FI73523C - Tryck- eller tryckdifferensmaetare med en mot oeverbelastning skyddad tryckavkaenningsanordning. - Google Patents

Description

73523

Paine- tai paine-eromittauslaite, jossa on ylikuormitukselta suojattu painesensorilaite

Keksinnön kohteena on paine- tai paine-eromittauslaite, jossa on keskeinen kiinnityskappale ja ylikuormitukselta suojattu painesensorilaite mittauskammiossa, jonka osakammiot on yhdistetty kulloinkin yhden liitäntäkanavan kautta esikammioihin, jotka on muodostettu kulloinkin yhdellä erotuskalvolla ja kiinnitys-kappaleella, ja lisäkalvot, jotka on järjestetty kulloinkin erotuskalvon viereen ja ovat tämän kanssa paineensiirtävässä yhteydessä, jolloin lisäkalvot on kuormitettu esijännityksellä, sekä lisäkanavat liitäntäkanavista lisäkalvoihin.

Tunnetussa tämäntyyppisessä laitteessa (DE-hakemusjulkaisu 27 18 931) on jokainen lisäkalvo sijoitettu täytenesteellä täytettyyn lisäkammioon; lisäkammiot jaetaan lisäkalvoilla kulloinkin kahteen osakammioon, joista jokainen on liitetty lisäkanavaan. Lisäkalvot on esijännitetty. Lisäkanavat on järjestetty siten, että toisen lisäkalvon toiselle sivulle päätyvä lisäkanava on liitetty yhdessä toisen lisäkalvon vastaavalle sivulle päätyvän lisäkanavan kanssa liitäntä-kanavaan. Vastaavasti on toinen liitäntäkanava yhdistetty kahden muun lisäkanavan kautta molempien lisäkalvojen kulloinkin toisiin sivuihin.

Eräässä toisessa tunnetussa paine- ja paine-eromittauslait-teessa (DE-kuulutusjulkaisu 26 57 933) on keskeiseen kiin-nityskappaleeseen järjestetty tasauskammio, joka on jaettu tasauskalvolla. Tasauskalvon toinen osakammio on yhdistetty tunnetun laitteen toiseen esikammioon ja toinen osakammio toiseen esikammioon. Tunnetun laitteen painesensorilaite tai vast, sen vastaanottava kiinnityskammio on yhdistetty liitäntäkanavan kautta toiseen esikammioon tai vast, tasauskaimu.-on tähän päin olevaan osakammioon ja toisen liitäntäkanavan kautta toiseen esikammioon tai vast, tasauskammion toiseen osakammioon. Tällä tavalla saadaan aikaan paine- tai vast, paine-eromittauslaite, joka muodostaa tasauskalvon mitoituksen 2 73523 johdosta paineentasaustien, joka on yhdensuuntainen paine-sensorilaitteeseen nähden mittauskammiossa, minkä ansiosta vältetään painesensorilaitteen ylikuormitus. Painesensori-laite muodostuu tunnetussa laitteessa puolijohdemittauskalvon sisältävästä seinämästä. Koska tällaiset painesensorilaitteet ovat erittäin herkkiä ylikuorman suhteen, on tunnettu laite muodostettu yllä selitetyllä tavalla.

Aivan samankaltaisesti on muodostettu muut tunnetut erotus-painemittausmuuntajät (DE-kuulutusjulkaisu 27 18 873 ja DE-kuulutusjulkaisu 30 47 276), joissa keskeisestä kiinnitys-kappaleesta on johdettu kaksi kanavaa viereen järjestettyyn, erityiseen konstruktiiviseen, painesensorilaitteella varustettuun yksikköön; myös tässä muodostuu sensorilaite ylikuormituksen suhteen herkästä puolijohdeilmaisimesta, joka on suojattu varsinaisen mittauskammion suhteen yhdensuuntaisella tasauskammiolla ylikuormitusta vastaan.

Tunnetuissa paine- tai paine-eromittauslaitteissa on se haitta, että ne on rakennettu suhteellisen monimutkaisesti. Ne tarvitsevat nimittäin mittauskammion lisäksi toisen kalvolla varustetun tasauskammion tai vast, lisäkalvoilla varustettuja lisä-kammioita, mikä vaatii joko painesensoriyksikön sijoittamista keskeisen kiinnityskappaleen viereen järjestettyyn ylimääräiseen rakenteeseen tai liitäntäkanavan viemistä keskeisesti kiinnityskappaleesta·ulos ja tämän jälkeen jälleen tähän takaisin .

