FR2485514A1 - Procede pour la realisation d'un dispositif a decharge electrique muni d'une configuration d'electrodes appliquee sur un substrat en verre et dispositif a decharge electrique ainsi obtenu - Google Patents

Procede pour la realisation d'un dispositif a decharge electrique muni d'une configuration d'electrodes appliquee sur un substrat en verre et dispositif a decharge electrique ainsi obtenu Download PDF

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/26Sealing together parts of vessels
    • H01J9/261Sealing together parts of vessels the vessel being for a flat panel display
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    • H01J17/48Cold-cathode tubes with more than one cathode or anode, e.g. sequence-discharge tube, counting tube, dekatron
    • H01J17/49Display panels, e.g. with crossed electrodes, e.g. making use of direct current

Abstract

Dans un procédé permettant de réaliser une configuration d'électrodes appliquée sur le substrat en verre, une feuille métallique est appliquée sur le substrat en verre 2 et soumise à décapage, afin de former la configuration d'électrodes requises. Pour l'application convenablement adhérente de la feuille sur le substrat en verre 2, ceux-ci sont d'abord portés à une température T1, qui est inférieure au point de fusion du métal de la feuille et à laquelle le verre du substrat 2 présente une viscosité comprise entre environ 77 et 1013 Pa.sec. A la température T1, la feuille métallique 1 est appliquée uniformément contre la surface du substrat 2 pendant une durée, qui suffit pour obtenir un contact uniforme entre la feuille métallique et le substrat 2. Ensuite, la feuille métallique est fixée au substrat par un processus de jonction anodique à une température T2 et après refroidissement, la configuration d'électrodes 25 requise s'obtient par décapage à partir de la feuille métallique. L'invention permet d'obtenir, avec grande précision de dimensionnement, des configurations d'électrodes relativement épaisses. Application : Panneau reproducteur à décharge dans le gaz.

