FR2598804A1 - Capteur pour la determination de phenomenes physiques dans la chambre de combustion d'un moteur a combustion interne - Google Patents
Capteur pour la determination de phenomenes physiques dans la chambre de combustion d'un moteur a combustion interne Download PDFInfo
- Publication number
- FR2598804A1 FR2598804A1 FR8706800A FR8706800A FR2598804A1 FR 2598804 A1 FR2598804 A1 FR 2598804A1 FR 8706800 A FR8706800 A FR 8706800A FR 8706800 A FR8706800 A FR 8706800A FR 2598804 A1 FR2598804 A1 FR 2598804A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- sapphire
- combustion chamber
- pressure
- sensor according
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/241—Light guide terminations
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
- G01K7/22—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
- G01L23/08—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically
- G01L23/16—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by photoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
- G01L23/08—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically
- G01L23/18—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by resistance strain gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0002—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in ohmic resistance
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C10/00—Adjustable resistors
- H01C10/10—Adjustable resistors adjustable by mechanical pressure or force
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Testing Of Engines (AREA)
Abstract
CAPTEUR POUR LA DETERMINATION DE PHENOMENES PHYSIQUES DANS LA CHAMBRE DE COMBUSTION D'UN MOTEUR A COMBUSTION INTERNE, PRODUIT EN TECHNOLOGIE SOS (SILICIUM SUR SAPHIR). DES RESISTANCES SENSIBLES A L'ALLONGEMENT 26 SONT DEPOSEES DANS UN EVIDEMENT 23 PRODUIT PAR USINAGE OU GRAVURE CHIMIQUE D'UN SAPHIR 17. UN SECOND SAPHIR 18, CONSTITUANT LE COUVERCLE DE L'EVIDEMENT 23 DE VIDE DE REFERENCE, PERMET D'OBSERVER LA LUMIERE DANS LA CHAMBRE DE COMBUSTION. LE CAPTEUR DE CONSTITUTION SIMPLE EST UTILISABLE POUR DE HAUTES PRESSIONS A DES TEMPERATURES ELEVEES. IL PERMET SIMULTANEMENT DE MESURER LA PRESSION ET LE CAS ECHEANT LES TEMPERATURES ET D'OBSERVER LA LUMIERE DANS LA CHAMBRE DE COMBUSTION.
Description
La présente invention concerne un capteur pour la détermination de
phénomènes physiques dans la chambre de combustion d'un moteur à combustion interne, avec au moins un élément sensible à la pression, disposé en regard de la chambre de combustion dans un corps ayant de préférence la forme d'une bougie. Un tel capteur connu détermine la pression dans la chambre de combustion à l'aide d'éléments de pression à quartz. Ces derniers ne sont toutefois utilisables que jusqu'à une temperature relativement basse. Lorsque l'élément de
pression à quartz est en outre logé dans la paroi du corps du cap10 teur, les déformations mécaniques du corps produites par des températures élevées risquent d'influencer négativement la valeur de pression.
Des capteurs sont par ailleurs connus dans lesquels un guide optique, dont l'extrémité porte une fenêtre en saphir, permet d'ob15 server la lumière dans la chambre de combustion. Des mesures supplémentaires précises de la pression dans la chambre de combustion sont
toutefois difficiles.
Selon une caractéristique essentielle de l'invention, l'élément sensible à la pression est constitué d'alumine alpha-cristalline 20 (saphir) sur laquelle sont disposées en technologie SOS (silicium sur saphir) des résistances sensibles à l'allongement. Le capteur selon l'invention présente l'avantage de permettre l'application de la technologie SOS connue pour la production des CI. La technologie
SOS permet une mesure de pression statique, de sorte que la pression 25 régnant dans la chambre de combustion peut être déterminée directement ou indirectement par interprétation de l'équation de chauffage.
Une mesure directe sur la pointe du capteur en regard de la chambre de combustion est possible moyennant une résistance thermique élevée de l'élément sensible à la pression. On obtient ainsi des valeurs 30 mesurées pratiquement non faussées. La taille du corps du capteur peut être très petite. Une tension des rtie élevée du signal de
mesure et une grande résistance aux vibrations permettent d'obtenir une bonne précision. L'élément sensible à la pression est pratiquement isolé du corps, de sorte qu'aucune contrainte mécanique ou une 35 déformation du corps ne peut être transmise à la membrane de pres-
sion. Le second saphir, obturant la cavité de vide de référence pour ?' l'élément sensible à la pression, est utilisable simultanément pour l'observation directe de la chambre de combustion. Des résistances peuvent en outre être disposées sur le saphir pour la mesure simul5 tanée de la température dans la chambre de combustion. Toutes les grandeurs de la chambre de combustion importantes pour la commande
du moteur peuvent être déterminées simultanément et facilement.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront
mieux compris à l'aide de la description détaillée ci-dessous d'exem10 _pies de réalisation et des dessins annexés sur lesquels
la figure 1 est une coupe longitudinale de la partie d'un capteur située du c8té de la chambre de combustion; la figure la représente un détail vu suivant la flèche A; la figure 2 est une coupe longitudinale d'un autre exemple de réali15 sation; et
la figure 3 représente un circuit d'évaluation.
La figure 1 représente le corps 10 d'un capteur 11 destiné à mesurer la pression dans la chambre de combustion d'un moteur à combustion interne. Le corps 10 comprend une partie tubulaire 12, qui est logée dans un alésage étagé 13 de la culasse 14. Le corps 10 est ensuite fixé à l'aide d'une vis 15. Dans la partie 12 qui ne s'étend
pas jusqu'à la paroi intérieure de la culasse 14, deux saphirs 17, 18 sont disposés côte à c8te dans un vitrage 19 de l'ouverture en regard de la chambre de combustion, comme le montre la figure 20a.
La partie tubulaire 12 contient en outre plusieurs couches 22 de ceramique isolante. Les saphirs 17, 18 affleurent la paroi intérieure
de la culasse 14.
Le premier saphir 17 présente un évidement 23 obturé par le second saphir 18 servant de couvercle. Les deux saphirs 17, 18 sont réunis à l'aide d'un verre de soudure 14. L'évidement 23 est produit
dans le premier saphir 17 par usinage mécanique ou attaque chimique.
Une lame mince ainsi formée dans le premier saphir 17 constitue la membrane de pression 25. Des résistances de mesure d'allongement 26 sont disposées sur le premier saphir 17, au voisinage de cette membrane de pression 25. L'évidement 23 constitue simultanément le vide de référence pour le capteur de pression 26. Ce dernier est relié par des rubans conducteurs 27, en tungstène ou or par exemple, à des fils électriques 28 et à une borne non représentée. Le vitrage 19 recouvre et protège les résistances de mesure d'allongement 26 et les rubans conducteurs 27. Les résistances de mesure d'allongement 26 sont produites en technologie SOS (silicium sur saphir). Cette technologie SOS est connue pour la production de CI. Par technologie SOS il faut comprendre un procédé de la technologie des semiconducteurs, dans lequel une 10 couche de silicium cristalline dopée est déposée par épitaxie sur le substrat en saphir. Les surfaces non destinées à des composants sont éliminées par décapage chimique selon les méthodes de production classiques. Il reste des résistances en silicium dopées et isolées, qui reçoivent ensuite une métallisation molybdène-platine ou tungstène15 or (rubans conducteurs), qui sont recouvertes d'une couche transparente isolante. Les résistances à semiconducteurs étant séparées par des couches de saphir, la limitation de température de la jonction p-n des résistances obtenues par diffusion de silicium est supprimée. Le principe de mesure repose sur l'effet piezorésistant, c'est-à-dire 20 la variation des résistances à semiconducteurs sous contrainte mécanique. Le capteur ainsi réalisé est utilisable aux températures jusqu'à
600 C.
Le capteur 1l est utilisable simultanément pour l'observation optique de la lumière dans la chambre de combustion, car le second 25 saphir 18 servant de couvercle porte un guide optique 31 en fibres
de verre de silice par exemple. Une mesure simple du début de l'information est ainsi possible.
Les résistances 26 disposées sur la membrane de pression 25
permettent de déterminer aussi la température dans la chambre de 30 combustion. Il est toutefois concevable aussi de mesurer la température à l'aide de résistances supplémentaires, sensibles à la température et disposées sur les saphirs 17, 18.
