FI117384B - Vähintään yhdellä ohutkalvolla varustettu ikkunalasi ja menetelmä sen valmistamiseksi - Google Patents

Vähintään yhdellä ohutkalvolla varustettu ikkunalasi ja menetelmä sen valmistamiseksi Download PDF

Info

Publication number
FI117384B
FI117384B FI955581A FI955581A FI117384B FI 117384 B FI117384 B FI 117384B FI 955581 A FI955581 A FI 955581A FI 955581 A FI955581 A FI 955581A FI 117384 B FI117384 B FI 117384B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
oxide
film
thin film
precursor
aluminum
Prior art date
Application number
FI955581A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI955581A (fi
FI955581A0 (fi
Inventor
Georges Zagdoun
Corinne Victor
Original Assignee
Saint Gobain Vitrage
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Saint Gobain Vitrage filed Critical Saint Gobain Vitrage
Publication of FI955581A0 publication Critical patent/FI955581A0/fi
Publication of FI955581A publication Critical patent/FI955581A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI117384B publication Critical patent/FI117384B/fi

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3441—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising carbon, a carbide or oxycarbide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/213—SiO2
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/23—Mixtures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/28—Other inorganic materials
    • C03C2217/284—Halides
    • C03C2217/285—Fluorides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Description

117384 Vähintään yhdellä ohutkalvolla varustettu ikkunalasi ja menetelmä sen valmistamiseksi - Fönsterruta utrustad med ätminstone en tunnfilm och metod för framstäilning densamma 5 Tämä keksintö koskee tuotetta, joka käsittää lasisubstraattityyppisen läpinäkyvän substraatin, johon on liitetty vähintään yksi ohutkalvo, funktionaalisina ikkunalaseina tunnettujen ikkunalasien valmistamiseksi sekä rakennuksiin että laivoihin ja ajoneuvoihin.
10 Tämän keksinnön yhteydessä funktionaalinen lasi tarkoittaa lasia, jonka läpinäkyvistä osasubstraateista vähintään yksi on pinnoitettu ohutkalvokerroksella antamaan sille tiettyjä ominaisuuksia, varsinkin lämpöominaisuuksia, optisia tai sähköistä ominaisuuksia.
15
On siten olemassa ohutkalvoja, joita nimitetään matalaemissiivisiksi kalvoiksi, jotka sisältävät etenkin seostettua metailioksidia, esimerkiksi fluorilla seostettua tinaoksidia (Sn02:F) tai tinalla seostettua indiumoksidia (ITO), jotka voidaan kerrostaa lasin pintaan pyrolyysitekniikan avulla. Matalaemissiivisellä kalvolla päällys-20 tetty, varsinkin rakennusikkunaksi asennettu iasisubstraatti mahdollistaa emission pienenemisen ulospäin kaukoinfrapuna-alueella rakennuksen huoneesta tai kulku-välineen matkustamosta mainitun ikkunalasin läpi. Vähentämällä näin energiahä-viöitä, johtuen osaksi tästä säteilyn vähentyneestä karkaamisesta ulos, paranne- • # t i taan olennaisesti mukavuutta etenkin talvella.
25 • · · : Päällystetty substraatti voidaan asentaa kaksinkertaisella lasilla varustettuna, ma- i.: : talaemissiivisen kalvon ollessa vasten itmatäyttöistä tilaa kahden substraatin välis- v : sä, etenkin sijoitettuna pinnalle 3 (monikerroksisen lasin pinnat on numeroitu, ta vanmukaiseen aloittaen uloimmasta pinnasta huoneeseen tai matkustamoon näh-: 30 den). Siten muodostettu kaksinkertainen lasi käsittää siten vahvistetun lämpöeris- teen, jonka lämmönvaihtokerroin K on pieni, säilyttäen samanaikaisesti aurinko- * * * . energian sisäänpääsyn antaman edun, aurinkotekijän ollessa korkea (se on, huo- *;./ neeseen tulevan kokonaisenergian ja tulevan aurinkoenergian välinen suhde). Tä- • ·
*;·' tä asiaa voidaan tarkastella etenkin patenttihakemuksissa EP-O 544 577, FR
:Ϋ: 35 2 704 543 ja EP-0 500 445.
* · • » * · * * Nämä matalaemissiviset kalvot ovat myös hyviä sähkön johtajia, mikä tekee mahdolliseksi autojen lasien varustamisen niillä, jolloin tarkoitus on tuottaa lämmitys/- 117384 2 jäätymisenestolaseja toimittamalla tarvittaessa sähkötoimisia johtoja, sovellutus, jota etenkin on kuvailtu EP-O-patentissa 353 140.
On olemassa myös suodattavia ohutkalvoja, jotka tunnetaan myös valikoivina tai 5 antisolaarikalvoina, jotka kerrostettuina substraatteihin, jotka on asennettu lasiruutuihin, mahdollistavat auringon säteilyn lämmönsyötön ikkunan läpi huoneeseen tai tilaan absorption/heijastuksen avulla vähennettynä. Nämä voivat olla esimerkiksi titaaninitridikalvoja (tai titaanioksinitridi-) TiN, kuten kalvot, jotka tuotetaan kaa-sufaasisen pyrolyysin avulla, ja joita kuvaillaan EP-patenttihakemuksissa EP-0 10 638 527 ja EP-0 650 938.
Voidaan mainita myös heijastusta vastustavat kalvokerrokset, jotka tavallisesti on muodostettu korkean ja matalan taitekertoimen omaavien dielektristen kalvojen vuorotellessa, erityisesti niissä substraateissa, joita käytetään tuulilaseissa tai 15 kauppojen ikkunoissa.
Keksintö koskee myös tekniikoita näiden erilaisten kalvojen kerrostamiseksi ja erityisesti niitä, joissa käytetään hyväksi pyrolyysireaktiota; jälkimmäinen käsittää "prekursoreiden" asettamisen, esimerkiksi organometallisten laadultaan, joko kaa-20 su maisessa muodossa tai jauhemuodossa, tai vielä liuosmuodossa nesteessä, substraatin pintaan kohotetussa lämpötilassa. Mainitut prekursorit hajoavat koske-tuksen yhteydessä ja jättävät oksidi-, oksinitridi-, oksikarbidi- tai nitridikalvon. Pyro- .v. lyysin etu perustuu siihen tosiseikkaan, että se mahdollistaa näiden kalvojen ker- • · · »'.I, rostamisen suoraan jatkuvan tuotantolinjan lasi n au hai le kellutyyppiseksi levylasik- "Y 25 si, ja myös siihen seikkaan, että pyrolysoiduilla kalvoilla on yleensä hyvin voima- ;* V kas sidos substraattiin.
• · « • · · • · * * • * * : Edellä mainitut matalaemissiiviset tai suodattavat kalvot muodostavat usein osan kalvoryhmästä ja sijaitsevat ainakin toiselta pinnaltaan kosketuksissa toisen kal-30 von kanssa, yleensä dielektrisen aineen, jolla on optinen ja/tai suojaava merkitys.
• * • · • ·« . Edellä mainituissa patenttihakemuksissa EP-0 544 577 ja FR 2 704 543, matala- l./ emissiivistä kalvoa, esimerkiksi Sn02:F, ympäröi näin ollen kaksi dielektristä Si02-, •
SiOC- tai metallioksidityyppistä kalvoa, joiden taitekerroin ja paksuus on valittu :Y: 35 niin, että ne säätävät substraatin visuaalisen ulkonäön, varsinkin heijastuksessa esimerkiksi sen värin.
117384 3
Jo mainitussa patenttihakemuksessa EP-0 500 445, matalaemissiivistä kalvoa, varsinkin ITO:a, päällystää alumiinioksidikalvo sen suojaamiseksi hapettumiselta, ja näin ollen tietyissä olosuhteissa, jotta eliminoitaisiin tarve sen pelkistävään uu-delleenkuumennukseen ja/tai, jotta mahdollistettaisiin substraatin taivutus tai jäy-5 kistäminen päällystämisen jälkeen vahingoittamatta sen ominaisuuksia.
