FI126378B1 - Menetelmä ja laite kaasukomponentin havainnoimiseksi läpinäkyvän tilavuuden sisällä - Google Patents
Menetelmä ja laite kaasukomponentin havainnoimiseksi läpinäkyvän tilavuuden sisällä Download PDFInfo
- Publication number
- FI126378B1 FI126378B1 FI20145029A FI20145029A FI126378B1 FI 126378 B1 FI126378 B1 FI 126378B1 FI 20145029 A FI20145029 A FI 20145029A FI 20145029 A FI20145029 A FI 20145029A FI 126378 B1 FI126378 B1 FI 126378B1
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- space
- calibration
- laser
- unit
- gas component
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
- G01M3/32—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
- G01M3/3236—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers
- G01M3/3272—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers for verifying the internal pressure of closed containers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/38—Investigating fluid-tightness of structures by using light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
- G01N21/278—Constitution of standards
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
- G01N21/5907—Densitometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
- G01N2021/392—Measuring reradiation, e.g. fluorescence, backscatter
- G01N2021/393—Measuring reradiation, e.g. fluorescence, backscatter and using a spectral variation of the interaction of the laser beam and the sample
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
- G01N2021/396—Type of laser source
- G01N2021/399—Diode laser
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/127—Calibration; base line adjustment; drift compensation
- G01N2201/12723—Self check capacity; automatic, periodic step of checking
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Claims (15)
1. Laite (100) kiinnostuksen kohteena olevan kaasukomponentin ei-invasiiviseksi määrittämiseksi lasiyksikön avaruuden (113) sisällä, missä laite käsittää ilmaisinyksikön (110) ja kalibrointiyksikön (111), missä mainittu ilmaisinyksikkö käsittää välineet (101) lasersäteen (101a) emittoimiseksi kohden mainittua avaruutta ja ilmaisinvälineet (102) mainitun lasersäteen heijastusten ilmaisemiseksi mainitusta avaruudesta, tunnettu siitä, että - kalibrointiyksikkö (111) käsittää ainakin kalibrointikammion (103), jossa on samaa kaasua kuin tutkittavan avaruuden (113) sisällä, sekä heijastimen (104), -välineet (101), (102) lasersäteen emittoimiseksi ja havainnoimiseksi, jotka on sovitettu emittoimaan (101a) ja vastaanottamaan säteitä kulmassa siten, että laserpisteen fokus (112) sijaitsee lasersäteenemit-toimisvälineen ja havainnoimisvälineen välissä ja sellaisen viivan ulkopuolella, joka yhdistää mainitun emittoimisvälineen ja havainnointi-välineen samassa paikassa suhteessa mainittuun havainnointiyksik-köön mittausprosessin aikana, missä - mainittu havainnointiyksikkö (110) ja kalibrointiyksikkö (111) ovat sovi tettu liikutettavaksi suhteessa toisiinsa kalibrointitarkoituksessa siten, että mainittu lasersäde kulkee kalibrointiyksikön mainitun kammion (103) läpi ja fokuspiste (112) osuu heijastimeen (104), jolloin havain-nointiväline (102) on fokusoitu oleellisesti mainittuun fokuspisteeseen (112) ja sovitettu kuvaamaan mainittu heijastunut säde (102a), ja -mainittu havainnointiyksikkö (110) on sovitettu liikutettavaksi kohden ja/tai poispäin mainitusta avaruudesta (113) kiinnostuksen kohteena olevan kaasukomponentin olemassaolon havainnointitarkoitusta varten siten, että mainittu fokuspiste osuu perättäisesti mainitun avaruuden pintoihin tai rajapintoihin.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laite, missä laite käsittää hermeettisesti tiivistetyn kotelon (114) mainitun havainnointiyksikön (110) ja kalibrointiyksikön (111) koteloimiseksi, mainitun kotelon ollessa täytetty suojakaasul-la, joka on inerttiä laserin aallonpituudella ja joka kotelo on tyhjennetty oleellisesti mitattavasta kaasusta.
3. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen laite, missä mainittu laite on sovitettu suorittamaan itsetarkistus, missä mainittu havainnointiyksikkö on sovitettu suorittamaan mainittu kalibrointi ja lisäksi mittaamaan mainitun kotelon (114) sisällä oleva tilavuus siten, että fokuspiste (112) on sovitettu heijastumaan heijastimesta (105) siten, että mainittu kalibrointikammio (103) ei ole sisällytetty mittaukseen.
4. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen laite, missä laite on sovitettu (119) muuttamaan laserlähteen (101) sähkövirtaa aallonpituuden skannaamiseksi tarkasteltavana olevan kaasukomponentin oletetun piikin ympärillä kalibrointiprosessissa mainitun piikin tarkan sijainnin määrittämiseksi laserin emittointivälineen syöttösähkövirran funktiona, jolloin laite on sovitettu käyttämään mainittuja aallonpituuksia tai piikin paikkoja myös avaruuden sisällä olevan kaasukomponentin määrittämisen mittausprosessissa.
5. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen laite, missä laite on sovitettu (116, 119) muuttamaan laserin emittointivälineen (101) lämpötilaa ja siten säätämään piikin etäisyyttä mitatulla käyrällä, kun aallonpituuksia skannataan mitattavan kaasukomponentin piikin paikan ympärillä.
6. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen laite, missä laite käsittää rajapintavälineen (106), joka on sovitettu esitettäväksi mitattavan avaruuden (113) pinnalle, ja alipaineentuottovälineen (107), joka on sovitettu tuottamaan alipaine mainitun rajapintavälineen määrittämän avaruuden pinnan ja mainitun laitteen (100) väliseen tilavuuteen (115).
7. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen laite, missä laite käsittää rajapintavälineen (106), joka on sovitettu esitettäväksi mitattavan avaruuden pintaan, ja suojakaasuntuottovälineen (108), joka sovitettu tuottamaan suojakaasua mainitun rajapintavälineen määrittämän avaruuden pinnan ja mainitun laitteen (100) väliseen tilavuuteen (115).
8. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen laite, missä laite on sovitettu määrittämään lasersäteen polun pituus perustuen fokuspisteen etäisyyden ja avaruuden pintaan emittoidun lasersäteen kulman avulla.
9. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen laite, missä mainittu la-sersäteenemittoimisväline (101) ja havainnointiväline (102) ovat sovitettu emittoimaan ja vastaanottamaan mainitut säteet kiinteässä kulmassa siten, että saapuvien ja vastaanotettujen säteiden välinen keskinäinen kulma pysyvät vakiona ja että fokuspiste (112) pysyy paikallaan suhteessa mainit tuun havainnointiyksikköön, kun mainittua havainnointiyksikköä liikutetaan kohti ja poispäin mainitusta avaruudesta.
10. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen laite, missä laite käsittää lämmitysvälineen (116), kuten peltier-elementin, joka on sovitettu hallinnoimaan laitteen lämpötilaa ja erityisesti laseremittointivälineen, kuten säädettävän diodilaserin lämpötilaa.
11. Menetelmä kiinnostuksen kohteena olevan kaasukomponentin ei-invasiiviseksi määrittämiseksi lasiyksikön avaruuden (113) sisällä, missä menetelmässä lasersäde (101a) emittoidaan kohden mainittua avaruutta ja havainnoidaan lasersäteen heijastuksia (102a) mainitusta avaruudesta, tunnettu siitä, että - emittoidaan lasersäteitä (101a) ja vastaanotetaan heijastuneita säteitä (102a) kulmassa siten, että laserpisteen fokus (112) sijaitsee lasersä-teenemittoimisvälineen (101) ja havainnoimisvälineen (102) välissä ja sellaisen viivan ulkopuolella, joka yhdistää emittoimisvälineen ja ha-vainnointivälineen samassa paikassa suhteessa laseremittointivälineen (101) ja havainnointivälineen (101) käsittävään havainnointiyksikköön (110) nähden mittausprosessin aikana, missä - mainittu havainnointiyksikköä (110) ja kalibrointiyksikköä (111) liikute taan suhteessa toisiinsa kalibrointitarkoituksessa siten, että mainittu lasersäde kulkee kalibrointiyksikön mainitun kammion (103) läpi ja fo-kuspiste (112) osuu kalibrointiyksikön heijastimeen (104), jolloin ha-vainnointiväline (102) on fokusoitu oleellisesti mainittuun fokuspistee-seen (112) ja kuvaa mainitun heijastuneen säteen (102a), missä ka-librointikammio (103) käsittää samaa kaasukomponenttia kuin määritettävän avaruuden (113) sisällä, ja - liikutetaan havainnointiyksikköä (110) kohden ja/tai poispäin mainitusta avaruudesta (113) kiinnostuksen kohteena olevan kaasukomponentin olemassaolon havainnointitarkoitusta varten siten, että mainittu fo-kuspiste (112) osuu perättäisesti mainitun avaruuden pintoihin tai rajapintoihin.
