FR2843711A1

FR2843711A1 - Workpiece polishing and finishing procedure uses polishing material with abrasive stuck permanently to deformable backing material

Info

Publication number: FR2843711A1
Application number: FR0210485A
Authority: FR
Inventors: Jean Jacques Ferme
Original assignee: Europeenne de Systemes Optiques Ste
Current assignee: Europeenne de Systemes Optiques Ste
Priority date: 2002-08-22
Filing date: 2002-08-22
Publication date: 2004-02-27
Anticipated expiration: 2022-08-22
Also published as: FR2843711B1

Abstract

Workpiece polishing and finishing procedure uses polishing material with abrasive stuck permanently to deformable backing material The procedure for polishing and finishing a workpiece (1) surface uses a polishing material (2) such as felt with an abrasive, e.g. cerium oxide, stuck permanently to a backing material (3), applying pressure to the latter when the polishing element is in contact with the surface to be polished so that the polishing material adapts to the shape of the polished surface. The backing material can be deformable by plastic flow and/or is hardenable. It can be of pitch that is heated and then cooled, or a gel-type adhesive that can be hardened by polymerisation or UV radiation.

Description

PROCEDE DE POLISSAGE DE FINITIONFINISHING POLISHING PROCESS

La présente invention a pour objet un procédé de polissage de finition d'une surface à l'aide d'un élément de polissage et d'un abrasif. The present invention relates to a process for polishing the finish of a surface using a polishing element and an abrasive.

Il est déjà connu de réaliser un polissage de finition d'une surface à l'aide d'un élément de polissage, par exemple un feutre, et d'un abrasif, par exemple de la silice collodale. La technique généralement utilisée consiste à coller le feutre sur un outil métallique en intercalant éventuellement un matériau souple par exemple de type mousse. Cette technique présente Io l'inconvénient de déformer la surface à polir, ce qui fait que les résultats It is already known to carry out a finishing polishing of a surface using a polishing element, for example a felt, and an abrasive, for example collodal silica. The generally used technique consists of gluing the felt to a metal tool, possibly interposing a flexible material, for example of the foam type. This technique has the disadvantage of deforming the surface to be polished, which means that the results

obtenus ne sont pas optimaux.obtained are not optimal.

La présente invention a pour objet un procédé qui permette de remédier au moins en partie au problème précité. The present invention relates to a method which makes it possible to at least partially remedy the aforementioned problem.

L'invention concerne ainsi un procédé de polissage de finition 15 d'une surface à l'aide d'un élément de polissage et d'un abrasif, caractérisé en ce qu'il met en oeuvre: a) avant ledit polissage, le collage de l'élément de polissage sur un support en un matériau déformable de manière permanente et; b) I'application d'une pression sur le support déformable une 20 fois que l'élément de polissage est en contact avec la surface à polir de sorte que l'élément de polissage soit mis en forme pour épouser un contour de ladite surface, The invention thus relates to a process for polishing the finish of a surface using a polishing element and an abrasive, characterized in that it implements: a) before said polishing, bonding the polishing element on a support made of a permanently deformable material and; b) applying pressure to the deformable support once the polishing element is in contact with the surface to be polished so that the polishing element is shaped to follow an outline of said surface,

c) réaliser le polissage de finition à l'aide de l'élément de polissage ainsi mis en forme. c) carry out the finishing polishing using the polishing element thus formed.

Ledit matériau est avantageusement déformable par fluage et/ou durcissable. Il peut s'agir par exemple de poix qui est chauffée à une température qui permet son fluage et qui, après b et avant c, est ensuite refroidie pour obtenir un durcissement, ou bien encore d'une colle qui se présente sous forme d'un gel et qui, après b, et avant c est durcie par 30 exemple par polymérisation ou application d'un rayonnement notamment Said material is advantageously deformable by creep and / or hardenable. It may for example be pitch which is heated to a temperature which allows its creep and which, after b and before c, is then cooled to obtain hardening, or alternatively an adhesive which is in the form of a gel and which, after b, and before c is hardened for example by polymerization or application of radiation in particular

ultra-violet. Le matériau peut être également du plâtre.. ultraviolet. The material can also be plaster.

L'élément de polissage peut être un feutre ou tout matériau de polissage convenant à un polissage de finition conduisant à de faibles rugosités (de l'ordre de 1 à quelques A par exemple). Le matériau de 35 polissage est avantageusement porté par un support de polissage. The polishing element can be a felt or any polishing material suitable for finishing polishing leading to low roughness (of the order of 1 to a few A for example). The polishing material is advantageously carried by a polishing support.

