EP4087958A1 - Kristallunterstützung und kristallziehanlage mit einer solchen kristallunterstützung - Google Patents

Kristallunterstützung und kristallziehanlage mit einer solchen kristallunterstützung

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EP4087958A1
EP4087958A1 EP21707157.0A EP21707157A EP4087958A1 EP 4087958 A1 EP4087958 A1 EP 4087958A1 EP 21707157 A EP21707157 A EP 21707157A EP 4087958 A1 EP4087958 A1 EP 4087958A1
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EP
European Patent Office
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crystal
pawls
support according
bracket
crystal support
Prior art date
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Pending
Application number
EP21707157.0A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Hans-Jürgen AHLBORN
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
PVA TePla AG
Original Assignee
PVA TePla AG
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Filing date
Publication date
Application filed by PVA TePla AG filed Critical PVA TePla AG
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Pending legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/32—Seed holders, e.g. chucks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure

Definitions

  • the invention relates to a crystal support for a crystal pulling system, which has two pawls that can be folded around a pivot axis and which have Hal tebacken that can be placed against a thickened neck of the crystal to be pulled, and has means for connecting the pawls to a suspension cable of the crystal pulling system, the pawls an abutment position in which they rest against the thickening of the neck, and a release position can take in which they are removed from the thickening of the neck.
  • Such crystal supports are used in crystal pulling systems in order to be able to pull crystals with a large diameter from the melt.
  • a neck is first created from the person being vaccinated, which is kept as thin as possible in order to create the most uniform crystal structure possible.
  • the actual crystal drawn which - in order to obtain wafers with the largest possible diameter - should be as thick as possible.
  • the crystal should be as long as possible, which leads to a high crystal weight.
  • the pulled crystal only hangs on the thin neck when it is pulled, so there is a risk that it will tear.
  • the two jaws are therefore symmetrical about this parting plane. Since the pawls press diagonally from below against the thickening, ra Diale forces are exerted in addition to the axial forces, which make it necessary to make the carrier correspondingly stable so that the pawls are not pushed away to the side.
  • Another disadvantage is that the weight of the growing crystal puts strain on the jaws towards their release positions. This harbors the risk that the jaws will recede so that the crystal can move sideways in the parting plane.
  • the invention is thus based on the task of creating a compact and stable crystal support that is as light as possible.
  • the invention proposes that the parting plane extends at an angle to at least one of the pivot axes and that in the contact position the contact points of each jaw are located on both sides of a crystal plane that passes through the axis of the crystal and parallel to one of the pivot axes runs.
  • the pawls can be aligned steeply, since the forces acting on the pawls generate little or no torque about the pivot axis. Rather, the main supporting forces act parallel to the pivot axes. Due to the steep arrangement of the pawls, the crystal support requires little space and can therefore be built compactly. Furthermore, the pawls are more stressed on pressure than on bending, which allows a lightweight construction. The steep support of the crystal is low in vibration, which has positive repercussions on the control of the drawing process.
  • the pawls are preferably operated with support ropes. Therefore, each pawl is connected to suspension cable holders.
  • the invention provides that the pawls are pivotably mounted on a carrier which has a central free space and on the upper side of which there are two control cable holders. When the carrier is lowered, the pawls are folded against each other by the suspension ropes that remain in position.
  • the carrier also allows the control cable holders to be offset from the pivot axes. This allows the control cables and the suspension cables to be arranged in one plane, which allows a compact arrangement of the cable pulling drums.
  • a pawl has a bracket-like shape, with the mounting in the pivot axis taking place at the ends of the bracket.
  • a base At the side of the zenith of the bracket there is a base that protrudes vertically from the bracket and on the side facing the zenith of the bracket there is an inside that runs obliquely or perpendicular to the bracket and forms the holding jaw.
  • the retaining bracket has a semicircular recess into which the thickening can be inserted.
  • the suspension cable brackets are mounted on the rear of the bracket.
  • Two pawls are arranged together in the carrier in such a way that their insides with the base lie opposite one another, the pawls, when they are folded against one another, the projections slide past one another so that the holding jaws lie opposite one another and one Form closed circular recess into which the thickened neck can insert.
  • FIG. 1 shows a perspective illustration of a first embodiment of the invention
  • Fig. 2 is a perspective view of a second embodiment of the invention.
  • Fig. 3 is a plan view of the suspension of the cables on two drums.
  • Each pawl 3, 4 consists of an arcuate bracket 7, the ends of which end facing the carrier 2 in each Weil one of the pivot bearings 8, which consists of an inwardly directed bearing stub 17 onto which the ends are slipped.
  • the zenith of the bracket 7 points upwards, i.e. H. towards the head of the crystal puller.
  • the two Bü gel 7 are opposite one another, the sides of the brackets 7 facing one another each having a base 9.
  • the Kris talebene is spanned by the axis of the crystal and by the straight line 5 on which the axes of the pivot bearings lie.
  • the crystal plane runs parallel to them.
  • the bases 9 are offset against one another and with respect to the center of the bracket 7, so that when the pawls 3, 4 are set up, the insides of the bases facing the center of the carrier lie opposite one another and each form a holding jaw 10.
  • the holding jaws 10 have a spacing that is selected so large that it is slightly greater than the thickness of the neck 12 of a crystal below a thickened neck 13, so that the Base 9 slide over on both sides of the neck 12 when both pawls are brought into their erected system position, as shown for the pawl shown on the left in FIG.
  • Each holding jaw 10 has a semicircular recess 14 in its inside, which are opposite each other when the pawls 3, 4 are set up, so that a konusför-shaped receptacle is formed which largely surrounds the thickened neck 13 from below.
  • the contact points of each holding jaw are on both sides of the crystal plane. The crystal is thus supported not only in a direction perpendicular to the crystal plane, as described in the prior art, but also in the crystal plane.
  • pivotable support cable brackets 16 are mounted, which are connected to a support cable drum in the head of the crystal pulling device.
  • the suspension cables and the control cables are in one plane.
  • a pair of cable drums can be used, as shown in FIG. Both cable drums 19, 20 are approximately han shaped and run parallel to each other.
  • Each dumbbell consists of two heads that are connected to one another by a rod with a smaller cross-section. Each head of a dumbbell is used to hold a rope, the control ropes to control the crystal support, so to fold and unfold the pawls, on the two heads of a cable drum 19, and the support ropes that attack the pawls on the Heads of the other cable drum 20 are wound up.
  • the ropes each run into the heads on the inside of the rope drum 19, 20, that is the side facing the other rope drum 20, 19.
  • Drives 21, 22 for the cable drums 19, 20 are parallel to the cable drums 19, 20 and are each transmitted to the associated cable drum 19, 20 via a double deflection 23, 24.