Keksinnön perustana on tehtävä saada aikaan paine- tai paine-eromittauslaite, jossa on keskeinen kiinnityskappale ja ylikuormitukselta suojattu painesensorilaite mittauskammiossa, jolle on ominaista verraten yksinkertainen konstruktiivinen rakenne ja joka voidaan siten valmistaa myös kustannuksiltaan edullisesti. Tämän lisäksi pyritään parantamaan mittausomi-naisuuksia verrattuna tunnettuihin laitteisiin.

Tämän tehtävän ratkaisemiseksi alussa mainitun tyyppisessä paine- tai paine-eromittauslaitteessa ovat keksinnön mukaisesti 3 73523 lisäkalvot niiden esijännityksen johdosta kiinnityskappalettä vasten, ja liitäntäkanavasta kulloinkin toiseen erotuskalvoon on yksi ainoa lisäkanava johdettu pois, joka johtaa siihen li-säkalvoon, joka on kulloinkin toisen erotuskalvon vieressä.

#

Keksinnön mukaisen mittauslaitteen olennaisena etuna on se, että se on rakenteeltaan suhteellisen yksinkertainen, sillä keksinnön mukainen laite tulee toimeen verrattuna alussa selitettyyn tunnettuun laitteeseen vain yhdellä ainoalla lisäkana-valla jokaista 1iitäntäkanavaa kohden ja verrattuna tunnettuun laitteeseen, jossa on suhteellisen suuri tasauskalvoi 1 a varustettu tasauskammio, ilman tätä kammiota. Tasauskalvoi 1 a varustetun tasauskammion sijasta on keksinnön mukaisessa mittauslaitteessa sijoitettu vain kaksi lisäkalvoa erotuskalvojen 1 ä-heisyyteen, nimittäin siten, että muodostuu kulloinkin pai-neensiirtävä liitäntä erotuskalvon ja lisäkalvon välillä.

Lisäkalvojen sijoitus erotuskalvojen läheisyyteen mahdollistaa edullisella tavalla painesensori1 aitteen sekä sen vastaanottavan mittauskammion sijoittamisen keskeiseen kiinnitys-kappaleeseen, jolloin 1iitäntäkanavien tai vast, lisäkanavien ohjaus ei tuota minkäänlaisia vaikeuksia, koska ei tarvitse kiertää tasauskammiota.

Mittausteknisesti tarjoaa keksinnön mukainen mittauslaite useita etuja. Eräs etu on se, että tasauskalvon jousi jäykkyyden aiheuttamia 1ämpötilavaikutuksia mittausvirheeseen ei voi esiintyä; tämän lisäksi ei esiinny enää 1ämpöti1avaikutusta mittausvirheeseen täytenesteen ti 1 avuusmuutoksen aiheuttaman erotuskalvojäykkyyden muutoksen johdosta. Edelleen viitattakoon siihen, että keksinnön mukaisessa laitteessa painevaiku-tusta nollapisteeseen ei enää esiinny, erisuurten kotelokam-miomuutosten johdosta erotuskalvojäykkyyden yhteydessä kuten on asianlaita tunnetuissa laitteissa. Painevaikutus mittausvirheeseen esiintyy keksinnön mukaisessa laitteessa myös enää vain sensorin johdosta eikä ole tästä syystä enää riippuvainen erotuskalvojäykkyyden muutoksista, jotka aiheutuvat 4 73523 täyttötilavuusmuutoksen ja kotelovenymän aiheuttaman tasauskalvon jousi jäykkyyden muutoksen johdosta. Myös ominaiskäyrävirhe on enää riippuvainen painesensorilaitteesta ja sen jälkeen järjestetystä elektroniikasta; epälineaarisilla erotuskal-voilla ja epälineaarisella tasauskalvolla ei ole mitään vaikutusta laitteen ominaiskäyrään, koska käytettäessä ensisijaisesti puolijohdeilmaisinta painesensorilaitteessa on säädönsiirtymätilavuus hyvin pieni. Lopuksi viitattakoon vielä siihen, että vaihtoylikuormitusvaikutus nollapisteeseen keksinnön mukaisessa laitteessa on enää riippuvainen erotuskalvojen hystereesistä eikä tasauskalvon hystereesistä. Syynä yllä mainituille eduille on se, että keksinnön mukaisessa mittauslaitteessa lisäkalvoilla ei ole normaaleissa painesuhteissa minkäänlaista vaikutusta mittauskäyttäyty-miseen, koska ne tässä käyttötilassa ovat toimimattomia, ja laitteella on kaikenkaikkiaan huomattavasti pienemmät täyte-nestetilat.