Le polissage de finition peut être en particulier réalisé à l'aide d'une machine assurant un déplacement relatif de translation entre l'élément de polissage et la surface à polir selon deux directions perpendiculaires et éventuellement de rotation autour d'un axe parallèle à une desdites directions s perpendiculaires. Le polissage de finition s'applique particulièrement bien au cas de surfaces ayant une génératrice, la surface étant disposée de manière telle que la direction de la génératrice soit parallèle à celle des deux directions The finishing polishing can in particular be carried out using a machine ensuring a relative translational movement between the polishing element and the surface to be polished in two perpendicular directions and possibly of rotation about an axis parallel to a of said perpendicular directions. The finishing polish applies particularly well to the case of surfaces having a generator, the surface being arranged in such a way that the direction of the generator is parallel to that of the two directions.

précitées qui est parallèle à l'axe de rotation. mentioned above which is parallel to the axis of rotation.

Le procédé s'applique notamment à des surfaces qui avant io polissage de finition, ont été préalablement soumises à un pré-polissage (ou The method applies in particular to surfaces which before io finishing polishing, have been previously subjected to a pre-polishing (or

polissage dit grossier) et à un polissage proprement dit. polishing said coarse) and a polishing itself.

Après le polissage proprement dit qui peut être réalisé notamment par toute technique connue, la surface présente une rugosité comprise par exemple entre 3A et 15A, alors après polissage de finition, la i5 rugosité peut être comprise entre lA et 5A, et plus particulièrement entre lA et 3A pour des surfaces en verre, en silice, en silicium et en céramique (voire entre lA et 2A pour des surfaces en verre ou en silice) et entre 3A et 5A pour After the actual polishing which can be carried out in particular by any known technique, the surface has a roughness for example between 3A and 15A, then after finishing polishing, the i5 roughness can be between 1A and 5A, and more particularly between 1A and 3A for glass, silica, silicon and ceramic surfaces (even between 1A and 2A for glass or silica surfaces) and between 3A and 5A for

une surface en nickel revêtant une surface métallique. a nickel surface coating a metallic surface.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention 20 apparaîtront mieux à la lecture de la description ci-après, donnée à titre Other characteristics and advantages of the invention will appear better on reading the description below, given by way of

d'exemple non limitatif, en liaison avec les dessins dans lesquels: - les figures la et lb illustrent en coupe la mise en oeuvre du procédé de polissage de finition selon l'invention, - la figure 2 représente une machine assurant le polissage de 25 finition d'une surface dans le cadre de la présente invention et les figures 3a et 3b d'une part et 4a et 4b d'autre part illustrent deux modes de mise en non-limiting example, in connection with the drawings in which: - Figures la and lb illustrate in section the implementation of the finishing polishing process according to the invention, - Figure 2 shows a machine ensuring the polishing of 25 finishing of a surface within the framework of the present invention and FIGS. 3a and 3b on the one hand and 4a and 4b on the other hand illustrate two modes of implementation

oeuvre de la machine.machine work.

L'invention se rapporte au polissage de finition de surfaces à basse rugosité (notamment des miroirs) dont la forme est par exemple 30 rectangulaire. Il repose sur l'utilisation de machines de polissage ayant une The invention relates to the finishing polishing of surfaces with low roughness (in particular mirrors) whose shape is for example rectangular. It is based on the use of polishing machines having a

cinématique à 2 axes linéaires perpendiculaires. kinematics with 2 perpendicular linear axes.

Les formes générées sur des surfaces peuvent être des plans, des sphères, des cylindres suivant leur grande dimension (cylindre méridional) ou leur petite dimension (cylindre sagittal), des miroirs à profil 35 méridional elliptique ou parabolique, des miroirs paraboliques ou elliptiques The shapes generated on surfaces can be planes, spheres, cylinders according to their large dimension (southern cylinder) or their small dimension (sagittal cylinder), mirrors with southern elliptical or parabolic profile, parabolic or elliptical mirrors

représentant un morceau d'un miroir de révolution. representing a piece of a mirror of revolution.

