EP3653755A1 - Herstellung eines formkörpers mittels aerosolabscheidung - Google Patents

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EP3653755A1
EP3653755A1 EP18206021.0A EP18206021A EP3653755A1 EP 3653755 A1 EP3653755 A1 EP 3653755A1 EP 18206021 A EP18206021 A EP 18206021A EP 3653755 A1 EP3653755 A1 EP 3653755A1
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EP
European Patent Office
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layers
layer
shaped body
mechanical stresses
intermediate layer
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP18206021.0A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Carsten Schuh
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
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Publication of EP3653755A1 publication Critical patent/EP3653755A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
    • C23C24/02—Coating starting from inorganic powder by application of pressure only
    • C23C24/04—Impact or kinetic deposition of particles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/44—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by a measurable physical property of the alternating layer or system, e.g. thickness, density, hardness

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a shaped body, in which a plurality of layers of material lying one above the other are built up by means of an aerosol deposition process in a plurality of successive substeps, an intermediate layer being applied between the deposition of two adjacent material layers to reduce mechanical stresses in the shaped body.
  • the invention further relates to a molded article produced by this method.
  • the aerosol deposition method is a novel method for producing dense inorganic layers, eg metallic or ceramic layers.
  • a suitable powder is first converted into an aerosol.
  • a coarse vacuum generated in the coating chamber usually between 1 mbar and 50 mbar
  • the resulting pressure difference accelerate the aerosol particles in a nozzle to several 100 m / s and deposit them on a substrate.
  • the aerosol particles are broken up into fragments in the sub-micrometer range, which are arranged in a dense and well-adhering layer. Subsequent sintering of the layer at high temperatures is not necessary, which is an important advantage of the aerosol deposition process over alternative production processes.
  • the aerosol separation process can usually be carried out completely at room temperature.
  • aerosol separation appears to be unsuitable for being able to produce larger layer thicknesses, ie layer thicknesses greater than, for example, 100 ⁇ m. It depends on the material of the deposited layer, at which layer thicknesses the layer is typically detached.
  • Aluminum oxide Al 2 O 3
  • zirconium oxide which can compensate or reduce the induced mechanical stresses somewhat better, layer thicknesses of up to approx. 150 ⁇ m are possible.
  • the aerosol separation process seems unsuitable to serve as a generative manufacturing process ( English: Additive Manufacturing ).
  • a plurality of material layers lying one above the other are built up in a plurality of successive substeps by means of an aerosol deposition method.
  • aerosol particles are solidified into a solid layer.
  • layers of material are applied with an intermediate layer for reducing mechanical stresses in the molded body.
  • the intermediate layers consist of a different material than the deposited material layers.
  • the aerosol particles which typically have a speed of over 100 m / s when they strike the substrate on which they are deposited, locally cause a plastic deformation of the substrate. As a rule, this leads to mechanical stresses in the substrate and often also in the deposited layer. As a result, deformations in the layer composite and, in some cases, flaking of the layer usually occur.
  • the core point of the invention is the structure of the molded body to be produced in a plurality of material layers lying one above the other and the provision of an intermediate layer in each case between two adjacent material layers.
  • the material layers form the actual constructive building material of the later three-dimensional body and are therefore also referred to in the context of this patent application as "constructive material layers". They largely contribute to a predetermined desired function of this body. Examples of such a function are mechanical strength, electrical insulation, piezoelectric activity or acting as a diffusion barrier.
  • the material layers preferably have an average density between 1 ⁇ m and 20 ⁇ m.
  • the intermediate layers have the function of reducing intrinsically mechanical stresses in the molded body. This is achieved by one or more of the following properties, which the intermediate layers advantageously have: Firstly, a high elastic compliance of the intermediate layers is to be mentioned, as is usually the case, for example, with polymers or porous inorganic materials.
  • the intermediate layers advantageously have a high irreversible plastic deformability.
  • Such a property typically have metals, in particular noble metals, and alloys.
  • the property of relieving mechanical stresses occurring in the shaped body can be achieved by changing the dipole moment and, associated with this, the geometry of the crystal structures.
  • Piezoelectric materials are suitable for this as the material for the intermediate layers.
  • the intermediate layer can also be adapted to the adjoining material layer or can be matched to the fact that this results in a solid-solid phase transition with a change in the crystal structure.
  • the volume of the unit cell is also changed. Examples of such a change in the unit cell in the (constructive) material layer is the change from high quartz to deep quartz, from ⁇ -Al 2 O 3 to ⁇ -Al 2 O 3 or from unstabilized to partially stabilized ZrO 2 .
  • the intermediate layers preferably have an average thickness between 0.5 ⁇ m and 5 ⁇ m.
  • the intermediate layers can be deposited by means of the aerosol deposition process. This has the advantage that the same system that is used for the deposition of the material layers can also be used for the production of the intermediate layers. In particular, the molded body under construction does not have to be moved out of the deposition chamber between the individual sub-steps, since the intermediate layers can be deposited in principle in the same deposition chamber.
  • the intermediate layers can also be applied to the structural material layers by means of a spray process, for example a suspension or solution-based spray process.
  • a spraying process is useful, for example, if the material of the intermediate layer that is to be applied is not available at all or only with great effort as a powder, as is required for the aerosol separation process.
