FR2819794A1 - Box with controlled closing for packaging semiconductor wafers for use in manufacture of integrated circuits, comprising complementary elements for sliding and locking in position - Google Patents

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Abstract

The box for packaging semiconductor wafers has a base part demarcating a compartment for receiving the wafers and an upper part or cover (4) to close the compartment when fully assembled. The bottom part and the cover are equipped with elements for guiding the two parts together, preventing rotation between the two parts and to ensure locking in the final position. The complementary elements are situated at a mutual distance and symmetrically with respect to the compartment and outside the compartment. The complementary elements include a male element (15) and a female element, where the former is carried by the cover (4) and the latter by the bottom part, so to enable a sliding motion in approach to the locking position. The male element is in the form of a nipple, and the female element in the form of a receptacle demarcated by a barrel. The barrel is made of a series of flat parts, laid out in a star configuration, and projecting from a plate forming a support of the bottom part. The compartment is demarcated by a vertical partition equipped with projections cooperating with a notch in a wafer to prevent its rotation. The partition has an opening in height where the bottom plate has a nail-groove for handling wafers.

Description

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L'invention concerne le domaine technique de la protection de plaquettes de substrats destinés à la fabrication de circuits intégrés. De telles plus plaquettes sont, plus communément, appelées"wafers".  The invention relates to the technical field of protecting wafers from substrates intended for the manufacture of integrated circuits. Such more pads are, more commonly, called "wafers".

De telles plaquettes sont, généralement, obtenues à partir d'un barreau semiconducteur de section circulaire. Chaque plaquette ainsi obtenue est généralement supportée par une bague annulaire métallique. Cette plaquette présente la particularité d'être extrêmement fragile.  Such wafers are generally obtained from a semiconductor bar of circular section. Each plate thus obtained is generally supported by a metallic annular ring. This plate has the distinction of being extremely fragile.

Or, de manière générale, les sites de fabrication de ces plaquettes sont distincts des sites sur lesquelles elles sont utilisées pour la fabrication des circuits intégrés, de sorte qu'il est nécessaire de disposer de boîtes de conditionnement permettant d'acheminer les plaquettes depuis les sites de fabrication jusqu'aux sites d'utilisation en garantissant leur intégrité physique.  However, in general, the manufacturing sites of these wafers are distinct from the sites on which they are used for the manufacturing of integrated circuits, so that it is necessary to have packaging boxes making it possible to transport the wafers from the manufacturing sites to the sites of use, guaranteeing their physical integrity.

Dans l'état de la technique, il est connu de mettre en oeuvre une boîte de conditionnement comportant un fond délimitant un compartiment de réception des plaquettes qui sont, généralement, montées de manière superposée en étant séparées par un intercalaire de protection. La boîte de conditionnement comporte, également, un couvercle destiné à être adapté sur le fond pour fermer le compartiment.  In the state of the art, it is known to use a packaging box comprising a bottom delimiting a compartment for receiving the wafers which are, generally, mounted in a superimposed manner, being separated by a protective interlayer. The packaging box also includes a cover intended to be adapted on the bottom to close the compartment.

L'assemblage du couvercle sur le corps est assuré, par exemple, par l'intermédiaire de pattes d'accrochage portées par le corps, destinées à coopérer avec des fenêtres portées par le couvercle. The assembly of the cover on the body is ensured, for example, by means of hooking lugs carried by the body, intended to cooperate with windows carried by the cover.

Or, il apparaît que, lors de l'opération d'assemblage du couvercle sur le corps, la boîte subit des secousses, voire des chocs, susceptibles d'entraîner la détérioration des plaquettes.  However, it appears that, during the assembly operation of the cover on the body, the box undergoes tremors, or even shocks, likely to cause the deterioration of the wafers.

