FR1184364A - Source de vapeur de métal, notamment pour pompes à vide à diffusion et procédé de fonctionnement correspondant - Google Patents

Source de vapeur de métal, notamment pour pompes à vide à diffusion et procédé de fonctionnement correspondant

Info

Publication number
FR1184364A
FR1184364A FR1184364DA FR1184364A FR 1184364 A FR1184364 A FR 1184364A FR 1184364D A FR1184364D A FR 1184364DA FR 1184364 A FR1184364 A FR 1184364A
Authority
FR
France
Prior art keywords
source
metal vapor
vacuum pumps
diffusion vacuum
diffusion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Edwards High Vacuum Ltd
Original Assignee
Edwards High Vacuum Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Edwards High Vacuum Ltd filed Critical Edwards High Vacuum Ltd
Application granted granted Critical
Publication of FR1184364A publication Critical patent/FR1184364A/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
    • H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
FR1184364D 1956-10-12 1957-10-12 Source de vapeur de métal, notamment pour pompes à vide à diffusion et procédé de fonctionnement correspondant Expired FR1184364A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB31217/56A GB879256A (en) 1956-10-12 1956-10-12 Improvements in or relating to vaporisation of metals

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR1184364A true FR1184364A (fr) 1959-07-21

Family

ID=10319789

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1184364D Expired FR1184364A (fr) 1956-10-12 1957-10-12 Source de vapeur de métal, notamment pour pompes à vide à diffusion et procédé de fonctionnement correspondant

Country Status (4)

Country Link
US (1) US3056740A (fr)
DE (1) DE1242429B (fr)
FR (1) FR1184364A (fr)
GB (1) GB879256A (fr)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL282934A (fr) * 1961-09-07
US3156406A (en) * 1962-03-26 1964-11-10 Varian Associates High vacuum pumping method and apparatus
US3358910A (en) * 1964-11-16 1967-12-19 Nippon Electric Co Vacuum pump
DE1771629B1 (de) * 1968-06-19 1971-07-29 Heraeus Gmbh W C Verdampfungsvorrichtung fuer aluminiunm
DE4201584C1 (fr) * 1992-01-22 1993-04-15 Leybold Ag, 6450 Hanau, De
RU2596533C2 (ru) * 2014-10-28 2016-09-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Катод электродугового испарителя и способ его изготовления

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE661185C (de) * 1936-02-01 1938-06-13 Bernhard Berghaus Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von metallischen UEberzuegen aus mittels eines Lichtbogens in einer Kammer verdampften Metallen
GB505135A (en) * 1937-03-25 1939-05-05 Bernhard Berghaus Improvements in and relating to the coating of articles by cathode disintegration
GB513257A (en) * 1938-03-02 1939-10-09 Paul Alexander Process of and apparatus for deposition of metals by thermal evaporation in vacuum
US2717962A (en) * 1944-03-31 1955-09-13 Louis F Wouters Electric discharge devices
US2527747A (en) * 1946-01-03 1950-10-31 Margaret N Lewis Apparatus for coating articles by thermal evaporation
US2509053A (en) * 1947-11-08 1950-05-23 Bell Telephone Labor Inc Space current device employing mutually bombarded electrodes
GB754102A (en) * 1951-06-22 1956-08-01 Edwards & Co London Ltd W Improvements in or relating to a method and apparatus for vapourising materials, forexample, metal in vacuum
US2808980A (en) * 1953-09-23 1957-10-08 Westinghouse Electric Corp Electrical vacuum pump
US2791371A (en) * 1956-01-09 1957-05-07 Jr John S Foster Radio frequency ion pump
US2960457A (en) * 1956-02-28 1960-11-15 Servomechanisms Inc Apparatus for vaporizing coating materials

Also Published As

Publication number Publication date
DE1242429B (de) 1967-06-15
GB879256A (en) 1961-10-11
US3056740A (en) 1962-10-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR1184364A (fr) Source de vapeur de métal, notamment pour pompes à vide à diffusion et procédé de fonctionnement correspondant
FR1252021A (fr) Oxazolidine diones et procédé pour leur préparation
FR1187996A (fr) Procédé et dispositif de traitement de l'acier sous vide
FR1166887A (fr) Procédé pour le traitement de poly-oléfines basse-pression
FR1192368A (fr) Procédé et dispositif pour le traitement sous vide de l'acier
FR1181855A (fr) Tuyau pour haute pression et son procédé de fabrication
FR1096377A (fr) Procédé de fonctionnement de pompes à diffusion à vide poussé et pompe à diffusion à vide poussé pour la mise en oeuvre de ce procédé
FR1154854A (fr) Tubes métalliques pour tous montages
FR1151671A (fr) Procédé de fonctionnement de pompes mécaniques root à vide poussé
FR1071418A (fr) Tube à décharge à vapeur de mercure, perfectionné, et procédé de fabrication dudit tube
CH345483A (fr) Transducteur et procédé pour sa fabrication
BE574843Q (fr) 3-Sulfanilamido-5-méthylixazole et procédé pour le préparer.
FR1150035A (fr) Procédé de filage de métaux ou alliages difficiles à filer
FR1166016A (fr) Procédé de refroidissement pour pompes à vide à vapeur et pompes pour l'application dudit procédé
FR1187123A (fr) Instrument pour le travail des cadrans et procédé pour sa fabrication
FR1155972A (fr) Procédé et dispositifs pour le cintrage de tubes
FR1172763A (fr) Procédé perfectionné de traitement de matériel photographique
FR1173858A (fr) Procédé pour le traitement du houblon
FR1186094A (fr) Procédé pour le traitement physico-chimique de gaz
FR1226416A (fr) Procédé pour l'obtention de plutonium à forte concentration
FR1096390A (fr) Scellé, procédé et appareil pour sa fabrication
FR1157387A (fr) Procédé et dispositif pour la fabrication de chaussures et chaussures obtenues par leur mise en oeuvre
FR1112467A (fr) 1, 4, 5, 7, 7-hexachloro-2-chlorométhyl-bicyclo (2. 2. 1)-5-heptène, et procédé pour sa préparation
FR1110241A (fr) Alliage de métal dur et procédé pour sa fabrication
FR69580E (fr) Vitrages bombés, procédé et appareillage pour leur fabrication