FI124225B - Parannettu sähkömekaaninen kalvo ja sen valmistus - Google Patents
Parannettu sähkömekaaninen kalvo ja sen valmistus Download PDFInfo
- Publication number
- FI124225B FI124225B FI20105106A FI20105106A FI124225B FI 124225 B FI124225 B FI 124225B FI 20105106 A FI20105106 A FI 20105106A FI 20105106 A FI20105106 A FI 20105106A FI 124225 B FI124225 B FI 124225B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- film
- printed
- layer
- roll
- bubble film
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 claims description 12
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 7
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 6
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 6
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000005001 laminate film Substances 0.000 claims 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/01—Electrostatic transducers characterised by the use of electrets
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
PARANNETTU SÄHKÖMEKAANINEN KALVO JA SEN VALMISTUS
Tämän keksinnön kohteena on sähkömekaaninen kaivorakenne ja sen 5 valmistusmenetelmä, jossa rakenteessa on johtavat kalvomaiset elektrodit ja niiden välissä elektreettikuplakalvorakenne.
Keksintö liittyy käytettäväksi erilaisissa sähköisesti varattuun elektreettikuplakalvoon perustuvissa muuntimissa, kuten antureissa ja 10 aktuaattoreissa, kuten esimerkiksi elektromekaanisissa näppäimistöissä, värähtely- ja voima-antureissa, photoakustisissa antureissa, ultraääniantureissa ja lähettimissä, joissa elektreettikuplakalvoon kohdistuva mekaaninen voima muunnetaan sähkösignaaleiksi tai päinvastoin.
15 KEKSINNÖN TAUSTAA
Sähkömekaaniseen kalvoon perustuvat antureiden käyttö esimerkiksi näppäimistöissä on tunnettua mm. US patentista 5,917,437, jossa on esitetty kovia iskuja kestävä näppäimistörakenne, jossa kiinteän ja kovan pinnan alla on 20 anturielementti, jossa on näppäimistöä vastaava, hopeapastalla silkkipainettu kuviointi. Keksinnön mukaisessa rakenteessa esitetään käytettäväksi kapasitiivista ns. elektreettikuplakalvoa, jollainen on esitetty US- patenttijulkaisussa 4,654,546. Elektreettikuplakalvolla tarkoitetaan yleensä litteitä ja/tai repeytyneitä kaasurakkuloita tai soluja sisältävää vaahdotettua 25 dielektristä muovikalvoa, joka on varattu voimakkaassa sähkökentässä.
Elektreettikuplakalvo on perinteisesti ollut polypropeenia, mutta sitä voidaan ^ valmistaa myös muovimateriaaleista kuten PEN, PET ja COC seoksista.
o Tunnettua on myös elektreettikuplakalvon paisuttaminen paksuussuunnassa, c\j jolloin siihen varaamisen yhteydessä muodostuu suurempi sisäinen o ^ 30 sähkökenttä ja sen herkkyys kasvaa moninkertaiseksi verrattuna ™ paisuttamattomaan vastaavaan kalvoon. Elektreettikuplakalvoa valmistetaan ja £ myydään tunnetulla tavaramerkillä Emfit®.
CD
o g Tämän keksinnön kohteena olevissa antureissa ja aktuaattoreissa on ollut o 35 tunnettua edellä mainitun elektreettikuplakalvon käyttö siten, että sen tarvitsemat sähköjohtavat pinnat on ensin järjestetty esimerkiksi polyesterikalvojen pinnoille ja vasta sitten sellaiset on laminoitu yhteen elektreettikuplakalvon kanssa, aina sähköjohtava pinta elektreettikuplakalvoa 2 vasten. Tämä on tullut tunnetuksi esimerkiksi patenttijulkaisusta US 6,242,683. Tällainen jälkeenpäin tapahtuva laminointi on kuitenkin hidas, koska erityisesti pieninä sarjoina valmistettavat anturit on jouduttu valmistamaan liimaamalla laminaatit ennen leikkausta yleensä vähintään kolmesta arkista (kaksi 5 polyesteriä yhteen yhden elektreettikuplakalvon kanssa).
Tunnettua on myös ollut, että elektreettikuplakalvo tarvitsee vanhennusta korkeammassa lämpötilassa, jotta se stabiloituisi eikä enää käytössä menettäisi varaustaan. Kuitenkin itse kalvon vanhennus ennen sen toimitusta sitä 10 käyttävälle sähköä johtavaa painamista tekevää yritykselle ei ole onnistunut, koska sellaisenaan kalvo rypistyy ja muuttaa muotoaan voimakkaasti, kun sitä sellaisenaan säilytetään korkeammassa lämpötilassa, esimerkiksi 60 C asteessa.
