EP4018170A1 - Objet pour réaliser une mesure électrique sur une couche de mesure - Google Patents

Objet pour réaliser une mesure électrique sur une couche de mesure

Info

Publication number
EP4018170A1
EP4018170A1 EP20751524.8A EP20751524A EP4018170A1 EP 4018170 A1 EP4018170 A1 EP 4018170A1 EP 20751524 A EP20751524 A EP 20751524A EP 4018170 A1 EP4018170 A1 EP 4018170A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
layer
measuring
layer thickness
measurement
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP20751524.8A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Johannes Becker
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schreiner Group GmbH and Co KG
Original Assignee
Schreiner Group GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schreiner Group GmbH and Co KG filed Critical Schreiner Group GmbH and Co KG
Publication of EP4018170A1 publication Critical patent/EP4018170A1/fr
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/10Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature within piled or stacked materials
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K15/00Testing or calibrating of thermometers
    • G01K15/005Calibration
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/18Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/18Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
    • G01K7/20Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer in a specially-adapted circuit, e.g. bridge circuit
    • G01K7/21Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer in a specially-adapted circuit, e.g. bridge circuit for modifying the output characteristic, e.g. linearising

Definitions

  • any other physical quantities or parameters t can be considered which can influence the resistance of a measuring layer, but when using conventional measuring devices, due to insufficient layer thickness control of the measuring layer 10 during production, incorrect measurement results are obtained. With the help of the measuring circuit described here, it is possible to determine a significantly more precise and reliable measured value for such parameters t and / or the specific resistance of the measuring layer.
  • the measurements with the measuring circuit 30 from FIGS. 8A, 8B are carried out analogously to FIGS. 2 to 7B, except that two separate measuring layers 11, 12 and a total of four electrical connections 1, 2, 3, 4 are used, of which the connections 3 and 4 for the resistance measurement on the first measuring layer 10; 11 in the direction of its layer thickness d and the connections 3, 4 for the resistance measurement on the second measuring layer 10; 12 can be used in the main direction of extent or at least perpendicular to their layer thickness.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

L'invention concerne un objet (50) destiné à réaliser ou au moins permettre une mesure électrique sur une couche de mesure, l'objet (50) comprenant au moins les éléments suivants : - au moins une couche de mesure (10 ; 11, 12), qui a une épaisseur de couche (d), et - une pluralité de connecteurs électriques (1, 2, 3, 4 ; 51, 52, 53, 54), qui sont reliés à ladite couche de mesure (10 ; 11, 12) et/ou sont adjacents à ladite couche de mesure (10 ; 11, 12) et sont utilisés pour déterminer la résistance électrique de ladite couche de mesure (10 ; 11, 12), au moins certains des connecteurs électriques (1, 2, 3, 4 ; 51, 52, 53, 54) étant reliés à différentes parties de longueur de ladite couche de mesure (10 ; 11, 12) ou étant adjacents à celle-ci, une mesure permettant de déterminer la résistance électrique de ladite couche de mesure (10 ; 11, 12) étant réalisée ou au moins rendue possible dans le sens de l'épaisseur de couche (d) de la couche de mesure, et au moins certains des connecteurs électriques (1, 2, 3, 4 ; 51, 52, 53, 54) étant reliés à différentes surfaces, de préférence opposées les unes aux autres, de ladite couche de mesure (10 ; 11, 12) ou étant adjacents à celle-ci, une mesure permettant de déterminer la résistance électrique de ladite couche de mesure (10 ; 11, 12) étant réalisée ou au moins rendue possible dans la direction transversale à l'épaisseur de couche (d) de la couche de mesure.
EP20751524.8A 2019-08-20 2020-08-04 Objet pour réaliser une mesure électrique sur une couche de mesure Pending EP4018170A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102019122364.4A DE102019122364A1 (de) 2019-08-20 2019-08-20 Gegenstand zur Durchführung einer elektrischen Messung an einer Messschicht
PCT/EP2020/071879 WO2021032465A1 (fr) 2019-08-20 2020-08-04 Objet pour réaliser une mesure électrique sur une couche de mesure