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Abstract

Eine Kristallunterstützung weist zwei Klinken (3, 4) mit Haltebacken (10) auf. Im Gegensatz zur bisher bekannten Anlage verlaufen die Haltebacken (10) nicht parallel zu den Schwenkachsen der Klinken, sondern vorzugsweise senkrecht dazu. Dies erlaubt es, die Klinken steil anzuordnen, da nicht mehr die Gefahr besteht, dass die Klinken (3, 4) von der Stützkraft seitlich weggedrückt werden. Des Weiteren können Tragseile unmittelbar an den Klinken (3, 4) befestigt werden.

Description

Beschreibung
Kristallunterstützung und Kristallziehanlage mit einer solchen
Kristallunterstützung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Kristallunterstützung für eine Kristallziehanlage, welche zwei um jeweils eine Schwenkachse klappbare Klinken aufweist, die an eine Halsverdickung des zu ziehenden Kristalls anlegbare Hal tebacken besitzen, und Mittel zum Verbinden der Klinken mit einem Tragseil der Kristallziehanlage aufweist, wobei die Klinken eine Anlageposition, in der sie an der Hals verdickung anliegen, und eine Löseposition einnehmen kön nen, in der sie von der Halsverdickung entfernt sind.
Derartige Kristallunterstützungen werden in Kristallzieh anlagen eingesetzt, um Kristalle mit einem großen Durch messer aus der Schmelze ziehen zu können. Beim Ziehen ei nes Kristalls wird zunächst aus einem Impfling ein Hals erzeugt, der - um eine möglichst gleichmäßige Kristall struktur zu erzeugen - möglichst dünn gehalten wird. Erst wenn zu erwarten ist, dass keine Fehler in der Kristall struktur mehr vorliegen, wird mit dem Ziehen des eigent lichen Kristalls begonnen, der - um Wafer mit einem mög lichst großen Durchmesser zu erhalten - möglichst dick sein soll. Des Weiteren soll der Kristall möglichst lang sein, was zu einem hohen Kristallgewicht führt.
Der gezogene Kristall hängt beim Ziehen lediglich an dem dünnen Hals, so dass die Gefahr besteht, dass dieser reißt.
Es wurde daher schon vorgeschlagen, bevor mit dem Ziehen des eigentlichen Kristalls begonnen wird, zunächst eine Verdickung im Hals zu erzeugen, die von einer seilzugbe tätigten Kristallunterstützung Untergriffen werden kann. Der zu ziehende Kristall hängt damit nicht nur am Hals, sondern wird über die Verdickung von der Kristallunter stützung getragen.
Den bisherigen vorgeschlagenen Kristallunterstützungen, die u. a. in der DE 102006 034 433 Al, DE 112012 001 596 T5, DE 19710 856 Al und in der DE 102008 047 599 Al beschrieben sind, ist gemeinsam, dass an einem den Kris tall bzw. den Kristallhals umgebenden Träger zwei Klinken angeordnet sind, deren Schwenkachsen tangential zum Kris tall verlaufen und deren freie Enden Haltebacken aufwei sen, die unter die Halsverdickung geklappt werden. Die Haltebacken bzw. eine Trennebene zwischen den Haltebacken verlaufen dabei parallel zu den Schwenkachsen. In der An lageposition liegen die Kontaktpunkte, mit denen die Ba cken an der Halsverdickung angelegt sind, jeweils auf ei ner Seite einer Trennebene, die parallel zu den Schwenk achsen durch die Achse des Kristalls verläuft. Die beiden Backen sind daher symmetrisch zu dieser Trennebene ausge bildet. Da die Klinken schräg von unten gegen die Verdi ckung drücken, werden neben den axialen Kräften auch ra diale Kräfte ausgeübt, die es erforderlich machen, den Träger entsprechend stabil auszuführen, damit die Klinken nicht seitlich weggedrückt werden. Man könnte daran den ken, die Klinken relativ steil anzuordnen. Dies birgt aber die Gefahr, dass die Klinken an der Halsverdickung abrutschen. Ein weiterer Nachteil ist, dass das Gewicht des wachsenden Kristalls die Backen in Richtung auf ihre Lösepositionen belastet. Dies birgt die Gefahr, dass die Backen zurückweichen, so dass der Kristall in der Trenn ebene seitlich ausweichen kann.