15 Edelleen tunnettu ongelma on ollut, ettei sähköä johtavia pintoja ole voitu painaa suoraan elektreettikuplakalvolle, koska esimerkiksi hopeapasta vaatii kuivuakseen ja saavuttaakseen hyvän sähkönjohtavuuden, vähintään luokkaa 80 C lämmön, jolloin kalvo sellaisenaan muuttaa muotoaan niin, että se rypistyy ja siihen tulee pullistumia ja näin ollen muuttuu käyttökelvottomaksi. Edelleen 20 kalvo sellaisenaan, vaikka siihen voisikin painaa, on liian haurasta ja heikkoa sellaisenaan.
KEKSINNÖN YHTEENVETO
25 Tämän keksinnön yhtenä tavoitteena on tunnetun tekniikan ongelmien ratkaiseminen uudentyyppisellä elektreettikuplakalvorakenteella, jossa on monta kerrosta, δ
CM
^ Edullisessa sovellutusmuodossa ainakin elektreettikuplakalvon toiselle, mutta ° 30 suositellusti molemmille pinnoille, on ensin laminoitu ohut muovikalvo, ^ suositellusti polyesteriä, mutta voi olla myös jotain muuta sopivaa kuten vaikka
X
£ polyimidiä, joka voi olla ensin lämpökäsitelty sen kutistumisen lämmössä co estämiseksi, o δ o itsenäisissä patenttivaatimuksissa.
5 35 Yksityiskohtaisesti keksinnön tunnusomaiset piirteet on esitetty oheisissa
CM
5 3
PIIRUSTEN LYHYT KUVAUS
Seuraavassa keksintöä selostetaan yksityiskohtaisemmin esimerkin avulla viittaamalla oheisiin piirustuksiin, joissa
Kuvio 1 esittää keksinnön mukaisen parannetun elektreettikuplakalvon poikkileikkausta, jossa yksi elektreettikuplakalvo on laminoitu yhden esimerkiksi polyesterikalvon kanssa.
10 Kuvio 2 esittää parannetun elektreettikuplakalvon poikkileikkausta, jossa yksi elektreettikuplakalvo on laminoitu kahden kalvon, esimerkiksi polyesterikalvon kanssa.
Kuvio 3 esittää kuvion 2 mukaisen kalvon käyttöä anturina ja sitä, kuinka siihen 15 on järjestetty tyypilliset sähköjohtavat ja eristävät kerrokset.
EDULLISTEN SOVELLUTUSMUOTOJEN KUVAUS
Kuvioiden 1 ja 2 sovellutusmuodossa ainakin elektreettikuplakalvon 100, jonka 20 paksuus on tyypillisesti 50 - 100 pm, toiselle, mutta suositellusti molemmille pinnoille on ensin laminoitu ohut muovikalvo 101, suositellusti polyesteriä, mutta voi olla myös jotain muuta sopivaa kuten vaikka polyimidiä, joka on ensin lämpökäsitelty sen kutistumisen lämmössä (hopeapastan kuivatus ja elektreettikuplakalvon varauksen stabilointi lämmöllä) estämiseksi.
25 Tällaista laminaattia 100, 101 voi sen valmistaja vanhentaa esimerkiksi 85 C asteessa viikon, jonka jälkeen sitä voi toimittaa rullana tai arkkeina edelleen δ yritykselle, joka voi suoraan painaa siihen sähköjohtavat pinnat halutussa
CNJ
^ muodossa, sen jälkeen leikata haluttuja antureita ja/tai aktuaattoreita, ja ° 30 kiinnittää liittimet. Koska lisättävä kalvo 101 ei sisällä sähköjohtavia aineita, ™ varaus muodostuu myös sähköjohtavalle pinnalle, joka on painettu uloimmalle,
X
£ laminoidun kerroksen ulkopinnalle, eikä sen tarvitse siis olla suoraan g elektreettikuplakalvoa vasten. Kun elektreettikuplakalvon pinnalle laminoitu δ kalvo on luokkaa 15-25 μ paksua, se itse asiassa vastaa tyypillistä liimakalvon δ 35 paksuutta, kuin on perinteisellä tekniikalla laminoitu sähköjohtava pinnan
CM
omaava polyesterikalvo elektreettikuplakalvon kanssa. Voiman muutoksesta generoituva varaus sähköjohtavalle pinnalle kun on verrannollinen sen etäisyyteen elektreettikuplakalvon pinnasta eli tällaisen laminaatin suorituskyky 4 on vähintään samaa luokkaa kuin perinteisen menetelmän, mutta erityisesti valmistusmenetelmä valmiiksi tuotteiksi helpottuu huomattavasti. Haluttaessa ominaisuuksia kuin mekaaninen kestävyys, jäykkyys, voidaan käyttää myös paksumpia kalvoja, kuten vaikka 100 μ. Suorituskyky (herkkyys) huononee, 5 mutta monessa sovelluksessa se ei ole ongelma.
