiner la goutte entre deux substrats, comme expliqué par exemple dans le document de M.G. POLLAK et al déjà cité ci-dessus.
Dans le premier cas on parle de système ouvert, dans le deuxième cas on parle de système confiné.
Le système est en général constitué d'une 15 puce et d'un système de commande.
Les puces comportent des électrodes, comme décrit ci-dessus.
Le système de pilotage électrique comporte un ensemble 11 de relais et un automate ou un PC permettant de programmer la commutation des relais.
La puce est connectée électriquement au système de commande, ainsi chaque relais permet de piloter une ou plusieurs électrodes.
Grâce aux relais, toutes les électrodes 25 peuvent être placées à un potentiel VO ou V1.
Généralement le nombre de connections électriques, entre le système de commande et la puce est égale à celui du nombre de relais.
Pour déplacer une goutte sur une ligne 30 d'électrodes, il suffit de relier toutes les électrodes à des relais et de les activer successivement comme décrit sur les figures lA - 1C.
La figure 2 illustre le cas d'une matrice de N lignes d'électrodes.
On souhaite alors déplacer simultanément (en parallèle) N gouttes sur ces N lignes Pour cela on connecte les électrodes en colonnes, chaque colonne d'électrodes étant connectée à un relais, dit relais parallèle 20.
On dissocie le fonctionnement des lignes afin, par exemple, d'amener une seule goutte donnée à une extrémité, et de laisser les autres gouttes en début de ligne.
Pour dissocier les lignes on définit au moins une colonne d'électrodes, dites électrodes de sélection de ligne, chacune des électrodes de cette colonne étant reliée, via un conducteur 21 - i, à un relais 22 - i qui est indépendant des relais auxquels sont reliés les autres électrodes de cette même colonne. Ces divers relais sont désignés par les références 22 1,_22 - 6, 22 - 7,22 - 8 sur la figure 2 et sont appelés relais de sélection de lignes.
Toutes les gouttes sont déplacées sur les N lignes par les relais parallèles 20, jusqu'à la colonne d'électrodes qui précède la colonne d'électrodes de sélection de ligne ESL.
Par le pilotage des différents relais de sélection de ligne 22- i on choisit les gouttes qui doivent être stoppées et celles qui doivent poursuivre leur déplacement le long de telle ou telle ligne d'électrodes. 10
Les gouttes ainsi sélectionnées peuvent ensuite poursuivre leur déplacement par le pilotage des relais 20.
Dans cette mise en uvre le nombre de conducteurs électriques 21 - i et de relais 22 - i est proportionnel au nombre de lignes. Pour un grand nombre de lignes (N= 20, 50, 100....), le nombre important de conducteurs et de relais rend cette technologie complexe et très coûteuse.
Il se pose donc le problème de trouver un procédé et un dispositif permettant de simplifier les connections électriques tout en maintenant la possibilité de sélection pour chaque ligne d'électrodes.
EXPOSÉ DE L'INVENTION L'invention concerne d'abord un dispositif d'adressage d'une matrice d'électrodes de 2 lignes d'un dispositif électro-fluidique, chaque ligne possédant N électrodes (n<N), ce dispositif comportant: - sur chaque ligne, n électrodes dites de sélection, l'ensemble de ces électrodes de sélection de ligne étant reliées à 2n conducteurs de sélection de lignes, 2n-1 électrodes de sélection de lignes de 2'1 lignes étant connectées à chaque conducteur de sélection de lignes, des moyens de sélection, pour sélectionner un ou plusieurs conducteurs de sélection de ligne.
L'invention permet de réduire le nombre de conducteurs de sélection de ligne, et donc de simplifier les moyens de sélection de lignes dans une matrice d'adressage électro-fluidique.
Grâce à l'invention, on peut donc manipuler 2n gouttes pour seulement 2n signaux d'entrées.
L'invention permet donc de piloter des électrodes de sélection de ligne avec seulement 2n relais.
A titre d'exemple l'invention permet de piloter 8, 16, 32, 64, 128, 256, 512, 1024 électrodes de sélection de ligne avec respectivement 6, 8, 10, 12, 14, 16, 18, 20 conducteurs de sélection de ligne et le même nombre de relais de sélection de ligne.
L'invention est particulièrement bien adaptée quand le nombre de lignes est grand (>16 ou 32 par exemple).
Les électrodes ESL-k de sélection des différentes lignes peuvent être, pour une valeur de k donnée, connectées à deux conducteurs de sélection de ligne, les électrodes ESL-k étant connectées par paquets de 2k-1, alternativement au conducteur Ck et au conducteur Ck'.
Les moyens de sélection, pour sélectionner un ou plusieurs conducteurs de sélection de ligne peuvent comporter des relais électriques de sélection.
Selon un mode de réalisation, dans un tel dispositif, les moyens de sélection de conducteurs de sélection de ligne comportent 2n relais électrique de sélection, chaque relais étant connecté à un unique conducteur de sélection de ligne.
Selon un mode de réalisation, dans un tel dispositif, les moyens de sélection de conducteurs de sélection de ligne comportant n relais électriques de sélection, chaque relais étant connecté à deux conducteurs de sélection de ligne.
Chaque relais de sélection de ligne peut alors être combiné avec des moyens pour engendrer, outre un signal d'entrée, un signal complémentaire.
Les électrodes de sélection de ligne étant disposées successivement le long de chaque ligne, ou bien de manière non successive le long de au moins une ligne.
Les électrodes de sélection de ligne d'au moins une ligne peuvent être de forme rectangulaire, le grand côté de chaque rectangle etant disposé perpendiculairement à la ligne.
Les électrodes de sélection de ligne d'au 20 moins une ligne peuvent être, selon une variante, de forme carrée.
Selon un mode de réalisation particulier, au moins une ligne d'électrodes de la matrice possède une électrode de coupure (Ec).
Des moyens numériques de sélection de ligne peuvent être prévus, pour piloter un dispositif selon l'invention.
Ces moyens numériques de sélection de ligne peuvent être programmés pour sélectionner les lignes de 30 la matrice d'électrode selon un code binaire.
Selon l'invention on utilise alors une logique combinatoire obtenue par une méthode appropriée d'interconnections entre plusieurs électrodes au niveau de la puce ou du dispositif.
Ces moyens numériques de sélection de ligne peuvent comporter des moyens pour sélectionner une ou plusieurs lignes de la matrice, et des moyens pour former des instructions de commande des conducteurs de sélection de ligne en fonction de la ou des lignes sélectionnées.
Ces moyens numériques de sélection de ligne peuvent comporter en outre des moyens pour activer consécutivement les électrodes de sélection de ligne d'une ligne sélectionnée et/ou pour activer simultanément les électrodes de sélection de ligne d'une ligne sélectionnée.
L'invention concerne également un dispositif de formation de gouttes de liquides, comportant un dispositif tel que décrit ci-dessus, et des moyens formant des réservoirs pour des liquides, chaque ligne de la matrice étant reliée à un réservoir.
Un tel dispositif selon l'invention peut aussi comporter des moyens formant 2 réservoirs pour les liquides, chaque ligne de la matrice étant reliée à un réservoir unique.
Chaque ligne peut être reliée à une ligne commune d'électrodes, pour mélanger des gouttes de liquides formées sur les différentes lignes.
L'invention concerne également un dispositif d'adressage d'une matrice d'électrodes de p lignes, avec 2n<p<2n+1 lignes, d'un dispositif électrofluidique, comportant un dispositif à 2n lignes tel que décrit ci-dessus.
L'invention concerne également un procédé de déplacement d'au moins un volume de liquide, à l'aide d'un dispositif tel que décrit ci-dessus, comportant: - le déplacement d'un volume de fluide la long d'au moins une ligne de la matrice par activation des électrodes de ladite ligne.
Les électrodes de sélection de ligne de ladite ligne peuvent être activées consécutivement, ou successivement.
L'invention concerne également un procédé de formation d'une goutte de liquide comportant le déplacement d'un volume de liquide tel que décrit ci-dessus, l'étalement de ce volume sur plusieurs électrodes de ladite ligne par sélection simultanée de ces électrodes, et la coupure du volume étalé à l'aide d'une électrode de coupure (Ec).
La mise en oeuvre de l'invention permet de piloter un très grand nombre de gouttes avec une technologie simple de fabrication de la puce, une minimisation du nombre de connections électrique entre la puce et le système de pilotage, une simplification du système de pilotage électrique, et donc une minimisation des coûts de fabrication de la puce, des connections électrique, et du système de pilotage.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
- Les figures lA - 1C illustrent le principe de manipulation de goutte par électromouillage sur isolant, - La figure 2 représente la manipulation d'une colonne de goutte par des relais Rp et la sélection de gouttes par des relais Rsl, - La figure 3 est un exemple de multiplexage électrofluidique avec 8 lignes d'électrodes.