12. Patenttivaatimuksen 11 mukainen menetelmä, missä suoritetaan itse-tarkistus, missä mainittu havainnointiyksikkö (110) suorittaa mainitun kalib-rointiprosessin ja lisäksi mittaa laitteen kotelon (114) sisällä olevan tilavuu- den siten, että fokuspiste (112) heijastuu heijastimesta (105) siten, että mainittu kalibrointikammio (103) ei ole sisällytetty mittaukseen.
13. Jonkin patenttivaatimuksen 11-12 mukainen menetelmä, missä muutetaan laserlähteen (101) sähkövirtaa aallonpituuden skannaamiseksi tarkasteltavana olevan kaasukomponentin oletetun piikin ympärillä kalibrointipro-sessissa mainitun piikin tarkan sijainnin määrittämiseksi laserin emittointivä-lineen syöttösähkövirran funktiona, ja jolloin käytetään mainittuja aallonpituuksia tai piikin paikkoja myös avaruuden sisällä olevan kaasukomponentin määrittämisen mittausprosessissa.
14. Jonkin patenttivaatimuksen 11-13 mukainen menetelmä, missä muutetaan laserin emittointivälineen (101) lämpötilaa ja siten säädetään piikin etäisyyttä mitatulla käyrällä, kun aallonpituuksia skannataan mitattavan kaasukomponentin piikin paikan ympärillä.
15. Jonkin patenttivaatimuksen 11-14 mukainen menetelmä, missä esitetään rajapintaväline (106) mitattavan avaruuden (113) pinnalle, ja tuotetaan alipaine (107) rajapintavälineen määrittämän avaruuden pinnan ja mainitun laitteen (100) väliseen tilavuuteen (115), ja/tai tuotetaan suojakaasua mainitun rajapintavälineen määrittämän avaruuden pinnan ja mainitun laitteen väliseen tilavuuteen.
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20145029A FI126378B (fi) | 2014-01-15 | 2014-01-15 | Menetelmä ja laite kaasukomponentin havainnoimiseksi läpinäkyvän tilavuuden sisällä |
| PL15151063T PL2896948T3 (pl) | 2014-01-15 | 2015-01-14 | Sposób i urządzenie do oznaczania składnika gazowego wewnątrz przezroczystego pojemnika |
| EP15151063.3A EP2896948B1 (en) | 2014-01-15 | 2015-01-14 | Method and device for determining gas component inside a transparent container |
| JP2015005381A JP6456695B2 (ja) | 2014-01-15 | 2015-01-14 | 透明容器内部のガス成分を特定するための方法およびデバイス |
| CN201510020920.4A CN104964926B (zh) | 2014-01-15 | 2015-01-15 | 用于确定透明容器内的气体组分的方法和装置 |
| KR1020150007611A KR102263761B1 (ko) | 2014-01-15 | 2015-01-15 | 투명 용기 내의 기체 성분을 판별하기 위한 방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20145029A FI126378B (fi) | 2014-01-15 | 2014-01-15 | Menetelmä ja laite kaasukomponentin havainnoimiseksi läpinäkyvän tilavuuden sisällä |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI20145029A FI20145029A (fi) | 2015-07-16 |
| FI126378B1 true FI126378B1 (fi) | 2016-10-31 |
| FI126378B FI126378B (fi) | 2016-10-31 |
Family
ID=52423576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI20145029A FI126378B (fi) | 2014-01-15 | 2014-01-15 | Menetelmä ja laite kaasukomponentin havainnoimiseksi läpinäkyvän tilavuuden sisällä |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP2896948B1 (fi) |
| JP (1) | JP6456695B2 (fi) |
| KR (1) | KR102263761B1 (fi) |
| CN (1) | CN104964926B (fi) |
| FI (1) | FI126378B (fi) |
| PL (1) | PL2896948T3 (fi) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105548075A (zh) * | 2016-01-08 | 2016-05-04 | 楚天科技股份有限公司 | 一种玻璃药瓶内氧气含量的检测装置与方法 |
| JP7229084B2 (ja) | 2019-04-19 | 2023-02-27 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 光学分析装置 |
| CN111442883B (zh) * | 2020-05-26 | 2022-05-10 | 无锡金百特自动化机械有限公司 | 一种涡轮气密性检测装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5060505A (en) * | 1989-09-12 | 1991-10-29 | Sensors, Inc. | Non-dispersive infrared gas analyzer system |