Jos halutaan järjestää esimerkiksi piirilevyn yhdelle pinnalle anturi ja/tai aktuaattori, yleensä piirilevyn pinnalle järjestetään kuuma elektrodi(t), ja sitä vasten liimataan elektreettikuplakalvo jonka ulkopinnalle järjestetään 10 maaelektrodi. Käyttämällä tähän edellä kuvatun mukaista laminaattia, jossa elektreettikuplakalvo on laminoitu yhden polyesterikalvon kanssa, voidaan mainittu maataso painaa polyesterikalvon pinnalle ja elektreettikuplakalvo liimata suoraan piirilevyn pinnalle, jossa sitä vasten tulee signaali- eli kuumaelektrodi(t). Maataso voidaan kytkeä useilla eri tavoilla piirilevyn 15 maatasoon.
Kuviossa 3 on elektreettikuplakalvon 100 molemmille pinnoille laminoitu edullisesti rullalta-rullalle prosessissa polyesterikalvot 101 ja 102, edullisesti 25 μ paksut. Tämän jälkeen laminaattirulla on sellaisenaan, tai arkeiksi 20 leikkaamisen jälkeen vanhennettu esimerkiksi 85 C asteessa 7 pv ajan, jonka jälkeen siihen jäävä varaustaso kestää käytännössä muuttumatta esimerkiksi autoteollisuuden vaatimukset tuotteilta, joita asennetaan autojen matkustamotiloihin. Kalvon 102 alapinnalle on järjestetty silkkipamamalla, joko arkkina tai rullalta-rullalle painomenetelmällä, ensin maataso 103 hopeapastalla 25 painamalla. Sen päälle on painettu eriste 104, jotta hopeapasta ei hapetu. Painamisen sijaan voidaan lisätä myös ohut suojaava muovikalvo. Polyesterikalvon 101 yläpinnalle on vastaavasti painettu signaali- eli o kuumaelektrodi 105. Se on kooltaan edullisesti hieman alapuolen maatasoa
CM
^ pienempi. Signaalielektrodin yli on painettu edullisesti kahteen kertaan eriste ° 30 106, joka on kaikilta reunoilta selvästi yli signaalielektrodialueen. Eristeen 106 ^ päälle on taas painettu maataso 107, joka on suojattu hapettumiselta eristeellä
X
£ 108, joka voi olla myös erillinen ohut muovikalvo tai vaikka painettua grafiittia.
g Usein anturiin tarvitaan pitemmät signaalijohtimet sen kytkemiseksi £ signaalikäsittelylaitteeseen. Tällöin signaalijohdinalue on usein o varausta signaalielektrodiin. Tällöin voidaan järjestää siten että ennen signaalielektrodin painamista samalla puolelle, jolle se on tuleva, painetaan ns. maskikerros sille alueelle, josta ei haluta generoituvan varausta, ja se 5 35 tarkoituksenmukaista olla sellainen, että siihen kohdistuvat voimat eivät generoi
CM
5 järjestetään siten, että se kytkeytyy maatasoihin. Sen päälle painetaan eriste edullisesti kahteen kertaan. Vasta tämän jälkeen painetaan signaalielektrodikerros 105 ja edelleen kerrokset 106, 107, 108. Kun kaikki pinnat on näin järjestetty, arkki tai rulla leikataan suunnitellun muotoisiksi 5 antureiksi/aktuaattoreiksi, kuten on esimerkiksi esitetty US patenttijulkaisussa US 6,242,683, jossa myös ilmenee kuinka signaali- ja maatasot esimerkiksi voidaan kuvioida. Näin saadaan haluttua tuotetta, jota ei enää tarvitse vanhentaa, vaan se on valmis käytettäväksi. Logistisesti tuotantoprosessi on edullinen ja hallittavissa.
10
Alan ammattimiehelle on selvää, että keksinnön eri sovellutusmuodot eivät rajoitu yksinomaan edellä esitettyihin esimerkkeihin, vaan ne voivat vaihdella jäljempänä esitettävien patenttivaatimusten puitteissa. Keksintöä voidaan soveltaa käytettäväksi useissa eri elektreettikuplakalvosovelluksissa.
δ
CvJ
C\J
o N-
C\J
X
IX
Q.
