FR2577320A1 - Detecteur de gaz a plusieurs elements detecteurs. - Google Patents

Detecteur de gaz a plusieurs elements detecteurs. Download PDF

Info

Publication number
FR2577320A1
FR2577320A1 FR8601927A FR8601927A FR2577320A1 FR 2577320 A1 FR2577320 A1 FR 2577320A1 FR 8601927 A FR8601927 A FR 8601927A FR 8601927 A FR8601927 A FR 8601927A FR 2577320 A1 FR2577320 A1 FR 2577320A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
support
detector
elements
detectors
gas detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR8601927A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2577320B1 (fr
Inventor
Werner Hagen
Habil Johannes Lagois
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Draegerwerk AG and Co KGaA
Original Assignee
Draegerwerk AG and Co KGaA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Draegerwerk AG and Co KGaA filed Critical Draegerwerk AG and Co KGaA
Publication of FR2577320A1 publication Critical patent/FR2577320A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2577320B1 publication Critical patent/FR2577320B1/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0031—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array
    • G01N33/0032—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array using two or more different physical functioning modes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

Ce détecteur comprend plusieurs éléments détecteurs disposés sur un support commun et un dispositif de chauffage pour procurer la température de fonctionnement nécessaire à la mesure, réunis sur un support commun, les éléments détecteurs ayant une consommation de puissance aussi réduite que possible et une sensibilité de réponse aussi forte que possible, qui fournissent les valeurs de mesure désirée d'une manière différente. Pour obtenir ce résultat, sont disposés sur la même surface du support 1 aussi bien les éléments détecteurs se présentant sous forme de détecteurs à semiconducteur à couche mince 2, 3 que d'autres éléments détecteurs 6, 7 sur une partie amincie 4, 5 du support. (CF DESSIN DANS BOPI)

