CN112611746A - 一种对于材料微区的吸收光谱检测装置及检测方法 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 7
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 5
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 19
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Immunology (AREA)
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种对于材料微区的吸收光谱检测装置及检测方法，吸收光谱检测装置包括有泵浦光源、红外空间滤波装置、红外镜头、红外信号探测装置和锁相放大器，红外镜头连接于红外信号探测装置上，泵浦光源和红外镜头均朝向待测样品的表面，红外空间滤波装置位于待测样品和红外镜头之间，红外信号探测装置的输出端与锁相放大器连接。本发明基于光热弱吸收测量技术和锁相红外探测技术，可以直接测量样品的吸收光谱，克服了通过测量样品的反射率与透过率而间接测量弱吸收率的问题和材料吸收率检测灵敏度低的问题。
Description
技术领域
本发明涉及光学无损检测领域，具体是一种对于材料微区的吸收光谱检测装置及检测方法。
背景技术
对材料的合理运用可加速工业的发展，材料质量的优劣影响其应用，所以材料的检测技术也成为重点研究内容。材料的检测可通过对材料吸收光谱的检测分析，来得出材料的相关物理特性。测量材料吸收光谱的方法通常有：分光光度法和光热检测法。分光光度法，通过测量透射率和反射率来推算吸收率。这种方法的吸收率检测精度通常可以达到10-3,不适用于弱吸收材料的测量，而且没有考虑材料散射的影响。基于激光诱导光热效应的光热检测技术是测量弱吸收比较有效的方法，且吸收率的检测灵敏度可以达到10-7-10-8。
最常见的光热检测方式是采用泵浦探测技术，即利用聚焦泵浦光对材料微小区域激发产生光热效应，再利用一束探测激光去探测。这种方法对单一波长或几个波长的检测比较便捷有效。但是对于宽波段的光谱测量，存在一定的局限。主要原因是：一方面，检测灵敏度与泵浦光斑和探测光斑的尺寸大小以及相对位置有密切关系；另一方面，在采用宽波段光源时，当波长发生变化时，泵浦光斑也会发随之变化，从而导致检测结果不准确，需要不断进行校正，使得检测过程变得复杂。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种对于材料微区的吸收光谱检测装置及检测方法，基于光热弱吸收测量技术和锁相红外探测技术，可以直接测量样品的吸收光谱，克服了通过测量样品的反射率与透过率而间接测量弱吸收率的问题和材料吸收率检测灵敏度低的问题。
本发明的技术方案为：
一种对于材料微区的吸收光谱检测装置，包括有泵浦光源、红外空间滤波装置、红外镜头、红外信号探测装置和锁相放大器，所述的红外镜头连接于红外信号探测装置上，所述的泵浦光源和红外镜头均朝向待测样品的表面，所述的红外空间滤波装置位于待测样品和红外镜头之间，所述的红外信号探测装置的输出端与锁相放大器连接。
所述的泵浦光源为宽波段光源。
所述的泵浦光源和待测样品之间顺次设置有功率调节装置、光调制装置、光束整形装置和聚焦装置。
所述的吸收光谱检测装置还包括有用于固定待测样品并带动待测样品进行平移的样品扫描运动装置。
一种对于材料微区的吸收光谱检测方法，首先由泵浦光源发出的光束经调制聚焦到待测样品表面上，待测样品吸收泵浦光能量后，引起温度升高产生红外辐射信号，红外辐射信号经过红外空间滤光装置后，被红外镜头捕捉并进入红外信号探测装置,通过红外信号探测装置后进入锁相放大器，分析红外信号获得待测样品的吸收率。
本发明的优点：
本发明包含了光热弱吸收测量技术和锁相红外探测技术。光热弱吸收检测技术基本原理：利用一束泵浦激光来辐照样品表面，样品对泵浦光束能量的吸收会在样品表面和内部的某一微小区域产生表面热变形、折射率变化等一系列的物理现象，当另一束探测激光经过此热形变区域，这束激光的传播特性会发生变化，通过对探测光的传播特性的变化进行检测分析，就可以获得样品的吸收特性；锁相红外探测技术是利用红外镜头捕捉红外辐射信号，红外探测器通过锁相放大器可直接获取样品吸收信号。
本发明将光热弱吸收测量技术和锁相红外探测技术结合起来，不仅可实现材料微区弱吸收的直接测量，还可以采用宽波段光源测量得到样品的吸收光谱，并通过增加样品扫描运动装置，可得到材料任意区域的吸收率。在测试材料的吸收光谱前，可通过定标样品标定不同基底材料的吸收光谱。
附图说明
图1是本发明实施例中一种对于材料微区的吸收光谱检测装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
