FR2778190A1 - Procede et appareil de traitement de surfaces metalliques par voie seche - Google Patents

Procede et appareil de traitement de surfaces metalliques par voie seche Download PDF

Info

Publication number
FR2778190A1
FR2778190A1 FR9805603A FR9805603A FR2778190A1 FR 2778190 A1 FR2778190 A1 FR 2778190A1 FR 9805603 A FR9805603 A FR 9805603A FR 9805603 A FR9805603 A FR 9805603A FR 2778190 A1 FR2778190 A1 FR 2778190A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
gas
treatment
flow
excited
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR9805603A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2778190B1 (fr
Inventor
Denis Verbockhaven
Stephane Rabia
Thierry Sindzingre
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Original Assignee
Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to FR9805603A priority Critical patent/FR2778190B1/fr
Application filed by Air Liquide SA, LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude filed Critical Air Liquide SA
Priority to PCT/FR1999/000916 priority patent/WO1999057334A1/fr
Priority to JP55497899A priority patent/JP2002509583A/ja
Priority to CN99800674A priority patent/CN1266463A/zh
Priority to EP99914612A priority patent/EP0996770A1/fr
Priority to BR9906414-6A priority patent/BR9906414A/pt
Priority to CA002293610A priority patent/CA2293610A1/fr
Priority to KR1020007000012A priority patent/KR20010015531A/ko
Priority to IDW991635A priority patent/ID24519A/id
Priority to TW088107136A priority patent/TW548346B/zh
Publication of FR2778190A1 publication Critical patent/FR2778190A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2778190B1 publication Critical patent/FR2778190B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/20Preliminary treatment of work or areas to be soldered, e.g. in respect of a galvanic coating
    • B23K1/206Cleaning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/36Electric or electronic devices
    • B23K2101/42Printed circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3489Composition of fluxes; Methods of application thereof; Other methods of activating the contact surfaces

Abstract

Dans ce procédé de traitement de surface par voie sèche d'au moins une portion de surface métallique, selon lequel la portion est traitée à une pression voisine de la pression atmosphérique par un flux de gaz de traitement comprenant des espèces excitées ou instables, on augmente localement la pression du gaz de traitement sur la portion de surface métallique de manière à forcer les espèces chimiques à se déplacer selon une direction sensiblement perpendiculaire à la surface. Application au brasage à la vague de composants électroniques sur plaquettes de circuits imprimés.

