EP2478557A1 - Optoelectronic module - Google Patents

Optoelectronic module

Info

Publication number
EP2478557A1
EP2478557A1 EP10752334A EP10752334A EP2478557A1 EP 2478557 A1 EP2478557 A1 EP 2478557A1 EP 10752334 A EP10752334 A EP 10752334A EP 10752334 A EP10752334 A EP 10752334A EP 2478557 A1 EP2478557 A1 EP 2478557A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
insulating layer
electrically insulating
optoelectronic module
radiation
semiconductor chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP10752334A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Walter Wegleiter
Axel Kaltenbacher
Bernd Barchmann
Karl Weidner
Matthias Rebhan
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ams Osram International GmbH
Original Assignee
Osram Opto Semiconductors GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osram Opto Semiconductors GmbH filed Critical Osram Opto Semiconductors GmbH
Publication of EP2478557A1 publication Critical patent/EP2478557A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50Wavelength conversion elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/44Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/18High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/23Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
    • H01L2224/24Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process of an individual high density interconnect connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/075Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00
    • H01L25/0753Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00 the devices being arranged next to each other

Definitions

  • Optoelectronic module An optoelectronic module is specified.
  • An object to be solved is to provide an optoelectronic module which is particularly resistant to aging and has a long service life.
  • the optoelectronic module comprises a carrier with at least one
  • the carrier may be a
  • PCB PCB or a carrier frame (leadframe) act. It is also conceivable that the carrier is flexible and
  • the carrier may be provided with an electrically conductive material, for example a metal, or an electrically insulating material,
  • a duro- or thermoplastic or a ceramic material may be formed.
  • the carrier is formed with an electrically insulating material, it is conceivable that the carrier has connection points and conductor tracks on a mounting surface and / or a bottom surface opposite the mounting surface.
  • the at least one contact point is formed with an electrically conductive material, for example a metal.
  • this includes
  • Optoelectronic module a radiation-emitting Semiconductor chip, wherein the radiation-emitting semiconductor chip has a first contact surface and a second
  • the two contact surfaces serve for contacting the radiation-emitting semiconductor chip.
  • the radiation-emitting semiconductor chip with the second contact surface is fastened on a connection point of the carrier and electrically contacted.
  • the luminescence diode chip can be a luminescent or laser diode chip whose radiation-generating active zone emits radiation in the range from ultraviolet to infrared light.
  • the first and second contact surfaces of the radiation-emitting semiconductor chip are preferably formed with an electrically conductive material, for example a metal.
  • this includes
  • Optoelectronic module an electrically insulating layer having a first and a second recess.
  • the two recesses are then bounded laterally, for example, by the electrically insulating layer and each have two opposing ones
  • the two recesses are then freely accessible from the outside.
  • the first contact surface is arranged on the side of the radiation-emitting semiconductor chip which faces away from the carrier.
  • the first contact surface is applied to the surface on the side facing away from the carrier side of the radiation-emitting semiconductor chip.
  • the optoelectronic module comprises at least one electrically conductive conductive structure.
  • the electrically conductive conductive structure can be, for example, electrical conductor tracks, which are preferably provided with a metal or a metal
  • the electrically conductive conductive structure is formed with an electrically conductive adhesive or a metal paste.
  • the electrically insulating layer is at least in places on the carrier and the semiconductor chip
  • the electrically insulating layer is integrally formed in a form-fitting manner at these locations, so that neither a gap nor an interruption forms between the electrically insulating layer and the areas covered by the electrically insulated layer. Furthermore, the electrically insulating layer has the first one
  • Recess in the region of the first contact surface and the second recess in the region of the contact point are thus arranged at least in places congruent to each other, so that the
  • Recesses can be contacted through.
  • the electrically conductive conductive structure is arranged on the electrically insulating layer and makes electrical contact with the first contact area with the contact point of the carrier.
  • the electrically conductive Conductor formed on the electrically insulating layer form fit. In other words, there is preferably no gap or interruption between the electrically insulating layer and the electrically conductive conductive structure.
  • the electrically conductive conductive structure is on the electrically insulating layer
  • the recesses are filled at least in places with the guide structure.
  • the electrically conductive conductive structure penetrates the recesses, so that the electrically conductive conductive structure is completely contacted with the semiconductor chip.
  • the recess is filled, for example, with the material of the electrically conductive guide structure.
  • the electrically insulating layer is predominantly formed with a ceramic material.
  • "Predominantly” means that the electrically insulating layer contains at least 50% by weight, preferably at least 75% by weight, of ceramic material. It is also conceivable in this context that the electrically insulating layer is made entirely of a ceramic
  • the electrically insulating layer consists of a glass ceramic, which consists of a molten glass by controlled crystallization
  • this includes
  • Optoelectronic module a carrier with at least one contact point and a radiation-emitting
  • the optoelectronic module comprises an electrically insulating layer, which has a first and a second recess, and at least one
  • the first contact surface is on the side facing away from the carrier of the
  • the electrically insulating layer is applied at least in places to the carrier and the semiconductor chip and has the first recess in the region of the first contact surface and the second recess in the region of the second contact point.
  • the electrically conductive conductive structure is arranged on the electrically insulating layer and makes electrical contact with the first contact area with the contact point of the carrier. Furthermore, the electrically insulating layer is formed predominantly with a ceramic material.
  • the optoelectronic module described here is based inter alia on the finding that an electrically insulating layer formed with organic materials, which is used, for example, in optoelectronic modules with planar contacting, has little aging stability. This means that external influences such as
  • Optoelectronic module for example, a brittle electrically insulating layer. This means that such an optoelectronic module can already exhibit aging-related damage after a short period of operation.
  • the optoelectronic module described here makes use, inter alia, of the idea to form the electrically insulating layer predominantly with a ceramic material. Ceramic materials are more resistant to aging, especially in the case of external radiation and heat, as a result of which such an electrically insulating layer has hardly any material damage, even under heavy external stress, even after a prolonged period of operation.
  • such an optoelectronic module is created, which has a greatly increased lifetime.
  • this includes
  • Optoelectronic module at least two radiation-emitting semiconductor chips, wherein the electrically insulating layer in places between the radiation-emitting
  • Semiconductor chips is arranged. For example, intermediate spaces are formed between the semiconductor chips. In other words, the semiconductor chips are then arranged at a distance from one another. For example, the intermediate spaces are filled with the material of the electrically insulating layer.
  • the electrically insulating layer then touches and covers side surfaces of the semiconductor chips
  • the electrically insulating layer is up to the
  • Optoelectronic module and the electrically insulating layer forms neither a gap nor an interruption.
  • the electrically insulating layer assumes the function of an encapsulation layer, for example of the radiation-emitting semiconductor chips. That may mean the semiconductor chips are completely encapsulated by the electrically insulating layer up to areas of electrical contacting.
  • the radiation-emitting semiconductor chips are advantageously protected against mechanical influences, such as impacts.
  • the electrically insulating layer is
  • the insulating layer preferably only partially absorbs the radiation emitted by the active layer.
  • the electromagnetic radiation emitted by the radiation-emitting semiconductor chips can thus at least partially pass through the electrically insulating layer from the
  • Optoelectronic module to be decoupled.
  • the electrically insulating layer consists of a ceramic phosphor. Is the electrically insulating
  • insulating layer of the semiconductor chip primarily emitted electromagnetic radiation partially absorb and at least partially the primary emitted radiation in
  • the electrically insulating layer thus has the function of a light converter.
  • the electrically insulating layer then consists of YAG: Ce.
  • the first recess extends electrically insulating layer throughout between the
  • the contact surface and the carrier may mean that the radiation exit surface as well as one or more of the side surfaces of the semiconductor chip are at least partially "exposed".
  • the first recess in the electrically insulating layer extends continuously between adjacent ones
  • adjacent in this context means that the semiconductor chips are arranged in pairs, for example, and each pair between them forms the gap.
  • Radiation exit surfaces of the semiconductor chips are free from the electrically insulating layer.
  • Insulation layer arranged.
  • Isolation layer the spaces between the
  • the insulating layer and the electrically insulating layer are formed with the same material.
  • the electrically insulating layer is a foil.
  • the electrically insulating layer then preferably has a layer thickness of 10 to 300 ⁇ m, preferably of 150 ⁇ m.
  • the electrically insulating layer consists of a plurality of individual films, which can be arranged one above the other, for example glued on, and thus form a stape-shaped film composite.
  • the films are hybrid films or even multilayer films.
  • “hybrid films” refers to a film formed with a ceramic material in a polymer matrix.
  • Multilayer films are, for example, ceramic films with an adhesive coating.
  • the electrically insulating layer is applied by means of a laminating process. If the electrically insulating layer is a film, it can be laminated to exposed outer surfaces, for example the semiconductor chips and the mounting surface of the carrier, by means of the laminating process.
  • the electrically insulating layer is applied by means of a sintering process.
  • the applied material of the electrically insulating layer by means of high-energy laser light or by means of
  • the material of the electrically insulating layer is present for example in the form of a nanopowder or a composite.
  • the electrically insulating layer is applied by means of a molding process. For example, before applying the material to the electrically insulating layer a stamp on the
  • the material of the electrically insulating layer can then be sprayed on. After curing, the punches can then be removed, whereby the recesses in the electric
  • the material of the electrically insulating layer is in the form of a dispersion or an aerosol.
  • the features according to which the electrically insulating layer is applied via a lamination process, a sintering process or a mold process are each objective features, since the application method can be detected directly on the optoelectronic module.
  • the electrically insulating layer is sprayed on.
  • the material of the electrically insulating layer is present, for example, in volatile solution or in a polymer matrix.
  • the material of the electrically insulating layer can be applied by means of selective deposition, for example by means of a plasma process, a plasma spray process or by sputtering.
  • the electrically insulating layer is applied by means of a stencil printing process.
  • a prefabricated template is placed on the carrier and the semiconductor chips, which has, for example, in the region of the contact points / surfaces covers.
  • FIGS 1 and 2 show schematic views of
  • FIGS. 3a to 3d show individual production steps for
  • FIG. 1 shows a schematic side view of an embodiment of a described here
  • a carrier 1 has a
  • a radiation-emitting semiconductor chip 2 is applied, which has an active zone for generating electromagnetic
  • the radiation-emitting semiconductor chip 2 has a first contact surface 2A and a second contact surface 2B. The radiation-emitting
  • Semiconductor chip 2 is applied with its second contact surface 2A on the mounting surface 11 of the carrier 1 and there with the carrier 1 electrically contacted.
  • the radiation-emitting semiconductor chip 2 is adhesively bonded or connected to the carrier 1 by means of a solder material.
  • On exposed side surfaces 9 of the semiconductor chip 2 and a radiation exit surface 3 of the semiconductor chip 2 is
  • the electrically insulating layer 4 covers the mounting surface 11 of the carrier 1 in the region 21, so that the electrically insulating layer 4 extends without interruption between the contact point 1A and the first contact surface 2A.
  • Layer 4 has a first recess 4A, which is continuous between the radiation exit surface 3 along the
  • Recess 4A is therefore of the carrier 1 and the first
  • electrically insulating layer 4 An electrically conductive conductive structure 8 contacts the first contact surface 2A with the contact point 1A of the carrier 1 electrically.
  • the electrically conductive conductive structure 8 is printed on the electrically insulating layer 4 and the two contact surfaces 1A and 2A.
  • the electrically insulating layer 4 is a film which by means of a
  • the electrically insulating layer 4 consists of a ceramic material. It is also conceivable that the electrically insulating layer 4 of a ceramic
  • Phosphor consists and the electrically insulating layer 4 at least partially from the radiation-emitting
  • Semiconductor chip 2 primarily emitted electromagnetic Radiation converts radiation of different wavelength, so that the optoelectronic module 100 emits mixed light.
  • FIG. 2 shows the optoelectronic module 100 with two radiation emitters arranged next to one another
  • the semiconductor chips 2 form between them an intermediate space 12, which is delimited laterally in each case by the side surfaces 9 and by the carrier 1.
  • an insulating layer 5 is arranged, which at least partially fills the gap 12 and is positively applied to the side surfaces 9 and the carrier 1. It is also conceivable that instead of or in addition to the insulating layer 5, the electrically insulating layer 4 is introduced into the intermediate space 12.
  • the first recess 4A runs without interruption between the two semiconductor chips 2 and is through the contact surfaces 2A
  • FIGS. 3a to 3d show individual production steps for producing an exemplary embodiment of one here
  • the carrier 1 is provided, the semiconductor chips 2 being applied to the mounting surface 11 of the carrier 1.
  • contact surfaces 2A of the semiconductor chips 2 covered with a paint 50.
  • the contact surfaces can be covered with films, a wax or other adhesive layers. According to the figure 3c is in a further step
  • Radiation exit surfaces 3 are covered at least in places with the electrically insulating layer 4.
  • the material of the electrically insulating layer 4 can be applied by means of selective deposition, for example by means of a plasma process, a plasma spray process or by sputtering.
  • the paint 50 is removed in the figure 3d by means of a physical and / or mechanical material removal, so that at least the contact surfaces 1A and 2A are exposed.
  • the radiation exit surfaces 3 are then completely covered with the material of the electrically insulating layer 4 up to the points where the contact surfaces 2A extend, wherein in the present case the electrically insulating layer 4 is formed with a radiation-transmissive ceramic or consists of a ceramic phosphor.
  • Lead structures 8 take place at locations of the contact points 1A and 2A.
  • the application of the electrically insulating layer 4 can take place by means of the use of a pre-structured mask. For example, the electric
  • insulating layer 4 are then applied by a spraying process, for example by means of plasma deposition.

