FI126199B - Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne ja mikromekaaninen kiihtyvyysanturi - Google Patents

Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne ja mikromekaaninen kiihtyvyysanturi Download PDF

Info

Publication number
FI126199B
FI126199B FI20135712A FI20135712A FI126199B FI 126199 B FI126199 B FI 126199B FI 20135712 A FI20135712 A FI 20135712A FI 20135712 A FI20135712 A FI 20135712A FI 126199 B FI126199 B FI 126199B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
rotor
stator
finger
micromechanical sensor
fingers
Prior art date
Application number
FI20135712A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI20135712A (fi
Inventor
Matti Liukku
Ville-Pekka Rytkönen
Original Assignee
Murata Manufacturing Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co filed Critical Murata Manufacturing Co
Priority to FI20135712A priority Critical patent/FI126199B/fi
Priority to TW103121684A priority patent/TWI570053B/zh
Priority to US14/314,243 priority patent/US9547020B2/en
Priority to PCT/IB2014/062650 priority patent/WO2014207710A1/en
Priority to EP14753156.0A priority patent/EP3014285B1/en
Publication of FI20135712A publication Critical patent/FI20135712A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI126199B publication Critical patent/FI126199B/fi

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
    • B81B3/0067—Mechanical properties
    • B81B3/0078—Constitution or structural means for improving mechanical properties not provided for in B81B3/007 - B81B3/0075
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/02—Sensors
    • B81B2201/0228—Inertial sensors
    • B81B2201/0235—Accelerometers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/03—Microengines and actuators
    • B81B2201/033—Comb drives
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/0802—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
    • G01P15/131—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electrostatic counterbalancing means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
    • G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0814—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0862—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with particular means being integrated into a MEMS accelerometer structure for providing particular additional functionalities to those of a spring mass system
    • G01P2015/0871—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with particular means being integrated into a MEMS accelerometer structure for providing particular additional functionalities to those of a spring mass system using stopper structures for limiting the travel of the seismic mass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Claims (17)

1. Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, joka käsittää staattorirakenteen (1), joka on kiinnitetty substraattiin (2) kiinteästi, ja roottorirakenteen (3), joka on kiinnitetty substraattiin (2) liikkuvasti jousirakenteiden (4; 4a, 4b) avulla, staattorirakenteessa (1) on useita staattorisormen tukipalkkeja (5), roottorirakenteessa (3) on useita roottorisormen tukipalkkeja (7), staattorirakenteen (1) staattorisormen tukipalkki (5) käsittää staattorisormen tukipalkin (5) vähintään yhdellä sivulla olevan staattorisormirakenteen (9), jolloin staattorisormirakenne (9) käsittää useita staattorisormia (10) ja kahden vierekkäisen staattorisormen (10) välisiä staattorivälejä (11), roottorirakenteen (3) roottorisormen tukipalkki (7) käsittää roottorisormen tukipalkin (7) vähintään yhdellä sivulla olevan roottorisormirakenteen (12), jolloin roottorisormirakenne (12) käsittää useita roottorisormia (13) ja kahden vierekkäisen roottorisormen (13) välisiä roottorivälejä (14), staattorirakenteen (9) staattorisormen tukipalkilla (5) olevat staattorisormet (10) jatkuvat roottorirakenteen (12) roottorisormen tukipalkilla (7) oleviin roottoriväleihin (14), ja roottorirakenteen (12) roottorisormen tukipalkilla (7) olevat roottorisormet (13) jatkuvat staattorirakenteen (9) staattorisormen tukipalkilla (5) oleviin staattoriväleihin (11), staattorisormirakenteen (9) staattorisormien (10) ja roottorisormen tukipalkin (7) välissä oleva staattorisormen kärkiväli (D2) on kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen kuormittamattomassa tilassa 1-2.5 kertaa staattorisormirakenteen (9) staattorisormien (10) ja roottorisormirakenteen (12) roottorisormien (13) välissä oleva sormen sivuväli (D3), roottorisormirakenteen (12) roottorisormien (13) ja staattorisormen tukipalkin (5) välissä oleva roottorisormen kärkiväli (Dl) on kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen kuormittamattomassa tilassa 1-2.5 kertaa staattorisormirakenteen (9) staattorisormien (10) ja roottorisormirakenteen (12) roottorisormien (13) välissä oleva sormen sivuväli (D3). roottorirakenne (3) on kiinnitetty ankkurointikohdista substraattiin (2) liikkuvasti jousirakenteiden (4; 4a, 4b) avulla, jotka on aikaansaatu roottorirakenteen (3) ja ankkurointikohtien väliin siten, että roottorirakennetta (3) voidaan taivuttaa ainakin samansuuntaisesti substraatin (2) tason kanssa, niin että roottorisormen tukipalkin (7) vähintään yhdellä sivulla olevien roottorisormien (13) ja staattorisormen tukipalkin (5) välinen roottorisormen kärkiväli (Dl) muuttuu ja niin että staattorisormen tukipalkin (5) vähintään yhdellä sivulla olevien staattorisormien (10) ja roottorisormen tukipalkin (7) välinen staattorisormen kärkiväli (D2) muuttuu ja niin että sormipäällekkyyden pituus (D4) muuttuu, joka sormipäällekkyys (D4) on pituus, jolla staattorisormirakenteen (9) staattorisormet (10) ulottuvat roottorisormirakenteen (12) roottoriväleihin (14), tai joka on vaihtoehtoisesti pituus, jolla roottorisormirakenteen (12) roottorisormet (13) ulottuvat staattorisormirakenteen (9) staattoriväleihin (11), pysäytinpuskurit (21), jotka estävät roottorirakenteen (3) yliliikkeen staattorirakenteeseen (1) nähden, mutta sallivat roottorirakenteen (3) liikkumisen kahteen vastakkaiseen suuntaan etäisyydellä, joka vastaa pysäytinväliä (D5), tunnettu siitä, että pysäytinväli (D5) on suurempi kuin 0,25 kertaa staattorisormirakenteen (9) staattorisormien (10) ja roottorisormirakenteen (12) roottorisormien (13) välissä oleva sormen sivuväli (D3), ja pysäytinväli (D5) on pienempi kuin roottorisormen kärkiväli (Dl) ja pienempi kuin staattorisormen kärkiväli (D2).
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että staattorirakenteen (1) staattorisormen tukipalkki (5) käsittää staattorisormen tukipalkin (5) kahdella vastakkaisella sivulla olevan staattorisormirakenteen (9), jolloin kumpikin staattorisormirakenne (9) käsittää useita staattorisormia (10) ja kahden vierekkäisen staattorisormen (10) välisiä staattorivälejä (11).