Description

La présente invention est relative à un procédé de traitement de surface
par voie sèche d'au moins une portion de surface métallique, du genre o la portion est traitée à une pression voisine de la pression atmosphérique par un gaz de traitement comprenant des espèces excitées ou instables. De tels traitements de surface peuvent par exemple intervenir au cours des procédés de production ou de valorisation de produits plats ou corps creux, dans la production de circuits électroniques tels les plaquettes de circuits imprimés, pour réaliser des fonctions de nettoyage ou fluxage, de dégraissage ou encore d'activation de surface, souvent avant un procédé ultérieur, qui peut être par exemple un recuit, l'électrodéposition de zinc, d'aluminium, d'étain ou de leurs alliages, un brasage (par exemple de composants électroniques sur la plaquette de circuit imprimé), ou encore le dépôt de revêtements organiques tels vernis ou peintures, ou inorganiques tels
nitrures ou films à base de silicium.
Dans le domaine de la fabrication des plaquettes de circuit imprimé, ces étapes de traitement de surfaces métalliques sont notamment du décapage, nettoyage, ébavurage des trous de connexion (" desmearing ") ou encore fluxage
avant étamage ou brasage.
Des exemples de tels procédés de traitement de surface par voie sèche sont rapportés dans les documents
suivants: EP-658391 et EP-658637.
Pour ce qui est du brasage de composants électroniques sur circuit électronique, notamment sur plaquettes de circuits imprimés, les deux méthodes les plus couramment utilisées pour effectuer une telle opération de brasage, sont le " brasage à la vague" et le "brasage par refusion". Dans la technique de brasage par refusion, une pâte à braser contenant un mélange d'alliage métallique et de flux est déposé sur le circuit imprimé en des emplacements de connexion des composants, puis les composants sont placés sur la plaque. La plaque munie des composants est ensuite insérée dans un four à refusion de manière à apporter une quantité de chaleur nécessaire pour permettre d'obtenir la fusion de l'alliage métallique, ainsi que l'activation de
l'élément fluxant contenu dans la pâte.
Le brasage à la vague consiste quant à lui à amener les plaquettes portant les composants électroniques à braser en contact avec une ou plusieurs vagues d'alliage de soudure liquide obtenues par circulation d'un bain de soudure
contenu dans un bac, au moyen d'une buse.
Généralement, les circuits sont préalablement fluxés dans une zone amont de la machine de brasage à la vague, à l'aide d'un spray de flux ou d'une mousse de flux, puis préchauffés de manière à activer les flux précédemment déposés, de manière à nettoyer les surfaces à braser, pour
l'élimination des oxydes, des contaminants organiques.
Comme pour le brasage par refusion, afin que l'alliage vienne mouiller les métallisations et former les connexions, il est nécessaire de procéder à un décapage des métallisations, c'est-à-dire de la plaquette de circuit imprimé et des composants qu'elle porte. Ce décapage est généralement effectué par un agent qui peut se présenter
sous forme liquide ou gazeuse.
Pour procéder à un décapage par voie gazeuse, on peut utiliser un flux de gaz contenant des espèces chimiques excitées ou instables, dirigé vers le circuit imprimé, ce flux venant décaper les métallisations avant l'étape de
brasage.
Dans ce domaine du fluxage par voie sèche de surfaces métalliques avant brasage ou étamage, les travaux menés à bien par la Demanderesse ont montré qu'afin d'obtenir un décapage efficace, il est nécessaire que les espèces chimiques viennent traiter toutes les métallisations, incluant les trous ménagés dans les emplacements de connexion de la plaquette et, d'autre part, les pattes des composants insérés " through hole
components " en anglais).
Il apparaît alors que selon les méthodes actuellement disponibles de traitement par voie sèche, bien que le flux de gaz venant traiter la plaquette de circuit imprimé soit généralement émis selon une direction sensiblement perpendiculaire à celle-ci, le flux tend naturellement à s'écraser de sorte que les particules, et en particulier les particules situées en périphérie, tendent à
se déplacer tangentiellement à la surface de la plaquette.
On conçoit donc que ce type de technique de décapage doive être encore amélioré, notamment en vue d'assurer de façon plus efficace et systématique le décapage des trous ménagés dans la plaquette pour l'insertion des pattes de
composants électroniques dits " à fil " ou " à insérer ".
Un des objectifs de la présente invention est de
proposer de telles améliorations.
Cet objectif est selon l'invention atteint en ce que les espèces excitées ou instables possèdent une composante
de vitesse substantiellement perpendiculaire à la surface.