Abstract

The invention relates to an optoelectronic module (100) having at least one carrier (1) with at least one contact location (1A); a semiconductor chip (2) emitting radiation, wherein the semiconductor chip (2) emitting radiation comprises a first contact surface (2A) and a second contact surface (2B); an electrically insulating layer (4) comprising a first (4A) and a second recess (4B); at least one electrically conductive conductor structure (8), wherein the first contact surface (2A) is disposed on the side of the semiconductor chip (2) emitting radiation facing away from the carrier (1), the electrically insulating layer (4) is applied at least in places to the carrier (1) and the semiconductor chip (2) comprises the first recess (4A) in the area of the first contact surface (2A) and the second recess (4B) in the area of the contact location (1A), the electrically conductive conductor structure (8) is disposed on the electrically insulating layer (4) and the first contact surface (2A) electrically contacts the contact location (1A) of the carrier (1), and the electrically insulating layer (4) is formed predominately of a ceramic material.

Description

Beschreibung description
Optoelektronisches Modul Es wird ein optoelektronisches Modul angegeben. Optoelectronic module An optoelectronic module is specified.
Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein optoelektronisches Modul anzugeben, welches besonders alterungsstabil ist und eine hohe Lebensdauer aufweist. An object to be solved is to provide an optoelectronic module which is particularly resistant to aging and has a long service life.
Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 10 2009 042 205.6, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls umfasst dieses einen Träger mit zumindest einer This patent application claims the priority of German Patent Application 10 2009 042 205.6, the disclosure of which is hereby incorporated by reference. According to at least one embodiment of the optoelectronic module, this comprises a carrier with at least one
Kontaktstelle. Bei dem Träger kann es sich um eine Contact point. The carrier may be a
Leiterplatte oder einen Trägerrahmen (Leadframe) handeln. Ebenso ist denkbar, dass der Träger flexibel und PCB or a carrier frame (leadframe) act. It is also conceivable that the carrier is flexible and
beispielsweise als Folie ausgebildet ist. Der Träger kann mit einem elektrisch leitenden Material, beispielsweise einem Metall, oder einem elektrisch isolierenden Material, for example, is designed as a film. The carrier may be provided with an electrically conductive material, for example a metal, or an electrically insulating material,
beispielsweise einem duro- oder thermoplastischen oder auch einem keramischen Material, gebildet sein. Ist der Träger mit einem elektrisch isolierenden Material gebildet, ist denkbar, dass der Träger an einer Montagefläche und/oder einer der Montagefläche gegenüberliegenden Bodenfläche Anschlussstellen und Leiterbahnen aufweist. Die zumindest eine Kontaktstelle ist mit einem elektrisch leitfähigen Material, beispielsweise einem Metall, gebildet. For example, a duro- or thermoplastic or a ceramic material may be formed. If the carrier is formed with an electrically insulating material, it is conceivable that the carrier has connection points and conductor tracks on a mounting surface and / or a bottom surface opposite the mounting surface. The at least one contact point is formed with an electrically conductive material, for example a metal.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das According to at least one embodiment, this includes
optoelektronische Modul einen Strahlungsemittierenden Halbleiterchip, wobei der Strahlungsemittierende Halbleiterchip eine erste Kontaktfläche und eine zweite Optoelectronic module a radiation-emitting Semiconductor chip, wherein the radiation-emitting semiconductor chip has a first contact surface and a second
Kontaktfläche aufweist. Die beiden Kontaktflächen dienen zur Kontaktierung des strahlungsemittierenden Halbleiterchips. Beispielsweise ist der Strahlungsemittierende Halbleiterchip mit der zweiten Kontaktfläche auf einer Anschlussstelle des Trägers befestigt und elektrisch kontaktiert. Bei dem Contact surface has. The two contact surfaces serve for contacting the radiation-emitting semiconductor chip. By way of example, the radiation-emitting semiconductor chip with the second contact surface is fastened on a connection point of the carrier and electrically contacted. In which
strahlungsemittierenden Halbleiterchip kann es sich radiation-emitting semiconductor chip may be
beispielsweise um einen Lumineszenzdiodenchip handeln. Bei dem Lumineszenzdiodenchip kann es sich um einen Leucht- oder Laserdiodenchip handeln, dessen Strahlungserzeugende aktive Zone Strahlung im Bereich von ultraviolettem bis infrarotem Licht emittiert. Die erste und die zweite Kontaktfläche des strahlungsemittierenden Halbleiterchips sind vorzugsweise mit einem elektrisch leitfähigen Material, beispielsweise einem Metall, gebildet. for example, act to a LED chip. The luminescence diode chip can be a luminescent or laser diode chip whose radiation-generating active zone emits radiation in the range from ultraviolet to infrared light. The first and second contact surfaces of the radiation-emitting semiconductor chip are preferably formed with an electrically conductive material, for example a metal.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das According to at least one embodiment, this includes
optoelektronische Modul eine elektrisch isolierende Schicht, die eine erste und eine zweite Aussparung aufweist. Optoelectronic module an electrically insulating layer having a first and a second recess.
Beispielsweise sind die Aussparungen mittels eines For example, the recesses by means of a
Materialabtrags erzeugt. Die beiden Aussparungen sind dann zum Beispiel seitlich von der elektrisch isolierenden Schicht begrenzt und weisen jeweils zwei sich gegenüberliegende Material removal generated. The two recesses are then bounded laterally, for example, by the electrically insulating layer and each have two opposing ones
Öffnungen auf. Vorzugsweise sind die beiden Aussparungen dann von außen frei zugänglich. Openings on. Preferably, the two recesses are then freely accessible from the outside.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist die erste Kontaktfläche auf der von dem Träger abgewandten Seite des strahlungsemittierenden Halbleiterchips angeordnet. Beispielsweise ist die erste Kontaktfläche an der Oberfläche auf der von dem Träger abgewandten Seite des strahlungsemittierenden Halbleiterchips aufgebracht. Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das optoelektronische Modul zumindest eine elektrisch leitfähige Leitstruktur. Bei der elektrisch leitfähigen Leitstruktur kann es sich beispielsweise um elektrische Leiterbahnen handeln, die bevorzugt mit einem Metall oder einer In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the first contact surface is arranged on the side of the radiation-emitting semiconductor chip which faces away from the carrier. For example, the first contact surface is applied to the surface on the side facing away from the carrier side of the radiation-emitting semiconductor chip. In accordance with at least one embodiment, the optoelectronic module comprises at least one electrically conductive conductive structure. The electrically conductive conductive structure can be, for example, electrical conductor tracks, which are preferably provided with a metal or a metal
Metalllegierung gebildet sind. Ebenso ist denkbar, dass die elektrisch leitfähige Leitstruktur mit einem elektrisch leitfähigen Klebstoff oder einer Metallpaste gebildet ist. Metal alloy are formed. It is also conceivable that the electrically conductive conductive structure is formed with an electrically conductive adhesive or a metal paste.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist die elektrisch isolierende Schicht zumindest stellenweise auf den Träger und den Halbleiterchip In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the electrically insulating layer is at least in places on the carrier and the semiconductor chip
aufgebracht. Vorzugsweise ist die elektrisch isolierende Schicht an diesen Stellen formschlüssig angeformt, sodass sich zwischen der elektrisch isolierenden Schicht und den von der elektrisch isolierten Schicht bedeckten Stellen weder ein Spalt noch eine Unterbrechung ausbildet. Ferner weist die elektrisch isolierende Schicht die ersteapplied. Preferably, the electrically insulating layer is integrally formed in a form-fitting manner at these locations, so that neither a gap nor an interruption forms between the electrically insulating layer and the areas covered by the electrically insulated layer. Furthermore, the electrically insulating layer has the first one
Aussparung im Bereich der ersten Kontaktfläche und die zweite Aussparung im Bereich der Kontaktstelle auf. Aussparung und Kontaktfläche/Kontaktstelle sind somit zumindest stellenweise deckungsgleich zueinander angeordnet, sodass der Recess in the region of the first contact surface and the second recess in the region of the contact point. Recess and contact surface / contact point are thus arranged at least in places congruent to each other, so that the
