FR2558078A1 - APPARATUS FOR CHEMICALLY REMOVING SOLID MATERIAL FROM WORKPIECES DURING CHEMICAL TREATMENT IN A LIQUID - Google Patents
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Abstract
L'INVENTION CONCERNE UN APPAREIL POUR RETIRER CHIMIQUEMENT UNE MATIERE SOLIDE DE PIECES EN COURS DE TRAITEMENT CHIMIQUE DANS UN LIQUIDE. L'APPAREIL 10 COMPORTE UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT DANS LAQUELLE DES PIECES A SONT SOUMISES A UN TRAITEMENT A L'AIDE D'UNE SOLUTION CHIMIQUE EN PASSANT AU-DESSUS DE FILTRES 36, 37 QUI LAISSENT PASSER LA SOLUTION CHIMIQUE TOMBANT DES PIECES A, MAIS RETIENNENT LES MATIERES SOLIDES ENLEVEES PAR CETTE SOLUTION. LES DISPOSITIFS 41, 42 DE LAVAGE DES FILTRES 36, 37 RETIRENT PERIODIQUEMENT LA MATIERE SOLIDE ACCUMULEE EN LA FAISANT PASSER DANS UNE GOUTTIERE 40 D'EVACUATION. APPLICATIONS : FABRICATION DES PLAQUETTES ET CARTES A CIRCUITS IMPRIMES, ETC.THE INVENTION RELATED TO AN APPARATUS FOR CHEMICALLY REMOVING SOLID MATERIAL FROM PARTS UNDER CHEMICAL TREATMENT IN A LIQUID. THE APPARATUS 10 INCLUDES A TREATMENT CHAMBER IN WHICH PARTS HAVE BEEN SUBJECT TO TREATMENT WITH A CHEMICAL SOLUTION BY GOING OVER FILTERS 36, 37 WHICH ALLOW THE CHEMICAL SOLUTION DROPPING PARTS A, BUT RETAIN SOLIDS REMOVED BY THIS SOLUTION. THE DEVICES 41, 42 FOR WASHING THE FILTERS 36, 37 PERIODICALLY REMOVE THE SOLID MATERIAL ACCUMULATED BY MAKING IT PASS THROUGH A DRAIN 40 FOR EVACUATION. APPLICATIONS: MANUFACTURE OF PRINTED CIRCUIT BOARDS AND BOARDS, ETC.
Description
L'invention s'applique à l'industrie élec-The invention applies to the electrical industry
tronique, et plus particulièrement aux procédés industriels qui sont apparus pour la fabrication de plaquettes à circuits imprimés, de feuilles à circuits imprimés et pour le traitement de pièces analogues. Dans cette industrie et dans les domaines annexes tels que la réalisation industrielle de dépôts électrolytiques, il est devenu courant que dans le cas o une pièce doit être traitée, si certaines parties de la pièce ne sont pas à traiter, par exemple par attaque chimique, déposition ou autres, un écran est appliqué sur ces parties qui ne sont pas à traiter, sous la forme d'un revêtement de matière destiné à être retiré par la suite. En général, dans les cas o un dépôt électrolytique ou une attaque chimique constituent les traitements concernés, le revêtement se présente sous la forme d'un masque qui est appliqué sur la plaquette à circuit imprimé ou autre pièce, lequel masque empêche le fluide de traitement, généralement liquide, d'exercer une action chimique quelconque, par exemple une attaque ou un dépôt, sur l'article, aux emplacements o le masque est appliqué. Ceci est dû au fait que le masque est généralement appliqué sélectivement uniquement sur les parties de la pièce ne devant pas être traitées. Une fois que l'opération d'attaque, de déposition ou autre est achevée, le masque est soumis à un traitement chimique par tronic, and more particularly to industrial processes that have emerged for the manufacture of printed circuit boards, printed circuit boards and for the treatment of like parts. In this industry and in related fields such as the industrial production of electrolytic deposits, it has become commonplace that in the case where a part has to be treated, if certain parts of the part are not to be treated, for example by etching, deposition or the like, a screen is applied to those parts that are not to be treated, in the form of a coating of material to be removed later. In general, in cases where electrolytic deposition or etching constitute the treatments concerned, the coating is in the form of a mask which is applied to the printed circuit board or other part, which mask prevents the treatment fluid , generally liquid, to exert any chemical action, for example an attack or a deposit, on the article at the locations where the mask is applied. This is because the mask is generally applied selectively only to parts of the part not to be processed. Once the attack, deposition or other operation is completed, the mask is subjected to chemical treatment by
l'application d'une solution afin qu'il soit retiré chimi- the application of a solution so that it is removed chemically
quement de la pièce. En général, cette solution est une solution acide ou alcaline qui décompose le masque et le sépare de la pièce, souvent pendant que cette dernière est transportée à travers une chambre de pulvérisation de solution. Dans le passé, un grand nombre de ces solutions chimiques retirant les masques, revêtements ou autres, possédait une structure chimique telle qu'elles dissolvaient le masque dans la solution. Lorsqu'il en est ainsi, la matière du masque peut s'accumuler dans la solution jusqu'à ce qu'elle atteigne une concentration atteignant un niveau inacceptable, auquel cas la solution peut, soit être rejetée, the room. In general, this solution is an acidic or alkaline solution that breaks down the mask and separates it from the workpiece, often while the workpiece is being transported through a solution spray chamber. In the past, many of these chemical solutions removing masks, coatings or the like, had a chemical structure that dissolve the mask in the solution. When this is the case, the mask material can accumulate in the solution until it reaches a concentration reaching an unacceptable level, in which case the solution can either be rejected,
soit être soumise à une opération ultérieure de régéné- be subjected to a subsequent operation of regeneration
ration. Dans le passé, un grand nombre de ces masques était du type soluble dans l'eau, ce qui les conduisait à ration. In the past, many of these masks were of the water-soluble type, which led them to
être rejetés aux égouts, avec les solutions. to be rejected to the sewers, with the solutions.