  • annealing of the intermediate layers can have an advantageous effect.
  • annealing generally describes the heating of a material over a longer period of time. With such a method it is possible, for example, to control or optimize the distribution of mechanical stresses in a component. Typically, the temperature at which a material is annealed ranges between 50% and 70% of its melting temperature.
  • Annealing the material layers generally also has an advantageous effect in that annealing reduces the mechanical stresses induced in the molded body due to the aerosol separation.
  • a molded body consists of the following layer sequence: substrate - first intermediate layer - first material layer - second intermediate layer - second material layer - third intermediate layer - third material layer, etc.
  • the mechanical stresses in the deposited layers are relatively low and, for example, no visible Deformations and layer detachments are present, it may be sufficient to complete all sub-steps of the manufacturing process to be carried out one after the other and then to anneal the deposited material and intermediate layers in a final process step.
  • relatively high mechanical stresses are generated in the deposited layers or the substrate due to the aerosol deposition process, it may be advantageous or even necessary to carry out several tempering steps.
  • a first tempering step can take place, for example, after the deposition of the first intermediate layer and the first material layer, a second tempering step after the deposition of the second intermediate layer and the second material layer, a third tempering step after the deposition of the third intermediate layer and the third material layer, etc.
  • a structural material layer lies "on top" during the tempering step, that is to say if the intermediate layer (s) to be tempered is / are located between structural material layers.
  • connection layer can be applied between the deposition of the material layers and the application of the intermediate layers in order to further reduce mechanical stresses and / or to improve the material bond between a material layer and an intermediate layer.
  • a connection view can be applied to both sides of the intermediate layer; However, it is also possible, for example, to apply a connecting layer to the adjacent material layer only on one side of the intermediate layer.
  • connection layer can have the function of providing doping atoms for the intermediate layer or the material layer.
  • the connecting layer can have doping atoms which diffuse significantly from a certain temperature, which is usually above room temperature, into the intermediate layer or the material layer. As a result, potential mechanical stresses in the intermediate layer or the material layer are further reduced or compensated for.
  • connection layer can have the function of improving a material connection between the intermediate layer and the connection layer with the material layer.
  • a tempering step is carried out which enables the dopants to diffuse from the connection layer into the intermediate layer and / or the material layer or the material connection between the two layers.
  • the connecting layers preferably have an average thickness between 0.05 ⁇ m and 1 ⁇ m.
  • connection layer can also be produced by means of a spray process, in particular a suspension- or solution-based spray process.
  • the connection layer can also be deposited on the material layer or the intermediate layer by means of an aerosol deposition process.
  • the first material layer can be deposited on a substrate, which consists for example of glass or metal. In these cases, however, it appears advantageous not to deposit directly on the glass or metal substrate, but rather to provide an intermediate layer first.
  • a substrate which consists for example of glass or metal.
  • a polyimide film such as the DuPont film known under the brand name "Kapton".
  • the invention also relates to such a molded body which has a plurality of material layers lying one above the other, which were built up by means of an aerosol separation process.
  • the molded body has a plurality of intermediate layers for reducing mechanical stresses, an intermediate layer being located between two adjacent material layers.
  • the intermediate layers exist made of a different material than the deposited material layers.
  • the molded body can optionally also have a connecting layer between a material layer and an adjacent intermediate layer, the connecting layer having the function of further reducing mechanical stresses in the molded body and / or improving the material bond between the material layer and the intermediate layer.
  • the material layer can consist of aluminum oxide (Al 2 O 3 ) and, belonging to it, the intermediate layer can consist of a piezoelectric material.
  • a piezoelectric material is a so-called soft piezoceramic material, such as lead zirconate titanate doped with neodymium, Pb 1-x Nd x (Zr, Ti) O 3 .
  • a second example of an advantageous material combination is zirconium oxide for the material layer and a metal, for example steel, for the intermediate layer.
  • a third example of an advantageous material combination is tungsten as a constructive material layer and a nickel-based alloy (for example known by the company Special Metals Corp. under the brand "Inconel").
  • solder materials are suitable for the optional connection layer, for example.
  • a solder material is understood to mean an alloy that consists of a certain mixing ratio of metals; mainly lead, tin, zinc, silver and copper.
  • a solder material is used to solder suitable metals and alloys such as copper, bronze, brass, tombac, nickel silver, silver, gold, hard lead, zinc, aluminum but also iron by superficially connecting or alloying with them as a melt and after Solidify cooling.
  • the alloyability of the solder material with the material or intermediate layers is the prerequisite for a permanent, firm and integral solder connection.
  • the melting point of the respective solder material is generally lower than that of the materials to be joined.
  • Solder materials appear suitable to enable an intermetallic connection in the molded body if they have a low-melting phase.
  • the present invention has the following advantages: Complex three-dimensional structures and bodies can be created.
  • structures and bodies can be created with materials that cannot be produced with dense and / or homogeneous structures by melting or sintering.