Description

"Procédé pour la réalisation d'un dispositif à décharge électrique muni
d'une configuration d'électrodes appliquée sur un substrat en verre et dispositif à décharge électrique
ainsi obtenu."
L'invention concerne un procédé permettant de réaliser un dispositif à décharge électrique muni d'une configuration d'électrodes appliquée sur un substrat en verre, dont les électrodes sont fixées au substrat en verre à l'aide d'un
processus de soudure anodique.
L'invention est en outre relative à un dispositif à
décharge électrique obtenu selon ce procédé.
Lors de la réalisation d'un dispositif à décharge
électrique, il s'agit assez souvent d'appliquer des configu-
rations d'électrodes sur un substrat en verre. La méthode
connue consiste à appliquer, par évaporation ou pulvérisa-
tion, une couche métallique sur la surface du substrat et
à réaliser la configuration d'électrodes requise par enlève-
ment local de ladite couche métallique. Cette méthode ne permet que l'application de couches minces d'une épaisseur d'au maximum quelques microns. Pour l'application de couches plus épaisses, présentant une épaisseur de quelques dizaines de microns, cette méthode est très laborieuse, alors que pour ces couches épaisses, l'adhérence entre la couche métallique
et le substrat est insuffisante pour un grand nombre d'ap-
plications. Une telle méthode n'est guère utilisable lorsque les électrodes doivent être soumises à un courant de grande
densité et leur résistance électrique doit être faible, com-
me par exemple dans le cas de dispositifs reproducteurs à
décharge dans le gaz.
De ce fait, la nécessité s'impose de disposer d'une méthode permettant d'appliquer d'une façon convenablement adhérente des configurations d'électrodes assez épaisses
sur un substrat en verre.
Le brevet des Etats-Unis d'Amérique n0 4 083 710 dé-
crit une méthode permettant d'appliquer une configuration d'4lectrodes sous for de conducteurs en forma de bandes
parallèles sur un substrat en verre. Sur une plaque de pres-
sion munie d'une configuration en relief constituée par des nervures parallèles, des conducteurs en forme de bande sont appliqués temporairement sur lesdites nervures et transmis ensuite à un substrat en verre. Une telle transmission s'ef-
fectue par application de la plaque de pression avec les con-
ducteurs contre la surface du substrat et adhérence des conducteurs à la surface du substrat à l'aide d'un processus de jonction par compression. Ainsi, sur le substrat, il se forme une configuration d'électrodes en concordance avec le
relief de la plaque de pression.
La précision de la position relative des conducteurs sur le substrat est tributaire de la précision avec laquelle les conducteurs peuvent être fixés sur la plaque de pression en ligne avec les nervures de la configuration. Une telle application des conducteurs en forme de bande sur la plaque
de pression s'effectue à l'aide d'un rouleau muni de rainu-
res dans lesquelles sont guidés les conducteurs en forme de
bande. L'espacement des rainures détermine la distance compri-
se entre les conducteurs. La précision des dimensions de la configuration d'électrodes est ainsi limitée par la précision
du dimensionnement de; outils utilisés. De plus, cette mé-
thode est limitée à l'application de configurations d'élec-
trodes en forme de bande.
L'invention vise à fournir un procédé pour la réalisa-
tion d'un dispositif à décharge électrique comportant une configuration d'électrodes appliquée sur un substrat en
verre, permettant d'obtenir, d'une façon simple, une configu-
ration d'électrodes de forme arbitraire et de l'épaisseur requise, adhérant convenablement au substrat et présentant
une bonne précision de dimensionnement.
Conformément à l'invention, un procédé du genre men-
tionné dans le préambule est caractérisé en ce que sur la surface du substrat à munir de la configuration d'électrode est appliquée une feuille métallique, l'ensemble de la
feuille métallique et du substrat est porté à une tempéra-
ture T1, qui est inférieure au point de fusion du métal de la feuille et la viscosité du verre du substrat présente
une valeur d'environ 107 à 1013 Pa.sec., la feuille métal-
lique est appliquée uniformément contre la surface de subs-
trat à la température T1 pendant une durée, qui suffit pour obtenir un contact uniforme entre la feuille métallique et le substrat, après quoi la feuille métallique est fixée au substrat à une température T2 a l'aide d'un processus de jonction anodique et puis, la configuration d'électrodes
requise est formée par enlèvement local de la feuille métal-
lique. Le recouvrement de la surface du substrat, à munir d'une configuration d'électrodes, d'une feuille métallique, suivi de la fixation de la feuille au substrat et ensuite,