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että roottorirakenteen (3) roottorisormen tukipalkki (7) käsittää roottorisormen tukipalkin (7) kahdella vastakkaisella sivulla olevan roottorisormirakenteen (12), jolloin kumpikin roottorisormirakenne (12) käsittää useita roottorisormia (13) ja kahden vierekkäisen roottorisormen (13) välisiä roottorivälejä (14).
4. Jonkin patenttivaatimuksen 1-3 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että staattorisormen tukipalkin (5) staattorisormirakenteen (9) staattorisormet (10) ulottuvat kohtisuoraan staattorisormen tukipalkista (5), ja roottorisormen tukipalkin (7) roottorisormirakenteen (12) roottorisormet (13) ulottuvat kohtisuoraan roottorisormen tukipalkista (7).
5. Jonkin patenttivaatimuksen 1-4 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne on peilisymmetrinen kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäisen keskiviivan A suhteen.
6. Patenttivaatimuksen 5 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että staattorirakcntccn (1) staattorisormen tukipalkit (5) ja roottorirakenteen (3) roottorisormen tukipalkit (7) ulottuvat kohtisuoraan kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäiseen keskiviivaan (A) nähden.
7. Patenttivaatimuksen 5 tai 6 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että staattorisormen tukipalkin (5) staattorisormirakenteen (9) staattorisormet (10) ovat samansuuntaisia kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäisen keskiviivan (A) kanssa, ja roottorisormen tukipalkin (7) roottorisormirakenteen (12) roottorisormet (13) ovat samansuuntaisia kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäisen keskiviivan (A) kanssa.
8. Jonkin patenttivaatimuksen 5-7 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että roottorirakenne (3) on kiinnitetty substraattiin (2) liikkuvasti jousirakenteiden (4; 4a, 4b) avulla, jotka käsittävät ensimmäisen jousirakenteen (4a) ja toisen jousirakenteen (4b), ja ensimmäinen jousirakenne (4a) ja toinen jousirakenne (4b) on järjestetty kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäiselle keskiviivalle (A) ja peilisymmetrisesti kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen toisen keskiviivan (B) suhteen.
9. Jonkin patenttivaatimuksen 1-8 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne on peilisymmetrinen kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäisen keskiviivan (A) suhteen ja peilisymmetrinen kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen toisen keskiviivan (B) suhteen, ja kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäinen keskiviiva (A) ja kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen toinen keskiviiva (B) ovat kohtisuoria ja leikkaavat toisensa kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen massan (CM) keskikohdassa.
10. Patenttivaatimuksen 9 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että staattorirakenteen (1) staattorisormen tukipalkit (5) ja roottorirakenteen (3) roottorisormen tukipalkit (7) ovat samansuuntaisia kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen toisen keskiviivan (B) kanssa, ja roottorisormirakenteen (12) roottorisormet (13) ja staattorisormirakenteen (9) staattorisormet (10) ovat samansuuntaisia kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäisen keskiviivan (A) kanssa.
11. Jonkin patenttivaatimuksen 1-10 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne käsittää roottorirungon (15), joka ympäröi staattorirakennetta (1) ja roottorirakennetta (3), roottorirunko (15) on kiinnitetty substraattiin (2) liikkuvasti jousirakenteiden (4; 4a, 4b) avulla, roottorirakenteen (3) roottorisormen tukipalkit (7) on liitetty roottorirunkoon (15) kiinteästi, ja roottorirunko (15) on järjestetty symmetrisesti kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen massan CM keskikohtaan nähden.
12. Jonkin patenttivaatimuksen 1-11 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu kampaparin muodostavasta staattorirakenteen (1) staattorisormen tukipalkista (5), ja roottorirakenteen (3) roottorisormen tukipalkista (7), useita tällaisia kampapareja (16) käsittävästä kapasitiivisesta mikromekaanisesta anturirakenteesta, ja kahden vierekkäisen kampaparin (16) välissä olevista kolmansista tiloista (17).