  • incongruent melting substances eg tungsten
  • refractory metals eg tungsten
  • refractory alloys e.g. tungsten
  • high-temperature ceramics such as zirconium oxide or aluminum oxide
  • materials which, due to their sensitivity or chemical reactivity in oxygen-containing or moist atmospheres, cannot be processed in a cost-effective manner using alternative process techniques can be processed using the aerosol separation technique. It can also be used to produce composites from several materials that are not compatible with each other physico-chemically, in particular at high melting or sintering temperatures or a wide range of application temperatures. Chemical reactive materials such as oxides with carbides or oxides with nitrides or materials with large differences in the coefficient of thermal expansion are to be mentioned here, for example.
  • the above-mentioned shaped bodies can be used, for example, to protect scintillation material (e.g. cesium iodide) against moisture, since hermetically sealed layers, i.e. Layers that are impervious to moisture are needed.
  • scintillation material e.g. cesium iodide
  • hermetically sealed layers i.e. Layers that are impervious to moisture are needed.
  • the aforementioned moldings can also be used as wear protection.
  • components of a ball bearing are loaded with a 500 ⁇ m thick multilayer protective layer, which consists of a dense molded body produced according to the invention.
  • the aforementioned moldings can also be used as corrosion protection.
  • a microsystem ( English: Microelectromechanical Systems, MEMS ) is understood to mean a miniaturized device, an assembly or a component, the components of which have the smallest dimensions in the range of 1 micrometer and interact as a system.
  • a microsystem usually consists of one or more sensors, actuators and control electronics on a substrate or chip. The size of the individual components is in the range of a few micrometers.
  • the Fig. 1 shows a molded body 1, which shows three constructive material layers A 1 - A 3 , two intermediate layers B 1 , B 2 and four connecting layers C 1 - C 4 .
  • the first material layer A1 was deposited on a substrate by means of an aerosol deposition process (the substrate is in Fig. 1 Not shown).
  • a first joint layer C also by means of a Aerosolabscheidevons applied to the first material layer A1.
  • a first intermediate layer B 1 and again a connection layer, namely a second connection layer C 2 were deposited.
  • the first intermediate layer B 1 is also deposited by means of an aerosol deposition process.
  • a second constructive material layer A 2 follows.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers (1), bei dem mehrere übereinanderliegende Materialschichten (A1, A2, ..., An) mittels eines Aerosolabscheideverfahrens in einer Mehrzahl aufeinanderfolgender Teilschritte aufgebaut werden. Bei jedem Teilschritt werden dabei Aerosolpartikel zu einer festen Schicht verfestigt. Jeweils zwischen der Abscheidung zweier benachbarter Materialschichten (Ai, Ai+1) wird eine Zwischenschicht (Bi) zum Abbau mechanischer Spannungen im Formkörper (1) aufgebracht. Die Zwischenschichten (B1, B2, ..., Bn-1) bestehen aus einem anderen Material als die abgeschiedenen Materialschichten (A1, A2, ..., An). Die Erfindung betrifft ferner einen solchen Formkörper (1) .

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers, bei dem mehrere übereinanderliegende Materialschichten mittels eines Aerosolabscheideverfahrens in einer Mehrzahl aufeinanderfolgender Teilschritte aufgebaut werden, wobei jeweils zwischen der Abscheidung zweier benachbarter Materialschichten eine Zwischenschicht zum Abbau mechanischer Spannungen im Formkörper aufgebracht wird. Die Erfindung betrifft ferner einen nach diesem Verfahren hergestellten Formkörper.
  • Das Aerosolabscheideverfahren (englisch: Aerosol Deposition Method, ADM) ist ein neuartiges Verfahren zur Erzeugung dichter anorganischer Schichten, z.B. metallischer oder keramischer Schichten. Beim Aerosolabscheideverfahren wird zunächst ein geeignetes Pulver in ein Aerosol überführt. Anschließend werden durch ein in der Beschichtungskammer erzeugtes Grobvakuum (in der Regel zwischen 1 mbar und 50 mbar) und dem daraus resultierenden Druckunterschied die Aerosolpartikel in einer Düse auf mehrere 100 m/s beschleunigt und auf ein Substrat abgeschieden. Dabei erfolgt neben einer plastischen Verformung des Substrats auch ein Aufbrechen der Aerosolpartikel in Bruchstücke im Sub-Mikrometer-Bereich, welche sich zu einer dichten und gut haftenden Schicht anordnen. Ein sich daran anschließendes Sintern der Schicht bei hohen Temperaturen ist nicht notwendig, was ein wichtiger Vorteil des Aerosolabscheideverfahrens gegenüber alternativen Herstellungsverfahren ist. Das Aerosolabscheideverfahren kann in der Regel vollständig bei Raumtemperatur durchgeführt werden.
  • Durch den im Aerosolabscheideverfahren genutzten Wirkungsmechanismus des mechanischen Impulses hochbeschleunigter Aerosolpartikel auf ein Substrat mit nachfolgender Verdichtung zu einem hochdichten, meist nanokristallinem Gefüge (in-situ-Sintern) kommt es regelmäßig zur Ausbildung hoher mechanischer Spannungen sowohl im Substrat als auch in der generierten Schicht. Dies hat in der Regel zum einen die Ausbildung von Deformationen im Schichtverbund und zum anderen zumindest partielle Schichtablösungen zur Folge.