L'invention a donc pour objet un procédé de traitement de surface par voie sèche d'au moins une portion de surface métallique, selon lequel la portion est traitée à une pression voisine de la pression atmosphérique par un flux de gaz de traitement comprenant des espèces excitées ou instables, caractérisé en ce que l'on augmente localement la pression du gaz de traitement sur la surface métallique de manière à forcer les espèces chimiques à se déplacer selon une
direction sensiblement perpendiculaire à ladite surface.
Le procédé suivant l'invention peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes: - le gaz de traitement est substantiellement dépourvu d'espèces électriquement chargées; - le gaz de traitement est obtenu à partir d'un mélange gazeux primaire et le cas échéant d'un mélange gazeux adjacent, le mélange gazeux primaire étant obtenu à la sortie de gaz d'au moins un appareil de formation d'espèces gazeuses excitées ou instables, dans lequel a été transformé un mélange gazeux initial comprenant un gaz inerte et/ou un gaz réducteur et/ou un gaz oxydant, le mélange adjacent n'ayant pas transité par l'appareil; - le flux de gaz de traitement étant émis en direction de la surface selon une direction généralement perpendiculaire à celle-ci, et comportant, en périphérie des particules excitées ou instables animées d'un mouvement selon une direction sensiblement tangente à la surface, la pression du flux de gaz de traitement sur la surface est augmentée en périphérie du flux; - la pression du gaz de traitement sur la surface est augmentée au moyen d'au moins un flux de gaz d'entraînement injecté perpendiculairement à la surface; - le gaz d'entraînement comporte de l'azote; - en variante, la portion de surface à traiter étant disposée dans une chambre de traitement, la pression du gaz de traitement sur la surface est augmentée au moyen d'au moins un ventilateur tourné vers la surface de manière à forcer le flux de gaz de traitement à venir frapper le surface selon une direction sensiblement perpendiculairement à cette dernière; - les espèces chimiques excitées ou instables sont obtenues par passage d'un gaz initial dans une décharge électrique; et - le gaz de traitement comportant les espèces chimiques excitées ou instables est produit à partir d'un mélange gazeux initial réducteur comprenant de l'azote et de
l'hydrogène.
Un exemple d'appareil de formation d'espèces gazeuses excitées ou instables est décrit dans le document
EP-658391 déjà cité.
L'invention concerne également un procédé de brasage à la vague de composants électroniques sur circuit électronique, au cours duquel: - on place les composants sur des emplacements de connexion ménagés sur le circuit, - on effectue une opération de fluxage du circuit par traitement de ce dernier, à une pression voisine de la pression atmosphérique, au moyen d'un flux de gaz de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou
instables, et
- on met le circuit portant les composants en contact avec au moins une vague d'un alliage de soudure, caractérisé en ce qu'au cours de l'opération de fluxage du circuit électronique, on augmente localement la pression du gaz de traitement sur le circuit de manière à forcer les espèces chimiques à se déplacer selon une direction
sensiblement perpendiculaire au circuit.
L'invention a également pour objet un appareil de traitement d'au moins une portion de surface métallique par voie sèche, pour la mise en oeuvre d'un procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce qu'il comporte une source de gaz de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou instables, un dispositif de convoyage de pièces comportant ladite au moins une portion de surface métallique, permettant d'amener les pièces en contact avec un flux de gaz de traitement, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour augmenter localement la pression du gaz de traitement sur chaque pièce, de manière à forcer les espèces chimiques à se déplacer selon une direction
sensiblement perpendiculaire à cette dernière.
L'invention a également pour objet un appareil de brasage à la vague de composants électroniques sur circuit électronique, pour la mise en oeuvre d'un procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif de convoyage de circuits à travers au moins un dispositif de fluxage de circuits, par traitement de ces derniers au moyen d'un flux de gaz de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou instables, lesdits circuits portant sur au moins une de leur face les composants à braser sur des emplacements de connexion de ces derniers, puis à travers un bac contenant un alliage de soudure en vue du brasage des composants, et en ce que au moins l'un desdits dispositifs de fluxage comporte des moyens pour augmenter localement la pression du flux de gaz de traitement sur chaque circuit, de manière à forcer les espèces chimiques à se déplacer selon une direction
