EP3436793A1 - Gaslecksuche mit einer testgassprühvorrichtung - Google Patents

Gaslecksuche mit einer testgassprühvorrichtung

Info

Publication number
EP3436793A1
EP3436793A1 EP17713949.0A EP17713949A EP3436793A1 EP 3436793 A1 EP3436793 A1 EP 3436793A1 EP 17713949 A EP17713949 A EP 17713949A EP 3436793 A1 EP3436793 A1 EP 3436793A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
test gas
gas
test
spraying
spray device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
EP17713949.0A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Hjalmar Bruhns
Ernst FRANKE
Ralf Kilian
Jörn LIEBICH
Norbert Moser
Jochen Puchalla-König
Norbert Rolff
Randolf Rolff
Daniel Wetzig
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inficon GmbH Deutschland
Original Assignee
Inficon GmbH Deutschland
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=58428291&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=EP3436793(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Inficon GmbH Deutschland filed Critical Inficon GmbH Deutschland
Priority to EP20186105.1A priority Critical patent/EP3742148B1/de
Publication of EP3436793A1 publication Critical patent/EP3436793A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/207—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material calibration arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators

Definitions

  • the invention relates to a device and a method for gas leak detection with a Testgassprühvorraum.
  • the vacuum arrangement in this case has a vacuum pump for evacuating the test specimen and a gas detector for detecting the proportion of test gas in the evacuated gas flow. If the sample has a leak and the test gas stream dispensed by the spray gun approaches the leak, the proportion of test gas in the evacuated gas stream increases. The increase in the proportion of test gas in the evacuated gas flow is understood as an indication that the spray gun is approaching a leak in the test specimen.
  • the spray gun may for example be a compressed air gun which is connected via a hose with a test gas pressure cylinder or with a filled with the test gas rubber bladder.
  • a compressed air gun which is connected via a hose with a test gas pressure cylinder or with a filled with the test gas rubber bladder.
  • the pressure on the compressed air gun and thus the flow rate through a pressure reducer in the gas cylinder is set.
  • the device according to the invention is defined by the features of claim 1.
  • the method according to the invention is defined by the features of claim 5.
  • the spraying device is designed to detect at least one point in time of the spraying process, for example the start of spraying.
  • the times recorded by the spray device and the at least one point in time of the spraying process can be transmitted to the evaluation unit via the data communication connection.
  • the evaluation unit is designed to correlate the times transmitted by the spraying device with the respective measuring signal. This makes it possible to detect whether the increase in the test gas partial pressure in the measurement signal is caused by spraying with the test gas spray gun.
  • the time of the end of the test gas spray is also transmitted from the spray device to the evaluation unit and correlated with the measurement signal in the evaluation unit.
  • the spray device may be a spray gun which is connected via a hose to a compressed gas source containing the test gas.
  • the spray device generates a series of several short test gas pulses, that is, the test gas is pulsed output from the spray device.
  • the test gas is pulsed output from the spray device.
  • at least the time of the beginning of a pulse train is transmitted to the evaluation unit and preferably also the times of the respective end of a test gas pulse train.
  • the duration of the test gas delivery can also be recorded electronically and transmitted to the evaluation unit.
  • the application of the test gas in a particular pulse sequence may allow differentiation of interfering test gas background concentrations, as these are constant or at least slowly variable, while a test gas entering the sample through a leak can only enter from the spray device during spraying.
  • the measurement signal or the time profile of the measurement signal can also be transmitted from the evaluation unit to the spraying device or to an output device, for example a monitor, arranged in the vicinity of the spraying device.
  • the invention is thus based on the idea of detecting times of the spraying action with the spraying device and of transmitting them to the evaluation unit in order to correlate the measuring signal with the spraying times.
  • a spray gun 12 is connected via a compressed air hose 14 and a shut-off valve 16 to a pressurized helium source 18.
  • the shut-off valve 16 may alternatively be arranged in the spray gun 12.