Die Erfindung beruht somit auf der Aufgabe, eine kompakte und stabile Kristallunterstützung zu schaffen, die mög lichst leicht aufgebaut ist. Zur Lösung des Problems schlägt die Erfindung vor, dass die Trennebene unter einem Winkel zu wenigstens einer der Schwenkachsen verläuft und dass in der Anlageposition die Kontaktpunkte einer jeden Backe sich zu beiden Seiten ei ner Kristallebene befinden, die durch die Achse des Kris talls und parallel zu einer der Schwenkachsen verläuft.
Dies hat zur Folge, dass die Klinken steil ausgerichtet werden können, da die auf die Klinken wirkenden Kräfte kein oder nur ein kleines Drehmoment um die Schwenkachse erzeugen. Die Hauptabstützkräfte wirken vielmehr parallel zu den Schwenkachsen. Durch die steile Anordnung der Klinken benötigt die Kristallunterstützung wenig Platz und kann somit kompakt aufgebaut werden. Weiterhin sind die Klinken stärker auf Druck als auf Biegung bean sprucht, was eine Leichtbau-Konstruktion erlaubt. Die steile Abstützung des Kristalls ist schwingungsarm, was positive Rückwirkungen auf die Steuerung des Ziehvorgan ges hat.
Der Aufbau ist besonders einfach, wenn die Schwenkachsen parallel oder koaxial zueinander verlaufen und wenn die Trennebene senkrecht dazu verläuft.
Bei einer koaxialen Anordnung der Schwenkachse wird eine radiale Kraftkomponente fast vollständig vermieden, so dass die Lager der Schwenkachsen lediglich die nicht zu vermeidenden axialen Kräfte, die vom Gewicht des Kris talls herrühren, aufnehmen müssen.
Die Betätigung der Klinken erfolgt vorzugsweise mit Trag seilen. Daher ist jede Klinke mit Tragseilhalterungen verbunden.
Vorzugsweise sind diese an den Klinken um eine parallel zur Schwenkachse verlaufende Achse gelagert. Zur Betätigung der Klinken sieht die Erfindung vor, dass die Klinken schwenkbar an einem einen zentralen Freiraum aufweisenden Träger gelagert sind, an dessen Oberseite sich zwei Steuerseilhalterungen befinden. Wenn der Träger heruntergelassen wird, werden die Klinken von den in Po sition bleibenden Tragseilen gegeneinander geklappt.
Der Träger erlaubt es auch, die Steuerseilhalterungen versetzt gegenüber den Schwenkachsen anzuordnen. Damit können die Steuerseile und die Tragseile in einer Ebene angeordnet werden, was eine kompakte Anordnung der Seil zugtrommeln erlaubt.
Einen sehr schmalen Aufbau der Kristallunterstützung er hält man, wenn die Schwenkachsen von Lagerstummeln gebil det sind, an denen die Steuerseilhalterungen befestigt sind.
Vorzugsweise werden zwei Klinken eingesetzt, die gleich aufgebaut sind. Eine Klinke hat eine bügelartige Form, wobei an den Enden des Bügels die Lagerung in der Schwenkachse erfolgt. Seitlich des Zenits des Bügels be findet sich jeweils ein Sockel, der senkrecht vom Bügel absteht und an dessen dem Zenit des Bügels zugewandter Seite eine schräg oder senkrecht zum Bügel verlaufende Innenseite liegt, die die Haltebacke bildet. Die Halteba cke weist eine halbrunde Ausnehmung auf, in die sich die Verdickung einlegen kann. An der Rückseite der Bügel sind die Tragseilhalterungen gelagert.