13. Patenttivaatimuksen 12 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että kolmatta tilaa (17) päin olevissa staattorisormen tukipalkkien (5) sivuissa ei ole staattorisormirakennetta (9), ja kolmatta tilaa (17) päin olevissa roottorisormen tukipalkkien (7) sivuissa ei ole roottorisormirakennetta (12).
14. Patenttivaatimuksen 12 tai 13 mukainen kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne, tunnettu siitä, että kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne on peilisymmetrinen kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäisen keskiviivan (A) suhteen ja peilisymmetrinen kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen toisen keskiviivan (B) suhteen, kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäinen keskiviiva (A) ja kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen toinen keskiviiva (B) ovat kohtisuoria ja leikkaavat toisensa kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen massan (CM) keskikohdassa, kampaparit (16) on ryhmitelty neljäksi kampaparien (16) ryhmäksi, joista kukin kampaparien ryhmä käsittää saman lukumäärän kampapareja (16), ja kampaparien (16) ryhmät on sijoitettu peilisymmetrisesti kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen ensimmäisen keskiviivan (A) suhteen ja peilisymmetrisesti kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen toisen keskiviivan (B) suhteen ja symmetrisesti kapasitiivisen mikromekaanisen anturirakenteen massan (CM) keskikohtaan nähden.
15. Mikromekaaninen kiihtyvyysanturi, joka käsittää kaksi jonkin patenttivaatimuksen 1-14 mukaista kapasitiivista mikromekaanista anturirakennetta, tunnettu siitä, että mikromekaaninen kiihtyvyysanturi käsittää substraatin (2), jolla on taso, mainitut kaksi kapasitiivista mikromekaanista anturirakennetta muodostavat ensimmäisen mikromekaanisen anturin (18) ja toisen mikromekaaninen anturin (19) mikromekaanisessa kiihtyvyysanturissa, ensimmäinen mikromekaaninen anturi (18) on järjestetty mittaamaan kiihtyvyys substraatin (2) tason kanssa samansuuntaisella x-akselilla, ja toinen mikromekaaninen anturi (19) on järjestetty mittaamaan kiihtyvyys substraatin (2) tason kanssa samansuuntaisella y-akselilla ja kohtisuoraan x-akseliin nähden.
16. Patenttivaatimuksen 15 mukainen mikromekaaninen kiihtyvyysanturi, tunnettu siitä, että mikromekaaninen kiihtyvyysanturi käsittää kolmannen keskiviivan (C), ensimmäinen mikromekaaninen anturi (18) on järjestetty mikromekaaniseen kiihtyvyysanturiin niin, että ensimmäisen mikromekaanisen anturin (18) ensimmäinen keskiviiva (AI) ja mikromekaanisen kiihtyvyysanturin kolmas keskiviiva (C) ovat samansuuntaisia, ja toinen mikromekaaninen anturi (19) on järjestetty mikromekaaniseen kiihtyvyysanturiin niin, että toisen mikromekaanisen anturin (19) ensimmäinen keskiviiva (A2) ja mikromekaanisen kiihtyvyysanturin kolmas keskiviiva (C) ovat kohtisuoria.
17. Patenttivaatimuksen 15 tai 16 mukainen mikromekaaninen kiihtyvyysanturi, tunnettu vähintään yhdestä kolmannesta mikromekaanisesta anturista (20) kiihtyvyyden mittaamiseen substraatin (2) tasoon nähden kohtisuoralla z-akselilla, joka on kohtisuorassa x-akseliin ja y-akseliin nähden.
FI20135712A 2013-06-28 2013-06-28 Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne ja mikromekaaninen kiihtyvyysanturi FI126199B (fi)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20135712A FI126199B (fi) 2013-06-28 2013-06-28 Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne ja mikromekaaninen kiihtyvyysanturi
TW103121684A TWI570053B (zh) 2013-06-28 2014-06-24 電容式微機械感測器結構以及微機械加速度計
US14/314,243 US9547020B2 (en) 2013-06-28 2014-06-25 Capacitive micromechanical sensor structure and micromechanical accelerometer
PCT/IB2014/062650 WO2014207710A1 (en) 2013-06-28 2014-06-27 Capacitive micromechanical sensor structure and micromechanical accelerometer
EP14753156.0A EP3014285B1 (en) 2013-06-28 2014-06-27 Capacitive micromechanical sensor structure and micromechanical accelerometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20135712A FI126199B (fi) 2013-06-28 2013-06-28 Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne ja mikromekaaninen kiihtyvyysanturi