L'objet de l'invention vise donc à remédier aux inconvénients énoncés cidessus en proposant une nouvelle boîte de conditionnement pour des plaquettes destinées à la fabrication de circuits intégrés, conçue pour permettre d'effectuer l'assemblage relatif entre le corps et le couvercle, en réduisant, voire en éliminant, les secousses ou les chocs susceptibles d'être appliqués à la boîte lors de cette opération.  The object of the invention therefore aims to remedy the drawbacks mentioned above by proposing a new packaging box for wafers intended for the manufacture of integrated circuits, designed to allow the relative assembly to be carried out between the body and the cover, by reducing, or even eliminating, the jolts or shocks that may be applied to the box during this operation.

Pour atteindre cet objectif, l'objet de l'invention concerne une boîte de conditionnement pour des plaquettes caractérisée en ce que le fond et le couvercle sont équipés de moyens complémentaires de guidage en translation coopérant entre  To achieve this objective, the object of the invention relates to a packaging box for wafers characterized in that the bottom and the cover are equipped with complementary means for guiding in translation cooperating between

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eux lors du rapprochement relatif entre le couvercle et le corps, en vue d'obtenir leur assemblage.  them during the relative approximation between the cover and the body, in order to obtain their assembly.

Selon une autre caractéristique de l'invention, la boîte de conditionnement est conçue de manière que les moyens complémentaires de guidage en translation permettent de rigidifier le fond et le couvercle. A cet effet, les moyens de guidage en translation sont aménagés dans la plaque de fond délimitant le corps et la plaque de dessus délimitant le couvercle, en dehors du compartiment de réception des plaquettes.  According to another characteristic of the invention, the packaging box is designed so that the complementary means for guiding in translation make it possible to stiffen the bottom and the cover. To this end, the translational guide means are arranged in the bottom plate delimiting the body and the top plate delimiting the cover, outside the platelet receiving compartment.

Diverses autres caractéristiques ressortent de la description faite ci-dessous en référence aux dessins annexés qui montrent, à titre d'exemples non limitatifs, des formes de réalisation de l'objet de l'invention.  Various other characteristics will emerge from the description given below with reference to the appended drawings which show, by way of nonlimiting examples, embodiments of the subject of the invention.

La fig. 1 est une vue en coupe-élévation d'une boîte conforme à l'invention en position non assemblée entre le couvercle et le fond.  Fig. 1 is a sectional elevation view of a box according to the invention in the unassembled position between the cover and the bottom.

La fig. 2 est une vue en perspective montrant le fond de la boîte selon l'invention.  Fig. 2 is a perspective view showing the bottom of the box according to the invention.

La fig. 3 est une vue en perspective montrant le couvercle de la boîte selon l'invention.  Fig. 3 is a perspective view showing the cover of the box according to the invention.

La fig. 4 est une vue en coupe transversale, à plus grande échelle, d'un détail caractéristique de la boîte en position emboîtée du couvercle sur le corps.  Fig. 4 is a cross-sectional view, on a larger scale, of a characteristic detail of the box in the fitted position of the cover on the body.

Tel que cela ressort plus précisément des fig. 1 à 3, une boîte 1 de conditionnement pour des plaquettes ou wafers, destinés à la fabrication de circuits intégrés comprend, d'une part, un corps ou un fond 2 présentant un compartiment de réception 3 pour des plaquettes P, représentées de manière schématique à la fig. 1 et, d'autre part, un couvercle 4 destiné à être adapté sur le fond 2 pour fermer le compartiment 3. Le fond 2 de la boîte présente une plaque de base 5, de forme sensiblement carrée, à partir de laquelle s'élève, sensiblement verticalement, une cloison 6 délimitant intérieurement le compartiment 3 et présentant une forme circulaire complémentaire de celle des plaquettes P. De préférence mais de manière non exclusive, la cloison 6 constitue deux parois laissant subsister entre elles une gorge 8.  As can be seen more precisely from FIGS. 1 to 3, a packaging box 1 for wafers or wafers, intended for the manufacture of integrated circuits comprises, on the one hand, a body or a bottom 2 having a receiving compartment 3 for wafers P, shown schematically in fig. 1 and, on the other hand, a cover 4 intended to be adapted on the bottom 2 to close the compartment 3. The bottom 2 of the box has a base plate 5, of substantially square shape, from which rises , substantially vertically, a partition 6 internally delimiting the compartment 3 and having a circular shape complementary to that of the plates P. Preferably but not exclusively, the partition 6 constitutes two walls leaving a groove 8 between them.

