ES2147015T3 - Sistema de lentes optico-electronicas por una seccion de apertura en forma de hendidura. - Google Patents

Sistema de lentes optico-electronicas por una seccion de apertura en forma de hendidura.

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ES2147015T3
ES2147015T3 ES97935493T ES97935493T ES2147015T3 ES 2147015 T3 ES2147015 T3 ES 2147015T3 ES 97935493 T ES97935493 T ES 97935493T ES 97935493 T ES97935493 T ES 97935493T ES 2147015 T3 ES2147015 T3 ES 2147015T3
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
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    • H01J37/145—Combinations of electrostatic and magnetic lenses

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract

LA INVENCION SE REFIERE A UN SISTEMA DE LENTES, EN PARTICULAR PARA ENFOQUE DE ELECTRONES, CON UNA LENTE CILINDRICA QUE DISPONE DE PIEZAS POLARES O ELECTRODOS, ENTRE LAS CALES ESTA LOCALIZADA UNA ABERTURA. ESTA ABERTURA TIENE UNA SECCION TRANSVERSAL CON PERFIL DE RANURA PERPENDICULARMENTE AL EJE OPTICO DE LA LENTE. LA LENTE (4) CILINDRICA ESTA COMBINADA CON UNA LENTE (1) MAGNETICA CON LA CUAL PUEDE SER PRODUCIDO UN CAMPO DE CUATRO POLOS. LAS LENTES ESTAN DISPUESTAS CON PEQUEÑA DISTANCIA O SIN DISTANCIA ENTRE ELLAS Y SUS EJES OPTICOS DISCURREN PARALELAMENTE UNO CON RESPECTO A OTRO. LAS LENTES (1) DE CUATRO POLOS TIENEN UNA ABERTURA (10) CON PERFIL DE RANURA, QUE ESTA ORIENTADA PARALELAMENTE A LA ABERTURA (9-11) DE LA LENTE (4) CILINDRICA. EL PLANO DE ENFOQUE DE LA LENTE (1) DE CUATRO POLOS, QUE COMPRENDE EL EJE (19) OPTICO, ESTA ORIENTADA PARALELAMENTE AL EJE LONGITUDINAL DE LAS ABERTURAS (9-11) Y SU PLANO DE DESENFOQUE ES PERPENDICULAR A LOS EJES LONGITUDINALES. LA POTENCIA REFRACTIVA DE LALENTE (4) CILINDRICA PUEDE SER AJUSTADA EN UN VALOR DOBLE EN COMPARACION A LA LENTE (1) DE CUATRO POLOS.
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