Keksinnön mukaisessa paine- tai paine-eromittauslaitteessa voivat lisäkalvot olla sijoitettuina eri tavoin erotuskalvo-jen läheisyyteen kiinnityskappaleeseen. Edullisena pidetään sitä, kun lisäkalvot ovat kulloinkin yhdessä lisäkammiossa ja lisäkammiot on yhdistetty apukanavien kautta kulloinkin viereiseen esikammioon rajoittuvaan tilaan. Keksinnön mukaisen mittauslaitteen tässä rakenteessa on se etu, että lisä-kalvot voidaan mitoittaa viereisen erotuskalvon suhteen pitkälti riippumattomasti ja että erotuskalvo ja lisäkalvo voidaan sijoittaa kulloinkin erikseen kiinnityskappaleeseen. Lisäkalvojen järjestely kulloinkin yhteen lisäkammioon mahdollistaa lisäkalvojen puristamisen lisäkammioissa olevalla kulloinkin vähintään yhdellä painejousella kiinnityskappaletta vasten. Siten voidaan tarvittaessa lisäkalvo puristaa suurella voimalla kiinnityskappaletta vasten.

Erittäin edullisena pidetään keksinnön mukaisen mittauslaitteen erästä suoritusmuotoa, jossa lisäkalvot on kiinnitetty kulloinkin esikammioiden sisäpuolella kiinnityskappaleeseen. Lisäkalvojen tulee tässä tapauksessa omata pienempi läpimitta kuin erotuskalvoissa; vastaavan esikammion 1iitäntäkanava 73523 5 on ohjattu lisäkalvon alueen ulkopuolella esikammioon, kun taas kulloinkin vastapäätä olevalle esikanuniolle järjestetty lisäkanava on viety lisäkalvoon. Tämän suoritusmuodon erityinen etu on siinä, että se mahdollistaa erittäin kompaktin rakenteen ja tämän lisäksi se mahdollistaa yksinkertaisen valmistuksen, koska erotus- ja viereistä lisäkalvoa varten on järjestettävä kulloinkin vain yksi ainoa kalvorunko keskeiseen kiinnityskappaleeseen.

Riippumatta keksinnön mukaisen paine- tai paine-eromittaus-laitteen konstruktiivisesta muodosta on lisäkalvoilla sellainen esijännitys, että ne nousevat kiinnityskappaleelta vasta ennalta ylitettäessä määrätty erotuspaine painesenso-rilaitteessa. Ennalta määrätyn erotuspaineen kohdalla kysymyksessä on paine, joka on erotuspaineen nimellisarvon yläpuolella.

Lisäkalvojen esijännitys voidaan saada aikaan keksinnön erään edelleenkehitysmuodon mukaisesti edullisella tavalla siten, että kiinnityskappaleen ja lisäkalvojen välissä on kulloinkin valukappale, joka on muodostettu kulloinkin kiinnityskappaleen ja lisäkalvon väliin ylipaineessa sijoitetusta ja jähmettyneestä nesteestä. Sen ansiosta, että neste sijoitetaan ylipaineessa, siis nimellisarvon yläpuolella olevassa paineessa ja saatetaan jähmettymään tässä paineessa, saa lisäkalvo sellaisen esijännityksen, että se ei vaikuta varmuudella nimellispainealueella häiritsevästi mittaus-käyttäytyrniseen. Jos ylipaine on valittu siten, että se vastaa sitä painetta, jossa kulloinkin kyseessä olevan lisä-kalvon tulee nousta, silloin on saatu aikaan se, että lisä-kalvot eivät suorita varsinaisella mittausalueella mitään iskuliikkeitä ja ottavat vastaan ylipainealueella siirtymä-tilavuuden kulloinkin ei vieressä olevan erotuskalvon alapuolella .