Une des applications de ces surfaces est la réalisation de miroirs utilisés pour mettre en forme et focaliser les faisceaux de lumière X émis par les sources de lumière de type synchrotron ou laser à électrons libres. Les différentes étapes sont par exemple: 1. Ebauche: cette étape est conventionnelle pour le travail des matériaux de type verre ou céramique ou silicium et elle consiste à mettre One of the applications of these surfaces is the production of mirrors used to shape and focus the X-ray light beams emitted by light sources of the synchrotron or free electron laser type. The different stages are for example: 1. Roughing: this stage is conventional for working with glass or ceramic or silicon materials and consists in putting

en forme le support sur lequel sera réalisée la surface à basse rugosité. in the form of the support on which the surface with low roughness will be produced.

Pour cela on utilise des fraiseuses ou des centres d'usinage équipés d'outils spécifiques au travail de ces matériaux. Ces outils sont constitués habituellement d'un laiton sur lequel sont déposées de fines particules de diamant fixées sur l'outil par un liant. Ces opérations se font sous arrosage d'eau ou d'autres liquides en fonction des matériaux usinés. La For this we use milling machines or machining centers equipped with specific tools for working with these materials. These tools usually consist of brass on which are deposited fine diamond particles fixed on the tool by a binder. These operations are carried out with water or other liquids sprayed depending on the materials machined. The

mise en forme de la surface est aussi réalisée par cette technique. Surface shaping is also carried out by this technique.

1 2. Doucissage: on utilise pour cela des outils ayant la forme 1 2. Smoothing: tools with the shape are used for this

de plans ou de cylindre ou d'un profil complémentaire de la surface à polir. plans or cylinder or a profile complementary to the surface to be polished.

Les dimensions de ces outils sont proches de celle de la surface à polir. Ces outils peuvent être obtenus par un usinage traditionnel en mécanique. La matière utilisée peut être de l'aluminium, du laiton, et dans 20 certains cas des morceaux de verre recollés sur un support mécanique. The dimensions of these tools are close to that of the surface to be polished. These tools can be obtained by traditional mechanical machining. The material used can be aluminum, brass, and in some cases pieces of glass glued to a mechanical support.

On procède à l'aide d'une machine de polissage ayant une cinématique à 2 axes linéaires, à la mise en forme relative de l'outil et de la Using a polishing machine having kinematics with 2 linear axes, the relative shaping of the tool and the

surface à polir.surface to be polished.

Pour cela, on applique la surface à doucir sur l'outil et on 25 induit un mouvement relatif entre la surface et l'outil parallèle à la grande For this, the surface to be smoothed is applied to the tool and a relative movement is induced between the surface and the tool parallel to the large

longueur de la surface et un mouvement perpendiculaire pour la largeur. length of the surface and a perpendicular movement for the width.

Soit l'outil soit la surface sont fixes et la pièce complémentaire est mobile et entraînée par les deux mouvements de translation. Either the tool or the surface are fixed and the complementary part is mobile and driven by the two translational movements.

Alternativement l'outil est entraîné selon un mouvement de translation et la 30 surface est entraînée selon le mouvement de translation perpendiculaire. De plus soit l'outil, soit la surface est libre de rotuler autour d'un axe parallèle à la Alternatively the tool is driven in a translational movement and the surface is driven in the perpendicular translational movement. In addition, either the tool or the surface is free to rotate around an axis parallel to the

grande longueur.great length.

L'opération de rodage utilise des abrasifs classiques de doucissage et l'on fait décroître la taille du grain jusqu'à obtenir une surface 35 ayant l'aspect d'un douci fin. The lapping operation uses conventional grinding abrasives and the grain size is decreased until a surface 35 having the appearance of a fine smooth is obtained.

Durant toute cette phase, I'outil est retouché jusqu'à ce que l'on obtienne sur la surface à polir la forme géométrique finale à quelques During this whole phase, the tool is retouched until the final geometric shape is obtained on the surface to be polished.

microns près.microns close.