Strahlungsemittierende Halbleiterchip von außen durch die in der elektrisch isolierenden Schicht eingebrachten Radiation-emitting semiconductor chip from the outside through the introduced in the electrically insulating layer
Aussparungen hindurch kontaktiert werden kann. Recesses can be contacted through.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist die elektrisch leitfähige Leitstruktur auf der elektrisch isolierenden Schicht angeordnet und kontaktiert die erste Kontaktfläche mit der Kontaktstelle des Trägers elektrisch. Vorzugsweise ist die elektrisch leitfähige Leitstruktur an die elektrisch isolierende Schicht formschlüssig angeformt. Mit anderen Worten bildet sich vorzugsweise zwischen der elektrisch isolierenden Schicht und der elektrisch leitfähigen Leitstruktur weder ein Spalt noch eine Unterbrechung aus. Dazu ist die elektrisch leitfähige Leitstruktur auf die elektrisch isolierende Schicht In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the electrically conductive conductive structure is arranged on the electrically insulating layer and makes electrical contact with the first contact area with the contact point of the carrier. Preferably, the electrically conductive Conductor formed on the electrically insulating layer form fit. In other words, there is preferably no gap or interruption between the electrically insulating layer and the electrically conductive conductive structure. For this purpose, the electrically conductive conductive structure is on the electrically insulating layer
beispielsweise mittels Siebdruck, eines Jet- oder For example, by screen printing, a jet or
Dispensverfahrens oder eines Spritzverfahrens aufgebracht. Beispielsweise sind die Aussparungen zumindest stellenweise mit der Leitstruktur gefüllt. Vorzugsweise durchdringt die elektrisch leitfähige Leitstruktur die Aussparungen, sodass die elektrisch leitfähige Leitstruktur mit dem Halbleiterchip vollständig kontaktiert ist. Die Aussparung ist zum Beispiel mit dem Material der elektrisch leitfähigen Leitstruktur befüllt. Dispensing method or a spraying method applied. For example, the recesses are filled at least in places with the guide structure. Preferably, the electrically conductive conductive structure penetrates the recesses, so that the electrically conductive conductive structure is completely contacted with the semiconductor chip. The recess is filled, for example, with the material of the electrically conductive guide structure.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist die elektrisch isolierende Schicht überwiegend mit einem keramischen Material gebildet. "Überwiegend" heißt, dass die elektrisch isolierende Schicht wenigstens 50 Gew-%, bevorzugt wenigstens 75 Gew-%, keramisches Material enthält. Denkbar ist in diesem Zusammenhang auch, dass die elektrisch isolierende Schicht vollständig aus einem keramischen In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the electrically insulating layer is predominantly formed with a ceramic material. "Predominantly" means that the electrically insulating layer contains at least 50% by weight, preferably at least 75% by weight, of ceramic material. It is also conceivable in this context that the electrically insulating layer is made entirely of a ceramic
Material besteht. Ferner ist es möglich, dass die elektrisch isolierende Schicht aus einer Glaskeramik besteht, die aus einer Glasschmelze durch gesteuerte Kristallisation Material exists. Furthermore, it is possible that the electrically insulating layer consists of a glass ceramic, which consists of a molten glass by controlled crystallization
hergestellt ist. is made.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das According to at least one embodiment, this includes
optoelektronische Modul einen Träger mit zumindest einer Kontaktstelle und einen Strahlungsemittierenden Optoelectronic module a carrier with at least one contact point and a radiation-emitting
Halbleiterchip, wobei der Strahlungsemittierende Semiconductor chip, wherein the radiation-emitting
Halbleiterchip eine erste Kontaktfläche und eine zweite Kontaktfläche aufweist. Ferner umfasst das optoelektronische Modul eine elektrisch isolierende Schicht, die eine erste und eine zweite Aussparung aufweist, sowie zumindest eine Semiconductor chip, a first contact surface and a second Contact surface has. Furthermore, the optoelectronic module comprises an electrically insulating layer, which has a first and a second recess, and at least one
elektrisch leitfähige Leitstruktur. Die erste Kontaktfläche ist auf der von dem Träger abgewandten Seite des electrically conductive conductive structure. The first contact surface is on the side facing away from the carrier of the
Strahlungsemittierenden Halbleiterchips angeordnet. Ferner ist die elektrisch isolierende Schicht zumindest stellenweise auf den Träger und den Halbleiterchip aufgebracht und weist die erste Aussparung im Bereich der ersten Kontaktfläche und die zweite Aussparung im Bereich der zweiten Kontaktstelle auf. Die elektrisch leitfähige Leitstruktur ist auf der elektrisch isolierenden Schicht angeordnet und kontaktiert die erste Kontaktfläche mit der Kontaktstelle des Trägers elektrisch. Ferner ist die elektrisch isolierende Schicht überwiegend mit einem keramischen Material gebildet.  Radiation-emitting semiconductor chips arranged. Furthermore, the electrically insulating layer is applied at least in places to the carrier and the semiconductor chip and has the first recess in the region of the first contact surface and the second recess in the region of the second contact point. The electrically conductive conductive structure is arranged on the electrically insulating layer and makes electrical contact with the first contact area with the contact point of the carrier. Furthermore, the electrically insulating layer is formed predominantly with a ceramic material.
Das hier beschriebene optoelektronische Modul beruht dabei unter anderem auf der Erkenntnis, dass eine mit organischen Materialien gebildete elektrisch isolierende Schicht, die beispielsweise bei optoelektronischen Modulen mit planarer Kontaktierung Verwendung findet, wenig alterungsstabil ist. Das heißt, dass externe Einflüsse wie beispielsweise The optoelectronic module described here is based inter alia on the finding that an electrically insulating layer formed with organic materials, which is used, for example, in optoelectronic modules with planar contacting, has little aging stability. This means that external influences such as
Bestrahlung, Feuchtigkeit oder Temperaturschwankungen das Material der elektrisch isolierenden Schicht beschädigen. Dies führt bereits nach kurzer Betriebsdauer des Irradiation, moisture or temperature changes damage the material of the electrically insulating layer. This leads already after short operating time of
optoelektronischen Moduls beispielsweise zu einer brüchigen elektrisch isolierenden Schicht. Das heißt, dass ein solches optoelektronisches Modul bereits nach kurzer Betriebsdauer alterungsbedingte Schäden aufweisen kann. Optoelectronic module, for example, a brittle electrically insulating layer. This means that such an optoelectronic module can already exhibit aging-related damage after a short period of operation.
Um ein optoelektronisches Modul zu schaffen, welches To provide an optoelectronic module which
besonders alterungsstabil ist, macht das hier beschriebene optoelektronische Modul unter anderem von der Idee Gebrauch, die elektrisch isolierende Schicht überwiegend mit einem keramischen Material zu bilden. Keramische Materialien sind insbesondere bei äußerer Strahlungs- und Hitzeeinwirkung alterungsstabiler, wodurch eine solche elektrisch isolierende Schicht selbst unter starker äußerer Beanspruchung auch nach längerer Betriebsdauer kaum Materialschäden aufweist. particularly stable to aging, the optoelectronic module described here makes use, inter alia, of the idea to form the electrically insulating layer predominantly with a ceramic material. Ceramic materials are more resistant to aging, especially in the case of external radiation and heat, as a result of which such an electrically insulating layer has hardly any material damage, even under heavy external stress, even after a prolonged period of operation.
Vorteilhaft wird so ein optoelektronisches Modul geschaffen, welches eine stark erhöhte Lebensdauer aufweist. Advantageously, such an optoelectronic module is created, which has a greatly increased lifetime.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das According to at least one embodiment, this includes
optoelektronische Modul zumindest zwei Strahlungsemittierende Halbleiterchips, wobei die elektrisch isolierende Schicht stellenweise zwischen den Strahlungsemittierenden Optoelectronic module at least two radiation-emitting semiconductor chips, wherein the electrically insulating layer in places between the radiation-emitting