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FI20135712A FI20135712A (fi) 2015-01-07
FI126199B true FI126199B (fi) 2016-08-15

Family

ID=51383907

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20135712A FI126199B (fi) 2013-06-28 2013-06-28 Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne ja mikromekaaninen kiihtyvyysanturi

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9547020B2 (fi)
EP (1) EP3014285B1 (fi)
FI (1) FI126199B (fi)
TW (1) TWI570053B (fi)
WO (1) WO2014207710A1 (fi)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI126199B (fi) * 2013-06-28 2016-08-15 Murata Manufacturing Co Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne ja mikromekaaninen kiihtyvyysanturi
FI127229B (fi) 2015-03-09 2018-02-15 Murata Manufacturing Co Mikroelektromekaaninen rakenne ja laite
JP6657626B2 (ja) * 2015-07-10 2020-03-04 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、電子機器および移動体
TWI610880B (zh) 2015-09-22 2018-01-11 村田製作所股份有限公司 半撓性的驗證質量
WO2017051243A1 (en) 2015-09-25 2017-03-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Improved microelectromechanical accelerometer device
US10352960B1 (en) * 2015-10-30 2019-07-16 Garmin International, Inc. Free mass MEMS accelerometer
JP2018032848A (ja) * 2016-08-25 2018-03-01 株式会社村田製作所 半導体装置
CN107064555B (zh) * 2017-03-10 2020-09-04 中国科学院地质与地球物理研究所 一种mems加速度计及其制造工艺
JP6558466B2 (ja) * 2017-05-08 2019-08-14 株式会社村田製作所 容量性微小電気機械加速度計
CN108519498B (zh) * 2018-03-08 2020-09-18 北京航天控制仪器研究所 一种谐振加速度计的自适应闭环测量系统
CN109490576A (zh) * 2018-12-19 2019-03-19 成都力创云科技有限公司 一种基于soi的全差分电容式mems加速度计
JP7188311B2 (ja) 2019-07-31 2022-12-13 セイコーエプソン株式会社 ジャイロセンサー、電子機器、及び移動体
CN111732070B (zh) * 2020-06-05 2023-01-17 东南大学 一种pt对称侧动微机电系统

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19938206A1 (de) * 1999-08-12 2001-02-15 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer Drehbeschleunigungssensor
US20040231420A1 (en) * 2003-02-24 2004-11-25 Huikai Xie Integrated monolithic tri-axial micromachined accelerometer
FR2858854B1 (fr) * 2003-08-13 2005-12-16 Sercel Rech Const Elect Accelerometre a vibrations parasites reduites par rappel ameliore
FR2858853B1 (fr) * 2003-08-13 2006-01-13 Sercel Rech Const Elect Accelerometre a vibrations parasites reduites par forme des electrodes amelioree
US6910379B2 (en) * 2003-10-29 2005-06-28 Honeywell International, Inc. Out-of-plane compensation suspension for an accelerometer
US7013730B2 (en) * 2003-12-15 2006-03-21 Honeywell International, Inc. Internally shock caged serpentine flexure for micro-machined accelerometer
KR100513346B1 (ko) * 2003-12-20 2005-09-07 삼성전기주식회사 보정전극을 갖는 정전용량형 가속도계
US7279761B2 (en) 2004-09-15 2007-10-09 The Regents Of The University Of California Post-release capacitance enhancement in micromachined devices and a method of performing the same
FR2880127B1 (fr) * 2004-12-29 2007-03-02 Commissariat Energie Atomique Accelerometre micro-usine a peignes capacitifs
FR2881568B1 (fr) * 2005-02-03 2011-01-14 Commissariat Energie Atomique Condensateur a capacite variable et a forme specifique, gyrometre comportant un tel condensateur et accelerometre comportant un tel condensateur
US7258010B2 (en) * 2005-03-09 2007-08-21 Honeywell International Inc. MEMS device with thinned comb fingers
US7337671B2 (en) * 2005-06-03 2008-03-04 Georgia Tech Research Corp. Capacitive microaccelerometers and fabrication methods
US7258011B2 (en) * 2005-11-21 2007-08-21 Invensense Inc. Multiple axis accelerometer
TWI284203B (en) * 2005-12-23 2007-07-21 Delta Electronics Inc Accelerometer
US7617729B2 (en) * 2006-02-21 2009-11-17 Physical Logic Ag Accelerometer
DE102006020521A1 (de) 2006-05-03 2007-11-08 Robert Bosch Gmbh Anordnung und Verfahren zur Druckmessung
KR100899812B1 (ko) * 2006-12-05 2009-05-27 한국전자통신연구원 정전 용량형 가속도계
DE102006059928A1 (de) 2006-12-19 2008-08-21 Robert Bosch Gmbh Beschleunigungssensor mit Kammelektroden
FI122397B (fi) 2008-04-16 2011-12-30 Vti Technologies Oy Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi
US8205498B2 (en) * 2008-11-18 2012-06-26 Industrial Technology Research Institute Multi-axis capacitive accelerometer
US8418555B2 (en) * 2009-06-26 2013-04-16 Honeywell International Inc. Bidirectional, out-of-plane, comb drive accelerometer
FR2954505B1 (fr) * 2009-12-22 2012-08-03 Commissariat Energie Atomique Structure micromecanique comportant une partie mobile presentant des butees pour des deplacements hors plan de la structure et son procede de realisation
US8549922B2 (en) * 2010-03-10 2013-10-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Motion detection using capacitor having different work function materials
US8516887B2 (en) * 2010-04-30 2013-08-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Micromachined piezoelectric z-axis gyroscope
ITTO20130174A1 (it) * 2013-03-05 2014-09-06 St Microelectronics Srl Dispositivo mems e relativa struttura micromeccanica con compensazione integrata delle deformazioni termo-meccaniche
FI20135714L (fi) * 2013-06-28 2014-12-29 Murata Manufacturing Co Kapasitiivinen mikromekaaninen kiihtyvyysanturi
FI126199B (fi) * 2013-06-28 2016-08-15 Murata Manufacturing Co Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne ja mikromekaaninen kiihtyvyysanturi