Ti02-kalvo tai TiCVSiOC-kaksoiskalvo, joka on suodattavan TiN-kalvon päällä patenttihakemuksessa EP-0 650 938, toimii myös suojaten TiN-kalvoa hapettumiselta ja yleensäkin sen kestävyyden parantamiseksi.
10
Nyt on tärkeää kyetä luottamaan ohutkalvokerrosten eheyteen ja erityisesti niiden kykyyn kestää kemiallista vaikutusta. Tosiasiassa tapahtuu usein niin, että läpinäkyvää substraattia säilytetään kalvoilla päällystämisen jälkeen melko kauan ennen asentamista ikkunaruuduksi. Jos sitä ei ole huolellisesti pakattu tiiviillä ja sen 15 vuoksi kalliilla tavalla, kalvot, joilla se on päällystetty, voivat altistua suoraan saastuttavalle ilmalle, tai ne voivat altistua puhdistukseen pesuaineilla, jotka eivät oikein hyvin sovi lian poistoon niistä, vaikka substraatit myöhemmin kootaan kaksinkertaisiksi laseiksi tai laminoiduiksi lasiruuduiksi, ohutkalvojen ollessa sijoitettu pinnoille 2 tai 3 ja siksi suojattu. Sitä paitsi, tämän säilytysongelman lisäksi, ke-20 mialliselle korroosiolle alttiit kerrokset estävät substraattien käytön "monoliittisinä" laseina tai kalvojen sijoittamisen pinnoille 1 tai 4 monikerroksisissa laseissa, eli konfiguraatioissa, joissa kalvot ovat alttiina koko vuoden ympäröivälle ilmakehälle.
• · • ♦ » * · · .\le Sen vuoksi etsitään jatkuvasti kalvokerroksia, joilla on parannettu kestävyys, var- j*Y 25 sinkin kemiallinen kestävyys. Kuten edellä on mainittu, on jo olemassa päällysker-;·γ roskalvoja dielektrisestä aineesta, jotka antavat tietyn suojan kerroksen alapuolisil- le kalvoille. Mutta millään näistä ei ole riittävän suuri kemiallinen kestävyys py-: syäkseen eheinä pinnalla, jossa on voimakas kemiallinen korroosio tai pitkään kestävä korroosio, ja/tai suojatakseen kokonaan alapuolisia kalvoja, jotka voivat 30 hyvinkin olla "hauraampia".
i « · • * « · .* . Tämän keksinnön kohteena on sen vuoksi kehittää uuden ohutkalvon valmistus, *;./ luontaisesti parannettu kemiallinen kestävyys ja mahdollisuus muodostaa osa • · ohutkalvokerroksesta, tarkoituksena täyttää erityisesti optinen tehtävä ja tarvittaes-: Y: 35 sa suojaava tehtävä mitä tulee ohutkalvokerroksen korroosioon, johon se on sisäl- lytetty.
♦ · 117384 4
Keksinnön kohteena on tuote, joka käsittää läpinäkyvän lasisubstraatin päällystettynä vähintään yhdellä ohutkalvolla, joka pohjautuu piitä ja happea sisältävään oksidiin mutta myös alumiiniin ja vähintään yhteen kolmanteen, M:llä merkittyyn alkuaineeseen, jonka tarkoituksena on helpottaa piitä ja alumiinia sisältävän homo-5 geenisen sekaoksidirakenteen muodostamista. On todellakin havaittu tärkeäksi lisätä tämä lisäaine M, jota voi olla läsnä hyvin vähäisenä osuutena verrattuna kalvon muihin aineosiin, mutta joka on siitä huolimatta hyvin tarpeellinen, jotta varmistetaan piin ja alumiinin hyvä jakautuminen koko kalvon paksuudelta, erityisesti, jos ajatellaan kerrostamista pyrolyysitekniikan avulla, kuten jäljempänä havaitaan.
10
Alkuaineeksi M valitaan halogeeni, edullisesti fluori, joka on osoittautunut hyvin tehokkaaksi toimimaan valmiin kalvokoostumuksen "homogenoinnissa".
Kalvo voi sisältää myös neljäntenä alkuaineena M' hiiltä pienenä määränä.
15
Kalvon kemiallinen formulaatio voidaan esittää muodossa SiAIxOyMzM'u, jossa M on edullisesti fluori. Näiden eri alkuaineiden edulliset osuudet keksinnön mukaisesti ovat seuraavat: 20 x (AI): 0,06-0,74; edullisesti 0,14-0,33 y (O): 2,1-3,1; edullisesti 2,3-2,5 z (M): 0,02-0,15; edullisesti 0,04-0,08 u (M1): 0-0,15; edullisesti 0,03-0,04 • · « * » • m • β » "V 25 Tämäntyyppinen ohutkalvo on yllättäen osoittautunut hyvin kestäväksi kaikin puo- • · · : Iin ja erityisesti hyvin kestäväksi kemiallista korroosiota vastaan. Tämä resistenssi : oli itse asiassa odottamaton ajateltaessa resistenssejä ohutkalvoilla, jotka sisältä- : vät piidioksidia S1O2 tai alumiinioksidia AI2O3, ja sen voidaan katsoa johtuvan sy- nergistisestä yhteisvaikutuksesta eri alkuaineilla, joita keksinnön mukainen seka- : 30 oksidi sisältää.
««* • « * 9 • 99 y . Kaivon geometrinen paksuus on haluttaessa mahdollista säätää erityisesti välille *·./ 30-180 nanometriä, esimerkiksi välille 60-160 nanometriä, edullisesti välille 80-140 ··« nanometriä. Vastaavasti säätämällä alkuaineiden Si, AI, O, M ja valinnaisesti M' :Y: 35 suhteet sopivalla tavalla, on mahdollista säätää kalvon taitekerroin esimerkiksi vä- • ♦ lille 1,42-1,60, edullisesti välille 1,44-1,46. Kaikki riippuu kerrosryhmätyypistä, josta se muodostaa osan.
117384 5
Paksuus- ja taitekerroinalueet tekevät kalvot täysin sopiviksi muodostamaan osan ohutkalvokerroksista, joista vähintään yhtä kalvoa nimitetään funktionaaliseksi, ja jolla on lämpöominaisuuksia (suodatus, valikoivuus, antisolaarisuus, matalaemis-siivisyys) tai sähköisiä ominaisuuksia. Esimerkkeinä voidaan mainita funktionaali-5 set kaivot seostetusta metallioksidista tai nitridistä tai metallisesta oksinitridistä, ja erityisesti tinaoksidista, joka on seostettu fluorilla SnC>2:F, indiumoksidista, joka on seostettu tina ITO:lla, tai titaaninitridistä TiN. Seostettua sinkkioksidia voidaan myös käyttää, joka on erityisesti seostettu indiumilla ZnO:ln, fluorilla ZnO:F, alumiinilla ZnO:AI tai tinalla ZnO:Sn.
10 Tämän keksinnön mukainen kalvo voidaan sijoittaa edullisesti myös heijastamatto-miin kerroksiin, jotka käsittävät oksideja (tai muita dielektrisiä aineita), joissa suuret ja pienet taitekertoimet vaihtelevat.
15 Tämäntyyppisiä kerroksia kuvaillaan edellä viitatuissa patenteissa, joista voi saada enemmän yksityiskohtia.
Tämän keksinnön mukainen kalvo sijoitetaan edullisesti siten, että se on viimeisenä kerroksessa: taitekertoimensa ansiosta, joka voi olla verrattain pieni, se voi to-20 stasiassa olla edullisesti optisesti merkittävä, sen vaikuttaessa etenkin parantavasti tai sopeuttavasti heijastumisen esiintymiseen ruudussa. Mutta sen lisäksi, poikkeuksellisen kestävyytensä ansiosta, se kykenee vastustamaan huononemis- * i ..... ta ja kykenee siten tarvittaessa suojaamaan muuta osaa kerroksesta, etenkin ha- pettu mistä vastaan korkeassa lämpötilassa ja kemiallista syöpymistä vastaan. To-25 siasiassa, kyetessään suojaamaan muuta kerrososaa erilaisia korroosiovaikutuk-j*: : siä vastaan, se ei ainoastaan itse ole kestävä vaan kykenee lisäksi vielä muodos- : tamaan käytössä suojan muulle kerrososalle.
··· • · ♦ • ♦ · •