la formation de la configuration d'électrodes requise à par-
tir de la feuille, permettent d'obtenir plusieurs avantages
importants. La méthode est rapide et convient particulière-
ment à une réalisation en grandes séries. Il est possible
d'utiliser des feuilles métalliques de toute épaisseur re-
quise pour le domaine d'application de l'invention. A par-
tir de la feuille métallique fixée au substrat peut être
obtenue, par exemple à l'aide de techniques de photodécapa-
ge, toute configuration d'électrodes arbitraire avec la grande précision inhérente à ces techniques. Toutefois l'application, avec succès, de l'invention nécessite un contact superficiel uniforme entre la feuille métallique et le substrat pour au moins la partie de la feuille dans
laquelle est formée ultérieurement la configuration d'élec-
trodes. Par contact uniforme, il y a lieu d'entendre, dans la suite du présent mémoire, un contact superficiel étroit sans inclusions de gaz entre la feuille métallique et le
substrat. Pour atteindre ce résultat, la surface du subs-
trat peut être rendue extrêmement lisse par meulage et po-
lissage, ce qui est cependant une méthode coûteuse et, en pratique, difficile à effectuer. Conformément à l'invention cette exigence est satisfaite par application de la feuille
métallique sur la surface du substrat, chauffage de l'en-
semble à une température T1 qui est inférieure au point de
fusion du métal de la feuille, la viscosité du verre du subs-
trat étant comprise entre environ 107 à 103 Pa.sec. et ap-
plication uniforme de la feuille métallique contre la surfa-
ce du substrat. Dans la gamme de viscosités donnée, le verre
est plus ou moins déformable, de sorte qu'une pression uni-
forme exercée sur la feuille provoque un contact uniforme entre la feuille et le substrat. Le temps nécessaire pour
l'établissement d'un contact uniforme entre la feuille mé-
tallique et le verre est tributaire de la grandeur de la pression, de l'état de la surface de la feuille métallique et du degré dans lequel le verre peut être déformé. Dans la gamme de viscosités, donnée, on utilise, selon une forme de réalisation de l'invention, une pression comprise entre
environ 3.105 à 8.105N/m, pression qui est maintenue pen-
dant une durée comprise entre environ 60 et 5 minutes.
Selon une forme de réalisation de l'invention, lors de l'ap-
plication de la feuille et du substrat, l'un contre l'autre, la feuille est d'abord appliquée contre une surface limitée
du substrat, après quoi la pression est augmentée réguliè-
rement sur une région s'étendant vers les bords de la feuille, ce qui peut être réalisé entre autres à l'aide d'une membrane,
qui s'applique contre la feuille et dont une surface tou-
jours plus grande est mise en contact avec la feuille par
augmentation de la pression exercée sur la membrane.
Après l'établissement d'un contact uniforme entre la feuille et le substrat, la feuille est fixée par "jonction anodique" (en Anglais "anodic bonding") au substrat. Cette
technique comprend l'application d'une différence de poten-
tiel électrique dans les parties à joindre à une température
T2' à laquelle les surfaces à relier des parties sont main-
tenues en contact intime, l'une avec l'autre. La température T2 est choisie si élevée que la partie à relier en matériau isolant devient plus ou moins électro-conductrice. Lors de
la jonction des surfaces, celles-ci sont maintenues en con-
tact intime, l'une avec l'autre, par des forces électrostati-
ques, éventuellement suppléées de pression mécanique, par
suite de la différence de potentiel électrique.
Une telle technique de jonction est décrite entre au-
tres dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique NO 3 397 278 et le brevet des Etats-Unis d'Amérique n0 3 589 965. Pour plus de détails concernant cette technique, il y a lieu de
s'en référer à ces brevets.
Selon une forme de réalisation de l'invention, la
feuille métallique est de préférence une feuille d'aluminium.
-10 Ce métal est très ductile, ce qui facilite l'application
de la feuille et du substrat, l'un contre l'autre, pour obte-
nir un contact superficiel uniforme. Conformément à l'inven-
tion, des feuilles présentant une épaisseur jusqu'à 300/am
peuvent être appliquées, d'une façon convenablement adhé-
rente et exempte de bulles de gaz, sur la surface d'un subs-
trat en verre.
Une autre forme de réalisation de l'invention utilise une feuille d'aluminium en combinaison avec un substrat en verre doux, notamment un verre à la chaux de sodium. A une température T1 d'environ 550 à 600OC, la feuille d'aluminium
est appliquée contre le substrat en verre doux sous une pres-
sion d'environ 5.105 N/m2 pendant environ 30 minutes, ce qui
résulte dans un contact uniforme entre la feuille d'alumi-