Tel que cela ressort plus précisément de la fig. 3, le couvercle 4 est constitué à partir d'une plaque de dessus 11, de forme et de dimensions sensiblement identiques  As shown more precisely in FIG. 3, the cover 4 is formed from a top plate 11, of substantially identical shape and dimensions

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à la plaque de base 5. Selon une caractéristique préférée de réalisation, la plaque de dessus 11 est pourvue d'une jupe 12 de dimensions et de formes identiques à la gorge 8, de manière à s'insérer dans la gorge lors de l'opération d'assemblage, en vue d'assurer la fermeture du compartiment 3.  to the base plate 5. According to a preferred embodiment, the top plate 11 is provided with a skirt 12 of dimensions and shapes identical to the groove 8, so as to be inserted into the groove during the assembly operation, with a view to closing the compartment 3.

Selon une caractéristique avantageuse de l'invention, le fond 2 et le couvercle 4 sont équipés de moyens 15,16 complémentaires ou conjugués, de guidage en translation coopérant entre eux lors de l'opération d'assemblage, c'est-à-dire lors du rapprochement relatif entre le couvercle 4 et le fond 2. Ces moyens complémentaires de guidage en translation 15,16 sont constitués par au moins un et, dans l'exemple illustré, par deux ensembles identiques. Chaque ensemble complémentaire de guidage en translation est constitué par un élément mâle 15 et par un élément femelle 16, de formes complémentaires, autorisant un coulissement l'un dans l'autre. Dans l'exemple illustré, les éléments mâles 15 et femelles 16 sont aménagés, respectivement, sur le couvercle 4 et le fond 2, mais il est clair que leur position peut être intervertie, de sorte que les éléments mâles 15 et femelle 16 peuvent être portés, respectivement, par le fond 2 et le couvercle 4.  According to an advantageous characteristic of the invention, the base 2 and the cover 4 are equipped with complementary or combined means 15, 16, in translation guiding cooperating with each other during the assembly operation, that is to say during the relative approximation between the cover 4 and the bottom 2. These complementary means for guiding in translation 15, 16 are constituted by at least one and, in the example illustrated, by two identical assemblies. Each complementary translational guide assembly consists of a male element 15 and a female element 16, of complementary shapes, allowing sliding in one another. In the example illustrated, the male elements 15 and female 16 are arranged, respectively, on the cover 4 and the bottom 2, but it is clear that their position can be reversed, so that the male elements 15 and female 16 can be carried, respectively, by the bottom 2 and the cover 4.

Selon une caractéristique préférée de réalisation, chaque paire d'éléments mâles 15 ou femelles 16 sont aménagés à distance l'un de l'autre, pour interdire une rotation relative entre le fond 2 et le couvercle 4 lors de l'opération d'assemblage entre le fond et le couvercle. De préférence, les paires d'éléments mâles 15 et femelles 16 sont aménagées en dehors du compartiment 3, respectivement à partir des plaques de base 5 et de dessus 11, symétriquement l'un à l'autre par rapport au compartiment 3 (fig. 2, fig. 3). Les deux éléments mâles 15 et les deux éléments femelles 16 s'étendent ainsi de manière diamétralement opposée, respectivement sur chacune des plaques de dessus 11 et de base 5, entre la jupe 12 ou la cloison 6 et un coin des plaques 11,5.  According to a preferred embodiment characteristic, each pair of male 15 or female 16 elements are arranged at a distance from each other, to prevent relative rotation between the bottom 2 and the cover 4 during the assembly operation. between the bottom and the cover. Preferably, the pairs of male 15 and female 16 elements are arranged outside the compartment 3, respectively from the base plates 5 and from above 11, symmetrically to one another with respect to the compartment 3 (fig. 2, fig. 3). The two male elements 15 and the two female elements 16 thus extend diametrically opposite, respectively on each of the top plates 11 and base 5, between the skirt 12 or the partition 6 and a corner of the plates 11.5.