Halbleiterchips angeordnet ist. Beispielsweise sind zwischen den Halbleiterchips Zwischenräume ausgebildet. Mit anderen Worten sind die Halbleiterchips dann beabstandet zueinander angeordnet. Beispielsweise sind die Zwischenräume mit dem Material der elektrisch isolierenden Schicht befüllt. Semiconductor chips is arranged. For example, intermediate spaces are formed between the semiconductor chips. In other words, the semiconductor chips are then arranged at a distance from one another. For example, the intermediate spaces are filled with the material of the electrically insulating layer.
Vorzugsweise berührt dann die elektrisch isolierende Schicht Seitenflächen der Halbleiterchips und bedeckt diese Preferably, the electrically insulating layer then touches and covers side surfaces of the semiconductor chips
formschlüssig . positive fit.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist die elektrisch isolierende Schicht bis auf dieAccording to at least one embodiment of the optoelectronic module, the electrically insulating layer is up to the
Aussparungen formschlüssig auf die freiliegenden Außenflächen des optoelektronischen Moduls aufgebracht. Das heißt, dass sich zwischen den freiliegenden Außenflächen des Recesses positively applied to the exposed outer surfaces of the optoelectronic module. That means that between the exposed outside surfaces of the
optoelektronischen Moduls und der elektrisch isolierenden Schicht weder ein Spalt noch eine Unterbrechung ausbildet. Die elektrisch isolierende Schicht übernimmt in diesem Fall die Funktion einer Einkapselungsschicht , beispielsweise der Strahlungsemittierenden Halbleiterchips. Das kann heißen, dass die Halbleiterchips von der elektrisch isolierenden Schicht bis auf Bereiche der elektrischen Kontaktierung vollständig eingekapselt sind. Dadurch erfolgt vorteilhaft ein Schutz der Strahlungsemittierenden Halbleiterchips vor mechanischen Einflüssen, wie beispielsweise Stößen. Optoelectronic module and the electrically insulating layer forms neither a gap nor an interruption. In this case, the electrically insulating layer assumes the function of an encapsulation layer, for example of the radiation-emitting semiconductor chips. That may mean the semiconductor chips are completely encapsulated by the electrically insulating layer up to areas of electrical contacting. As a result, the radiation-emitting semiconductor chips are advantageously protected against mechanical influences, such as impacts.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist die elektrisch isolierende Schicht In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the electrically insulating layer is
strahlungsdurchlässig und bedeckt eine permeable to radiation and covers one
Strahlungsaustrittsfläche des Halbleiterchips stellenweise. "Strahlungsdurchlässig" bedeutet, dass die elektrisch Radiation exit surface of the semiconductor chip in places. "Radiation permeable" means that the electric
isolierende Schicht bevorzugt die von der aktiven Schicht emittierte Strahlung lediglich teilweise absorbiert. Die von den Strahlungsemittierenden Halbleiterchips emittierte elektromagnetische Strahlung kann so zumindest teilweise durch die elektrisch isolierende Schicht aus dem insulating layer preferably only partially absorbs the radiation emitted by the active layer. The electromagnetic radiation emitted by the radiation-emitting semiconductor chips can thus at least partially pass through the electrically insulating layer from the
optoelektronischen Modul ausgekoppelt werden. Optoelectronic module to be decoupled.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls besteht die elektrisch isolierende Schicht aus einem keramischen Leuchtstoff. Ist die elektrisch isolierende In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the electrically insulating layer consists of a ceramic phosphor. Is the electrically insulating
Schicht stellenweise auf die Strahlungsaustrittsfläche des Halbleiterchips aufgebracht, so kann die elektrisch Layer applied in places on the radiation exit surface of the semiconductor chip, so can the electric
isolierende Schicht von dem Halbleiterchip primär emittierte elektromagnetische Strahlung teilweise absorbieren und zumindest teilweise die primär emittierte Strahlung in insulating layer of the semiconductor chip primarily emitted electromagnetic radiation partially absorb and at least partially the primary emitted radiation in
Strahlung anderer Wellenlänge umwandeln und wieder Convert radiation of different wavelengths and again
reemittieren. Die elektrisch isolierende Schicht hat also die Funktion eines Lichtkonverters. Beispielsweise besteht die elektrisch isolierende Schicht dann aus YAG:Ce. re-emit. The electrically insulating layer thus has the function of a light converter. For example, the electrically insulating layer then consists of YAG: Ce.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls verläuft die erste Aussparung in der elektrisch isolierenden Schicht durchgängig zwischen der In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the first recess extends electrically insulating layer throughout between the
Strahlungsaustrittsfläche des Halbleiterchips und dem Träger entlang von Seitenflächen des Halbleiterchips und ist  Radiation exit surface of the semiconductor chip and the carrier along side surfaces of the semiconductor chip and is
seitlich durch die Kontaktfläche und den Träger begrenzt. Das kann heißen, dass die Strahlungsaustrittsfläche sowie eine oder mehrere der Seitenflächen des Halbleiterchips zumindest stellenweise "freiliegen". bounded laterally by the contact surface and the carrier. This may mean that the radiation exit surface as well as one or more of the side surfaces of the semiconductor chip are at least partially "exposed".
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls verläuft die erste Aussparung in der elektrisch isolierenden Schicht durchgängig zwischen benachbarten In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the first recess in the electrically insulating layer extends continuously between adjacent ones
Halbleiterchips und ist durch die Kontaktflächen seitlich begrenzt. "Benachbart" heißt in diesem Zusammenhang, dass die Halbleiterchips beispielsweise paarweise angeordnet sind und jedes Paar zwischen sich den Zwischenraum ausbildet. DerSemiconductor chips and is bounded by the contact surfaces laterally. "Adjacent" in this context means that the semiconductor chips are arranged in pairs, for example, and each pair between them forms the gap. Of the
Zwischenraum ist nicht von der elektrisch leitenden Schicht abgedeckt und somit "freiliegend". Ferner ist in diesem Space is not covered by the electrically conductive layer and thus "exposed". Furthermore, in this
Zusammenhang denkbar, dass neben dem freiliegenden Context conceivable that in addition to the exposed
Zwischenraum ebenso stellenweise die Space in places as well
Strahlungsaustrittsflächen der Halbleiterchips frei von der elektrisch isolierenden Schicht sind. Radiation exit surfaces of the semiconductor chips are free from the electrically insulating layer.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist zwischen den Halbleiterchips eine According to at least one embodiment of the optoelectronic module is between the semiconductor chips a
Isolationsschicht angeordnet. Beispielsweise füllt die Insulation layer arranged. For example, the fills
Isolationsschicht die Zwischenräume zwischen den Isolation layer the spaces between the
Halbleiterchips zumindest stellenweise formschlüssig aus. Ferner ist denkbar, dass die Isolationsschicht und die elektrisch isolierende Schicht mit dem gleichen Material gebildet sind. Semiconductor chips at least in places form-fitting. Furthermore, it is conceivable that the insulating layer and the electrically insulating layer are formed with the same material.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist die elektrisch isolierende Schicht eine Folie. Vorzugsweise weist die elektrisch isolierende Schicht dann eine Schichtdicke von 10 bis 300 ym, vorzugsweise von 150 ym, auf. Ebenso ist es möglich, dass die elektrisch isolierende Schicht aus einer Vielzahl einzelner Folien besteht, die übereinander angeordnet, beispielsweise aufgeklebt, sein können und so einen stapeiförmigen Folienverbund ausbilden. In diesem Zusammenhang ist es denkbar, dass es sich bei den Folien um Hybridfolien oder auch um Multilayerfolien handelt. "Hybridfolien" bezeichnet beispielsweise eine Folie, die mit einem keramischen Material in einer Polymermatrix gebildet ist. "Multilayerfolien" sind beispielsweise Keramikfolien mit einer Kleberbeschichtung. In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the electrically insulating layer is a foil. The electrically insulating layer then preferably has a layer thickness of 10 to 300 μm, preferably of 150 μm. It is also possible that the electrically insulating layer consists of a plurality of individual films, which can be arranged one above the other, for example glued on, and thus form a stape-shaped film composite. In this context, it is conceivable that the films are hybrid films or even multilayer films. For example, "hybrid films" refers to a film formed with a ceramic material in a polymer matrix. "Multilayer films" are, for example, ceramic films with an adhesive coating.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist die elektrisch isolierende Schicht mittels eines Laminierprozesses aufgebracht. Handelt es sich bei der elektrisch isolierenden Schicht um eine Folie, so kann sie mittels des Laminierprozesses auf freiliegende Außenflächen, beispielsweise der Halbleiterchips und der Montagefläche des Trägers, auflaminiert werden. In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the electrically insulating layer is applied by means of a laminating process. If the electrically insulating layer is a film, it can be laminated to exposed outer surfaces, for example the semiconductor chips and the mounting surface of the carrier, by means of the laminating process.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Moduls ist die elektrisch isolierende Schicht mittels eines Sinterprozesses aufgebracht. Beispielsweise wird dazu das aufgebrachte Material der elektrisch isolierenden Schicht mittels hoch energetischem Laserlichts oder mittels In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic module, the electrically insulating layer is applied by means of a sintering process. For example, the applied material of the electrically insulating layer by means of high-energy laser light or by means of