nium et le substrat. Ensuite, une tension électrique est appliquée aux bornes du substrat en verre et de la feuille d'aluminium pendant au moins 3 minutes et à une température T2 comprise entre environ 230 et 2800Cr ce qui fournit un courant d'environ 0,2 à 0,7 A/m2 traversant la feuille et le substrat en verre, après quoi s'obtient une jonction forte
entre la feuille d'aluminium et le substrat.
L'invention importe notamment pour la réalisation de panneaux reproducteurs d'image plans, comme des panneaux
reproducteurs à décharge dans le gaz, dont l'enveloppe com-
prend au moins une plaque en verre, sur laquelle est appliquée une configuration d'électrodes. De telles configurations doivent être composées d'électrodes rigoureusement définies
en ce qui concerne leur position relative et leurs dimensions.
L'application de la feuille d'aluminium offre des avantages
spéciaux du fait que l'aluminium est un métal facile à usi-
ner. Une configuration d'électrodes en aluminium appliquée conformément à l'invention sur la plaque en verre peut être
munie par éloxation, localement ou entièrement, d'une pelli-
cule d'oxyde. L'application locale par voie photographique d'une pellicule d'oxyde sur les électrodes permet d'obtenir des régions d'électrodes rigoureusement définies et non munies d'isolation (pellicule d'oxyde), ce qui importe pour les panneaux reproducteurs fonctionnant à tension continue et présentant un grand pouvoir de résolution. En munissant toute la configuration d'électrodes d'une pellicule d'oxyde, on peut obtenir un panneau reproducteur pouvant fonctionner
sous tension alternative.
Un tel panneau fonctionnant dans une tension alterna-
tive est muni d'une première plaque en verrecomportant une
configuration d'électrodes constituée par une feuille d'alu-
minium et puis d'une deuxième plaque en verre comportant éga-
lement une configuration d'électrodes constituée par une feuille d'aluminium. Les deux configurations d'électrodes sont munies d'une pellicule d'oxyde et sont orientées l'une
par rapport à l'autre, de façon à obtenir des parties super-
ficielles conjuguées des configurations d'électrodes entre
lesquelles peut être provoquée une décharge dans le gaz.
L'invention fournit simultanément une solution pour les problèmes qui se posent pendant la soudure hermétique des plaques en verre de panneaux reproducteurs. D'une façon générale, il était nécessaire de prendre des dispositions spéciales, par exemple, sous forme de bandes de traversée en argent, pour fermer hermétiquement le panneau à l'endroit des traversées des électrodes. De telles dispositions ne sont pas nécessaires dans les panneaux reproducteurs réalisés conformément à l'invention. La soudure entre les électrodes et le substrat en verre est hermétique et le verre de soudure, le plus souvent sous forme d'une "fritte de verre" assure simultanément une soudure hermétique entre les plaques en verre du panneau à l'endroit o les électrodes sortent
du panneau.
La description ci-après, en se référant au dessin
annexé, le tout donné à titre d'exemple non limitatif, fera
bien comprendre comment l'invention peut être réalisée.
Les figures 1, 2 et 3 illustrent trois stades d'une
forme de réalisation du procédé conforme à l'invention.
La figure 4 montre schématiquement un dispositif per-
mettant d'obtenir un contact superficiel uniforme entre
une feuille métallique et un substrat en verre uni.
La figure 5 représente un panneau reproducteur à dé-
charge dans le gaz dans une forme élémentaire muni d'une
configuration d'électrodes réalisée conformément à l'inven-
tion.
La figure 6 montre une vue en plan d'une autre forme de réalisation d'un panneau reproducteur à décharge dans le
gaz réalisé conformément à l'invention.
La figure 7 représente une section suivant le plan
VII-VII du panneau reproducteur à décharge dans le gaz repré-
senté sur la figure 6.
La figure 1 illustre l'application d'une feuille métal-
lique 1, d'une épaisseur d'environ 100 microns, sur une pla-
que en verre 2. La feuille métallique 1 est en aluminium et
la plaque en verre 2 est en verre à la chaux de sodium con-
tenant, en poids, environ 69,5 % de SiO2, 10 % de Na20, 7,5 %
de K20, 10 % de CaO et 3 % de BaO.
Comme le montre la figure 2, la plaque en verre et la feuille métallique sont posées sur une plaque de base en acier inoxydable 3 et chauffées dans un four à une température T1 d'environ 550 à 6000C. A cette température le verre à la
chaux de sodium présente une viscosité d'environ 10 Pa.sec.
La température T1 atteinte, la feuille métallique est appli-
quée uniformément contre la plaque en verre 2, pendant en-
2 viron 30 minutes, sous une pression d'environ 5.10 N/m comme l'indiquent les flèches 4, afin d'obtenir un contact
superficiel entre la feuille métallique et la plaque en verre.