Chaque élément mâle 15 est constitué, par exemple, par un téton s'élevant à partir de la plaque de dessus 11 en dehors de la jupe 12 en présentant une section droite transversale circulaire. Dans l'exemple de réalisation, la plaque de dessus 11 est pourvue, au niveau de ses deux coins opposés diamétralement, des tétons 15 qui assurent ainsi, également, une rigidification de la plaque de dessus 11.  Each male element 15 is constituted, for example, by a stud rising from the top plate 11 outside the skirt 12 having a circular cross section. In the exemplary embodiment, the top plate 11 is provided, at its two diametrically opposite corners, with pins 15 which thus also ensure stiffening of the top plate 11.

Comme cela ressort plus précisément des fig. 2 et 4, chaque élément femelle 16 est réalisé par un logement de réception délimité par un fût 18 et présentant une  As can be seen more precisely from FIGS. 2 and 4, each female element 16 is produced by a receiving housing delimited by a barrel 18 and having a

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section droite circulaire conjuguée ou complémentaire de celle du téton 15, de manière à autoriser un coulissement lors de l'opération de montage du couvercle 4 sur le fond 2. Dans l'exemple de réalisation, la plaque de base 5 est équipée, en dehors de la cloison 6 et dans ses deux coins diamétralement opposés, des fûts 18 qui assurent une rigidification de la plaque de base 5.  circular cross section conjugate or complementary to that of the stud 15, so as to allow sliding during the assembly operation of the cover 4 on the bottom 2. In the embodiment, the base plate 5 is equipped, apart of the partition 6 and in its two diametrically opposite corners, barrels 18 which provide stiffening of the base plate 5.

Selon une caractéristique préférée de réalisation, le téton 15 et le logement 16 présentent des formes complémentaires tronconiques, de manière à assurer un libre coulissement relatif entre eux, jusqu'à obtenir un coincement en fin de course de rapprochement du fond 2 par rapport au couvercle 4.  According to a preferred embodiment characteristic, the stud 15 and the housing 16 have complementary frustoconical shapes, so as to ensure a free relative sliding between them, until a jamming at the end of the stroke of approach of the bottom 2 relative to the cover 4.

Selon une autre caractéristique préférée de réalisation, chaque fût 18 est constitué par une série de nervures 19 s'étendant les unes à côté des autres, en étant disposées de manière à délimiter le logement de réception 16. Comme cela ressort plus précisément de la fig. 2, les nervures 19 s'étendent radialement en étoile, en présentant une partie commune de raccordement 21 délimitant, ensemble, le fond du logement 16 et à partir de laquelle s'élève, pour chaque nervure, une aile 22. La réalisation de l'élément femelle 16, sous la forme d'un logement délimité par des nervures espacées 19, permet de lui conférer une sorte de fonction d'amortissement pour les secousses susceptibles d'être appliquées à la boîte 1.  According to another preferred embodiment characteristic, each barrel 18 is constituted by a series of ribs 19 extending one next to the other, being arranged so as to delimit the receiving housing 16. As can be seen more precisely from FIG . 2, the ribs 19 extend radially in a star, presenting a common connection part 21 delimiting, together, the bottom of the housing 16 and from which rises, for each rib, a wing 22. The realization of the the female element 16, in the form of a housing delimited by spaced ribs 19, makes it possible to give it a sort of damping function for the tremors which can be applied to the box 1.