Valukappaleiden eräs toinen etu on se, että lisäkalvct ovat niiden avulla muodostettujen kalvorunkojen johdosta ilman onteloa runkoa vasten ja tukevat kulloinkin vieressä olevaa 6 7 3 5 2 3 erotuskalvoa ilman pysyviä muodonmuutoksia mekaanisesti.

Neste on edullisesti alhaisissa lämpötiloissa olevasta metallista kuten esim. tinasta olevaa metallisulaa. Voidaan käyttää myös muita jähmettyviä aineita kuin nestettä.

Valukappaleen liimautumisen estämiseksi lisäkalvoihin ja nesteen poisvirtaamisen estämiseksi liitäntäkanavan kautta vastapäätä olevaan erotuskalvoon on edullisesti jokaisen valukappaleen ja sille kuuluvan lisäkalvon väliin järjestetty ohut tiivistekalvo, joka on sijoitettu lisäkalvon sisäpuolella kiinnityskappaleeseen.

Erittäin edullisena pidetään sitä, kun lisäkalvoissa on niiden kulloinkin tiivistekalvoon päin olevalla sivulla karkea pinta. Lisäkalvojen karkea pinta helpottaa nousemista tiivistekalvolta, kun ylipainetta esiintyy.

Tunnetaan tosin menetelmä painekuormitetun kalvon kalvo-rungon valmistamiseksi (DE-hakemusjulkaisu 28 11 442), jossa kalvolle järjestetty kappale on varustettu kalvoon päin olevalla sivullaan koverruksella, joka on suljettu kalvoon päin ohuella seinämällä ja täytetty kovettuvalla väliaineella, kuitenkin tällöin saadaan aikaan kalvoon kappaleen suuntaan kohdistetulla paineella vain hyvin suuren tarkkuuden omaava kalvorunko, niin että kalvo ylikuormitustapauksessa voi ilman muodonmuutoksia asettua kalvorunkoa vasten.

Keksinnön selittämiseksi on kuviossa 1 esitetty keksinnön mukaisen paine-eromittauslait-teen suoritusesimerkki, jossa on lisäkammioihin kiinnitetyt lisäkalvot, kuviossa 2 eräs toinen suoritusesimerkki, jossa on esikammi-oiden sisäpuolelle sijoitetut lisäkalvot, kuviossa 3 eräs toinen paine-eromittauslaitteen suoritusesimerkki, jossa on valukappaleet, ja kuviossa 4 suurennettu osa kuviosta 3.

73523 7

Kuvion 1 mukaisessa suoritusesimerkissä on keskeinen kiin-nityskappale 1, joka on suljettu molemmin puolin suojuksilla 2 ja 3. Suojuksissa 2 ja 3 on virtausaukot 4 ja 5, joiden kautta mittauslaite kuormitetaan oletettavalla paine-erolla. Keskeinen kiinnityskappale 1 on varustettu molemmilla sivuilla kulloinkin yhdellä erotuskalvolla 6 tai vast. 7, jotka ovat kiinnityskappaleen 1 kalvorungoksi muodostettuja pääty-pintoja vastapäätä ja rajoittavat kulloinkin yhtä esikammi-ota 8 tai vast. 9. Kiinnityskappaleen 1 sisäpuolella ovat lisäkammiot 10 ja 11, jotka on yhdistetty apukanavien 12 tai vast. 13 kautta suojusten 2 ja 3 sisätilaan, minkä johdosta muodostuu paineensiirtävä yhteys lisäkammioiden 10 ja 11 ja erotuskalvon 6 tai vast. 7 välillä. Lisäkammioihin 10 ja 11 on järjestetty kulloinkin yksi lisäkalvo 14 tai vast. 15, joka on painettu kulloinkin yhdellä painejousel-la 16 tai vast. 17 kiinnityskappaletta vasten. Painejousis-ta 16 tai vast. 17 voidaan luopua, kun lisäkalvoja käytetään riittävällä esijännityksellä.