La plus grande considération apportée à l'environnement a conduit le développement d'autres masques ou revêtements, dont certains ne sont pas solubles dans l'eau, tels que des polymères et autres, y compris des The greater consideration given to the environment has led to the development of other masks or coatings, some of which are not soluble in water, such as polymers and others, including
masques qui ne sont pas non plus solubles dans les solu- masks that are not soluble in the solu-
tions utilisées pour les retirer des pièces sous-jacentes telles que des plaquettes à circuit imprimé ou autres. Ainsi, bien que les produits chimiques utilisés pour séparer les polymères ou autres masques de plaquettes ou autres pièces soient capables de retirer rapidement les masques des pièces, ils laissent la matière retirée souvent dans une plage d'états physiques allant d'une consistance gélatineuse à celle de particules telles que des paillettes ou des pellicules relativement inertes, qui peuvent rester dans la solution used to remove them from underlying parts such as printed circuit boards or others. Thus, although the chemicals used to separate polymers or other wafer masks or other parts are capable of rapidly removing masks from the pieces, they leave the material removed often in a range of physical states ranging from gelatinous to that of particles such as flakes or relatively inert films, which can remain in the solution
presque indéfiniment, sans se dissoudre. almost indefinitely, without dissolving.
Avec le développement croissant de l'industrie électronique, une demande toujours croissante a porté sur le développement d'appareils de traitement de pièces capables d'effectuer un traitement automatique à grande vitesse, en particulier sur des plaquettes à circuit imprimé et autres. Ceci fait nécessairement apparaître l'exigence de vitesses élevées pour le traitement de pellicules et de débris résultant de l'élimination des réserves d'attaque chimique et de dépôt ou des masques des panneaux. Ceci entraîne nécessairement une demande en vitesses de traitement plus élevées pour l'élimination des résidus accumulés, provenant des solutions qui ont été utilisées pour retirer With the increasing development of the electronics industry, an ever increasing demand has focused on the development of coin processing machines capable of high speed automatic processing, particularly on printed circuit boards and the like. This necessarily implies the requirement of high speeds for the treatment of films and debris resulting from the elimination of chemical etch resistances and deposition or masks of the panels. This necessarily results in a demand for higher processing speeds for the removal of accumulated residues from solutions that have been used to remove
les masques des pièces.the masks of the pieces.
Dans le passé, dans la plupart des cas de filtration, le filtrat ou gâteau de filtre est perméable, ce qui permet à l'action du filtre de continuer jusqu'à ce que l'accumulation de l'agrégat:z du filtrat ralentisse le passage du liquide jusqu'à un niveau inefficace. Par exemple, le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 3 776 800 décrit un filtre amovible utilisé pour éliminer des particules d'une solution d'attaque chimique. De plus, l'élimination des réserves et autres masques de pièces à traiter est décrite dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 015 706 qui mentionne également certaines fonctions de traitement auxquelles la présente invention s'adresse. In the past, in most cases of filtration, the filtrate or filter cake is permeable, which allows the action of the filter to continue until the accumulation of the aggregate: z of the filtrate slows down the passage of the liquid to an inefficient level. For example, U.S. Patent No. 3,776,800 discloses a removable filter used to remove particles from a chemical etching solution. In addition, the removal of resistances and other masks of workpieces is described in US Pat. No. 4,015,706 which also mentions certain processing functions to which the present invention is directed.
Dans le cas de certains masques ou de cer- In the case of certain masks or cer-
taines réserves, en particulier lorsqu'ils sont en polymère, certain reserves, especially when they are made of polymer,
la présence de pellicules, de paillettes, etc., qui pro- the presence of dandruff, flakes, etc., which
viennent du polymère ou autre masque, peut rendre le tamis ou autre filtre inopérant, en l'obturant ou l'engorgeant, du fait de l'aptitude de ces pellicules ou paillettes à se come from the polymer or other mask, can render the sieve or other filter inoperative, by closing or clogging it, because of the ability of these films or flakes to
fixer d'elles-mêmes au tamis ou autre filtre. attach themselves to the sieve or other filter.
Lorsque l'on souhaite séparer des particules de liquides, il est connu d'utiliser certaines formes de tamis ou filtres à nettoyage automatique, par exemple par vibration, afin que les particules en soient retirées, par des techniques d'écoulement inverse, ou par interruption du travail pour permettre l'enlèvement des particules de When it is desired to separate particles from liquids, it is known to use certain forms of screens or filters for automatic cleaning, for example by vibration, so that the particles are removed by reverse flow techniques, or by interruption of work to allow the removal of particles from
l'agrégat, d'une façon générale. aggregate, in a general way.
L'invention concerne un appareil destiné au traitement de divers articles, y compris les plaquettes à circuits imprimés, pour en retirer un masque ou une réserve, ou autre revêtement, et pour faciliter la régénération de la solution réalisant chimiquement le retrait. A cet effet, il est prévu un appareil de séparation comportant un ou plusieurs tamis ou filtres pouvent être traversés par la solution sensiblement débarrassée des particules, en même temps que cette solution lave le tamis afin d'empêcher des particules, des paillettes, etc., de s'accumuler dans les pores du tamis ou du filtre, les particules, ainsi retirées du tamis ou du filtre par lavage, étant ensuite collectées, An apparatus for treating various articles, including printed circuit boards, to remove a mask or resist, or other coating, and to facilitate the regeneration of the chemically shrinkable solution. For this purpose, there is provided a separation apparatus comprising one or more sieves or filters can be traversed by the solution substantially free of particles, at the same time that this solution washes the sieve to prevent particles, flakes, etc.. accumulating in the pores of the sieve or filter, the particles thus removed from the sieve or filter by washing, then being collected,
de préférence de manière à permettre une période de fil- preferably so as to allow a period of
tration suivante, les particules pouvant être suffisamment retirées, par filtration, d'une petite partie de la solution de traitement collectée, pour que la solution puisse être réutilisée, tandis que la plus grande partie de la solution de traitement est pratiquement immédiatement prête à une réutilisation. L'invention concerne un appareil pour retirer chimiquement des particules de matières solides d'un liquide de traitement, la matière solide provenant de next step, the particles being able to be sufficiently removed, by filtration, from a small part of the collected treatment solution, so that the solution can be reused, while most of the treatment solution is almost immediately ready for reuse. An apparatus for chemically removing particles of solids from a process liquid, the solid material from
pièces soumises à un traitement chimique par un liquide. parts subjected to a chemical treatment with a liquid.
L'enlèvement ou retrait de la matière solide est réalisé par une technique de séparation qui utilise une filtration du liquide de traitement par passage à travers des tamis ou des plaques filtrantes disposés angulairement, pouvant être traversés par une solution en écoulement descendant, tout en retenant des particules qui sont ensuite retirées du tamis par lavage et collectées, de préférence pendant une filtration ultérieure du liquide de lavage, qui est The removal or removal of the solid material is carried out by a separation technique which uses filtration of the treatment liquid by passage through sieves or filter plates arranged angularly, which can be traversed by a downflow solution, while retaining particles which are subsequently removed from the screen by washing and collected, preferably during subsequent filtration of the washing liquid, which is
également, de préférence, le liquide de traitement. also, preferably, the treatment liquid.