Selon une autre caractéristique de réalisation, la cloison 6, délimitant intérieurement le compartiment 3, est pourvue, sur au moins une partie de sa hauteur, d'au moins une nervure de butée 24, destinée à coopérer avec une encoche aménagée, généralement, dans la bague périphérique de support d'une plaquette P, de manière à empêcher sa rotation par rapport au fond 2. De préférence, la cloison 6 comporte une deuxième nervure de butée 24 coopérant avec une autre encoche de la bague de support des plaquettes, de manière à bloquer les plaquettes P dans les deux sens de rotation. Ces nervures de renforcement 24 ne sont pas réalisées symétriquement, permettant ainsi de donner un sens de positionnement des plaquettes à l'intérieur du compartiment 3.  According to another embodiment characteristic, the partition 6, internally delimiting the compartment 3, is provided, over at least part of its height, with at least one abutment rib 24, intended to cooperate with a notch arranged, generally, in the peripheral ring for supporting a wafer P, so as to prevent its rotation relative to the bottom 2. Preferably, the partition 6 has a second abutment rib 24 cooperating with another notch in the wafer support ring, so as to block the plates P in both directions of rotation. These reinforcing ribs 24 are not produced symmetrically, thus making it possible to give a direction of positioning of the plates inside the compartment 3.

Selon une autre caractéristique préférée de réalisation, la cloison 6 et la jupe 12 sont réalisées de manière discontinues, pour présenter, selon leur hauteur, respectivement, des ouvertures de passage 31,32 destinées à permettre l'évacuation  According to another preferred embodiment characteristic, the partition 6 and the skirt 12 are produced in a discontinuous manner, to present, according to their height, respectively, passage openings 31, 32 intended to allow evacuation

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de l'air au cours de l'empilage des plaquettes et des intercalaires à l'intérieur du compartiment 3.  air during stacking of the pads and inserts inside compartment 3.

De préférence, la plaque de base 5 présente, au droit de l'ouverture de passage 31, un onglet 33 de préhension des plaquettes, constitué par une empreinte en creux.  Preferably, the base plate 5 has, at the right of the passage opening 31, a tab 33 for gripping the plates, constituted by a hollow imprint.

De préférence, le fond 2 est équipé de moyens d'assemblage 35 formés, par exemple, par deux pattes élastiquement déformables équipées à leur tête d'une dent de loup destinée à s'engager chacune dans une fenêtre 36 complémentaire aménagée sur le couvercle 4. Les deux pattes 35 et les deux fenêtres 36 sont aménagées dans les coins diamétralement opposés, respectivement des plaques de base 5 et de dessus 11, c'est-à-dire dans les coins ne comportant pas les moyens de guidage en coulissement 15,16.  Preferably, the bottom 2 is equipped with assembly means 35 formed, for example, by two elastically deformable legs fitted at their head with a wolf tooth intended to each engage in a complementary window 36 arranged on the cover 4 The two tabs 35 and the two windows 36 are arranged in the diametrically opposite corners, respectively of the base plates 5 and of the top 11, that is to say in the corners not comprising the sliding guide means 15, 16.