  • Als Konsequenz davon erscheint die Aerosolabscheidung ungeeignet, größere Schichtdicken, d.h. Schichtdicken größer als beispielsweise 100 µm, erzeugen zu können. Es hängt dabei vom Material der abgeschiedenen Schicht ab, bei welchen Schichtdicken es typischerweise zu einer Ablösung der Schicht kommt. Aluminiumoxid (Al2O3) ist beispielsweise allgemein schlecht in der Lage, die auftretenden mechanischen Spannungen auszugleichen bzw. abzubauen, so dass hier derzeit nur eine maximale Schichtdicke von ca. 50 µm möglich ist. Bei Zirconiumoxid hingegen, welches etwas besser die induzierten mechanischen Spannungen ausgleichen bzw. abbauen kann, sind Schichtdicken bis zu ca. 150 µm möglich. Generell erscheint das Aerosolabscheideverfahren jedoch ungeeignet, als generatives Fertigungsverfahren (englisch: Additive Manufacturing) zu dienen.
  • Daraus ergibt sich die Aufgabe, ein Konzept zu entwickeln, um doch mittels Aerosolabscheidung stressarme und damit mechanisch langzeitstabile makroskopische Formkörper bauen zu können.
  • Die Erfindung ergibt sich aus den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche. Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche. Weitere Merkmale, Anwendungsmöglichkeiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung und der Abbildung.
  • In dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers werden mehrere übereinanderliegende Materialschichten mittels eines Aerosolabscheideverfahrens in einer Mehrzahl aufeinanderfolgender Teilschritte aufgebaut. Bei jedem Teilschritt werden dabei Aerosolpartikel zu einer festen Schicht verfestigt. Zwischen der Abscheidung zweier benachbarter Materialschichten wird dabei jeweils eine Zwischenschicht zum Abbau mechanischer Spannungen im Formkörper aufgebracht. Die Zwischenschichten bestehen aus einem anderen Material als die abgeschiedenen Materialschichten.
  • Die Aerosolpartikel, die typischerweise eine Geschwindigkeit von über 100 m/s beim Auftreffen auf das Substrat, auf das sie abgeschieden werden, aufweisen, bewirken lokal eine plastische Verformung des Substrats. Dies führt in der Regel zu mechanischen Spannungen im Substrat sowie oftmals auch in der abgeschiedenen Schicht. Als Folge kommt es herkömmlicherweise zu Deformationen im Schichtverbund und in manchen Fällen auch zu einem Abplatzen der Schicht.
  • Hier setzt die vorliegende Erfindung an. Kernpunkt der Erfindung ist der Aufbau des herzustellenden Formkörpers in mehreren übereinanderliegenden Materialschichten und das Vorsehen von jeweils einer Zwischenschicht zwischen zwei benachbarten Materialschichten. Die Materialschichten bilden das eigentliche konstruktive Baumaterial des späteren dreidimensionalen Körpers und werden deswegen im Rahmen dieser Patentanmeldung auch als "konstruktive Materialschichten" bezeichnet. Sie tragen zu einer vorbestimmten gewünschten Funktion dieses Körpers im überwiegenden Maße bei. Beispiele für eine solche Funktion sind die mechanische Festigkeit, elektrische Isolation, piezoelektrische Aktivität oder das Agieren als Diffusionssperre. Die Materialschichten weisen vorzugweise eine mittlere Dichte zwischen 1 µm und 20 µm auf.
  • Die Zwischenschichten haben die Funktion, intrinsisch mechanische Spannungen im Formkörper abzubauen. Dies wird durch eine oder mehrere der folgenden Eigenschaften erreicht, die die Zwischenschichten vorteilhafterweise aufweisen:
    Erstens ist hier eine hohe elastische Nachgiebigkeit der Zwischenschichten zu nennen, wie sie beispielsweise Polymere oder poröse anorganische Materialien in der Regel aufweisen.
  • Zweitens weisen die Zwischenschichten vorteilhafterweise eine hohe irreversible plastische Deformierbarkeit auf. Eine solche Eigenschaft weisen typischerweise Metalle, insbesondere Edelmetalle, und Legierungen auf.
  • Drittens kann die Eigenschaft, auftretende mechanische Spannungen im Formkörper abzubauen, durch eine Änderung des Dipolmoments und, damit verbunden, der Geometrie der Kristallstrukturen erreicht werden. Hierfür sind piezoelektrische Stoffe als Material für die Zwischenschichten geeignet.
  • Viertens erscheint eine irreversible Veränderung der Domänenstrukturen, wie sie beispielsweise von Ferroelektrika erreicht werden, ein geeignetes Mittel zum Abbau der inneren mechanischen Spannungen.
  • Fünftes kann die Zwischenschicht auch so an die angrenzenden Materialschicht angepasst bzw. darauf abgestimmt werden, dass sich daraus ein fest-fest Phasenübergang unter Änderung der Kristallstruktur ergibt. Vorteilhafterweise erfolgt dabei auch eine Änderung des Volumens der Elementarzelle. Beispiele für solch eine Änderung der Elementarzelle in der (konstruktiven) Materialschicht ist der Wechsel von Hochquarz zu Tiefquarz, von γ-Al2O3 zu α-Al2O3 oder von unstabilisiertem zu teilstabilisiertem ZrO2.