3. Pré-polissage à la poix ou au feutre de polissage grossier 5 et un abrasif de polissage classique tel que l'oxyde de cérium en utilisant la machine décrite précédemment. Le mouvement suivant la longueur (direction X) a une amplitude comprise par exemple entre 5 et 200 mm, et suivant la largeur (direction Y), il a une amplitude comprise par exemple entre 1 et 100 mm. 4. Polissage proprement dit avec correction itérative de la forme jusqu'à obtenir les spécifications d'écart par rapport à la forme théorique. Le matériau de polissage est de la poix qui est coulée sur l'outil 3. Pre-polishing with pitch or coarse polishing felt 5 and a conventional polishing abrasive such as cerium oxide using the machine described above. The movement along the length (direction X) has an amplitude comprised for example between 5 and 200 mm, and along the width (direction Y), it has an amplitude comprised for example between 1 and 100 mm. 4. Polishing proper with iterative correction of the form until obtaining the specifications of deviation compared to the theoretical form. The polishing material is pitch which is poured on the tool

puis mise en forme avec la surface à polir par chauffage. then shaped with the surface to be polished by heating.

Des dégarnis de la poix sont effectués localement là o des 15 bosses on été mesurées. L'abrasif utilisé est par exemple de l'oxyde de Pitch balds are made locally where 15 bumps have been measured. The abrasive used is, for example,

cérium. Les pressions de polissage sont comprises entre 5 et 100 grammes par centimètre carré. Ce polissage est terminé lorsque la surface à polir a la bonne forme et qu'il n'y a plus de points ou de défauts correspondant aux étapes précédentes. La rugosité à ce stade est comprise entre 3 et 15A pour 20 des zones carré d'analyse de 1 à 1000 microns de largeur. cerium. The polishing pressures are between 5 and 100 grams per square centimeter. This polishing is finished when the surface to be polished has the right shape and there are no more points or defects corresponding to the previous steps. The roughness at this stage is between 3 and 15A for 20 square analysis zones from 1 to 1000 microns in width.

5. La finition super polie est faite en utilisant un abrasif de type silice collodale associé à un feutre. 5. The super polished finish is made using an abrasive of the collodal silica type combined with a felt.

Cette opération, si elle est réalisée de manière classique, déforme généralement la surface à polir. This operation, if carried out in a conventional manner, generally deforms the surface to be polished.

Selon l'invention, on colle directement le feutre sur la poix et on met à profit son fluage pour mettre en forme la surface du feutre de façon à ce qu'elle soit complémentaire de la surface à polir. La mise en forme est effectuée en chauffant la poix, I'outil ou le substrat de la surface à polir, le moule étant la surface à polir elle-même. Ce chauffage est réalisé à une 30 température de l'ordre de 60 C à laquelle la poix a une viscosité suffisante pour se déformer en fluant sans couler. Les mouvements et les pressions appliqués sont similaires à celles mises en oeuvre lors du polissage According to the invention, the felt is directly glued to the pitch and its creep is used to shape the surface of the felt so that it is complementary to the surface to be polished. The shaping is carried out by heating the pitch, the tool or the substrate of the surface to be polished, the mold being the surface to be polished itself. This heating is carried out at a temperature of the order of 60 ° C. at which the pitch has a viscosity sufficient to deform while flowing without flowing. The movements and pressures applied are similar to those used during polishing

proprement dit (étape 4 ci-dessus), c'est-à-dire entre 5 et 100 g/cm2. proper (step 4 above), i.e. between 5 and 100 g / cm2.

L'état de l'art normalement connu pour cette phase est de 35 coller le feutre sur un outil métallique en intercalant éventuellement un matériau souple de type par exemple mousse. L'avantage du procédé selon The state of the art normally known for this phase is to glue the felt on a metal tool, possibly interposing a flexible material of the foam type, for example. The advantage of the process according to

l'invention est de disposer d'un outil dur (poix à la température de 20 C) ayant un contour qui épouse la forme de la surface à polir. A ce stade, la rugosité obtenue est généralement comprise entre 1 et 2A sur les matières de type verre et silice. Elle est généralement comprise entre 1A et 3A sur le silicium et s les céramiques, et entre 3A et 5A sur les surfaces métalliques revêtues de nickel. the invention is to have a hard tool (pitch at the temperature of 20 C) having a contour which matches the shape of the surface to be polished. At this stage, the roughness obtained is generally between 1 and 2A on glass and silica materials. It is generally between 1A and 3A on silicon and s ceramics, and between 3A and 5A on metallic surfaces coated with nickel.