Je zwei Klinken werden so zusammen im Träger angeordnet, dass ihre Innenseiten mit dem Sockel einander gegenüber liegen, wobei die Klinken, wenn sie gegeneinander ge klappt werden, die Vorsprünge aneinander vorbeigleiten, so dass die Haltebacken sich gegenüberliegen und eine ge- schlossene kreisförmige Ausnehmung bilden, in die sich die Halsverdickung einlegen kann.
Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf eine Kristall ziehanlage mit einer Kristallunterstützung, wobei sich im Kopf der Kristallziehanlage auf gleicher Höhe eine Trag seiltrommel und eine Steuerseiltrommel befinden, wobei das Tragseil und das Steuerseil jeweils auf der Seite der zugeordneten Trommel einlaufen, die der anderen Trommel zugewandt ist.
Die Achsen der beiden Trommeln verlaufen parallel auf gleicher Höhe, wobei die Tragseile und die Steuerseile in einen Spalt zwischen den Trommeln einlaufen und gegensin nig zueinander auf die jeweils zugehörige Trommel aufge wickelt werden.
Im Folgenden soll anhand zweier Ausführungsbeispiele die Erfindung näher erläutert werden. Dazu zeigen:
Fig. 1 in einer perspektivischen Darstellung eine erste Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 2 in einer perspektivischen Darstellung eine zweite Ausführungsform der Erfindung und
Fig. 3 in einer Draufsicht die Aufhängung der Seilzüge an zwei Trommeln.
Zunächst wird auf die Fig. 1 Bezug genommen. Diese zeigt eine Kristallunterstützung 1 mit einem ringförmigen Trä ger 2, an dem gegenüberliegend zwei Klinken 3, 4 in Schwenklagern 8 gelagert sind, deren Achsen in einer ge meinsamen, durch das Zentrum des Trägers verlaufenden Ge raden 5 liegen. Um 90° versetzt zu der Geraden 5 befinden sich am Träger 2 zwei Steuerseilhalterungen 6, die mit Steuerseiltrommeln im Kopf der Kristallzieheinrichtung verbunden werden.
Jede Klinke 3, 4 besteht aus einem bogenförmigen Bügel 7, dessen nach unten, zum Träger 2 gerichteten Enden in je weils einem der Schwenklager 8 enden, das aus einem nach innen in den Träger gerichteten Lagerstummel 17 besteht, auf den die Enden aufgesteckt sind. Der Zenit des Bügels 7 weist nach oben, d. h. in Richtung auf den Kopf der Kristallzieheinrichtung .
Bezogen auf eine Kristallebene liegen sich die beiden Bü gel 7 gegenüber, wobei die einander zugewandten Seiten der Bügel 7 jeweils einen Sockel 9 aufweisen. Die Kris tallebene wird durch die Achse des Kristalls und durch die Gerade 5, auf der die Achsen der Schwenklager liegen, aufgespannt. Wenn die Achsen der Schwenklager für die beiden Klinken voneinander beabstandet sind, verläuft die Kristallebene parallel dazu. Die Sockel 9 sind gegenei nander und gegenüber der Mitte des Bügels 7 versetzt, so dass bei aufgestellten Klinken 3, 4 die zum Zentrum des Trägers weisenden Innenseiten der Sockel sich gegenüber liegen und jeweils eine Haltebacke 10 bilden.
Wenn die Klinken gegeneinander geklappt werden, laufen die Innenseiten der Sockel 9 aneinander vorbei, so dass sich die Haltebacken 10 in einem geringen Abstand gegen überliegen. Eine Trennebene zwischen den Haltebacken 10 verläuft somit senkrecht zu der Geraden 5. Die Halteba cken 10 besitzen einen Abstand, der so groß gewählt ist, dass er ein wenig größer ist als die Dicke des Halses 12 eines Kristalls unterhalb einer Halsverdickung 13, so dass die Sockel 9 zu beiden Seiten des Halses 12 vorbei gleiten, wenn beide Klinken in ihre aufgestellte Anlage position gebracht werden, wie sie für die