L'invention a donc pour objet principal un appareil perfectionné pour retirer chimiquement une matière solide de pièces en cours de traitement. L'invention a plus particulièrement pour objet un appareil de ce type dans lequel une séparation est réalisée sur des particules, des débris, des paillettes, etc., présents dans le liquide de traitement à la suite du retrait de la matière solide des pièces. A cet effet, l'invention a également pour objet un appareil perfectionné de séparation qui permet l'écoulement du liquide de traitement à travers un milieu filtrant, et dans lequel la surface d'entrée du milieu filtrant est lavée afin que les particules en soient collectées. A cet effet, la collecte des particules est déclenchée périodiquement, des moyens étant prévus pour ensuite séparer encore le liquide de traitement des particules afin que ce liquide puisse être réutilisé. L'appareil est particulièrement adapté au traitement de plaquettes et feuilles à circuit imprimé et autres, par enlèvement de masques, de réserves, de revêtements ou autres, à l'aide d'une solution chimique telle qu'une solution d'enlèvement de réserves qui est pulvérisée sur les pièces, tandis qu'elles sont transportées suivant un certain trajet. A cet effet, un ou plusieurs tamis sont utilisés, ainsi que des conduits de lavage des tamis destinés à collecter les débris et à évacuer ensuite The main object of the invention is therefore an improved apparatus for chemically removing solid material from parts being processed. The invention more particularly relates to an apparatus of this type in which a separation is performed on particles, debris, flakes, etc., present in the treatment liquid following removal of the solid material parts. To this end, the invention also relates to an improved separation apparatus which allows the flow of treatment liquid through a filter medium, and wherein the inlet surface of the filter medium is washed so that the particles are collected. For this purpose, the collection of particles is periodically triggered, means being provided to then further separate the treatment liquid particles so that the liquid can be reused. The apparatus is particularly suitable for processing printed circuit boards and sheets and the like by removing masks, resistances, coatings or the like with a chemical solution such as a stock removal solution. which is sprayed on the pieces, while they are transported along a certain path. For this purpose, one or more sieves are used, as well as sieve washing ducts intended to collect the debris and then to evacuate
ceux-ci vers une zone collectrice.these towards a collecting area.
L'invention a également pour objet de concen- The invention also aims at concentrating
trer les particules afin d'en faciliter le traitement. remove particles to facilitate treatment.
L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemple nullement limitatif et sur lesquels: - la figure 1 est une vue en bout d'un appareil d'enlèvement de réserves selon l'invention, vu dans la direction de défilement de pièces dans cet appareil, la plupart des conduits d'écoulement de la solution étant illustrés; - la figure 2 est une coupe horizontale The invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings by way of non-limiting example and in which: - Figure 1 is an end view of a reserve removal device according to the invention, seen in the scroll direction of parts in this apparatus, most of the solution flow paths being illustrated; - Figure 2 is a horizontal section
partielle de l'appareil selon l'invention, suivant sensi- part of the apparatus according to the invention, according to
blement la ligne II-I de la figure 1, montrant plus clairement diverses caractéristiques de séparation de la présente invention; - la figure 3 est une coupe verticale II-I of Figure 1, showing more clearly various separation features of the present invention; - Figure 3 is a vertical section
partielle de l'appareil selon l'invention, suivant sensi- part of the apparatus according to the invention, according to
blement la ligne III-III de la figure 1; - la figure 4 est une coupe verticale partielle de l'appareil selon l'invention, suivant sensiblement la ligne IV-IV de la figure 2, et montrant plus clairement les caractéristiques de lavage des tamis et d'écoulement inverse; et - la figure 5 est une coupe verticale partielle de l'appareil selon l'invention, suivant sensiblement la line III-III of Figure 1; - Figure 4 is a partial vertical section of the apparatus according to the invention, substantially along the line IV-IV of Figure 2, and showing more clearly the characteristics of screen washing and reverse flow; and FIG. 5 is a partial vertical section of the apparatus according to the invention, substantially along the
ligne V-V de la figure 2.line V-V of FIG.
On se référera d'abord à la figure 1 qui représente, indiqué globalement en 10, l'appareil selon l'invention destiné à enlever un masque, une réserve ou autre élément de plaquettes à circuit imprimé, feuilles à circuit imprimé ou autres, cet appareil étant adjoint à un appareil d'attaque ou décapage chimique, d'application de dépôt électrolytique, ou autre appareil de traitement chimique. L'appareil 10 comprend une chambre 11 dont l'intérieur 12 est divisé en une partie supérieure 13 et une partie inférieure 14. La chambre 11 est définie par des parois extrêmes 15 et 16 d'entrée et de sortie présentant des ouvertures respectives 17 et 18 d'entrée et de sortie. Les parois latérales 20 et 21 définissent les côtés de la chambre, sauf qu'une partie prolongée formant carter est formée sur le côté éloigné 22 de l'appareil 10 et est définie en partie par une paroi horizontale 23 et une paroi verticale 24 de la chambre. Le carter allongé est désigné par la référence numérique 25, au-dessous de la paroi 23. La chambre comporte un fond 26 et un couvercle Referring first to Figure 1 which shows, indicated generally at 10, the apparatus according to the invention for removing a mask, a reserve or other element of printed circuit boards, printed circuit boards or the like, this apparatus being associated with an etching or chemical etching apparatus, electroplating apparatus, or other chemical treatment apparatus. The apparatus 10 comprises a chamber 11 whose interior 12 is divided into an upper part 13 and a lower part 14. The chamber 11 is defined by end and outlet 15 and 16 end walls having respective openings 17 and 18 entry and exit. The sidewalls 20 and 21 define the sides of the chamber, except that a prolonged housing portion is formed on the remote side 22 of the apparatus 10 and is defined in part by a horizontal wall 23 and a vertical wall 24 of the bedroom. The elongated housing is designated by the numeral 25, below the wall 23. The chamber has a bottom 26 and a cover
amovible 27.removable 27.