  • Die Zwischenschichten weisen vorzugweise eine mittlere Dicke zwischen 0,5 µm und 5 µm auf.
  • Die Zwischenschichten können, wie die konstruktiven Materialschichten, mittels des Aerosolabscheideverfahrens abgeschieden werden. Dies hat den Vorteil, dass dieselbe Anlage, die für die Abscheidung der Materialschichten verwendet wird, auch für die Herstellung der Zwischenschichten verwendet werden kann. Insbesondere muss der im Aufbau befindliche Formkörper zwischen den einzelnen Teilschritten nicht aus der Abscheidekammer hinausbewegt werden, da die Zwischenschichten prinzipiell in derselben Abscheidekammer abgeschieden werden können.
  • Alternativ können die Zwischenschichten auch mittels eines Sprühverfahrens, beispielsweise eines suspensions- oder lösungsbasierten Sprühverfahrens, auf die konstruktiven Materialschichten aufgetragen werden. Ein Sprühverfahren ist beispielsweise dann sinnvoll, wenn das aufzubringende Material der Zwischenschicht gar nicht oder nur mit großem Aufwand als Pulver, wie für das Aerosolabscheideverfahren erforderlich, erhältlich ist.
  • Falls die Zwischenschichten mittels des Aerosolabscheideverfahrens auf das Substrat bzw. die konstruktiven Materialschichten abgeschieden werden, kann ein Tempern der Zwischenschichten einen vorteilhaften Effekt haben.
  • Der Begriff Tempern beschreibt allgemein das Erhitzen eines Materials über einen längeren Zeitraum. Mit einem solchen Verfahren ist es beispielsweise möglich, die Verteilung mechanischer Spannungen in einem Bauteil zu kontrollieren bzw. zu optimieren. Typischerweise liegt die Temperatur, bei der ein Material getempert wird, im Bereich zwischen 50% und 70% seiner Schmelztemperatur.
  • Auch ein Tempern der Materialschichten hat im Allgemeinen einen vorteilhaften Effekt, indem durch das Tempern die aufgrund der Aerosolabscheidung induzierten mechanischen Spannungen im Formkörper reduziert werden.
  • Angenommen, ein Formkörper bestehe aus der folgenden Schichtfolge: Substrat - erste Zwischenschicht - erste Materialschicht - zweite Zwischenschicht - zweite Materialschicht - dritte Zwischenschicht - dritte Materialschicht usw. Für den Fall, dass die mechanischen Spannungen in den abgeschiedenen Schichten relativ gering sind und beispielsweise keinerlei sichtbare Deformationen und Schichtablösungen vorliegen, kann es ausreichend sein, alle Teilschritte des Herstellungsverfahrens nacheinander auszuführen und anschließend in einem finalen Verfahrensschritt die abgeschiedenen Material- und Zwischenschichten zu tempern. Werden aufgrund des Aerosolabscheideverfahren dagegen relativ hohe mechanische Spannungen in den abgeschiedenen Schichten oder dem Substrat erzeugt, kann es dagegen vorteilhaft oder sogar erforderlich sein, mehrere Temperschritte durchzuführen. Ein erster Temperschritt kann beispielsweise nach dem Abscheiden der ersten Zwischenschicht und der ersten Materialschicht erfolgen, ein zweiter Temperschritt nach dem Abscheiden der zweiten Zwischenschicht und der zweiten Materialschicht, ein dritter Temperschritt nach dem Abscheiden der dritten Zwischenschicht und der dritten Materialschicht, usw. Allgemein erscheint es jedoch in jedem Fall vorteilhaft, wenn während des Temperschritts eine konstruktive Materialschicht "oben" aufliegt, das heißt, wenn sich die zu tempernde(n) Zwischenschicht(en) zwischen konstruktiven Materialschichten befindet/befinden.
  • Optional kann zwischen der Abscheidung der Materialschichten und dem Aufbringen der Zwischenschichten jeweils eine Verbindungsschicht zum weiteren Abbau mechanischer Spannungen und/oder zur Verbesserung des Stoffschlusses zwischen einer Materialschicht und einer Zwischenschicht aufgebracht werden. Es kann dabei sowohl auf beiden Seiten der Zwischenschicht jeweils eine Verbindungssicht aufgebracht werden; es kann aber auch beispielsweise nur auf einer Seite der Zwischenschicht eine Verbindungsschicht zu der angrenzenden Materialschicht aufgebracht werden.
  • Die Verbindungsschicht kann die Funktion haben, Dotieratome für die Zwischenschicht oder die Materialschicht bereitzustellen. In anderen Worten kann die Verbindungsschicht Dotieratome aufweisen, die ab einer gewissen Temperatur, die üblicherweise über der Raumtemperatur liegt, in signifikantem Maß in die Zwischenschicht oder die Materialschicht diffundieren. Dadurch werden potenziell mechanische Spannungen in der Zwischenschicht oder der Materialschicht weiter abgebaut beziehungsweise ausgeglichen.
  • Alternativ oder zusätzlich kann die Verbindungsschicht die Funktion haben, eine stoffschlüssige Verbindung der Zwischenschicht und der Verbindungsschicht mit der Materialschicht zu verbessern.