Selon la figure la, qui concerne le cas d'une pièce optique 1 à polir qui est un cylindre ou un tore, I'élément de polissage 2 (d'épaisseur par exemple entre 0,1 mm et 2 mm) est collé sur de la poix 3 qui est solidaire d'un 10 support 4 par exemple cylindrique qui sert d'outil de polissage. L'élément de polissage 2 peut être un matériau poreux tel qu'un feutre, notamment une mousse de polyuréthane microcellulaire de la Société RHODES (BierkeekBelgique) ou un matériau synthétique poreux (" Finishing Pad ") de la Société RODEL, ou des supports (ou " drops ") de polissage de la Société 15 BUEHLER. Après chauffage de la poix jusqu'à lui conférer une viscosité lui permettant de fluer sans couler (par exemple en la chauffant à une température de l'ordre de 60 C), on appuie l'outil 4 sur une surface à polir 6 de la pièce optique 1 avec une pression suffisante pour que la déformation par fluage de la poix permette au feutre 2 en contact avec la surface 6 20 d'épouser localement la forme de la surface 6. Le feutre 2 qui peut être en un ou plusieurs morceaux a de préférence une surface 5 égale, à plus ou moins According to FIG. 1 a, which relates to the case of an optical part 1 to be polished which is a cylinder or a torus, the polishing element 2 (of thickness for example between 0.1 mm and 2 mm) is glued on pitch 3 which is integral with a support 4, for example cylindrical, which serves as a polishing tool. The polishing element 2 can be a porous material such as a felt, in particular a microcellular polyurethane foam from the company RHODES (BierkeekBelgique) or a porous synthetic material ("Finishing Pad") from the company RODEL, or supports ( or "drops") from the company 15 BUEHLER. After heating the pitch up to give it a viscosity allowing it to flow without flowing (for example by heating it to a temperature of the order of 60 C), the tool 4 is pressed on a surface to be polished 6 of the optical part 1 with sufficient pressure for the creep deformation of the pitch to allow the felt 2 in contact with the surface 6 to locally match the shape of the surface 6. The felt 2 which may be in one or more pieces has preferably an area 5 equal, more or less

%, à celle de la surface 6.%, to that of the surface 6.

La pression P appliquée lors du polissage de finition est de l'ordre de 5 à 100 grammes/cm2. The pressure P applied during the final polishing is of the order of 5 to 100 grams / cm2.

La figure lb illustre le procédé dans le cas d'une surface Figure lb illustrates the process in the case of a surface

plane ou d'un miroir ayant une génératrice G dans le plan de coupe. plane or a mirror having a generatrix G in the cutting plane.

La figure 2 représente une machine utilisable pour la mise en oeuvre du procédé de polissage de finition, ainsi que pour les étapes précédentes de doucissage, de pré-polissage et de polissage proprement dit. 30 Elle présente deux barres de coulissement parallèles 1 1 et 12 FIG. 2 represents a machine usable for the implementation of the finishing polishing process, as well as for the preceding stages of smoothing, pre-polishing and proper polishing. 30 It has two parallel slide bars 1 1 and 12

le long de laquelle peuvent se translater dans une première direction X deux coulisseaux 14 et 15 reliés par une barre d'attelage 16. Chacun des coulisseaux porte un bras 17 et 18 s'étendant par exemple dans une direction Y perpendiculaire à la direction X, avec un réglage en hauteur 17', 18' selon Z 35 (perpendiculaire à X et Y). along which two slides 14 and 15 can be translated in a first direction X connected by a drawbar 16. Each of the slides carries an arm 17 and 18 extending for example in a direction Y perpendicular to the direction X, with height adjustment 17 ', 18' according to Z 35 (perpendicular to X and Y).

Chacun des bras présente un logement 19 et 20 permettant de recevoir un axe de rotation 21 et 22 d'un porte-pièce 23 portant la pièce 1 dont la surface 6 doit être soumise au polissage de finition. L'outil 4 est disposé sur un support 15 solidaire d'une table 27 présentant des moyens de 5 translation de l'outil 4 et donc du feutre 2 dans la direction Y perpendiculaire à Each of the arms has a housing 19 and 20 making it possible to receive an axis of rotation 21 and 22 of a workpiece carrier 23 carrying the workpiece 1 whose surface 6 must be subjected to the finishing polishing. The tool 4 is placed on a support 15 integral with a table 27 having means for translating the tool 4 and therefore of the felt 2 in the direction Y perpendicular to

la direction X. Ces moyens de translation sont par exemple des glissières 26. direction X. These translation means are for example slides 26.

Les vitesses de polissage dans chacune des directions X et Y peuvent être choisies par exemple entre 0,05 m/s et 0,5 m/s. The polishing speeds in each of the X and Y directions can be chosen for example between 0.05 m / s and 0.5 m / s.