Un transporteur 28, sous la forme de barreaux et de roues, analogue à ceux décrits dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 015 706 et n0 4 046 248, est utilisé et est également entraîné avantageusement par des moyens d'entraînement analogues à ceux décrits dans les brevets précités. De plus, l'appareil 10 peut être construit sous une forme modulaire afin d'être assemblé par ses extrémités, avec des modules immédiatement adjacents, de la manière décrite dans les deux derniers brevets cités, par l'utilisation de techniques similaires d'assemblage, d'alignement et d'entraînement. Ces techniques ne seront donc pas décrites en détail. Dans tous les cas, le mécanisme transporteur 28 est conçu pour transporter une plaquette à circuit imprimé ou autre pièce A dans la direction de la A carrier 28, in the form of bars and wheels, similar to those described in US Pat. Nos. 4,015,706 and 4,046,248, is used and is also advantageously driven by drive means. similar to those described in the aforementioned patents. In addition, the apparatus 10 may be constructed in a modular form to be joined at its ends, with immediately adjacent modules, as described in the last two patents cited, by the use of similar assembly techniques. , alignment and training. These techniques will not be described in detail. In any case, the conveyor mechanism 28 is adapted to carry a printed circuit board or other piece A in the direction of the
flèche 30, comme indiqué sur la figure 3. arrow 30, as shown in FIG.
Des collecteurs supérieurs et inférieurs 31 et 32 de pulvérisation, comportant chacun plusieurs tuyaux 33 de pulvérisation s'étendant transversalement à l'appareil, distribuent un liquide de traitement à des buses 34 de pulvérisation. Ces buses 34 sont disposées de façon à pulvériser le liquide de traitement chimique, comme indiqué en 35, sur les pièces A à leur passage entre les buses, ce liquide ayant pour effet de détacher, par action chimique, la réserve ou autre revêtement des pièces A Upper and lower spray collectors 31 and 32, each having a plurality of spray pipes 33 extending transversely of the apparatus, dispense process liquid to spray nozzles 34. These nozzles 34 are arranged so as to spray the chemical treatment liquid, as indicated at 35, on the pieces A as they pass between the nozzles, this liquid having the effect of detaching, by chemical action, the resist or other coating of the pieces. AT
S58078S58078
et de l'enlever de ces dernières en le faisant descendre avec la solution de traitement vers deux tamis filtrants and remove it from the latter by lowering it with the treatment solution to two filter screens
36 et 37.36 and 37.
Les tamis filtrants 36 et 37 font partie du dispositif de séparation destiné à séparer les particules qui ont été enlevées des pièces A. Les tamis 36 et 37 sont montés obliquement, comme montré sur la figure 1, de façon à former un angle suffisamment aigu avec la verticale (avantageusement 60 degrés) pour permettre le passage de quantités importantes du liquide de traitement à travers eux à mesure que ce liquide de traitement tombe dans le sens de la flèche 38 sur la figure 1. Il est évident que la porosité des tamis 36 et 37 est choisie en fonction de la dimension prévue des particules pour une opération d'enlèvement donnée. Des supports convenables sont prévus pour les tamis 36 et 37 afin de les maintenir dans l'orientation préférée, comme montré, dans une disposition V, les tamis situés des deux côtés convergeant vers une The filter screens 36 and 37 are part of the separation device for separating the particles which have been removed from the pieces A. The screens 36 and 37 are mounted obliquely, as shown in FIG. 1, so as to form a sufficiently acute angle with vertical (advantageously 60 degrees) to permit the passage of large amounts of process liquid therethrough as this process liquid falls in the direction of the arrow 38 in FIG. 1. It is evident that the porosity of the screens 36 and 37 is chosen according to the expected size of the particles for a given removal operation. Suitable supports are provided for the screens 36 and 37 to maintain them in the preferred orientation, as shown in a V-arrangement, the sieves on both sides converging towards a
gouttière 40.gutter 40.
Deux collecteurs de pulvérisation de lavage, montrés sur la figure 4, sont alimentés avec le même liquide de traitement que celui effectuant l'enlèvement chimique, au moyen d'une ligne 39 de distribution et d'un conduit convenable 43 de raccordement. Ces collecteurs 41 et 42 portent respectivement des buses associées 44 et 45 Two washing spray collectors, shown in FIG. 4, are fed with the same treatment liquid as the one performing the chemical removal, by means of a distribution line 39 and a suitable connection conduit 43. These collectors 41 and 42 respectively carry associated nozzles 44 and 45
de pulvérisation, orientées de façon à réaliser une pulvé- spraying, oriented to produce a pulverulent
risation le long de ou sur la surface des tamis 36 et 37, de la manière illustrée sur la figure 4, pour enlever par lavage les paillettes, pellicules et autres particules qui ont été retirées des pièces traitées, cette pulvérisation ayant pour effet d'entraîner ces particules dans la gouttière 40. Le retour de la solution, par exemple par la ligne 39, est important, car il empêche l'accumulation de la solution dans la gouttière 40, ce qui pourrait autrement se produire jusqu'aux tamis 36 et 37 que les or to the surface of the screens 36 and 37, as illustrated in FIG. 4, to wash off the flakes, films and other particles which have been removed from the treated parts, this spraying having the effect of causing these particles in the gutter 40. The return of the solution, for example by the line 39, is important because it prevents the accumulation of the solution in the gutter 40, which could otherwise occur until sieves 36 and 37 that
particules pourraient alors engorger. particles could then clog up.
La gouttière 40 est formée par les supports inférieurs 46 et 47 des tamis 36 et 37. Ces derniers The channel 40 is formed by the lower supports 46 and 47 of the sieves 36 and 37. The latter
comportent de la même manière des supports 48 et 50. in the same way comprise supports 48 and 50.
Il apparaît donc que les débris retirés par lavage des tamis 36 et 37 s'accumulent dans la gouttière 40 qui s'étend sensiblement sur la longueur de l'appareil, entre les parois extrêmes opposées 15 et 16, comme montré sur la figure 3, mais le liquide de lavage (liquide de traitement) peut s'écouler librement de l'extrémité de gauche de la gouttière 40, comme montré sur la figure 3, dans un caniveau 51 d'o il sort par une conduite 52 de sortie en s'écoulant dans le sens de la flèche 53 sur la figure 1 vers une pompe centrifuge 54. Cette dernière fonctionne généralement en continu et elle refoule le fluide de traitement, qui lui est ainsi amené, dans une conduite 55 afin de le renvoyer vers les collecteurs 41 et 42 par la conduite 39, dans le sens indiqué par la flèche 56 It thus appears that the debris removed by washing the sieves 36 and 37 accumulates in the trough 40 which extends substantially along the length of the apparatus, between the opposite end walls 15 and 16, as shown in FIG. but the washing liquid (treatment liquid) can flow freely from the left end of the trough 40, as shown in FIG. 3, into a channel 51 from which it leaves via an outlet pipe 52 flow in the direction of the arrow 53 in Figure 1 to a centrifugal pump 54. The latter generally operates continuously and it forces the treatment fluid, which is thus brought to it, in a pipe 55 to return it to the collectors 41 and 42 by line 39, in the direction indicated by the arrow 56
sur la figure 1.in Figure 1.