sensiblement perpendiculaire à ce dernier.
D'autres caractéristiques et avantages ressortiront
de la description suivante, donnée uniquement à titre
d'exemple, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels: - la figure 1 est une représentation schématique d'un appareil de brasage à la vague conforme à l'invention; - la figure 2 est une représentation schématique en coupe d'un dispositif de formation d'espèces chimiques excitées ou instables entrant dans la constitution du dispositif de fluxage de l'appareil de brasage à la vague de figure 1; - la figure 3 représente un premier mode de réalisation des moyens pour augmenter localement la pression du gaz de traitement sur une pièce; et - la figure 4 illustre un deuxième mode de réalisation des moyens pour augmenter localement la pression
du gaz de traitement sur une piece.
En référence à la figure 1, un appareil de brasage à la vague conforme à l'invention, comporte pour le mode de réalisation représenté un dispositif 10 de convoyage de circuits 12 (ici par exemple des plaquettes de circuit imprimé), d'un premier poste 14 de préchauffage des plaquettes, vers un dispositif 16 de traitement des plaquettes 12 avant brasage, par traitement de ces dernières au moyen d'espèces chimiques excitées ou instables, puis vers un poste 18 de brasage à la vague au niveau duquel les plaquettes, portant les composants électroniques à braser, sont mises en contact avec au moins une vague d'un alliage
de soudure.
Comme on le voit sur la figure 1, le dispositif de convoyage 10 comporte un ou plusieurs tapis de transfert, tel que 20, illustré en traits mixtes sur cette figure, sur
lesquels sont disposés les plaquettes 12 de circuit imprimé.
Chaque plaquette 12 est ici munie d'un ensemble de trous traversants dans lesquels s'insèrent les pattes des composants électroniques, tel que 22 et 24, qu'il convient
de braser.
Comme cela est visible sur la figure 1, le tapis 20 s'étend entre deux rouleaux de guidage, tels que 26, dont au
moins l'un est moteur.
Les plaquettes 12, disposées sur le tapis 20 sont tout d'abord transférées du premier poste 14 de préchauffage au niveau duquel est disposé un dispositif de traitement thermique 28 approprié, puis vers le deuxième poste 16 de fluxage au niveau duquel les plaquettes subissent une opération de décontamination et de désoxydation par mise en contact des plaquettes avec des espèces gazeuses excitées ou
instables.
Les plaquettes ainsi fluxées sont ensuite mises en contact avec au moins une vague 30 d'alliage de soudure, au niveau du poste de soudure 18, laquelle vague 30 est obtenue par pompage d'un bain de soudure contenu dans un bac 32, au
travers d'une buse 34.
Les espèces gazeuses excitées ou instables, venant traiter les plaquettes 12 au niveau du poste de fluxage 16, sont ici obtenues en faisant passer un gaz initial approprié, par exemple un mélange gazeux réducteur contenant par exemple de l'azote et de l'hydrogène, à travers un dispositif, tel que 36, de formation d'espèces chimiques excitées ou instables, par passage du gaz initial dans une
décharge électrique.
Comme représenté sur la figure 2, chaque dispositif 36 de formation d'espèces chimiques excitées ou instables comporte pour le mode de réalisation représenté, une première électrode tubulaire 37, formée par exemple par une face interne d'un bloc 38 métallique, et dans laquelle est disposé concentriquement un ensemble formé d'un tube en matériau diélectrique 40 par exemple en céramique, sur la face interne duquel est déposée, par métallisation, une deuxième électrode 41 exagérément épaissie sur la figure 2,
afin d'améliorer la clarté.
Le tube diélectrique 40 et la deuxième électrode 41 définissent, avec la première électrode 37, un passage tubulaire de gaz 42, et, intérieurement, un volume interne
44 dans lequel on fait circuler un fluide réfrigérant.
Le bloc 38 comporte, diamétralement opposées, deux fentes longitudinales 46 et 48 formant respectivement l'entrée du gaz initial à exciter dans le passage 42 et la sortie de flux de gaz de traitement comportant les espèces
gazeuses excitées ou instables.
Les fentes 46 et 48 s'étendent sur toute la longueur
axiale de la cavité 42.
Par ailleurs, le bloc 38 comporte en outre, avantageusement, à la périphérie de la première électrode 37 une pluralité de conduits, tels que 50, pour le passage d'un
fluide réfrigérant, par exemple de l'eau.
On voit par ailleurs sur la figure 2 que la fente 46 d'entrée de gaz communique avec une chambre d'homogénéisation 52 formée dans une boîtier 54 accolé au bloc 38 et comportant une tubulure 56 d'amenée de gaz initial. Le module est complété par un générateur électrique 58 à haute tension et haute fréquence destiné à engendrer une décharge dans le mélange gazeux circulant dans le passage de gaz 42 de manière à provoquer, une excitation des molécules gazeuses entrant dans sa constitution et générer ainsi en sortie 48, un mélange gazeux de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou instables mais étant substantiellement dépourvu d'espèces électriquement chargées, qui viennent désoxyder et décontaminer la surface
externe des plaquettes de circuit imprimé 20 (figure 1).
Comme il apparaîtra alors clairement à l'homme du
métier, les plaquettes sont ici en situation de post-
décharge.
Ainsi, chaque dispositif 36 de formation d'espèces chimiques excitées ou instables génère, en sortie, un flux de gaz comportant des espèces chimiques émises selon une direction généralement perpendiculaire à la surface des
plaquettes 12 à traiter.
Comme cela est visible sur les figures 3 et 4, le flux de gaz comportant les espèces chimiques destinées à assurer le fluxage de la plaquette tend naturellement à s'évaser, de sorte que les particules situées en périphérie du flux tendent à se déplacer selon une direction
sensiblement parallèle à la surface de la plaquette.
Comme cela a été mentionné précédemment, cette portion de flux présente une efficacité moindre pour le traitement des trous ménagés dans la plaquette pour le
montage des composants.
Pour pallier cet inconvénient, et selon l'invention, on force les particules excitées à se propager sensiblement perpendiculairement à la plaquette de manière à venir
s'engager dans les trous.
Pour ce faire, on augmente localement la pression, sur chaque plaquette 12, du flux de gaz contenant les
espèces chimiques.
Plus préférentiellement, dans la mesure o les particules incriminées se situent en périphérie du flux de traitement, la pression du flux de traitement est augmentée
en périphérie du flux.
Selon un premier mode de réalisation, visible sur la figure 3, on augmente la pression du flux de gaz activé en utilisant un jet de gaz auxiliaire d'entraînement(ne passant pas par la décharge électrique), par exemple de l'azote ou un gaz identique à celui utilisé pour générer les particules excitées, par exemple de l'azote mélangé avec de l'hydrogène
et, le cas échéant, de la vapeur d'eau.
Comme cela est visible sur la figure 3, le jet de gaz d'entraînement est généré au moyen d'un dispositif d'entraînement 60, adapté pour projeter le gaz d'entraînement, prélevé à partir d'une enceinte 62, selon une direction sensiblement parallèle à l'axe des trous, c'est-à- dire perpendiculaire à la surface à traiter, comme représenté par les flèches F, et ce avec une vitesse relativement importante, par exemple comprise entre 10 et m/s. Les moyens 60 pourront par exemple être constitués
d'un couteau à effet venturi ou d'un amplificateur de débit.
Sous l'action de ce jet de gaz d'entraînement, les particules excitées ou instables sont dès lors forcées à se
diriger parallèlement à l'axe des trous à traiter.
On améliore ainsi considérablement la largeur de la
zone traitée par le flux de particules excitées.
Selon un autre mode de réalisation visible sur la figure 4, chaque plaquette, se situant au niveau du poste 16 de fluxage, dans une enceinte préférentiellement étanche, la pression du gaz de traitement sur la plaquette est augmentée au moyen d'au moins un ventilateur 64 tourné vers la plaquette et disposé au niveau de la périphérie du flux de gaz de manière à forcer, dans cette zone, le flux de gaz de traitement à se diriger dans une direction sensiblement
perpendiculaire à la plaquette.
On conçoit que, dans ce mode de réalisation, le gaz d'entraînement est prélevé à partir du gaz de traitement
présent dans l'enceinte.
Comme dans le mode de réalisation décrit précédemment en référence à la figure 3, il est ainsi possible d'augmenter considérablement, à l'aide de ce dispositif d'entraînement, la surface traitée par le flux de
gaz contenant les espèces excitées ou instables.
Quoique la présente invention ait été décrite en relation avec des modes de réalisation particuliers, elle ne s'en trouve pas limitée pour autant mais est au contraire susceptible de modifications et de variantes qui apparaîtront à l'homme de l'art dans le cadre des
revendications ci-après.
Ainsi, si l'invention a été tout particulièrement exemplifiée dans ce qui précède dans le cas du brasage à la vague de composants sur circuits électroniques, on comprend qu'elle s'applique beaucoup plus largement à bien d'autres traitements de surface, qu'il s'agisse de traitements d surfaces mis en oeuvre dans la fabrication de circuits imprimés, mono ou multicouches (opérations de décapage,
nettoyage, ébavurage des trous de connexion- " desmearing "-
ou encore fluxage avant étamage ou autre dépôt de couches métalliques) et bien sur dans d'autres industries mettant en
oeuvre d'autres types de surfaces métalliques.
il