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP4018170A1 true EP4018170A1 (fr) 2022-06-29

Family

ID=71950627

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP20751524.8A Pending EP4018170A1 (fr) 2019-08-20 2020-08-04 Objet pour réaliser une mesure électrique sur une couche de mesure

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20220299380A1 (fr)
EP (1) EP4018170A1 (fr)
DE (1) DE102019122364A1 (fr)
WO (1) WO2021032465A1 (fr)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130128383A (ko) * 2010-09-13 2013-11-26 피에스티 센서스 (피티와이) 리미티드 프린팅된 온도 센서

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021032465A1 (fr) 2021-02-25
US20220299380A1 (en) 2022-09-22
DE102019122364A1 (de) 2021-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2981833A1 (fr) Résistance de mesure et procédé de mesure correspondant
WO1996035929A1 (fr) Detecteur capacitif de niveau
DE10011562A1 (de) Gassensor
DE102011086479A1 (de) Integrierter Feuchtesensor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE19957991C2 (de) Anordnung einer Heizschicht für einen Hochtemperaturgassensor
DE19937387C1 (de) Vorrichtung zur Überwachung eines Auftrags eines flüssigen bis pastenförmigen Mediums auf ein Substrat
EP1573327B1 (fr) Puce a adn comportant un microreseau constitué de systèmes de microélectrodes
DE102014210122A1 (de) Vorrichtung zum Bestimmen eines Werts einer zu messenden Eigenschaft eines Fluids, Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung zum Bestimmen eines Werts einer zu messenden Eigenschaft eines Fluids sowie Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Bestimmen eines Werts einer zu messenden Eigenschaft eines Fluids
DE19644290A1 (de) Sensorelement zur gleichzeitigen Messung von zwei verschiedenen Eigenschaften einer chemisch sensitiven Substanz
WO2019037923A1 (fr) Chariot de guidage pourvu d'une couche piézorésistante et destiné à la mesure de charge
EP4018170A1 (fr) Objet pour réaliser une mesure électrique sur une couche de mesure
DE102005028935B4 (de) Bauelement mit variabler Kapazität, welches eine hohe Genauigkeit aufweist
DE102012214922A1 (de) Sensor und Verfahren zum Bestimmen einer Temperatur
DE68911767T2 (de) Wärmefluss-Durchflussmesser.
DE102015200217A1 (de) Sensorvorrichtung und Verfahren zum Erfassen zumindest eines gasförmigen Analyten sowie Verfahren zum Herstellen einer Sensorvorrichtung
DE102016207260B3 (de) Mikromechanische Feuchtesensorvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren
EP3421981A1 (fr) Dispositif de détection pour la mesure de l'humidité et de la température
DE69003308T2 (de) Null-Strömungssensor.
DE102006005393A1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums
EP0945722A2 (fr) Détecteur de gaz semi-conducteur
DE102019218812A1 (de) Matrixpotenzialsensor und Messverfahren zur Bestimmung des Matrixpotenzials
WO2014095423A2 (fr) Élément capteur, thermomètre et procédé de détermination d'une température
EP3788356A1 (fr) Procédé de fonctionnement d'un capteur pour détecter au moins une fraction d'un composant gazeux mesuré, lié à de l'oxygène, dans un gaz de mesure
EP4194830B1 (fr) Capteur de force résistif et capacitif et procédé de fonctionnement de celui-ci
DE10150233A1 (de) Dünnschichtbauelement mit einer in einer ersten Ebene über einem Substrat befindlichen resistiven dünnen Schicht

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: UNKNOWN

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20220214

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: EXAMINATION IS IN PROGRESS

17Q First examination report despatched

Effective date: 20240313