  • In beiden Fällen ist es vorteilhaft, dass ein Temperschritt durchgeführt wird, der die Diffusion der Dotierstoffe aus der Verbindungsschicht in die Zwischenschicht und/oder die Materialschicht bzw. die stoffschlüssige Verbindung zwischen beiden Schichten ermöglicht.
  • Die Verbindungsschichten weisen vorzugsweise eine mittlere Dicke zwischen 0,05 µm und 1 µm auf.
  • Analog zu der Herstellung der Zwischenschichten kann auch die Verbindungsschicht mittels eines Sprühverfahrens, insbesondere eines suspensions- oder lösungsbasierten Sprühverfahrens, hergestellt werden. Alternativ kann die Verbindungsschicht auch mittels eines Aerosolabscheideverfahrens auf der Materialschicht bzw. der Zwischenschicht abgeschieden werden.
  • Die erste Materialschicht kann auf einem Substrat abgeschieden werden, das beispielsweise aus Glas oder Metall besteht. In diesen Fällen erscheint es jedoch vorteilhaft, nicht direkt auf dem Glas- oder Metallsubstrat abzuscheiden, sondern zunächst eine Zwischenschicht vorzusehen. Hierfür eignet sich z.B. eine Polyimid-Folie, wie die unter dem Markennamen "Kapton" bekannte Folie der Firma DuPont.
  • Neben dem Herstellungsverfahren eines Formkörpers mittels Aerosolabscheidung betrifft die Erfindung auch einen derartigen Formkörper, der mehrere übereinanderliegende Materialschichten aufweist, die mittels eines Aerosolabscheideverfahrens aufgebaut wurden. Der Formkörper weist dabei mehrere Zwischenschichten zum Abbau mechanischer Spannungen auf, wobei sich jeweils eine Zwischenschicht zwischen zwei benachbarten Materialschichten befindet. Die Zwischenschichten bestehen aus einem anderen Material als die abgeschiedenen Materialschichten.
  • Eigenschaften der Material- oder Zwischenschichten, die im Zusammenhang mit dem Herstellverfahren genannt wurden, gelten auch für den Formkörper selbst. Insbesondere wird hier auf die genannten durchschnittlichen Dicken oder deren strukturelle Eigenschaften auf das genannte Herstellungsverfahren verwiesen.
  • Der Formkörper kann optional auch eine Verbindungsschicht zwischen einer Materialschicht und einer angrenzenden Zwischenschicht aufweisen, wobei die Verbindungsschicht die Funktion hat, mechanische Spannungen im Formkörper weiter abzubauen und/oder den Stoffschluss zwischen der Materialschicht und der Zwischenschicht zu verbessern.
  • Es werden im Folgenden beispielhaft Materialkombinationen für die konstruktive Materialschicht und die Zwischenschicht genannt, die vorteilhaft erscheinen.
  • Als erstes Beispiel kann die Materialschicht aus Aluminiumoxid (Al2O3) und, dazugehörig, die Zwischenschicht aus einem piezoelektrischen Material bestehen. Als Beispiel für ein piezoelektrisches Material ist ein sogenanntes weiches Piezokeramikmaterial, wie etwa mit Neodym dotiertes Blei-Zirkonat-Titanat, Pb1-xNdx(Zr, Ti)O3, zu nennen.
  • Ein zweites Bespiel für eine vorteilhafte Materialkombination ist Zirkonoxid für die Materialschicht und ein Metall, beispielsweise Stahl, für die Zwischenschicht.
  • Ein drittes Beispiel für eine vorteilhafte Materialkombination ist Wolfram als konstruktive Materialschicht und eine Nickelbasislegierung (z.B. von der Firma Special Metals Corp. unter der Marke "Inconel" bekannt) zu nennen.
  • Für die optionale Verbindungsschicht kommen beispielsweise sogenannte Lotwerkstoffe in Frage. Unter einem Lotwerkstoff wird eine Legierung verstanden, die aus einem bestimmten Mischungsverhältnis von Metallen besteht; hauptsächlich Blei, Zinn, Zink, Silber und Kupfer. Ein Lotwerkstoff dient dazu, geeignete Metalle und Legierungen, wie Kupfer, Bronze, Messing, Tombak, Neusilber, Silber, Gold, Hartblei, Zink, Aluminium aber auch Eisen zu verlöten, indem sie sich als Schmelze oberflächlich mit diesen verbinden bzw. legieren und nach Abkühlung erstarren. Die Legierbarkeit des Lotwerkstoffes mit den Material- bzw. Zwischenschichten ist die Voraussetzung für eine dauerhafte, feste und stoffschlüssige Lötverbindung. Der Schmelzpunkt des jeweiligen Lotwerkstoffes liegt generell niedriger als der der zu verbindenden Werkstoffe.
  • Lotwerkstoffe erscheinen geeignet, eine intermetallische Verbindung im Formkörper zu ermöglichen, wenn sie eine niedrigschmelzende Phase aufweisen.
  • Zusammenfassend weist die vorliegende Erfindung folgende Vorteile auf:
    Es können komplexe dreidimensionale Strukturen und Körper erzeugt werden.
