FR2331378A1 - Procede pour fabriquer des monocristaux de silicium dopes au phosphore avec un appauvrissement ou un enrichissement marginal en substance dopante, desire suivant une direction radiale. - Google Patents

Procede pour fabriquer des monocristaux de silicium dopes au phosphore avec un appauvrissement ou un enrichissement marginal en substance dopante, desire suivant une direction radiale.

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