Les figures 3a et 3b d'une part et 4a et 4b d'autre part o illustrent deux modes de mise en oeuvre du polissage de finition (après durcissement du support en matériau déformable par exemple de la poix ou de la colle). Le déplacement selon X (par exemple entre 5 et 200 mm) permet un polissage parallèle à la direction des génératrices de la surface, alors que le mouvement de translation selon Y (par exemple entre 1 et 100 mm) et la 15 rotation selon l'axe (21, 22) permet à la surface 6 à polir de suivre en tournant l'élément de polissage 2 au fur et à mesure du déplacement selon Y. Ainsi, la combinaison de ces trois mouvements (translation X, translation Y et rotation) permet d'assurer le polissage de la surface sur son contour et sur toute sa longueur. Selon les figures 3a et 3b, la pièce 1 de section cylindrique ou Figures 3a and 3b on the one hand and 4a and 4b on the other hand o illustrate two modes of implementation of the finishing polishing (after hardening of the support of deformable material for example pitch or glue). The displacement along X (for example between 5 and 200 mm) allows polishing parallel to the direction of the generatrices of the surface, while the translational movement along Y (for example between 1 and 100 mm) and the rotation along the axis (21, 22) allows the surface 6 to be polished to follow by turning the polishing element 2 as it moves along Y. Thus, the combination of these three movements (X translation, Y translation and rotation) ensures the polishing of the surface on its contour and over its entire length. According to FIGS. 3a and 3b, the part 1 of cylindrical section or

plane est portée par le porte-pièce 23 et l'outil 4 est solidaire du support 25. plane is carried by the workpiece carrier 23 and the tool 4 is integral with the support 25.

Selon les figures 4a et 4b, la pièce 1 cylindrique ou plane est solidaire du According to Figures 4a and 4b, the cylindrical or planar part 1 is integral with the

support 25 et c'est l'outil 4 qui est porté par le porte-pièce 23. support 25 and it is the tool 4 which is carried by the workpiece holder 23.

Le procédé s'applique également à des surfaces ne 25 présentant pas de génératrice. La mise en forme de l'élément 2 améliore les The method also applies to surfaces without a generator. The shaping of element 2 improves the

performances par rapport à la surface ayant la génératrice la plus proche. performance relative to the surface with the nearest generator.

Claims

1. A method of polishing a surface finish using a polishing element and an abrasive, characterized in that it implements: a) before said polishing, the bonding of the element polishing on a support of a permanently deformable material and;

b) applying pressure to the deformable support once the polishing element is in contact with the surface to be polished so that the polishing element is shaped to follow an outline of said surface.

c) carrying out the finishing polishing using the polishing element thus formed.

2. Method according to claim 1, characterized in that said material is deformable by creep and / or hardenable.

3. Method according to claim 2, characterized in that said material is pitch which is heated to a temperature allowing its creep and which after shaping of the polishing element is then

cooled to harden.

4. Method according to claim 2, characterized in that said material is a gel type glue which after shaping of the polishing element is hardened for example by polymerization or application of a

radiation, especially ultraviolet.

5. Method according to claim 2 characterized in that the material is plaster.

6. Method according to one of the preceding claims,

characterized in that the polishing element is a felt.

7. Method according to one of the preceding claims, characterized in that said deformable material is carried by a support of

polishing.

8. Method according to one of the preceding claims,

characterized in that the finishing polishing is carried out using a machine comprising a displacement device ensuring a relative movement between the polishing element and the surface to be polished in two perpendicular directions.

9. Method according to claim 8, characterized in that the displacement device is arranged to also produce a relative rotational movement around an axis parallel to one of said two perpendicular directions.

10. Method according to one of claims 8 or 9, characterized in that the surface has a generator whose direction is parallel to one of said two perpendicular directions.

11. Method characterized in that the surface on which the finishing polishing is carried out has been previously subjected to - a pre-polishing or coarse polishing

- polishing.

12. Method according to claim 11 characterized in that after polishing, the surface has a roughness between 3A and 15A and after

finish polishing, roughness between 1A and 5A.

13. Method according to claim 12, characterized in that said roughness after finishing polishing is between 1A and 3A for the surfaces of glass, silica, silicon and ceramic, and between 3A and 5A

for a nickel surface covering a metallic surface.