Claims (21)

REVENDICATIONS
1. Procédé de traitement de surface par voie sèche d'au moins une portion de surface métallique, selon lequel la portion est traitée à une pression voisine de la pression atmosphérique par un flux de gaz de traitement comprenant des espèces excitées ou instables, caractérisé en ce que l'on augmente localement la pression du gaz de traitement sur la portion de surface métallique de manière à forcer les espèces chimiques à se déplacer selon une direction
sensiblement perpendiculaire à ladite surface.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les espèces chimiques excitées ou instables sont obtenues par passage d'un gaz initial dans une décharge électrique.
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ledit gaz de traitement est substantiellement dépourvu d'espèces électriquement chargées.
4. Procédé selon la revendication 3 caractérisé en ce que ledit gaz de traitement est obtenu à partir d'un mélange gazeux primaire et le cas échéant d'un mélange gazeux adjacent, ledit mélange gazeux primaire étant obtenu à la sortie de gaz d'au moins un appareil de formation d'espèces gazeuses excitées ou instables, dans lequel a été transformé un mélange gazeux initial comprenant un gaz inerte et/ou un gaz réducteur et/ou un gaz oxydant, ledit
mélange adjacent n'ayant pas transité par le dit appareil.
5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4,
caractérisé en ce que le flux de gaz de traitement étant émis en direction de ladite portion de surface selon une direction généralement perpendiculaire à celle-ci, et comportant, en périphérie, des particules excitées ou instables animées d'un mouvement selon une direction sensiblement tangente à ladite portion de surface, la pression du gaz de traitement sur ladite portion de surface
est augmentée en périphérie dudit flux.
6. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5,
caractérisé en ce que la pression du gaz de traitement sur ladite portion de surface est augmentée au moyen d'au moins un flux de gaz d'entraînement injecté perpendiculairement à
ladite portion de surface.
7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en
ce que le gaz d'entraînement comporte de l'azote.
8. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5,
caractérisé en ce que ladite portion de surface étant disposée dans une chambre de traitement, la pression du gaz de traitement sur ladite portion de surface est augmentée au moyen d'au moins un ventilateur tourné vers ladite surface de manière à forcer le flux de gaz de traitement à venir frapper ladite portion de surface selon une direction
sensiblement perpendiculaire à cette dernière.
9. Procédé selon l'une des revendications 1 à 8,
caractérisé en ce que ladite portion de surface métallique est présente sur une plaquette de circuits imprimés, et en ce que ledit traitement de surface réalise l'une ou plusieurs des fonctions suivantes sur ladite surface: nettoyage, dégraissage, activation de surface, ébavurage,
fluxage avant brasage ou étamage.
10. Procédé de brasage à la vague de composants électroniques (22,24) sur circuit électronique au cours duquel: - on place les composants (22,24) sur des emplacements de connexion ménagés sur le circuit, - on effectue une opération de fluxage du circuit (12) par traitement de cette dernière, à une pression voisine de la pression atmosphérique, au moyen d'un flux de gaz de traitement, en utilisant le procédé de traitement de
surface selon l'une quelconque des revendications 1 à 9; et
- on met le circuit (12) portant les composants (22,24) en contact avec une vague (30) d'un alliage de soudure.
11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que le flux de gaz de traitement étant émis en direction du circuit (12) selon une direction généralement perpendiculaire à celle-ci, et comportant, en périphérie, des particules excitées ou instables animées d'un mouvement selon une direction sensiblement tangente à la surface du circuit (12), la pression du flux de gaz de traitement sur
le circuit (12) est augmentée en périphérie dudit flux.
12. Procédé selon l'une des revendications 10 ou 11,
caractérisé en ce que la pression du gaz de traitement sur le circuit est augmentée au moyen d'au moins un flux de gaz
d'entraînement injecté perpendiculairement au circuit.
13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé
en ce que le gaz d'entraînement comporte de l'azote.
14. Procédé selon l'une des revendications 10 ou 11,
caractérisé en ce qu'au cours de l'étape de fluxage, le circuit étant disposé dans une chambre de traitement, la pression du gaz de traitement sur le circuit est augmentée au moyen d'au moins un ventilateur (64) tourné vers le circuit de manière à forcer le flux de gaz de traitement à venir frapper le circuit (12) selon une direction
sensiblement perpendiculaire à ce dernier.
15. Procédé selon l'une quelconque des
revendications 10 à 14, caractérisé en ce que les espèces
chimiques excitées ou instables sont obtenues par passage
d'un gaz initial dans une décharge électrique.
16. Procédé selon l'une quelconque des
revendications 10 à 15, caractérisé en ce que le gaz de
traitement comportant les espèces chimiques excitées ou instables est produit à partir d'un mélange gazeux réducteur
comportant de l'azote et de l'hydrogène.
17. Procédé selon l'une quelconque des
revendications 10 à 16, caractérisé en ce que ledit gaz de
traitement est substantiellement dépourvu d'espèces
électriquement chargées.
18. Procédé selon la revendication 17 caractérisé en ce que ledit gaz de traitement est obtenu à partir d'un mélange gazeux primaire et le cas échéant d'un mélange gazeux adjacent, ledit mélange gazeux primaire étant obtenu à la sortie de gaz d'au moins un appareil de formation d'espèces gazeuses excitées ou instables, dans lequel a été transformé un mélange gazeux initial comprenant un gaz inerte et/ou un gaz réducteur et/ou un gaz oxydant, ledit
mélange adjacent n'ayant pas transité par le dit appareil.
19. Procédé selon l'une quelconque des
revendications 10 à 18, caractérisé en ce que le circuit
électronique traité est une plaquette de circuits imprimés.
20. Appareil de traitement d'au moins une portion de surface métallique par voie sèche, pour la mise en oeuvre
d'un procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à
9, caractérisé en ce qu'il comporte une source de gaz de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou instables, un dispositif de convoyage de pièces comportant ladite au moins une portion de surface métallique, permettant d'amener les pièces en contact avec un flux de gaz de traitement, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour augmenter localement la pression du gaz de traitement sur chaque pièce, de manière à forcer les espèces chimiques à se déplacer selon une direction sensiblement
perpendiculaire à cette dernière.
21. Appareil de brasage à la vague de composants électroniques (22,24) sur une plaquette de circuit imprimé, pour la mise en oeuvre d'un procédé selon l'une quelconque
des revendications 10 à 19, caractérisé en ce qu'il comporte
un dispositif (10) de convoyage de plaquettes à travers au moins un dispositif (36) de fluxage des plaquettes, par traitement de ces dernières au moyen d'un flux de gaz de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou instables, lesdites plaquettes (12) portant sur au moins une de leur face les composants (22,24) à braser, sur des emplacements de connexion de ces derniers, puis à travers un bac (32) contenant un alliage de soudure en vue du brasage des composants, et en ce que le ou chaque dispositif (36) de fluxage comporte des moyens (60,62;64) pour augmenter localement la pression du gaz de traitement sur chaque plaquette (12), de manière à forcer les espèces chimiques à se déplacer selon une direction sensiblement perpendiculaire
à cette dernière.
FR9805603A 1998-05-04 1998-05-04 Procede et appareil de traitement de surfaces metalliques par voie seche Expired - Fee Related FR2778190B1 (fr)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9805603A FR2778190B1 (fr) 1998-05-04 1998-05-04 Procede et appareil de traitement de surfaces metalliques par voie seche
IDW991635A ID24519A (id) 1998-05-04 1999-04-19 Peralatan dan proses untuk merawat permukaan logam dengan cara pengeringan
CN99800674A CN1266463A (zh) 1998-05-04 1999-04-19 金属表面干法处理的方法和设备
EP99914612A EP0996770A1 (fr) 1998-05-04 1999-04-19 Procede et appareil de traitement de surfaces metalliques par voie seche
BR9906414-6A BR9906414A (pt) 1998-05-04 1999-04-19 Processo e aparelho de tratamento de superfìcies metálicas por via seca
CA002293610A CA2293610A1 (fr) 1998-05-04 1999-04-19 Procede et appareil de traitement de sufaces metalliques par voie seche
PCT/FR1999/000916 WO1999057334A1 (fr) 1998-05-04 1999-04-19 Procede et appareil de traitement de surfaces metalliques par voie seche
JP55497899A JP2002509583A (ja) 1998-05-04 1999-04-19 ドライプロセスを用いた金属表面処理方法および装置
KR1020007000012A KR20010015531A (ko) 1998-05-04 1999-04-19 건식 공정에 의한 금속 표면 처리 방법 및 장치
TW088107136A TW548346B (en) 1998-05-04 1999-05-03 Process and apparatus for treating metal surfaces by dry means