  • the helium is the test gas with which the test piece 20 is sprayed to detect and locate a leak on the test piece.
  • the test object 20 is connected via a gas-conducting connection 22 via a shut-off valve 24 to a vacuum pump 26 for evacuating the test object 20. Downstream of the vacuum pump 26, a gas detector in the form of a mass spectrometer 28 is arranged. The mass spectrometer determines the helium partial pressure in the gas stream extracted from the test specimen 20. The elements 22, 24, 26, 28 form a vacuum arrangement 30. The mass spectrometer 28 is connected to an evaluation unit 32, which continuously evaluates and displays the measurement signal.
  • a data communication connection 34 between the spray gun 12 and the evaluation unit 32 is shown in dashed lines.
  • This can be a wireless connection, for example radio, WLAN, infrared, Bluetooth, or a wired data connection.
  • 32 times are transmitted at least from the spray gun 12 to the evaluation unit, namely at least the time of the start of spraying and preferably also the duration of spraying and the time of spraying.
  • a pulsed spray that can be controlled via the valve 16
  • the beginning of the spray, the duration and the spray end of each spray pulse or of the spray pulse series are transmitted to the evaluation unit 32.
  • the evaluation unit 32 transmits the measurement signals to an output unit connected to the spray gun 12 or arranged in the vicinity of the spray gun 12 (not shown in the figure). This makes it possible for the user to have a simple view of the measurement results and to modify the spray action accordingly. Once the user detects an increase in helium concentration, he can selectively direct the spray gun 12 in the required direction to determine the spray location to produce the maximum leakage signal.
  • the measurement signal can be transmitted via the data connection 34 to a smartphone or a tablet PC.
  • the vacuum assembly 30 may be a helium vacuum leak detector connected to the test object 20.
  • the connection point may be the fore-vacuum region of a multi-stage pumping system on the test sample. Alternatively, the connection can also be made directly to the vacuum chamber or the exhaust of the backing pump of the pumping system.
  • the reaction time - the vacuum time constant - of the system is determined.
  • a spray-on pen leak is to be flanged to the vacuum chamber to be checked. This is permanently sprayed with helium, during which the signal is detected by the leak detector. The pen leak is sprayed until a stable signal is displayed on the leak detector.
  • the vacuum time constant of the system can be determined.
  • the time constant may be determined from the decay curve measured after the completion of helium spraying. Typical time constants of plants are in the range of 1 to 10 seconds and are sometimes significantly longer.
  • a spraying process consists of several successive spray pulses.
  • the duration of the helium spray pulses and the time interval between the pulses can be determined.
  • the duration of the pulses and the time interval of the pulses should be about half a vacuum time constant or less.
  • pulse durations of 1/10 or less are selected.
  • the number of spray pulses per spray should be about three to five.
  • the duration between the individual pulses can be different. The more characteristic the pulse sequence is, the better the signal sequence at the leak detector can be recognized in the event of a leak.
  • the vacuum chamber is sprayed at the inspection sites to locate leaks.
  • the pulse sequence which is characterized by helium spraying, is transmitted during the spraying of a leak to the time profile of the measured leakage rate signal. Disturbances of the signal due to drift, noise or other causes, which do not exhibit this pulse train pattern, or occur too early or too late with respect to the time of spraying, can thus be distinguished from true leak rate signals in the signal evaluation.
  • the helium can be actively blown between the helium pulses, eg with a cyclically starting fan on the spray gun.
  • the operator gets the result directly at the test site and does not need any direct contact with the measuring device (the vacuum leak detector).
  • the operator may be provided with recommendations on spray behavior to the spray gun via the data link 34.
  • the leak detection is feasible with only one person.
  • the carrying of heavy helium bottles can be omitted. Helium consumption can be reduced.
  • a compact design with improved accessibility is possible. Faulty settings of the spray gun, such as too much or too little helium, can be prevented.
  • To optimize the spraying process a lot of helium can be sprayed for localization and then less helium can be sprayed for quantification.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