- La figure 4 est un exemple de réalisation de l'invention, mettant en uvre un codage binaire avec 8 lignes d'électrodes.
- La figure 5 est un exemple de 15 réalisation d'électrodes ESL.
- Les figures 6A - 6D représentent des étapes pour fabriquer une goutte sur une ligne d'électrodes.
- Les figures 7A - 7D illustrent des 20 exemples de processeurs fluidiques utilisant l'invention.
- La figure 8 représente un dispositif à 16 lignes, connectées selon l'invention, - La figure 9 représente un dispositif 25 confiné.
- La figure 10 représente une structure d'électrodes dont l'un des profils est en forme de dents de scie.
EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Un exemple de réalisation de l'invention va être donné en liaison avec la figure 3.
Dans cet exemple, le dispositif comporte 8 lignes (N 0 à N 7) d'électrodes, soit 23 lignes.
Chaque ligne comporte au moins 3 électrodes, 6 dans l'exemple de la figure 3.
Parmi les électrodes de chaque ligne sont sélectionnées 3 électrodes Esli, Es12, Es13, dites de sélection. Plus généralement, pour N = 2' lignes, on sélectionne n électrodes de sélection Esl-i, i = 1 - n sur chaque ligne.
Les électrodes Esl - i de sélection de ligne sont reliées à des relais de sélection de ligne, comme expliqué plus en détail ci-dessous, ou à des conducteurs Cl, Cl', C2, C2', C3, C3' de sélection de lignes eux-mêmes reliés à des relais de sélection de ligne.
Sur la figure 3, sont mis en oeuvre 6 (= 2 x 3) conducteurs de sélection de lignes. Ces conducteurs sont, sur cette figure, groupés par paires.
D'une manière générale, pour N = 2n lignes, on dispose de 2n conducteurs de sélection de ligne.
Les n électrodes de sélection de ligne de chaque ligne, et donc les 2n x n électrodes de sélection de ligne, sont reliées à l'un ou l'autre des conducteurs des n paires de conducteurs Ck, Ck' (k = 1,...n et k' = 1,... n) de sélection de ligne.
Chaque conducteur de sélection de ligne est commandé par un relais de sélection de ligne, Rsl - k, Rsl - k' (k = 1-3, k' = 1 - 3). Il y a donc, au total, dans ce mode de réalisation, 2n relais de sélection de lignes.
Les autres électrodes, qui ne sont pas des électrodes de sélection de ligne, sont reliées à des relais parallèles 30, comme déjà expliqué cidessus: chaque colonne d'électrode est reliée à un relais parallèle.
Pour une ligne donnée, les électrodes Esl - i ne sont pas forcément consécutives: il peut y avoir, pour au moins une ligne, une électrode normale (qui n'est pas une électrode de sélection) entre deux électrodes de sélection Esl - i. On verra d'ailleurs plus loin un exemple d'utilisation d'un tel dispositif.
Par ailleurs, il est préférable d'adopter, par convention, un sens de numérotation commun à toutes les lignes: on convient, par exemple, que, sur chaque ligne, l'électrode de sélection la plus à droite sur la ligne est Esl - 1, Esl - 2 étant l'électrode de sélection à gauche de Esl - 1 (même si elle ne lui est pas juxtaposée) et, plus généralement, Esl - k étant l'électrode de sélection à gauche de Esl - (k-1), même si elle ne lui est pas juxtaposée.
Sur la figure 3 sont représentées Esl-1, Esl-2 et Esl-3 pour chacune des lignes j = 0 et 1. Mais cette disposition, comme expliqué ci-dessus, n'est pas la seule possible.
Pour i = 1, les électrodes Esl - 1 des différentes lignes sont connectées à Cl et Cl' (puis à Rsl-1 et à Rsl - 1') de manière alternée: autrement dit, les électrodes Esl - 1 sont connectées alternativement sur Cl et C1' (donc il y a changement toutes les 2(1-1) lignes, c'est-à-dire à chaque ligne).
Pour i = 2, les électrodes Esl - 2 des différentes lignes sont connectées à C2 et à C2' (puis à Rsl-2 et à Rsl - 2'), encore de manière alternée, mais toutes les 2(2-1) = 21, soit toutes les deux lignes. Autrement dit, ce sont des groupes de 21 électrodes Esl - 2 qui sont connectées alternativement sur C2 puis sur C2'.
Pour i = 3, les électrodes Esl - 3 des différentes lignes sont connectées à C3 et à C3' (puis à Rsl-3 et à Rsl - 3'), encore de manière alternée, mais toutes les 2(3-1) = 22 lignes. Autrement dit, ce sont des groupes de 22 électrodes Esl - 3 qui sont connectées alternativement sur C3 puis sur C3'.
Plus généralement, pour N = 2n lignes, 2k-1 électrodes Esl - k (k = 1,.... N) parmi toutes les 2n x n électrodes Esl - k de toutes les lignes sont connectées sur le conducteur de sélection de ligne Ck (relié au relais Rsl - k), les 2k-1 suivantes l'étant sur le conducteur de sélection de ligne Ck' (relié au relais Rsl - k'). Si il reste encore des électrodes Esl - k après ces deux affectations, elles pourront être affectées de nouveau à Ck (et donc à Rsl - k) pour les 2k-1 suivantes, puis de nouveau à Ck' (donc à Rsl - k') pour les 2k-1 suivantes. Si il ne reste qu'un groupe de moins de 2k-1 électrodes, celles - ci seront affectées soit à Ck, soit à Ck', suivant que les électrodes Esl - k précédentes sont connectées à Ck' ou à Ck.
Pour une valeur de k donnée, les électrodes ESL-k des différentes lignes peuvent être connectées à deux conducteurs de sélection de lignes Ck ou Ck' (et à des relais correspondants RSL-k ou RSL-k'), les électrodes ESL-k étant connectées par paquet de 2k-1, alternativement sur le conducteur Ck et sur le conducteur Ck'.
Pour une ligne donnée, les électrodes de sélection de ligne de cette ligne sont affectées à différentes paires Ck, Ck' et donc, dans la configuration de la figure 3, à différentes paires de relais Rsl-k, Rsl- k'. En outre, dans le cas où, comme sur la figure 3, les électrodes de sélection de ligne sont appariées, deux électrodes de sélection de ligne d'une même ligne ne sont pas affectées à la même paire Ck (Rsl - k), Ck' (Rsl - k').
Enfin, pour le cas général de 2n lignes, à chaque conducteur Ck de sélection de lignes sont affectées ou connectées 2n-1 électrodes de sélection de lignes de 2n-1 lignes.
Dans le cas de la figure 3, l'adressage des électrodes ESL-k par les relais RSL-k et RSL-k' pour k=1, 2, 3 est résumé dans le tableau I suivant. L'adressage des conducteurs Ck, Ck', respectivement connectés à Rsl-k et Rsl-k', en découle.
Ligne Relais connecté Relais connecté Relais connecté j à ESL-3 à ESL- 2 à ESL-1 0 RSL-3' RSL-2' RSL-1' 1 RSL-3' RSL-2' RSL-1 2 RSL-3' RSL-2 RSL-1' 3 RSL-3' RSL-2 RSL-1 4 RSL 3 RSL 2' RSL 1' RSL-3 RSL-2' RSL-1 6 RSL-3 RSL-2 RSL-1' 7 RSL-3 RSL-2 RSL-1
Tableau I
Par exemple, pour la ligne j = 0, Esl - 3 est activée si Rsl-3' est activé lui aussi, et donc également le conducteur C3' (figure 3).
Quel que soit le nombre de lignes et d'électrodes de sélection de ligne, chaque conducteur de sélection de ligne et chaque relais peut avoir deux états différents.
Un premier état est dit état 0 . Le conducteur Ck et les électrodes que ce relais commande sont alors connectés au potentiel VO (ou à un potentiel flottant): l'électromouillage n'agit pas sur ces électrodes, il n'y a pas de déplacement ou d'étalement des gouttes sur ces électrodes.
Un deuxième état est dit état 1 . Le conducteurs Ck et les électrodes que ce relais commande sont alors connectés au potentiel V1: l'électromouillage peut agir sur ces électrodes pour déplacer ou étaler les gouttes sur ces électrodes.
Pour qu'une goutte franchisse les différentes électrodes ESL1, ESL2..., ESLn, de sélection de ligne d'une même ligne, tous les conducteurs de sélection de ligne et tous les relais auxquels ces différentes électrodes sont connectées doivent être à l'état 1 .
Si un seul de ces conducteurs de sélection de ligne ou de ces relais est à l'état 0 , il n'y a pas de franchissement possible du liquide sur les lignes d'électrodes connectées au conducteur de sélection de ligne et au relais à l'état 0 .
Si tous les conducteurs Ci et Ci' et tous les relais RSLi et RSLi', pour i = 1 à 2n sont à l'état 0 , il n'y a aucun franchissement possible de liquide, sur aucune des lignes.
Par contre si tous les relais RSLi et RSLi' sont à l'état 1 , toutes les gouttes peuvent se déplacer ou s'étirer, sur chaque ligne, sur toutes les électrodes ESL-1 à ESL-n.
Ce mode de réalisation de l'invention permet de ne travailler qu'avec 2n conducteurs de sélection de ligne, et autant de relais de commande, des 2' x n électrodes de sélection de ligne de l'ensemble des lignes, ces électrodes de sélection de ligne étant en nombre n sur chaque ligne.
Au contraire, les dispositifs connus mettent en oeuvre, au mieux, 2n électrodes de sélection de ligne, mais avec 2n conducteurs et autant de relais (voir figure 2). Le gain procuré par l'invention, en nombre de conducteurs et de relais, est donc significatif, surtout si le nombre de lignes est de l'ordre de 2n.avec n > 4, ou 8, ou 16...etc.
Des moyens 40 de contrôle des relais peuvent être prévus, par exemple des moyens numériques programmables (PC ou autre) auxquels les relais sont connectés et qui peuvent piloter ces relais.