Kiinnityskappaleen 1 sisäpuolella on edelleen mittauskammio 18, joka on jaettu kuviossa vain kaaviomaisesti esitetyllä painesensorilaitteella 19 osakammioon 20 ja toiseen osakam-mioon 21. Painesensorilaite 19 on muodostettu mieluummin puolijohdemittauskalvolla varustettuna seinämänä. Mittaus-kammion 18 osakammio 20 on yhdistetty liitäntäkanavan 22 kautta esikammioon 8, kun taas toinen osakammio 21 on toisen liitäntäkanavan 23 kautta yhteydessä esikammioon 9. Lisä-kanavan 24 kautta on johdettu toinen liitäntäkanava 22 lisäksi lisäkalvoon 15 sen esikammiosta 9 poispäin olevalla sivulla; vastaavasti on toinen liitäntäkanava 23 liitetty toisen lisäkanavan 25 kautta lisäkalvoon 14.

Kuviossa 1 esitetty keksinnön mukainen paine-eromittauslaite toimii seuraavalla tavalla: Jos laite on alistettu erotus-paineen nimellisarvon alapuolella tai tämän alueella olevaan erotuspaineeseen, silloin tämä erotuspaine ilmoitetaan liitän-täkanavien 22 ja 23 kautta painesensorilaitteeseen 19, joka δ 73523 mahdollistaa tällöin vastaavan sähkösignaalin ottamisen. Lisäkalvot 14 ja 15 ovat niitä kuormittavan esijännityksen johdosta toimimattomia. Jos paine-ero ylittää ylikuormituksen johdosta paine-eron nimellisarvon ennalta määrätyllä arvolla, silloin vastaavissa paineolosuhteissa puristaa erotuskalvo 7 sen alapuolella esikammiossa 9 olevan paineenvälitysnesteen ulos? ulospuristettu neste saapuu liitäntäkanavan 23 ja lisäkanavan 25 kautta lisäkalvoon 14 ja saattaa tämän nousemaan. Erotuskalvolla 7 ulospuristettu neste otetaan siis nousevan lisäkalvon 14 alapuolelle. Pai-nesensorilaitteen 19 painesensorilaitteelle sallitun suureen yläpuolella oleva ylikuormitus vältetään tällä tavalla.

Vastaavasti toimii mittauslaite silloin, kun esiintyvien ylipainesuhteiden johdosta erotuskalvo 6 puristaa ulos sen esikammiossa olevan nesteen liitäntäkanavan 22 kautta, koska tämä neste saattaa tällöin lisäkanavan 24 kautta lisäkalvon 15 nousemaan.

Kuvion 2 mukaisessa suoritusesimerkissä, jossa on esitetty vain keksinnön yhteydessä olennaiset osat, on keskeinen kiin-nityskappale 30 muodostettu sen molemmista päätysivuista 31 ja 32 siten, että siinä muodostuu kulloinkin yksi kalvorunko 33 ja 34. Kiinnityskappaleeseen 30 on molemmilla päätysivuilla 31 ja 32 hitsattu kulloinkin yksi lisäkalvo 35 tai vast.

36, jolloin lisäkalvoissa 35 ja 36 on kulloinkin sellainen esijännitys, että ne puristuvat kulloinkin kyseessä olevaa kalvorunkoa 33 tai vast. 34 vasten. Samoin kiinnityskappa-leen 30 päätysivuihin 31 ja 32 on sijoitettu kulloinkin yksi erotuskalvo 37 ja 38, jotka yhdessä kiinnityskappaleen 30 tai vast, tämän päällä olevien lisäkalvojen 35 ja 36 kanssa muodostavat kulloinkin yhden esikammion 39 tai vast. 40. Lisäkalvot 35 ja 36 on muodostettu läpimitaltaan pienemmäksi kuin erotuskalvot 39 ja 40.

Erotuskalvojen ja lisäkalvojen valittu muoto ja sijoitus mahdollistavat kulloinkin yhden liitäntäkanavan 41 tai vast.

42 järjestämisen lisäkalvojen 35 ja 36 alueen ulkopuolelle, 9 73523 joiden kanavien kautta esikammiot 39 tai vast. 40 on yhdistetty kiinnityskappaleen 30 sisäosaan järjestettyyn mittaus-kammioon 43. Mittauskammion 43 sisäpuolelle on järjestetty puolestaan painesensorilaite 44, joka on esitetty myös kuviossa 2 vain kaaviomaisesti.