Keksintö ei kuitenkaan rajoitu tähän ainoaan konfiguraatioon: on siten osoitettu, i 30 että keksinnön mukainen kalvo voi tehokkaasti toimia esteenä K+- tai Na+-tyyppis- ··*·· ten alkali-ionien diffuusiolle. Sen vuoksi on mahdollista, päinvastaisesti, sijoittaa keksinnön mukainen kalvo niin, että se on ensimmäisenä kerroksessa, kerrostet- • · * tuna suoraan lasisubstraatin pintaan, muodostaakseen suojan alkaleja vastaan ta- pauksessa, jolloin muu osa kerroksista sisältää kalvoja, jotka ovat alttiita alkali- :Y: 35 syöpymiselfe. Tässä konfiguraatiossa se voi toimia myös "sidostavana" kalvona « · muun kerroskokoonpanon suhteen. Sen ominaisuus, etenkin sen kovuus, mahdollistaa siten myös sen toiminnan mineraalialuskalvona kalvon alla, jolla on hydrofo-bisia/oleofobisia ominaisuuksia kuten jo on kuvailtu patenttihakemuksessa FR- 117384 6 94/08734, jätetty 13. heinäkuuta 1994, joka vastaa EP-hakemusta EP-95/401671.3, 12. heinäkuuta 1995 ja US-hakemusta 08/501 577, 12. heinäkuuta 1995. Tämä patenttihakemus koskee itse asiassa kaksikerroksista kerrospakkaus-ta, joka käsittää "kovan" mineraalialuskalvon, jonka pintaan on kerrostettu hydro* 5 fobinen/oleofobinen kalvo, joka on valmistettu hydrolysoituvan fluoratun alkyylisi-laanin avulla, erityisesti kaavan mukaisen perfluorialkyylisilaanin avulla: CF3-(CF2)n-(CH2)m-SiX3 10 jossa "N" on 0-12, "M" on 2-5 ja "X" on hydrolysoituva ryhmä.
Keksintö koskee myös menetelmää edellä määritellyn tuotteen aikaansaamiseksi, joka käsittää edullisesti kyseisen ohutkalvon kerrostamisen pyrolyysitekniikalla kaasufaasissa. Lähtöyhdisteinä käytetään vähintään kahta prekursoria, joita ovat 15 piiprekursori ja alumiiniprekursori, ja niiden suhteelliset osuudet ja kerrosta m isiä m-pötila on säädetty niin, että kyetään säätämään kemiallinen formulaatio ja/tai siten saadun kalvon taitekerroin. Tosiasiassa, puuttumatta vielä kolmanteen alkuaineeseen M, piin ja alumiinin määristä riippuen kalvossa, on mahdollista puuttua piin taitekertoimeen tai vastaavasti alumiinin taitekertoimeen.
20
Kolmannen alkuaineen M läsnäolo, kuten jo mainittiin, edullisesti fluorin, on ha-vaittu käyttökelpoiseksi varsinkin valittaessa kerrostamista pyrolyysin avulla. Itse-asiassa on havaittu melko selittämättömällä tavalla, että yritettäessä "yhteiskerros- * · * / : taa" alumiinioksidi ja piioksidi vastaavista prekursoreistaan, se on vaikeaa, erityi- | V 25 sesti, kun prekursorit ovat luonteeltaan organometallisia ja/tai organopiiyhdisteitä. * * *
Keksinnön mukaisesti on itse asiassa törmätty ongelmaan, jossa kalvon tasalaa-tuisuus puuttuu, jolloin ei saadakaan homogeenista kalvoa vaan kaksi päällekkäis-: tä kalvoa, toinen, joka sisältää enemmän Si02:a, toinen Al203:a. Koska keksinnön tarkoitus ei ole ensisijaisesti saada aikaan kalvoa, jossa on koostumusgradientti, 30 keksittiin, että fluorityyppisen lisäaineen lisäämisellä oli hyvin suotuisa vaikutus, sen helpottaessa suuresti yllättäen piin ja alumiinin yhteiskerrostamista ja mahdol-; listaessa sekaoksidikalvon aikaansaamisen, jonka taitekerroin ja kemiallinen koos- tumus olivat vakiot koko kalvon paksuudelta. Lisäaine M mahdollistaa lisäksi kai- • * '·;·* von kerrostamisnopeuden lisäämisen.
:V: 35 • ·
Olisi kuitenkin liian rajoittavaa yhdistää tämän lisäaineen käyttö kalvokerrostami-seen pyrolyysin avulla. Tosiasiassa on todennäköistä, että sen läsnäolo valmiissa 117384 7 kalvossa, millä tahansa menetelmällä se onkin saatu aikaan, myötävaikuttaa kestävyysominaisuuksien aikaansaamiseen.
Kalvon kerrostamisen yhteydessä pyrolyysin avulla kaasufaasissa, on edullista 5 valita piiprekursoriksi orgaaninen piiprekursori tai seos, joka sisältää orgaanisia piiprekursoreita valittuna seuraavasta ryhmästä: tetraetyyliortosilikaatti, nimeltään TEOS, ja jolla on kaava Si(OC2Hs)4, heksametyylidisilaani, nimeltään HMDS, ja jolla on kaava (CH3)3-Si-Si-(CH3)3, HMDSO-niminen heksametyylidisiloksaani, jolla on kaava (CH3)Si-0-Si-(CH3)3, OMCTS-niminen oktametyylisyklotetrasiloksaani, 10 jolla on kaava ((CH3)2SiO)4, TOMCATS-niminen tetrametyylisyklotetrasiloksaani, jolla on kaava (CH3HSiO)4, TMS-niminen tetrametyylisilaani, jolla on kaava Si(CH3)4, tai HMDSN-niminen heksametyylidisilatsaani, jolla on kaava (CH3)3-SiNH-Si(CH3)3.
15 Alumiiniprekursoriksi valitaan osaltaan edullisesti organometaUinen tyyppi, jolla on erityisesti alkoholaatti- ja/tai β-diketonifunktio alumiiniasetyyliasetonaattityyppiä, tai metyyli-2-heptadieeni-4,6-alumiini, jota nimitetään myös alumiini-isovaleryyliaseto-naatiksi.
20 Kolmannen alkuaineen M prekursori voi tosiasiassa olla myös piin ja/tai alumiinin prekursori. Koska nämä kaksi viimeksi mainittua prekursoria sisältävät hiilivetyryh-miä, jos fluori valitaan alkuaineeksi M, on tarpeellista vain itse asiassa korvata • · kaikki tai osa vetyatomeista toisessa ja/tai toisessa näistä prekursoreista fluori- « · · /1 atomeilla. Tällä tavalla on edullisesti mahdollista käyttää alumiiniprekursoria hek- 25 safluoratussa asetyyliasetonaattimuodossa tai alumiinitrifluoriasetyyliasetonaatti- * · * :·: : muodossa.
• · # · * • » « »M · · * \5 : On kuitenkin mahdollista, että voi olla edullista liittää tämä alkuaine M kalvoon pre- kursorin välityksellä, joka on riippumaton piin tai alumiinin prekursoreista, erityises-30 ti Huoratun CF4-tyyppisen kaasun muodossa, jos fluori on kysymyksessä.
»· + • · ♦ » * · » / : Kalvo voi sisältää myös hiukan hiiltä, jota varten on tavallisesti tarpeetonta toimit- taa sille sopiva prekursori, koska hiili voi tavallisesti olla lähtöisin etenkin pii- tai *···’ alumiiniprekursorista, joka sisältää karbonoituja ryhmiä.
• 35 « · •\* Kerrostamisolosuhteista riippuen, sen suoritusvaiheen ilmakehään voi olla tarpeen • · lisätä prekursori, joka sisältää happea oksidin muodostamiseksi, joka prekursori 117384 8 voi olla puhdas 02 tai "pehmeämpi" hapettava kaasu, joka on tyypiltään H20, C02, N20, tai "voimakkaampi" kaasu kuten otsoni 03.
Kerrostamislämpötila riippuu prekursorivalinnasta. Se on edullisesti välillä 400-5 650 °C, edullisemmin 450-550 °C ja erityisesti 480-520 °C. Sen jälkeen on mah dollista kerrostaa kalvo jatkuvatoimisesti lasinauhaan tuotantolaitoksesta "kel-lu'tyyppiseksi litteäksi lasiksi, ja erityisesti kelluhauteen ulostulossa, esimerkiksi lämmitys/jäähdytysuunissa, jossa lasinauhan lämpötila on edellä mainitulla lämpötila-alueella. Kerrostamalla siten keksinnön mukainen kalvo verrattain "myötävir-10 taan" kellu linjassa, on hyvin edullisesti mahdollista kerrostaa, ennen tätä kalvoa, muita ohutkalvoja, myös pyrolyysin avulla kiinteässä, nestemäisessä tai kaasumaisessa faasissa. Tällä tavalla kalvokerroskokonaisuus valmistetaan jatkuvatoimise-| na nauhan pintaan, josta on suurta taloudellista etua.
I 15 Keksinnön mukaan on siten mahdollista valmistaa suodattavia aurinkokontrolli-ik- kunalaseja kerrostyypeillä: lasi/TiN/sekaoksidi 20 keksinnön mukaisen sekaoksidin mahdollistaessa, toisaalta substraatin heijastus-esiintymisen vähenemisen "kalvopuolella", ja toisaalta huononemiseen taipuvai-sen TiN-kalvon suojaamisen ja erityisesti hapettumiselta, erityisesti tapauksessa, • # jossa lasi myöhemmin lämpökäsitellään, taivutetaan tai kovetetaan.