Vorrichtung zur Gaslecksuche, mit einer Testgassprühvorrichtung (12) zum Besprühen eines Prüflings (20) mit Testgas, einer Vakuumanordnung (30) zum Evakuieren des Prüflings (20), wobei die Vakuumanordnung (30) eine Vakuumpumpe (26) und stromabwärts des Prüflings (20) einen Gasdetektor (28) zum Messen des Testgasanteils aufweist, und einer Auswerteeinheit (32), die das Messsignal des Gasdetektors (28) auswertet, dadurch gekennzeichnet, dass eine Datenkommunikationsverbindung (34) zwischen der Sprühvorrichtung (12) und der Auswerteeinheit (32) besteht, dass die Sprühvorrichtung (12) dazu ausgebildet ist, mindestens einen Zeitpunkt des Sprühvorgangs zu erfassen und an die Auswerteeinheit (32) zu übertragen und dass die Auswerteeinheit (32) dazu ausgebildet ist, zu dem übermittelten Sprühzeitpunkt den entsprechend gemessenen Testgasanteil anzugeben.

Description

Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung.
Es ist bekannt, Testgas wie zum Beispiel Helium, mit Hilfe einer Sprühpistole auf einen Prüfling aufzusprühen, der von einer Vakuumanordnung evakuiert wird. Die Vakuumanordnung weist dabei eine Vakuumpumpe zum Evakuieren des Prüflings und einen Gasdetektor zum Detektieren des Testgasanteils in dem evakuierten Gasstrom auf. Falls der Prüfling ein Leck aufweist und sich der von der Sprühpistole ausgegebene Testgasstrom dem Leck nähert, steigt der Testgasanteil in dem evakuierten Gasstrom. Der Anstieg des Testgasanteils in dem evakuierten Gasstrom wird dabei als Hinweis verstanden, dass sich die Sprühpistole einem Leck im Prüfling nähert. Durch beobachten des Testgasanteils in dem abgesaugten Gasstrom während die Sprühpistole über dem Prüfling bewegt wird, kann somit die Position eines Lecks ermittelt werden. Die Sprühpistole kann beispielsweise eine Druckluftpistole sein, die über einen Schlauch mit einer Testgasdruckflasche oder mit einer mit dem Testgas befüllten Gummiblase verbunden ist. Im Falle einer Gasflasche wird der Druck an der Druckluftpistole und damit der Durchfluss über einen Druckminderer in der Gasflasche eingestellt.
Grundsätzlich besteht bei dieser Art der lokalisierenden Vakuum- Dichtheitsprüfung ein Problem darin, dass echte Leckagesignale nicht immer zuverlässig von störenden Signalen unterscheidbar sind. Störsignale können verursacht werden durch Rauschen des Untergrundsignals, Drift des Untergrundsignals, an großen Prüflingen mit mehreren Leckagestellen, zu denen ungewollt Testgas gelangt, oder durch lange Verzögerungszeiten wegen Laufzeit und Zeitkonstante im Vakuumsystem, wodurch die Zuordnung von Leckagesignalen erschwert wird.
Ein weiterer Nachteil entsteht, wenn der Vakuumanschluss und die zu prüfenden Stellen örtlich weit auseinander liegen. Eine korrekte Dosierung der gesprühten Testgaswolke ist dann erschwert. Die Lecksuche muss oft mit zwei Personen durchgeführt werden. Schwere Testgasflaschen müssen transportiert werden, beispielsweise über mehrere Etagen hinweg getragen werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Verfahren und eine verbesserte Vorrichtung zur Lokaiisation eines Gaslecks an einem Prüfling unter Verwendung einer Testgassprühvorrichtung bereitzustellen.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist definiert durch die Merkmale von Anspruch 1. Das erfindungsgemäße Verfahren ist definiert durch die Merkmale von Anspruch 5. Die Sprühvorrichtung ist zur Erfassung mindestens eines Zeitpunkts des Sprühvorgangs, zum Beispiel des Sprühbeginns, ausgebildet. Zwischen der Sprühvorrichtung und der das Messsignal des Testgasdetektors auswertenden Auswerteeinheit besteht eine Datenkommunikationsverbindung. Über die Datenkommunikationsverbindung können die von der Sprühvorrichtung erfassten Zeiten und der mindestens eine Zeitpunkt des Sprühvorgangs an die Auswerteeinheit übertragen werden. Die Auswerteeinheit ist dazu ausgebildet, die von der