  • Diese können Gefüge-Merkmale aufweisen, die nicht über Schmelzen bzw. Sintern, wie es sonst bei additiven Fertigungsverfahren nötig ist, darstellbar sind. Als Beispiel ist dafür eine nanokristalline Mikrostruktur zu nennen.
  • Des Weiteren lassen sich Strukturen und Körper mit Materialien erzeugen, die sich durch Schmelzen bzw. Sintern nicht mit dichten und/oder homogenen Gefügen darstellen lassen. Hierbei sind beispielsweise inkongruent schmelzende Stoffe, Refraktärmetalle (z.B. Wolfram), Refraktärlegierungen und Hochtemperaturkeramiken wie Zirkonoxid oder Aluminiumoxid zu nennen.
  • Schließlich lassen sich Materialien, die sich aufgrund ihrer Empfindlichkeit bzw. chemischen Reaktivität in sauerstoffhaltigen bzw. feuchten Atmosphären nicht in kostengünstiger Weise über alternative Prozesstechniken verarbeiten lassen, mittels der Aerosolabscheidetechnik verarbeiten. Auch lassen sich dadurch Komposite aus mehreren Materialien, die physikochemisch insbesondere bei hohen Schmelz- bzw. Sintertemperaturen oder einem großen Anwendungstemperaturbereich nicht miteinander kompatibel sind, herstellen. Hier sind beispielsweise chemische reaktive Materialien, wie Oxide mit Carbiden oder Oxide mit Nitriden oder Materialien mit großen Unterschieden im thermischen Ausdehnungskoeffizienten zu nennen.
  • Die vorgenannten Formkörper können zum Beispiel zum Schutz von Szintillationsmaterial (z.B. Caesiumiodid) gegenüber Feuchtigkeit verwendet werden, da hier hermetisch dichte Schichten, d.h. Schichten, die undurchlässig für Feuchtigkeit sind, benötigt werden.
  • Die vorgenannten Formkörper können auch als Verschleißschutz verwendet werden. Hierfür werden beispielsweise Komponenten eines Kugellagers mit einer 500 µm dicken mehrschichtigen Schutzschicht beaufschlagt, die aus einem dichten, erfindungsgemäß hergestellten Formkörper besteht.
  • Auch als Korrosionsschutz sind die vorgenannten Formkörper einsetzbar.
  • Die vorgenannten Formkörper können auch als Mikrosystem verwendet werden. Unter einem Mikrosystem (englisch: Microelectromechanical Systems, MEMS) werden dabei ein miniaturisiertes Gerät, eine Baugruppe oder ein Bauteil, dessen Komponenten kleinste Abmessungen im Bereich von 1 Mikrometer haben und als System zusammenwirken, verstanden. Üblicherweise besteht ein Mikrosystem aus einem oder mehreren Sensoren, Aktoren und einer Steuerungselektronik auf einem Substrat bzw. Chip. Dabei bewegt sich die Größe der einzelnen Komponenten im Bereich von wenigen Mikrometern.
  • Sehr feine, d.h. sehr dichte Metallkeramikkomposite, sind ohne Sintern ebenfalls anderweitig kaum möglich.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die angehängte Zeichnung beschrieben, in der
    • Fig. 1
    einen mehrschichtigen Formkörper mit Verbindungsschichten und Zwischenschichten darstellt.
  • Die Fig. 1 zeigt einen Formkörper 1, der drei konstruktive Materialschichten A1 - A3, zwei Zwischenschichten B1, B2 und vier Verbindungsschichten C1 - C4 zeigt. Die erste Materialschicht A1 wurde auf einem Substrat mittels eines Aerosolabscheideverfahrens abgeschieden (das Substrat ist in Fig. 1 nicht gezeigt). In einem anschließenden Schritt wurde eine erste Verbindungsschicht C1, ebenfalls mittels eines Aerosolabscheideverfahrens, auf die erste Materialschicht A1 aufgebracht. Daran anschließend wurde eine erste Zwischenschicht B1 und wiederum eine Verbindungsschicht, nämlich eine zweite Verbindungsschicht C2, abgeschieden. In dem beispielhaften Ausführungsbeispiel wird auch die erste Zwischenschicht B1 mittels eines Aerosolabscheideverfahrens abgeschieden. Es folgt die Abscheidung einer zweiten konstruktiven Materialschicht A2. Da die mechanischen Spannungen in den Materialschichten und der Zwischenschicht relativ groß sind, wurde im nächsten Schritt der bereits abgeschiedene Stapel an Schichten getempert. Dies kann in der Regel in der Abscheidekammer stattfinden. Nach dem Tempern wurde eine dritte Verbindungsschicht C3, eine zweite Zwischenschicht B2, eine vierte Verbindungsschicht C4 und eine dritte Materialschicht A3 abgeschieden. Daran schließt sich wiederum ein Temperschritt an, um mechanische Spannungen im Formkörper 1 abzubauen.