Il convient de noter qu'une vanne 57 montée sur une conduite 58 et commandée par une bobine 60 est en position de fermeture pendant cet écoulement du fluide de traitement vers le caniveau 51 et à travers la pompe 54, It should be noted that a valve 57 mounted on a pipe 58 and controlled by a coil 60 is in the closed position during this flow of the treatment fluid to the channel 51 and through the pump 54,
comme indiqué ci-dessus, afin qu'à ce stade de fonctionne- as indicated above, so that at this stage of operation,
ment, le fluide ne puisse s'écouler par la conduite 58 et qu'il soit renvoyé en passant par la conduite 39, comme fluid can not flow through line 58 and be returned through line 39 as
montré sur la figure 1.shown in Figure 1.
Comme indiqué précédemment, les particules, débris et autres s'accumulent dans la gouttière 40 pendant As previously indicated, particles, debris and the like accumulate in the trough 40 during
une durée préalablement réglée ou jusqu'à ce qu'une condi- a pre-set duration or until a
tion préalablement établie apparaisse. Cette condition peut être la montée du niveau du liquide dans la gouttière 40, qui a pour effet de déclencher l'évacuation de la gouttière, mais il s'agit avantageusement de l'écoulement d'une période de temps donnée, par exemple un nombre prédéterminé de secondes, établi par une minuterie convenable T. Dans tous les cas, conformément aux paramètres préalablement établis, previously established statement appears. This condition can be the rise in the level of the liquid in the trough 40, which has the effect of triggering the evacuation of the gutter, but it is advantageously the flow of a given period of time, for example a number predetermined period of seconds, established by a suitable timer T. In all cases, in accordance with the parameters previously established,
l'évacuation de la gouttière 40 est effectuée par l'intro- the evacuation of the gutter 40 is effected by the introduction
duction brusque d'une quantité de liquide de traitement dans le sens de la flèche 64 sur la figure 3, dans un conduit 63, de façon à former des moyens propulsant les débris accumulés dans la gouttière, de son extrémité de droite, dans l'orientation de la figure 3, vers l'extrémité de gauche, dans le sens de la flèche 65, jusque dans le caniveau 51, les débris et le liquide sortant par le conduit 52 vers la pompe 54. A peu près en même temps qu'elle commande le brusque écoulement dans la conduite 63, la minuterie T agit également par l'intermédiaire de la bobine 66 commandant la vanne 67, ce qui provoque la circulation dans la conduite 63 par l'intermédiaire de la conduite 68, ou, autrement, déclenche également la bobine 60 par l'intermédiaire de la ligne électrique 70 afin d'ouvrir abrupt discharge of a quantity of treatment liquid in the direction of the arrow 64 in FIG. 3, in a duct 63, so as to form means propelling the debris accumulated in the gutter, its right end, in the orientation of Figure 3, towards the left end, in the direction of the arrow 65, into the channel 51, the debris and the liquid exiting through the conduit 52 to the pump 54. At about the same time as it controls the sudden flow in the pipe 63, the timer T also acts via the coil 66 controlling the valve 67, which causes the circulation in the pipe 63 via the pipe 68, or otherwise also triggers the coil 60 via the power line 70 to open
la vanne 57 de façon que l'évacuation du liquide de traite- the valve 57 so that the discharge of the treatment liquid
ment, qui renferme les débris venant d'être évacués de la gouttière 40, en passant par le raccord en T 72 du conduit 55, se dirige vers la gauche, comme montré sur la figure 1, par l'intermédiaire du conduit 58, dans le sens de la flèche 71, empruntant ainsi le trajet le plus court qui oppose la moindre résistance au passage des débris et du liquide de which contains the debris that has just been discharged from the trough 40, via the T-connector 72 of the duct 55, is directed to the left, as shown in FIG. 1, via the duct 58, in the direction of the arrow 71, thus borrowing the shortest path that opposes any resistance to the passage of debris and liquid of
traitement de la gouttière 40 dans un appareil 73 de fil- treatment of the gutter 40 in a filter apparatus 73
tration par l'intermédiaire d'un conduit 74. La propulsion through the conduit 74. Propulsion
du liquide de traitement à partir du conduit 63 est égale- treatment liquid from the conduit 63 is also
ment minutée par la minuterie T, de façon à durer un temps préalablement établi à la fin duquel la minuterie T commande la fermeture de la vanne 67 par l'intermédiaire de la ligne 66 et, à peu près simultanément, l'actionnement de la bobine 60 provoque la fermeture de la vanne 57, toutes ces opérations étant effectuées après l'écoulement d'un temps suffisant, préalablement établi dans la minuterie T, pour que les matières solides évacuées et le liquide de traitement provenant de la gouttière 40 aient franchi la pompe 54. Ensuite, le refoulement de la pompe 54 est ramené aux collecteurs 41 et 42 par l'intermédiaire du timed by the timer T, so as to last a predetermined time at the end of which the timer T commands the closing of the valve 67 via the line 66 and, almost simultaneously, the actuation of the coil 60 causes the closing of the valve 57, all these operations being performed after the passage of a sufficient time, previously established in the timer T, so that the discharged solids and the treatment liquid from the gutter 40 have passed the pump 54. Then, the discharge of the pump 54 is returned to the collectors 41 and 42 via the
conduit 56.leads 56.
Il convient de noter que la pompe 54 est entraînée par tout moteur convenable 75, convenablement It should be noted that the pump 54 is driven by any suitable motor 75, suitably
monté comme indiqué en 76.mounted as shown in 76.