La mise en place de la boîte 1 découle directement de la description qui précède. Les plaquettes P sont montées de manière superposée à l'intérieur du compartiment 2, avec interposition d'intercalaires de protection entre deux plaquettes successives. Il est à noter que la présence de nervures de butée 24 permet d'assurer le bon positionnement et le blocage en rotation des plaquettes P par rapport au fond 2. Après chargement des plaquettes P dans le compartiment 3, le couvercle 4 est rapproché du fond 2, de manière à obtenir l'engagement relatif entre les tétons 15 et leurs logements respectifs 16. Lors du mouvement de rapprochement du couvercle 4 par rapport au fond 2, le couvercle 4 se trouve parfaitement guidé par le coulissement des tétons 15 à l'intérieur des logements 16. Le fond 2 ne peut donc pas subir de secousses ou de chocs intempestifs lors de cette opération d'assemblage. Le rapprochement du couvercle 4 est poursuivi jusqu'à obtenir le coincement des tétons 15 dans les logements 16 et la coopération des pattes d'assemblage 35 avec les fenêtres complémentaires 36. L'opération de fermeture de la boîte 1 est donc parfaitement contrôlée, de sorte que les plaquettes sont conservées intègres.  The establishment of the box 1 follows directly from the above description. The plates P are mounted superimposed inside the compartment 2, with the interposition of protective tabs between two successive plates. It should be noted that the presence of abutment ribs 24 ensures correct positioning and rotation blocking of the plates P with respect to the bottom 2. After loading the plates P in the compartment 3, the cover 4 is brought closer to the bottom. 2, so as to obtain the relative engagement between the studs 15 and their respective housings 16. During the movement of approach of the cover 4 relative to the bottom 2, the cover 4 is perfectly guided by the sliding of the studs 15 to the interior of the housings 16. The bottom 2 cannot therefore be subjected to untimely jolts or shocks during this assembly operation. The approximation of the cover 4 is continued until the studs 15 are jammed in the housings 16 and the assembly tabs 35 cooperate with the complementary windows 36. The operation of closing the box 1 is therefore perfectly controlled, from so that the platelets are kept intact.

L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits et représentés car diverses modifications peuvent y être apportées sans sortir de son cadre. The invention is not limited to the examples described and shown since various modifications can be made thereto without departing from its scope.

Claims (11)