Sprühvorrichtung übertragenen Zeitpunkte mit dem jeweiligen Messsignal zu korrelieren. Dadurch ist es möglich, zu erkennen, ob der Anstieg des Testgaspartialdrucks im Messsignal durch das Besprühen mit der Testgassprühpistole verursacht wird. Vorteilhafterweise wird auch der Zeitpunkt des Endes des Testgassprühens von der Sprühvorrichtung an die Auswerteeinheit übermittelt und mit dem Messsignal in der Auswerteeinheit korreliert. Bei der Sprühvorrichtung kann es sich um eine Sprühpistole handeln, die über einen Schlauch mit einer das Testgas enthaltenden Druckgasquelle verbunden ist.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung erzeugt die Sprühvorrichtung eine Serie von mehreren kurzen Testgaspulsen, das heißt das Testgas wird gepulst von der Sprühvorrichtung ausgegeben. Dabei werden mindestens der Zeitpunkt des Beginns einer Pulsserie an die Auswerteeinheit übertragen und vorzugsweise auch die Zeitpunkte des jeweiligen Endes einer Testgaspulsserie.
Insbesondere kann auch die Dauer der Testgasabgabe elektronisch erfasst und an die Auswerteeinheit übermittelt werden. Die Aufbringung des Testgases in einer bestimmten Pulsfolge kann eine Unterscheidung von störenden Testgasuntergrundkonzentrationen ermöglichen, da diese konstant oder zumindest nur langsam veränderlich sind, während ein durch ein Leck in den Prüfling eindringendes Testgas aus der Sprühvorrichtung nur während des Besprühens eindringen kann. Vorteilhafterweise können auch das Messsignal oder der zeitliche Verlauf des Messsignals von der Auswerteeinheit an die Sprühvorrichtung beziehungsweise an ein in der Nähe der Sprühvorrichtung angeordnetes Ausgabegerät, wie zum Beispiel einen Monitor, übermittelt werden.
Grundsätzlich basiert die Erfindung somit auf dem Gedanken, Zeitpunkte der Sprühaktion mit der Sprühvorrichtung zu erfassen und an die Auswerteeinheit zu übertragen, um dort das Messsignal mit den Sprühzeitpunkten zu korrelieren.
Im Folgenden wird anhand der Figur ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.
Eine Sprühpistole 12 ist über einen Druckluftschlauch 14 und ein Absperrventil 16 mit einer druckbeaufschlagten Heliumquelle 18 verbunden. Das Absperrventil 16 kann alternativ in der Sprühpistole 12 angeordnet sein. Das Helium ist das Testgas, mit dem der Prüfling 20 besprüht wird, um ein Leck an dem Prüfling zu detektieren und zu lokalisieren.
Der Prüfling 20 ist über eine gasleitende Verbindung 22 über ein Absperrventil 24 mit einer Vakuumpumpe 26 zum Evakuieren des Prüflings 20 verbunden. Stromabwärts der Vakuumpumpe 26 ist ein Gasdetektor in Form eines Massenspektrometers 28 angeordnet. Das Massenspektrometer 28 bestimmt den Heliumpartialdruck in dem aus dem Prüfling 20 abgesaugten Gasstrom. Die Elemente 22, 24, 26, 28 bilden eine Vakuumanordnung 30. Das Massenspektrometer 28 ist mit einer Auswerteeinheit 32 verbunden, die das Messsignal kontinuierlich auswertet und anzeigt.
In der Figur ist gestrichelt eine Datenkommunikationsverbindung 34 zwischen der Sprühpistole 12 und der Auswerteeinheit 32 dargestellt. Hierbei kann es sich um eine drahtlose Verbindung, zum Beispiel Funk, WLAN, Infrarot, Bluetooth, oder um eine kabelgebundene Datenverbindung handeln. Erfindungsgemäß werden zumindest von der Sprühpistole 12 an die Auswerteeinheit 32 Zeitpunkte übertragen, nämlich zumindest der Zeitpunkt des Sprühbeginns und vorzugsweise auch die Sprühdauer und der Zeitpunkt des Sprühendes. Bei einem über das Ventil 16 steuerbaren gepulsten Sprühen werden Sprühbeginn, Dauer und Sprühende eines jeden Sprühpulses oder der Sprühpulsserie an die Auswerteeinheit 32 übertragen.