Une telle application uniforme permet d'éviter la formation d'inclusions de gaz locales entre la feuille métallique l et la plaque en verre 2. A cet effet, la feuille métallique 1 est appliquée d'abord sur une surface limitée contre la plaque en verre 2, après quoi la pression est augmentée sur une région s'étendant vers les bords de la feuille. Comme
le montre schématiquement la figure 2 par un élément de ten-
sion V, la plaque en verre et la feuille en aluminium sont réunies par "jonction anodique". Ce processus de jonction s'effectue à une température T2 d'environ 2500C et consiste
à appliquer une différence de potentiel électrique aux bor-
nes de la plaque en verre et de la feuille, ce qui se tra-
duit par un courant électrique d'environ 0,5 A/m. Dans le cas o une feuille métallique se trouve des deux côtés de la plaque en verre, l'une de ces feuilles adhère à la
plaque en verre, suivant la polarité de la tension électri-
que. La feuille en aluminium n'adhérant pas à la plaque en verre peut être arrachée facilement de cette dernière. Or, des techniques photographiques connues en soi permettent de
réaliser par décapage toute configuration d'électrodes re-
quise dans la feuille en aluminium adhérente avec la grande précision inhérente à ces techniques. Ainsi, une plaque en
verre est munie d'une configuration d'électrodes convena-
blement adhérente, présentant l'épaisseur requise. La figu-
re 3 montre une telle plaque en verre 2 munie d'une confi-
guration d'électrodes 25 obtenue par un processus de décapa-
ge photographique.
Comme il ressort du dessin, le dispositif représenté sur la figure 4 permet de munir simultanément plusieurs plaques en verre 2 d'une feuille métallique 1. Les plaques
en verre 2 et 2a sont recouvertes des deux côtés de feuil--
les métalliques 1 et la, respectivement lb et lc et sont superposées. Entre les feuilles métalliques opposées la et lb se trouve une plaque en chrome-nickel-fer 13 recouverte des deux côtés d'une couche de graphite ou d'une couche de nitrure de bore et permettant d'empêcher l'adhérence des feuilles métalliques la et lb. Des boulons 7 traversant les g
trous 5 de la plaque de base 3 maintiennent une plaque su-
périeure en acier 6 à une distance préalablement déterminée de la plaque de base 3. La plaque supérieure 6 est munie d'une ouverture centrale 8 que traverse un tube 9. Le tube 9 est raccordé d'un côté à un récipient presseur en acier en forme de coussin 10, qui est constitué par deux membranes métalliques 11 et 12 reliées hermétiquement entre elles par leurs bords. L'ensemble formé par les plaques en verre 2 et 2a et les feuilles métalliques 1, la, lb et lc se trouve entre la membrane 12 du récipient presseur 10 et la plaque de base 3. L'ensemble est ensuite porté à une température comprise entre 550 et 6000 C. Puis le récipient presseur est porté à une pression d'environ 5.105N/m2 par l'intermédiaire du tube 9 et maintenu à cette pression pendant environ 30
minutes. Lors de la mise sous pression du récipient pres-
seur 10, la face de contact comprise entre la membrane 12
et la feuille lc sur la plaque en verre 2a s'agrandit régu-
lièrement vers les bords de la feuille lc. Ainsi on évite la
formation d'inclusions de faz (bulles de gaz) entre la pla-
que en verre 2 et les feuilles 1 et 1l d'un côté et entre la plaque en verre 2a et les feuilles lb et lc de l'autre côté. Un processus de jonction anodique comme décrit à l'aide de la figure 2, selon lequel une différence de po tentiel électrique est appliquée aux extrémités de la structure empilée soit les feuilles la et lc, soit les feuilles 1 et lb sont fixées aux plaques en verre 2 et 2a respectivement, suivant la polarité de cette différence
de potentiel.
Le procédé conforme à l'invention convient particu-
lièrement à la réalisation de dispositifs reproducteurs à décharge dans le gaz. La figure 5 représente la forme la plus élémentaire d'un tel dispositif reproducteur. Elle
consiste dans une plaque de fond en verre 20 etune plaque 'su-
p&jeure en verre 21 À Sour l-aque de f:nd 20 est appliquée une confl -
guration dalecomdes sot frme debandes d'aMmiiLum 22 con.bfnrment au procédé décrit à l'aide des figures 1 à 4. Les électrodes
22 constituent les cathodes du dispositif reproducteur.
De façon analogue,la plaque supérieure 21 est munie d'une configuration d'électrodes constituée par des électrodes en forme de bande 23, qui croisent les électrodes 22 et les anodes du dispositif reproducteur. Les plaques en verre 20 et 21 sqnt maintenues espacées, d'une distance définie, à l'aide
de moyens d'écartement non représentés sur le dessin, et re-
liées hermétiquement entre elles à l'aide d'un verre de sou-