见图1，一种对于材料微区的吸收光谱检测装置，包括有宽波段光源1、红外空间滤波装置8、红外镜头9、红外信号探测装置10、锁相放大器11和样品扫描运动装置7，样品扫描运动装置7用于固定待测样品并带动待测样品6进行平移，红外镜头9连接于红外信号探测装置10上，宽波段光源1和红外镜头9均朝向待测样品的表面，宽波段光源1和待测样品6之间顺次设置有功率调节装置2、光调制装置3、光束整形装置4和聚焦装置5，红外空间滤波装置8位于待测样品6和红外镜头9之间，红外信号探测装置10的输出端与锁相放大器11连接。
一种对于材料微区的吸收光谱检测方法，首先由宽波段光源1发出的光束经过功率调节装置2和光调制装置3后被调制，再经过光束整形装置4和聚焦装置5后聚焦到待测样品6上，待测样品6吸收泵浦光能量后，引起温度升高产生红外辐射信号，红外辐射信号经过红外空间滤光装置8后，被红外镜头9捕捉并进入红外信号探测装置10,通过红外信号探测装置10后进入锁相放大器11，分析红外信号获得待测样品的吸收率。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种对于材料微区的吸收光谱检测装置，其特征在于：包括有泵浦光源、红外空间滤波装置、红外镜头、红外信号探测装置和锁相放大器，所述的红外镜头连接于红外信号探测装置上，所述的泵浦光源和红外镜头均朝向待测样品的表面，所述的红外空间滤波装置位于待测样品和红外镜头之间，所述的红外信号探测装置的输出端与锁相放大器连接。
2.根据权利要求1所述的吸收光谱检测装置，其特征在于：所述的泵浦光源为宽波段光源。
3.根据权利要求1所述的吸收光谱检测装置，其特征在于：所述的泵浦光源和待测样品之间顺次设置有功率调节装置、光调制装置、光束整形装置和聚焦装置。
4.根据权利要求1所述的吸收光谱检测装置，其特征在于：所述的吸收光谱检测装置还包括有用于固定待测样品并带动待测样品进行平移的样品扫描运动装置。
5.根据权利要求1所述的吸收光谱检测装置的检测方法，其特征在于：首先由泵浦光源发出的光束经调制聚焦到待测样品表面上，待测样品吸收泵浦光能量后，引起温度升高产生红外辐射信号，红外辐射信号经过红外空间滤光装置后，被红外镜头捕捉并进入红外信号探测装置,通过红外信号探测装置后进入锁相放大器，分析红外信号获得待测样品的吸收率。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011491156.6A CN112611746A (zh) | 2020-12-16 | 2020-12-16 | 一种对于材料微区的吸收光谱检测装置及检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011491156.6A CN112611746A (zh) | 2020-12-16 | 2020-12-16 | 一种对于材料微区的吸收光谱检测装置及检测方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112611746A true CN112611746A (zh) | 2021-04-06 |
Family
ID=75240885
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202011491156.6A Pending CN112611746A (zh) | 2020-12-16 | 2020-12-16 | 一种对于材料微区的吸收光谱检测装置及检测方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN112611746A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113109282A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-07-13 | 浙江大学 | 一种广波长覆盖的光热偏转光谱测试装置 |
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2020
- 2020-12-16 CN CN202011491156.6A patent/CN112611746A/zh active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113109282A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-07-13 | 浙江大学 | 一种广波长覆盖的光热偏转光谱测试装置 |
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