thermischen Sinterns ausgeformt. Dazu liegt das Material der elektrisch isolierenden Schicht beispielsweise in Form eines Nanopulvers oder eines Composites vor. formed by thermal sintering. For this purpose, the material of the electrically insulating layer is present for example in the form of a nanopowder or a composite.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist die elektrisch isolierende Schicht mittels eines Mold-Prozesses aufgebracht. Beispielsweise wird dazu vor dem Aufbringen des Materials der elektrisch isolierenden Schicht ein Stempel auf die In accordance with at least one embodiment, the electrically insulating layer is applied by means of a molding process. For example, before applying the material to the electrically insulating layer a stamp on the
Kontaktstellen/-flachen aufgebracht der die Kontaktstellen/ -flächen abdeckt. In einem weiteren Schritt kann dann das Material der elektrisch isolierenden Schicht aufgespritzt werden. Nach dem Aushärten können dann die Stempel entfernt werden, wodurch die Aussparungen in der elektrisch Contact points / surfaces applied covering the contact points / surfaces. In a further step, the material of the electrically insulating layer can then be sprayed on. After curing, the punches can then be removed, whereby the recesses in the electric
isolierenden Schicht freigelegt werden. Vorzugsweise liegt dann das Material der elektrisch isolierenden Schicht in Form einer Dispersion oder eines Aerosols vor. insulating layer are exposed. Preferably then the material of the electrically insulating layer is in the form of a dispersion or an aerosol.
Bei den Merkmalen, wonach die elektrisch isolierende Schicht über einen Laminierprozess , einen Sinterprozess oder einen Mold-Prozess aufgebracht ist, handelt es sich um jeweils gegenständliche Merkmale, da die Aufbringungsmethode direkt am optoelektronischen Modul nachweisbar ist. The features according to which the electrically insulating layer is applied via a lamination process, a sintering process or a mold process are each objective features, since the application method can be detected directly on the optoelectronic module.
Ebenso ist denkbar, dass die elektrisch isolierende Schicht aufgesprüht wird. Dazu liegt das Material der elektrisch isolierenden Schicht beispielsweise in flüchtiger Lösung oder in einer Polymermatrix vor. It is also conceivable that the electrically insulating layer is sprayed on. For this purpose, the material of the electrically insulating layer is present, for example, in volatile solution or in a polymer matrix.
Ferner kann das Material der elektrisch isolierenden Schicht mittels selektivem Abscheiden, zum Beispiel mittels eines Plasmaprozesses, eines Plasma-Spray-Prozesses oder mittels Sputtern aufgebracht werden. Furthermore, the material of the electrically insulating layer can be applied by means of selective deposition, for example by means of a plasma process, a plasma spray process or by sputtering.
Ebenso ist denkbar, dass die elektrisch isolierende Schicht mittels eines Schablonendruckverfahrens aufgebracht ist. Dazu wird eine vorgefertigte Schablone auf den Träger und die Halbleiterchips aufgelegt, welche beispielsweise im Bereich der Kontaktstellen/-flächen Abdeckungen aufweist. Mittels eines derartigen Schablonenrasters bleiben nach dem It is also conceivable that the electrically insulating layer is applied by means of a stencil printing process. For this purpose, a prefabricated template is placed on the carrier and the semiconductor chips, which has, for example, in the region of the contact points / surfaces covers. By means of such a template grid remain after the
Aufdrucken des Materials Bereiche vom Material der elektrisch isolierenden Schicht frei, die dann die Aussparungen der elektrisch isolierenden Schicht bilden. Imprinting the material areas of the material of the electric insulating layer free, which then form the recesses of the electrically insulating layer.
Im Folgenden wird das hier beschriebene optoelektronische Modul anhand von Ausführungsbeispielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert. In the following, the optoelectronic module described here will be explained in more detail on the basis of exemplary embodiments and the associated figures.
Die Figuren 1 und 2 zeigen schematische Ansichten von Figures 1 and 2 show schematic views of
Ausführungsbeispielen eines hier beschriebenen optoelektronischen Moduls.  Embodiments of an optoelectronic module described here.
Die Figuren 3a bis 3d zeigen einzelne Fertigungsschritte zur FIGS. 3a to 3d show individual production steps for
Herstellung eines Ausführungsbeispiels eines hier beschriebenen optoelektronischen Moduls.  Production of an embodiment of an optoelectronic module described here.
In den Ausführungsbeispielen und den Figuren sind gleiche oder gleich wirkende Bestandteile jeweils mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Die dargestellten Elemente sind nicht als maßstabsgerecht anzusehen, vielmehr können einzelne In the exemplary embodiments and the figures, identical or identically acting components are each provided with the same reference numerals. The illustrated elements are not to be regarded as true to scale, but rather individual
Elemente zum besseren Verständnis übertrieben groß Elements exaggerated for better understanding
dargestellt sein. be shown.
Die Figur 1 zeigt in einer schematischen Seitenansicht ein Ausführungsbeispiel eines hier beschriebenen 1 shows a schematic side view of an embodiment of a described here
optoelektronischen Moduls 100. Ein Träger 1 weist eine Optoelectronic module 100. A carrier 1 has a
Kontaktstelle 1A auf. Auf eine Montagefläche 11 ist ein strahlungsemittierender Halbleiterchip 2 aufgebracht, der eine aktive Zone zur Erzeugung von elektromagnetischer Contact point 1A on. On a mounting surface 11, a radiation-emitting semiconductor chip 2 is applied, which has an active zone for generating electromagnetic
Strahlung aufweist. Ferner weist der Strahlungsemittierende Halbleiterchip 2 eine erste Kontaktfläche 2A und eine zweite Kontaktfläche 2B auf. Der Strahlungsemittierende Having radiation. Furthermore, the radiation-emitting semiconductor chip 2 has a first contact surface 2A and a second contact surface 2B. The radiation-emitting
Halbleiterchip 2 ist mit seiner zweiten Kontaktfläche 2A auf die Montagefläche 11 des Trägers 1 aufgebracht und dort mit dem Träger 1 elektrisch kontaktiert. Beispielsweise ist der Strahlungsemittierende Halbleiterchip 2 aufgeklebt oder mittels eines Lotmaterials mit dem Träger 1 verbunden. Auf freiliegende Seitenflächen 9 des Halbleiterchips 2 sowie eine Strahlungsaustrittsfläche 3 des Halbleiterchips 2 ist Semiconductor chip 2 is applied with its second contact surface 2A on the mounting surface 11 of the carrier 1 and there with the carrier 1 electrically contacted. By way of example, the radiation-emitting semiconductor chip 2 is adhesively bonded or connected to the carrier 1 by means of a solder material. On exposed side surfaces 9 of the semiconductor chip 2 and a radiation exit surface 3 of the semiconductor chip 2 is
stellenweise eine elektrisch isolierende Schicht 4 in places an electrically insulating layer 4
formschlüssig aufgebracht. Ferner bedeckt die elektrisch isolierende Schicht 4 die Montagefläche 11 des Trägers 1 im Bereich 21, sodass die elektrisch isolierende Schicht 4 zwischen der Kontaktstelle 1A und der ersten Kontaktfläche 2A ohne Unterbrechung verläuft. Die elektrisch isolierende positively applied. Furthermore, the electrically insulating layer 4 covers the mounting surface 11 of the carrier 1 in the region 21, so that the electrically insulating layer 4 extends without interruption between the contact point 1A and the first contact surface 2A. The electrically insulating
Schicht 4 weist eine erste Aussparung 4A auf, die durchgängig zwischen der Strahlungsaustrittsfläche 3 entlang der Layer 4 has a first recess 4A, which is continuous between the radiation exit surface 3 along the
