ES2195786B1 - Sistema de alineamiento de obleas y de lectura de microcodigos de barras y de marcas en chips con laser. - Google Patents

Sistema de alineamiento de obleas y de lectura de microcodigos de barras y de marcas en chips con laser.

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Abstract

Sistema de alineamiento de obleas y de lectura de microcódigos de barras y de marcas en chips con láser. La invención es un sistema para leer marcas del tamaño de micras en obleas de semiconductor, adaptable a estaciones de prueba para medirlas. Estas pueden ser códigos de barras conteniendo información o marcas especiales para el alineamiento de los ejes de los chips en la oblea con respecto a los ejes de movimiento X e Y de la estación. Consiste en un sistema lector láser de los utilizados en reproductores de CD y permite resolución de micrómetros. El sistema de lectura está fijo y es la oblea, gracias a los motores de la estación de pruebas, quién se mueve. Las ventajas son su simplicidad, puede adaptarse a cualquier estación de pruebas existente y resulta muy barato. Además permite la lectura de microcódigos de barras, conteniendo información relevante de cada chip.
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