CO
o δ o δ
C\J
Claims (4)
1. Sähkömekaanisen kaivorakenteen valmistusmenetelmä, jossa rakenteessa on johtavat kalvomaiset elektrodit ja niiden välissä elektroaktiivinen 5 kaivorakenne, tunnettu siitä, että menetelmässä - muodostetaan kerrosrakenne, jossa on elektroaktiivinen kerroskalvorakenne, jossa on vähintään kolme kerrosta, joista vähintään yksi kerros on elektreettikuplakalvokerros (100) ja vähintään yksi kerros on lämpöä kestävä muovikalvo, ja 10. ainakin elektreettikuplakalvon tai -kalvojen toiselle, mutta suositellusti molemmille pinnoille on ensin laminoitu eristysmuovikalvo, suositellusti polyesteriä, mutta voi olla myös jotain muuta sopivaa kuten vaikka polyimidiä, - joka eristysmuovikalvo on ensin lämpökäsitelty sen kutistumisen lämmössä estämiseksi. 15
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että aikaansaatu laminaattikalvorakenne (100, 101) on rulla- tai arkkituote, johon voi suoraan painaa sähköjohtavat pinnat halutussa muodossa, sen jälkeen leikata haluttuja antureita ja/tai aktuaattoreita, ja kiinnittää liittimet. 20
3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että elektreettikuplakalvo tai -kalvot on laminoitu yhden polyesterikalvon kanssa, ja maataso on sovitettu polyesterikalvon pinnalle ja elektreettikuplakalvo järjestetty suoraan piirilevyn pinnalle, jossa sitä vasten tulee kuumaelektrodi(t). 25
4. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että ^ elektreettikuplakalvon (100) molemmille pinnoille laminoitu edullisesti rullaltani rullalle prosessissa polyesterikalvot (101 ja 102), toisen kalvon (102) alapinnalle i g on järjestetty silkkipainamalla, joko arkkina tai rullalta-rullalle i ^ 30 painomenetelmällä, ensin maataso (103), polyesterikalvon (101) yläpinnalle on x vastaavasti painettu signaali- eli kuumaelektrodi (105), signaalielektrodin yli on CC °· painettu edullisesti kahteen kertaan eriste (106), joka on kaikilta reunoilta o selvästi yli signaalielektrodialueen, ja eristeen (106) päälle on taas painettu o maataso (107), joka on suojattu hapettumiselta eristeellä (108). δ CVJ
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20105106A FI124225B (fi) | 2010-02-04 | 2010-02-04 | Parannettu sähkömekaaninen kalvo ja sen valmistus |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20105106A FI124225B (fi) | 2010-02-04 | 2010-02-04 | Parannettu sähkömekaaninen kalvo ja sen valmistus |
FI20105106 | 2010-02-04 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI20105106A0 FI20105106A0 (fi) | 2010-02-04 |
FI20105106A FI20105106A (fi) | 2011-08-05 |
FI124225B true FI124225B (fi) | 2014-05-15 |
Family
ID=41727655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI20105106A FI124225B (fi) | 2010-02-04 | 2010-02-04 | Parannettu sähkömekaaninen kalvo ja sen valmistus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
FI (1) | FI124225B (fi) |
-
2010
- 2010-02-04 FI FI20105106A patent/FI124225B/fi not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI20105106A0 (fi) | 2010-02-04 |
FI20105106A (fi) | 2011-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2909868B1 (en) | Method of metallizing dielectric film | |
JP2008525804A5 (fi) | ||
RU2011107398A (ru) | Электрический нагреватель с резистивной нулевой плотностью | |
JP2008544551A5 (fi) | ||
TW200628312A (en) | Adhesive membrane for force switches and sensors | |
WO2009050829A1 (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
KR20050085485A (ko) | 다층 구조의 캐리어 박막을 가진 박막형 스위칭 소자 | |
WO2015098724A1 (ja) | 圧電センサの製造方法 | |
CN100578710C (zh) | 具有增强的载体箔的箔型压力传感器 | |
CN104602448B (zh) | 可挠式电路板及其制作方法 | |
EP4175322A1 (en) | Piezoelectric element | |
JP2016091149A (ja) | 静電容量式3次元センサ及びその製造方法 | |
FI124225B (fi) | Parannettu sähkömekaaninen kalvo ja sen valmistus | |
US9832572B2 (en) | Electroactive sound transducer foil having a structured surface | |
FI118369B (fi) | Sähkömekaaninen muunnin ja menetelmä sähkömekaanisen muuntimen valmistamiseksi | |
WO2021053977A1 (ja) | 圧力センサ | |
CN114730827A (zh) | 压电元件 | |
WO2011018842A1 (ja) | 低抵抗のチップ形抵抗器とその製造方法 | |
JP7395114B2 (ja) | 押圧検出可能なメンブレンスイッチおよびその製造方法 | |
WO2008012351A1 (en) | Method of producing a film-type sensor | |
JP7532828B2 (ja) | 触覚センサ及びその製造方法 | |
WO2024135309A1 (ja) | 固体電解コンデンサ | |
JP5930533B2 (ja) | 高分子アクチュエータ及びその製造方法 | |
KR101012677B1 (ko) | ACF를 적용한 e-카버 | |
JP2003168341A (ja) | メンブレンスイッチ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FG | Patent granted |
Ref document number: 124225 Country of ref document: FI Kind code of ref document: B |
|
MM | Patent lapsed |