dure. L'espace compris entre les plaques 20 et 21 est rempli d'un gaz ionisable approprié, comme par exemple le néon ou un mélange de néon et d'argon. L'application d'une différence de tension appropriée entre une cathode 22 et une anode 23
permet d'engendrer une décharge par lueur à l'endroit de croi-
sement de cette anode et de cette cathode, décharge qui est visible à travers la plaque supérieure 21. L'exploration des
anodes 23 et des cathodes 22 à une fréquence suffisante éle-
vée dans un ordre de succession préalablement déterminé à l'aide d'impulsions de tension correspondant à l'information d'image permet de reproduire une image composée de points de
décharge, qui se perçoivent comme une image lumineuse appa-
remment continue. Le panneau reproducteur décrit succinte-
ment dans ce qui précède fonctionne à l'aide de tension con-
tinue. Lorsque les électrodes 22 et 23 sont en aluminium, le panneau peut être rendu approprié, de façon simple, pour le
fonctionnement à l'aide de tension alternative par applica-
tion, par anodisation, d'une pellicule d'oxyde sur ces élec-
trodes en aluminium 22 et 23.
De plus, il est possible de munir les cathodes 22 d'une pellicule d'oxyde à l'exception de petites zones à l'endroit o les cathodes croisent une anode. Ainsi s'obtiennent des
domaines à décharge rigoureusement définis et peut être réa-
lisé un panneau à décharge présentant un grand pouvoir de résolution.
Une forme de réalisation spéciale d'un panneau repro-
ducteur à décharge dans le gaz munie d'une configuration
d'électrodes obtenue conformément à l'invention est repré-
sentée sur les figures 6 et 7. Sur une plaque de fond en verre 30 est appliquée, conformément à l'invention, une configuration d'électrodes en aluminium d'une épaisseur d'environ 50 microns constituée par des bandes cathodiques
parallèles 31 munies de saillies transversales 32. Les catho-
des sont munies, par anodisation, d'une pellicule d'oxyde
d'une épaisseur d'environ 20 microns (indiquée-par des sur-
faces pointillées sur la figure 6), à l'exception de petits
éléments superficiels 33 situés dans les saillies trans-
versales 32. Les éléments superficiels 33 non munis d'une pellicule d'oxyde constituent les parties superficielles,
actives pour une décharge des cathodes. Ces éléments super-
ficiels 33 peuvent s'obtenir par photodécapage sélectif. A cet effet, une couche de photorésist est appliquée sur la configuration d'électrodes en aluminium et exposée à l'aide d'un photomasque de façon qu'après développement, seuls les éléments superficiels à former 33 soient recouverts d'une couche de photoresist. Ensuite, la configuration d'électrodes est soumise à un processus d'anodisation, afin d'obtenir une pellicule d'oxyde d'une épaisseur d'environ 20 microns, à l'exception des surfaces recouvertes de photorésist. Puis s'obtiennent les éléments superficiels 33 par enlèvement de
la couche de photorésist. Ces éléments superficiels 33 coo-
pèrent avec des anodes en forme de bande 35 (indiquées par des lignes pointillées sur la figure 6) appliquées sur une plaque supérieure 34 afin d'obtenir une décharge. Ainsi, s'obtient un panneau à décharge dans le gaz présentant des éléments superficiels actifs très rigoureusement définies
situés tout près, les uns des autres. De plus, chaque déchar-
ge est limitée à une surface cathodique très réduite, le tout de façon à obtenir une image présentant un grand pouvoir
de résolution.
La figure 7 est une section suivant le plan VII-VII de
la figure 6. Les plaques de fond et supérieure 30, 34 res-
pectivement sont maintenues écartées par des éléments d'écar-
tement 36 d'une distance définie et sont reliées hermétique-
ment entre elles aux bords à l'aide d'un verre de soudure 37.
Aux parties superficielles 38 dégagées d'oxyde situées à l'extérieur du panneau, les cathodes 31 peuvent être munies
des tensions électriques requises.
Comme le montrent les figures 6 et 7, les électrodes 35 et 31 sont munies de terminaisons solidaires 39, 40, res-
pectivement, afin de pouvoir appliquer les tensions élec-
triques requises, à l'extérieur, à ces électrodes. L'inven-
tion fournit également une adhérence hermétique entre ces
terminaisons 39 et 40 et les plaques de verre 34, 30 respec-
tivement. Grâce à cette adhérence hermétique, une obturation étanche au vide du panneau à décharge s'obtient également à l'endroit de.ces terminaisons à l'aide de verre de soudure
37. De plus, il y a lieu de noter que dans la forme de réa-
lisation représentée sur les figures 6 et 7, les décharges se produisant entre une anode 35 et un élément superficiel cathodique 33 s'étendent essentiellement parallèlement au panneau. Ainsi, grâce à la pellicule d'oxyde isolante, les anodes peuvent reposer sur les cathodes, cas dans lequel
les éléments d'écartement 36 sont superflus.