Seitenfläche 9 bis zum Träger 1 hin verläuft. Die erste Side surface 9 extends to the support 1 out. The first
Aussparung 4A ist daher von dem Träger 1 und der ersten Recess 4A is therefore of the carrier 1 and the first
Kontaktfläche 2A seitlich begrenzt. Die Contact surface 2A bounded laterally. The
Strahlungsaustrittsfläche 3 des Strahlungsemittierenden  Radiation exit surface 3 of the radiation-emitting
Halbleiterchips 2 ist dann stellenweise frei von der Semiconductor chips 2 is then partially free of the
elektrisch isolierenden Schicht 4. Eine elektrisch leitfähige Leitstruktur 8 kontaktiert die erste Kontaktfläche 2A mit der Kontaktstelle 1A des Trägers 1 elektrisch. Vorliegend ist die elektrisch leitfähige Leitstruktur 8 auf die elektrisch isolierende Schicht 4 und den beiden Kontaktflächen 1A und 2A aufgedruckt. Bei der elektrisch isolierenden Schicht 4 handelt es sich vorliegend um eine Folie, die mittels eineselectrically insulating layer 4. An electrically conductive conductive structure 8 contacts the first contact surface 2A with the contact point 1A of the carrier 1 electrically. In the present case, the electrically conductive conductive structure 8 is printed on the electrically insulating layer 4 and the two contact surfaces 1A and 2A. In the present case, the electrically insulating layer 4 is a film which by means of a
Laminierprozesses aufgebracht ist. In dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 1 besteht die elektrisch isolierende Schicht 4 aus einem keramischen Material. Ebenso ist denkbar, dass die elektrisch isolierende Schicht 4 aus einem keramischen Laminating process is applied. In the embodiment according to FIG. 1, the electrically insulating layer 4 consists of a ceramic material. It is also conceivable that the electrically insulating layer 4 of a ceramic
Leuchtstoff besteht und die elektrisch isolierende Schicht 4 zumindest teilweise von vom Strahlungsemittierenden Phosphor consists and the electrically insulating layer 4 at least partially from the radiation-emitting
Halbleiterchip 2 primär emittierte elektromagnetische Strahlung in Strahlung anderer Wellenlänge umwandelt, sodass das optoelektronische Modul 100 Mischlicht emittiert. Semiconductor chip 2 primarily emitted electromagnetic Radiation converts radiation of different wavelength, so that the optoelectronic module 100 emits mixed light.
Die Figur 2 zeigt das optoelektronische Modul 100 mit zwei nebeneinander angeordneten Strahlungsemittierenden FIG. 2 shows the optoelectronic module 100 with two radiation emitters arranged next to one another
Halbleiterchips 2. Die Halbleiterchips 2 bilden zwischen sich einen Zwischenraum 12 aus, der seitlich jeweils durch die Seitenflächen 9 sowie durch den Träger 1 begrenzt ist. In dem Zwischenraum 12 ist eine Isolationsschicht 5 angeordnet, die den Zwischenraum 12 zumindest stellenweise ausfüllt und formschlüssig auf die Seitenflächen 9 und den Träger 1 aufgebracht ist. Ebenso ist denkbar, dass anstatt oder zusätzlich zur Isolationsschicht 5 die elektrisch isolierende Schicht 4 in den Zwischenraum 12 eingebracht ist. Die erste Aussparung 4A verläuft ohne Unterbrechung zwischen den beiden Halbleiterchips 2 und ist durch die Kontaktflächen 2A  Semiconductor chips 2. The semiconductor chips 2 form between them an intermediate space 12, which is delimited laterally in each case by the side surfaces 9 and by the carrier 1. In the intermediate space 12, an insulating layer 5 is arranged, which at least partially fills the gap 12 and is positively applied to the side surfaces 9 and the carrier 1. It is also conceivable that instead of or in addition to the insulating layer 5, the electrically insulating layer 4 is introduced into the intermediate space 12. The first recess 4A runs without interruption between the two semiconductor chips 2 and is through the contact surfaces 2A
seitlich begrenzt. Dies hat zur Folge, dass die laterally limited. As a result, the
Strahlungsaustrittsflächen 3 der Halbleiterchips zumindest stellenweise freiliegen. Radiation exit surfaces 3 of the semiconductor chips exposed at least in places.
Die Figuren 3a bis 3d zeigen einzelne Fertigungsschritte zur Herstellung eines Ausführungsbeispiels eines hier FIGS. 3a to 3d show individual production steps for producing an exemplary embodiment of one here
beschriebenen optoelektronischen Moduls 100. Dazu wird zunächst, wie in der Figur 3a dargestellt, der Träger 1 bereitgestellt, wobei auf die Montagefläche 11 des Trägers 1 die Halbleiterchips 2 aufgebracht sind. For this purpose, first of all, as shown in FIG. 3 a, the carrier 1 is provided, the semiconductor chips 2 being applied to the mounting surface 11 of the carrier 1.
In einem weiteren Schritt werden, wie in der Figur 3b In a further step, as in FIG. 3b
gezeigt, die Kontaktflächen 1A des Trägers 1 und die shown, the contact surfaces 1A of the carrier 1 and the
Kontaktflächen 2A der Halbleiterchips 2 mit einem Lack 50 abgedeckt. Alternativ können die Kontaktflächen mit Folien, einem Wachs oder anderen Haftungsschichten abgedeckt werden. Gemäß der Figur 3c wird in einem weiteren Schritt auf Contact surfaces 2A of the semiconductor chips 2 covered with a paint 50. Alternatively, the contact surfaces can be covered with films, a wax or other adhesive layers. According to the figure 3c is in a further step
freiliegende Außenflächen des optoelektronischen Moduls 100 das Material der elektrisch isolierenden Schicht 4 Exposed outer surfaces of the optoelectronic module 100, the material of the electrically insulating layer 4th
aufgebracht, sodass die Seitenflächen 9 und die applied, so that the side surfaces 9 and the
Strahlungsaustrittsflächen 3 zumindest stellenweise mit der elektrisch isolierenden Schicht 4 bedeckt sind. Das Radiation exit surfaces 3 are covered at least in places with the electrically insulating layer 4. The
Aufbringen kann beispielsweise mittels eines Sinter- oder Moldprozesses geschehen. Ebenso ist denkbar, dass die Application can be done for example by means of a sintering or molding process. It is also conceivable that the
elektrisch isolierende Schicht 4 mittels eines electrically insulating layer 4 by means of a
Laminierprozesses oder eines Sprühprozesses aufgebracht wird. Laminierprozesses or a spray process is applied.
Ferner kann das Material der elektrisch isolierenden Schicht 4 mittels selektivem Abscheiden, zum Beispiel mittels eines Plasmaprozesses, eines Plasma-Spray-Prozesses oder mittels Sputtern aufgebracht werden. Furthermore, the material of the electrically insulating layer 4 can be applied by means of selective deposition, for example by means of a plasma process, a plasma spray process or by sputtering.
In einem weiteren Schritt wird in der Figur 3d mittels eines physikalischen und/oder mechanischen Materialabtrags der Lack 50 entfernt, sodass zumindest die Kontaktflächen 1A und 2A freiliegen. In a further step, the paint 50 is removed in the figure 3d by means of a physical and / or mechanical material removal, so that at least the contact surfaces 1A and 2A are exposed.
Die Strahlungsaustrittsflächen 3 sind dann mit dem Material der elektrisch isolierenden Schicht 4 bis auf die Stellen, an denen die Kontaktflächen 2A verlaufen, vollständig bedeckt, wobei vorliegend die elektrisch isolierende Schicht 4 mit einer strahlungsdurchlässigen Keramik gebildet ist oder aus einem keramischen Leuchtstoff besteht. The radiation exit surfaces 3 are then completely covered with the material of the electrically insulating layer 4 up to the points where the contact surfaces 2A extend, wherein in the present case the electrically insulating layer 4 is formed with a radiation-transmissive ceramic or consists of a ceramic phosphor.
In einem letzten Schritt kann die Ankontaktierung der In a final step, the Ankontaktierung the
Halbleiterchips 2 über die elektrisch leitfähigen Semiconductor chips 2 via the electrically conductive
Leitstrukturen 8 an Stellen der Kontaktstellen 1A und 2A erfolgen . Alternativ kann die Aufbringung der elektrisch isolierenden Schicht 4 mittels der Verwendung einer vorstrukturierten Maske erfolgen. Beispielsweise kann die elektrisch Lead structures 8 take place at locations of the contact points 1A and 2A. Alternatively, the application of the electrically insulating layer 4 can take place by means of the use of a pre-structured mask. For example, the electric
isolierende Schicht 4 dann durch einen Sprühprozess , zum Beispiel mittels Plasmaabscheidung, aufgebracht werden. insulating layer 4 are then applied by a spraying process, for example by means of plasma deposition.
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr umfasst die The invention is not limited by the description with reference to the embodiments. Rather, the includes
Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Invention every new feature as well as every combination of
Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Features, which includes in particular any combination of features in the claims, even if this feature or this combination itself is not explicitly in the
Patentansprüchen oder den Ausführungsbeispielen angegeben ist . Claims or the embodiments is given.