Il convient également de noter que le liquide de traitement traversant les tamis 36 et 37 est collecté à la partie inférieure de la chambre 14 et est dirigé vers une pompe principale (non représentée) placée dans le prolongement 25 de carter de la partie inférieure de la chambre 14 afin d'être recyclé en remontant dans la conduite principale 77 de distribution, dans le sens indiqué par la flèche 78 sur la figure 1, vers les conduites principales 80 et 81 de distribution qui alimentent les It should also be noted that the process liquid passing through the screens 36 and 37 is collected at the bottom of the chamber 14 and is directed to a main pump (not shown) located in the casing extension of the lower portion of the chamber. chamber 14 to be recycled up the main line 77 distribution, in the direction indicated by the arrow 78 in Figure 1, to the main lines 80 and 81 distribution that feed the
collecteurs supérieurs et inférieurs 31 et 32 de pulvéri- upper and lower collectors 31 and 32 of pulveri-
sation, respectivement. Il convient également de noter que les conduites 80 et 81 comportent des dispositifs convenables 82 et 83 de réglage d'écoulement, généralement sous la forme de vannes, robinets ou autres, pouvant être respectively. It should also be noted that lines 80 and 81 include suitable flow control devices 82 and 83, generally in the form of valves, valves or the like, which can be
réglés manuellement.manually adjusted.
En référence à la figure 5, on peut noter que la conduite 63, qui fournit le volume important de fluide de propulsion sous la forme d'un -liquide de traitement à la gouttière 40, fournit également un agent antimousse provenant d'un réservoir 91 de produit antimousse, de préférence en établissant un vide partiel à l'emplacement de la jonction d'un conduit 92 avec la conduite 63, ce vide partiel étant transmis par un clapet 93 de retenue ou de non-retour (destiné à empêcher le liquide de s'écouler vers la gauche à travers lui, comme montré sur la figure 5), afin d'aspirer le liquide antimousse 94 du récipient 91, de le faire monter dans une conduite 95, de le faire passer à travers un débitmètre 96, dans une conduite 97 et à travers un clapet 93 de retenue, sous l'effet d'un vide partiel ou d'une action de venturi, l'agent antimousse étant ainsi amené dans la gouttière 40, avec le liquide de traitement With reference to FIG. 5, it will be noted that line 63, which supplies the large volume of propellant in the form of a treatment fluid to gutter 40, also provides an antifoam agent from a reservoir 91 defoamer, preferably by establishing a partial vacuum at the location of the junction of a conduit 92 with the pipe 63, this partial vacuum being transmitted by a valve 93 retaining or non-return (to prevent the liquid to flow to the left through it, as shown in FIG. 5), in order to suck the anti-foaming liquid 94 from the container 91, to mount it in a pipe 95, to pass it through a flowmeter 96, in a pipe 97 and through a check valve 93, under the effect of a partial vacuum or a venturi action, the antifoam agent thus being brought into the channel 40, with the treatment liquid
qui sert d'agent de propulsion pour évacuer la gouttière. which serves as propellant to evacuate the gutter.
Ceci est destiné à empêcher toute formation de mousse en amont de la pompe 54, tandis que cette dernière entraîne les débris, les particules ou autres, toute cavitation de This is intended to prevent any formation of foam upstream of the pump 54, while the latter causes debris, particles or other, any cavitation of
la pompe étant ainsi empêchée.the pump being thus prevented.
L'appareil destiné à séparer les particules retirées du liquide de traitement selon l'invention 1 1 The apparatus for separating the particles removed from the treatment liquid according to the invention
présente également une caractéristique facultative d'in- also has an optional feature of
version d'écoulement. Ces caractéristiques résident dans l'application du fluide de traitement aux faces inverses ou inférieures des-tamis 36, d'une manière provoquant une vibration de ces derniers ainsi que l'application de liquide aux tamis, vers le haut, ce qui aide à l'élimination par lavage des particules, des débris et autres, des surfaces supérieures des tamis, les particules, débris et autres tombant alors dans la gouttière 40. L'écoulement inverse est réalisé à l'aide d'une conduite 100 branchée sur la conduite principale 78 de recyclage, vers un orifice 101 d'entrée débouchant dans l'intérieur de la chambre (figures 1 et 4), o un tube flexible 102 transmet le fluide de traitement à des collecteurs 103 et 104 de distribution. Ces collecteurs 103 et 104 de distribution sont montés comme indiqué en 105 et 106, respectivement, à l'aide de toutes techniques convenables, au-dessous de la gouttière 40, et ils portent eux-mêmes des dispositifs rotatifs 107 de pulvérisation. Ces dispositifs 107 ont sensiblement la même réalisation, de sorte qu'il suffit de flow version. These characteristics lie in the application of the treatment fluid to the opposite or lower faces of the screens 36, in a manner causing a vibration of the latter as well as the application of liquid to the sieves, upwards, which helps washing away particles, debris and the like from the upper surfaces of the sieves, the particles, debris and the like then falling into the gutter 40. The reverse flow is achieved by means of a pipe 100 connected to the pipe main 78 recycling, to an inlet port 101 opening into the interior of the chamber (Figures 1 and 4), o a flexible tube 102 transmits the treatment fluid to manifolds 103 and 104 distribution. These distribution manifolds 103 and 104 are mounted as indicated at 105 and 106, respectively, using any suitable techniques, below the trough 40, and they themselves carry rotary spray devices 107. These devices 107 have substantially the same embodiment, so that it suffices to
décrire en détail l'un d'eux.describe in detail one of them.
Chaque dispositif 107 de pulvérisation est monté sur un conduit 108 d'écoulement de liquide qui reçoit du liquide de traitement de son collecteur approprié 103 ou 104 et qui le transmet à une tête rotative 110. Cette dernière est mise en rotation par la pression de réaction du liquide de traitement la traversant et la pression de réaction sert à faire tourner la tête 110 et les buses 111 et 112 de pulvérisation qu'elle porte, afin que le liquide de traitement soit pulvérisé à partir des buses 111 et 112 en formant des arcs qui balaient en fait pratiquement la totalité de la surface inférieure des tamis 36 et 37 (à l'aide de huit buses), pour réaliser ainsi le lavage par écoulement inverse éliminant les particules des Each spray device 107 is mounted on a liquid flow conduit 108 which receives process liquid from its appropriate manifold 103 or 104 and transmits it to a rotary head 110. The latter is rotated by the reaction pressure. processing liquid therethrough and the reaction pressure is used to rotate the head 110 and spray nozzles 111 and 112 it carries, so that the treatment liquid is sprayed from the nozzles 111 and 112 forming arcs which in fact sweep virtually all of the lower surface of the screens 36 and 37 (with the aid of eight nozzles), to thus perform the reverse flow washing removing particles from the
tamis 36 et 37.sieve 36 and 37.