Ces moyens peuvent être munis d'un écran 42 permettant à l'utilisateur de sélectionner une ligne sur laquelle une goutte doit pouvoir être transférée. Par exemple la matrice est représentée sur cet écran et l'utilisateur sélectionne une ou plusieurs lignes de transfert de gouttes, à l'aide d'un curseur ou d'un stylet lui permettant de désigner la ou les lignes retenues directement à l'écran.
Ou bien un programme automatique peut sélectionner les lignes et envoyer les signaux de commande correspondants aux électrodes.
Des moyens de mémorisation des moyens 40 permettent de mémoriser les informations permettant de sélectionner telle ou telle ligne. Ces informations sont par exemple celles du tableau I pour le cas d'une matrice d'adressage de 8 lignes, elles sont stockées ou mémorisées sous la forme du tableau I ou sous une autre forme.
Sur instruction d'un opérateur, par exemple sur sélection telle que décrite ci-dessus, ou sur instruction d'un programme automatique, les moyens numériques sélectionnent, dans les moyens de mémorisation, les données permettant d'ouvrir ou de fermer les relais Rsl-k, Rsl-k' nécessaires, et donc d'activer les électrodes Ck, Ck' nécessaires.
Dans le mode de réalisation précédent, les conducteurs de sélection de ligne Ck, Ck' sont reliés à autant de relais de sélection de ligne Rsl-k, Rsl-k'.
Il est possible, selon un autre mode de réalisation, de réduire ce nombre de relais de sélection de ligne.
Ainsi, selon un autre aspect de l'invention, illustré sur la figure 4, les 2n relais peuvent encore être réduits à un nombre n si chaque paire de relais Rsl - k, Rsl - k' est remplacée par un seul relais et des moyens de type porte logique permettant de former, pour chaque relais Rsl - k une sortie à un premier état (état 1 ) et une sortie à un état complémentaire (l'état 0 ).
Chaque combinaison des n entrées des relais Rsl - k, et donc une combinaison correspondante des conducteurs de sélection de ligne Ck, Ck', conduit à la sélection ou à l'ouverture d'une ou plusieurs lignes de la matrice en vue d'un transfert d'une goutte sur cette ligne.
Par exemple, dans le mode de réalisation de la figure 3, les deux relais RSL-i et RSL-i' sont remplacés par un seul relais RSL-i' en utilisant une fonction logique complémentaire (figure 4). Ceci permet de diviser le nombre de relais par 2.
Dans ce mode de réalisation, il ne reste plus que n relais.
On peut en outre coder ou repérer les 2n lignes de la matrice par un code binaire à n chiffres, chaque ligne pouvant être sélectionnée par affectation, à l'entrée des n relais Rsl - k, du codage pour cette ligne.
On peut donc dans ce cas mettre en oeuvre une logique de codage des lignes en nombre binaire, et affecter ce codage à la commande des relais de sélection de lignes, et donc à la sélection des lignes elles-mêmes. Pour sélectionner une ligne, on affecte son code binaire à l'entrée des relais de sélection de lignes.
Par exemple on peut se rapporter à la figure 4, correspondant au cas de 8 lignes d'électrodes, comportant 3 électrodes de sélection de ligne par ligne, 6 conducteurs de sélection de lignes Cl - C6, mais seulement 3 relais de sélection de ligne.
Dans cet exemple, le codage des lignes en utilisant l'état des relais est résumé dans le tableau II suivant: Ligne Nombre Etat du relais Etat du Etat du binaire RSL3 relais relais RSL1 RSL-2 0 000 0 0 0 1 001 0 0 1 2 010 0 1 0 3 011 0 1 1 4 100 1 0 0 101 1 0 1 6 110 1 1 0 7 111 1 1 1
Tableau II
Pour un chiffre binaire donné, une seule ligne aura les 3 électrodes de sélection de ligne au potentiel Vl, et une seule ligne sera sélectionnée.
Par exemple le nombre 101 permet de définir l'état des 3 relais permettant aux 3 électrodes ESL-1, ESL-2, ESL-3 de la ligne 5 d'être au potentiel V1.
Seules les gouttes placées sur cette ligne pourront circuler.
Les autres gouttes ne pourront pas franchir les électrodes ESL car au moins l'une d'entre elles est au potentiel VO.
Les affectations ou les connections des électrodes de sélection de lignes aux conducteurs de sélection de lignes Ck, Ck' sont, dans ce mode de réalisation, les mêmes que dans le premier mode de réalisation.
De même, dans ce mode de réalisation également, des moyens 40 de contrôle des relais peuvent 15 être prévus, par exemple des moyens numériques programmables (PC ou autre) auxquels les n relais sont connectés et qui peuvent piloter ces relais.
Ces moyens peuvent être munis d'un écran 42 permettant à l'utilisateur de sélectionner une ligne sur laquelle une goutte doit pouvoir être transférée. Par exemple la matrice est représentée sur cet écran et l'utilisateur sélectionne une ligne de transfert de gouttes, à l'aide d'un curseur ou d'un stylet lui permettant de désigner la ou les lignes retenues directement à l'écran.
Ou bien un programme automatique peut sélectionner les lignes et envoyer les signaux de commande correspondants aux électrodes.
Des moyens de mémorisation des moyens 40 permettent de mémoriser les informations permettant de sélectionner telle ou telle ligne, par exemple les informations du tableau II tel que ci-dessus, sous la forme de ce tableau ou sous une forme équivalente.
Sur instruction d'un opérateur, par exemple sur sélection telle que décrite ci-dessus, ou sur instruction d'un programme automatique, les moyens numériques sélectionnent, dans les moyens de mémorisation, les données permettant d'ouvrir ou de fermer les relais Rsl-k nécessaires, et donc d'activer les électrodes Ck nécessaires.
D'une manière générale, quel que soit le mode de réalisation envisagé, on peut distinguer deux modes opératoires.
Dans un premier cas, pour une ligne donnée, une goutte s'étale simultanément sur toutes les électrodes de sélection de ligne de cette ligne, dans un deuxième cas la goutte se déplace successivement sur les électrodes de sélection de ligne de cette même ligne.
Avec le premier mode opératoire, les différentes électrodes de sélection de ligne d'une même ligne sont activées simultanément. Par exemple, les moyens 40 de pilotage sont programmés spécifiquement afin d'activer simultanément ces électrodes de sélection de ligne. Ou bien un opérateurpeut choisir, au cas par cas, entre activation simultanée et activation successive.
Pour cela, les liquides et les technologies utilisés (système confiné ou système ouvert) permettent aux gouttes de s'étaler sur toute la série de ces électrodes de sélection de ligne.
Ceci est généralement le cas des systèmes confinés. Un système confiné comporte, outre le substrat tel qu'illustré sur la figure 1, un deuxième substrat 11, qui fait face au premier, comme illustré sur la figure 9 ou comme décrit dans le document de MG Pollack cité dans l'introduction à la présente demande. Sur la figure 9, les références 13 et 15 désignent respectivement une couche hydrophobe et une électrode sous - jacente.
Pour un système ouvert, on utilise de préférence des liquides à faible tension de surface (par exemple l'eau avec des surfactants).
Suivant les tensions de surface des liquides et les dimensions des électrodes il peut être difficile d'obtenir un étalement complet du liquide sur toutes les n électrodes de sélection de ligne d'une même ligne, activées simultanément, quand le nombre n est élevé (par exemple: n>3 ou à 4).
Pour contourner ce problème, il est possible de modifier la géométrie des électrodes afin de minimiser la longueur totale des différentes électrodes de sélection de ligne, et donc de limiter la longueur d'étalement de la goutte.
Ceci est obtenu, par exemple en utilisant des électrodes de sélection de ligne rectangulaires, comme illustré sur la figure 5. Le grand côté de chaque rectangle est disposé perpendiculairement à la direction de la ligne.
Avec le deuxième mode opératoire on pilote les électrodes de sélection de ligne consécutivement.
En effet, pour certaines configurations, (par exemple en système ouvert avec des gouttes à forte tension de surface), il peut être difficile d'étaler une goutte, simultanément sur toutes les électrodes de sélection de ligne d'une même ligne.
En pilotant consécutivement les électrodes de sélection de ligne d'une même ligne (ESL-1 puis ESL-2, jusqu'à ESP-n, ou l'inverse si les électrodes sont numérotées en sens inverse) on déplace de proche en proche la goutte sélectionnée le long d'une ligne, sur les différentes électrodes de sélection de ligne placées consécutivement au potentiel V1.
Si une des électrodes de sélection de ligne est placée au potentiel VO, la goutte est stoppée.
Pour sélectionner une nouvelle goutte on effectue une remise a zéro, ce qui consiste à replacer en début de ligne toutes les gouttes stoppées sur une des électrodes de sélection de ligne. Par exemple on réactive les électrodes précédant celle sur laquelle la goutte se situe, pour faire remonter la goutte le long de la ligne.
Des variantes, pour la formation d'une goutte, vont être décrites.