Claims (8)

REVENDICATIONS
1.- Procédé permettant de réaliser un dispositif à dé-
charge électrique muni d'une configuration d'électrodes (25) appliquée sur un substrat en verre (2), dont les électrodes sont fixées au substrat en verre à l'aide d'un processus de soudure anodique, caractérisé en ce que sur la surface du substrat (2) à munir de la configuration d'électrodes (25) est appliquée une feuille métallique (1), l'ensemble de la feuille métallique (1) et du substrat (2) est porté à une température T1, qui est inférieure au point de fusion du métal de la feuille (1) et la viscosité du verre du substrat (2) présente une valeur d'environ à 1013 Pa.sec., la feuille métallique (1) est appliquée uniformément Contre la surface de substrat (2) à la température Tl pendant une durée, qui suffit pour obtenir un contact uniforme entre la feuille-métallique (1) et le substrat (21 aprèsquoi la
feuille métallique (1) est fixée au substrat (2) à une tem-
pérature T2 à l'aide d'un processus de jonction anodique et puis, la configuration -d'électrodes (25) requise -est
formée par enlèvement local de la feuille métallique (1).
2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la feuille métallique (1) est appliquée contre la surface du substrat (2) pendant environ 60 à 5 minutes sous une pression comprise entre environ 3.10 et 8. 10 N/m 3.- Procédé selon la revendication'l ou 2, caractérisé en ce que la feuille métallique (1) est appliquée d'abord sur une surface limitée contre le substrat (2), après quoi la pression est augmentée sur une région s'étendant vers les
bords de ladite feuille métallique (1).
4.- Procédé selon la revendication 1, 2 ou 3, caracté-
risé par l'utilisation d'une feuille métallique (1) en alu-
minium. 5.- Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le substrat en verre (2) est constitué par un verre
doux, notamment un verre à la chaux de sodium.
6.- Dispositif à décharge électrique réalisé par la
mise en oeuvre selon l'une des revendications 1 à 5.
7.- Dispositif à décharge électrique selon la revendi-
cation 6, caractérisé en ce qu'il est constitué par un pan-
neau reproducteur à décharge dans le gaz, dont l'enveloppe comprend au moins une première plaque en verre (20), qui est munie d'une configuration d'électrodes (22) constituée par
une feuille d'aluminium.
8.- Panneau reproducteur à décharge dans le gaz selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'enveloppe comprend en outre une seconde plaque en verre (21), qui est également munie d'une configuration d'électrodes (23) constituée par une feuille d'aluminium et les configurationsd'électrodes
(22, 23) de la première plaque en verre (20) et de la secon-
de plaque en verre (21) sont munies d'une -pellicule d'oxyde.
9.- Panneau reproducteur à décharge dans le gaz selon la revendication 7, caractérisé en ce que la configuration d'électrodes (31) est munie d'une pellicule d'oxyde à
l'exception de petits éléments superficiels (33) qui cons-
tituent les parties superficielles actives pour une décharge
de ladite configuration d'électrodes (31).
10.- Panneau reproducteur à décharge dans le gaz selon
la revendication 7, 8 ou 9, caractérisé en ce que la pre-
mière plaque en verre (30, 20) munie de la configuration d'électrodes (31, 22) est reliée, suivant un circuit fermé, à l'aide d'un verre de soudure (37), à une seconde plaque en verre (34,21) et la configuration d'éledtrodes (31,22,23,35) est munie de terminaisons solidaires (39,40) qui croisent
le circuit de verre de soudure (37) et qui sont fixées à l'en-
droit d'un tel croisement, d'un côté de façon directe à la plaque en verre (30,20,34,21) et, de l'autre côté, de façon directe au verre de soudure (37) afin de former une traversée
électrique étanche au vide pour une électrode de la configu-
ration d'électrodes (31,22,23,35).
FR8112417A 1980-06-26 1981-06-24 Procede pour la realisation d'un dispositif a decharge electrique muni d'une configuration d'electrodes appliquee sur un substrat en verre et dispositif a decharge electrique ainsi obtenu Granted FR2485514A1 (fr)