Description

"Détecteur de gaz à plusieurs éléments détecteurs" L'invention concerne un
détecteur de gaz comprenant plusieurs éléments détecteurs montés sur un support commun, un dispositif de chauffage pour produire la température de fonctionnement nécessaire à la mesure et des capteurs de température. Un détecteur de ce type est connu par le brevet
US 4 007 435.
Le détecteur de gaz connu comprend une première couche de support sur laquelle est disposé le dispositif de chauffage, et une seconde couche de support sur laquelle sont disposés divers éléments détecteurs. Le dispositif de chauffage ainsi que les éléments détecteurs sont munis de
contacts et d'éléments conducteurs appropriés pour consti-
tuer des raccords électriques. Pour le fonctionnement, les deux couches sont amenées en contact mutuel étroit, de manière que la couche inférieure comprenant le dispositif
de chauffage amène la couche située au-dessus et compre-
nant les éléments détecteurs à la température de fonction-
nement nécessaire à la mesure. Comme les éléments détec-
teurs servent à détecter des composants gazeux, contenus par exemple dans les gaz d'échappement d'automobiles, il faut que leurs surfaces soient exposées librement au courant
gazeux et il en résulte qu'une autre disposition des cou-
ches n'est pas possible. Un agrandissement du détecteur de
gaz connu en utilisant d'autres éléments détecteurs augmen-
terait la surface de la seconde couche de support, ceci ayant pour conséquence une augmentation correspondante de la surface de la première couche de support comportant le
dispositif de chauffage.
Du fait de la constitution en couches du détecteur de gaz connu, il faut disposer de puissances de chauffage relativement élevées pour amener les éléments détecteurs à leur température de fonctionnement ou les maintenir à la valeur de la température qui a été atteinte. En outre,
il n'est pas possible, avec l'agencement connu, de dispo-
ser par exemple des détecteurs de chaleur de réaction
(pellistors) sur la seconde couche qui supporte les élé-
ments détecteurs car, du fait de la masse relativement
importante de la couche de support, des modifications seu-
lement minimes de la température ne pourraient plus être enregistrées dans de tels cas en raison de la dissipation
de la chaleur.
Le but de la présente invention est de perfectionner un détecteur de gaz du type précité de manière que plusieurs o10 éléments détecteurs qui fonctionnent selon des principes
de mesure différents, tels que des détecteurs à semiconduc-
teur ou des pellistors, soient disposés sur un support com-
mun, les détecteurs étant exposés au mélange gazeux à
détecter. Elle vise en outre à diminuer la puissance calo-
rifigue nécessaire pour obtenir les températures de fonc-
tionnement et à augmenter la vitesse de réponse des détec-
teurs concernés grâce à la masse réduite du matériau détec-
teur et du substrat de support.
Ce but est atteint du fait que les éléments détec-
teurs sont disposés sur un côté du support sous forme de détecteurs à semiconducteur à couche mince et que d'autres éléments détecteurs sont disposés sur une partie amincie
du support.
Les avantages de l'invention résident dans le fait
que les éléments détecteurs constitués sous forme de détec-
teurs à semiconducteur à couche mince n'ont besoin que d'un support à paroi mince, et que leur conformation peut être adaptée aux conditions rencontrées par une forme et des dimensions quelconques. Toutes les surfaces de contact destinées à l'alimentation de tension ou à l'émission des
signaux peuvent être intégrées dans le détecteur à semi-
conducteur. Le détecteur disposé sur la partie du support à paroi amincie est largement séparé thermiquement du matériau du support qui l'entoure, ce qui fait que l'on peut enregistrer un signal pratiquement non perturbé au
moyen des autres détecteurs à semiconducteur.
Le montage de détecteurs de chaleur de réaction sur la partie du support à paroi amincie se révèle comme particulièrement avantageux du fait que ces détecteurs sont
séparés thermiquement des autres détecteurs.
Selon un autre mode de réalisation de l'invention,
les détecteurs de chaleur peuvent être montés sur des élé-
ments en saillie constitués sous forme de languettes, qui sont prévues à une extrémité du support. Leur isolation
thermique s'en trouve renforcée et la puissance calorifi-
que nécessaire est plus faible.
Avantageusement, les détecteurs de chaleur de réac-
tion peuvent être munis chacun, en tant qu'élément de
mesure, d'un catalyseur, ou constitués sous forme d'un élé-
ment de référence sans catalyseur. Du fait de leur position voisine, les signaux de mesure peuvent être évalués avec une plus grande précision-. De même, il est possible de munir divers détecteurs de chaleur de réaction de catalyseurs différents pour détecter en même temps des composants
gazeux différents.
Pour augmenter la chaleur appliquée aux éléments détecteurs et diminuer la puissance thermique nécessaire à cet effet, les éléments conducteurs sont disposés contre la partie indicatrice sensible des éléments détecteurs sous forme de méandres ou en étant entrelacés d'une manière quelconque. Les électrodes des détecteurs à semiconducteur
sont avantageusement montées à la manière de peignes s'em-
boîtant l'un dans l'autre.
Un exemple de réalisation de ce détecteur est décrit' ci-après en référence au dessin schématique annexé dont la figure unique représente deux détecteurs à semiconducteur
2 et 3 montés sur un support 1 et des détecteurs de cha-
leur de réaction 6 et 7 montés sur des prolongements en
forme de languettes 4 et 5. Les détecteurs à semiconduc-
teur 2 et 3 comprennent des électrodes en forme de peignes 12 et 13, qui sont entourées par des éléments conducteurs de chaleur 14 et 15 entrelacés les uns dans les autres en forme de méandres ainsi que par un capteur de température 17. Lee surfaces de contact 16 des électrodes 12, 13, les éléments conducteurs de chaleur 14, 15 et les capteurs de température 17 sont tous montés sur le support 1. Parmi les détecteurs de chaleur de réaction 6 et 7, l'un d'entre eux est muni d'un catalyseur 8. Les deux détecteurs 6 et 7 comprennent sur leur partie sensible et détectrice des éléments conducteurs de chaleur en forme de méandres 9 et qui se terminent par des surfaces de contact de forme
plate 11 sur le substrat 1.

Claims (6)