Il est possible de former des gouttes à partir d'un réservoir R grâce à une ligne d'électrodes qui est reliée à ce réservoir et qui fait ellemême partie d'une matrice d'électrodes.
A cette fin, on active une série d'électrodes El - E4 d'une ligne d'une matrice, cette ligne étant reliée à un réservoir R comme illustré sur la figure 6A, ce qui conduit à l'étalement d'une goutte, et donc à un segment liquide 50 comme illustré sur la figure 6B.
Puis, on coupe le segment liquide obtenu en désactivant une des électrodes activées (électrode Ec sur la figure 6C). On obtient ainsi une goutte 52, comme illustré sur la figure 6D.
On peut appliquer le procédé selon l'invention en insérant les électrodes de sélection entre le réservoir R et une ou plusieurs électrode Ec (figure 6C) dite électrode de coupure.
Suivant l'invention, les électrodes de sélection permettent de sélectionner les lignes où les gouttes doivent être formées, d'étirer le liquide jusqu'aux électrodes de coupure pour former une goutte.
Un exemple d'application va maintenant être décrit en liaison avec les figures 7A à 7D.
Il s'agit d'un processeur fluidique pour chimie combinatoire.
Dans cet exemple, la puce comporte 2 x 2n réservoirs Rk, k =1,...,2n+1, et un nombre correspondant de lignes d'électrodes.
A chaque réservoir est associée une ligne d'électrodes permettant la fabrication d'une goutte. L'ensemble des lignes forme donc une matrice comme déjà décrit ci-dessus.
n électrodes de sélection de ligne, comme décrit précédemment, sont situées sur chaque ligne.
La figure 7B représente la première ligne, avec ses électrodes de sélection de ligne Esl et le réservoir R1. Les autres lignes ont une structure similaire.
Toutes les lignes d'électrodes partant des réservoirs aboutissent à une ligne commune 60 d'électrodes, qui peut aussi comporter des électrodes de sélection de ligne. Les différents réactifs sont amenés sur cette ligne 60, sous forme de gouttes, pour être mélangés.
La structure de la figure 7A est symétrique par rapport à cette ligne 60, et comporte pour cette raison 2 x 2n lignes. Mais une structure selon l'invention peut aussi être dissymétrique et ne comporter que 2n lignes, situées toutes d'un même côté, ou à 90 , par rapport à la ligne commune 60.
Les conducteurs de sélection de ligne, disposés selon l'un des modes de réalisation de l'invention, sont non représentés sur les figures 7A et 7B, mais sont sous-jacents à une couche isolante hydrophobe, comme illustré sur la figure 1A.
Ces conducteurs de sélection de ligne sont reliés à des moyens de commande tels que les moyens 40, 42 de la figure 4.
Selon une variante, il est possible de disposer des lignes, chacune munie d'électrodes de sélection de ligne et reliée à un réservoir R1,...Rk, R' 1,...R' k' , dans une architecture perpendiculaire, selon un schéma tel que celui de la figure 7C. Les lignes sont perpendiculaires à des lignes communes 160, 162.
Selon encore une variante, il est possible de disposer des lignes, chacune munie d'électrodes de sélection de ligne et reliée à un réservoir R1,...Rk, R' 1, ...R' k' , R1, ...Rj, R' 1, ...R' j' dans une architecture en carré, selon un schéma tel que celui de la figure 7D. Les lignes sont perpendiculaires à des lignes communes 260, 262, qui forment un carré.
D'autres dispositions sont envisageables et 20 permettent de réaliser tout type de circuit ou de processeur fluidique.
Les conducteurs de sélection de ligne, disposés selon l'un des modes de réalisation de l'invention, sont non représentés sur les figures 7C et 7D, mais sont sous-jacents à une couche isolante hydrophobe, comme illustré sur la figure 1A.
Ces conducteurs de sélection de ligne sont reliés à des moyens de commande tels que les moyens 40, 42 de la figure 4.
Grâce à l'invention il est possible de programmer un grand nombre de combinaisons possibles de mélanges entre les différents réactifs.
Pour procéder à l'analyse des résultats, la puce peut comporter une zone de détection (non représenté sur la figure) dans laquelle peut être réalisée une détection, par exemple par colorimétrie, ou par fluorescence, ou par électrochimie.
La puce peut comporter éventuellement d'autres entrées/sorties ou réservoirs 62 pour injecter un échantillon devant être mélangé avec, successivement, une combinaison des différents réactifs, chacun étant issu d'un réservoir connecté à une ligne d'électrodes, ou à une zone 64, dite zone poubelle, pour évacuer les liquides après analyse.
L'invention s'applique non seulement à des matrices comportant 2n lignes (n>0 ou à 1), mais aussi à toute matrice de p lignes (p entier), avec 2n < p <2n+1, n entier. Dans ce cas, on traite une matrice de 2n+1 lignes selon l'un des modes de réalisation décrits ci-dessus, puis on supprime les lignes en excès dans ce schéma.
La figure 8 donne un exemple de matrice à 16 lignes (j = 0,...15), avec des connections à 8 conducteurs de sélection de ligne selon l'invention.
Les commutateurs ou relais sont schématisés par 4 blocs Rsl-i (i = 1 - 4), qui peuvent prendre l'une ou l'autre des formes décrites ci-dessus en liaison avec l'un des modes de réalisation de l'invention.
La suppression de, par exemple, 3 lignes est symbolisée par le trait interrompu 70. Les lignes j = 13, 14, 15 étant éliminées, il reste une configuration comportant 15 lignes, dont les 8 lignes j = 0 - 7, chacune de ces 8 lignes comportant au moins 3 (en fait: 4) électrodes de sélection de ligne Esl - 1, 2, 3, connectées aux conducteurs Cl, Cl', C2, C2', C3, C3' selon l'invention (le bloc 72 de la figure 8 regroupe ces connections).
Le dispositif comporte alors en outre deux conducteurs de sélection de ligne supplémentaires C4 et C4' qui, pour les lignes 0 à 7 sont respectivement complètement occupés ou vides, et n'interviennent donc pas dans le repérage des lignes.
Un dispositif comportant p lignes, avec 2 < p <2'' comporte donc un dispositif à 2 lignes selon l'invention. Chacune de ces lignes comporte non plus n électrodes de sélection de ligne, mais n+1, dont n sont connectées comme déjà décrit ci-dessus en liaison avec les figures 3 ou 4.
L'invention permet donc de réaliser un procédé et un système d'adressage d'une matrice électro-fluidique ayant un nombre quelconque de lignes.
Un dispositif selon l'invention peut être réalisé dans une structure telle que celle illustrée sur les figures lA - 1C, les électrodes, disposées en matrice, étant située sous une couche isolante 6 et une couche hydrophobe 8.
Le substrat 1 est par exemple en silicium 30 ou en verre ou en plastique.
Typiquement, la distance entre le conducteur 10 (figures 1A - 1C) d'une part et la surface hydrophobe 8 d'autre part est par exemple comprise entre 1 pm et 100 pm ou 500 pm.
Le conducteur 10 se présente par exemple sous la forme d'un fil de diamètre compris entre 10 pm et quelques centaines de pm, par exemple 200 pm. Ce fil peut être un fil d'or ou d'aluminium ou de tungstène ou d'autres matériaux conducteurs.
Lorsque deux substrats 1, 11 sont utilisés, dans la cas d'une structure confinée (figure 9), ils sont distants d'une distance comprise entre, par exemple, 10 pm et 100 pm ou 500 pm.
Dans ce cas, le deuxième substrat comporte une couche 13 hydrophobe à sa surface destinée à être en contact avec le liquide d'une goutte. Une contre-électrode 15 peut être enterrée dans le deuxième substrat, ou une électrode plane peut couvrir une grande partie de la surface du capot. Un caténaire peut aussi être utilisé.
Quel que soit le mode de réalisation considéré, une goutte de liquide 2 aura un volume compris entre, par exemple, 1 nanolitre et quelques microlitres, par exemple entre 1 nl et 5 pl.
En outre chacune des électrodes d'une ligne de la matrice aura par exemple une surface de l'ordre de quelques dizaines de pm2 (par exemple 10 pm2) jusqu'à 1 mm2, selon la taille des gouttes à transporter, l'espacement entre électrodes voisines étant par exemple compris entre 1 pm et 10 pm. 10
La structuration des électrodes de la matrice peut être obtenue par des méthodes classiques des micro-technologies, par exemple par photolithographie, les électrodes étant par exemple réalisées pat dépôt d'une couche métallique (AU, ou AL, ou ITO, ou Pt, ou Cr, ou Cu) puis photolithographie.
Le substrat est ensuite recouvert d'une couche diélectrique en Si3N4 ou SiO2. Enfin, une couche hydrophobe peut être déposée, par exemple un dépôt de téflon réalisé à la tournette.
Les mêmes techniques s'appliquent à la réalisation du deuxième substrat de la figure 9, dans le cas d'un dispositif confiné.
Des procédés de réalisation de puces incorporant un dispositif selon l'invention peuvent aussi être directement dérivés des procédés décrits dans le document FR - 2 841 063.
Quel que soit le mode de réalisation, les électrodes d'au moins une ligne ont un profil en dent de scie comme celui illustré en figure 10. Les dents de scie des électrodes consécutives s'imbriquent les unes dans les autres. Ceci permet de faciliter le déplacement des ménisques d'une électrode à l'autre.