links in der Fig. 1 dargestellten Klinke gezeigt ist. Jede Haltebacke 10 weist eine halbkreisförmige Aussparung 14 in ihrer Innenseite auf, die sich bei aufgestellten Klinken 3, 4 gegenüberliegen, so dass sich eine konusför mige Aufnahme bildet, die die Halsverdickung 13 von unten weitgehend umschließt. Bei dieser Anordnung befinden sich die Kontaktpunkte einer jeden Haltebacke auf beiden Sei ten der Kristallebene. Die Unterstützung des Kristalls erfolgt somit nicht nur in einer Richtung senkrecht zur Kristallebene, wie im Stand der Technik beschrieben, son dern auch in der Kristallebene.
An den Rückseiten der Bügel 7 sind schwenkbare Tragseil halterungen 16 gelagert, die mit einer Tragseiltrommel im Kopf der Kristallzieheinrichtung verbunden sind. Bei die ser Ausführung liegen die Tragseile und die Steuerseile in einer Ebene.
In der Fig. 2 ist eine weitere Ausführung gezeigt, bei der auf einen ringförmigen Träger verzichtet wird. Der Träger reduziert sich vielmehr auf Lagerstummel 17, auf denen die Klinken 3, 4 gelagert und mit den Steuerseil halterungen 6 verbunden sind. An den Rückseiten der Klin ken 3, 4 befindet sich jeweils ein Ausleger 18, in denen die Tragseilhalterungen 16 für die Klinken 3, 4 schwenk bar gelagert sind.
Die Kristallunterstützung wird beim Ziehen eines Kris talls mit angehoben, wobei sich die Klinken 3, 4 nach au ßen geklappt kurz unterhalb der Halsverdickung 13 in ih rer Löseposition befinden. Wenn der Kristall eine be stimmte Größe und ein bestimmtes Gewicht erreicht hat, werden die Klinken 3, 4 nach innen geklappt, indem z. B. der Träger 2 bzw. die Lagerstummel 17 abgesenkt werden. Dazu werden die Steuerseile abgelassen und die Tragseile zunächst in ihrer Position gelassen. Dies hat zwangsläu- fig zur Folge, dass die Klinken 3, 4 nach oben in ihre Halteposition und damit gegeneinander geklappt werden, wodurch die Haltebacken 10 die Aufnahme für die Halsver dickung 13 bilden. Durch Ziehen an den Tragseilen werden die Haltebacken 10 von unten an die Halsverdickung 13 ge legt, so dass die Tragseile das Gewicht des Kristalls übernehmen.
Insbesondere bei den Ausführungen, in denen die Steuer seile und die Tragseile in einer Ebene liegen, kann ein Seiltrommelpaar genutzt werden, wie dies in der Fig. 3 dargestellt ist. Beide Seiltrommeln 19, 20 sind etwa han telförmig ausgebildet und verlaufen parallel zueinander. Jede Hantel besteht aus zwei Köpfen, die über eine im Querschnitt kleinere Stange miteinander verbunden sind. Jeder Kopf einer Hantel dient zur Aufnahme eines Seils, wobei die Steuerseile zur Steuerung der Kristallunter stützung, also zum Ein- und Ausklappen der Klinken, an den beiden Köpfen der einen Seiltrommel 19, und die Trag seile, die an die Klinken angreifen, an den Köpfen der anderen Seiltrommel 20 aufgewickelt werden.
Die Seile laufen dabei jeweils an der Innenseite der Seiltrommel 19, 20, das ist die Seite, die der jeweils anderen Seiltrommel 20, 19 zugewandt ist, in die Köpfe ein. Antriebe 21, 22 für die Seiltrommeln 19, 20 liegen parallel zu den Seiltrommeln 19, 20 und werden jeweils über eine doppelte Umlenkung 23, 24 auf die zugehörige Seiltrommel 19, 20 übertragen. Bezugszeichenliste
Kristallunterstützung
Träger
Klinke
Klinke
Gerade
Steuerseilhalterungen
Bügel
Schwenklager
Sockel
Haltebacke
Hals
Halsverdickung Aussparung
Tragseilhalterungen Lagerstummel Ausleger Tragseiltrommel SteuerSeiltrommel
Antrieb
Antrieb
Umlenkung
Umlenkung