Claims

Patentansprüche claims
1. Optoelektronisches Modul (100), umfassend An optoelectronic module (100) comprising
- einen Träger (1) mit zumindest einer Kontaktstelle (1A); - einen strahlungsemittierenden Halbleiterchip (2), wobei der Strahlungsemittierende Halbleiterchip (2) eine erste  - A support (1) with at least one contact point (1A); a radiation-emitting semiconductor chip (2), wherein the radiation-emitting semiconductor chip (2) has a first
Kontaktfläche (2A) und eine zweite Kontaktfläche (2B) aufweist ; Contact surface (2A) and a second contact surface (2B);
- eine elektrisch isolierende Schicht (4), die eine erste (4A) und eine zweite Aussparung (4B) aufweist;  an electrically insulating layer (4) having a first (4A) and a second recess (4B);
- zumindest eine elektrisch leitfähige Leitstruktur (8), wobei  - At least one electrically conductive guide structure (8), wherein
- die erste Kontaktfläche (2A) auf der von dem Träger (1) abgewandten Seite des strahlungsemittierenden Halbleiterchips (2) angeordnet ist,  the first contact surface (2A) is arranged on the side of the radiation-emitting semiconductor chip (2) which is remote from the support (1),
- die elektrisch isolierende Schicht (4) zumindest  - The electrically insulating layer (4) at least
stellenweise auf den Träger (1) und dem Halbleiterchip (2) aufgebracht ist und die erste Aussparung (4A) im Bereich der ersten Kontaktfläche (2A) und die zweite Aussparung (4B) im Bereich der Kontaktstelle (1A) aufweist, in places on the carrier (1) and the semiconductor chip (2) and has the first recess (4A) in the region of the first contact surface (2A) and the second recess (4B) in the region of the contact point (1A),
- die elektrisch leitfähige Leitstruktur (8) auf der  - The electrically conductive guide structure (8) on the
elektrisch isolierenden Schicht (4) angeordnet ist und die erste Kontaktfläche (2A) mit der Kontaktstelle (1A) des electrically insulating layer (4) is arranged and the first contact surface (2A) with the contact point (1A) of the
Trägers (1) elektrisch kontaktiert, und Carrier (1) electrically contacted, and
- die elektrisch isolierende Schicht (4) überwiegend mit einem keramischen Material gebildet ist. - The electrically insulating layer (4) is formed predominantly with a ceramic material.
2. Optoelektronisches Modul (100) nach dem vorhergehenden Anspruch, 2. Optoelectronic module (100) according to the preceding claim,
mit zumindest zwei strahlungsemittierenden Halbleiterchips (2), wobei die elektrisch isolierende Schicht (4) with at least two radiation-emitting semiconductor chips (2), wherein the electrically insulating layer (4)
stellenweise zwischen den strahlungsemittierenden in places between the radiation-emitting
Halbleiterchips (2) angeordnet ist. Semiconductor chips (2) is arranged.
3. Optoelektronisches Modul (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 3. Optoelectronic module (100) according to one of the preceding claims,
bei dem die elektrisch isolierende Schicht (4) bis auf die Aussparungen (4A, 4B) formschlüssig auf die freiliegenden Außenflächen des optoelektronischen Moduls (100) aufgebracht ist . in which the electrically insulating layer (4) except for the recesses (4A, 4B) is positively applied to the exposed outer surfaces of the optoelectronic module (100).
4. Optoelektronisches Modul (100) nach einem der 4. Optoelectronic module (100) according to one of
vorhergehenden Ansprüche, previous claims,
bei dem die elektrisch isolierende Schicht (4) in which the electrically insulating layer (4)
strahlungsdurchlässig ist und eine Strahlungsaustrittsfläche (3) des Halbleiterchips (2) stellenweise bedeckt. is radiation-permeable and a radiation exit surface (3) of the semiconductor chip (2) covered in places.
5. Optoelektronisches Modul (100) nach einem der 5. Optoelectronic module (100) according to one of
vorhergehenden Ansprüche, previous claims,
bei dem die elektrisch isolierende Schicht (4) aus einem keramischen Leuchtstoff besteht. in which the electrically insulating layer (4) consists of a ceramic phosphor.
6. Optoelektronisches Modul (100) nach einem der 6. Optoelectronic module (100) according to one of
vorhergehenden Ansprüche, previous claims,
bei dem die erste Aussparung (4A) in der elektrisch wherein the first recess (4A) in the electric
isolierenden Schicht (4) durchgängig zwischen der insulating layer (4) throughout between the
Strahlungsaustrittsfläche (3) des Halbleiterchips (2) und dem Träger (1) entlang von Seitenflächen (9) des Halbleiterchips (2) verläuft und durch die ersten Kontaktflächen (2A) und den Träger (1) seitlich begrenzt ist. Radiation exit surface (3) of the semiconductor chip (2) and the carrier (1) along side surfaces (9) of the semiconductor chip (2) and laterally limited by the first contact surfaces (2A) and the carrier (1).
7. Optoelektronisches Modul (100) nach einem der 7. Optoelectronic module (100) according to one of
vorhergehenden Ansprüche, previous claims,
bei dem sich die erste Aussparung (4A) in der elektrisch isolierenden Schicht (4) durchgängig zwischen benachbarten Halbleiterchips (2) verläuft und durch die Kontaktflächen (2A) seitlich begrenzt ist. in which the first recess (4A) in the electrically insulating layer (4) runs continuously between adjacent semiconductor chips (2) and is bounded laterally by the contact surfaces (2A).
8. Optoelektronisches Modul (100) nach einem der 8. Optoelectronic module (100) according to one of
vorhergehenden Ansprüche, previous claims,
bei dem zwischen den Halbleiterchips (2) eine in which between the semiconductor chips (2) a
Isolationsschicht (5) angeordnet ist. Insulation layer (5) is arranged.
9. Optoelektronisches Modul (100) nach einem der 9. Optoelectronic module (100) according to one of
vorhergehenden Ansprüche, previous claims,
bei dem die elektrisch isolierende Schicht (4) eine Folie ist . in which the electrically insulating layer (4) is a foil.
10. Optoelektronisches Modul (100) nach dem vorhergehenden Anspruch, 10. Optoelectronic module (100) according to the preceding claim,
bei dem die elektrisch isolierende Schicht (4) mittels eines Laminierprozesses aufgebracht ist. in which the electrically insulating layer (4) is applied by means of a lamination process.
11. Optoelektronisches Modul (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 8 , 11. Optoelectronic module (100) according to one of claims 1 to 8,
bei dem die elektrisch isolierende Schicht (4) mittels eines Sinterprozesses aufgebracht ist. in which the electrically insulating layer (4) is applied by means of a sintering process.
12. Optoelektronisches Modul (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 8 , 12. Optoelectronic module (100) according to one of claims 1 to 8,
bei dem die elektrische isolierende Schicht (4) mittels eines Moldprozesses aufgebracht ist. in which the electrical insulating layer (4) is applied by means of a molding process.
EP10752334A 2009-09-18 2010-09-06 Optoelectronic module Withdrawn EP2478557A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009042205A DE102009042205A1 (en) 2009-09-18 2009-09-18 Optoelectronic module
PCT/EP2010/063035 WO2011032853A1 (en) 2009-09-18 2010-09-06 Optoelectronic module

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP2478557A1 true EP2478557A1 (en) 2012-07-25

Family

ID=43333046

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP10752334A Withdrawn EP2478557A1 (en) 2009-09-18 2010-09-06 Optoelectronic module

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20120228666A1 (en)
EP (1) EP2478557A1 (en)
JP (1) JP2013505561A (en)
KR (1) KR20120080608A (en)
CN (1) CN102576707A (en)
DE (1) DE102009042205A1 (en)
TW (1) TW201117439A (en)
WO (1) WO2011032853A1 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011016935A1 (en) * 2011-04-13 2012-10-18 Osram Opto Semiconductors Gmbh A method of manufacturing a semiconductor light emitting device and light emitting semiconductor device
DE102011079708B4 (en) 2011-07-25 2022-08-11 Osram Gmbh SUPPORT DEVICE, ELECTRICAL DEVICE WITH SUPPORT DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
DE102012101889A1 (en) 2012-03-06 2013-09-12 Osram Opto Semiconductors Gmbh Method for producing an optoelectronic semiconductor chip and optoelectronic semiconductor chip
DE102012108160A1 (en) * 2012-09-03 2014-03-06 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic semiconductor component and method for producing an optoelectronic semiconductor component
WO2016034492A1 (en) * 2014-09-02 2016-03-10 Philips Lighting Holding B.V. A method of applying a lighting arrangement to a surface and a lighting surface
DE102015104886A1 (en) * 2015-03-30 2016-10-06 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic semiconductor chip, optoelectronic semiconductor component and method for producing an optoelectronic semiconductor chip
IL303148A (en) 2016-02-24 2023-07-01 Magic Leap Inc Low profile interconnect for light emitter
DE102019219016A1 (en) * 2019-12-05 2021-06-10 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung OPTOELECTRONIC DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING AN OPTOELECTRONIC DEVICE

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0518839U (en) * 1991-08-30 1993-03-09 シヤープ株式会社 Light emitting device
DE10308866A1 (en) * 2003-02-28 2004-09-09 Osram Opto Semiconductors Gmbh Lighting module and method for its production
DE10353679A1 (en) * 2003-11-17 2005-06-02 Siemens Ag Cost-effective, miniaturized assembly and connection technology for LEDs and other optoelectronic modules
US7361938B2 (en) * 2004-06-03 2008-04-22 Philips Lumileds Lighting Company Llc Luminescent ceramic for a light emitting device
DE102004050371A1 (en) * 2004-09-30 2006-04-13 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic component with a wireless contact
US20060154393A1 (en) * 2005-01-11 2006-07-13 Doan Trung T Systems and methods for removing operating heat from a light emitting diode
EP1922764A1 (en) * 2005-08-24 2008-05-21 Philips Intellectual Property & Standards GmbH Light emitting diodes and lasers diodes with color converters
DE102005041099A1 (en) * 2005-08-30 2007-03-29 Osram Opto Semiconductors Gmbh LED chip with glass coating and planar assembly and connection technology
JP2007158262A (en) * 2005-12-08 2007-06-21 Rohm Co Ltd Method of manufacturing semiconductor light-emitting element
US20070241661A1 (en) * 2006-04-12 2007-10-18 Yin Chua B High light output lamps having a phosphor embedded glass/ceramic layer
DE102007021009A1 (en) * 2006-09-27 2008-04-10 Osram Opto Semiconductors Gmbh Light-emitting diode arrangement and method for producing such
US9024349B2 (en) * 2007-01-22 2015-05-05 Cree, Inc. Wafer level phosphor coating method and devices fabricated utilizing method
DE102007011123A1 (en) * 2007-03-07 2008-09-11 Osram Opto Semiconductors Gmbh Light-emitting module and method of manufacturing a light-emitting module
JP2008244357A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Toshiba Corp Semiconductor light-emitting device
DE102007046337A1 (en) * 2007-09-27 2009-04-02 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic semiconductor chip, optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component
DE102008019902A1 (en) * 2007-12-21 2009-06-25 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic component and production method for an optoelectronic component

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2011032853A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
US20120228666A1 (en) 2012-09-13
KR20120080608A (en) 2012-07-17
CN102576707A (en) 2012-07-11
TW201117439A (en) 2011-05-16
JP2013505561A (en) 2013-02-14
WO2011032853A1 (en) 2011-03-24
DE102009042205A1 (en) 2011-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2478557A1 (en) Optoelectronic module
EP2462633B1 (en) Method for producing an optoelectronic semiconductor component and optoelectronic semiconductor component
EP2297780B1 (en) Optoelectronic module having a carrier substrate and a plurality of radiation emitting semiconductor devices and method of its manufacture
DE102011011139B4 (en) Method for producing at least one optoelectronic semiconductor component and optoelectronic semiconductor component
WO2014095923A1 (en) Method for producing an optoelectronic semiconductor device, and optoelectronic semiconductor device
WO2012168040A1 (en) Method for producing an optoelectronic semiconductor component and such a semiconductor component
WO2015010997A1 (en) Surface-mountable optoelectronic semiconductor component and method for producing at least one surface-mountable optoelectronic semiconductor component
DE102013212247B4 (en) Optoelectronic component and process for its production
WO2011012371A1 (en) Method for producing a component with at least one organic material and component with at least one organic material
WO2016074914A1 (en) Optoelectronic semiconductor component and method for producing an optoelectronic semiconductor component
EP2474203A1 (en) Conversion agent body, optoelectronic semiconductor chip, and method for producing an optoelectronic semiconductor chip
DE102012101463A1 (en) Method for producing an optoelectronic component and thus produced optoelectronic component
WO2016162430A1 (en) Component and method for producing a component
DE102014108362B4 (en) Method for producing a plurality of optoelectronic components and optoelectronic component
WO2012055661A1 (en) Optoelectronic semiconductor component comprising a semiconductor chip, a carrier substrate and a film and a method for producing said component
DE102008049060B4 (en) Organic, opto-electronic component and manufacturing method therefor
EP2460203B1 (en) Organic component and method for the production thereof
WO2014048699A1 (en) Optoelectronic semiconductor component and method for producing said component
DE102012007727A1 (en) Solid-state LED lamp assembly used in street lighting, has crossbar that is projected beyond side face of respective solid state LED and is partially connected with side face of solid state LED
WO2015110417A1 (en) Light-emitting component and method for producing a light-emitting component
DE102018104290A1 (en) OPTOELECTRONIC COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING AN OPTOELECTRONIC COMPONENT
DE102004047061B4 (en) Optoelectronic component and method for producing an optoelectronic component
DE102015107591B4 (en) Optoelectronic semiconductor component and method for producing an optoelectronic semiconductor component
DE102010052835A1 (en) Optoelectronic component and method for its production
DE102014111037B4 (en) Process for producing an organic light emitting diode and organic light emitting diode

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20120315

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20160401