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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4533794A (en) * 1983-05-23 1985-08-06 Beveridge Harold N Electrode for electrostatic transducer
US4863701A (en) * 1985-12-05 1989-09-05 Mcmurray Larry D Apparatus for generating ozone
JP2593761B2 (ja) * 1992-02-06 1997-03-26 株式会社ノリタケカンパニーリミテド プラズマディスプレイパネル
US5598052A (en) * 1992-07-28 1997-01-28 Philips Electronics North America Vacuum microelectronic device and methodology for fabricating same
US5438343A (en) * 1992-07-28 1995-08-01 Philips Electronics North America Corporation Gas discharge displays and methodology for fabricating same by micromachining technology
DE4311762C2 (de) * 1993-04-08 1995-02-02 Josef Dr Kemmer Verfahren zur Verbindung elektrischer Kontaktstellen
US5914562A (en) * 1995-02-06 1999-06-22 Philips Electronics North America Corporation Anodic bonded plasma addressed liquid crystal displays
EP0818799A3 (fr) * 1996-07-12 1998-09-23 Tektronix, Inc. Structure de cathode pour un panneau d'affichage à cristaux liquides à adressage par plasma
US5811935A (en) * 1996-11-26 1998-09-22 Philips Electronics North America Corporation Discharge lamp with T-shaped electrodes
CN1267967C (zh) * 1997-03-21 2006-08-02 电灯专利信托有限公司 背景照明用的平面荧光灯和带有该荧光灯的液晶显示装置
DE19711893A1 (de) * 1997-03-21 1998-09-24 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Flachstrahler
JP3442294B2 (ja) * 1998-09-29 2003-09-02 三菱電機株式会社 平面表示パネル
US6072580A (en) * 1999-01-21 2000-06-06 Honeywell Inc. Method for anodically bonding an electrode to a ring laser gyro block
JP3961182B2 (ja) * 1999-01-29 2007-08-22 セイコーインスツル株式会社 陽極接合方法
KR100956068B1 (ko) 2008-05-19 2010-05-07 이동헌 정보 디스플레이용 유리패널의 전극제조방법 및 그 방법에의해 제조된 유리패널

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1255941A (en) * 1968-02-19 1971-12-01 Marconi Co Ltd Improvements in or relating to the manufacture of microminiature integrated circuit arrangements and structures
US4083710A (en) * 1977-01-21 1978-04-11 Rca Corporation Method of forming a metal pattern on an insulating substrate

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3417459A (en) * 1965-05-06 1968-12-24 Mallory & Co Inc P R Bonding electrically conductive metals to insulators
US4009061A (en) * 1975-08-14 1977-02-22 Burroughs Corporation Etchant and method of etching tin oxide film

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1255941A (en) * 1968-02-19 1971-12-01 Marconi Co Ltd Improvements in or relating to the manufacture of microminiature integrated circuit arrangements and structures
US4083710A (en) * 1977-01-21 1978-04-11 Rca Corporation Method of forming a metal pattern on an insulating substrate

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, vol. 17, no. 4, septembre 1974, NEW YORK (US) *

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GB2079046A (en) 1982-01-13

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