Claims

Patentansprüche
1. Kristallunterstützung für eine Kristallziehanlage, welche zwei um jeweils eine Schwenkachse klappbare Klinken (3, 4) aufweist, die an eine Halsverdickung (13) des zu ziehenden Kristalls anlegbare Halteba cken (10) besitzen, und Mittel zum Verbinden der Klinken (3, 4) mit einem Tragseil der Kristallzieh anlage aufweist, wobei die Klinken (3, 4) eine Anla geposition, in der sie an der Halsverdickung (13) anliegen, und eine Löseposition einnehmen können, in der sie von der Halsverdickung (13) entfernt sind, wobei in der Anlageposition die Kontaktpunkte, mit denen die Backen an der Halsverdickung angelegt sind, jeweils auf einer Seite einer Trennebene lie gen, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennebene un ter einem Winkel zu wenigstens einer der Schwenkach sen verläuft und dass in der Anlageposition die Kon taktpunkte einer jeden Backe sich zu beiden Seiten einer Kristallebene befinden, die durch die Achse des Kristalls und parallel zu einer der Schwenkach sen verläuft.
2. Kristallunterstützung nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, dass die Schwenkachsen parallel oder koaxial zueinander verlaufen und dass die Trennebene senkrecht dazu verläuft.
3. Kristallunterstützung nach Anspruch 1 oder 2, da durch gekennzeichnet, dass die Klinken (3, 4) mit
Tragseilhalterungen (16) verbunden sind.
4. Kristallunterstützung nach Anspruch 3, dadurch ge kennzeichnet, dass die Tragseilhalterungen (16) an den Klinken (3, 4) um eine parallel zur Schwenkachse verlaufende Achse gelagert sind.
5. Kristallunterstützung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Klinken
(3, 4) schwenkbar an einem einen zentralen Freiraum aufweisenden Träger (2) gelagert sind, an dessen Oberseite sich zwei Steuerseilhalterungen (6) befin den.
6. Kristallunterstützung nach Anspruch 5, dadurch ge kennzeichnet, dass die Steuerseilhalterungen (6) versetzt gegenüber den Schwenkachsen angeordnet sind.
7. Kristallunterstützung nach einem der Ansprüche 1 bis
4, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwenkachsen von Lagerstummeln (17) gebildet sind, an denen die Steuerseilhalterungen (6) befestigt sind.
8. Kristallunterstützung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jede Klinke
(3, 4) von einem Bügel (7) gebildet ist, wobei an den Enden des Bügels (7) die Lagerung in der Schwenkachse erfolgt und seitlich des Zenits des Bü gels (7) sich jeweils ein Sockel (9) befindet, der senkrecht vom Bügel (7) absteht und an dessen dem Zenit des Bügels zugewandter Seite eine schräg oder senkrecht zum Bügel verlaufende Innenseite liegt, die die Haltebacke (10) bildet.
9. Kristallziehanlage mit einer Kristallunterstützung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge kennzeichnet, dass sich im Kopf der Kristallziehan lage auf gleicher Höhe eine Tragseiltrommel (19) und eine Steuerseiltrommel (20) befinden, wobei das Tragseil und das Steuerseil jeweils auf der Seite der zugeordneten Trommel (19, 20) einlaufen, die der anderen Trommel (20, 19) zugewandt ist.
EP21707157.0A 2020-01-09 2021-01-11 Kristallunterstützung und kristallziehanlage mit einer solchen kristallunterstützung Pending EP4087958A1 (de)

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WO (1) WO2021139857A1 (de)

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