FR2500012A1 - ELECTROLYTIC GOLD COATING BATH AND DEPOSIT METHOD - Google Patents
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Abstract
L'INVENTION CONCERNE DES ELECTROLYTES POUR LE REVETEMENT ELECTROLYTIQUE D'OR SUR DES SUBSTRATS CONTENANT DES CYANURES D'OR ET D'AMMONIUM OU DE METAL ALCALIN, UN AGENT DE CONDUCTION, EN OPTION UN TAMPON ET AU MOINS 30GRAMMES PAR LITRE D'UN AGENT D'AFFINAGE DE GRAIN CHOISI DANS LE GROUPE CONSTITUE DE L'ACIDE OXALIQUE, L'ACIDE FORMIQUE ET LES SELS D'AMMONIUM OU DE METAL ALCALIN DE CEUX-CI. LES BAINS DE REVETEMENT ELECTROLYTIQUE DE L'INVENTION FONCTIONNENT A UN PH COMPRIS ENTRE 5 ET 7,5, UNE TEMPERATURE SITUEE ENTRE 50 ET 80C, ET UNE DENSITE DE COURANT COMPRISE ENTRE 0,1 ET 2ADM. LE PROCEDE D'UTILISATION DES BAINS DE REVETEMENT ELECTROLYTIQUE D'OR DE L'INVENTION EST EGALEMENT DECRIT.THE INVENTION CONCERNS ELECTROLYTES FOR ELECTROLYTIC GOLD COATING ON SUBSTRATES CONTAINING GOLD AND AMMONIUM CYANIDES OR ALKALINE METAL, A CONDUCTING AGENT, OPTIONAL A BUFFER AND AT LEAST 30 GRAMS PER LITER OF AN AGENT OF GRAIN REFINING CHOSEN FROM THE GROUP CONSISTS OF OXALIC ACID, FORMIC ACID AND THE AMMONIUM OR ALKALINE METAL SALTS OF THESE. THE ELECTROLYTIC COATING BATHS OF THE INVENTION OPERATE AT A PH BETWEEN 5 AND 7.5, A TEMPERATURE BETWEEN 50 AND 80C, AND A CURRENT DENSITY BETWEEN 0.1 AND 2ADM. THE PROCESS FOR USING THE GOLD ELECTROLYTIC COATING BATHS OF THE INVENTION IS ALSO DESCRIBED.
Description
1. La présente invention concerne des compositions et des procédés1. The present invention relates to compositions and methods
de revêtement électrolytique d'or de couleur jaune citron sur des subs- of lemon yellow gold electrolytic coating on sub-
trats à partir de bains ayant un pH compris entre environ 5 et 7,5 o la source d'or est constituée de cyanures de métaux alcalins ou d'or et d'ammonium. trats from baths with a pH between about 5 and 7.5 o the gold source consists of cyanides of alkali metals or gold and ammonium.