Il convient de noter, en référence à la figure 1, que le filtre 73 est équipé d'une conduite 115 de décharge du fluide de traitement permettant le passage au fluide de traitement qui a été nettoyé par filtration des résidus provenant de la gouttière, laquelle filtration est effectuée dans le filtre 73, et ce fluide de traitement filtré est ensuite dirigé par une conduite 115, dans le sens de la flèche 116, afin de revenir dans la chambre o il pénètre par l'entrée 101. Il convient de noter que l'écoulement du fluide dans la conduite 100 produit un vide partiel ou un effet de venturi dans la conduite 115 pour ramener le fluide filtré à l'intérieur de la chambre. Il apparaît également que dans le cas o la caractéristique It should be noted, with reference to FIG. 1, that the filter 73 is equipped with a pipe 115 for discharging the treatment fluid allowing the passage of the treatment fluid which has been cleaned by filtration of the residues coming from the gutter, which filtration is performed in the filter 73, and this filtered treatment fluid is then directed by a line 115, in the direction of the arrow 116, to return to the chamber where it enters through the inlet 101. It should be noted that the flow of fluid in line 100 produces a partial vacuum or venturi effect in line 115 to return filtered fluid to the interior of the chamber. It also appears that in the case where the characteristic
d'écoulement inverse de l'invention ne doit pas être utili- reverse flow of the invention should not be used.
sée, les têtes 107 de pulvérisation ne reçoivent pas de liquide par l'intermédiaire de la conduite 102 et le liquide de traitement peut alors être, soit fourni en continu par l'intermédiaire de la conduite 100, dans la chambre o il pénètre par l'ouverture 101 afin de produire l'action de In this case, the sprayheads 107 do not receive liquid via line 102 and the treatment liquid can then be supplied continuously through line 100 into the chamber through which it enters the chamber. opening 101 to produce the action of
venturi ramenant le liquide filtré du filtre 73 par l'inter- venturi reducing the filter filtered liquid 73 through
médiaire de la conduite 115, ou bien, en variante, l'ouver- of conduct 115, or, alternatively, the opening of
ture 101 peut être modifiée pour réaliser une décharge ture 101 can be modified to perform a discharge
directe dans le carter.direct in the crankcase.
Le filtre 73 comporte généralement un panier filtrant amovible (non représenté) dans lequel s'accumulent progressivement des débris jusqu'à ce qu'ils forment un gâteau sensiblement dense qui doit alors être retiré à la main. Ceci peut être vérifié périodiquement, par exemple quotidiennement, suivant l'expérience des opérateurs, et le panier filtrant peut alors être remplacé ou simplement vidé pour être réutilisé. Dans le cas o le filtre 73 n'est pas vérifié et que les débris s'accumulent dans la chambre 73 de filtration à un niveau tel que l'action de filtration ne peut plus avoir lieu et que le liquide s'accumule, un dispositif convenable 120 de limitation de niveau, sensible The filter 73 generally comprises a removable filter basket (not shown) in which debris gradually accumulate until they form a substantially dense cake which must then be removed by hand. This can be checked periodically, for example daily, according to the experience of the operators, and the filter basket can then be replaced or simply emptied for reuse. In the case where the filter 73 is not checked and the debris accumulate in the filtration chamber 73 at a level such that the filtration action can no longer take place and the liquid accumulates, a device suitable level limiting 120, sensitive
au niveau, peut être actionné pour supplanter l'actionne- level, can be operated to override the action
ment de la bobine de la vanne 67, en 66, au moyen d'une conduite 121, ce qui permet d'intervenir prioritairement sur l'évacuation de la gouttière 40 par la distribution du fluide de traitement par la conduite 63 afin d'empêcher le the coil of the valve 67, 66, by means of a pipe 121, which makes it possible to intervene primarily on the evacuation of the trough 40 by the distribution of the treatment fluid through the pipe 63 in order to prevent the
pompage de débris, particules et autres matières supplé- pumping debris, particles and other
mentaires, avec le fluide de traitement, de la pompe 54 vers le filtre 73 par l'intermédiaire de la conduite 74, with the process fluid, pump 54 to filter 73 through line 74,
jusqu'à ce que le filtre 73 puisse être déchargé. until the filter 73 can be discharged.
Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées à l'appareil décrit et représenté sans sortir du cadre de l'invention. Par exemple, bien qu'un angle de pente de 30 degrés (avec l'horizontale) se soit avéré avantageux, pour les tamis 36 et 37, afin de permettre un passage suffisant du liquide à travers eux, il est évident que d'autres angles peuvent également donner un travail satisfaisant. De plus, il convient de noter que, bien que des tamis 36 et 37 constituent le type préféré It goes without saying that many modifications can be made to the apparatus described and shown without departing from the scope of the invention. For example, although a slope angle of 30 degrees (with the horizontal) has proved advantageous, for sieves 36 and 37, in order to allow sufficient passage of the liquid through them, it is obvious that other angles can also give a satisfactory job. In addition, it should be noted that although sieves 36 and 37 are the preferred type
de filtres séparateurs en cet emplacement, d'autres dispo- separator filters at this location, others available
sitifs de filtration qui ne sont pas, du point de vue filtration devices that are not, from the point of view
technique, des tamis, peuvent également être utilisés. technical, sieves, can also be used.
D'autres détails de la réalisation et du fonctionnement de l'appareil selon l'invention peuvent également être modifiés Other details of the embodiment and operation of the apparatus according to the invention may also be modified
sans sortir du cadre de l'invention. without departing from the scope of the invention.
Il apparaît donc que la présente invention a pour but d'empêcher la formation d'un dépôt et le colmatage consécutif de tamis de filtration, inconvénients des formes de réalisation antérieures. La présente invention est particulièrement utile dans les cas o les masques ou revêtements retirés sont constitués de polymères qui ont tendance à s'accumuler et à sécher sur la surface des filtres, et l'invention résout ce problème en plaçant les tamis dans la chambre de traitement o ils peuvent recevoir un écoulement important, par exemple 150 litres de solution par minute, pour laver les tamis et les maintenir exempts de débris collectés, cet écoulement empêchant également les tamis de sécher, ce qui pourrait, autrement, provoquer une adhérence du polymère au milieu filtrant dans les cas o It therefore appears that the object of the present invention is to prevent the formation of a deposit and the consequent clogging of filter screens, disadvantages of the previous embodiments. The present invention is particularly useful in the cases where the removed masks or coatings are made of polymers that tend to accumulate and dry on the surface of the filters, and the invention solves this problem by placing the screens in the chamber. treatment they can receive a large flow, for example 150 liters of solution per minute, to wash the sieves and keep them free of collected debris, this flow also preventing sieves from drying, which could otherwise cause adhesion of the polymer in the filtering medium in cases o
des polymères sont utilisés.polymers are used.