- REVENDICATIONS -
1.- Détecteur de gaz comprenant plusieurs éléments détecteurs montés sur un support commun, un dispositif de chauffage pour obtenir la température de fonctionnement nécessaire à la mesure et des capteurs de température, caractérisé en ce qu'aussi bien les éléments détecteurs constitués sous forme de détecteurs à semiconducteur à couche mince (2,3) que d'autres éléments détecteurs (6,7)
disposés sur une partie amincie du support (4,5) sont dis-
posés sur la même surface du support (1).
2.- Détecteur de gaz selon la revendication 1, caractérisé en ce que les éléments détecteurs (6,7) sont constitués sous forme de détecteurs de chaleur de réaction chauffables.
3.- Détecteur de gaz selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie amincie de support (4,5) est constituée sous forme de prolongements en forme de
languettes, à une extrémité du support (1).
4.- Détecteur de gaz selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'un des détecteurs de chaleur de réaction est muni, en tant qu'élément de mesure (6), d'un catalyseur (8) et l'autre détecteur sans catalyseur est
prévu en tant qu'élément de référence (7).
5.- Détecteur de gaz selon les revendications 2 et
3, caractérisé en ce que les dispositifs de chauffage pour les détecteurs de chaleur de réaction (6,7) sont disposés
sous forme d'éléments conducteurs (9,10) en forme de méan-
dres sur les prolongements (4,5), dont les surfaces de con-
tact (11) se terminent sur le support commun (1).
6.- Détecteur de gaz selon la revendication 1, caractérisé en ce que les détecteurs à semiconducteur (2, 3) comprennent des électrodes (12,13) en forme de peignes
s'emboîtant l'une dans l'autre, qui sont disposées à pro-
ximité des éléments conducteurs de chaleur (14,15) entre-
lacées et de capteurs de température (17).
FR868601927A 1985-02-09 1986-02-05 Detecteur de gaz a plusieurs elements detecteurs. Expired FR2577320B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19853504498 DE3504498A1 (de) 1985-02-09 1985-02-09 Gassensor mit mehreren sensorelementen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2577320A1 true FR2577320A1 (fr) 1986-08-14
FR2577320B1 FR2577320B1 (fr) 1989-04-07

Family

ID=6262124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR868601927A Expired FR2577320B1 (fr) 1985-02-09 1986-02-05 Detecteur de gaz a plusieurs elements detecteurs.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4654624A (fr)
JP (1) JPS61186847A (fr)
DE (1) DE3504498A1 (fr)
FR (1) FR2577320B1 (fr)
GB (1) GB2170913B (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1621882A2 (fr) 2004-06-03 2006-02-01 UST Umweltsensortechnik GmbH Procédé et dispositif de détection des gaz combustibles et d'hydrogène en particulier