Les deux saphirs 17, 18 sont fixés uniquement dans le vitrage 19 et ne présentent aucune liaison mécanique directe avec la culasse. 35 Aucune transmission de contraintes mécaniques dues à la déformation
du corps n'est ainsi possible pendant le vissage du capteur ou la mesure de pression. Les valeurs mesurées sont par suite très précises. Les résistances de mesure sont découplées de la culasse 14.
Dans l'exemple de réalisation selon figure 2, une mesure est 5 possible par montage séparé des éléments de mesure de la pression et de la lumière dans la chambre de combustion. Les pièces identiques sont désignées par les mêmes références. La lumière dans la chambre de combustion n'est pas déterminée par le second saphir 18, mais à l'aide d'une fibre de verre 31, un barreau de quartz par 10 exemple. Une fenêtre en saphir supplémentaire peut aussi le cas échéant être disposée devant le barreau de quartz. Le corps 10a du capteur lia est obturé sur la face frontale de la partie 16a et présente à cet endroit deux alésages parallèles 32, 33 qui débouchent dans un évidement 34. Dans ce dernier, les saphirs 17, 18 sont de nouveau fixés dans le vitrage 19. Le fluide de pression peut pénétrer dans l'évidement 34 par l'alésage 32 et agir sur la membrane de pression 25. Cette dernière est disposée et protégée dans l'évidement 34. La fibre de verre 31 pénètre par l'autre alésage 33 et affleure la face frontale du corps 10a. Le quartz est moins coUteux que le 20 saphir, mais présente néanmoins une résistance si élevée qu'il peut affleurer la face frontale sans protection par rapport à la chambre de combustion. Un auto- nettoyage du barreau de quartz ou d'une fenêtre
en saphir est assuré par la combustion de la saleté déposée.
La figure 3 représente le circuit électrique des résistances de 25 mesure d'allongement 26 sur le saphir 17. Des rubans conducteurs en silicium sont obtenus sur le saphir 17 par attaque chimique en technologie SOS précédemment décrite. Les fines barrettes constituent les résistances R1, R2 qui sont connectées en diviseur de tension (montage en demi-pont). Un pont complet est également utilisable. Les 30 barrettes sont reliées chacune à des rubans de tungstène 37 et d'or 38, qui peuvent être connectés à une tension de sortie Uo, à la masse et à une tension de prélèvement U A Le barreau de quartz 31 permet une observation optique de la
chambre de combustion quand le capteur est utilisé dans un moteur 35 à combustion interne. Le choix du matériau à haute résistance ther-
mique pour le corps transparent garantit que la fenêtre située du
c8té de la chambre de combustion ne fond pas et présente une résistance mécanique suffisamment élevée.
Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées 5 par l'homme de l'art au principe et aux dispositifs qui viennent d'être décrits uniquement à titre d'exemples non limitatifs, sans
sortir du cadre de l'invention.
y; f 1 1 r., - j .1
1 1. 1
w 1 1 1 t, ' '.1 A.
Claims (9)
1. Capteur pour la détermination de phénomènes physiques dans la chambre de combustion d'un moteur à combustion interne, avec au moins un élément sensible à la pression, disposé en regard de la 5 chambre de combustion dans un corps ayant de préférence la forme d'une bougie d'allumage, ledit capteur étant caractérisé en ce que
l'élément sensible à la pression (26) est constitué d'alumine alphacristalline (saphir) (17, 18) sur laquelle sont disposées en technologie SOS (silicium sur saphir) des résistances sensibles à l'allon10 gement (26).
2. Capteur selon revendication 1, caractérisé en ce que l'élément sensible à la pression est librement suspendu dans le corps (10) au
moins au voisinage des résistances (26).
3. Capteur selon une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce 15 que deux saphirs (17, 18) sont disposés sur une pièce isolante (19);
le premier saphir (17) présente un évidement (23) sur la barrette duquel sont déposées les résistances (26); et le second saphir (18)
obture l'évidement (23).
4. Capteur selon une quelconque des revendications 1 à 3, caracté20 risé en ce que le second saphir (18) est relié à un guide optique (31).