• Il t « • · • · · : 25 Keksinnön mukaiset sekaoksidit voivat olla osallisina myös matalaemissiivisissä : kalvoissa, joissa on kerrostyyppejä: • * t · · • · · #·· · lasi/SiOC/Sn02:F/sekaoksidi : 30 Tässä tapauksessa, koska Sn02-kalvo on luontaisesti kestävä, keksinnön mukai- * * sella sekaoksidilla on ennen kaikkea optinen merkitys yhdessä SiOC-kalvon kans- / . sa, joka on sijoitettu Sn02:F-kalvon alle. Keksinnön mukainen sekaoksidi voi sijai- * * * ta myös heijastamattomassa kerroksessa yhden tai useamman oksidi (pienikertoi-minen)/oksidi (suurikertoiminen) -järjestyksen kanssa, keksinnön mukaisen pieni-35 kertoimisen kalvon muodostaessa ainakin viimeisen kalvon.
• « • » * · « • ··
Keksintö antaa mahdollisuuden tuottaa minkä tahansa tyyppisiä ohutkalvoja sisältäviä funktionaalisia laseja, joiden kestävyys on hyvä, ja jotka kestäessään hapet- tumista korkeassa lämpötilassa, kyetään myös kovettamaan ja/tai taivuttamaan, kun käytetään lasisubstraatteja.
117384 9 j i
Keksinnön yksityiskohdat ja edulliset tunnusomaisuudet selviävät seuraavasta ku-5 vauksesta, joka käsittää suoritusmuodon ei-rajoittavia esimerkkejä, esitettynä oheisen kuvion 1 avulla. Tämä kuvio ei ole suhteessa eri aineiden suhteellisen paksuuden suhteen selvyyden vuoksi. Nämä esimerkit koskevat matalaemissiivis-ten lasien valmistusta käyttäen substraatteina 1 kirkasta piinatriumkalkkilasia, jonka paksuus on 6 millimetriä, joka on päällystetty kolmella päällekkäisellä kalvolla: 10 ensimmäinen kalvo, nimeltään "aluskalvo 2" käsittäen SiOCin, joka on tuotettu si-laanin ja etyleenin kaasufaasisella pyrolyysillä kuten patenttihakemuksessa EP-0 518 755 on kuvailtu; toinen kalvo, nimeltään "funktionaalinen" matalaemissiivinen kalvo 3 käsittäen Sn02:F:n, joka on valmistettu tunnetulla tavalla jauhepyrolyysin avulla dibutyylitinadifluoridista, ja kolmas kalvo, joka tunnetaan "päällyskaIvona 4", 15 joka on tämän keksinnön mukaisesti kehitetty. Tämäntyyppinen 3 kalvoa käsittävä kerros on se, jota on kuvailtu FR-patenttihakemuksissa 2 704 543 ja EP-0 544 577:$sä, joihin viitataan tarkempien yksityiskohtien osalta.
Kaikissa esimerkeissä SiOC-aluskalvon geometrinen paksuus on 55 nanometriä 20 ja taitekerroin suunnilleen 1,75, ja funktionaalisen Sn02:F-kalvon geometrinen paksuus on 360 nanometriä ja taitekerroin suunnilleen 1,9-2.
• \ / Viite-esimerkit 1*3: • · f • · · e · • * 5.: : 25 Viite-esimerkissä 1 käytetään Si02-päällyskalvoa 4, jonka paksuus on 90 ± 5 na- * m : nometriä ja taitekerroin on 1,45, joka on valmistettu kaasufaasisen pyrolyysin avul- la TEOS:sta (tetraetyyliortosilikaatti) lämpötilassa 500 °C.
• · · • · « * ♦ ·
Viite-esimerkissä 2 käytetään AI203-päällyskalvoa 4, joka on valmistettu pyrolyysin ; 30 avulla alumiinitri-isopropylaatista lämpötilassa 500 °C kuten patenttihakemukses- ;··\ sa EP-0 500 445 on kuvailtu, ja jonka paksuus on suunnilleen 95 nanometriä ja *·’ taitekerroin 1,60.
• · » • ·· • « \..s Viite-esimerkissä 3 käytetään SKVpäällyskerrosta 4, joka sisältää vähän fluoria, 35 ja jonka paksuus on 88 ± 5 nanometriä ja taitekerroin on 1,44, joka on valmistettu .*/: kaasufaasisen pyrolyysin avulla TEOS:sta ja CF4:stä 500 °C:ssa.
• «* • · 117384 10
Esimerkit 4-10: Nämä ovat tämän keksinnön mukaisia esimerkkejä, joissa valmistetaan keksinnön mukainen päällimmäinen kalvo kaasufaasisen pyrolyysin avulla alumiiniheksafluo-5 riasetyyliasetonaatista, tetraetyyliortosilikaatista TEOS:sta ja hapesta, kerrostamisia m poti lassa 480-520 °C. Tilavuussuhde TEOS:n ja heksafluoratun asetyyli-asetonaatin välillä säädetään empiirisesti arvoon 1-7 toisaalta, ja hapen ja TEOS:n välillä arvoon 2-7 toisaalta. Kerrostaniislämpötila säädetään myös edellä mainitulle alueelle. Päällyskalvoja 4 saadaan sen jälkeen, joilla on kaava 10 SiAlxOyFzCu, joiden geometrinen paksuus on 90 ± 5 nanometriä, ja joiden taiteker-toimet vaihtelevat.
Taulukossa 1 jäljempänä on esitetty kunkin esimerkin osalta päällyskerroksen 4 taitekertoimet, i.r, ja siihen liittyvät kertoimet x, y, z ja u.
15
Taulukko 1 x y z u i.r.
_m_jo)_jf)_jc)__
Esimerkki 4__0,06 2,09 0,01 0,01 1,45
Esimerkki 5 0,07 2,11 0,02 0,01 1,45 • _____________ — --- - ^^_ I." Esimerkki 6 0,14 2,21 0,01 0,03 1,47 • · · — I i '— .......
Esimerkki 7 0,27 2,40 0,04 0,04 1,48 • · « ^ |"·ϊ Esimerkki 8 0,29 2,43 0,04 0,03 1,49 • 1 1 .............. - : Esimerkki 9 0,33 2,50 0,05 0,04 1,49 A': | Esimerkki 10 0,74 3,11 0,15 0,12 1,54 : Alla taulukossa 2 ryhmitellään seuraavat spektrofotometriset arvot joillekin näistä :··β; 20 esimerkeistä: valonläpäisy TL-prosentti, valon heijastuminen R|_-prosentti, vallitse- • ·· / ; va aallonpituus λ (dom(R) heijastuksessa nanometreissä ja värin puhtaus heijas- tuksessa p(r) prosenttina, arvojen ollessa mitattu valaisevaan aineeseen D6s.
* · ♦ · ··· ♦ * · ♦ • · · ♦ · • » i i i • ·· • « 117384 11
Taulukko 2 dom(r)
Viite-esimerkki 1 82,5 5,5 489 10
Viite-esimerkki 2__77__1J__634__11_
Viite-esimerkki 3 77,4 10,6 590 20 I Esimerkki 7 82__6__490__2,7
Havaitaan, että päällyskalvot 4 keksinnön mukaisissa esimerkeissä 4-10, käsitel-5 tyinä yksilöllisesti, ovat eristäviä sähköisyystasolla, hyvin sileitä, koska niiden ryp-pyisyys on enintään 10 änströmyksikköä (keskiarvo huippu-laaksoetäisyyksistä kalvopinnoilla mitattuna elektronimikroskoopilla). Tämän keksinnön mukaiset päällyskalvot ovat lisäksi lievästi hydrofobisia veden kosketuskulman niiden pinnoilla ollessa 42-60°, kosketuskulman ollessa erityisesti 52° esimerkin 8 mukaisella 10 päällyskalvolla.
Vertailun vuoksi, veden kosketuskulma viite-esimerkin 1 mukaisen SiCVpäällys-kalvon pinnalla on 30°.
·:··: 15 Kullekin esimerkkien 1-10 mukaiselle päällystetylle substraatille suoritettiin kaksi :y. testiä: * ♦ • · φ · ·
• · I
:\V Ensimmäinen testi mahdollistaa kerroksen kemiallisen kestävyyden määrittämisen “V ja on nimeltään neutraalisuolasumutesti. Sitä kuvaillaan standardissa ISO 9227 ja 5::.s 20 se käsittää substraatin kostuttamisen neutraalilla suolasumulla, 50 g NaCI-suolaa, • · · lämpötilassa 35 °C ja pH:ssa 6,5-7,2, siihen hetkeen saakka kunnes ensimmäiset havaittavat virheet ilmaantuvat. Ohutkalvojen katsotaan läpäisseen testin, jos ne kestävät vähintään 480 tuntia tai 20 päivää. Kaikki keksinnön mukaisten esimerk-kien 4-10 substraatit kestävät enemmän kuin 21 päivää osoittamatta silmillä ha- .·! : 25 väittäviä näkyviä virheitä, jotka voisivat johtua kerroksen huononemisesta.
• · ·*· f * * · V On osoitettu, että 21 päivän jälkeen, keksinnön mukaiset päällyskalvot, jotka kesti- v.: vät pisimmät ajanjaksot, olivat niitä, joissa kemiallinen koostumus sisälsi alumiinia V*j x-arvon ollessa suurempi kuin 0,15. Näin ollen, jos esimerkiksi tarkastellaan esi- 30 merkkiä 7, 28 päivän jälkeen Rt_:n arvo on lisääntynyt vain 0,6 %, muuttuen arvoon 117384 12 6,6 %. λ dom(R):n arvo on muuttunut 492 nm:ksi ja sen vuoksi se on vielä täysin samassa heijastuksen sinivihreässä sävyssä, värissä, joka pysyy hyvin vaimennettuna, koska puhtaus p(r) on edistynyt vain 0,1 % muuttuen arvoon 2,8.