In umgekehrter Richtung werden von der Auswerteeinheit 32 an eine mit der Sprühpistole 12 verbundene oder in der Nähe der Sprühpistole 12 angeordnete (in der Figur nicht dargestellte) Ausgabeeinheit die Messsignale übertragen. Dadurch ist es möglich, dass der Benutzer eine einfache Sicht auf die Messergebnisse hat und die Sprühaktion entsprechend modifizieren kann. Sobald der Benutzer einen Anstieg der Heliumkonzentration erkennt, kann er die Sprühpistole 12 gezielt in die erforderliche Richtung führen, um den Sprühort zur Erzeugung des maximalen Leckagesignals zu ermitteln. Beispielsweise kann das Messsignal über die Datenverbindung 34 an ein Smartphone oder einen Tablet- PC übertragen werden.
Bei der Vakuumanordnung 30 kann es sich um einen Helium-Vakuum-Lecksucher handeln, der an das Testobjekt 20 angeschlossen ist. Bei der Anschlussstelle kann es sich um den Vorvakuumbereich eines mehrstufigen Pumpsystems an dem Prüfling handeln. Alternativ kann der Anschluss aber auch direkt an die Vakuumkammer oder den Auspuff der Vorvakuumpumpe des Pumpsystems erfolgen.
Die Reaktionszeit - die Vakuumzeitkonstante - des Systems wird ermittelt. Hierzu ist an die zu überprüfende Vakuumkammer ein Ansprüh-Stiftleck anzuflanschen. Dieses wird mit Helium dauerhaft besprüht, währenddessen wird der Signalverlauf vom Lecksucher erfasst. Das Stiftleck wird so lange besprüht, bis ein stabiles Signal am Lecksucher angezeigt wird. Aus dem Signalanstiegsverlauf kann die Vakuumzeitkonstante des Systems bestimmt werden. Alternativ kann die Zeitkonstante aus der Abklingkurve bestimmt werden, die nach dem Beenden des Helium-Sprühens gemessen wird. Typische Zeitkonstanten von Anlagen liegen im Bereich von 1 - 10 Sekunden und sind teilweise noch deutlich länger.
Bei der Dichtheitsprüfung setzt sich ein Sprühvorgang aus mehreren aufeinander folgenden Sprühpulsen zusammen. Mit Kenntnis der gemessenen Vakuumzeitkonstante des Systems kann die Dauer der Helium-Sprühpulse und der zeitliche Abstand zwischen den Pulsen festgelegt werden. Die Dauer der Pulse und der zeitliche Abstand der Pulse soll etwa eine halbe Vakuum- Zeitkonstante oder weniger betragen. Bei Systemzeitkonstanten über 10 Sekunden werden Pulsdauern von 1/10 oder weniger gewählt. Die Anzahl der Sprühpulse pro Sprühvorgang sollen etwa drei bis fünf sein. Die Dauer zwischen den einzelnen Pulsen kann verschieden sein. Je charakteristischer die Pulsfolge ist, umso besser ist die Signalfolge am Lecksucher bei einer gefundenen Leckage wiederzuerkennen.
Mit dieser festgelegten Folge von Helium-Pulsen (z.B. mit der Methode nach US 8,297,109 B2) wird zur Lokalisierung von undichten Stellen die Vakuumkammer an den Prüfstellen besprüht.
Die auf das Helium-Sprühen geprägte Pulsfolge wird während des Besprühens einer undichten Stelle auf den zeitlichen Verlauf des gemessenen Leckratensignals übertragen. Störungen des Signals durch Drift, Rauschen oder andere Ursachen, die dieses Pulsfolgemuster nicht aufweisen, oder zu früh bzw. zu spät bezogen auf den Sprühzeitpunkt auftreten, können bei der Signalbewertung so von echten Leckraten-Signalen unterschieden werden. Zur Unterstützung der Pulsfolge kann zwischen den Heliumpulsen das Helium aktiv fortgeblasen werden, z.B. mit einem zyklisch anlaufenden Lüfter an der Sprühpistole.
Mit der Erfindung ist es möglich, die Auswertung der Messsignale von Störeinflüssen zu bereinigen. Der Bediener bekommt das Ergebnis direkt am Prüfort zur Verfügung und benötigt keinen direkten Kontakt zum Messgerät (den Vakuumlecksucher). Dem Bediener können Empfehlungen zum Sprühverhalten an die Sprühpistole über die Datenverbindung 34 gesendet werden. Die Lecksuche ist mit nur einer Person durchführbar. Das Tragen von schweren Heliumflaschen kann entfallen. Der Heliumverbrauch kann reduziert werden. Eine kompakte Bauweise mit verbesserter Zugänglichkeit wird ermöglicht. Fehleinstellungen der Sprühpistole, wie beispielsweise zu viel oder zu wenig Helium, können verhindert werden. Zur Optimierung des Sprühvorgangs kann zur Lokalisierung viel Helium gesprüht werden und zur Quantifizierung sodann weniger Helium gesprüht werden.