5. Capteur selon une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'un guide optique (31) est disposé dans le corps (10),
en regard de la chambre de combustion, pour l'observation de la
lumière dans ladite chambre.
6. Capteur selon une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le guide optique (31) est constitué par une fibre de
verre.
% -X- j
7. Capteur selon une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que l'élément sensible à la pression est logé dans un [% 30 évidement 34 du corps (10a), recouvert par un couvercle comportant
deux alésages (32, 33) au moins; et le guide optique (31) pénètre f- À dans un des alésages (33) et affleure la phase du couvercle en
regard de la chambre de combustion.
8. Capteur selon une quelconque des revendications 1 à 7, caracté35 risé en ce que l'élément sensible à la pression (26) porte des élé-
ments supplémentaires pour détermination de la température.
9. Capteur selon une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'une couche de silicium cristalline dopée est déposée
par épitaxie sur le premier saphir (17) et des résistances en sili5 cium dopé sont produites par gravure chimique de ladite couche, reliées à des fils électriques (28) et recouvertes d'une couche de
verre isolante et protectrice (technologie SOS).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3616308A DE3616308C2 (de) | 1986-05-14 | 1986-05-14 | Sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2598804A1 true FR2598804A1 (fr) | 1987-11-20 |
FR2598804B1 FR2598804B1 (fr) | 1990-09-07 |
Family
ID=6300858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR878706800A Expired - Lifetime FR2598804B1 (fr) | 1986-05-14 | 1987-05-14 | Capteur pour la determination de phenomenes physiques dans la chambre de combustion d'un moteur a combustion interne |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4753109A (fr) |
DE (1) | DE3616308C2 (fr) |
FR (1) | FR2598804B1 (fr) |
IT (1) | IT1204601B (fr) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0472219A2 (fr) * | 1990-08-24 | 1992-02-26 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Dispositif de détection de la pression d'un moteur à combustion interne |
FR2870340A1 (fr) * | 2004-05-17 | 2005-11-18 | Denso Corp | Dispositif de detection de pression |
EP1790964B1 (fr) * | 2005-11-29 | 2017-08-23 | Sensata Technologies, Inc. | Agencement de capteurs pour mesurer une pression et une température dans un fluide |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4026044A1 (de) * | 1990-08-17 | 1992-02-20 | Pfister Gmbh | Keramische hohlkoerper und verfahren zu deren herstellung |
DE3919411A1 (de) * | 1989-03-07 | 1990-12-20 | Pfister Gmbh | Drucksensor und zugehoeriges herstellverfahren |
AT394112B (de) * | 1989-03-30 | 1992-02-10 | Avl Verbrennungskraft Messtech | Druckaufnehmer |
USRE34441E (en) * | 1989-03-30 | 1993-11-16 | AVL Gesellschaft fur Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik m.b.H. Prof.Dr.Dr.h.c. Hans List | Pressure sensor |
JPH03216983A (ja) * | 1990-01-22 | 1991-09-24 | Nippondenso Co Ltd | 圧力検出器付点火プラグ |
DE4031430A1 (de) * | 1990-07-05 | 1992-01-23 | Erhard Weiss | Messvorrichtung fuer stroemende medien in einer rohrleitung, insbesondere fuer treibstoffe und gase |
US5600070A (en) * | 1993-07-01 | 1997-02-04 | Wlodarczyk; Marek | Fiber optic combustion pressure sensor with improved long-term reliability |
US5390546A (en) * | 1993-07-01 | 1995-02-21 | Wlodarczyk; Marek T. | Fiber optic diaphragm sensors for engine knock and misfire detection |
US5714680A (en) * | 1993-11-04 | 1998-02-03 | The Texas A&M University System | Method and apparatus for measuring pressure with fiber optics |
US6484585B1 (en) | 1995-02-28 | 2002-11-26 | Rosemount Inc. | Pressure sensor for a pressure transmitter |
US5637802A (en) * | 1995-02-28 | 1997-06-10 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates |
US5665899A (en) * | 1996-02-23 | 1997-09-09 | Rosemount Inc. | Pressure sensor diagnostics in a process transmitter |
US5712424A (en) * | 1996-03-25 | 1998-01-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method and apparatus for measuring diesel engine cylinder pressure |
US6622549B1 (en) * | 1997-02-06 | 2003-09-23 | Marek T. Wlodarczyk | Fuel injectors with integral fiber optic pressure sensors and associated compensation and status monitoring devices |
US5808205A (en) * | 1997-04-01 | 1998-09-15 | Rosemount Inc. | Eccentric capacitive pressure sensor |
JP3339565B2 (ja) * | 1998-09-29 | 2002-10-28 | 株式会社山武 | 圧力センサ |
US6561038B2 (en) | 2000-01-06 | 2003-05-13 | Rosemount Inc. | Sensor with fluid isolation barrier |
US6508129B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-21 | Rosemount Inc. | Pressure sensor capsule with improved isolation |
DE60108217T2 (de) | 2000-01-06 | 2005-12-29 | Rosemount Inc., Eden Prairie | Kornwachstumsverfahren zur herstellung einer elektrischen verbindung für mikroelektromechanische systeme (mems) |
US6505516B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-14 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensing with moving dielectric |
DE10133410B4 (de) * | 2001-07-13 | 2004-05-13 | Siemens Ag | Temperatursensor |
DE10153424A1 (de) * | 2001-11-03 | 2003-05-15 | Kmw Duennschichttechnik Und Mi | Druckaufnehmer, insbesondere zur Zylinderdruckmessung bei Motoren und Verfahren zur Herstellung desselben |
US6848316B2 (en) * | 2002-05-08 | 2005-02-01 | Rosemount Inc. | Pressure sensor assembly |
DE10360941A1 (de) * | 2003-12-23 | 2005-07-28 | Sensor-Technik Wiedemann Gmbh | Rohrförmiger Drucksensor |
JP4244861B2 (ja) * | 2004-05-17 | 2009-03-25 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
DE102005047535B4 (de) * | 2005-09-30 | 2007-11-29 | Eads Deutschland Gmbh | Verwendung eines Hochtemperatur-Drucksensors in einem Triebwerkselement |
DE102005050502B3 (de) * | 2005-10-21 | 2007-04-05 | Giese, Erhard, Dr. | Glühkerze für einen Dieselmotor |
EP1843138B1 (fr) * | 2006-04-06 | 2012-05-16 | Sauer-Danfoss ApS | Vis comportant une couche de matériau conducteur formant un capteur |
AT505077B1 (de) * | 2008-06-06 | 2010-01-15 | Avl List Gmbh | Messeinrichtung |
US9354132B2 (en) | 2009-02-12 | 2016-05-31 | Continental Automotive Systems, Inc. | Jointless pressure sensor port |
US8365605B2 (en) * | 2009-02-12 | 2013-02-05 | Continental Automotive Systems, Inc. | Jointless pressure sensor port |
US8683851B2 (en) * | 2010-11-17 | 2014-04-01 | General Electric Company | Device for monitoring machine interior |
US8820148B2 (en) | 2010-11-17 | 2014-09-02 | General Electric Company | External casing functional access port |
DE102012103585A1 (de) * | 2012-04-24 | 2013-10-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmessaufnehmer |
WO2015066310A1 (fr) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | Lime Instruments Llc | Ensemble capteur pour mesure de pression dynamique dans des pompes alternatives |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1069435A (en) * | 1963-05-21 | 1967-05-17 | G V Planer Ltd | Electromechanical transducer device |
FR2497346A1 (fr) * | 1980-12-31 | 1982-07-02 | Gi Teploene | Transducteur extensometrique a semi-conducteurs |
DE3139837A1 (de) * | 1980-11-11 | 1983-04-21 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Sensor |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3150274A (en) * | 1959-10-02 | 1964-09-22 | List Hans | Piezoelectric pressure transducer |
AT268724B (de) * | 1967-05-11 | 1969-02-25 | Piezoelektrische Meßeinrichtung | |
DE2940955A1 (de) * | 1979-10-09 | 1981-04-23 | Gosudarstvennyj naučno-issledovatel'skij institut teploenergetičeskogo priborostroenija, Moskva | Halbleiter-dehnungswandler |
US4373399A (en) * | 1981-02-05 | 1983-02-15 | Beloglazov Alexei V | Semiconductor strain gauge transducer |
JPS59217375A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体機械−電気変換装置 |