On a proposé ces dernières années de nombreux bains électroly- Many electrolytic baths have been proposed in recent years
tiques pour le revêtement électrolytique d'or sur des substrats.Des brevets concernant ce problème sont, par exemple,les brevets suivants: Brevets des Etats-Unis d'Amérique: n 2.905.601 - Rinker et autres n 3. 104.212 - Rinker et autres n 3.156.634 - Duva et autres n 3.156.635 Foulke n 3.367.853 - Schumpelt n 3.373.094 - Foulke n 3.423.295 Greenspan n 3.776.821 - Baker n 3.776.822 - Baker n 3.833.487 Reinheimer n 3.878.066 - Dettke Brevet anglais: n 1.065.308 - Nobel et autres Il apparaît dans ces brevets qu'il faut faire appel, dans le but d'obtenir les dépôts souhaités d'or par revêtement électrolytique, Ticks for the electrolytic coating of gold on substrates. Patents concerning this problem are, for example, the following patents: Patents of the United States of America: n 2,905,601 - Rinker and others n 3. 104,212 - Rinker and others n 3,156,634 - Duva and others n 3,156,635 Foulke n 3.367.853 - Schumpelt n 3.373.094 - Foulke n 3.423.295 Greenspan n 3.776.821 - Baker n 3.776.822 - Baker n 3.833.487 Reinheimer n 3.878 .066 - Dettke English patent: n 1.065.308 - Nobel and others It appears in these patents that an appeal must be made, in order to obtain the desired deposits of gold by electrolytic coating,
à des procédés et des additifs spéciaux lorsque les électrolytes fonc- special processes and additives when the electrolytes work
2 5000 122 5000 12
2. tionnent à un pH compris entre environ 5 et 7,5 au lieu d'un pH compris dans la gamme plus basse ayant pour limites environ 3 à 5.Ainsi, par exemple, pour des pH plus élevés, il a été courant d'utiliser des agents d'affinage de grain tels que les hydrazine, arsenic, thallium et analogue. Lorsqu'on utilise de tels bains d'électrolyte sans agents d'affinage de grain, les dépôts ont tendance à avoir un aspect brunâtre, et les électrolytes ne fonctionnent que dans une plage de densité très limitée. Malheureusement, les agents d'affinage de grain classiques 2. operate at a pH between about 5 and 7.5 instead of a pH in the lower range with limits around 3 to 5. So, for example, for higher pH, it has been common to use grain refining agents such as hydrazine, arsenic, thallium and the like. When using such electrolyte baths without grain refining agents, the deposits tend to have a brownish appearance, and the electrolytes only work in a very limited density range. Unfortunately, conventional grain refiners
utilisés dans l'art antérieur se sont révélés dans certains cas cancé- used in the prior art have been found in certain cases to be
rigènes et/ou néfastes pour l'intégrité de l'or, c'est-à-dire qu'ils rigid and / or harmful to the integrity of gold, i.e. they
dégradent la plaque d'or à cause de leur occlusion dans les dépôts. degrade the gold plate due to their occlusion in the deposits.
La possibilité d'utiliser des gains de revêtement d'or à un pH compris entre environ 5 et 7,5, c'est-à-dire à un pH sensiblement neutre, est intéressante à plusieurs points de vue. Avec un fonctionnement dans une telle gamme et non dans des gammes supérieures ou inférieures, The possibility of using gold coating gains at a pH between about 5 and 7.5, that is to say at a substantially neutral pH, is advantageous from several points of view. With operation in such a range and not in higher or lower ranges,
la quantité d'or dissous en provenance des parties revêtues est sensi- the quantity of dissolved gold coming from the coated parts is significant
blement réduite. De plus, il y a une réduction-de la quantité des conta- badly reduced. In addition, there is a reduction in the amount of conta-
minants du métal dans le bain de galvanoplastie et toute codéposition minants of the metal in the electroplating bath and any codeposition
de tels contaminants pouvant être présents se trouve minimisée. any such contaminants that may be present is minimized.
Selon la présente invention, on a trouvé que l'utilisation According to the present invention, it has been found that the use
d'agents spéciaux d'affinages de grain, et plus particulièrement lors- special grain refining agents, and more particularly when
que ceux-ci se trouvent au moins dans certaines quantités prescrites,dans that these are found at least in certain prescribed quantities, in
des bains de revêtement électrolytique d'or formulés de façon à fonc- electrolytic gold coating baths formulated to function
tionner avec un pH compris entre environ 5,0 et 7,5, permettent d'obte- work with a pH between about 5.0 and 7.5, allow to obtain
nir des dépôts d'or jaune citron sans que les problèmes cités précédem- to deposit deposits of lemon yellow gold without the problems mentioned above