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 REVENDICATIONS 1-Boîte de conditionnement pour des plaquettes (P) destinées à la fabrication de circuits intégrés, du type comprenant : * un fond (2) délimitant un compartiment (3) de réception pour les plaquettes (P), * et un couvercle (4) destiné à fermer le compartiment (3) lorsque le couvercle est assemblé avec le fond, caractérisée en ce que le fond (2) et le couvercle (4) sont équipés de moyens (15,16) complémentaires de guidage en translation coopérant entre eux lors du rapprochement relatif entre le couvercle (4) et le fond (2), en vue d'obtenir leur assemblage. CLAIMS 1-Packaging box for wafers (P) intended for the manufacture of integrated circuits, of the type comprising: * a bottom (2) delimiting a compartment (3) for receiving the wafers (P), * and a cover ( 4) intended to close the compartment (3) when the cover is assembled with the base, characterized in that the base (2) and the cover (4) are equipped with complementary means (15, 16) for guiding in translation cooperating between them during the relative approximation between the cover (4) and the bottom (2), in order to obtain their assembly. 2-Boîte de conditionnement selon la revendication 1, caractérisée en ce que les moyens complémentaires de guidage en translation (15,16) sont adaptés de manière à assurer, en fin de course de rapprochement, un blocage par coincement entre le couvercle (4) et le fond (2).  2-packaging box according to claim 1, characterized in that the complementary means for guiding in translation (15,16) are adapted so as to ensure, at the end of the approach stroke, a blockage by wedging between the cover (4) and the bottom (2). 3-Boîte de conditionnement selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que les moyens complémentaires de guidage en translation (15,16) sont constitués par deux ensembles complémentaires de guidage en translation, situés à distance l'un de l'autre pour interdire une rotation relative entre le fond et le couvercle.  3-packaging box according to claim 1 or 2, characterized in that the complementary means of translational guidance (15,16) consist of two complementary sets of translational guidance, located at a distance from each other for prohibit relative rotation between the bottom and the cover. 4-Boîte de conditionnement selon la revendication 3, caractérisée en ce que les deux ensembles complémentaires de guidage en translation (15,16) sont situés symétriquement l'un à l'autre par rapport au compartiment (3) en étant placés en dehors du compartiment (3).  4-packaging box according to claim 3, characterized in that the two complementary sets of guide in translation (15,16) are located symmetrically to each other relative to the compartment (3) being placed outside the compartment (3). 5-Boîte de conditionnement selon la revendication 3 ou 4, caractérisée en ce que chaque ensemble complémentaire de guidage en translation est constitué par un élément mâle (15) et un élément femelle (16), de formes complémentaires, en vue d'autoriser un coulissement l'un dans l'autre, l'un des éléments étant porté par le couvercle (4), tandis que l'autre élément est porté par le fond (2).  5-packaging box according to claim 3 or 4, characterized in that each complementary guide assembly in translation is constituted by a male element (15) and a female element (16), of complementary shapes, in order to allow a sliding one inside the other, one of the elements being carried by the cover (4), while the other element is carried by the bottom (2). 6-Boîte de conditionnement selon la revendication 5, caractérisée en ce que les éléments mâle (15) et femelle (16) présentent des formes complémentaires tronconiques de manière à assurer un coulissement relatif entre eux jusqu'à obtenir un coincement à la fin de course de rapprochement du fond (2) par rapport au couvercle (4).  6-packaging box according to claim 5, characterized in that the male (15) and female (16) elements have complementary frustoconical shapes so as to ensure relative sliding between them until a jamming at the end of the race for bringing the bottom (2) closer to the cover (4). <Desc/Clms Page number 7> <Desc / Clms Page number 7> 7-Boîte de conditionnement selon la revendication 5 ou 6, caractérisée en ce que l'élément mâle (15) est réalisé par un téton, tandis que l'élément femelle (16) est réalisé par un logement de réception du téton délimité par un fût (18).  7-Packaging box according to claim 5 or 6, characterized in that the male element (15) is formed by a stud, while the female element (16) is formed by a housing for receiving the stud delimited by a bole (18). 8-Boîte de conditionnement selon la revendication 7, caractérisée en ce que le fût (18), délimitant le logement (16) de réception du téton, est réalisé par une série de nervures (19) s'étendant à proximité les unes des autres en étant disposées de manière à délimiter le logement de réception.  8-Packaging box according to claim 7, characterized in that the barrel (18), delimiting the housing (16) for receiving the stud, is produced by a series of ribs (19) extending close to each other being arranged so as to delimit the reception housing. 9-Boîte de conditionnement selon la revendication 8, caractérisée en ce que les nervures (19) sont disposées en étoile et s'élèvent à partir d'une plaque (5,11) formant le fond ou le couvercle.  9-packaging box according to claim 8, characterized in that the ribs (19) are arranged in a star and rise from a plate (5,11) forming the bottom or the cover. 10-Boîte de conditionnement selon la revendication 3, caractérisée en ce que les deux ensembles complémentaires de guidage en translation (15,16) sont situés en dehors du compartiment (3) délimité par une cloison verticale (6) équipée, sur au moins une partie de sa hauteur, d'au moins une nervure de butée (24) destinée à coopérer avec une encoche aménagée dans la bague de support d'une plaquette, pour empêcher sa rotation.  10-packaging box according to claim 3, characterized in that the two complementary sets of guide in translation (15,16) are located outside the compartment (3) delimited by a vertical partition (6) equipped, on at least one part of its height, of at least one abutment rib (24) intended to cooperate with a notch arranged in the support ring of a wafer, to prevent its rotation. 11-Boîte de conditionnement selon la revendication 10, caractérisée en ce que la cloison (6) de délimitation du compartiment (3) de réception des plaquettes s'élève à partir d'une plaque de fond (5) et comporte, sur sa hauteur, une ouverture de passage (31) au droit de laquelle est aménagé, dans la plaque de fond (5), un onglet (33) de préhension des plaquettes (P). 11-packaging box according to claim 10, characterized in that the partition (6) delimiting the compartment (3) for receiving the platelets rises from a bottom plate (5) and has, on its height , a passage opening (31) to the right of which is arranged, in the bottom plate (5), a tab (33) for gripping the pads (P).
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