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9805603A FR2778190B1 (fr) 1998-05-04 1998-05-04 Procede et appareil de traitement de surfaces metalliques par voie seche

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2778190A1 true FR2778190A1 (fr) 1999-11-05
FR2778190B1 FR2778190B1 (fr) 2000-06-02

Family

ID=9525987

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR9805603A Expired - Fee Related FR2778190B1 (fr) 1998-05-04 1998-05-04 Procede et appareil de traitement de surfaces metalliques par voie seche

Country Status (10)

Country Link
EP (1) EP0996770A1 (fr)
JP (1) JP2002509583A (fr)
KR (1) KR20010015531A (fr)
CN (1) CN1266463A (fr)
BR (1) BR9906414A (fr)
CA (1) CA2293610A1 (fr)
FR (1) FR2778190B1 (fr)
ID (1) ID24519A (fr)
TW (1) TW548346B (fr)
WO (1) WO1999057334A1 (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2820717A1 (fr) * 2001-02-15 2002-08-16 Air Liquide Procede et installation pour preserver des inconvenients de l'humidite, des composants electroniques destines a etre fixes a une carte

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4522753B2 (ja) * 2004-06-11 2010-08-11 株式会社エヌ・ティ・ティ・ドコモ 周波数選択装置、無線通信システムおよび無線制御チャネル設定方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0371693A1 (fr) * 1988-11-30 1990-06-06 Gec-Marconi Limited Procédés de soudage tendre
EP0427020A2 (fr) * 1989-11-06 1991-05-15 Herbert Streckfuss Maschinenbau- Und Verwaltungs-Kg Méthode et procédé de traitement de partenaires de joints de brasage
GB2274286A (en) * 1993-01-13 1994-07-20 Singapore Asahi Chemical & Solder Ind Pte Ltd Cleaning circuit boards with hydrogen
EP0658637A1 (fr) * 1993-12-15 1995-06-21 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé et dispositif de traitement de surfaces métalliques par voie sèche
EP0658391A1 (fr) * 1993-12-15 1995-06-21 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé et dispositif de fluxage par voie sèche de surfaces métalliques avant brassage ou étamage
EP0747159A1 (fr) * 1995-06-09 1996-12-11 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé de fluxage par voie sèche de surfaces métalliques avant brasage ou étamage utilisant une atmosphère comportant de la vapeur d'eau.
EP0747160A2 (fr) * 1995-06-09 1996-12-11 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé et dispositif de brasage à la vague intégrant une opération de fluxage par voie sèche
WO1997039472A1 (fr) * 1996-04-15 1997-10-23 Balzers Aktiengesellschaft Utilisation d'un procede de nettoyage, procede de nettoyage, procede d'assemblage et paire de pieces