5 Tämän testin tulokset ovat hyvin erilaiset kolmen viite-esimerkin kohdalla. Näin ollen, viite-esimerkin 1 mukainen SiCVpintakalvo huononee hyvin nopeasti: se syöpyy seitsemännestä päivästä lähtien ja siitä on vain vähän jäljellä 14 päivän kuluttua. Tämä suolavesiuuttautuminen ilmenee radikaalina muutoksena ulkomuotoon heijastuksessa substraatin "kalvopinnalla". Neljäntenätoista päivänä RL:n 10 arvo on enemmän kuin kaksinkertaistunut saavuttaen tason 11 %, λ dom(R):n arvo on muuttunut 617 nanometriin ja puhtaus p(r) 12-%:tiin. Substraatin heijastuma on kirkkaampi, sen väritys on muuttunut purppuramaiseksi ja se on lisäksi voimakkaampi. Päällyskalvo ei tuhouduttuaan enää siis täytä optista funktiotaan.
15 Mitä tulee viite-esimerkkiin 2, A!203-pääilyskalvo syöpyy neljännentoista päivän jälkeen, minkä jakson jälkeen substraatin heijastuma muuttuu myös: RL:n arvo muuttuu 15-%:ksi, λ dom(R) 544 nm:ksi ja puhtaus p(r) 19-%:ksi. Substraatin heijastuma muuttuu sen vuoksi "kirkkaammaksi" värillä, joka on selvästi voimakkaampi, koska puhtaus on miltei kaksinkertaistunut.
20
Viitaten viite-esimerkkiin 3, fluoria sisältävä Si02-päällyskalvo syöpyy seitsemän-nestä päivästä lähtien, tulosten ollessa samankaltaiset kuin mitä saatiin viite-esi-merkissä 1.
• » · * · • 9 * * * Γ\: 25 Toinen testi tunnetaan toisinaan nimellä "Taber"-testi ja se mahdollistaa kerroksen * · · y\: mekaanisen lujuuden määrittämisen. Tämä testi suoritetaan käyttäen elastomee- * · · · riin suljetusta hiovasta jauheesta valmistettuja jauhimia. Konetta valmistaa yhtiö : Taber instrument Corporation. Se on mailia 174 "Standard Abrasion Tester" ja jauhimet ovat tyyppiä CS10F, joihin on ladattu 500 grammaa. Kukin substraatti 30 saatetaan paikallisesti 2000 kierrokseen ja hankaukselle alttiin vyöhykkeen valon-läpäisy TL mitataan sitten 550 nm:ssä ennen (TLo) ja jälkeen (TL2ooo) hionnan, samoin kuin mitataan sen saturaatio C* heijastuksessa ennen (C*0) ja jälkeen I./ (C*2ooo) hionnan. Saturaatio C* on, kolorimetrisysteemissä (L, a*, b*), arvo, joka on *·;·* sama kuin (a*2 +b‘2)1/2 ja se mahdollistaa värin voimakkuuden määrittämisen hei- : V: 35 jastuksessa tässä systeemissä.
♦ · • · · • ♦· • m
Kaikki keksinnön mukaiset esimerkit 4-10 osoittavat, että TL:n vaihtelu (Tl2ooo-Tlo) on enintään 3 % ja saturaation vaihtelu (C*2ooo-C*o) on enintään 8. Nämä vaihtelut 117384 13 osoittavat vain lievää huononemista ja osoittavat sen vuoksi tämän keksinnön mukaisten päällyskalvojen kestävyyden naarmuuntumista, mikä on vähintään yhtä hyvä kuin viite-esimerkin 1 mukaisilla, puhtaasti Si02:ta sisältävillä päällyskalvoilla.
5 Voidaan lisäksi panna merkille, että yritys kerrostaa pyrolyysin avulla SiAI-oksidi-sekakalvo, josta puuttuu jokin fluorityyppinen lisäaine (käyttämällä esimerkiksi alu-miiniprekursoria, joiden vedyt eivät ole substituoituja), johtaa hyvin epähomogeenisen kalvon muodostukseen, joka sisältää kaksi "kerrosta”, toinen Si02:sta ja toinen Al203:sta, jolla kalvolla on hyvin hajanainen rajapinta, kalvon, jolla ei ole tä-10 män keksinnön mukaisen kalvon ominaisuuksia, joka sisältää fluoria, etenkin mitä tulee kemialliseen ja mekaaniseen kestävyyteen.
Lopuksi voidaan havaita, että keksinnön mukaiset "seka"kalvot kestävät mekaanista hankausta ja kemiallista syöpymistä erittäin hyvin, toisin kuin ΑΙ203- kalvot tai 15 Si02-kalvot, vaikka fluoria lisättä isiinkin.
Keksinnön mukaisten kalvojen eri alkuaineilla on yhdistelmänä epäilemättä sen vuoksi edullinen synergistinen vaikutus. On epäilemättä mahdollista vaihdella kunkin näistä alkuaineista suhteellisia osuuksia tietyn ominaisuuden optimoimiseksi. 20 Lisäalumiini mahdollistaa siten taitekertoimen suurenemisen. Mitä tulee kemialliseen kestävyyteen, on jo mainittu, että x:n arvon valinta suuremmaksi kuin 0,15 oli edullista. On myös mahdollista ottaa huomioon kerrostamisnopeus, ja on erityi- ..... sesti havaittu, että esimerkkien 8 ja 9 mukaiset päällyskalvot kerrostuvat nopeam- * * * .* ; min kuin muut.
• « · • * « ... . 25 • · *
Yhteiskerrostaminen kaasufaasisen pyrolyysin avulla näyttää edellyttävän, jos :.: : nämä ominaisuudet on taattava, fluorityyppisen lisäaineen läsnäoloa.
·«« * « · • · * *
Keksinnön mukaisella sekaoksidilla on sivuetuna saostua pyrolyysin avulla paljon : 30 nopeammin kuin puhtaalla piidioksidilla, suunnilleen 10 kertaa nopeammin vastaa- ·**·· vissa kerrostamisolosuhteissa.
• « * * • t * · ♦ *;./ Sen kerrostamislämpötila mahdollistaa kolmikalvoisten kerrosten kerrostamisen suoraan kellulasinauhalinjassa ongelmitta, esimerkiksi SiOC-aluskalvon kanssa 35 kelluhauteessa kaasufaasisen pyrolyysin avulla, funktionaalinen kalvo kelluhau- * * teen ulostulossa, ja keksinnön mukainen päällyskalvo lämmitysjäähdytysuunissa, tai juuri funktionaalisen kalvon jälkeen, sen suojaamiseksi välitöntä hapettumista vastaan, kun se kerrostetaan hapen substoikiometrisessä tilassa.
117384 14 Tämän keksinnön mukainen kalvo on sen vuoksi erityisen sopiva toimimaan kerrosten "viimeisenä kalvona” käsittäen funktionaalisen kalvon, joka on tyypiltään suodattava tai matalaemissiivinen ikkunalaseissa, koska se kykenee täyttämään 5 optisen funktion, erityisesti ulkonäön optimointifunktion heijastuksessa ja tämän hyvin pitkän ajanjakson kuluessa, sen kestävyyden johdosta. Näin ollen on mahdollista taata ikkunalasien ulkonäön muuttumattomuus ajan myötä.
Keksinnön mukaisen kalvon käyttö kerroksen viimeisenä kalvona mahdollistaa li-10 säksi, kun kerroskokonaisuus on kerrostettu, kerroksen sisältävän lasisubstraatin taivuttamisen tai jäykistämisen ilman havaittavaa huononemista kerroksen ominaisuuksissa, kalvon muodostaessa esteen hapettumista vastaan: etenkin valonlä-päisy Tl pysyy vakiona.
15 On kuitenkin itsestään selvää, että sitä voidaan käyttää edullisesti myös muussa konfiguraatiossa ohutkalvokerroksissa, etenkin kerroksen ensimmäisenä kalvona "sidos"funktioon ja/tai esteenä alkaleja vastaan.
Tapahtuipa substraatin taipumista/jäykistymistä tai ei, keksinnön mukainen kalvo 20 mahdollistaa selvästi "päällyskalvona” substraattien pitkäaikaisen varastoinnin tarvitsematta monimutkaista pakkaamista. Se mahdollistaa myös substraattien asen-tamisen ikkunalasiksi ohutkalvokerroksen ollessa alttiina ulkoilmalle, tarvitsematta • 1 pelätä syöpymistä, joka johtuu puhdistamisesta tai ilmakehän saasteista.
• · · • 1 • 1 • · · I · i Ψ 9 m 9 9 • · · • e · ·»« · • i • « « « « « ··· · 99 9 9 9 9 9 m m 9 9 9 9 9 9 9 9 99 9 9 99 9 9 » 9 999 9 9 · 9 9 9 9 9 9 9 9 999 • 1 ♦ · *· · # 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 *99 9 99 ·