Liitäntäkanavasta 41 johtaa lisäkanava 45 lisäkalvoon 36; vastaavasti on toinen lisäkanava 46 järjestetty liitäntä-kanavan 42 ja lisäkalvon 35 väliin.

Kuvion 2 mukainen paine-eromittauslaite toimii aivan samalla tavalla kuin kuvion 1 mukainen laite; myös tässä lisä-kalvoilla 35 ja 36 ei ole erotuspaineen nimellisalueella olevissa erotuspaineissa minkäänlaista vaikutusta mittauskäytyytymiseen, koska näissä käyttöolosuhteissa lisäkalvot 35 ja 36 puristuvat kiinnityskappaletta 30 vasten. Jos erotuspai-ne sitä vastoin ylittää ennalta määrätyn, erotuspaineen nimelliskoon yläpuolella olevan arvon, silloin riippuen esiintyvistä paineolosuhteista joko lisäkanavan 45 kautta nostetaan ero-tuskalvolta 37 lisäkalvo 36 tai saatetaan nousemaan lisäkanavan 46 kautta erotuskalvolta 38 lisäkalvo 35. Joka tapauksessa otetaan lisäkalvoilla vastaan erotuskalvoilla ylikuormituksessa esikammioista puristettu neste ja siten vältetään paine-sensorilaitteen 44 vaarallinen ylikuormitus.

*

Kuvioiden 3 ja 4 mukainen suoritusesimerkki eroaa kuvion 2 mukaisesta siinä, että kiinnityskappaleen 30 molemmin puolin on järjestetty valukappaleet 50 ja 51, jotka on muodostettu jähmettyvästä nesteestä. Neste on puristettu kulloinkin yhden tulokanavan 52 tai vast. 53 kautta vastaanottokappaleen 30 ja lisäkalvojen 35 ja 36 välisiin tiloihin 54 ja 55 paineella, joka vastaa sitä painetta, jossa lisäkalvojen tulee nousta painesensorilaitteen 44 vapauttamiseksi kuormituksesta.

Tämä paine säilytetään niin kauan, kunnes neste on jähmettynyt valukappaleiksi 50 ja 51. Kuormittamalla nesteet erisuuruisiin paineisiin suurpaine- ja pienpainepuolella voidaan varmistaa juotos- ja liimaliitokset vaarallisten vetojänni-tysten suhteen.

73523 10

Kuten etenkin kuviosta 4 nähdään, on kummankin lisäkalvon 35 tai vast. 36 sisäpuolella sijoitettu ohut tiivistekalvo 56 kiinnityskappaletta 30 vasten siten, että se on yhdistetty rengasmaisella hitsaussaumalla 57 kiinnityskappaleeseen 30. Lisäkalvoissa 35 ja 36 on niiden kulloinkin tiiviste-kalvoon 56 päin olevalla sivulla karkea pinta.

Kuvioissa 1-4 ei ole selvyyden vuoksi esitetty kuristin-laitteita, jotka on kytketty mittauskammion eteen molemmilla sivuilla. Painemittauslaitteena toimivassa muodossa esiintyy vain mittausainesivulla erotuskalvo ja sitä vastapäätä lisä-kalvo .

Claims (9)

11 73523

1. Paine- tai paine-eromittauslai te, jossa on keskeinen kiinnityskappale (1) ja ylikuormitukselta suojattu painesen-sorilaite (19) mittauskammiossa (18), jonka osakammiot (20, 21. on yhdistetty kulloinkin yhden 1iitäntäkanavan (22, 23) kautta esikammioihi n (8, 9), jotka on muodostettu kulloinkin yhdestä erotuskal vosta (6, 7) ja kiinnityskappaleesta (1), ja kulloinkin lisäkammioon (10, 11) sovitetut lisäkalvot (14, 15), jotka on järjestetty kulloinkin erotuskalvon (6, 7) vie reen ja ovat tämän kanssa paineensiirtävässä yhteydessä, jolloin lisäkalvot (14, 15) on kuormitettu sellaisella esijännityksellä, että ne vasta ennakolta määrätyn paine-eron ylittyessä painesensori1 aitteessa (19) pullistuvat, ja jossa on li-säkanavat (24, 25 ) 1 iitäntäkanavista (22, 23 ) 1 isäkalvoi hi n (14, 15), tunnettu siitä, että lisäkalvot (14, 15) ovat esi-jännityksensä johdosta kiinnityskappalettä (1) vasten, että lisäkammiot (10, 11) ovat yhdistetyt apukanavien (12, 13) kautta kulloinkin viereiseen esikammioon (8, 9) rajoittuvaan paineensyöttöti1 aan, ja että kulloinkin yhteen erotuskalvoon (6; 7) liittyvästä 1iitäntäkanavasta (22; 23) on johdettu yksi ainoa lisäkanava (24; 25), joka johtaa siihen lisäkalvoon (15; 14), joka on kulloinkin toisen erotuskalvon (7; 6) vieressä.