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0371693A1 (fr) * 1988-11-30 1990-06-06 Gec-Marconi Limited Procédés de soudage tendre
EP0427020A2 (fr) * 1989-11-06 1991-05-15 Herbert Streckfuss Maschinenbau- Und Verwaltungs-Kg Méthode et procédé de traitement de partenaires de joints de brasage
GB2274286A (en) * 1993-01-13 1994-07-20 Singapore Asahi Chemical & Solder Ind Pte Ltd Cleaning circuit boards with hydrogen
EP0658637A1 (fr) * 1993-12-15 1995-06-21 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé et dispositif de traitement de surfaces métalliques par voie sèche
EP0658391A1 (fr) * 1993-12-15 1995-06-21 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé et dispositif de fluxage par voie sèche de surfaces métalliques avant brassage ou étamage
EP0747159A1 (fr) * 1995-06-09 1996-12-11 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé de fluxage par voie sèche de surfaces métalliques avant brasage ou étamage utilisant une atmosphère comportant de la vapeur d'eau.
EP0747160A2 (fr) * 1995-06-09 1996-12-11 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procédé et dispositif de brasage à la vague intégrant une opération de fluxage par voie sèche
WO1997039472A1 (fr) * 1996-04-15 1997-10-23 Balzers Aktiengesellschaft Utilisation d'un procede de nettoyage, procede de nettoyage, procede d'assemblage et paire de pieces

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2820717A1 (fr) * 2001-02-15 2002-08-16 Air Liquide Procede et installation pour preserver des inconvenients de l'humidite, des composants electroniques destines a etre fixes a une carte

Also Published As

Publication number Publication date
TW548346B (en) 2003-08-21
WO1999057334A1 (fr) 1999-11-11
ID24519A (id) 2000-07-20
CA2293610A1 (fr) 1999-11-11
CN1266463A (zh) 2000-09-13
BR9906414A (pt) 2000-07-11
FR2778190B1 (fr) 2000-06-02
KR20010015531A (ko) 2001-02-26
EP0996770A1 (fr) 2000-05-03
JP2002509583A (ja) 2002-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0747160B1 (fr) Procédé et dispositif de brasage à la vague intégrant une opération de fluxage par voie sèche
CA2137980C (fr) Procede et dispositif de fluxage par voie seche de surfaces metalliques avant brasage ou etamage
US20060054184A1 (en) Plasma treatment for purifying copper or nickel
US20010006070A1 (en) Surface-treated shower head for use in a substrate processing chamber
JPWO2007063987A1 (ja) 超純水プラズマ泡による加工・洗浄方法及びその装置
EP0595671A1 (fr) Procédé et dispositif de fluxage par voie sèche
CA2253889A1 (fr) Methode et appareil pour le soudage par refusion de surfaces metalliques
EP2240291B1 (fr) Dispositif d'alimentation en gaz d'une machine de brasage ou etamage a la vague
FR2778190A1 (fr) Procede et appareil de traitement de surfaces metalliques par voie seche
EP0815936A2 (fr) Dispositif d'excitation de gaz
WO1998000284A1 (fr) Procede de traitement de surface par voie seche et dispositif pour la mise en oeuvre d'un tel procede
EP1100644A1 (fr) Procede de brasage par refusion de composants electroniques et dispositif de brasage pour la mise en oeuvre d'un tel procede
JP5271456B2 (ja) プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
JP5295055B2 (ja) 吸引型プラズマエッチング装置およびプラズマエッチング方法
EP0747159B1 (fr) Procédé de fluxage par voie sèche de surfaces métalliques avant brasage ou étamage utilisant une atmosphère comportant de la vapeur d'eau.
FR2781974A1 (fr) Procede de brasage par refusion de composants electroniques utilisant des pre-depots d'alliage de brasure et dispositif de brasage pour la mise en oeuvre d'un tel procede
JPH06142932A (ja) ウェルドヘッド及び溶接装置
Wolter et al. Plasma treatment process for fluxless reflow soldering
JPH06328256A (ja) ウェルドヘッド及び溶接装置
JPH05271972A (ja) 金属屑の洗浄装置
JPH08281423A (ja) フラックスレスはんだ付方法およびその装置
BE558099A (fr)
JP2003320539A (ja) ラジカル反応による超精密バリ除去方法及びその装置、並びにラジカル反応による表面処理方法

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse