EP3171030A1 - Vacuum pump - Google Patents

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EP3171030A1
EP3171030A1 EP15195364.3A EP15195364A EP3171030A1 EP 3171030 A1 EP3171030 A1 EP 3171030A1 EP 15195364 A EP15195364 A EP 15195364A EP 3171030 A1 EP3171030 A1 EP 3171030A1
Authority
EP
European Patent Office
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mounting
vacuum pump
external device
opening
pump according
Prior art date
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Granted
Application number
EP15195364.3A
Other languages
German (de)
French (fr)
Other versions
EP3171030B1 (en
Inventor
Tobias Stoll
Michael Schweighöfer
Martin Lohse
Jan Hofmann
Robert Walz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority to EP15195364.3A priority Critical patent/EP3171030B1/en
Priority to JP2016224789A priority patent/JP6351693B2/en
Publication of EP3171030A1 publication Critical patent/EP3171030A1/en
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Publication of EP3171030B1 publication Critical patent/EP3171030B1/en
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08—Sealings
    • F04D29/083—Sealings especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum pump, in particular turbomolecular pump, with a housing having at least one opening which is connectable to an opening of an external device.
  • Vacuum pumps are used in a wide variety of technical processes in order to create a vacuum that is necessary for the respective process.
  • a vacuum pump typically includes a housing that encloses a pumping chamber with a rotor shaft.
  • a pump structure of the vacuum pump is usually arranged in the pump chamber, which conveys a gas present in the pump space or in a region (recipient) to be evacuated from an inlet to an outlet of the vacuum pump.
  • the opening in the housing of the vacuum pump is preferably an inlet through which a gas present in a region to be evacuated is pumped into the housing interior of the vacuum pump.
  • the opening may also be an outlet of the vacuum pump, through which the gas to be evacuated is expelled from the housing.
  • the external device is preferably a recipient, i. an area to be evacuated, which is connected to the opening of a pump inlet.
  • the recipient may be part of a scientific instrument (e.g., mass spectrometer or electron microscope).
  • the external device can also be a backing pump, for example a diaphragm pump, which is connected to an opening of a pump outlet, so that the vacuum pump according to the invention does not have to expel the gas to be pumped against the atmospheric pressure.
  • the preferably cylindrically shaped mounting section can be a flange, in particular a vacuum flange.
  • the mounting portion may for example be formed as an oval, rectangular, square or hexagonal hollow profile.
  • the separate intended for a stress-free mounting mounting member is preferably adapted to the geometry of the mounting portion; it therefore has essentially the same geometry as the mounting section.
  • the mounting element is annular, wherein the mounting portion is then cylindrical.
  • the mounting element is a coupling ring or a cap sleeve, the one or more can be plugged or pushed onto the mounting portion of the housing or a corresponding mounting portion of an external device.
  • the mounting element is preferably made of metal and is preferably formed in one piece.
  • the fixing means of the mounting member for producing the frictional connection between the mounting member and the mounting portion preferably comprises an expanding in the direction of the external device inner surface which forms a groove for receiving a sealing ring with an outer surface of the mounting portion.
  • the fixing means of the mounting member for making the frictional connection between the mounting member and the external device preferably comprises an opposing direction, i. in the direction of the vacuum pump, expanding inner surface which forms a groove for receiving a sealing ring with an outer surface of the mounting portion of the external device.
  • the fixing means is preferably formed integrally with the mounting element.
  • the sealing ring is preferably made of an elastic material (eg rubber) and is pressed under elastic bias in the groove.
  • the groove depth is typically selected so that the seal ring does not fully insert into the cavity formed by the groove during pre-assembly (ie, before the pump is connected to the external device). In other words, the sealing ring can protrude out of the groove. In this sense, it may be preferred be that the groove depth is less than the cross-sectional diameter of the sealing ring.
  • the sealing ring When assembly, i. when connecting an external device to an opening of the vacuum pump by means of the mounting element, the sealing ring either supports itself on the mounting section (eg on a wall or a flange) of the external device or of the vacuum pump and deforms in the course of further assembly, when the mounting member and the corresponding mounting portion move towards each other. In this case, the sealing ring is axially compressed or compressed within the groove and stretched in the radial direction. This causes a clamping action between the fixing means of the mounting member and the outer surface of the mounting portion of the housing opening or the mounting portion of the external device. This results in a frictional connection.
  • the deformability of the sealing ring allows a tolerance compensation between the mounting member and the mounting portion. Vibrations during operation of the pump are also absorbed. In addition, the tolerance compensation causes an improvement in the sealing properties of the pump, since voltage-induced leaks no longer occur.
  • the expanding inner surface of the fixation means is a chamfer or conical surface.
  • the chamfer surface or the conical surface in this case has a bevel or cone angle (inclination angle) between 15 ° and 75 °, preferably between 30 ° and 60 °, particularly preferably between 40 ° and 50 °, in particular of about 45 °.
  • the chamfer width can be, for example, between 0.1 and 4 cm, preferably between 0.2 and 3 cm, particularly preferably between 0.3 and 2 cm.
  • the mounting element in particular the coupling ring, on an inner side acting as a stop shoulder or radial step.
  • the shoulder may abut on attachment of the mounting member to a complementary shoulder or radial step of the mounting portion of the opening or external device so as to define a home position for mounting.
  • the sealing ring can be pressed into this position in the groove formed and preferably remains in this position without jumping out.
  • the mounting element bores and / or radially extending indentations for the axial connection or coupling of the mounting member with the external device or the mounting member with the mounting portion of the vacuum pump.
  • the bores and / or radially extending indentations are preferably distributed uniformly over the circumference of the mounting element.
  • screws or bolts are assigned spacer sleeves to set an optimal distance between the external device and the vacuum pump.
  • the bolts and / or screws may be associated with O-rings, which hold the screws and / or bolts slip-proof or captive in the holes and / or notches.
  • O-rings preferably made of an elastic plastic or rubber O-rings can be inserted through radially extending recesses or slots in the mounting member in the holes and / or radially extending indentations.
  • Such mounting aid facilitates the installation of the pump, especially if it is carried out by one person.
  • the mounting portion of the opening or the mounting portion of the external device may include a positioning aid that cooperates with a mounting device of the external device or the opening of the vacuum pump.
  • the positioning aid sets a starting position for the coupling between the external device and the vacuum pump before the bolts and / or screws of the mounting section are fixed.
  • the positioning aid may be an axial projection of the mounting portion which cooperates with a complementary groove on the side of the external device. In this way mutual slippage during attachment of the bolts and / or screws can be prevented.
  • the positioning aid may also be a centering portion which is inserted into the opening of the external device or the vacuum pump.
  • a first opening in particular a first inlet, is arranged on an axial end face of the vacuum pump (axial opening) with respect to an axis of rotation of a pumping stage arranged in the housing.
  • the housing has at least one second opening, in particular a second inlet, which is arranged on a radial side wall of the housing relative to the axis of rotation (radial opening).
  • both openings have a mounting plane defining mounting portion, wherein the mounting planes of the openings are preferably arranged perpendicular to each other.
  • the vacuum pump may have, in addition to the axial opening, two or more radially arranged openings, in particular inlets.
  • at least one pump stage is arranged between the radial openings, the arrangement of two pump stages being particularly preferred.
  • a pumping stage of a vacuum pump in particular a turbomolecular pump
  • a vacuum pump in particular a turbomolecular pump
  • a vacuum pump usually contains a plurality of pump stages of rotor and stator disks arranged in pairs or in pairs.
  • Each pumping stage when associated with an inlet of the pump, may provide a certain pressure in a recipient connected to the inlet, which pressure increases for pumping stages towards the pump outlet.
  • a pumping stage can also be a backing pump, in particular a molecular pumping stage, for example a Holweck pumping stage or Siegbahn pumping stage.
  • the bearing of the rotor shaft is usually - but not necessarily - a hybrid storage, for example with a ball bearing on an outlet or pre-vacuum side and a magnetic bearing on a high-vacuum side of the pump.
  • Vacuum pumps with two or more, in particular radially arranged, inlets allow the evacuation of several, in particular in series successively arranged, recipients with different, there prevailing pressures.
  • Such pumps typically include two to six inlets along the axis of rotation The pump are arranged spaced from each other.
  • the vacuum pumps usually consist of a stack of successively connected pumping stages within the housing.
  • the pumping stages comprise a turbomolecular unit with at least one set of rotor and stator disks and optionally one or more backing pumps.
  • the highest pumping speed and the lowest pressure range are available at the first intake, ie at all other inlets.
  • the downstream inlets are in higher pressure ranges according to their order and provide lower pumping speeds.
  • the compression ratio - for example for nitrogen - between two radially arranged openings of the pump is greater than 10, in particular greater than or equal to 100.
  • At least two radially arranged openings are surrounded at least in sections by a common mounting section defining a mounting plane.
  • the two radially arranged openings can be sealed against one another such that a first sealing means, in particular a first sealing ring, surrounds both openings, while a second sealing means, in particular a second sealing ring, surrounds only one of the two openings.
  • a first sealing means in particular a first sealing ring
  • a second sealing means in particular a second sealing ring
  • a vacuum pump in particular according to one of the embodiments described above, comprising a housing having at least one opening connectable to an external device, in particular a recipient, connectable opening, the opening at least in sections is surrounded by a mounting device defining a mounting plane.
  • the vacuum pump in each case comprises at least one damping element comprising fastening elements, in particular screws and / or bolts, for the tension-free connection of the mounting device with the external device.
  • the mounting device may in particular be the mounting section described above, which is preferably cylindrical.
  • the platform may have an area that is several times larger than the area of the opening surrounded by the platform.
  • the geometry of the platform is basically arbitrary, but preferably rectangular or round.
  • the external device in particular an opening of the external device, a mounting device of the type described above, to be connected by means of the fasteners with the opening of a vacuum pump.
  • the damping element causes in the coupling of the pump opening associated assembly device to an external device (or vice versa) tolerance compensation.
  • the damping element preferably surrounds a fastening section of the fastening element at least in sections.
  • the damping element comprises a sleeve and / or at least one O-ring.
  • the damping element is a sleeve and / or an O-ring.
  • the damping element consists of an elastomer, in particular of an elastic material, and preferably has a Shore hardness between 70 and 95.
  • the fastening element is a screw and / or bolt, which is surrounded at least in sections by a sleeve below the screw or bolt head, wherein at least one end of the sleeve is assigned an O-ring.
  • the sleeve is flanked at both ends by O-rings.
  • the sleeve and the or the O-rings may have different elasticities.
  • the mounting device bores and / or lateral notches for axial connection with the external device.
  • a damping element in particular a sleeve and / or at least one O-ring, is associated with the bores and / or the lateral notches.
  • the O-ring and / or the sleeve can also act as a loss or slip protection for the fastener.
  • the sleeve can also function as a spacer sleeve to set a desired distance between the external device and mounting device.
  • the sleeve comprises an inner shell and an outer shell, wherein the shells have a different elasticity from each other.
  • the inner jacket is more elastic than the outer.
  • a preferred embodiment of a vacuum pump according to the invention comprises an axially arranged opening, in particular inlet, whose mounting section can be coupled to an external device by means of the separate mounting element. Furthermore, the vacuum pump has at least two radially arranged
  • Openings in particular inlets, which are at least partially surrounded by a mounting device together.
  • the mounting device is coupled with at least one damping element comprehensive fastening element, in particular a screw and / or a bolt to an external device.
  • the mounting planes which are defined by the mounting portion of the axial opening on the one hand and the mounting means of the radial openings on the other hand, are arranged perpendicular to each other. In this way, it is particularly advantageous possible to couple the vacuum pump voltage-free to the respective external devices, regardless of which opening is coupled first.
  • parts of the vacuum pump are enclosed by a housing of the external device.
  • parts of the vacuum pump in particular frontal parts, may protrude into the housing of an external device. For example, this can be accomplished with mounting sections and / or mounting devices that are recessed from the external device.
  • Another aspect of the invention relates to a vacuum system with a plurality of external devices, in particular receptacles, and at least one vacuum pump according to the invention, wherein at least one external device with an opening, in particular inlet, the voltage is coupled to the pump.
  • the Fig. 1A shows a vacuum pump 10 with a housing 12. Within the housing 12 and not visible at least three pumping stages are arranged, which are assigned to a common rotor shaft. The rotor shaft also defines an axis of rotation A.
  • the vacuum pump 10 has at its axial end face 11 an axial opening 14 and at its radial side wall 13 two radial openings 15a, 15b.
  • the openings 14, 15a, 15b are inlets, to each of which a pumping stage is assigned.
  • the vacuum pump 10 is a split-flow vacuum pump, which enables the pumping of three receivers, which can be connected to the openings 14, 15a, 15b, in which different pressures prevail.
  • the vacuum pump 10 is shown in cross section.
  • the opening 14 has a round cross-section and is surrounded by a cylindrical mounting portion 18 which defines a mounting plane 16.
  • a mounting member 20a is plugged for stress-free coupling with a recipient.
  • the mounting element 20a is a coupling ring which has on its inside a shoulder 34 which can abut against a shoulder 35 formed on an outer surface 26 of the mounting section 18 (see also FIG Fig. 1 B) ,
  • the mounting member 20a further comprises a fixing means 22a for producing a frictional connection between the mounting member 20a and the mounting portion 18th
  • the fixing means 22a which is detailed in detail in FIG Fig. 1 B is shown, it is a chamfered inner edge of the mounting member 20a with a widening toward the external device towards the inner surface 24.
  • the phase angle or the inclination angle of the inner surface 24 is approximately 45 °, but can be selected larger or smaller if necessary become.
  • the sealing ring 30 is made of an elastomer and has for example a Shore hardness between 70 and 95.
  • the Fig. 1 C shows a detailed view of an external device 70 with a mounting member 20b, with the mounting portion of a vacuum pump according to the invention (not shown) can be coupled.
  • An opening 71 of the external device 70 is surrounded by a mounting portion 73, on which the mounting member 20b is attached.
  • the mounting member 20b comprises a fixing means 22b for establishing a frictional connection between the mounting member 20b and the mounting portion 73 of the external device 70.
  • the fixing means 22b forms with an outer surface 72 of the mounting portion 73 a groove 28 in which a sealing ring 30 is arranged.
  • the mounting member 20a comprises a total of four holes 36, which in each case a slot 38 is assigned, which extends from an outer side of the mounting member 20a radially to the bore 36.
  • Fig. 2A shows a partial cross section of one of the bores 36 of the vacuum pump 10 from Fig. 1A , A detailed view of this cross section is in the Fig. 2B shown.
  • the vacuum pump 10 according to Fig. 2A is in a ready-to-mount state, since screws 39 are already in the holes 36.
  • an O-ring 40 which has been inserted through the slot 38 in the bore 36 before the screw 52 is sunk in the bore 36. If the screw 39 in the bore 36 and through the O-ring 40, the latter prevents slipping or falling out of the screw 39 during assembly.
  • the mounting member 20b according to Fig. 1C can be designed accordingly.
  • the pump 10 according to the Figs. 1A, 1B and 2A, 2B also has a mounting device 46b, which surrounds the openings 15a, 15b.
  • the mounting device 46b defines a mounting plane 44b, which is arranged perpendicular to the mounting plane 16 in the present embodiment (other relative positions of the planes 16, 44b are quite conceivable).
  • the mounting device 46b will be described in more detail below.
  • the mounting member 20a is screwed by means of the screws 39 with a flange or a wall of the external device.
  • the external device moves - seen from the viewpoint of the pump 10 - to the mounting member 20a, and protruding from the groove 28 sealing ring 30 is compressed on further approach in the axial direction.
  • In the radial direction of the sealing ring 30 is stretched, resulting in a clamping action between the fixing means 22 a of the mounting member 20 a and the outer surface 26 of the mounting portion 18 of the vacuum pump 10.
  • This purely frictional connection between the mounting member 20a and the mounting portion 18 keeps the vacuum pump 10 in place relative to the external device.
  • the flexibility of the seal ring 30 also provides a tolerance compensation with respect to the angle that the vacuum pump 10 must occupy relative to the external device. In other words, a certain misalignment - due to mounting and / or vibration - is absorbed and compensated by the sealing ring 30, without sacrificing the tightness properties of the compound.
  • connection of the external device 70 with a vacuum pump is analogous, except that here the mounting member 20b is screwed to the mounting portion of the vacuum pump.
  • a flange on the pump 10 is provided.
  • FIG. 3A shows a vacuum pump 100 according to the invention, which differs from the previously described vacuum pump 10 by the nature of the connecting means with which the axial opening 14 coupled to an external device becomes.
  • the remaining features of the vacuum pump 100 reference may be made to the previous embodiments.
  • the vacuum pump 100 includes a mounting device 46a that surrounds the axial opening 14 and defines a mounting plane 44a. Furthermore, the vacuum pump 100 comprises a further mounting device 46b, which surrounds the radial openings 15a, 15b (not visible) and defines a mounting plane 44b.
  • the mounting planes 44a, 44b are arranged perpendicular to each other (other relative positions of the planes 44a, 44b are quite conceivable).
  • the mounting device 46a has four holes 54, of which only two are visible due to the presentation.
  • the mounting means 46b associated with the radial openings 15a, 15b has a total of four notches 56, of which only two are visible due to the illustration.
  • Each bore 54 and each notch 56 is a fastener 50, in the present case screws 52 assigned.
  • the screws 52 are partially surrounded by a damping element 47, which allows a voltage-free connection with an external device.
  • the damping element 47 which surrounds the screws 52 of the mounting device 46b in sections, comprises two O-rings 49 and arranged between the O-rings 49 sleeve 48.
  • the screws 52 of the mounting device 46a are surrounded by a damping element 47 in sections, which a sleeve 48th and only one O-ring 49 includes.
  • rings with a rectangular cross-section can be used if necessary.
  • FIG. 3B The detailed view of a screw 52 received by a notch 56 of the mounting device 46b with a longitudinal axis A S according to FIG Fig. 3B shows that an associated with the screw head 53 O-ring 49 on one side 57 of Mounting device 46b is applied.
  • An O-ring 49 assigned to the end of the screw 55 is partially arranged in a recess 58, which partially surrounds the lateral notch 56, on the side 57 of the mounting device 46b opposite the side 57.
  • the screw head 53 associated O-ring 49 has a rectangular cross-sectional area and is wider than the end of the screw 55 associated O-ring 49, which has a round cross-sectional area.
  • a sleeve 48 is arranged, which also acts as a spacer sleeve and thus prevents excessive compression of the O-rings 49 during assembly.
  • Both the O-rings 49 and the sleeve 48 - possibly also the damping element 47 - consist for example of an elastomer, which in particular has a Shore hardness between 70 and 95.
  • the longitudinal screw axis A S it is necessary for the longitudinal screw axis A S to coincide with a longitudinal axis of the corresponding bores or bores (ie, external device and vacuum pump 100).
  • the damping elements 47 surrounding the screws 52 in sections introduce a certain tolerance with respect to this requirement.
  • the damping element 47 partially surrounding the screws 52 is able to compensate for inclinations of the screws 52 in the bores 54 caused by material defects / vibration and / or occurring during installation, without impairing the tightness of the connection.
  • Fig. 4 shows the vacuum pump 100 Fig. 3A , wherein the representation of the mounting device 46a has been omitted for reasons of clarity.
  • Recognizable in this illustration is the axial opening 14, which is surrounded by a sealing ring 60.
  • the opening 14 has a cylindrical positioning aid 42 which is connected to a complementary portion of an external device to be connected cooperates (eg, in this is plugged) to facilitate the assembly of the vacuum pump 100.
  • Visible in this illustration are also the radial openings 15a, 15b, which are jointly surrounded by the mounting device 46b.
  • Fig. 5 shows the radial openings 15a, 15b and the surrounding mounting device 46b from above.
  • the openings 15a, 15b have approximately the same axial width L B , wherein the axial distance L A between the openings 15a, 15b is smaller than L B.
  • the distance L A is preferably by a factor 0.75, in particular 0.5, smaller than the length L B.
  • the openings 15a, 15b are surrounded by a sealing means 62a which seals both openings from the environment / atmosphere when the mounting means 46b is coupled to an external device.
  • a sealing means 62a which seals both openings from the environment / atmosphere when the mounting means 46b is coupled to an external device.
  • the opening 15a is surrounded by a sealing means 62b.
  • an external device comprising two regions to be evacuated can be coupled to the mounting device 46b.
  • the sealing means 62a, 62b are, for example, annular rubber seals with a Shore hardness between 70 and 95.
  • sealing means 62a, 62b Due to the special arrangement of the sealing means 62a, 62b, it is possible to keep the distance L A between the openings 15a, 15b low, since only one opening 15a has to be surrounded by a sealing means 62b in order to seal the openings 15a, 15b against each other realize.
  • the axial length of the pump L C can also be kept low in this way and is typically by a factor of 2.5, preferably 2.4, more preferably 2.3, smaller than the diameter of a rotor disk, as in the interior of the vacuum pump 10th , 100 is arranged.
  • the ratio of the axial length L B to the rotor diameter is preferably less than 1/4, more preferably less than 9/40, in particular less than 1/5.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend - ein Gehäuse mit zumindest einer mit einer Öffnung einer externen Einrichtung, insbesondere Rezipient, verbindbare Öffnung, die zumindest abschnittsweise von einem eine Montageebene definierenden Montageabschnitt umgeben ist, der vorzugsweise zylinderförmig ausgebildet ist, und - ein separates Montageelement zur spannungsfreien Montage des Gehäuses an die externe Einrichtung, wobei das Montageelement mit der externen Einrichtung koppelbar ist und ein Fixierungsmittel zur Herstellung einer kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement und dem Montageabschnitt aufweist. Alternativ kann das Montageelement mit dem Montageabschnitt koppelbar ausgestaltet sein und ein Fixierungsmittel zur Herstellung einer kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement und der externen Einrichtung aufweisen.The invention relates to a vacuum pump, in particular turbomolecular pump, comprising a housing having at least one opening which can be connected to an opening of an external device, in particular a receptacle, which is at least partially surrounded by a mounting section defining a mounting plane, which is preferably cylindrical in shape, and - A separate mounting element for stress-free mounting of the housing to the external device, wherein the mounting member is coupled to the external device and has a fixing means for producing a frictional connection between the mounting member and the mounting portion. Alternatively, the mounting element can be designed to be coupled to the mounting portion and have a fixing means for producing a frictional connection between the mounting member and the external device.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Gehäuse mit zumindest einer Öffnung, die mit einer Öffnung einer externen Einrichtung verbindbar ist.The present invention relates to a vacuum pump, in particular turbomolecular pump, with a housing having at least one opening which is connectable to an opening of an external device.

Vakuumpumpen werden in den unterschiedlichsten technischen Prozessen eingesetzt, um ein für den jeweiligen Prozess notwendiges Vakuum zu schaffen. Eine Vakuumpumpe umfasst typischerweise ein Gehäuse, das einen Pumpenraum mit einer Rotorwelle einschließt. In dem Pumpenraum ist in der Regel eine Pumpstruktur der Vakuumpumpe angeordnet, die ein in dem Pumpenraum bzw. in einem zu evakuierenden Bereich (Rezipient) vorhandenes Gas von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe fördert.Vacuum pumps are used in a wide variety of technical processes in order to create a vacuum that is necessary for the respective process. A vacuum pump typically includes a housing that encloses a pumping chamber with a rotor shaft. A pump structure of the vacuum pump is usually arranged in the pump chamber, which conveys a gas present in the pump space or in a region (recipient) to be evacuated from an inlet to an outlet of the vacuum pump.

Dabei ist es unter anderem erforderlich, zwischen dem Einlass der Pumpe und dem Rezipienten eine gasdichte Verbindung herzustellen. Diese Verbindung sollte weder durch während des Betriebs der Pumpe auftretende Vibrationen noch durch gegebenenfalls während der Pumpenmontage verursachte Spannungen beeinträchtigt werden. Derartige Spannungen können beispielsweise auftreten, wenn der Einlass der Pumpe mittels eines mehrfach zu verschraubenden Flanschs mit dem Rezipienten verbunden wird. Hier besteht grundsätzlich die Gefahr, dass sich bei der Montage eine Schraube verkantet, was schließlich zu Spannungen führt. Insbesondere wenn die Pumpe an zwei oder mehr Stellen, beispielsweise an zwei Einlässen, befestigt bzw. angeschlagen werden soll, ist es in der Regel schwierig, eine völlig spannungsfreie Befestigung sicherzustellen. Wird nämlich an einer der Stellen eine Verbindung hergestellt, gestaltet sich die Herstellung weiterer Verbindungen aufgrund in der Praxis kaum vermeidbarer Toleranzen als schwierig. Generell besteht vor allem bei auf einem Formschluss beruhenden Verbindungen die Schwierigkeit, einen Toleranzausgleich herzustellen, der auftretende Spannungen kompensieren kann.Among other things, it is necessary to establish a gas-tight connection between the inlet of the pump and the recipient. This connection should not be affected by any vibration during operation of the pump, or by any voltage that may be generated during pump assembly. Such tensions can occur, for example, when the inlet of the pump is connected to the recipient by means of a flange to be screwed multiple times. In principle, there is a risk here that a screw canted during assembly, which ultimately leads to tensions. In particular, when the pump is to be attached or struck at two or more locations, for example at two inlets, it is usually difficult to ensure a completely stress-free attachment. Namely, if a connection is made at one of the locations, the production of further compounds designed due to hardly avoidable tolerances in practice as difficult. In general, especially when based on a form-fitting connections, the difficulty is to establish a tolerance compensation that can compensate for occurring voltages.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Vakuumpumpe bereitzustellen, welche die vorstehend beschriebenen Probleme überwindet und die sich sowohl bei einer einseitigen als auch bei einer mehrseitigen Aufhängung spannungsfrei befestigen lässt und dadurch verbesserte gasdichte Eigenschaften aufweist.It is therefore an object of the present invention to provide a vacuum pump which overcomes the problems described above and which can be fastened stress-free in both a one-sided and in a multi-sided suspension and thereby has improved gas-tight properties.

Diese Aufgabe wird durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 11 gelöst.This object is achieved by a vacuum pump having the features of claim 1 and a vacuum pump having the features of claim 11.

Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfasst

  • ein Gehäuse mit zumindest einer mit einer Öffnung einer externen Einrichtung, insbesondere Rezipient, verbindbare Öffnung, die zumindest abschnittsweise von einem eine Montageebene definierenden Montageabschnitt umgeben ist, der vorzugsweise zylinderförmig ausgebildet ist, und
  • ein separates Montageelement zur spannungsfreien Montage des Gehäuses an die externe Einrichtung, wobei das Montageelement mit der externen Einrichtung koppelbar ist und ein Fixierungsmittel zur Herstellung einer kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement und dem Montageabschnitt aufweist. Alternativ ist es möglich, das Montageelement mit dem Montageabschnitt koppelbar auszugestalten und es mit einem Fixierungsmittel zur Herstellung einer kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement und der externen Einrichtung zu versehen.
The vacuum pump according to the invention, in particular turbomolecular pump, comprises
  • a housing having at least one opening, which can be connected to an opening of an external device, in particular a receptacle, which is surrounded at least in sections by a mounting section defining a mounting plane, which is preferably cylindrical in shape, and
  • a separate mounting member for stress-free mounting of the housing to the external device, wherein the mounting member is coupled to the external device and has a fixing means for producing a frictional connection between the mounting member and the mounting portion. Alternatively, it is possible to make the mounting element coupled to the mounting portion and to provide it with a fixing means for producing a frictional connection between the mounting member and the external device.

Der vorstehend erwähnte Toleranzausgleich erfolgt elegant über die kraftschlüssige Verbindung, so dass die Pumpe spannungsfrei in ein Vakuumsystem einbindbar ist.The above-mentioned tolerance compensation takes place elegantly via the non-positive connection, so that the pump can be integrated stress-free in a vacuum system.

Bei der Öffnung im Gehäuse der Vakuumpumpe handelt es sich vorzugsweise um einen Einlass, durch welchen ein in einem zu evakuierenden Bereich vorhandenes Gas in das Gehäuseinnere der Vakuumpumpe gepumpt wird. Bei der Öffnung kann es sich allerdings auch um einen Auslass der Vakuumpumpe handeln, durch welchen das zu evakuierende Gas aus dem Gehäuse ausgestoßen wird.The opening in the housing of the vacuum pump is preferably an inlet through which a gas present in a region to be evacuated is pumped into the housing interior of the vacuum pump. However, the opening may also be an outlet of the vacuum pump, through which the gas to be evacuated is expelled from the housing.

Bei der externen Einrichtung handelt es sich bevorzugt um einen Rezipienten, d.h. einen zu evakuierenden Bereich, welcher mit der Öffnung eines Pumpeneinlasses verbunden ist. Der Rezipient kann beispielsweise Teil eines wissenschaftlichen Instruments sein (z.B. Massenspektrometer oder Elektronenmikroskop). Bei der externen Einrichtung kann es sich auch um eine Vorvakuumpumpe, beispielsweise eine Membranpumpe, handeln, die mit einer Öffnung eines Pumpenauslasses verbunden ist, so dass die erfindungsgemäße Vakuumpumpe das zu pumpende Gas nicht gegen den Atmosphärendruck ausstoßen muss.The external device is preferably a recipient, i. an area to be evacuated, which is connected to the opening of a pump inlet. For example, the recipient may be part of a scientific instrument (e.g., mass spectrometer or electron microscope). The external device can also be a backing pump, for example a diaphragm pump, which is connected to an opening of a pump outlet, so that the vacuum pump according to the invention does not have to expel the gas to be pumped against the atmospheric pressure.

Bei dem vorzugsweise zylinderförmig ausgebildeten Montageabschnitt kann es sich um einen Flansch, insbesondere Vakuumflansch, handeln. Der Montageabschnitt kann beispielsweise auch als ovales, rechteckiges, viereckiges oder sechseckiges Hohlprofil ausgebildet sein.The preferably cylindrically shaped mounting section can be a flange, in particular a vacuum flange. The mounting portion may for example be formed as an oval, rectangular, square or hexagonal hollow profile.

Das separate für eine spannungsfreie Montage vorgesehene Montageelement ist vorzugsweise an die Geometrie des Montageabschnitts angepasst; es weist also im Wesentlichen dieselbe Geometrie wie der Montageabschnitt auf. Insbesondere ist das Montageelement ringförmig, wobei der Montageabschnitt dann zylinderförmig ausgebildet ist. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform handelt es sich bei dem Montageelement um einen Überwurfring oder auch eine Überwurfhülse, der oder die auf den Montageabschnitt des Gehäuses oder einen entsprechenden Montageabschnitt einer externen Einrichtung aufgesteckt oder aufgeschoben werden kann.The separate intended for a stress-free mounting mounting member is preferably adapted to the geometry of the mounting portion; it therefore has essentially the same geometry as the mounting section. In particular, the mounting element is annular, wherein the mounting portion is then cylindrical. In a particularly preferred embodiment, the mounting element is a coupling ring or a cap sleeve, the one or more can be plugged or pushed onto the mounting portion of the housing or a corresponding mounting portion of an external device.

Das Montageelement besteht vorzugsweise aus Metall und ist bevorzugt einstückig ausgebildet.The mounting element is preferably made of metal and is preferably formed in one piece.

Das Fixierungsmittel des Montageelements zur Herstellung der kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement und dem Montageabschnitt umfasst vorzugsweise eine sich in Richtung der externen Einrichtung erweiternde Innenfläche, die mit einer Außenfläche des Montageabschnitts eine Nut zur Aufnahme eines Dichtungsrings bildet.The fixing means of the mounting member for producing the frictional connection between the mounting member and the mounting portion preferably comprises an expanding in the direction of the external device inner surface which forms a groove for receiving a sealing ring with an outer surface of the mounting portion.

Das Fixierungsmittel des Montageelements zur Herstellung der kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement und der externen Einrichtung umfasst vorzugsweise eine sich in entgegengesetzter Richtung, d.h. in Richtung der Vakuumpumpe, erweiternde Innenfläche, die mit einer Außenfläche des Montageabschnitts der externen Einrichtung eine Nut zur Aufnahme eines Dichtungsrings bildet.The fixing means of the mounting member for making the frictional connection between the mounting member and the external device preferably comprises an opposing direction, i. in the direction of the vacuum pump, expanding inner surface which forms a groove for receiving a sealing ring with an outer surface of the mounting portion of the external device.

Das Fixierungsmittel ist bevorzugt einstückig mit dem Montageelement ausgebildet.The fixing means is preferably formed integrally with the mounting element.

Der Dichtungsring besteht vorzugsweise aus einem elastischen Werkstoff (z.B. Gummi) und wird unter elastischer Vorspannung in die Nut eingedrückt. Die Nuttiefe ist in der Regel so gewählt, dass der Dichtungsring sich bei der Vormontage (d.h. bevor die Pumpe mit der externen Einrichtung verbunden wird) nicht vollständig in den durch die Nut gebildeten Hohlraum einfügt. Mit anderen Worten, der Dichtungsring kann aus der Nut herausragen. In diesem Sinne kann es bevorzugt sein, dass die Nuttiefe geringer ist als der Querschnittsdurchmesser des Dichtungsrings.The sealing ring is preferably made of an elastic material (eg rubber) and is pressed under elastic bias in the groove. The groove depth is typically selected so that the seal ring does not fully insert into the cavity formed by the groove during pre-assembly (ie, before the pump is connected to the external device). In other words, the sealing ring can protrude out of the groove. In this sense, it may be preferred be that the groove depth is less than the cross-sectional diameter of the sealing ring.

Bei der Montage, d.h. bei der Verbindung einer externen Einrichtung mit einer Öffnung der Vakuumpumpe mit Hilfe des Montageelements, stützt sich der Dichtungsring entweder an dem Montageabschnitt (z.B. an einer Wand oder einem Flansch) der externen Einrichtung oder dem der Vakuumpumpe ab und verformt sich im Verlauf der weiteren Montage, wenn sich das Montageelement und der entsprechende Montageabschnitt aufeinander zubewegen. Dabei wird der Dichtungsring innerhalb der Nut axial komprimiert bzw. gestaucht und in radialer Richtung gestreckt. Dies bewirkt eine Klemmwirkung zwischen dem Fixierungsmittel des Montageelements und der Außenfläche des Montageabschnitts der Gehäuseöffnung oder des Montageabschnitts der externen Einrichtung. Daraus resultiert eine kraftschlüssige Verbindung.During assembly, i. when connecting an external device to an opening of the vacuum pump by means of the mounting element, the sealing ring either supports itself on the mounting section (eg on a wall or a flange) of the external device or of the vacuum pump and deforms in the course of further assembly, when the mounting member and the corresponding mounting portion move towards each other. In this case, the sealing ring is axially compressed or compressed within the groove and stretched in the radial direction. This causes a clamping action between the fixing means of the mounting member and the outer surface of the mounting portion of the housing opening or the mounting portion of the external device. This results in a frictional connection.

Die Verformbarkeit des Dichtungsrings ermöglicht einen Toleranzausgleich zwischen dem Montageelement und dem Montageabschnitt. Vibrationen während des Betriebs der Pumpe werden ebenfalls aufgefangen. Zudem bewirkt der Toleranzausgleich eine Verbesserung der Dichtigkeitseigenschaften der Pumpe, da spannungsbedingte Leckagen nicht mehr auftreten.The deformability of the sealing ring allows a tolerance compensation between the mounting member and the mounting portion. Vibrations during operation of the pump are also absorbed. In addition, the tolerance compensation causes an improvement in the sealing properties of the pump, since voltage-induced leaks no longer occur.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform handelt es sich bei der sich erweiternden Innenfläche des Fixierungsmittels um eine Fase oder eine konische Fläche. Die Fasenfläche oder die konische Fläche hat dabei einen Fasen- bzw. Konuswinkel (Neigungswinkel) zwischen 15° und 75°, bevorzugt zwischen 30° und 60°, besonders bevorzugt zwischen 40° und 50°, insbesondere von etwa 45°. Die Fasenbreite kann je nach Bauart der Pumpe beispielsweise zwischen 0,1 und 4 cm, bevorzugt zwischen 0,2 und 3 cm, besonders bevorzugt zwischen 0,3 und 2 cm, betragen.In a preferred embodiment, the expanding inner surface of the fixation means is a chamfer or conical surface. The chamfer surface or the conical surface in this case has a bevel or cone angle (inclination angle) between 15 ° and 75 °, preferably between 30 ° and 60 °, particularly preferably between 40 ° and 50 °, in particular of about 45 °. Depending on the design of the pump, the chamfer width can be, for example, between 0.1 and 4 cm, preferably between 0.2 and 3 cm, particularly preferably between 0.3 and 2 cm.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das Montageelement, insbesondere der Überwurfring, an einer Innenseite eine als Anschlag wirkende Schulter oder Radialstufe auf. Die Schulter kann beim Anbringen des Montageelements an einer komplementären Schulter oder Radialstufe des Montageabschnitts der Öffnung bzw. der externen Einrichtung anschlagen, um so eine Ausgangsposition zur Montage zu definieren. Der Dichtungsring kann in dieser Position in die gebildete Nut eingedrückt werden und verbleibt vorzugsweise in dieser Position ohne herauszuspringen.According to a further embodiment, the mounting element, in particular the coupling ring, on an inner side acting as a stop shoulder or radial step. The shoulder may abut on attachment of the mounting member to a complementary shoulder or radial step of the mounting portion of the opening or external device so as to define a home position for mounting. The sealing ring can be pressed into this position in the groove formed and preferably remains in this position without jumping out.

Gemäß einer anderen Ausführungsform weist das Montageelement Bohrungen und/oder radial verlaufende Einkerbungen zur axialen Verbindung oder Kopplung des Montageelements mit der externen Einrichtung bzw. des Montageelements mit dem Montageabschnitt der Vakuumpumpe auf. Die Bohrungen und/oder radial verlaufenden Einkerbungen sind dabei vorzugsweise gleichmäßig über den Umfang des Montageelements verteilt.According to another embodiment, the mounting element bores and / or radially extending indentations for the axial connection or coupling of the mounting member with the external device or the mounting member with the mounting portion of the vacuum pump. The bores and / or radially extending indentations are preferably distributed uniformly over the circumference of the mounting element.

Durch die Bohrungen und/oder Einkerbungen können Schrauben oder Bolzen hindurchgeführt werden, die mit der externen Einrichtung bzw. mit dem Montageabschnitt der Vakuumpumpe verschraubt werden. Es sei an dieser Stelle nochmals darauf hingewiesen, dass die Kopplung zwischen der externen Einrichtung und der Öffnung der Vakuumpumpe letztlich durch die mit Hilfe des Fixierungsmittels des Montageelements bereitgestellten Druckkräfte zustande kommt.Through the holes and / or notches screws or bolts can be passed, which are bolted to the external device or with the mounting portion of the vacuum pump. It should again be noted at this point that the coupling between the external device and the opening of the vacuum pump ultimately comes about through the pressure forces provided by the fixing means of the mounting element.

Ferner kann es vorgesehen sein, dass den Schrauben oder Bolzen Distanzhülsen zugeordnet sind, um zwischen der externen Einrichtung und der Vakuumpumpe einen optimalen Abstand zu einzustellen.Furthermore, it may be provided that the screws or bolts are assigned spacer sleeves to set an optimal distance between the external device and the vacuum pump.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung können den Bolzen und/oder Schrauben O-Ringe zugeordnet sein, welche die Schrauben und/oder Bolzen verrutschsicher oder verliersicher in den Bohrungen und/oder Einkerbungen festhalten. Diese vorzugsweise aus einem elastischen Kunststoff oder Gummi bestehenden O-Ringe können durch radial verlaufende Aussparungen oder Schlitze in dem Montageelement in die Bohrungen und/oder radial verlaufenden Einkerbungen eingeführt werden. Eine derartige Montagehilfe erleichtert die Installation der Pumpe, insbesondere wenn diese nur von einer Person durchgeführt wird.According to an advantageous development, the bolts and / or screws may be associated with O-rings, which hold the screws and / or bolts slip-proof or captive in the holes and / or notches. These preferably made of an elastic plastic or rubber O-rings can be inserted through radially extending recesses or slots in the mounting member in the holes and / or radially extending indentations. Such mounting aid facilitates the installation of the pump, especially if it is carried out by one person.

Als eine weitere Montagehilfe können der Montageabschnitt der Öffnung oder der Montageabschnitt der externen Einrichtung eine Positionierhilfe umfassen, die mit einer Montagevorrichtung der externen Einrichtung bzw. der Öffnung der Vakuumpumpe zusammenwirkt. Beispielsweise legt die Positionierhilfe eine Ausgangsposition für die Kopplung zwischen der externen Einrichtung und der Vakuumpumpe fest, bevor die Bolzen und/oder Schrauben des Montageabschnitts fixiert werden. Beispielsweise kann es sich bei der Positionierhilfe um eine axiale Auskragung des Montageabschnitts handeln, die mit einer komplementären Nut auf der Seite der externen Einrichtung zusammenwirkt. Auf diese Weise kann ein gegenseitiges Verrutschen während der Befestigung der Bolzen und/oder Schrauben verhindert werden. Die Positionierhilfe kann auch ein Zentrierabschnitt sein, der in die Öffnung der externen Einrichtung oder der Vakuumpumpe eingesteckt wird.As another mounting aid, the mounting portion of the opening or the mounting portion of the external device may include a positioning aid that cooperates with a mounting device of the external device or the opening of the vacuum pump. For example, the positioning aid sets a starting position for the coupling between the external device and the vacuum pump before the bolts and / or screws of the mounting section are fixed. For example, the positioning aid may be an axial projection of the mounting portion which cooperates with a complementary groove on the side of the external device. In this way mutual slippage during attachment of the bolts and / or screws can be prevented. The positioning aid may also be a centering portion which is inserted into the opening of the external device or the vacuum pump.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Vakuumpumpe ist eine erste Öffnung, insbesondere ein erster Einlass, in Bezug auf eine Drehachse einer in dem Gehäuse angeordneten Pumpstufe an einer axialen Stirnseite der Vakuumpumpe angeordnet (axiale Öffnung). Ferner weist das Gehäuse zumindest eine zweite Öffnung, insbesondere einen zweiten Einlass, auf, die an einer in Bezug auf die Drehachse radialen Seitenwand des Gehäuses angeordnet ist (radiale Öffnung).According to a preferred embodiment of the vacuum pump, a first opening, in particular a first inlet, is arranged on an axial end face of the vacuum pump (axial opening) with respect to an axis of rotation of a pumping stage arranged in the housing. Furthermore, the housing has at least one second opening, in particular a second inlet, which is arranged on a radial side wall of the housing relative to the axis of rotation (radial opening).

Die Kopplung an eine externe Einrichtung ist dabei an der ersten und/oder an der zweiten Öffnung mit Hilfe des separaten Montageelements, insbesondere Überwurfring, möglich. Vorzugsweise weisen beide Öffnungen einen eine Montageebene definierenden Montageabschnitt auf, wobei die Montageebenen der Öffnungen vorzugsweise senkrecht zueinander angeordnet sind.The coupling to an external device is possible at the first and / or at the second opening with the aid of the separate mounting element, in particular coupling ring. Preferably, both openings have a mounting plane defining mounting portion, wherein the mounting planes of the openings are preferably arranged perpendicular to each other.

Ferner kann es vorgesehen sein, dass die Vakuumpumpe neben der axialen Öffnung zwei oder mehr radial angeordnete Öffnungen, insbesondere Einlässe, aufweist. In einer bevorzugten Ausführungsform ist zwischen den radialen Öffnungen zumindest eine Pumpstufe angeordnet, besonders bevorzugt ist die Anordnung von zwei Pumpstufen.Furthermore, provision may be made for the vacuum pump to have, in addition to the axial opening, two or more radially arranged openings, in particular inlets. In a preferred embodiment, at least one pump stage is arranged between the radial openings, the arrangement of two pump stages being particularly preferred.

Unter einer Pumpstufe einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, soll vorliegend insbesondere eine Anordnung aus zumindest je einer Rotor- und Statorscheibe verstanden werden, die einer Rotorwelle zugeordnet sind. Die Rotorscheiben sind beispielsweise im Einzelsägeverfahren hergestellt und auf die Rotorwelle gefügt. Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, enthält üblicherweise mehrere Pumpstufen von in Reihe oder hintereinander paarweise angeordneten Rotor- und Statorscheiben. Jede Pumpstufe kann, wenn sie einem Einlass der Pumpe zugeordnet ist, einen bestimmten Druck in einem an den Einlass angeschlossenen Rezipienten bereitstellen, wobei dieser Druck für Pumpstufen in Richtung des Pumpenauslasses zunimmt. Bei einer Pumpstufe kann es sich auch um eine Vorvakuumpumpe, insbesondere Molekularpumpstufe, beispielsweise Holweck-Pumpstufe oder Siegbahn-Pumpstufe, handeln. Die Lagerung der Rotorwelle ist in der Regel - aber nicht zwingend - eine Hybridlagerung, beispielsweise mit einem Kugellager auf einer Auslass- oder Vorvakuumseite und einem Magnetlager auf einer Hochvakuumseite der Pumpe.In the present case, a pumping stage of a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, is to be understood in particular to mean an arrangement of at least one respective rotor and stator disk, which are assigned to a rotor shaft. The rotor disks are produced, for example, in a single-saw process and joined to the rotor shaft. A vacuum pump, in particular turbomolecular pump, usually contains a plurality of pump stages of rotor and stator disks arranged in pairs or in pairs. Each pumping stage, when associated with an inlet of the pump, may provide a certain pressure in a recipient connected to the inlet, which pressure increases for pumping stages towards the pump outlet. A pumping stage can also be a backing pump, in particular a molecular pumping stage, for example a Holweck pumping stage or Siegbahn pumping stage. The bearing of the rotor shaft is usually - but not necessarily - a hybrid storage, for example with a ball bearing on an outlet or pre-vacuum side and a magnetic bearing on a high-vacuum side of the pump.

Vakuumpumpen mit zwei oder mehreren, insbesondere radial angeordneten, Einlässen, die auch als Splitflow-Vakuumpumpen bezeichnet werden, ermöglichen das Evakuieren von mehreren, insbesondere in Reihe hintereinander angeordneten, Rezipienten mit unterschiedlichen, dort herrschenden Drücken. Derartige Pumpen enthalten typischerweise zwei bis sechs Einlässe, die entlang der Drehachse der Pumpe voneinander beabstandet angeordnet sind. Die Vakuumpumpen bestehen üblicherweise aus einem Stapel von hintereinander geschalteten Pumpstufen innerhalb des Gehäuses. In der Regel umfassen die Pumpstufen eine Turbomolekulareinheit mit zumindest einem Satz Rotor- und Statorscheiben und gegebenenfalls eine oder mehrere Vorvakuumpumpen. Typischerweise stehen die höchste Pumpgeschwindigkeit und der niedrigste Druckbereich am ersten, d.h. am allen weiteren Einlässen vorgeschalteten Einlass zur Verfügung. Die nachgeschalteten Einlässe befinden sich entsprechend ihrer Reihenfolge in höheren Druckbereichen und liefern niedrigere Pumpgeschwindigkeiten.Vacuum pumps with two or more, in particular radially arranged, inlets, which are also referred to as split-flow vacuum pumps, allow the evacuation of several, in particular in series successively arranged, recipients with different, there prevailing pressures. Such pumps typically include two to six inlets along the axis of rotation The pump are arranged spaced from each other. The vacuum pumps usually consist of a stack of successively connected pumping stages within the housing. As a rule, the pumping stages comprise a turbomolecular unit with at least one set of rotor and stator disks and optionally one or more backing pumps. Typically, the highest pumping speed and the lowest pressure range are available at the first intake, ie at all other inlets. The downstream inlets are in higher pressure ranges according to their order and provide lower pumping speeds.

Gemäß einer Ausführungsform ist das Kompressionsverhältnis - beispielsweise für Stickstoff - zwischen zwei radial angeordneten Öffnungen der Pumpe größer als 10, insbesondere größer oder gleich 100.According to one embodiment, the compression ratio - for example for nitrogen - between two radially arranged openings of the pump is greater than 10, in particular greater than or equal to 100.

Des Weiteren kann es bevorzugt sein, wenn zumindest zwei radial angeordnete Öffnungen zumindest abschnittsweise von einem gemeinsamen, eine Montageebene definierenden Montageabschnitt umgeben sind.Furthermore, it may be preferred if at least two radially arranged openings are surrounded at least in sections by a common mounting section defining a mounting plane.

Die Abdichtung der beiden radial angeordneten Öffnungen gegeneinander kann derart erfolgen, dass ein erstes Dichtmittel, insbesondere ein erster Dichtring, beide Öffnungen umgibt, während ein zweites Dichtmittel, insbesondere ein zweiter Dichtring, nur eine der beiden Öffnungen umgibt. Auf diese Weise lässt sich der Abstand zwischen den beiden radial angeordneten Öffnungen minimieren, da nur ein Dichtmittel zwischen den Öffnungen angeordnet ist. Die gesamte axiale Baulänge der Pumpe kann so verringert werden.The two radially arranged openings can be sealed against one another such that a first sealing means, in particular a first sealing ring, surrounds both openings, while a second sealing means, in particular a second sealing ring, surrounds only one of the two openings. In this way, the distance between the two radially arranged openings can be minimized since only one sealing means is arranged between the openings. The entire axial length of the pump can be reduced.

Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere gemäß einer der vorstehend beschrieben Ausführungsformen, die ein Gehäuse mit zumindest einer mit einer Öffnung einer externen Einrichtung, insbesondere Rezipient, verbindbare Öffnung umfasst, wobei die Öffnung zumindest abschnittsweise von einer eine Montageebene definierenden Montageeinrichtung umgeben ist. Ferner umfasst die Vakuumpumpe jeweils zumindest ein Dämpfungselement umfassende Befestigungselemente, insbesondere Schrauben und/ oder Bolzen, zur spannungsfreien Verbindung der Montageeinrichtung mit der externen Einrichtung.Another aspect of the invention relates to a vacuum pump, in particular according to one of the embodiments described above, comprising a housing having at least one opening connectable to an external device, in particular a recipient, connectable opening, the opening at least in sections is surrounded by a mounting device defining a mounting plane. Furthermore, the vacuum pump in each case comprises at least one damping element comprising fastening elements, in particular screws and / or bolts, for the tension-free connection of the mounting device with the external device.

Bei der Montageeinrichtung kann es sich insbesondere um den zuvor beschriebenen Montageabschnitt handeln, der vorzugsweise zylinderförmig ausgebildet ist. Bevorzugt handelt es sich jedoch bei der Montageeinrichtung, insbesondere bei radial angeordneten Öffnungen, um eine zumindest eine Öffnung umgebende Plattform, welche mit einer Öffnungsfläche der Öffnung eine Ebene bildet. Die Plattform kann dabei eine Fläche aufweisen, die um ein Mehrfaches größer ist als die Fläche der von der Plattform umgebenen Öffnung. Die Geometrie der Plattform ist grundsätzlich beliebig, vorzugweise jedoch rechteckig oder rund.The mounting device may in particular be the mounting section described above, which is preferably cylindrical. Preferably, however, in the case of the mounting device, in particular in the case of radially arranged openings, there is a platform surrounding at least one opening, which forms a plane with an opening area of the opening. The platform may have an area that is several times larger than the area of the opening surrounded by the platform. The geometry of the platform is basically arbitrary, but preferably rectangular or round.

Es ist auch denkbar, dass die externe Einrichtung, insbesondere eine Öffnung der externen Einrichtung, eine Montageeinrichtung der vorstehend beschriebenen Art aufweist, um mit Hilfe der Befestigungselemente mit der Öffnung einer Vakuumpumpe verbunden zu werden.It is also conceivable that the external device, in particular an opening of the external device, a mounting device of the type described above, to be connected by means of the fasteners with the opening of a vacuum pump.

Das Dämpfungselement bewirkt bei der Kopplung der der Pumpenöffnung zugeordneten Montageeinrichtung an einer externe Einrichtung (oder umgekehrt) einen Toleranzausgleich.The damping element causes in the coupling of the pump opening associated assembly device to an external device (or vice versa) tolerance compensation.

Das Dämpfungselement umgibt vorzugsweise einen Befestigungsabschnitt des Befestigungselements zumindest abschnittsweise. Bevorzugt umfasst das Dämpfungselement eine Hülse und/oder zumindest einen O-Ring. Insbesondere handelt es sich bei dem Dämpfungselement um eine Hülse und/oder einen O-Ring. Vorzugsweise besteht das Dämpfungselement aus einem Elastomer, insbesondere aus einem elastischen Werkstoff, und weist vorzugsweise eine Shore-Härte zwischen 70 und 95 auf.The damping element preferably surrounds a fastening section of the fastening element at least in sections. Preferably, the damping element comprises a sleeve and / or at least one O-ring. In particular, the damping element is a sleeve and / or an O-ring. Preferably, the damping element consists of an elastomer, in particular of an elastic material, and preferably has a Shore hardness between 70 and 95.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform handelt es sich bei dem Befestigungselement um eine Schraube und/oder Bolzen, die bzw. der unterhalb des Schrauben- bzw. Bolzenkopfes zumindest abschnittsweise von einer Hülse umgeben ist, wobei zumindest einem Ende der Hülse ein O-Ring zugeordnet ist. Vorzugsweise wird die Hülse an ihren beiden Enden von O-Ringen flankiert. Die Hülse und der oder die O-Ringe können dabei unterschiedliche Elastizitäten aufweisen.According to a preferred embodiment, the fastening element is a screw and / or bolt, which is surrounded at least in sections by a sleeve below the screw or bolt head, wherein at least one end of the sleeve is assigned an O-ring. Preferably, the sleeve is flanked at both ends by O-rings. The sleeve and the or the O-rings may have different elasticities.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist die Montageeinrichtung Bohrungen und/oder seitliche Einkerbungen zur axialen Verbindung mit der externen Einrichtung auf. Vorzugsweise ist den Bohrungen und/oder den seitlichen Einkerbungen dabei jeweils bereits ein Dämpfungselement, insbesondere eine Hülse und/oder zumindest ein O-Ring zugeordnet. Der O-Ring und/oder die Hülse können dabei auch als Verlier- bzw. Verrutschsicherung für die Befestigungsmittel fungieren. Ferner kann die Hülse auch als Distanzhülse fungieren, um einen gewünschten Abstand zwischen externer Einrichtung und Montageeinrichtung einzustellen.According to a further embodiment, the mounting device bores and / or lateral notches for axial connection with the external device. In each case, a damping element, in particular a sleeve and / or at least one O-ring, is associated with the bores and / or the lateral notches. The O-ring and / or the sleeve can also act as a loss or slip protection for the fastener. Furthermore, the sleeve can also function as a spacer sleeve to set a desired distance between the external device and mounting device.

Besonders vorteilhaft kann es sein, wenn die Hülse einen inneren Mantel und einen äußeren Mantel umfasst, wobei die Mäntel eine voneinander verschiedene Elastizität aufweisen. Vorzugsweise ist dabei der innere Mantel elastischer als der äußere.It may be particularly advantageous if the sleeve comprises an inner shell and an outer shell, wherein the shells have a different elasticity from each other. Preferably, the inner jacket is more elastic than the outer.

Eine bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe umfasst eine axial angeordnete Öffnung, insbesondere Einlass, deren Montageabschnitt mit Hilfe des separaten Montageelements an eine externe Einrichtung koppelbar ist. Ferner weist die Vakuumpumpe zumindest zwei radial angeordneteA preferred embodiment of a vacuum pump according to the invention comprises an axially arranged opening, in particular inlet, whose mounting section can be coupled to an external device by means of the separate mounting element. Furthermore, the vacuum pump has at least two radially arranged

Öffnungen auf, insbesondere Einlässe, die gemeinsam von einer Montageeinrichtung zumindest abschnittsweise umgeben sind. Die Montageeinrichtung ist dabei mit zumindest einem ein Dämpfungselement umfassendes Befestigungselement, insbesondere eine Schraube und/oder ein Bolzen, an eine externe Einrichtung koppelbar. Die Montageebenen, welche durch den Montageabschnitt der axialen Öffnung einerseits und die Montageeinrichtung der radialen Öffnungen andererseits definiert werden, sind senkrecht zueinander angeordnet. Auf diese Weise ist es mit besonderem Vorteil möglich, die Vakuumpumpe spannungsfrei an die jeweiligen externen Einrichtungen zu koppeln, unabhängig davon, welche Öffnung zuerst gekoppelt wird.Openings, in particular inlets, which are at least partially surrounded by a mounting device together. The mounting device is coupled with at least one damping element comprehensive fastening element, in particular a screw and / or a bolt to an external device. The mounting planes, which are defined by the mounting portion of the axial opening on the one hand and the mounting means of the radial openings on the other hand, are arranged perpendicular to each other. In this way, it is particularly advantageous possible to couple the vacuum pump voltage-free to the respective external devices, regardless of which opening is coupled first.

Bei der Kopplung der Vakuumpumpe an eine oder mehrere externe Einrichtungen kann es vorgesehen sein, dass Teile der Vakuumpumpe, insbesondere ein Montageabschnitt und/oder eine Montageeinrichtung, von einem Gehäuse der externen Einrichtung umschlossen werden. Mit anderen Worten, Teile der Vakuumpumpe, insbesondere stirnseitig gelegene Teile, können in das Gehäuse einer externen Einrichtung hineinragen. Beispielsweise kann dies mit Montageabschnitten und/oder Montageeinrichtungen bewerkstelligt werden, die gegenüber der externen Einrichtung zurückversetzt sind.When coupling the vacuum pump to one or more external devices, it can be provided that parts of the vacuum pump, in particular a mounting section and / or a mounting device, are enclosed by a housing of the external device. In other words, parts of the vacuum pump, in particular frontal parts, may protrude into the housing of an external device. For example, this can be accomplished with mounting sections and / or mounting devices that are recessed from the external device.

Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft ein Vakuumsystem mit mehreren externen Einrichtungen, insbesondere Rezipienten, und zumindest einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe, wobei zumindest eine externe Einrichtung mit einer Öffnung, insbesondere Einlass, der Pumpe spannungsfrei gekoppelt ist.Another aspect of the invention relates to a vacuum system with a plurality of external devices, in particular receptacles, and at least one vacuum pump according to the invention, wherein at least one external device with an opening, in particular inlet, the voltage is coupled to the pump.

Die vorstehenden und weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden anhand der nachstehenden Beschreibung beispielhafter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen, in der identische Bezugszeichen zur Darstellung identischer Elemente verwendet werden, näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1A
eine Vakuumpumpe gemäß einer Ausführungsform der Erfindung in schematischer Darstellung im Teilquerschnitt,
Fig. 1B
eine Detailansicht eines Bereichs der Vakuumpumpe aus der Fig. 1A,
Fig. 1C
eine Detailansicht einer externen Einrichtung mit Montageelement,
Fig. 2A
die Vakuumpumpe gemäß Fig. 1A im montagebereiten Zustand in schematischer Darstellung im Teilquerschnitt,
Fig. 2B
eine Detailansicht eines Bereichs der Vakuumpumpe aus der Fig. 2A,
Fig. 3A
eine Vakuumpumpe gemäß einer Ausführungsform der Erfindung in schematischer Darstellung im Teilquerschnitt,
Fig. 3B
eine Detailansicht eines Bereichs der Vakuumpumpe aus der Fig. 3A,
Fig. 4
die Vakuumpumpe gemäß Fig. 3A in schematischer Darstellung im Teilquerschnitt, und
Fig. 5
eine Außenansicht der Vakuumpumpe gemäß Fig. 3A in schematischer Darstellung.
The foregoing and other features and advantages of the invention will become more apparent from the following description of exemplary embodiments with reference to the accompanying drawings, in which identical reference numerals are used to represent identical elements. Show it:
Fig. 1A
a vacuum pump according to an embodiment of the invention in a schematic representation in partial cross-section,
Fig. 1B
a detailed view of a portion of the vacuum pump from the Fig. 1A .
Fig. 1C
a detailed view of an external device with mounting element,
Fig. 2A
the vacuum pump according to Fig. 1A in ready to install state in a schematic representation in the partial cross section,
Fig. 2B
a detailed view of a portion of the vacuum pump from the Fig. 2A .
Fig. 3A
a vacuum pump according to an embodiment of the invention in a schematic representation in partial cross-section,
Fig. 3B
a detailed view of a portion of the vacuum pump from the Fig. 3A .
Fig. 4
the vacuum pump according to Fig. 3A in a schematic representation in partial cross-section, and
Fig. 5
an outside view of the vacuum pump according to Fig. 3A in a schematic representation.

Die Fig. 1A zeigt eine Vakuumpumpe 10 mit einem Gehäuse 12. Innerhalb des Gehäuses 12 und nicht sichtbar sind zumindest drei Pumpstufen angeordnet, die einer gemeinsamen Rotorwelle zugeordnet sind. Die Rotorwelle definiert zugleich eine Drehachse A. Die Vakuumpumpe 10 hat an ihrer axialen Stirnseite 11 eine axiale Öffnung 14 und an ihrer radialen Seitenwand 13 zwei radiale Öffnungen 15a, 15b. Bei den Öffnungen 14, 15a, 15b handelt es sich um Einlässe, denen jeweils eine Pumpstufe zugeordnet ist. Entsprechend handelt es sich bei der Vakuumpumpe 10 um eine Splitflow-Vakuumpumpe, die das Pumpen von drei an die Öffnungen 14, 15a, 15b anschließbare Rezipienten ermöglicht, in denen unterschiedliche Drücken herrschen.The Fig. 1A shows a vacuum pump 10 with a housing 12. Within the housing 12 and not visible at least three pumping stages are arranged, which are assigned to a common rotor shaft. The rotor shaft also defines an axis of rotation A. The vacuum pump 10 has at its axial end face 11 an axial opening 14 and at its radial side wall 13 two radial openings 15a, 15b. The openings 14, 15a, 15b are inlets, to each of which a pumping stage is assigned. Correspondingly, the vacuum pump 10 is a split-flow vacuum pump, which enables the pumping of three receivers, which can be connected to the openings 14, 15a, 15b, in which different pressures prevail.

Im Bereich der axialen Stirnseite 11 und im Bereich von Teilen der radialen Seitenwand 13 ist die Vakuumpumpe 10 im Querschnitt dargestellt. Die Öffnung 14 weist einen runden Querschnitt auf und ist von einem zylinderförmigen Montageabschnitt 18 umgeben, der eine Montageebene 16 definiert. Auf den Montageabschnitt 18 ist ein Montageelement 20a zur spannungsfreien Kopplung mit einem Rezipienten aufgesteckt. Bei dem Montageelement 20a handelt es sich um einen Überwurfring, der an seiner Innenseite eine Schulter 34 aufweist, die an einer an einer Außenfläche 26 des Montageabschnitts 18 ausgebildeten Schulter 35 anschlagen kann (siehe auch Fig. 1 B). Das Montageelement 20a umfasst ferner ein Fixierungsmittel 22a zur Herstellung einer kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement 20a und dem Montageabschnitt 18.In the region of the axial end face 11 and in the region of parts of the radial side wall 13, the vacuum pump 10 is shown in cross section. The opening 14 has a round cross-section and is surrounded by a cylindrical mounting portion 18 which defines a mounting plane 16. On the mounting portion 18, a mounting member 20a is plugged for stress-free coupling with a recipient. The mounting element 20a is a coupling ring which has on its inside a shoulder 34 which can abut against a shoulder 35 formed on an outer surface 26 of the mounting section 18 (see also FIG Fig. 1 B) , The mounting member 20a further comprises a fixing means 22a for producing a frictional connection between the mounting member 20a and the mounting portion 18th

Bei dem Fixierungsmittel 22a, das detailliert in einer Detailansicht in Fig. 1 B dargestellt ist, handelt es sich um eine angefaste Innenkante des Montageelements 20a mit einer sich in Richtung zu der externen Einrichtung hin erweiternden Innenfläche 24. Der Phasenwinkel bzw. der Neigungswinkel der Innenfläche 24 beträgt in etwa 45°, kann bei Bedarf jedoch größer oder kleiner gewählt werden. Die Innenfläche 24 bildet zusammen mit der Außenfläche 26 des Montageabschnitts 18 eine Nut 28, in welcher ein Dichtungsring 30 angeordnet ist. Der Dichtungsring 30 besteht aus einem Elastomer und weist beispielsweise eine Shore-Härte zwischen 70 und 95 auf.In the fixing means 22a, which is detailed in detail in FIG Fig. 1 B is shown, it is a chamfered inner edge of the mounting member 20a with a widening toward the external device towards the inner surface 24. The phase angle or the inclination angle of the inner surface 24 is approximately 45 °, but can be selected larger or smaller if necessary become. The inner surface 24, together with the outer surface 26 of the mounting portion 18, a groove 28 in which a sealing ring 30 is arranged. The sealing ring 30 is made of an elastomer and has for example a Shore hardness between 70 and 95.

Die Fig. 1 C zeigt eine Detailansicht einer externen Einrichtung 70 mit einem Montageelement 20b, das mit dem Montageabschnitt einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe (nicht dargestellt) koppelbar ist. Eine Öffnung 71 der externen Einrichtung 70 ist von einem Montageabschnitt 73 umgeben, auf den das Montageelement 20b aufgesteckt ist. Das Montageelement 20b umfasst ein Fixierungsmittel 22b zur Herstellung einer kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement 20b und dem Montageabschnitt 73 der externen Einrichtung 70. Das Fixierungsmittel 22b bildet mit einer Außenfläche 72 des Montageabschnitts 73 eine Nut 28, in welcher ein Dichtungsring 30 angeordnet ist. Bezüglich der Ausgestaltung des Fixierungsmittels 22b kann auf die vorstehenden Ausführungen verwiesen werden.The Fig. 1 C shows a detailed view of an external device 70 with a mounting member 20b, with the mounting portion of a vacuum pump according to the invention (not shown) can be coupled. An opening 71 of the external device 70 is surrounded by a mounting portion 73, on which the mounting member 20b is attached. The mounting member 20b comprises a fixing means 22b for establishing a frictional connection between the mounting member 20b and the mounting portion 73 of the external device 70. The fixing means 22b forms with an outer surface 72 of the mounting portion 73 a groove 28 in which a sealing ring 30 is arranged. With regard to the configuration of the fixing means 22b, reference may be made to the above statements.

Das Montageelement 20a umfasst insgesamt vier Bohrungen 36, denen jeweils ein Schlitz 38 zugeordnet ist, der sich von einer Außenseite des Montageelements 20a radial bis zur Bohrung 36 erstreckt. Fig. 2A zeigt einen Teilquerschnitt einer der Bohrungen 36 der Vakuumpumpe 10 aus Fig. 1A. Eine Detailansicht dieses Querschnitts ist in der Fig. 2B dargestellt. Die Vakuumpumpe 10 gemäß Fig. 2A ist in einem montagebereiten Zustand, da sich in den Bohrungen 36 bereits Schrauben 39 befinden. In der Fig. 2B gut zu erkennen ist ein O-Ring 40, der durch den Schlitz 38 in die Bohrung 36 eingeführt wurde, bevor die Schraube 52 in der Bohrung 36 versenkt wird. Wird die Schraube 39 in die Bohrung 36 und durch den O-Ring 40, verhindert Letzterer das Verrutschen oder das Herausfallen der Schraube 39 bei der Montage. Das Montageelement 20b gemäß Fig. 1C kann entsprechend ausgestaltet sein.The mounting member 20a comprises a total of four holes 36, which in each case a slot 38 is assigned, which extends from an outer side of the mounting member 20a radially to the bore 36. Fig. 2A shows a partial cross section of one of the bores 36 of the vacuum pump 10 from Fig. 1A , A detailed view of this cross section is in the Fig. 2B shown. The vacuum pump 10 according to Fig. 2A is in a ready-to-mount state, since screws 39 are already in the holes 36. In the Fig. 2B Good to see is an O-ring 40 which has been inserted through the slot 38 in the bore 36 before the screw 52 is sunk in the bore 36. If the screw 39 in the bore 36 and through the O-ring 40, the latter prevents slipping or falling out of the screw 39 during assembly. The mounting member 20b according to Fig. 1C can be designed accordingly.

Die Pumpe 10 gemäß den Figs. 1A, 1B und 2A, 2B weist ferner eine Montageeinrichtung 46b auf, welche die Öffnungen 15a, 15b umgibt. Die Montageeinrichtung 46b definiert eine Montageebene 44b, die im vorliegenden Ausführungsbeispiel senkrecht zu der Montageebene 16 angeordnet ist (andere relative Lagen der Ebenen 16, 44b sind durchaus denkbar). Die Montageeinrichtung 46b wird unten näher beschrieben.The pump 10 according to the Figs. 1A, 1B and 2A, 2B also has a mounting device 46b, which surrounds the openings 15a, 15b. The mounting device 46b defines a mounting plane 44b, which is arranged perpendicular to the mounting plane 16 in the present embodiment (other relative positions of the planes 16, 44b are quite conceivable). The mounting device 46b will be described in more detail below.

Bei der Montage, d.h. bei der Verbindung der Öffnung 14 der Vakuumpumpe 10 mit einer Öffnung einer externen Einrichtung, wird das Montageelement 20a mittels der Schrauben 39 mit einem Flansch oder einer Wand der externen Einrichtung verschraubt. Die externe Einrichtung bewegt sich dabei - aus Sicht der Pumpe 10 gesehen - auf das Montageelement 20a zu, und der aus der Nut 28 hervorstehende Dichtungsring 30 wird bei weiterer Annäherung in axialer Richtung komprimiert. In radialer Richtung wird der Dichtungsring 30 gedehnt, was zu einer Klemmwirkung zwischen dem Fixierungsmittel 22a des Montageelements 20a und der Außenfläche 26 des Montageabschnitts 18 der Vakuumpumpe 10 führt. Diese rein kraftschlüssige Verbindung zwischen dem Montageelement 20a und dem Montageabschnitt 18 hält die Vakuumpumpe 10 gegenüber der externen Einrichtung an ihrem Platz. Die Flexibilität des Dichtungsrings 30 bewirkt zudem einen Toleranzausgleich in Bezug auf den Winkel, den die Vakuumpumpe 10 relativ zu der externen Einrichtung einnehmen muss. Mit anderen Worten, eine gewisse Fehlstellung - montagebedingt und/oder vibrationsbedingt - wird durch den Dichtungsring 30 aufgefangen und ausgeglichen, ohne zu Lasten der Dichtigkeitseigenschaften der Verbindung zu gehen.During assembly, i. in the connection of the opening 14 of the vacuum pump 10 with an opening of an external device, the mounting member 20a is screwed by means of the screws 39 with a flange or a wall of the external device. The external device moves - seen from the viewpoint of the pump 10 - to the mounting member 20a, and protruding from the groove 28 sealing ring 30 is compressed on further approach in the axial direction. In the radial direction of the sealing ring 30 is stretched, resulting in a clamping action between the fixing means 22 a of the mounting member 20 a and the outer surface 26 of the mounting portion 18 of the vacuum pump 10. This purely frictional connection between the mounting member 20a and the mounting portion 18 keeps the vacuum pump 10 in place relative to the external device. The flexibility of the seal ring 30 also provides a tolerance compensation with respect to the angle that the vacuum pump 10 must occupy relative to the external device. In other words, a certain misalignment - due to mounting and / or vibration - is absorbed and compensated by the sealing ring 30, without sacrificing the tightness properties of the compound.

Die Verbindung der externen Einrichtung 70 mit einer Vakuumpumpe verläuft analog, nur dass hier das Montageelement 20b mit dem Montageabschnitt der Vakuumpumpe verschraubt wird. Hierfür ist beispielsweise ein Flansch an der Pumpe 10 vorgesehen. Durch das Verschrauben wird wieder eine kraftschlüssige Verbindung zwischen dem Montageelement 20b und dem Montageabschnitt 73 der externen Einrichtung 70, welche dieselben Toleranzeigenschaften aufweist wie die zuvor beschriebene Verbindung.The connection of the external device 70 with a vacuum pump is analogous, except that here the mounting member 20b is screwed to the mounting portion of the vacuum pump. For this example, a flange on the pump 10 is provided. By screwing again a frictional connection between the mounting member 20b and the mounting portion 73 of the external device 70, which has the same tolerances as the previously described compound.

Fig. 3A zeigt eine erfindungsgemäße Vakuumpumpe 100, die sich von der zuvor beschriebenen Vakuumpumpe 10 durch die Art der Verbindungsmittel unterscheidet, mit welchen die axiale Öffnung 14 mit einer externen Einrichtung gekoppelt wird. In Bezug auf die übrigen Merkmale der Vakuumpumpe 100 kann auf die vorherigen Ausführungen verwiesen werden. Fig. 3A shows a vacuum pump 100 according to the invention, which differs from the previously described vacuum pump 10 by the nature of the connecting means with which the axial opening 14 coupled to an external device becomes. With respect to the remaining features of the vacuum pump 100, reference may be made to the previous embodiments.

Die Vakuumpumpe 100 umfasst eine Montageeinrichtung 46a, welche die axiale Öffnung 14 umgibt und eine Montageebene 44a definiert. Ferner umfasst die Vakuumpumpe 100 eine weitere Montageeinrichtung 46b, welche die radialen Öffnungen 15a, 15b (nicht sichtbar) umgibt und eine Montageebene 44b definiert. Die Montageebenen 44a, 44b sind senkrecht zueinander angeordnet (andere relative Lagen der Ebenen 44a, 44b sind durchaus denkbar).The vacuum pump 100 includes a mounting device 46a that surrounds the axial opening 14 and defines a mounting plane 44a. Furthermore, the vacuum pump 100 comprises a further mounting device 46b, which surrounds the radial openings 15a, 15b (not visible) and defines a mounting plane 44b. The mounting planes 44a, 44b are arranged perpendicular to each other (other relative positions of the planes 44a, 44b are quite conceivable).

Die Montageeinrichtung 46a weist vier Bohrungen 54 auf, von denen darstellungsbedingt nur zwei sichtbar sind. Die den radialen Öffnungen 15a, 15b zugeordnete Montageeinrichtung 46b weist insgesamt vier Einkerbungen 56 auf, von denen darstellungsbedingt ebenfalls nur zwei sichtbar sind. Jeder Bohrung 54 und jeder Einkerbung 56 ist ein Befestigungselement 50, im vorliegenden Fall Schrauben 52, zugeordnet.The mounting device 46a has four holes 54, of which only two are visible due to the presentation. The mounting means 46b associated with the radial openings 15a, 15b has a total of four notches 56, of which only two are visible due to the illustration. Each bore 54 and each notch 56 is a fastener 50, in the present case screws 52 assigned.

Die Schrauben 52 sind abschnittsweise von einem Dämpfungselement 47 umgeben, das eine spannungsfreie Verbindung mit einer externen Einrichtung ermöglicht. Das Dämpfungselement 47, welches die Schrauben 52 der Montageeinrichtung 46b abschnittsweise umgibt, umfasst zwei O-Ringe 49 und eine zwischen den O-Ringen 49 angeordnete Hülse 48. Die Schrauben 52 der Montageeinrichtung 46a sind von einem Dämpfungselement 47 abschnittsweise umgeben, welches eine Hülse 48 und nur einen O-Ring 49 umfasst. Anstelle der O-Ringe 49 können bedarfsweise auch Ringe mit rechteckigem Querschnitt verwendet werden.The screws 52 are partially surrounded by a damping element 47, which allows a voltage-free connection with an external device. The damping element 47, which surrounds the screws 52 of the mounting device 46b in sections, comprises two O-rings 49 and arranged between the O-rings 49 sleeve 48. The screws 52 of the mounting device 46a are surrounded by a damping element 47 in sections, which a sleeve 48th and only one O-ring 49 includes. Instead of the O-rings 49, rings with a rectangular cross-section can be used if necessary.

Die Detailansicht einer von einer Einkerbung 56 der Montageeinrichtung 46b aufgenommenen Schraube 52 mit einer longitudinalen Achse AS gemäß Fig. 3B zeigt, dass ein dem Schraubenkopf 53 zugeordneter O-Ring 49 an einer Seite 57 der Montageeinrichtung 46b anliegt. Ein dem Schraubenende 55 zugeordneter O-Ring 49 ist teilweise in einer die seitliche Einkerbung 56 abschnittsweise umgebenden Aussparung 58 auf der der Seite 57 gegenüberliegenden Seite 59 der Montageeinrichtung 46b angeordnet. Der dem Schraubenkopf 53 zugeordnete O-Ring 49 hat eine rechteckige Querschnittsfläche und ist breiter als der dem Schraubenende 55 zugeordnete O-Ring 49, welcher eine runde Querschnittsfläche aufweist. Zwischen den beiden O-Ringen 49 ist eine Hülse 48 angeordnet, die zugleich als Distanzhülse fungiert und so ein übermäßiges Verpressen der O-Ringe 49 bei der Montage verhindert. Sowohl die O-Ringe 49 als auch die Hülse 48 - ggf. auch das Dämpfungselement 47 - bestehen beispielsweise aus einem Elastomer, der insbesondere eine Shore-Härte zwischen 70 und 95 aufweist.The detailed view of a screw 52 received by a notch 56 of the mounting device 46b with a longitudinal axis A S according to FIG Fig. 3B shows that an associated with the screw head 53 O-ring 49 on one side 57 of Mounting device 46b is applied. An O-ring 49 assigned to the end of the screw 55 is partially arranged in a recess 58, which partially surrounds the lateral notch 56, on the side 57 of the mounting device 46b opposite the side 57. The screw head 53 associated O-ring 49 has a rectangular cross-sectional area and is wider than the end of the screw 55 associated O-ring 49, which has a round cross-sectional area. Between the two O-rings 49, a sleeve 48 is arranged, which also acts as a spacer sleeve and thus prevents excessive compression of the O-rings 49 during assembly. Both the O-rings 49 and the sleeve 48 - possibly also the damping element 47 - consist for example of an elastomer, which in particular has a Shore hardness between 70 and 95.

Grundsätzlich ist für eine spannungsfreie Verschraubung bei der Montage erforderlich, dass die longitudinale Schraubenachse AS mit einer longitudinalen Achse der entsprechenden Bohrungen bzw. der Bohrkanäle (d.h. von externer Einrichtung und Vakuumpumpe 100) zusammenfällt. Das die Schrauben 52 abschnittsweise umgebende Dämpfungselement 47 führt in Bezug auf diese Anforderung eine gewisse Toleranz ein. Bei Verschraubungen der Pumpe 100 an mehreren Punkten ist ein exaktes Zusammenfallen der oben genannten Achsen in vielen Fällen kaum realisierbar. Das die Schrauben 52 teilweise umgebende Dämpfungselement 47 ist aufgrund seiner Elastizität in der Lage, durch Materialfehler/Vibration bedingte und/oder während der Montage auftretende Schräglagen der Schrauben 52 in den Bohrungen 54 zu kompensieren, ohne dass dabei die Dichtigkeit der Verbindung beeinträchtigt wird.Basically, for a stress-free fitting during assembly, it is necessary for the longitudinal screw axis A S to coincide with a longitudinal axis of the corresponding bores or bores (ie, external device and vacuum pump 100). The damping elements 47 surrounding the screws 52 in sections introduce a certain tolerance with respect to this requirement. When screwing the pump 100 at several points an exact coincidence of the above axes in many cases is hardly feasible. Due to its elasticity, the damping element 47 partially surrounding the screws 52 is able to compensate for inclinations of the screws 52 in the bores 54 caused by material defects / vibration and / or occurring during installation, without impairing the tightness of the connection.

Fig. 4 zeigt die Vakuumpumpe 100 aus Fig. 3A, wobei auf die Darstellung der Montageeinrichtung 46a aus Gründen der Übersichtlichkeit verzichtet wurde. Erkennbar in dieser Darstellung ist die axiale Öffnung 14, die von einem Dichtring 60 umgeben ist. Die Öffnung 14 weist einen zylinderförmige Positionierhilfe 42 auf, die mit einem komplementären Abschnitt einer zu verbindenden externen Einrichtung zusammenwirkt (z.B. in diesen einsteckbar ist), um die Montage der Vakuumpumpe 100 zu erleichtern. Sichtbar in dieser Darstellung sind auch die radialen Öffnungen 15a, 15b, die gemeinsam von der Montageeinrichtung 46b umgeben sind. Fig. 4 shows the vacuum pump 100 Fig. 3A , wherein the representation of the mounting device 46a has been omitted for reasons of clarity. Recognizable in this illustration is the axial opening 14, which is surrounded by a sealing ring 60. The opening 14 has a cylindrical positioning aid 42 which is connected to a complementary portion of an external device to be connected cooperates (eg, in this is plugged) to facilitate the assembly of the vacuum pump 100. Visible in this illustration are also the radial openings 15a, 15b, which are jointly surrounded by the mounting device 46b.

Fig. 5 zeigt die radialen Öffnungen 15a, 15b und die diese umgebende Montageeinrichtung 46b von oben. Die Öffnungen 15a, 15b besitzen in etwa die gleiche axiale Breite LB, wobei der axiale Abstand LA zwischen den Öffnungen 15a, 15b kleiner ist als LB. Der Abstand LA ist vorzugsweise um den Faktor 0,75, insbesondere 0,5, kleiner als die Länge LB. Fig. 5 shows the radial openings 15a, 15b and the surrounding mounting device 46b from above. The openings 15a, 15b have approximately the same axial width L B , wherein the axial distance L A between the openings 15a, 15b is smaller than L B. The distance L A is preferably by a factor 0.75, in particular 0.5, smaller than the length L B.

Die Öffnungen 15a, 15b sind von einem Dichtmittel 62a umgeben, welches beide Öffnungen gegenüber der Umgebung/Atmosphäre abdichtet, wenn die Montageeinrichtung 46b an eine externe Einrichtung gekoppelt wird. Zur Abdichtung der Öffnungen 15a, 15b gegeneinander ist die Öffnung 15a von einem Dichtmittel 62b umgeben. Auf diese Weise kann eine zwei zu evakuierende Bereiche umfassende externe Einrichtung mit der Montageeinrichtung 46b gekoppelt werden. Bei den Dichtmitteln 62a, 62b handelt es sich beispielsweise um ringartige Gummidichtungen mit einer Shore-Härte zwischen 70 und 95.The openings 15a, 15b are surrounded by a sealing means 62a which seals both openings from the environment / atmosphere when the mounting means 46b is coupled to an external device. For sealing the openings 15a, 15b against each other, the opening 15a is surrounded by a sealing means 62b. In this way, an external device comprising two regions to be evacuated can be coupled to the mounting device 46b. The sealing means 62a, 62b are, for example, annular rubber seals with a Shore hardness between 70 and 95.

Durch die spezielle Anordnung der Dichtmittel 62a, 62b ist es möglich, den Abstand LA zwischen den Öffnungen 15a, 15b gering zu halten, da nur eine Öffnung 15a von einem Dichtmittel 62b umgeben werden muss, um eine Abdichtung der Öffnungen 15a, 15b gegeneinander zu realisieren.Due to the special arrangement of the sealing means 62a, 62b, it is possible to keep the distance L A between the openings 15a, 15b low, since only one opening 15a has to be surrounded by a sealing means 62b in order to seal the openings 15a, 15b against each other realize.

Die axiale Baulänge der Pumpe LC kann auf diese Weise ebenfalls gering gehalten werden und ist typischerweise um den Faktor 2,5, bevorzugt 2,4, besonders bevorzugt 2,3, kleiner als der Durchmesser einer Rotorscheibe, wie sie im Inneren der Vakuumpumpe 10, 100 angeordnet ist. Beispielsweise kann die axiale Baulänge LC einer Vakuumpumpe 10, 100 kleiner als 30 cm, vorzugsweise kleiner als 26 cm, insbesondere kleiner als 25 cm, sein. Das Verhältnis von axialer Baulänge LB zu dem Rotordurchmesser ist bevorzugt kleiner als 1/4, besonders bevorzugt kleiner als 9/40, insbesondere kleiner als 1/5.The axial length of the pump L C can also be kept low in this way and is typically by a factor of 2.5, preferably 2.4, more preferably 2.3, smaller than the diameter of a rotor disk, as in the interior of the vacuum pump 10th , 100 is arranged. For example, the axial length L C of a vacuum pump 10, 100 smaller than 30 cm, preferably smaller than 26 cm, in particular less than 25 cm, be. The ratio of the axial length L B to the rotor diameter is preferably less than 1/4, more preferably less than 9/40, in particular less than 1/5.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

10, 10010, 100
Vakuumpumpevacuum pump
1111
axiale Stirnseiteaxial end face
1212
Gehäusecasing
1313
radialen Seitenwandradial side wall
1414
(erste) axiale Öffnung(first) axial opening
15a, 15b15a, 15b
(zweite) radiale Öffnung(second) radial opening
1616
Montageebenemounting level
1818
Montageabschnittmounting portion
20a, 20b20a, 20b
Montageelementmounting element
22a, 22b22a, 22b
Fixierungsmittelfixative
2424
Innenflächepalm
2626
Außenflächeouter surface
2828
Nutgroove
3030
Dichtungsringsealing ring
3232
Innenseiteinside
3434
Schultershoulder
3535
Schultershoulder
3636
Bohrungdrilling
3838
Schlitzslot
3939
Schraubescrew
4040
O-RingO-ring
4242
Positionierhilfepositioning
44a, 44b44a, 44b
Montageebenemounting level
46a, 46b46a, 46b
Montageeinrichtungmounter
4747
Dämpfungselementdamping element
4848
Hülseshell
4949
O-RingO-ring
5050
Befestigungselementfastener
5151
Befestigungsabschnittattachment section
5252
Schraube/BolzenBolt / bolts
5353
Schraubenkopfscrew head
5454
Bohrungdrilling
5555
Schraubenendescrew end
5656
seitliche Einkerbunglateral notch
5757
Seitepage
5858
Aussparungrecess
5959
Seitepage
6060
Dichtringseal
62a, 62b62a, 62b
Dichtmittelsealant
7070
externe Einrichtungexternal device
7171
Öffnungopening
7272
Außenflächeouter surface
7373
Montageabschnittmounting portion
AA
Drehachseaxis of rotation
AS A S
Schraubenachsescrew axis
LA L A
axialer Abstand zwischen den radialen Öffnungenaxial distance between the radial openings
LB L B
axiale Breite der radialen Öffnungenaxial width of the radial openings
LC L C
axiale Baulänge der Vakuumpumpeaxial length of the vacuum pump

Claims (15)

Vakuumpumpe (10), insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend - ein Gehäuse (12) mit zumindest einer mit einer Öffnung (71) einer externen Einrichtung (70), insbesondere Rezipient, verbindbare Öffnung (14), die zumindest abschnittsweise von einem eine Montageebene (16) definierenden Montageabschnitt (18) umgeben ist, der vorzugsweise zylinderförmig ausgebildet ist, und - ein separates Montageelement (20) zur spannungsfreien Montage des Gehäuses (12) an die externe Einrichtung (70), wobei das Montageelement (20) mit der externen Einrichtung (70) koppelbar ist und ein Fixierungsmittel (22) zur Herstellung einer kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement (20) und dem Montageabschnitt (18) aufweist oder wobei das Montageelement (20) mit dem Montageabschnitt (18) koppelbar ist und ein Fixierungsmittel (22) zur Herstellung einer kraftschlüssigen Verbindung zwischen dem Montageelement (20) und der externen Einrichtung (70) aufweist. Vacuum pump (10), in particular turbomolecular pump, comprising - A housing (12) having at least one with an opening (71) of an external device (70), in particular recipient, connectable opening (14) which is at least partially surrounded by a mounting plane (16) defining mounting portion (18) is preferably cylindrical, and - A separate mounting member (20) for stress-free mounting of the housing (12) to the external device (70), wherein the mounting member (20) with the external device (70) is coupled and a fixing means (22) for producing a frictional connection between the mounting element (20) and the mounting portion (18) or wherein the mounting element (20) with the mounting portion (18) is coupled and a fixing means (22) for establishing a frictional connection between the mounting member (20) and the external device (70 ) having. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Montagelement (20) im Wesentlichen ringförmig ist.Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the mounting element (20) is substantially annular. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Fixierungsmittel (22) eine sich in Richtung zu der externen Einrichtung (70) hin - bzw. in entgegengesetzter Richtung - erweiternde Innenfläche (24) umfasst, die mit einer Außenfläche (26) des Montageabschnitts (18) oder einer Außenfläche (72) eines Montageabschnitts (73) der externen Einrichtung (70) eine Nut (28) zur Aufnahme eines Dichtungsrings (30) bildet.Vacuum pump according to Claim 1 or 2, characterized in that the fixing means (22) comprises an inner surface (24) widening in the direction of the external device (70), or in the opposite direction, which is provided with an outer surface (26) of the Mounting portion (18) or an outer surface (72) of a mounting portion (73) of the external device (70) forms a groove (28) for receiving a sealing ring (30). Vakuumpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der sich erweiternden Innenfläche (24) um eine Fase oder eine konische Fläche handelt.Vacuum pump according to claim 3, characterized in that it is at the widening inner surface (24) is a chamfer or a conical surface. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Montageelement (20) an einer Innenseite (32) eine als Anschlag wirkende Schulter (34) aufweist.Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that the mounting element (20) on an inner side (32) has a shoulder acting as a stop (34). Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Montageelement (20) Bohrungen (36) und/oder radial verlaufende Einkerbungen zur axialen Verbindung des Montageelements (20) mit der externen Einrichtung (70) bzw. mit dem Montageabschnitt (18) aufweist.Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that the mounting element (20) bores (36) and / or radially extending indentations for the axial connection of the mounting member (20) with the external device (70) or with the mounting portion (18) , Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Montageabschnitt (18) eine Positionierhilfe (42) aufweist, die mit einer Montagevorrichtung der externen Einrichtung (70) zusammenwirkt.Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that the mounting portion (18) has a positioning aid (42) which cooperates with a mounting device of the external device (70). Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste Öffnung (14), insbesondere ein erster Einlass, in Bezug auf eine Drehachse (A) einer in dem Gehäuse (12) angeordneten Pumpstufe an einer axialen Stirnseite (11) des Gehäuses (12) angeordnet ist und dass das Gehäuse (12) zumindest eine zweite Öffnung (15a, 15b), insbesondere einen zweiter Einlass, aufweist, die an einer in Bezug auf die Drehachse radialen Seitenwand (13) des Gehäuses (12) angeordnet ist.Vacuum pump according to one of the preceding claims, characterized in that a first opening (14), in particular a first inlet, with respect to a rotational axis (A) of a pumping stage arranged in the housing (12) on an axial end face (11) of the housing ( 12) and that the housing (12) has at least one second opening (15a, 15b), in particular a second inlet, which is arranged on a radial side wall (13) of the housing (12) with respect to the axis of rotation. Vakuumpumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Pumpe zwei radial angeordnete Öffnungen (15a, 15b) aufweist, insbesondere wobei zwischen den Öffnungen (15a, 15b) wenigstens eine Pumpstufe angeordnet ist.Vacuum pump according to claim 8, characterized in that the pump has two radially arranged openings (15a, 15b), in particular wherein between the openings (15a, 15b) at least one pumping stage is arranged. Vakuumpumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstes Dichtmittel (62a), insbesondere ein erster Dichtring, beide Öffnungen (15a, 15b) umgibt, während ein zweites Dichtmittel (62b), insbesondere ein zweiter Dichtring, nur eine der beiden Öffnungen (15a, 15b) umgibt.Vacuum pump according to claim 9, characterized in that a first sealing means (62a), in particular a first sealing ring, both openings (15a, 15b) surrounds, while a second sealing means (62b), in particular a second sealing ring, only one of the two openings (15a , 15b) surrounds. Vakuumpumpe (100), bevorzugt Turbomolekularpumpe, insbesondere nach einem der vorstehenden Ansprüche, umfassend - ein Gehäuse (12) mit zumindest einer mit einer Öffnung einer externen Einrichtung, insbesondere Rezipient, verbindbare Öffnung (14, 15a, 15b), die zumindest abschnittsweise von einer eine Montageebene (44a, 44b) definierenden Montageeinrichtung (46a, 46b) umgeben ist, und - jeweils zumindest ein Dämpfungselement (47) umfassende Befestigungselemente (50), insbesondere Schrauben und/oder Bolzen (52), zur spannungsfreien Verbindung der Montageeinrichtung (46a, 46b) mit der externen Einrichtung. Vacuum pump (100), preferably turbomolecular pump, in particular according to one of the preceding claims, comprising - A housing (12) having at least one with an opening of an external device, in particular recipient, connectable opening (14, 15a, 15b) which is at least partially surrounded by a mounting plane (44a, 44b) defining mounting means (46a, 46b) , and - Each at least one damping element (47) comprising fastening elements (50), in particular screws and / or bolts (52) for the tension-free connection of the mounting means (46 a, 46 b) with the external device. Vakuumpumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Dämpfungselement (47) einen Befestigungsabschnitt (51) des Befestigungselements (50) zumindest abschnittsweise umgibt und/oder eine Hülse (48) und/oder zumindest einen O-Ring (49) umfasst.Vacuum pump according to claim 11, characterized in that the damping element (47) at least partially surrounds a fastening section (51) of the fastening element (50) and / or comprises a sleeve (48) and / or at least one O-ring (49). Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 11 und 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Dämpfungselement (47) aus einem Elastomer, insbesondere aus einem elastischen Werkstoff, besteht und vorzugsweise eine Shore-Härte zwischen 70 und 95 aufweist.Vacuum pump according to one of claims 11 and 12, characterized in that the damping element (47) consists of an elastomer, in particular of an elastic material, and preferably has a Shore hardness between 70 and 95. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Montageeinrichtung (46a, 46b) Bohrungen (54) und/oder seitliche Einkerbungen (56) zur axialen Verbindung mit der externen Einrichtung aufweist.Vacuum pump according to one of claims 11 to 13, characterized in that the mounting means (46a, 46b) bores (54) and / or lateral notches (56) for axial connection with the external device. Vakuumsystem mit mehreren zu evakuierenden externen Einrichtungen, insbesondere Rezipienten, und zumindest einer Vakuumpumpe (10, 100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.Vacuum system with a plurality of external devices to be evacuated, in particular receptacles, and at least one vacuum pump (10, 100) according to one of the preceding claims.
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