Also Published As

Publication number Publication date
EP3014285A1 (en) 2016-05-04
TW201524888A (zh) 2015-07-01
US20150316581A1 (en) 2015-11-05
FI20135712A (fi) 2015-01-07
WO2014207710A1 (en) 2014-12-31
EP3014285B1 (en) 2019-01-30
US9547020B2 (en) 2017-01-17
TWI570053B (zh) 2017-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI126199B (fi) Kapasitiivinen mikromekaaninen anturirakenne ja mikromekaaninen kiihtyvyysanturi
JP5606523B2 (ja) マイクロマシン構造
RU2618482C1 (ru) Датчик ускорения, а также способ изготовления датчика ускорения
JP6044742B2 (ja) 容量型マイクロメカニカル加速度センサ
US9625489B2 (en) Micromechanical sensor and method for manufacturing a micromechanical sensor
EP3268305B1 (en) A microelectromechanical capacitive sensor structure and device
JP2010513888A (ja) 櫛の歯状電極を有する加速度センサ
JP2014186036A (ja) センサ装置
CN106461701B (zh) 用于加速度传感器的微机械结构
US8770043B2 (en) Comb-structured MEMS accelerometer
WO2013080424A1 (ja) 加速度センサ
RU2543686C1 (ru) Микромеханический акселерометр
RU2597953C1 (ru) Интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр
RU2377575C2 (ru) Частотный микромеханический акселерометр
JP2014115080A (ja) 物理量センサ
RU2400706C2 (ru) Микромеханический гироскоп
RU55148U1 (ru) Микромеханический осевой акселерометр
RU2442992C1 (ru) Виброчастотный микромеханический акселерометр
RU113013U1 (ru) Микромеханический акселерометр
RU160952U1 (ru) Резонаторный микромеханический акселерометр
RU66060U1 (ru) Микромеханический осевой акселерометр
RU2434232C1 (ru) Виброчастотный микромеханический акселерометр
WO2012160845A1 (ja) Ｍｅｍｓセンサ
Dong et al. A MEMS Capacitive Inertial Sensor with Near Nanoscale Capacitance Plate Spacing

Legal Events

Date Code Title Description
PC Transfer of assignment of patent

Owner name: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.

FG Patent granted

Ref document number: 126199

Country of ref document: FI

Kind code of ref document: B