Claims (26)

REVENDICATIONS
1. Dispositif d'adressage d'une matrice d'électrodes de 2' lignes d'un dispositif électro- fluidique, chaque ligne possédant N électrodes (n<N), ce dispositif comportant: - sur chaque ligne, n électrodes dites de sélection (Esl - i), l'ensemble de ces électrodes de sélection de ligne étant reliées à 2n conducteurs (Cl, Cl', C2, C2', C3, C3') de sélection de lignes, 2n-1 électrodes de sélection de lignes de 2n-1 lignes étant connectées à chaque conducteur de sélection de lignes, - des moyens (Rsl-k, Rsl-k') de sélection, pour sélectionner un ou plusieurs conducteurs de sélection de ligne.
2. Dispositif selon la revendication 1, les électrodes ESL-k de sélection des différentes lignes étant, pour une valeur de k donnée, connectées à deux conducteurs de sélection de ligne (Ck, Ck'), les électrodes ESL-k étant connectées par paquets de 2k-1, alternativement au conducteur Ck et au conducteur Ck'.
3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, les moyens de sélection, pour sélectionner un ou plusieurs conducteurs de sélection de ligne comportant des relais électriques de sélection.
4. Dispositif selon l'une des 30 revendications 1 à 3, les moyens de sélection de conducteurs de sélection de ligne comportant 2n relais électrique (Rsl - 1, Rsl - 2, Rsl - 3) de sélection, chaque relais étant connecté à un unique conducteur de sélection de ligne.
5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, les moyens de sélection de conducteurs de sélection de ligne comportant n relais électrique (Rsl - 1, Rsl - 2, Rsl - 3) de sélection, chaque relais étant connecté à deux conducteurs de sélection de ligne.
6. Dispositif selon la revendication 5, chaque relais de sélection de ligne étant combiné avec des moyens (31, 33, 35) pour engendrer, outre un signal d'entrée, un signal complémentaire.
7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, les électrodes de sélection de ligne étant disposées successivement le long de chaque ligne.
8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, les électrodes de sélection de ligne étant disposées de manière non successive le long de au moins une ligne.
9. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, les électrodes de sélection de ligne d'au moins une ligne étant de forme rectangulaire, le grand côté de chaque rectangle étant disposé perpendiculairement à la ligne.
10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, les électrodes de sélection de ligne d'au moins une ligne étant de forme carrée.
11. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 10, au moins une ligne d'électrodes de la matrice possédant une électrode de coupure (Ec).
12. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 11, comportant en outre des moyens numériques (40) de sélection de ligne.
13. Dispositif selon la revendication précédente, les moyens numériques (40) de sélection de ligne, étant programmés pour sélectionner les lignes de la matrice d'électrode selon un code binaire.
14. Dispositif selon la revendication 12 ou 13, les moyens numériques (40) de sélection de ligne comportant des moyens pour sélectionner une ou plusieurs lignes de la matrice, et des moyens pour former des instructions de commande des conducteurs de sélection de ligne en fonction de la ou des lignes sélectionnées.
15. Dispositif selon l'une des revendications 12 à 14, les moyens numériques (40) de sélection de ligne comportant des moyens pour activer consécutivement les électrodes de sélection de ligne d'une ligne sélectionnée.
16. Dispositif selon l'une des revendications 12 à 14, les moyens numériques (40) de sélection de ligne comportant des moyens pour activer simultanément les électrodes de sélection de ligne d'une ligne sélectionnée.
17. Dispositif de formation de gouttes de liquides, comportant un dispositif selon l'une des revendications 1 à 16, et des moyens (R1, Rk) formant réservoir pour des liquides, chaque ligne de la matrice étant reliée à un réservoir.
18. Dispositif selon la revendication 17, 2 moyens formant 2' réservoirs pour les liquides, chaque 15 ligne de la matrice étant reliée à un réservoir unique.
19. Dispositif selon la revendication 17 ou 18, chaque ligne étant reliée à une ligne commune (60) d'électrodes, pour mélanger des gouttes de liquides formées sur les différentes lignes.
20. Dispositif selon la revendication 18 ou 19, comportant une pluralité de lignes communes (160, 162, 260, 262), disposées perpendiculairement entre elles ou en carré.
21. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 20, au moins une des lignes comportant des électrodes dont un profil est en dent de scie.
B 14811.3 PM 2872809
22. Dispositif d'adressage d'une matrice d'électrodes de p lignes, avec 2n<p<2n+1 lignes, d'un dispositif électro-fluidique, comportant un dispositif à 2n lignes selon l'une des revendications 1 à 21.
23. Procédé de déplacement d'au moins un volume de liquide, à l'aide d'un dispositif selon l'une des revendications 1 à 22, comportant: - le déplacement d'un volume de fluide la 10 long d'au moins une ligne de la matrice par activation des électrodes de ladite ligne.
24. Procédé selon la revendication 23, les électrodes de sélection de ligne de ladite ligne étant 15 activées consécutivement.
25. Procédé selon la revendication 23, les électrodes de sélection de ligne de ladite ligne étant activées simultanément.
26. Procédé de formation d'une goutte de liquide comportant un déplacement d'un volume de liquide selon un procédé selon la revendication 23, l'étalement de ce volume sur plusieurs électrodes de ladite ligne par sélection simultanée de ces électrodes, et la coupure du volume étalé à l'aide d'une électrode de coupure (Ec).
FR0451494A 2004-07-09 2004-07-09 Methode d'adressage d'electrodes Expired - Fee Related FR2872809B1 (fr)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0451494A FR2872809B1 (fr) 2004-07-09 2004-07-09 Methode d'adressage d'electrodes
DE602005005337T DE602005005337T2 (de) 2004-07-09 2005-07-11 Elektrodenadressierungsverfahren
AT05789844T ATE389113T1 (de) 2004-07-09 2005-07-11 Elektrodenadressierungsverfahren
EP05789844A EP1778976B1 (fr) 2004-07-09 2005-07-11 Methode d'adressage d'electrodes
PCT/FR2005/050570 WO2006008424A2 (fr) 2004-07-09 2005-07-11 Methode d'adressage d'electrodes
US11/630,999 US8603413B2 (en) 2004-07-09 2005-07-11 Electrode addressing method
JP2007519856A JP4814230B2 (ja) 2004-07-09 2005-07-11 電極を扱う方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0451494A FR2872809B1 (fr) 2004-07-09 2004-07-09 Methode d'adressage d'electrodes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2872809A1 true FR2872809A1 (fr) 2006-01-13
FR2872809B1 FR2872809B1 (fr) 2006-09-15