Claims (22)

117384 15
1. Tuote, joka sisältää lasisubstraattityyppistä läpinäkyvää substraattia (1) ja joka on päällystetty vähintään yhdellä ohutkalvolla (4), joka perustuu piitä sisältä-5 vään oksidiin, tunnettu siitä, että mainittu ohutkalvo sisältää myös hapen lisäksi alumiinia ja vähintään yhtä kolmatta alkuainetta M, joka on halogeeni ja joka helpottaa piitä ja alumiinia sisältävän homogeenisen sekaoksidirakenteen muodostumista.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen tuote, tunnettu siitä, että mainitun, oksidiin perustuvan kalvon mainittu kolmas alkuaine M on fluori F.
3. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että mainittu oksidiin perustuva ohutkalvo sisältää neljättä alkuainetta M', joka on hiili. 15
4. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että mainitun oksidiin perustuvan ohutkalvon kemiallinen kaava on SiAIxOyMzM'u, jossa kaavassa M tarkoittaa edullisesti fluoria ja M' hiiltä seuraavissa suhteissa: 20 x (AI): 0,06-0,74; edullisesti 0,14-0,33 y (O): 2,1-3,1; edullisesti 2,3-2,5 z (M): 0,02-0,15; edullisesti 0,04-0,08 ;y. u (M'): 0-0,15; edullisesti 0,03-0,04 • i * · * e » • · · |*Y 25
5. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että i*Y mainitun oksidiin perustuvan ohutkalvon geometrinen paksuus on 30-180 nano- • * · metriä, erityisesti 60-160 nanometriä, edullisesti 80-140 nanometriä. :T:
6. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että 30 mainitun oksidipohjaisen ohutkalvon taitekerroin on välillä 1,42 ja 1,60, edullisesti :[[[: välillä 1,44 ja 1,46. * • g • · « I./
7. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että mainittu oksidipohjainen ohutkalvo muodostaa osan ohutkalvokerroksesta, joka 35 sisältää vähintään yhden funktionaalisen kalvon (3), jolla on lämpöominaisuuksia, erityisesti suodattavia, valikoivia, antisolaarisia tai matalaemissiivisiä ominaisuuksia, ja/tai jolla on sähköisiä ominaisuuksia ja joka on seostettua metalIioksidityyp-piä tai metallista nitridi/oksinitridityyppiä. 117384 16
8. Patenttivaatimuksen 7 mukainen tuote, tunnettu siitä, että funktionaalinen kalvo (3) on tehty tinaoksidista, joka on seostettu fluorilla Sn02'.F, indiumoksidista, joka on seostettu tinalla ITO, sinkkioksidista, joka on seostettu indiumilla ZnO:ln, fluorilla ZnO:F, alumiinilla ZnO:AI tai tinalla ZnO:Sn, tai vielä titaaninitridistä TiN. 5
9. Jonkin patenttivaatimuksen 1-6 mukainen tuote, tunnettu siitä, että mainittu oksidipohjainen ohutkalvo muodostaa osan heijastamattomia ohutkalvoja sisältävästä kerroksesta, joka käsittää vuorotellen oksidikalvoja, joilla on korkea taitekerroin ja matala taitekerroin. 10
10. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen tuote, tunnettu siitä, että mainittu oksidipohjainen ohutkalvo (4) on viimeinen kalvo kerroksessa (2, 3, 4) ja toimii kerroksen optisena ja/tai suojaavana osana korkeassa lämpötilassa tapahtuvaa hapettumista tai kemiallista syöpymistä vastaan. 15
11. Jonkin patenttivaatimuksen 1-9 mukainen tuote, tunnettu siitä, että mainittu oksidipohjainen ohutkalvo (4) on ensimmäinen kalvo kerroksessa ja toimii erityisesti sulkuna alkali-ionien diffuusiolle tai toimii sidostavana aluskalvona hydrofo-bis/oleofobistyyppiselle kalvolle. 20
12. Menetelmä jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukaisen tuotteen valmista-miseksi, tunnettu siitä, että oksidipohjaisen ohutkalvon (4) kerrostaminen suorite-taan kaasufaasisella pyrolyysitekniikalla lähtien vähintään kahdesta pre kursorista, joissa on yksi piiprekursori ja yksi alumiiniprekursori, säätelemällä niiden suhteelli- ♦ · · *;* V 25 siä osuuksia ja lopullista kerrostamislämpötilaa mainitun kalvon kemiallisen koos- !*V tumuksen ja/tai taitekertoimen säätämiseksi. • · « i · · ··· « ♦#5#·
*·* * 13. Patenttivaatimuksen 12 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että piiprekur sori on orgaaninen piiprekursori, valittuna erityisesti ryhmästä tetraetyyliortosili-30 kaatti TEOS, heksametyylidisilaani HMDS, heksametyylidisiloksaani HMDSO, ok-tametyylisyklotetrasiloksaani OMCTS, tetrametyylisyklotetrasiloksaani TOMCATS, Sm · tetrametyylisilaani TMS tai heksametyylidisilatsaani HMDSN. « « • ·
14. Patenttivaatimuksen 12 tai 13 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että alu-• VJ 35 miiniprekursori on organometallinen prekursori, joka sisältää erityisesti alkoholaat-:\j tifunktion tai β-diketonifunktion, joka on tyyppiä alumiiniasetyyli-asetonaatti tai 2- heptadieeni-4,6. 117384 17
15. Jonkin patenttivaatimuksen 12-14 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kolmannen alkuaineen M prekursori on myös prekursori alumiinille ja/tai prekursori piille, erityisesti siten, että kaikki tai osa jommankumman prekursorin vetyatomeista on substituoitu halogeeniatomeilla, kun M on halogeeni, jolloin prekursori on 5 erityisesti alumiiniprekursorin yhteydessä heksafluoratun asetyyliasetonaatin tai trifluoriasetonaatin muodossa.
16. Jonkin patenttivaatimuksen 12-14 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kolmannen alkuaineen M prekursori on riippumaton pii-ja alumiiniprekursoreista ja 10 on erityisesti fluorattu CF4-tyyppinen kaasu silloin, kun M on fluori.
17. Jonkin patenttivaatimuksen 12-16 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että prekursorit käsittävät myös kaasumaisen happiprekursorin tyyppiä O2, H2O, CO2, NO2 tai O3. 15
18. Jonkin patenttivaatimuksen 12-17 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kerrostamislämpötila on valittu väliltä 400 ja 650 °C, edullisesti väliltä 450 ja 550 °C.
19. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että oksidipohjaisen ohutkalvon (4) kerrostaminen suoritetaan jatkuvatoimisesti kaasufaasissa kellulasinauhan pintaan kellusäiliön jälkeen ja edullisesti lämmitys- .y. jäähdytysuunissa. * * • · * · · * · · j'Y 25
20. Patenttivaatimuksen 19 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että oksidipoh- I V jäisen ohutkalvon (4) kerrostamista kellulasinauhan pintaan edeltää yhden tai • « * Y/ useamman muun ohutkalvon (2, 3) kerrostaminen, myös pyrolyysitekniikan avulla, v*: kiinteää, nestemäistä tai kaasumaista reittiä.
21. Jonkin patenttivaatimuksen 1-11 mukaisen tuotteen käyttö tai jonkin patentti- vaatimuksen 12-20 mukaisen menetelmän käyttö ohutkalvoilla varustettujen ikku-X ; noiden valmistukseen, jolloin kalvot toimivat solaarisena säätimenä, joka on tyypil- !..* tään suodattava tai matalaemissiivinen tai heijastamaton. :V: 35
22. Patenttivaatimuksen 21 mukainen käyttö ikkunalasien valmistukseen, jotka :\j on varustettu ohutkalvoilla, jotka lasit voidaan jäykistää/taivuttaa ja/tai joiden kemiallinen kestävyys on suuri. 117384 18
FI955581A 1994-11-21 1995-11-20 Vähintään yhdellä ohutkalvolla varustettu ikkunalasi ja menetelmä sen valmistamiseksi FI117384B (fi)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9413911A FR2727107B1 (fr) 1994-11-21 1994-11-21 Vitrage muni d'au moins une couche mince et son procede d'obtention
FR9413911 1994-11-21

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI955581A0 FI955581A0 (fi) 1995-11-20
FI955581A FI955581A (fi) 1996-05-22
FI117384B true FI117384B (fi) 2006-09-29

Family

ID=9468991

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI955581A FI117384B (fi) 1994-11-21 1995-11-20 Vähintään yhdellä ohutkalvolla varustettu ikkunalasi ja menetelmä sen valmistamiseksi

Country Status (13)

Country Link
US (1) US5776603A (fi)
EP (1) EP0712815B1 (fi)
JP (1) JP3961583B2 (fi)
AT (1) ATE167658T1 (fi)
CA (1) CA2163154C (fi)
CZ (1) CZ290026B6 (fi)
DE (1) DE69503107T2 (fi)
DK (1) DK0712815T3 (fi)
ES (1) ES2120699T3 (fi)
FI (1) FI117384B (fi)
FR (1) FR2727107B1 (fi)
NO (1) NO319459B1 (fi)
RO (1) RO112719B1 (fi)

Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2730990B1 (fr) * 1995-02-23 1997-04-04 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent a revetement anti-reflets
FR2734811B1 (fr) * 1995-06-01 1997-07-04 Saint Gobain Vitrage Substrats transparents revetus d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire
FR2736632B1 (fr) 1995-07-12 1997-10-24 Saint Gobain Vitrage Vitrage muni d'une couche conductrice et/ou bas-emissive
FR2745284B1 (fr) * 1996-02-22 1998-04-30 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent muni d'un revetement de couches minces
ATE238167T1 (de) * 1996-10-17 2003-05-15 Saint Gobain Verglazung mit einer activen thermische, elektrische und/oder elektrochemische einheit
FR2759362B1 (fr) * 1997-02-10 1999-03-12 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent muni d'au moins une couche mince a base de nitrure ou d'oxynitrure de silicium et son procede d'obtention
FR2766174B1 (fr) 1997-07-21 1999-08-20 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent revetu d'au moins une couche mince
GB2335201A (en) * 1998-03-10 1999-09-15 Pilkington Plc Glass coated with two doped oxide layers
DE19904378B4 (de) * 1999-02-03 2006-10-05 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung von Nitrid-Einkristallen
US6350397B1 (en) 1999-03-10 2002-02-26 Aspen Research Corporation Optical member with layer having a coating geometry and composition that enhance cleaning properties
DE10080616D2 (de) * 1999-03-13 2001-08-30 Mucha Andreas Beschichtete Quarzglasbauteile und Verfahren zur Beschichtung
JP2001002449A (ja) * 1999-04-22 2001-01-09 Nippon Sheet Glass Co Ltd 低放射ガラスと該低放射ガラスを使用したガラス物品
US6447891B1 (en) 1999-05-03 2002-09-10 Guardian Industries Corp. Low-E coating system including protective DLC
US6491987B2 (en) 1999-05-03 2002-12-10 Guardian Indusries Corp. Process for depositing DLC inclusive coating with surface roughness on substrate
US6284377B1 (en) 1999-05-03 2001-09-04 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC on substrate
US6335086B1 (en) 1999-05-03 2002-01-01 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC on substrate
US6277480B1 (en) 1999-05-03 2001-08-21 Guardian Industries Corporation Coated article including a DLC inclusive layer(s) and a layer(s) deposited using siloxane gas, and corresponding method
US6461731B1 (en) 1999-05-03 2002-10-08 Guardian Industries Corp. Solar management coating system including protective DLC
US6475573B1 (en) 1999-05-03 2002-11-05 Guardian Industries Corp. Method of depositing DLC inclusive coating on substrate
US6312808B1 (en) 1999-05-03 2001-11-06 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating with DLC & FAS on substrate
US6280834B1 (en) 1999-05-03 2001-08-28 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC and/or FAS on substrate
US6368664B1 (en) 1999-05-03 2002-04-09 Guardian Industries Corp. Method of ion beam milling substrate prior to depositing diamond like carbon layer thereon
US6338901B1 (en) 1999-05-03 2002-01-15 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC on substrate
US6602806B1 (en) * 1999-08-17 2003-08-05 Applied Materials, Inc. Thermal CVD process for depositing a low dielectric constant carbon-doped silicon oxide film
GB2355273A (en) * 1999-10-12 2001-04-18 Pilkington Plc Coating glass
US20020136905A1 (en) * 1999-11-24 2002-09-26 Medwick Paul A. Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles
US6869644B2 (en) * 2000-10-24 2005-03-22 Ppg Industries Ohio, Inc. Method of making coated articles and coated articles made thereby
US7311961B2 (en) * 2000-10-24 2007-12-25 Ppg Industries Ohio, Inc. Method of making coated articles and coated articles made thereby
US20030228476A1 (en) * 2001-10-22 2003-12-11 Harry Buhay Methods of changing the visible light transmittance of coated articles and coated articles made thereby
US20020172775A1 (en) * 2000-10-24 2002-11-21 Harry Buhay Method of making coated articles and coated articles made thereby
GB0102987D0 (en) * 2001-02-07 2001-03-21 Meritor Light Vehicle Sys Ltd An assembly
US6743488B2 (en) 2001-05-09 2004-06-01 Cpfilms Inc. Transparent conductive stratiform coating of indium tin oxide
US20030049464A1 (en) 2001-09-04 2003-03-13 Afg Industries, Inc. Double silver low-emissivity and solar control coatings
US7232615B2 (en) * 2001-10-22 2007-06-19 Ppg Industries Ohio, Inc. Coating stack comprising a layer of barrier coating
FR2836912B1 (fr) * 2002-03-06 2004-11-26 Saint Gobain Susbstrat transparent a revetement antireflets avec proprietes de resistance a l'abrasion
US7067195B2 (en) 2002-04-29 2006-06-27 Cardinal Cg Company Coatings having low emissivity and low solar reflectance
US7122252B2 (en) 2002-05-16 2006-10-17 Cardinal Cg Company High shading performance coatings
JP4298654B2 (ja) 2002-07-31 2009-07-22 日本板硝子株式会社 焼入れ可能な高遮光性コーティング
WO2005044554A2 (en) * 2003-10-28 2005-05-19 Tru Vue, Inc. Anti-reflective coating for a substrate
US7160578B2 (en) 2004-03-10 2007-01-09 Pilkington North America Method for depositing aluminum oxide coatings on flat glass
CN107625957B (zh) * 2009-10-22 2021-06-15 普罗潘克股份有限公司 包含胰蛋白酶原和糜蛋白酶原的用于治疗癌的药物组合物
JP5882908B2 (ja) 2009-12-29 2016-03-09 ネステク ソシエテ アノニム オーバーキャップおよび計量さじを有する小分け用装置
US8304045B2 (en) 2010-02-26 2012-11-06 Guardian Industries Corp. Articles including anticondensation coatings and/or methods of making the same
US9857072B2 (en) * 2014-03-12 2018-01-02 American Heating Technologies Inc. Apparatuses, methods, and systems for illuminating panels used as cabinet doors and drawer panels
US20170051164A1 (en) 2014-05-09 2017-02-23 3M Innovative Properties Company Article with hardcoat and method of making the same
DE102014108057A1 (de) * 2014-06-06 2015-12-17 Schott Ag Kratzfestes, chemisch vorgespanntes Glassubstrat und dessen Verwendung
EP3347184B1 (en) 2015-09-07 2022-08-03 SABIC Global Technologies B.V. Molding of plastic glazing of tailgates
US10597097B2 (en) 2015-09-07 2020-03-24 Sabic Global Technologies B.V. Aerodynamic features of plastic glazing of tailgates
WO2017042703A1 (en) 2015-09-07 2017-03-16 Sabic Global Technologies B.V. Lighting systems of tailgates with plastic glazing
EP3347220B1 (en) 2015-09-07 2021-04-14 SABIC Global Technologies B.V. Surfaces of plastic glazing of tailgates
EP3380361B1 (en) 2015-11-23 2021-12-22 SABIC Global Technologies B.V. Lighting systems for windows having plastic glazing
DE102019131378B4 (de) * 2019-11-20 2021-06-10 Schott Ag Brandschutzglas mit temperaturstabiler Beschichtung