-
1986
- 1986-05-14 DE DE3616308A patent/DE3616308C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-05-07 US US07/047,987 patent/US4753109A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-05-13 IT IT20499/87A patent/IT1204601B/it active
- 1987-05-14 FR FR878706800A patent/FR2598804B1/fr not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1069435A (en) * | 1963-05-21 | 1967-05-17 | G V Planer Ltd | Electromechanical transducer device |
DE3139837A1 (de) * | 1980-11-11 | 1983-04-21 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Sensor |
FR2497346A1 (fr) * | 1980-12-31 | 1982-07-02 | Gi Teploene | Transducteur extensometrique a semi-conducteurs |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0472219A2 (fr) * | 1990-08-24 | 1992-02-26 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Dispositif de détection de la pression d'un moteur à combustion interne |
EP0472219A3 (en) * | 1990-08-24 | 1992-12-09 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Device for detecting combustion pressure of an internal combustion engine |
FR2870340A1 (fr) * | 2004-05-17 | 2005-11-18 | Denso Corp | Dispositif de detection de pression |
EP1790964B1 (fr) * | 2005-11-29 | 2017-08-23 | Sensata Technologies, Inc. | Agencement de capteurs pour mesurer une pression et une température dans un fluide |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3616308A1 (de) | 1987-11-19 |
FR2598804B1 (fr) | 1990-09-07 |
US4753109A (en) | 1988-06-28 |
DE3616308C2 (de) | 1995-09-21 |
IT1204601B (it) | 1989-03-10 |
IT8720499A0 (it) | 1987-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2598804A1 (fr) | Capteur pour la determination de phenomenes physiques dans la chambre de combustion d'un moteur a combustion interne | |
FR2858053A1 (fr) | Capteur de pression pour chambre de combustion, comportant une membrane metallique munie d'une couche metallique mince piezoresistive | |
FR2465224A1 (fr) | Dispositif electrochimique de mesure pour determiner la teneur en oxygene dans des gaz, notamment dans les gaz d'echappement de moteurs a combustion interne | |
EP1133683B1 (fr) | Capteur de pression a membrane comportant du carbure de silicium et procede de fabrication | |
FR2872281A1 (fr) | Capteur de pression | |
JP3409853B2 (ja) | 測定装置の製造方法 | |
FR2539873A1 (fr) | Thermometre clinique electronique a reponse rapide | |
FR2824114A1 (fr) | Bougie d'allumage contenant un capteur de la pression de combustion | |
WO2010007266A1 (fr) | Detecteur bolometrique d'ondes electromagnetiques | |
FR2869600A1 (fr) | Capteur combine de pressions relative et absolue | |
FR2670579A1 (fr) | Capteur semi-conducteur de debit. | |
EP1721136A1 (fr) | Procede de realisation d'un dispositif pour la detection thermique d'un rayonnement comportant un microbolometre actif et un microbolometre passif | |
EP0447295A1 (fr) | Elément sensible à la temperature, et sonde de mesure comportant un tel élément | |
FR2820202A1 (fr) | Capteur de pression et moteur de fusee l'incorporant | |
WO2001077618A1 (fr) | Inclinometre a reseau de bragg | |
EP0171300B1 (fr) | Dispositif pour la détermination du pointe de trouble d'un gazole | |
FR2576688A1 (fr) | Dispositif de mesure de la conductivite thermique de gaz | |
FR2740217A1 (fr) | Capteur de pression | |
FR2939892A1 (fr) | Detecteur de gaz comportant un transistor a effet de champ | |
EP0757234A1 (fr) | Assemblage d'un détecteur à infrarouge avec compensation thermique | |
FR2796718A1 (fr) | Capteur de temperature et procede de fabrication de celui-ci | |
FR2875300A1 (fr) | Capteur de force en forme d'aiguille | |
FR2916273A1 (fr) | Dispositif de capteur pour mesurer une pression | |
FR2509856A1 (fr) | Capteur de pression differentielle | |
FR2611043A1 (fr) | Capteur de pression a jauges piezoresistives |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TP | Transmission of property | ||
ST | Notification of lapse |