Family

ID=34949258

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR0451494A Expired - Fee Related FR2872809B1 (fr) 2004-07-09 2004-07-09 Methode d'adressage d'electrodes

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8603413B2 (fr)
EP (1) EP1778976B1 (fr)
JP (1) JP4814230B2 (fr)
AT (1) ATE389113T1 (fr)
DE (1) DE602005005337T2 (fr)
FR (1) FR2872809B1 (fr)
WO (1) WO2006008424A2 (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020259817A1 (fr) * 2019-06-26 2020-12-30 Tecan Trading Ag Cartouche et système de traitement d'échantillon par électromouillage avec zone de distribution

Families Citing this family (101)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2879946B1 (fr) * 2004-12-23 2007-02-09 Commissariat Energie Atomique Dispositif de dispense de gouttes
KR101198038B1 (ko) 2005-01-28 2012-11-06 듀크 유니버서티 인쇄 회로 기판 위의 액적 조작을 위한 기구 및 방법
WO2006124458A2 (fr) 2005-05-11 2006-11-23 Nanolytics, Inc. Procede ou dispositif pour conduire des reactions chimiques ou biochimiques a des temperatures multiples
US20140193807A1 (en) 2006-04-18 2014-07-10 Advanced Liquid Logic, Inc. Bead manipulation techniques
US9476856B2 (en) 2006-04-13 2016-10-25 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet-based affinity assays
US7901947B2 (en) * 2006-04-18 2011-03-08 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet-based particle sorting
US7439014B2 (en) * 2006-04-18 2008-10-21 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet-based surface modification and washing
WO2007123908A2 (fr) 2006-04-18 2007-11-01 Advanced Liquid Logic, Inc. Opérations en puits multiples à base de gouttelettes
US8809068B2 (en) 2006-04-18 2014-08-19 Advanced Liquid Logic, Inc. Manipulation of beads in droplets and methods for manipulating droplets
US8980198B2 (en) * 2006-04-18 2015-03-17 Advanced Liquid Logic, Inc. Filler fluids for droplet operations
US8716015B2 (en) 2006-04-18 2014-05-06 Advanced Liquid Logic, Inc. Manipulation of cells on a droplet actuator
US7727723B2 (en) 2006-04-18 2010-06-01 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet-based pyrosequencing
US10078078B2 (en) 2006-04-18 2018-09-18 Advanced Liquid Logic, Inc. Bead incubation and washing on a droplet actuator
US8637324B2 (en) 2006-04-18 2014-01-28 Advanced Liquid Logic, Inc. Bead incubation and washing on a droplet actuator
US8658111B2 (en) 2006-04-18 2014-02-25 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet actuators, modified fluids and methods
WO2009111769A2 (fr) 2008-03-07 2009-09-11 Advanced Liquid Logic, Inc. Réactif et préparation et chargement d’un échantillon sur un dispositif fluidique
JP4792338B2 (ja) * 2006-07-04 2011-10-12 株式会社日立製作所 液体搬送装置
WO2008091848A2 (fr) * 2007-01-22 2008-07-31 Advanced Liquid Logic, Inc. Chargement de fluide assisté en surface et distribution de gouttelette
WO2008098236A2 (fr) 2007-02-09 2008-08-14 Advanced Liquid Logic, Inc. Dispositifs actionneurs de gouttelettes et procédés employant des perles magnétiques
US8872527B2 (en) 2007-02-15 2014-10-28 Advanced Liquid Logic, Inc. Capacitance detection in a droplet actuator
WO2011084703A2 (fr) 2009-12-21 2011-07-14 Advanced Liquid Logic, Inc. Analyses d'enzymes sur un diffuseur à gouttelettes
WO2008116209A1 (fr) 2007-03-22 2008-09-25 Advanced Liquid Logic, Inc. Essais enzymatique pour actionneur à gouttelettes
AU2008237017B2 (en) * 2007-04-10 2013-10-24 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet dispensing device and methods
WO2009002920A1 (fr) 2007-06-22 2008-12-31 Advanced Liquid Logic, Inc. Amplification d'acide nucléique à base de gouttelette dans un gradient de température
US20100120130A1 (en) * 2007-08-08 2010-05-13 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet Actuator with Droplet Retention Structures
WO2009029561A2 (fr) * 2007-08-24 2009-03-05 Advanced Liquid Logic, Inc. Manipulations de perles sur un actionneur à gouttelettes
US8702938B2 (en) 2007-09-04 2014-04-22 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet actuator with improved top substrate
WO2009052123A2 (fr) * 2007-10-17 2009-04-23 Advanced Liquid Logic, Inc. Schémas de détection à multiplexage destinés à un actionneur à gouttelettes
US8460528B2 (en) * 2007-10-17 2013-06-11 Advanced Liquid Logic Inc. Reagent storage and reconstitution for a droplet actuator
US20100236929A1 (en) * 2007-10-18 2010-09-23 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet Actuators, Systems and Methods
EP2232535A4 (fr) * 2007-12-10 2016-04-13 Advanced Liquid Logic Inc Configurations d'actionneur de gouttelette et procédés
BRPI0821734A2 (pt) * 2007-12-23 2022-10-25 Advanced Liquid Logic Inc Configurações de autuador de gotículas e métodos para conduzir operações de gotícula.
FR2930457B1 (fr) * 2008-04-24 2010-06-25 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication de microcanaux reconfigurables
US8852952B2 (en) 2008-05-03 2014-10-07 Advanced Liquid Logic, Inc. Method of loading a droplet actuator
US20110097763A1 (en) * 2008-05-13 2011-04-28 Advanced Liquid Logic, Inc. Thermal Cycling Method
EP2286228B1 (fr) 2008-05-16 2019-04-03 Advanced Liquid Logic, Inc. Dispositifs et procédés actionneurs de gouttelettes pour manipuler des billes
US8877512B2 (en) 2009-01-23 2014-11-04 Advanced Liquid Logic, Inc. Bubble formation techniques using physical or chemical features to retain a gas bubble within a droplet actuator
US8926065B2 (en) 2009-08-14 2015-01-06 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet actuator devices and methods
US8846414B2 (en) 2009-09-29 2014-09-30 Advanced Liquid Logic, Inc. Detection of cardiac markers on a droplet actuator
WO2011057197A2 (fr) 2009-11-06 2011-05-12 Advanced Liquid Logic, Inc. Actionneur de gouttelettes intégré pour électrophorèse sur gel et analyse moléculaire
HUE027972T2 (en) 2010-02-25 2016-11-28 Advanced Liquid Logic Inc A method for generating nucleic acid libraries
WO2011126892A2 (fr) 2010-03-30 2011-10-13 Advanced Liquid Logic, Inc. Plateforme pour opérations sur des gouttelettes
US10787701B2 (en) 2010-04-05 2020-09-29 Prognosys Biosciences, Inc. Spatially encoded biological assays
US20190300945A1 (en) 2010-04-05 2019-10-03 Prognosys Biosciences, Inc. Spatially Encoded Biological Assays
CN105385756B (zh) 2010-04-05 2020-12-25 普罗格诺西斯生物科学公司 空间编码的生物学测定
US9011662B2 (en) 2010-06-30 2015-04-21 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet actuator assemblies and methods of making same
US20130293246A1 (en) 2010-11-17 2013-11-07 Advanced Liquid Logic Inc. Capacitance Detection in a Droplet Actuator
GB201106254D0 (en) 2011-04-13 2011-05-25 Frisen Jonas Method and product
US20140174926A1 (en) 2011-05-02 2014-06-26 Advanced Liquid Logic, Inc. Molecular diagnostics platform
CA2833897C (fr) 2011-05-09 2020-05-19 Advanced Liquid Logic, Inc. Retroaction microfluidique utilisant une detection d'impedance
WO2012154794A2 (fr) 2011-05-10 2012-11-15 Advanced Liquid Logic, Inc. Concentration d'enzymes et dosages
EP2729792A4 (fr) 2011-07-06 2015-03-18 Advanced Liquid Logic Inc Stockage de réactifs sur un actionneur de manipulation de gouttelettes
US8901043B2 (en) 2011-07-06 2014-12-02 Advanced Liquid Logic, Inc. Systems for and methods of hybrid pyrosequencing
WO2013009927A2 (fr) 2011-07-11 2013-01-17 Advanced Liquid Logic, Inc. Actionneurs de gouttelettes et techniques pour dosages à base de gouttelettes
KR20130009504A (ko) 2011-07-15 2013-01-23 삼성전자주식회사 개구 조절 방법 및 개구 조절 소자
US9446404B2 (en) 2011-07-25 2016-09-20 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet actuator apparatus and system
WO2013078216A1 (fr) 2011-11-21 2013-05-30 Advanced Liquid Logic Inc Dosages de la glucose-6-phosphate déshydrogénase
FR2984756B1 (fr) 2011-12-27 2014-02-21 Commissariat Energie Atomique Dispositif nano et micro fluidique pour la separation et concentration de particules presentes dans un fluide
US9223317B2 (en) 2012-06-14 2015-12-29 Advanced Liquid Logic, Inc. Droplet actuators that include molecular barrier coatings
JP6222671B2 (ja) 2012-06-27 2017-11-01 アドバンスト リキッド ロジック インコーポレイテッドAdvanced Liquid Logic, Inc. 泡形成を低減するための技術および液滴アクチュエーターの設計
US9863913B2 (en) 2012-10-15 2018-01-09 Advanced Liquid Logic, Inc. Digital microfluidics cartridge and system for operating a flow cell
EP2909337B1 (fr) 2012-10-17 2019-01-09 Spatial Transcriptomics AB Procédés et produit d'optimisation de la détection localisée ou spatiale de l'expression génique dans un échantillon de tissu
DK3013984T3 (da) 2013-06-25 2023-06-06 Prognosys Biosciences Inc Metode til bestemmelse af spatiale mønstre i biologiske targets i en prøve
WO2015023747A1 (fr) 2013-08-13 2015-02-19 Advanced Liquid Logic, Inc. Procédés d'amélioration de la précision et de l'exactitude du comptage de gouttelettes faisant appel à un réservoir sur actionneur comme entrée de fluide
WO2015031849A1 (fr) 2013-08-30 2015-03-05 Illumina, Inc. Manipulation de gouttelettes sur des surfaces hydrophiles ou hydrophiles panachées
DE102014100871B4 (de) * 2014-01-27 2016-11-17 Karlsruher Institut für Technologie Digitale Mikrofluidikplattform
US11192107B2 (en) 2014-04-25 2021-12-07 Berkeley Lights, Inc. DEP force control and electrowetting control in different sections of the same microfluidic apparatus
CN106459967A (zh) 2014-04-29 2017-02-22 Illumina公司 使用模板转换和标签化的多重单细胞基因表达分析
RU2690346C2 (ru) 2014-10-09 2019-05-31 Иллюмина, Инк. Способ и устройство для разделения несмешиваемых жидкостей с целью эффективного отделения по меньшей мере одной из жидкостей
SG11201706504RA (en) 2015-02-10 2017-09-28 Illumina Inc Methods and compositions for analyzing cellular components
US10576471B2 (en) 2015-03-20 2020-03-03 Illumina, Inc. Fluidics cartridge for use in the vertical or substantially vertical position
CA2981515A1 (fr) * 2015-04-03 2016-10-06 Abbott Laboratories Dispositifs et procedes d'analyse d'echantillon
AU2016243034A1 (en) 2015-04-03 2017-10-19 Abbott Laboratories Devices and methods for sample analysis
ES2972835T3 (es) 2015-04-10 2024-06-17 10X Genomics Sweden Ab Análisis multiplex de especímenes biológicos de ácidos nucleicos espacialmente distinguidos
IL293366B2 (en) 2015-04-22 2023-10-01 Berkeley Lights Inc Kits and methods for preparing a microfluidic device for cell culture
KR102175826B1 (ko) 2015-05-11 2020-11-06 일루미나, 인코포레이티드 치료제의 발견 및 분석을 위한 플랫폼
GB2556713B (en) 2015-07-06 2021-06-23 Illumina Inc Balanced AC modulation for driving droplet operations electrodes
IL295355B2 (en) 2015-08-14 2023-11-01 Illumina Inc System and methods for determining genetic characteristics using magnetically responsive sensors
EP3341494B1 (fr) 2015-08-28 2024-08-07 Illumina, Inc. Analyse de séquences d'acides nucléiques provenant de cellules isolées
WO2017037078A1 (fr) 2015-09-02 2017-03-09 Illumina Cambridge Limited Systèmes et procédés d'amélioration du comportement des gouttelettes dans des systèmes fluidiques
AU2016341948A1 (en) 2015-10-22 2018-05-10 Illumina Cambridge Limited Filler fluid for fluidic devices
US10799865B2 (en) 2015-10-27 2020-10-13 Berkeley Lights, Inc. Microfluidic apparatus having an optimized electrowetting surface and related systems and methods
SG11201804563SA (en) * 2015-12-01 2018-06-28 Illumina Inc Digital microfluidic system for single-cell isolation and characterization of analytes
CN108602066B (zh) 2015-12-01 2021-08-17 亿明达股份有限公司 液体存储输送机构以及方法
CA3016221C (fr) 2016-04-07 2021-09-28 Illumina, Inc. Procedes et systemes de construction de banques d'acides nucleiques normalisees
AU2017271673B2 (en) 2016-05-26 2022-04-14 Berkeley Lights, Inc. Covalently modified surfaces, kits, and methods of preparation and use
US10369570B2 (en) * 2017-07-27 2019-08-06 Sharp Life Science (Eu) Limited Microfluidic device with droplet pre-charge on input
CN112041459B (zh) 2018-01-29 2024-09-10 圣祖德儿童研究医院 核酸扩增方法
US11499189B2 (en) 2019-02-14 2022-11-15 Pacific Biosciences Of California, Inc. Mitigating adverse impacts of detection systems on nucleic acids and other biological analytes
WO2021102134A1 (fr) 2019-11-20 2021-05-27 E Ink Corporation Couches hydrophobes spatialement variables pour la microfluidique numérique
CN114945426A (zh) 2020-01-17 2022-08-26 核酸有限公司 用于数字微流体的空间可变介电层
US11946901B2 (en) 2020-01-27 2024-04-02 Nuclera Ltd Method for degassing liquid droplets by electrical actuation at higher temperatures
JP2023513832A (ja) 2020-02-18 2023-04-03 ヌークレラ ヌクリークス, リミテッド Ewodアレイの高周波ac駆動のためのアダプティブゲート駆動
JP2023514278A (ja) 2020-02-19 2023-04-05 ヌークレラ ヌクリークス, リミテッド EWoDアレイの高周波数AC駆動のためのラッチ付きトランジスタ駆動
WO2021222061A1 (fr) 2020-04-27 2021-11-04 Nuclera Nucleics Ltd. Plaque supérieure segmentée pour entraînement variable et protection courte destinée à la microfluidique numérique
EP4153775B1 (fr) 2020-05-22 2024-07-24 10X Genomics, Inc. Mesure spatio-temporelle simultanée de l'expression génique et de l'activité cellulaire
US12031177B1 (en) 2020-06-04 2024-07-09 10X Genomics, Inc. Methods of enhancing spatial resolution of transcripts
US20230304066A1 (en) 2020-09-04 2023-09-28 Baebies, Inc. Microfluidic based assay for unbound bilirubin
TW202228845A (zh) 2020-10-08 2022-08-01 英商核酸有限公司 微流體系統中試劑特異驅動ewod(介電質上電潤濕)陣列的方法
WO2022096882A1 (fr) 2020-11-04 2022-05-12 Nuclera Nucleics Ltd Couches diélectriques pour dispositifs microfluidiques numériques
WO2022178267A2 (fr) 2021-02-19 2022-08-25 10X Genomics, Inc. Dispositifs de support de dosage modulaires