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen mittauslaite, tunnettu siitä, että lisäkalvot (14, 15) on painettu kulloinkin vähintään yhdellä 1isäkammioissa (10, 11) olevalla painejousel1 a (16, 17) kiinnityskappalettä (1) vasten.

3. Paine- tai paine-eromittauslai te, jossa on keskeinen kiinnityskappale (30) ja ylikuormitukselta suojattu painesen-sorilaite (44) mittauskammiossa (43), jonka osakammiot on yhdistetty kulloinkin yhden 1iitäntäkanavan (41, 42) kautta esikammioi hi n (39, 40 ), jotka on muodostettu kulloinkin yhdestä erotuskalvosta (37, 38) ja kiinnityskappaleesta (30) ja lisäkalvot (35, 36), jotka on järjestetty kulloinkin erotus- 12 73523 kalvon (37, 38) viereen ja ovat tämän kanssa paineensiirtä-vässä yhteydessä, jolloin lisäkalvot (35, 36) on kuormitettu sellaisella esijännityksellä, että ne vasta ennakolta määrätyn paine-eron ylittyessä painesensori1 aitteessa (30) pullistuvat, ja jossa on lisäkanavat (45, 46) 1iitäntäkanavista (41, 42) 1isäkalvoi hi n (35, 36 ), tunnettu siitä, että lisäkalvot (35, 36) ovat kulloinkin esikammioissa (39, 40) sekä nojaavat esi-jännityksensä johdosta kiinnityskappaleeseen (30) ja että kulloinkin yhteen erotuskalvoon (37; 38) liittyvästä liitän-täkanavasta (41; 42) on johdettu yksi ainoa lisäkanava (45; 46), joka johtaa siihen lisäkalvoon (36; 35), joka on kulloinkin toisen erotuskalvon (38; 37) vieressä.

4. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen mittauslaite, tunnettu siitä,, että painesensori1 ai te (19) on mittauskammion kanssa keskeisessä kiinnityskappaleessa (1).

5. Patenttivaatimuksen 1, 3 tai 4 mukainen mittauslaite, tunnettu siitä, että kiinnityskappaleen (30) ja lisäkalvojen (35, 36) välissä on kulloinkin yksi valukappale (50, 51), joka muodostuu kulloinkin kiinnityskappaleen (30) ja lisäkalvon (35 vast. 36) väliin ylipaineessa sijoitetusta ja jähmettyneestä nesteestä.

6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen mittauslaite, tunnettu siitä, että ylipaine vastaa suunnilleen sitä painetta, jossa kulloinkin kyseessä oleva lisäkalvo nousee.

7. Patenttivaatimuksen 5 tai 6 mukainen mittauslaite, tunnettu siitä, että neste on alhaisissa lämpötiloissa sulavasta metallista olevaa metal 1isulaa. fc. Jonkin patenttivaatimuksen 5-7 mukainen mittauslaite, tunnettu siitä, että kummankin valukappaleen (50, 51) ja sille järjestetyn lisäkalvon (35, 36) väliin on järjestetty ohut tiivistekalvo (56), joka on sijoitettu lisäkalvon (35 vast. 36) sisäpuolella kiinnityskappaleeseen (30). 13 73523

9. Patenttivaatimuksen 8 mukainen mittauslaite, tunnettu siitä, että 1isäkalvoissa (35, 36) on niiden kulloinkin tii-vistekalvoon (56) päin olevalla sivulla karkea pinta.