| JPH10281988A (ja) * | 1997-04-09 | 1998-10-23 | Nippon Sanso Kk | ガス分析方法及びガス分析装置 |
| US7067323B2 (en) * | 2003-10-15 | 2006-06-27 | Lighthouse Instruments, Llc | System and method for automated headspace analysis |
| US20060044562A1 (en) * | 2004-08-25 | 2006-03-02 | Norsk Elektro Optikk As | Gas monitor |
| US7414726B1 (en) * | 2007-10-31 | 2008-08-19 | Bambeck Robert J | Gas analyzer systems and methods |
| US8149407B1 (en) * | 2010-09-09 | 2012-04-03 | Adelphi University | Method and apparatus for trace gas detection using off-axis cavity and multiple line integrated spectroscopy |
| IT1399109B1 (it) * | 2010-03-31 | 2013-04-05 | Bonfiglioli Engineering S R L Ora Bonfiglioli Engineering S P A | Metodo di analisi di una componente gassosa presente in un contenitore sigillato ermeticamente |
| FI20115482A (fi) * | 2011-05-18 | 2012-11-19 | Sparklike Ab Oy | Menetelmä ja laite kaasukomponentin konsentraation määrittämiseksi lasielementin sisällä |
| JP6416453B2 (ja) * | 2011-08-12 | 2018-10-31 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
-
2014
- 2014-01-15 FI FI20145029A patent/FI126378B/fi active IP Right Grant
-
2015
- 2015-01-14 EP EP15151063.3A patent/EP2896948B1/en active Active
- 2015-01-14 PL PL15151063T patent/PL2896948T3/pl unknown
- 2015-01-14 JP JP2015005381A patent/JP6456695B2/ja active Active
- 2015-01-15 KR KR1020150007611A patent/KR102263761B1/ko active IP Right Grant
- 2015-01-15 CN CN201510020920.4A patent/CN104964926B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2896948B1 (en) | 2020-08-05 |
| JP2015132610A (ja) | 2015-07-23 |
| EP2896948A1 (en) | 2015-07-22 |
| KR20150085488A (ko) | 2015-07-23 |
| KR102263761B1 (ko) | 2021-06-14 |
| CN104964926B (zh) | 2020-04-03 |
| JP6456695B2 (ja) | 2019-01-23 |
| FI20145029A (fi) | 2015-07-16 |
| FI126378B (fi) | 2016-10-31 |
| CN104964926A (zh) | 2015-10-07 |
| PL2896948T3 (pl) | 2021-01-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6588426B2 (ja) | 容器中の気体の濃度を判定するためのシステムおよび方法 | |
| KR102056460B1 (ko) | 유리 유닛 내부에서 가스 성분 농도를 측정하기 위한 방법 및 기기 | |
| CN104903704B (zh) | 进行水汽测定的可调谐二极管激光吸收光谱 | |
| FI126378B1 (fi) | Menetelmä ja laite kaasukomponentin havainnoimiseksi läpinäkyvän tilavuuden sisällä | |
| US9316627B2 (en) | Method and device for determining gas component inside a transparent container | |
| JP6543645B2 (ja) | 透明容器内の気体成分を判定するための方法およびデバイス | |
| WO2016016663A2 (en) | System for non-destructive detection of internal defects | |
| US8994948B2 (en) | Apparatus for the non-destructive testing of the integrity and/or suitability of sealed packagings | |
| WO2011050841A1 (en) | Device for radiation absorption measurements and method for calibration thereof | |
| JP2018119953A (ja) | ガス分析 | |
| JP6789049B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| KR101795992B1 (ko) | 테라헤르츠파를 이용한 튜브 형태 시편 분석장치 및 이를 이용한 튜브 형태 시편 분석방법 | |
| WO2020059452A1 (ja) | ガス測定装置及びガス測定方法 | |
| KR101721976B1 (ko) | 테라헤르츠 검출 장치 | |
| CN112611746A (zh) | 一种对于材料微区的吸收光谱检测装置及检测方法 | |
| CN108303387B (zh) | 用于分析测量区域的方法和微型光谱仪 | |
| CN110926621A (zh) | 针对傅立叶变换型太赫兹源波长测量仪的校准装置及方法 | |
| KR102545561B1 (ko) | 개선된 상관 필터를 구비한 일산화탄소-이산화탄소 성분 동시 측정 장치 | |
| CN214749784U (zh) | 一种对于材料微区的吸收光谱检测装置 | |
| KR20130073043A (ko) | 적외선분광장치 | |
| JP7254422B2 (ja) | 表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法 | |
| KR20170011303A (ko) | 테라헤르츠파를 이용한 튜브 형태 시편 분석장치 및 이를 이용한 튜브 형태 시편 분석방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG | Patent granted |
Ref document number: 126378 Country of ref document: FI Kind code of ref document: B |