Claims

Ansprüche
1. Vorrichtung zur Gaslecksuche, mit einer Testgassprühvorrichtung (12) zum Besprühen eines Prüflings (20) mit Testgas, einer Vakuumanordnung (30) zum Evakuieren des Prüflings (20), wobei die Vakuumanordnung (30) eine Vakuumpumpe (26) und stromabwärts des Prüflings (20) einen Gasdetektor (28) zum Messen des Testgasanteils aufweist, und einer Auswerteeinheit (32), die das Messsignal des Gasdetektors (28) auswertet, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass eine Datenkommunikationsverbindung (34) zwischen der Sprühvorrichtung (12) und der Auswerteeinheit (32) besteht, dass die Sprühvorrichtung (12) dazu ausgebildet ist, mindestens einen Zeitpunkt des Sprühvorgangs zu erfassen und über die Datenkommunikationsverbindung (34) an die Auswerteeinheit (32) zu übertragen und dass die Auswerteeinheit (32) dazu ausgebildet ist, zu dem übermittelten Sprühzeitpunkt den entsprechend gemessenen Testgasanteil anzugeben.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Datenverbindung (34) dazu ausgebildet ist, die Messwerte von der Auswerteeinheit (32) an die Sprühvorrichtung (12) zu übertragen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Sprühvorrichtung (12) mit einer Ausgabeeinheit zum Ausgeben des Messwerts versehen ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sprühvorrichtung (12) zur gepulsten Testgasabgabe ausgebildet ist und jeweils die Zeitpunkte des Beginns und des Endes eines Testgaspulses oder einer Serie von nachfolgenden Testgaspulsen an die Auswerteeinheit (32) übertragen werden.
5. Verfahren zur Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung (12) und einer an das Testobjekt anschließbaren Vakuumanordnung (30) mit einer Vakuumpumpe (26) zur Evakuierung des Testobjekts und mit einem stromabwärts angeordneten Testgasdetektor, wobei der Testgasanteil in dem aus dem Prüfling (20) evakuierten Gasstrom ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Zeitpunkt des Sprühvorgangs von der Sprühvorrichtung (12) erfasst und an eine das Messsignal auswertende Auswerteeinheit (32) übertragen wird und mit dem Messsignal korreliert wird, um zumindest den Testgasanteil zu dem jeweiligen Zeitpunkt des Sprühvorgangs zu ermitteln.
6. Verfahren nach dem Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Zeitpunkt des Sprühbeginns und/oder des Sprühendes von der Sprühvorrichtung (12) an die Auswerteeinheit (32) übertragen und mit dem Messsignal des Testgasdetektors korreliert werden.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Messsignal an die Sprühvorrichtung oder an eine in der Nähe der Sprühvorrichtung (12) angeordnete Ausgabeeinheit während der Messung übertragen wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 - 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Testgas aus der Sprühvorrichtung (12) in kurzen Pulsen ausgegeben wird und jeweils der Zeitpunkt des Beginns und des Endes eines Testgaspulses oder einer Serie von nachfolgenden Testgaspulsen an die Auswerteeinheit (32) zur Korrelation mit dem Messsignal übertragen werden.
EP17713949.0A 2016-03-31 2017-03-28 Gaslecksuche mit einer testgassprühvorrichtung Ceased EP3436793A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP20186105.1A EP3742148B1 (de) 2016-03-31 2017-03-28 Verfahren zum testen einer gaslecksuchvorrichtung