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3300589A1 (de) * 1983-01-11 1984-07-12 Schott Glaswerke, 6500 Mainz Verfahren zur herstellung von indiumoxid-zinnoxid-schichten
JPH0642003B2 (ja) * 1983-09-20 1994-06-01 オリンパス光学工業株式会社 光学部品の反射防止膜とその形成方法
DE3543178A1 (de) * 1985-12-06 1987-06-11 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben
US5201926A (en) * 1987-08-08 1993-04-13 Leybold Aktiengesellschaft Method for the production of coated glass with a high transmissivity in the visible spectral range and with a high reflectivity for thermal radiation
FR2634753B1 (fr) 1988-07-27 1992-08-21 Saint Gobain Vitrage Vitrage a couche electro-conductrice obtenue par pyrolyse de composes en poudre, utilisable en tant que pare-brise pour automobile
JPH02225346A (ja) * 1989-02-27 1990-09-07 Central Glass Co Ltd 熱線反射ガラス
CA2055151A1 (en) * 1990-12-24 1992-06-25 Mark F. Best Dual glass sheet non-planar window having an anti-reflective coating and method for making the window
US5415794A (en) * 1990-12-28 1995-05-16 Institut Francais Du Petrole New sulfured compounds, their preparation and their use as additives for lubricating oils
FR2672884B1 (fr) 1991-02-20 1993-09-10 Saint Gobain Vitrage Int Couche protectrice sur un substrat conducteur.
JP2874391B2 (ja) * 1991-06-05 1999-03-24 日産自動車株式会社 撥水処理ガラスの製造方法
FR2677639B1 (fr) 1991-06-14 1994-02-25 Saint Gobain Vitrage Internal Technique de formation par pyrolyse en voie gazeuse d'un revetement essentiellement a base d'oxygene et de silicium.
US5168003A (en) * 1991-06-24 1992-12-01 Ford Motor Company Step gradient anti-iridescent coatings
US5271960A (en) * 1991-06-24 1993-12-21 Ford Motor Company Step gradient anti-iridescent coatings
TW219953B (fi) * 1991-09-30 1994-02-01 Ppg Industries Inc
SG45418A1 (en) * 1991-10-30 1998-01-16 Asahi Glass Co Ltd Method of making a heat treated coated glass
FR2684095B1 (fr) 1991-11-26 1994-10-21 Saint Gobain Vitrage Int Produit a substrat en verre muni d'une couche a basse emissivite.
FR2704545B1 (fr) * 1993-04-29 1995-06-09 Saint Gobain Vitrage Int Vitrage muni d'une couche fonctionnelle conductrice et/ou basse-émissive.
FR2704543B1 (fr) 1993-04-30 1995-07-13 Kodak Pathe Procede de traitement d'effluents photographiques par les ultraviolets et le peroxyde d'hydrogene.
FR2708924B1 (fr) 1993-08-12 1995-10-20 Saint Gobain Vitrage Int Procédé de dépôt d'une couche de nitrure métallique sur un substrat transparent.
FR2711983B1 (fr) * 1993-11-02 1996-01-19 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent muni d'une couche de nitrure métallique.

Also Published As

Publication number Publication date
NO319459B1 (no) 2005-08-15
NO954646L (no) 1996-05-22
DK0712815T3 (da) 1999-04-06
RO112719B1 (ro) 1997-12-30
FR2727107B1 (fr) 1996-12-27
CA2163154C (fr) 2007-02-13
ATE167658T1 (de) 1998-07-15
CZ307195A3 (en) 1996-08-14
US5776603A (en) 1998-07-07
JP3961583B2 (ja) 2007-08-22
DE69503107D1 (de) 1998-07-30
FI955581A (fi) 1996-05-22
EP0712815A1 (fr) 1996-05-22
CA2163154A1 (fr) 1996-05-22
FR2727107A1 (fr) 1996-05-24
EP0712815B1 (fr) 1998-06-24
NO954646D0 (no) 1995-11-17
DE69503107T2 (de) 1999-03-11
JPH08207204A (ja) 1996-08-13
CZ290026B6 (cs) 2002-05-15
FI955581A0 (fi) 1995-11-20
ES2120699T3 (es) 1998-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI117384B (fi) Vähintään yhdellä ohutkalvolla varustettu ikkunalasi ja menetelmä sen valmistamiseksi
KR100933597B1 (ko) 태양광 제어용 반사성 코팅 유리 제품
AU779141B2 (en) Solar control coated glass
KR100498219B1 (ko) 질화규소또는옥시질화물을원료로한적어도하나의얇은층을구비한투명기판과그제조방법및상기기판을이용한창유리조립체의제조방법
US7431992B2 (en) Coated substrates that include an undercoating
USRE40315E1 (en) Coated substrate with high reflectance
US7195821B2 (en) Coated substrate with high reflectance
US5514454A (en) Transparent substrate provided with a metal nitride layer
EP0662459A1 (en) Coatings on glass
WO1999048827A1 (en) Solar control coated substrate with high reflectance
CZ287185B6 (en) Glazing panel provided with pyrolytic coating and process for preparing thereof
US7776460B2 (en) Coated substrate with high reflectance
EP0747735B1 (en) Multiple layer mirror with neutral colour tone
CZ108895A3 (en) Glazing panel and process for preparing thereof

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 117384

Country of ref document: FI

MM Patent lapsed