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3724966C3 (de) * 1986-07-29 1996-03-21 Sharp Kk Sensor
JP2714006B2 (ja) * 1988-07-06 1998-02-16 大阪瓦斯株式会社 ガスセンサ
DE3826263A1 (de) * 1988-08-02 1990-02-08 Siemens Ag Anordnung zur messung der konzentrationen von komponenten in einem gasgemisch unter verwendung von nicht selektiven gassensoren
US4992244A (en) * 1988-09-27 1991-02-12 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Films of dithiolene complexes in gas-detecting microsensors
DE4006055A1 (de) * 1989-02-27 1990-08-30 Ricoh Kk Steuereinrichtung fuer ein kopiergeraet
JPH0320658A (ja) * 1989-03-30 1991-01-29 Ricoh Co Ltd 多ガス識別ガス検出装置
US5045285A (en) * 1989-09-05 1991-09-03 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Gaseous component identification with polymeric film sensor
US5057436A (en) * 1989-10-02 1991-10-15 Agmaster, Inc. Method and apparatus for detecting toxic gases
JP3102879B2 (ja) * 1989-10-17 2000-10-23 エー．テー．エル．エレクトローニク テヒノロギー ルンプ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ガスセンサー装置
DE59004506D1 (de) * 1989-11-04 1994-03-17 Dornier Gmbh Selektiver Gassensor.
IT1241405B (it) * 1990-03-02 1994-01-14 Eniricerche Spa Sensori di gas per determinare idrocarburi gassosi realizzati con film sottili di ossido di stagno
DE4020383C2 (de) * 1990-06-27 1999-04-01 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Schutz von Katalysatoren für die Abgasreinigung sowie Wärmetönungssensor zur Durchführung des Verfahrens
ATE196687T1 (de) * 1991-01-30 2000-10-15 Heraeus Electro Nite Int Vorrichtung zum kontinuierlichen überwachen der konzentrationen von gasförmigen bestandteilen in gasgemischen
EP0606269B1 (fr) * 1991-09-30 1997-01-15 Siemens Aktiengesellschaft Detecteur de gaz d'echappement en technologie planaire pour le reglage de moteurs de vehicules automobiles
DE4132680C2 (de) * 1991-10-01 1994-02-10 Draegerwerk Ag Atemschutzmaske mit Innenhalbmaske und Schadstoffindikator
US5232667A (en) * 1992-05-21 1993-08-03 Diametrics Medical, Inc. Temperature control for portable diagnostic system using a non-contact temperature probe
DE4423289C1 (de) * 1994-07-02 1995-11-02 Karlsruhe Forschzent Gassensor für reduzierende oder oxidierende Gase
SE512866C2 (sv) * 1995-02-21 2000-05-29 Volvo Ab Anordning för analys av avgaser
GB9512929D0 (en) * 1995-06-24 1995-08-30 Sun Electric Uk Ltd Multi-gas sensor systems for automatic emissions measurement
US6709635B1 (en) * 1996-03-21 2004-03-23 California Institute Of Technology Gas sensor test chip
US5795545A (en) * 1996-05-20 1998-08-18 Motorola Inc. Integrated ceramic exhaust gas sensors
US6114674A (en) * 1996-10-04 2000-09-05 Mcdonnell Douglas Corporation Multilayer circuit board with electrically resistive heating element
US5989398A (en) * 1997-11-14 1999-11-23 Motorola, Inc. Calorimetric hydrocarbon gas sensor
DE19957991C2 (de) * 1999-12-02 2002-01-31 Daimler Chrysler Ag Anordnung einer Heizschicht für einen Hochtemperaturgassensor
US6544477B1 (en) 2000-08-01 2003-04-08 Regents Of The University Of Minnesota Apparatus for generating a temperature gradient
DE10042000A1 (de) * 2000-08-26 2002-05-16 Bosch Gmbh Robert Heizeinrichtung, insbesondere für ein Sensorelement zur Analyse von Gasen
DE10131581B4 (de) * 2000-09-12 2008-04-03 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung und Überprüfung von Verbundanordnungen
US20020142478A1 (en) * 2001-03-28 2002-10-03 Hiroyuki Wado Gas sensor and method of fabricating a gas sensor
CA2453820A1 (fr) * 2001-07-16 2003-01-30 Sensor Tech, Inc. Detecteur et procede associe d'analyse qualitative et quantitative de substances en phase gazeuse
US6890757B2 (en) * 2002-05-24 2005-05-10 International Technidyne Corporation Portable diagnostic system
GB2395561B (en) * 2002-11-19 2006-03-08 Qinetiq Ltd Fluid temperature measurement
US7204130B2 (en) * 2002-12-03 2007-04-17 Ppg Industries Ohio, Inc. Windshield moisture detector
EP1649270A1 (fr) * 2003-07-25 2006-04-26 paragon AG Capteur de gaz et procede de fabrication
DE112005000249B4 (de) * 2004-01-27 2014-10-16 H2Scan Corp. Dünnschichtgassensorkonfiguration
DE102004034192A1 (de) 2004-07-14 2006-02-09 Heraeus Sensor Technology Gmbh Hochtemperaturstabiler Sensor
US20060211123A1 (en) * 2005-03-18 2006-09-21 Ker Eric L Sensing element and method of making
US7611612B2 (en) * 2005-07-14 2009-11-03 Ceramatec, Inc. Multilayer ceramic NOx gas sensor device
US7937984B2 (en) * 2006-12-29 2011-05-10 Honeywell International Inc. Gas sensor test system and methods related thereto
US8564434B2 (en) * 2009-12-30 2013-10-22 Koninklijke Philips N.V. Baby monitoring systems
DE102018108723A1 (de) * 2018-04-12 2019-10-17 Tdk Corporation Sensorvorrichtung, Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung und elektronische Baugruppe, die eine Sensorvorrichtung aufweist

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56168544A (en) * 1980-05-30 1981-12-24 Toyota Motor Corp Resistor type gas sensor
JPS58106451A (ja) * 1981-12-18 1983-06-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガス検知素子
US4453151A (en) * 1982-06-07 1984-06-05 Leary David J Semiconductor gas sensor

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3240693A (en) * 1961-08-28 1966-03-15 Beckman Instruments Inc Hygrometer
US3223609A (en) * 1961-10-30 1965-12-14 Beckman Instruments Inc Hygrometer
US3260656A (en) * 1962-09-27 1966-07-12 Corning Glass Works Method and apparatus for electrolytically determining a species in a fluid
US3474022A (en) * 1967-09-14 1969-10-21 Atomic Energy Commission Alarm system for uf6 in air
FR2147344A5 (fr) * 1970-12-31 1973-03-09 Hoffmann La Roche
US4007435A (en) * 1973-07-30 1977-02-08 Tien Tseng Ying Sensor device and method of manufacturing same
DE2617031A1 (de) * 1976-04-01 1977-11-03 Battelle Institut E V Elektrochemischer sensor zur messung des brennstoff/luftverhaeltnisses in gasgemischen
US4076596A (en) * 1976-10-07 1978-02-28 Leeds & Northrup Company Apparatus for electrolytically determining a species in a fluid and method of use
DE2718907C2 (de) * 1977-04-28 1984-04-12 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Abgasen
GB2064126A (en) * 1979-11-22 1981-06-10 Philips Electronic Associated Method of making humidity sensors
JPS5851264B2 (ja) * 1980-03-24 1983-11-15 東京シリコ−ン株式会社 熱定着ロ−ラ−
US4469626A (en) * 1980-05-15 1984-09-04 The Bendix Corporation Composition and method for forming a thick film oxygen sensing element
JPS5766347A (en) * 1980-10-09 1982-04-22 Hitachi Ltd Detector for mixture gas
JPS57178147A (en) * 1981-04-27 1982-11-02 Nippon Soken Inc Detector for gaseous component
JPS58103654A (ja) * 1981-12-16 1983-06-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多機能ガスセンサ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56168544A (en) * 1980-05-30 1981-12-24 Toyota Motor Corp Resistor type gas sensor
JPS58106451A (ja) * 1981-12-18 1983-06-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガス検知素子
US4453151A (en) * 1982-06-07 1984-06-05 Leary David J Semiconductor gas sensor