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016205381.7A DE102016205381B4 (de) 2016-03-31 2016-03-31 Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung
PCT/EP2017/057294 WO2017167738A1 (de) 2016-03-31 2017-03-28 Gaslecksuche mit einer testgassprühvorrichtung

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP20186105.1A Division EP3742148B1 (de) 2016-03-31 2017-03-28 Verfahren zum testen einer gaslecksuchvorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP3436793A1 true EP3436793A1 (de) 2019-02-06

Family

ID=58428291

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP20186105.1A Active EP3742148B1 (de) 2016-03-31 2017-03-28 Verfahren zum testen einer gaslecksuchvorrichtung
EP17713949.0A Ceased EP3436793A1 (de) 2016-03-31 2017-03-28 Gaslecksuche mit einer testgassprühvorrichtung

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP20186105.1A Active EP3742148B1 (de) 2016-03-31 2017-03-28 Verfahren zum testen einer gaslecksuchvorrichtung

Country Status (9)

Country Link
US (1) US10837857B2 (de)
EP (2) EP3742148B1 (de)
JP (1) JP6862472B2 (de)
KR (1) KR102377323B1 (de)
CN (1) CN109073495B (de)
DE (1) DE102016205381B4 (de)
RU (1) RU2728802C2 (de)
TW (1) TWI730076B (de)
WO (1) WO2017167738A1 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109668687A (zh) * 2019-02-28 2019-04-23 山东新华医疗器械股份有限公司 一种旋转真空检漏机
CN111999010B (zh) * 2020-09-01 2022-11-15 国网安徽省电力有限公司池州供电公司 一种配电箱密封性实验装置
CN112289469A (zh) * 2020-11-03 2021-01-29 浙江伦特机电有限公司 一种泄漏测试装置

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2914086B1 (de) 1979-04-07 1980-09-18 Basf Ag Isoindolinfarbstoffe und deren Verwendung
JPS6217627A (ja) 1985-07-16 1987-01-26 Ulvac Corp 漏れ検出器の信号伝送方法
CN1012847B (zh) * 1985-08-16 1991-06-12 巴布科克和威尔科斯公司 密闭空间内气体的声测法及其设备
JPS62140431U (de) * 1986-02-26 1987-09-04
JPH02120635A (ja) 1988-10-28 1990-05-08 Shimadzu Corp リークデテクタ
US4898021A (en) 1988-11-30 1990-02-06 Westinghouse Electric Corp. Quantitative air inleakage detection system and method for turbine-condenser systems
DE4228148A1 (de) * 1992-08-25 1994-03-03 Leybold Ag Vakuum-Lecksuchgerät für die Testgaslecksuche mit leichten Gasen
DE4408877A1 (de) 1994-03-16 1995-09-21 Leybold Ag Testgaslecksucher
DE4445829A1 (de) 1994-12-22 1996-06-27 Leybold Ag Gegenstrom-Schnüffellecksucher
DE19960174A1 (de) * 1999-12-14 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Lecksuche und Lecklokalisierung sowie zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Vorrichtungen
TWI281538B (en) * 2004-04-28 2007-05-21 Prodisc Technology Inc Gas leak detecting apparatus
US20060075968A1 (en) * 2004-10-12 2006-04-13 Applied Materials, Inc. Leak detector and process gas monitor
DE102004050762A1 (de) * 2004-10-16 2006-04-20 Inficon Gmbh Verfahren zur Lecksuche
DE102005022157A1 (de) * 2005-05-13 2006-11-16 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät
US20070000310A1 (en) * 2005-06-29 2007-01-04 Varian, Inc. Leak detection system with wireless remote unit
US8297109B2 (en) 2010-04-09 2012-10-30 Inficon Gmbh Method for performing a leak test on a test object
FR3047074B1 (fr) 2016-01-21 2018-01-26 Pfeiffer Vacuum Dispositif d'aspersion et module de detection de fuites

Also Published As

Publication number Publication date
EP3742148B1 (de) 2022-02-16
EP3742148A1 (de) 2020-11-25
CN109073495B (zh) 2021-09-17
KR102377323B1 (ko) 2022-03-21
KR20180128000A (ko) 2018-11-30
WO2017167738A1 (de) 2017-10-05
US10837857B2 (en) 2020-11-17
US20190120715A1 (en) 2019-04-25
CN109073495A (zh) 2018-12-21
TW201736808A (zh) 2017-10-16
DE102016205381B4 (de) 2023-11-30
RU2018137195A (ru) 2020-04-30
JP6862472B2 (ja) 2021-04-21
RU2018137195A3 (de) 2020-05-26
DE102016205381A1 (de) 2017-10-05
RU2728802C2 (ru) 2020-07-31
JP2019510228A (ja) 2019-04-11
TWI730076B (zh) 2021-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1238253B1 (de) Verfahren zur lecksuche und lecklokalisierung sowie zur durchführung dieser verfahren geeignete vorrichtungen
DE102007036682B3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Detektion einer Leckage an einem Doppelrohr
DE102011086486B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur schnellen Lecksuche an formsteifen/schlaffen Verpackungen ohne Zusatz von Prüfgas
EP3742148B1 (de) Verfahren zum testen einer gaslecksuchvorrichtung
EP3374746B1 (de) Druckmessung am prüfgaseinlass
EP3788340B1 (de) Verfahren zum ermitteln der relativen lage eines gaslecks
DE102008008262A1 (de) Schnüffellecksucher nach dem Referenzmessprinzip
EP0365042A1 (de) Verfahren zur Lecküberwachung von fluidführenden Leitungssystemen bei Gefriertrocknungseinrichtungen und für die Durchführung dieses Verfahrens geeignete Gefriertrocknungseinrichtung
DE19735250A1 (de) Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher
DE4140366A1 (de) Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen
DE102005009713A1 (de) Lecksuchgerät mit Schnüffelsonde
DE102014013822A1 (de) Gasspürgerät und Betriebsverfahren
WO2017084974A1 (de) Lecksuche mit sauerstoff
EP2171416A1 (de) Lecksuchgerät mit positionsbestimmungssystem für die handgeführte sonde
WO1995025267A1 (de) Testgaslecksucher
DE102008037058A1 (de) Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage sowie eine Vakuumanlage
DE2827537A1 (de) Betriebsverfahren fuer eine einrichtung zur lecksuche, gasanalyse o.dgl. und dazu geeignete einrichtung
DE4333951A1 (de) Verfahren und Anordnung zum Prüfen der Dichtigkeit des Gasentnahmesystems einer Gasanalysevorrichtung
DE102007025691A1 (de) Verfahren zur Prüfung der Dichtigkeit eines Luftfederbalges
EP3688438B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur unterscheidung eines aus einem leck austretenden prüfgases von störgas
DE202008013327U1 (de) Aerosolquellsystem mit Aerosolausströmern für eine gleichmäßige Verteilung von Aerosol eines Aerosolgenerators zu Prüfzwecken in die Umgebung
DE3818372A1 (de) Vorrichtung zur entnahme einer gasprobe
DE202015103860U1 (de) Set aus einem Fluidkörper und einer Vorrichtung zur Prüfung einer Dichtigkeit des Fluidkörpers
DE102021115463A1 (de) Leckdetektionsvorrichtung
DE102016102794A1 (de) Prüfen von Fahrzeug-Medienleitungen

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: UNKNOWN

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

TPAC Observations by third parties

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNTIPA

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20180912

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: EXAMINATION IS IN PROGRESS

17Q First examination report despatched

Effective date: 20191022

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: EXAMINATION IS IN PROGRESS

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R003

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION HAS BEEN REFUSED

18R Application refused

Effective date: 20201125