ment soient posés. Plus particulièrement, les problèmes inhérents à l'utilisation d'agents d'affinage de grain classiques sont évités dans la présente invention grâce à l'utilisation d'acide formique, d'acide oxalique, ainsi que des sels des métaux alcalins ou d'ammonium de ces acides, dans une concentration d'au moins 30 grammes par litre, calculée be asked. More particularly, the problems inherent in the use of conventional grain refining agents are avoided in the present invention by the use of formic acid, oxalic acid, as well as salts of alkali metals or ammonium of these acids, in a concentration of at least 30 grams per liter, calculated
en acide. Les bains de revêtement électrolytique de la présente inven- in acid. The electrolytic coating baths of the present invention
tion fonctionnent généralement à des densités de courant comprises entre environ 0,1 et 2 A/dm tion generally operate at current densities between about 0.1 and 2 A / dm
Les bains de revêtement électrolytique d'or de la présente in- The gold electroplating baths of this in-
vention fonctionnent entre des conditions légèrement acides et des con- vention operate between slightly acidic conditions and con-
ditions sensiblement neutres, c'est-à-dire avec un pH compris entre en- substantially neutral editions, that is to say with a pH between
viron 5 et 7,5, et utilisent un cyanure de métal alcalin ou d'or et about 5 and 7.5, and use an alkali or gold cyanide and
2 5 00 0 1 22 5 00 0 1 2
3. d'ammonium comme source d'or. La teneur en or de l'électrolyte sera au moins suffisante pour permettre le dépôt d'or sur le substrat lorsque le bain est électrolysé et peut atteindre la solubilité maximum de l'or dans le bain. Cependant, en général, l'utilisation dee solutions d'or très diluées ou très concentrées ne présente aucun avahtage particulier et peut, dans certains cas, entraîner une augmentation du coût global du procédé. Par conséquent, il est normalement souhaitable que le contenu en or métal de l'électrolyte soit compris entre environ 2 et 10 grammes 3. ammonium as a source of gold. The gold content of the electrolyte will be at least sufficient to allow the deposition of gold on the substrate when the bath is electrolysed and can reach the maximum solubility of gold in the bath. However, in general, the use of very dilute or very concentrated gold solutions presents no particular disadvantage and can, in certain cases, lead to an increase in the overall cost of the process. Therefore, it is normally desirable for the metal gold content of the electrolyte to be between about 2 and 10 grams.
par litre, et de préférence entre environ 4 et 8 grammes par litre. per liter, and preferably between about 4 and 8 grams per liter.
L'utilisation de cyanures de potassiumet d'or et d'amrnium est particu- The use of potassium cyanides and gold and amrnium is particularly
lièrement recommandée, mais on comprendra que ni la quantité d'or métal highly recommended, but it will be understood that neither the quantity of metal gold
ni le complexe de cyan.re d'or particulier employé ne sont critiques. neither the particular gold cyanide complex employed is critical.
Le bain de revêtement électrolytique contiendra également un The electrolytic coating bath will also contain a
agent de conduction classique tel que les sels de métal alcalin ou d'am- conventional conduction agent such as alkali metal or am-
monium des citrates, phosphates, sulfamates, acétates ou analogues.En général, les agents de conduction recommandés dans la présente invention monium of citrates, phosphates, sulfamates, acetates or the like. In general, the conduction agents recommended in the present invention
comprennent du phosphate de potassium diacide, du phosphate de tripotas- include potassium diacid phosphate, tripotas phosphate-
sium et du citrate d'ammonium. La quantité d'agent de conduction utilisée sera au moins celle qui conférera une conductibilité suffisante au bain sium and ammonium citrate. The quantity of conduction agent used will be at least that which will give sufficient conductivity to the bath.
pour effectuer le dépôt électrolytique d'or, jusqu'à la solubilité ma- to carry out the electrolytic deposition of gold, up to the ma-
ximum de l'agent dans le bain. Typiquement, l'agent de conduction sera présent suivant une quantité comprise entre environ 2,5 et 200 grammes maximum of agent in the bath. Typically, the conduction agent will be present in an amount between about 2.5 and 200 grams
par litre et de préférence entre environ 5 et 50 grammes par litre. per liter and preferably between about 5 and 50 grams per liter.
Dans de nombreux cas, il est nécessaire de procéder au réglage du pH de façon à obtenir la valeur désirée dans le bain, laquelle est In many cases it is necessary to adjust the pH in order to obtain the desired value in the bath, which is
comprise entre environ 5 et 7,5. Des composés tels que l'acide phospho- between approximately 5 and 7.5. Compounds such as phospho- acid
rique, l'hydroxyde de potassium, l'acide sulfamique, l'ammoniaque,leurs mélanges et analogues peuvent être utilisés pour le réglage du pH à une rique, potassium hydroxide, sulfamic acid, ammonia, mixtures thereof and the like can be used for adjusting the pH to a
valeur comprise entre 5 et 7,5, de préférence à une valeur comprise en- value between 5 and 7.5, preferably at a value between-
tre 6,5 et 7,5. Les hydroxydes de métaux alcalins, autres que l'hydroxyde be 6.5 and 7.5. Alkali metal hydroxides, other than hydroxide
de potassium peuvent être également utilisés à cette fin. potassium can also be used for this purpose.
Comme le comprendra l'homme de l'art, un agent tampon peut As will be appreciated by those skilled in the art, a buffering agent can
être aussi utilisé dans la formulation des bains de revêtement électroly- also be used in the formulation of electrolytic coating baths
tique d'or de la présente invention. Les mêmes matériaux qu'indiqués ci- gold tick of the present invention. The same materials as indicated above
dessus comme sels de conduction peuvent être également utilisés comme agents tampons. La quantité du ou des agents tampons utilisée sera au above as conduction salts can also be used as buffering agents. The amount of the buffering agent (s) used will be
moins suffisante pour donner l'effet tampon désiré au bain de revête- less sufficient to give the desired buffer effect to the coating bath-
2 5 0O 0 2 i-2 5 0O 0 2 i-
4. ment électrolytique jusqu'à la solubilité maximum de l'agent dans le bain. Il est souhaitable que la quantité d'agent tampon soit comprise entre environ 2,5 et 200 grammes par litre, et elle sera de préférence 4. electrolytic until the maximum solubility of the agent in the bath. It is desirable that the amount of buffering agent is between about 2.5 and 200 grams per liter, and it will preferably be
comprise entre environ 5 et 50 grammes par litre. On notera naturel- between about 5 and 50 grams per liter. We will note naturally-
lement que le même matériau peut être utilisé pour conférer à la fois la conductibilité et l'effet tampon désirés. En variante, différents The same material can be used to provide both the desired conductivity and the buffering effect. Alternatively, different
matériaux peuvent être utilisés pour assumer chacune de ces fonctions. materials can be used to perform each of these functions.
Dans chaque cas, la quantité employée correspondra à la quantité per- In each case, the quantity used will correspond to the quantity per-
mettant de fournir l'effet de tampon et/ou la conductibilité nécessaires. putting to provide the necessary buffer effect and / or conductivity.
Selon la discussion précédente, on comprendra que la caractéris- According to the preceding discussion, it will be understood that the characteristic
tique essentielle de la présente invention est le choix de l'agent d'af- essential tick of the present invention is the choice of the agent for
finage de grain. Ainsi, les inconvénients liés à l'utilisation des agents grain finishing. So the disadvantages of using agents
employés antérieurement sont éliminés par l'utilisation d'agents d'af- previously employed are eliminated by the use of business agents
finage de grains spécifiques, c'est-à-dire d'acide oxalique, d'acide for- fining of specific grains, i.e. oxalic acid, form acid
mique, et des sels de métaux alcalins ou d'ammonium de ces acides car- mique, and alkali or ammonium salts of these caric acids
boxyliques particuliers. Les agents plus particulièrement recommandés sont l'acide oxalique ainsi que ses sels de potassium et d'ammonium.En général, la quantité d'agents d'affinage de grain sera d'au moins special boxylics. The agents more particularly recommended are oxalic acid as well as its potassium and ammonium salts. In general, the quantity of grain refining agents will be at least
grammes par litre, étant donné que des quantités plus faibles ne per- grams per liter, since smaller quantities do not
mettront pas d'obtenir les résultats souhaités. Bien que des quantités will not achieve the desired results. Although quantities
allant jusqu'à la solubilité maximum dans le bain puissent être utili- up to the maximum solubility in the bath can be used
sées, la quantité d'agent d'affinage de grain sera dans la plupart des cas comprise entre environ 30 et 200 grammes par litre, calculée en acide. Les quantités recommandées sont comprises entre environ 35 et 80 In most cases, the amount of grain refining agent will be between about 30 and 200 grams per liter, calculated as acid. The recommended quantities are between approximately 35 and 80
grammes par litre.grams per liter.
On comprendra, d'autre part, que le processus de revêtement électrolytique de la présente invention sera généralement appliqué avec des densités de courant comprises entre environ 0,1 et 2 A/dm et à des températures comprises entre environ 500 et 900C, de préférence entre 60 et 700C. Bien que des températures de bain supérieures à 900C,par exemple atteignant le point d'ébullition du bain, puissent être employées, It will be understood, on the other hand, that the electrolytic coating process of the present invention will generally be applied with current densities between about 0.1 and 2 A / dm and at temperatures between about 500 and 900C, preferably between 60 and 700C. Although bath temperatures above 900C, for example reaching the boiling point of the bath, may be employed,
il se produit souvent une évaporation excessive du bain à des températu- there is often an excessive evaporation of the bath at temperatures
res aussi élevées, de sorte que l'utilisation de ces hautes températures n'est généralement pas recommandée. Ces conditions, plus la gamme du pH comprise entre 5 et 7,5, constituent les paramètres de fonctionnement res as high, so the use of these high temperatures is generally not recommended. These conditions, plus the pH range between 5 and 7.5, constitute the operating parameters
des bains de revêtement électrolytique d'or de la présente invention. gold electroplating baths of the present invention.
25000 1225,000 12
Une autre caractéristique de la présente invention est l'uti- Another feature of the present invention is the use of
lisation d'agents de brillantage spécifiques (brillanteurs) qui permet- use of specific brightening agents (brighteners) which
tront d'obtenir facilement des dépôts d'or jaune citron, tout en évitant les difficultés ou les limitations indiquées précédemment qui sont liées à l'utilisation des agents de brillantage classiques utilisés jusqu'ici tront to easily obtain deposits of lemon yellow gold, while avoiding the difficulties or the limitations indicated previously which are related to the use of the conventional brighteners used until now
dans les bains de dépôt électrolytique. in electroplating baths.
Bien que les bains de dépôt électrolytique d'or de la présente invention puissent servir effectivement au dépôt d'or sur divers substrats, leur utilisation pour le revêtement électrolytique de circuits intégrés s'est révélé être de la première importance. A cet égard, les circuits Although the electrolytic gold baths of the present invention can effectively be used for the deposition of gold on various substrates, their use for electroplating integrated circuits has been found to be of primary importance. In this regard, the circuits
intégrés exigent que le dépôt d'or soit d'une pureté très élevée et con- integrated require that the gold deposit be of very high purity and con-
tienne une quantité minimum d'impuretés d'éléments métalliques codépo- hold a minimum amount of impurities of metallic elements codepo-
sés. Les bains de dépôt électrolytique d'or de la présente invention sont uniques dans leur aptitude à satisfaire cette condition, sans soulever les difficultés et les problèmes liés aux bains de dépôt électrolytique d'or his. The electrolytic gold plating baths of the present invention are unique in their ability to meet this condition, without raising the difficulties and problems associated with gold plating baths
de l'art antérieur.of the prior art.
La présente invention sera davantage comprise en se référant aux modes de réalisation suivants donnés à titre d'illustration: The present invention will be understood more clearly with reference to the following embodiments given by way of illustration:
EXEMPLE 1EXAMPLE 1
G/LG / L
Or sous forme de cyanure d'or et de potassium 6 Phosphate diacide de potassium 100 Acide oxalique 60 Le pH du bain est ajusté à 7,0 avec de l'acide phosphorique ou de l'hydrate de potassium. Un dépôt d'or jaune citron, au grain affiné, Gold in the form of gold and potassium cyanide 6 Potassium diacid phosphate 100 Oxalic acid 60 The pH of the bath is adjusted to 7.0 with phosphoric acid or potassium hydrate. A deposit of lemon yellow gold, with a refined grain,
est obtenu sur un substrat revêtu de nickel. Le bain est utilisé à une tem- is obtained on a nickel coated substrate. The bath is used at a tem-
pérature de 651C et à une densité de courant atteignant 1 A/dm temperature of 651C and at a current density reaching 1 A / dm
EXEMPLE 2EXAMPLE 2
Le bain de l'exemple 1 est utilisé, sauf toutefois que l'acide oxalique n'est pas employé. En utilisant ce bain à des densités de courant atteignant 0,3 A/dm, on obtient un dépôt d'or jaune, mais à une densité The bath of Example 1 is used, except, however, that oxalic acid is not used. By using this bath at current densities reaching 0.3 A / dm, a yellow gold deposit is obtained, but at a density
de courant d'environ 0,3 A/dm le dépôt a une couleur brun indésirable. current of about 0.3 A / dm the deposit has an undesirable brown color.