Claims (12)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers (1), bei dem
    - mehrere übereinanderliegende Materialschichten (A1, A2, ..., An) mittels eines Aerosolabscheideverfahrens in einer Mehrzahl aufeinanderfolgender Teilschritte aufgebaut werden,
    - wobei bei jedem Teilschritt Aerosolpartikel zu einer festen Schicht verfestigt werden,
    - wobei jeweils zwischen der Abscheidung zweier benachbarter Materialschichten (Ai, Ai+1) eine Zwischenschicht (Bi) zum Abbau mechanischer Spannungen im Formkörper (1) aufgebracht wird und
    - wobei die Zwischenschichten (B1, B2, ..., Bn-1) aus einem anderen Material als die abgeschiedenen Materialschichten (A1, A2, ..., An) bestehen.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem zwischen der Abscheidung der Materialschichten (A1, A2, ..., An) und dem Aufbringen der Zwischenschichten (B1, B2, ..., Bn-1) jeweils eine Verbindungsschicht (C2(i-1)) zum weiteren Abbau mechanischer Spannungen im Formkörper und/oder zur Verbesserung des Stoffschlusses zwischen einer Materialschicht (Ai) und einer Zwischenschicht (Bi) aufgebracht wird.
  3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    wobei die Schichten (A1, A2, ..., An; B1, B2, ..., Bn-1; C1, C2, ..., C2(n-1)) nach ihrer Bildung getempert werden.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
    wobei die Zwischenschichten (B1, B2, ..., Bn-1) durch ein Sprühverfahren, insbesondere durch ein suspensionsbasiertes oder lösungsbasiertes Sprühverfahren, aufgebracht werden.
  5. Verfahren nach Anspruch 2,
    wobei die Verbindungsschichten (C1, C2, ..., C2(n-1)) durch ein Sprühverfahren, insbesondere durch ein suspensionsbasiertes oder lösungsbasiertes Sprühverfahren, aufgebracht werden.
  6. Formkörper (1), umfassend
    - mehrere übereinanderliegende Materialschichten (A1, A2, ..., An), die mittels eines Aerosolabscheideverfahrens aufgebaut wurden und
    - mehrere Zwischenschichten (B1, B2, . . . , Bn-1) zum Abbau mechanischer Spannungen im Formkörper (1), wobei sich jeweils eine Zwischenschicht (Bi) zwischen zwei benachbarten Materialschichten (Ai, Ai+1) befindet,
    - wobei die Zwischenschichten (B1, B2, ..., Bn-1) aus einem anderen Material als die abgeschiedenen Materialschichten (A1, A2, ..., An) bestehen.
  7. Formkörper (1) nach Anspruch 6,
    wobei die Materialschichten (A1, A2, ..., An) eine durchschnittliche Dicke im Bereich von 1 µm bis 20 µm aufweisen.
  8. Formkörper (1) nach einem der Ansprüche 6 oder 7,
    wobei die Zwischenschichten (B1, B2, ..., Bn-1) eine durchschnittliche Dicke im Bereich von 0,5 µm bis 5 µm aufweisen.
  9. Formkörper (1) nach einem der Ansprüche 6 bis 8,
    wobei der Formkörper (1) ferner jeweils eine Verbindungsschicht (C2(i-1)) zwischen einer Materialschicht (Ai) und der angrenzenden Zwischenschicht (Bi) zum weiteren Abbau mechanischer Spannungen im Formkörper (1) und/oder zur Verbesserung des Stoffschlusses zwischen der Materialschicht (Ai) und der Zwischenschicht (Bi) aufweist.
  10. Formkörper (1) nach Anspruch 9,
    wobei die Verbindungsschichten eine durchschnittliche Dicke im Bereich von 0,05 µm bis 1 µm aufweisen.
  11. Formkörper (1) nach einem der Ansprüche 9 oder 10,
    wobei die Verbindungsschichten (C1, C2, ..., C2(n-1)) einen Dotierstoff zur Dotierung der angrenzenden Zwischenschichten (B1, B2, ..., Bn-1) aufweisen.
  12. Formkörper (1), der nach einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 hergestellt wurde.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005158933A (ja) * 2003-11-25 2005-06-16 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 半導体または液晶製造装置部材およびその製造方法
WO2010076864A1 (ja) * 2008-12-29 2010-07-08 ブラザー工業株式会社 圧電素子
DE102012224377A1 (de) * 2012-12-27 2014-07-03 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Herstellen eines galvanischen Elements und galvanisches Element
US20150218053A1 (en) * 2014-02-04 2015-08-06 Ngk Insulators, Ltd. Multilayer body, method for manufacturing multilayer body, and method for manufacturing powder

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005158933A (ja) * 2003-11-25 2005-06-16 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 半導体または液晶製造装置部材およびその製造方法
WO2010076864A1 (ja) * 2008-12-29 2010-07-08 ブラザー工業株式会社 圧電素子
DE102012224377A1 (de) * 2012-12-27 2014-07-03 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Herstellen eines galvanischen Elements und galvanisches Element
US20150218053A1 (en) * 2014-02-04 2015-08-06 Ngk Insulators, Ltd. Multilayer body, method for manufacturing multilayer body, and method for manufacturing powder

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
RAHUL C. ET AL: "Reliability of ferroelectric multilayer PZT thick films fabricated by aerosol depositionn", FERROELECTRICS, vol. 470, no. 1, 20 October 2014 (2014-10-20), pages 183 - 193, XP002789117, Retrieved from the Internet <URL:https://doi.org/10.1080/00150193.2014.923253> [retrieved on 20190220], DOI: 10.1080/00150193.2014.923253 *

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