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2841063A1 (fr) * 2002-06-18 2003-12-19 Commissariat Energie Atomique Dispositif de deplacement de petits volumes de liquide le long d'un micro-catenaire par des forces electrostatiques
US20040058450A1 (en) * 2002-09-24 2004-03-25 Pamula Vamsee K. Methods and apparatus for manipulating droplets by electrowetting-based techniques

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5090643A (en) * 1990-03-15 1992-02-25 Spears Morton F Force generating system
US6017696A (en) * 1993-11-01 2000-01-25 Nanogen, Inc. Methods for electronic stringency control for molecular biological analysis and diagnostics
US5965452A (en) * 1996-07-09 1999-10-12 Nanogen, Inc. Multiplexed active biologic array
JP3791999B2 (ja) 1997-03-24 2006-06-28 株式会社アドバンス 液体微粒子ハンドリング装置
US7998746B2 (en) * 2000-08-24 2011-08-16 Robert Otillar Systems and methods for localizing and analyzing samples on a bio-sensor chip
JP3805746B2 (ja) * 2001-02-23 2006-08-09 独立行政法人科学技術振興機構 液体微粒子のハンドリング方法およびその装置
FR2831081B1 (fr) 2001-10-24 2004-09-03 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'injection parallelisee et synchronisee pour injections sequentielles de reactifs differents
US6911132B2 (en) * 2002-09-24 2005-06-28 Duke University Apparatus for manipulating droplets by electrowetting-based techniques
JP4185904B2 (ja) * 2004-10-27 2008-11-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ 液体搬送基板、分析システム、分析方法
CA2639954C (fr) * 2008-02-11 2017-08-15 Aaron R. Wheeler Methode d'essais cellulaires et de culture cellulaire basee sur des gouttelettes et utilisant la microfluidique numerique

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2841063A1 (fr) * 2002-06-18 2003-12-19 Commissariat Energie Atomique Dispositif de deplacement de petits volumes de liquide le long d'un micro-catenaire par des forces electrostatiques
US20040058450A1 (en) * 2002-09-24 2004-03-25 Pamula Vamsee K. Methods and apparatus for manipulating droplets by electrowetting-based techniques

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
FIACCABRINO G C ET AL: "ARRAY OF INDIVIDUALLY ADDRESSABLE MICROELECTRODES", SENSORS AND ACTUATORS B, ELSEVIER SEQUOIA S.A., LAUSANNE, CH, vol. B19, no. 1/3, 1 April 1994 (1994-04-01), pages 675 - 677, XP000449927, ISSN: 0925-4005 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020259817A1 (fr) * 2019-06-26 2020-12-30 Tecan Trading Ag Cartouche et système de traitement d'échantillon par électromouillage avec zone de distribution

Also Published As

Publication number Publication date
DE602005005337D1 (de) 2008-04-24
EP1778976A2 (fr) 2007-05-02
JP2008505631A (ja) 2008-02-28
US8603413B2 (en) 2013-12-10
DE602005005337T2 (de) 2009-03-26
WO2006008424A3 (fr) 2006-04-13
WO2006008424A2 (fr) 2006-01-26
US20090192044A1 (en) 2009-07-30
EP1778976B1 (fr) 2008-03-12
ATE389113T1 (de) 2008-03-15
JP4814230B2 (ja) 2011-11-16
FR2872809B1 (fr) 2006-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2872809A1 (fr) Methode d&#39;adressage d&#39;electrodes
EP1827694B1 (fr) Dispositif de dispense de gouttes
EP1376846B1 (fr) Dispositif de déplacement de petits volumes de liquide le long d&#39;un micro-catenaire par des forces électrostatiques
US9835538B2 (en) Biopolymer separation using nanostructured arrays
EP1750840B1 (fr) Dispositif pour desorption par rayonnement laser incorporant une manipulation de l&#39;echantillon liquide sous forme de gouttes individuelles permettant leur traitement chimique et biochimique
EP3347128B1 (fr) Ensemble comportant un substrat de support d&#39;échantillon liquide et son utilisation
EP2282827B1 (fr) Dispositif de séparation de biomolécules d&#39;un fluide
FR2872438A1 (fr) Dispositif de deplacement et de traitement de volumes de liquide
US20090127123A1 (en) Making a two-phase liquid/liquid or gas system in microfluidics
FR2887305A1 (fr) Dispositif de pompage par electromouillage et application aux mesures d&#39;activite electrique
KR20000069671A (ko) 반도체 메모리 디바이스
EP1356303B1 (fr) Procede et systeme permettant de realiser en flux continu un protocole biologique, chimique ou biochimique.
FR2933713A1 (fr) Procede et dispositif de manipulation et d&#39;observation de gouttes de liquide
WO2004052542A1 (fr) Dispositif microfluidique dans lequel l&#39;interface liquide/fluide est stabilisee
EP2268404A1 (fr) Procede de fabrication de microcanaux reconfigurables
EP1062518B1 (fr) Dispositif automatique de realisation d&#39;echantillons en vue de la mise en oeuvre de reactions chimiques ou biologiques en milieu liquide
EP3729531B1 (fr) Memoire resistive en trois dimensions et procede de fabrication d&#39;une telle memoire
FR2809490A1 (fr) Installation et procede pour la preparation automatique d&#39;echantillons
EP3843143B1 (fr) Mémoire 3d et son procédé de fabrication
FR2572822A1 (fr) Dispositif analogique parallele de traitement local d&#39;un signal bidimensionnel
FR3035975A1 (fr) Modulateur spatial de lumiere a cristal liquide et son procede de fabrication
FR2848477A1 (fr) Procede et dispositif de confinement d&#39;un liquide
FR2979467A1 (fr) Dispositif microelectronique dote de cellules memoires resistives empilees

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 12

ST Notification of lapse

Effective date: 20170331