EXEMPLE 3EXAMPLE 3
Un autre bain est préparé qui a la composition suivante Another bath is prepared which has the following composition
G/LG / L
Or sous forme de cyanure d'or et de potassium 8 Sulfamate de potassium 42 Gold in the form of gold cyanide and potassium 8 Potassium sulfamate 42
25000 1 225,000 1 2
6. Phosphate tripotassique 16 Acide oxalique, ajouté sous forme d'oxalate de potassium 120 Le bain est réglé avec de l'acide sulfamique jusqu'à un pH de 6. A une température de fonctionnement de 60 C, on obtient un dépôt d'or jaune citron au grain affiné, jusqu'à une densité de courant de 1 A/dm; sans l'oxalate de potassium le dépôt a une couleur brune 6. Tripotassium phosphate 16 Oxalic acid, added in the form of potassium oxalate 120 The bath is adjusted with sulfamic acid to a pH of 6. At an operating temperature of 60 C, a deposit of lemon yellow gold with refined grain, up to a current density of 1 A / dm; without potassium oxalate the deposit has a brown color
indésirable pour une densité de courant de 0,6 A/dm ou plus. undesirable for a current density of 0.6 A / dm or more.
EXEMPLE 4EXAMPLE 4
io0 Le bain de revêtement électrolytique d'or a la composition suivante: G/L Or sous forme de cyanure d'or et d'ammonium 4 Citrate d'ammonium 100 Acide oxalique ajouté sous forme d'oxalate d'ammonium 80 Ammoniaque jusqu'à un pH de 7,5 io0 The electrolytic gold coating bath has the following composition: G / L Gold in the form of gold cyanide and ammonium 4 Ammonium citrate 100 Oxalic acid added in the form of ammonium oxalate 80 Ammonia up to at pH 7.5
A une température de fonctionnement du bain de 65 C, on ob- At a bath operating temperature of 65 C, one obtains
tient des dépôts d'or jaune citron, au grain affiné, jusqu'à une den- holds deposits of lemon yellow gold, with refined grain, up to a den-
sité de courant de 1 A/dm.current site of 1 A / dm.
EXEMPLE 5EXAMPLE 5
On utilise un autre bain dont la composition est la suivante: G/L Or sous forme de cyanure d'or et de potassium 8 Phosphate diacide de potassium 25 Acide formique ajouté sous forme de formiate de potassium 60 Another bath is used, the composition of which is as follows: G / L Gold in the form of gold and potassium cyanide 8 Potassium diacid phosphate 25 Formic acid added in the form of potassium formate 60
Le pH est ajusté à 7,5 avec de l'acide orthophosphorique. The pH is adjusted to 7.5 with orthophosphoric acid.
On obtient des dépôts d'or jaune citron avec ce bain de revêtement Lemon yellow gold deposits are obtained with this coating bath
électrolytique dans les conditions décrites ci-dessus. electrolytic under the conditions described above.
La présente invention n'est pas limitée aux exemples de réali- The present invention is not limited to the exemplary embodiments.
sation qui viennent d'être décrits, elle est au contraire susceptible de sation which have just been described, it is on the contrary likely to
modifications et de variantes qui apparaîtront à l'homme de l'art. modifications and variants which will appear to those skilled in the art.
7. 2 5 25000127. 2 5 2500012
7.7.
Claims (5)
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