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0521213A1 (en) * | 1991-06-26 | 1993-01-07 | Kabushiki Kaisha Powrex | Washing apparatus and method for fluidized bed pelletizing and drying machine |
FR2709192A1 (en) * | 1993-08-19 | 1995-02-24 | Photomeca Sa | Method and device for the continuous separation of the constituents of an etching bath. |
EP0908213A1 (en) * | 1997-10-09 | 1999-04-14 | Allegri Geom. Primo S.r.l. | Static filtration plant for liquids |
EP1043628A1 (en) * | 1997-12-22 | 2000-10-11 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of developing photosensitive resin plate and developing device |
FR2913348A1 (en) * | 2006-11-27 | 2008-09-12 | Walter Gilbert | Device for filtering water used in swimming pool, comprises cylindrical shaped frame covering filtering membrane and suction pump, cleaning nozzles placed on outside of frame, swabbing nozzles placed inside frame, control unit, and rails |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3607848C2 (en) * | 1986-03-10 | 1994-06-09 | Kabelmetal Electro Gmbh | Process for peeling off a firmly adhering layer of a copolymer from the end of a metal strip and device for carrying out the process |
JPS63310685A (en) * | 1987-06-12 | 1988-12-19 | シャープ株式会社 | Washer |
FR2768719B1 (en) * | 1997-09-25 | 1999-11-05 | Lyonnaise Eaux Eclairage | DEVICE FOR DEWATERING SLUDGE FROM SEWAGE TREATMENT PLANTS |
JP4598152B1 (en) * | 2010-01-29 | 2010-12-15 | 横尾 保 | Hazardous substance cleaning device and hazardous substance cleaning method |
CN108144323A (en) * | 2017-12-12 | 2018-06-12 | 无锡深南电路有限公司 | A kind of baking oven exhaust gas crystallization apparatus and method for pcb board welding resistance drying-plate |
CN111472001B (en) * | 2020-04-30 | 2022-10-21 | 昆山绿之源智能设备制造有限公司 | Tin stripping equipment |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2440134A (en) * | 1943-07-20 | 1948-04-20 | Metalwash Machinery Co | Apparatus for treating articles |
US3776800A (en) * | 1971-12-06 | 1973-12-04 | Chemut Corp | Etching apparatus |
US4025363A (en) * | 1976-01-12 | 1977-05-24 | Benito De Santis | Spray equipment cleaner |
DE3019143A1 (en) * | 1980-05-20 | 1981-11-26 | Sack Bandanlagentechnik Gmbh, 5860 Iserlohn | Surface treatment of rolled prods. in horizontal tank - where sediment in treatment liq. is removed in settling tank, esp. during the pickling of strip |
US4412920A (en) * | 1979-11-07 | 1983-11-01 | Bolton Joseph A | Filter with top spray |
US4431541A (en) * | 1982-08-25 | 1984-02-14 | Arleigh Lee | Circular filter device |
-
1984
- 1984-07-20 GB GB08418590A patent/GB2152398B/en not_active Expired
- 1984-07-26 JP JP59154207A patent/JPS60153907A/en active Pending
- 1984-08-09 FR FR8412592A patent/FR2558078B1/en not_active Expired
- 1984-08-30 IT IT48774/84A patent/IT1177979B/en active
-
1985
- 1985-01-05 DE DE19853500236 patent/DE3500236A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2440134A (en) * | 1943-07-20 | 1948-04-20 | Metalwash Machinery Co | Apparatus for treating articles |
US3776800A (en) * | 1971-12-06 | 1973-12-04 | Chemut Corp | Etching apparatus |
US4025363A (en) * | 1976-01-12 | 1977-05-24 | Benito De Santis | Spray equipment cleaner |
US4412920A (en) * | 1979-11-07 | 1983-11-01 | Bolton Joseph A | Filter with top spray |
DE3019143A1 (en) * | 1980-05-20 | 1981-11-26 | Sack Bandanlagentechnik Gmbh, 5860 Iserlohn | Surface treatment of rolled prods. in horizontal tank - where sediment in treatment liq. is removed in settling tank, esp. during the pickling of strip |
US4431541A (en) * | 1982-08-25 | 1984-02-14 | Arleigh Lee | Circular filter device |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0521213A1 (en) * | 1991-06-26 | 1993-01-07 | Kabushiki Kaisha Powrex | Washing apparatus and method for fluidized bed pelletizing and drying machine |
FR2709192A1 (en) * | 1993-08-19 | 1995-02-24 | Photomeca Sa | Method and device for the continuous separation of the constituents of an etching bath. |
EP0642058A1 (en) * | 1993-08-19 | 1995-03-08 | Photomeca S.A. | Process and apparatus for continuous separation of ingrédients from a developing bath |
EP0908213A1 (en) * | 1997-10-09 | 1999-04-14 | Allegri Geom. Primo S.r.l. | Static filtration plant for liquids |
EP1043628A1 (en) * | 1997-12-22 | 2000-10-11 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of developing photosensitive resin plate and developing device |
EP1043628A4 (en) * | 1997-12-22 | 2001-03-14 | Asahi Chemical Ind | Method of developing photosensitive resin plate and developing device |
US6270267B1 (en) | 1997-12-22 | 2001-08-07 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Method of developing photosensitive resin plate and developing device |
FR2913348A1 (en) * | 2006-11-27 | 2008-09-12 | Walter Gilbert | Device for filtering water used in swimming pool, comprises cylindrical shaped frame covering filtering membrane and suction pump, cleaning nozzles placed on outside of frame, swabbing nozzles placed inside frame, control unit, and rails |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2152398A (en) | 1985-08-07 |
IT8448774A0 (en) | 1984-08-30 |
FR2558078B1 (en) | 1987-07-17 |
GB2152398B (en) | 1987-08-19 |
IT1177979B (en) | 1987-09-03 |
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IT8448774A1 (en) | 1986-03-02 |
DE3500236A1 (en) | 1985-07-18 |
GB8418590D0 (en) | 1984-08-22 |
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