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENTS ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 6, no. 53 (P-109)[931] 8 avril 1982; & JP-A-56 168 544 (TOYOTA JIDOSHA KOGYO K.K.) 24-12-1981 *
PATENTS ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 7, no. 212 (P-224)[1357], 20 septembre 1983; & JP-A-58 106 451 (MATSUSHITA DENKI SANGYO K.K.) 24-06-1983 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1621882A2 (fr) 2004-06-03 2006-02-01 UST Umweltsensortechnik GmbH Procédé et dispositif de détection des gaz combustibles et d'hydrogène en particulier
EP1621882A3 (fr) * 2004-06-03 2007-09-12 UST Umweltsensortechnik GmbH Procédé et dispositif de détection des gaz combustibles et d'hydrogène en particulier

Also Published As

Publication number Publication date
GB8602789D0 (en) 1986-03-12
GB2170913A (en) 1986-08-13
FR2577320B1 (fr) 1989-04-07
US4654624A (en) 1987-03-31
JPS61186847A (ja) 1986-08-20
DE3504498A1 (de) 1986-08-14
GB2170913B (en) 1988-02-10
DE3504498C2 (fr) 1989-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2577320A1 (fr) Detecteur de gaz a plusieurs elements detecteurs.
EP1715315B1 (fr) Détecteur bolométrique, dispositif de détection d'ondes électromagnétiques submillimétriques et millimétriques mettant en oeuvre un tel détecteur
US6046398A (en) Micromachined thermoelectric sensors and arrays and process for producing
Syllaios et al. Amorphous silicon microbolometer technology
AU2001278843B2 (en) Microbolometer and method for forming
KR101537139B1 (ko) 가열 여진을 이용한 열전도형 기압 센서
CA2380477C (fr) Capteur de gaz avec dispositifs de chauffage en phase pour une sensibilite accrue
US20120161253A1 (en) Gas sensor and manufacturing method thereof
FR2866955A1 (fr) Detecteur d'humidite de type capacitif
WO2005085782A1 (fr) Procede de realisation d’un dispositif pour la detection thermique d’un rayonnement comportant un microbolometre actif et un microbolometre passif
WO2004068454A2 (fr) Structure de pixel et procede de fabrication associe
JP2001099801A (ja) 接触燃焼式ガスセンサ
FR2576688A1 (fr) Dispositif de mesure de la conductivite thermique de gaz
FR2888933A1 (fr) Capteur de conductivite thermique, procede de fabrication et procede de mise en oeuvre du capteur
US6662429B1 (en) Device for measuring the filling level in a container using thermoelements
EP0760941B1 (fr) Systeme de caracterisation thermomecanique de materiaux utilisant un dispositif de chauffage rapide par induction
FR2774471A1 (fr) Element de detection pour un capteur de mesure electrochimique
JP2007225612A (ja) レベル・センサおよびその作動方法、およびその製造方法およびその使用法
EP2690434A1 (fr) Micro-dispositif d'analyse par chromatographie en phase gazeuse compact comprenant au moins un module thermoélectrique
US6863438B2 (en) Microstructured thermosensor
US6437331B1 (en) Bolometer type infrared sensor with material having hysterisis
Manginell et al. Overview of micromachined platforms for thermal sensing and gas detection
FR2643717A1 (fr) Procede et dispositif de mesure de la resistance thermique d'un corps presentant une faible resistance thermique
EP0187723A2 (fr) Procédé et capteur de mesure perfectionnés, basés sur l'utilisation d'un thermocouple
FR2741445A1 (fr) Capteur pour gaz d'echappement et disposition de circuit pour ce capteur

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse