EP2422530A1 - Verfahren zur herstellung eines elektromechanischen wandlers - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines elektromechanischen wandlers

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Publication number
EP2422530A1
EP2422530A1 EP10713317A EP10713317A EP2422530A1 EP 2422530 A1 EP2422530 A1 EP 2422530A1 EP 10713317 A EP10713317 A EP 10713317A EP 10713317 A EP10713317 A EP 10713317A EP 2422530 A1 EP2422530 A1 EP 2422530A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
recesses
polymer layer
continuous
cover
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP10713317A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Werner Jenninger
Joachim Wagner
Wolfgang Fischer
Jörg Büchner
Thomas Bernert
Andreas Nübler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bayer Intellectual Property GmbH
Original Assignee
Bayer MaterialScience AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Bayer MaterialScience AG filed Critical Bayer MaterialScience AG
Priority to EP10713317A priority Critical patent/EP2422530A1/de
Publication of EP2422530A1 publication Critical patent/EP2422530A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing an electromechanical, for example piezoelectric, transducer, electromechanical transducer and their use.
  • piezoelectricity The ability of some materials to form an electrical potential due to applied mechanical stress is referred to as piezoelectricity.
  • Established piezoelectric materials are lead zirconium titanate (PZT) and fluorinated polymers such as polyvinylidene fluoride (PVDF).
  • PZT lead zirconium titanate
  • PVDF polyvinylidene fluoride
  • PP closed-cell polypropylene
  • PP closed-cell polypropylene
  • Such polypropylene ferroelectrets may have a piezoelectric coefficient of several hundred picocoulombs per Newton.
  • multilayer systems consisting of several foams stacked on top of each other have been developed.
  • Gerhard et al. (2007 Annual Report on Electrical Insulation and Dielectric Phenomena, pages 453-456) describes a three-layer ferroelectret in which a polytetrafluoroethylene film provided with a plurality of uniform continuous recesses by mechanical or laser-based drilling is sandwiched between two uniform fluoroethylene propylene films.
  • the introduction of continuous recesses by mechanical or laser-based drilling is expensive and unsuitable for the production of large quantities.
  • the apertured layer must be chemically cleaned to remove metallic (burrs) or organic residues.
  • the disclosed three-layer ferroelectret is produced by a lamination process.
  • the joining of the grooved Porytetrafluorethylenfilms with the fluorinated ethylene propylene film is effected in that the layers under elevated pressure and elevated temperature (310 0 C) between two hot, is passed through rotating cylinders.
  • the invention therefore proposes a method for producing an electromechanical, for example piezoelectric, transducer, comprising the steps:
  • electromechanical transducers can advantageously be produced in large numbers.
  • Coating processes within the meaning of the invention are understood in particular to be non-lamination processes, as described, for example, in Gerhard et al. are disclosed.
  • the recesses can be formed by the method according to the invention in many different forms.
  • the shape of the recess is therefore not limited to a cylindrical shape having a circular cross-sectional area.
  • the method according to the invention offers the possibility of being embodied in different forms Recesses to combine. In this way, on the one hand advantageously, the total void volume of the resulting cavities can be maximized.
  • the electromechanical, in particular piezoelectric, properties of the electromechanical transducers produced by the method according to the invention can be adapted by selecting the recess shape, arrangement and / or distribution.
  • the method of the invention avoids burrs and other sharp-edged recessed surface irregularities. This has an advantageous effect on the electromechanical, in particular piezoelectric, properties, on the other hand, it reduces the effort in the production of the converter, since the operation of removing these irregularities is eliminated.
  • the recessed polymer layer may advantageously soften the electromechanical transducer to be made along its thickness to decrease its modulus of elasticity, allow a poling process in the resulting cavities, and / or separate charge layers formed in the continuous polymer layers after the charging process.
  • the cover comprises a second recesses-containing polymer layer and a second continuous polymer layer, wherein the second recesses polymer layer is disposed on the second continuous polymer layer.
  • the cover may consist of a second recesses-comprising polymer layer and a second continuous polymer layer.
  • the cover is a third continuous polymer layer.
  • the cover is produced by applying a polymer layer comprising second recesses to a second continuous polymer layer by means of a printing and / or coating method.
  • the material of the first recesses comprising polymer layer may be partially solidified after application to the first continuous polymer layer, for example, partially dried and / or partially crosslinked and / or partially solidified and / or partially crystallized.
  • the material of the second recesses comprising polymer layer may be partially solidified after application to the second continuous polymer layer, for example, partially dried and / or partially crosslinked and / or partially solidified and / or partially crystallized.
  • the material may comprise the first recesses Polymer layer after application to the first continuous polymer layer and / or the material of the second recesses comprising polymer layer after application to the second continuous polymer layer so partially solidified, for example partially dried and / or partially crosslinked and / or partially solidified and / or partially crystallized, be that its viscosity is increased compared with the viscosity when applied to the continuous polymer layer.
  • the dimensional stability of the recesses can be improved.
  • only partial solidification offers the possibility of connecting the first recesses-comprising polymer layer to the third continuous polymer layer or the second recesses-comprising polymer layer by further, in particular complete, solidification of the material.
  • connecting the first recesses-comprising polymer layer to the cover takes place by only partially solidifying the material of the first recesses-comprising polymer layer after application to the first continuous polymer layer, and / or only partially solidifying the material of the second recesses Polymer layer after application to the second continuous polymer layer, and further, in particular complete, solidifying the material of the first recesses comprehensive polymer layer after the application of the cover, and / or further, in particular complete, solidifying the material of the second recesses comprising polymer layer after the application of the Cover.
  • solidification, drying and / or crosslinking and / or solidification and / or crystallization can be understood.
  • the material of the first recesses-comprising polymer layer after application to the first continuous polymer layer and / or the material of the second recesses comprising polymer layer after application to the second continuous polymer layer, for example thermally, and only after application to network the cover.
  • a further example is to use an amorphously solidifying and / or crystallizing material, in particular polymer, for example a polyurethane, for the polymer layer comprising the first recesses and / or the polymer layer comprising the second recesses.
  • the amorphous solidifying and / or crystallizing material can be applied to the first or second continuous polymer layer, for example, as a dispersion comprising the formation of the first or second recesses.
  • the amorphous solidifying and / or crystallizing material for example, after application to the first or second continuous polymer layer partially solidify amorphous and / or crystallize and solidify completely amorphous after application of the cover and / or crystallize thereby connecting the first recesses-containing polymer layer to the cover.
  • the amorphous solidifying and / or crystallizing material may also solidify completely amorphous and / or crystallize after application to the first and second continuous polymer layer and be crosslinked after application of the cover, wherein the first recesses polymer layer is connected to the cover.
  • the amorphous solidifying and / or crystallizing material after application to the first or second continuous polymer layer solidify completely amorphous and / or crystallize and heated after application of the cover to a temperature at which the amorphous solidifying and / or crystallizing material softens and / or melts, the third polymer layer or the other recesses comprising polymer layer is wetted, wherein the structure of the recesses comprising polymer layer is maintained and wherein after cooling to a lower temperature, the first recesses comprehensive polymer layer is connected to the cover.
  • the polymer layer comprising the material of the first and / or second recesses can be crosslinked, for example thermally, by irradiation with ultraviolet light, by irradiation with infrared light and / or by drying.
  • crosslinking may be thermal, by irradiation with infrared light, or by drying.
  • the polymer layer comprising the first recesses and / or the polymer layer comprising the second recesses are applied by the following coating or printing methods: doctoring, spin coating, dipcoating, spray coating, curtain coating (Curtain coating), coating by means of slot-dye coating, flexographic printing, gravure printing, pad printing, digital printing, thermal transfer printing, throughprint, in particular high-pressure, planographic printing, gravure printing (offset printing) and / or screen printing, and / or a roll application method, for example with roller applicators for hotmelt adhesives by Hardo Maschinenbau GmbH (Bad Salzuflen, Germany).
  • the polymer layer comprising the first recesses and / or the polymer layer comprising the second recesses can be applied, for example, by doctoring,
  • the polymer layer comprising the first recesses and / or the polymer layer comprising the second recesses are applied by a screen printing method.
  • the application of the polymer layer comprising the first recesses and / or the polymer layer comprising the second recesses can be effected with a, for example electrically, heated screen, in particular screen printing fabric.
  • Heated sieves for screen printing are offered, for example, by Koenen GmbH (Ottobrunn, Germany) under the trade name Hot Screen.
  • thermoplastic substances such as reactive and non-reactive hotmelt adhesives based on polyurethane, polyester and / or polyamide, in particular hot-melt pastes, or screen printing pastes, which include high-boiling solvents and / or drying under ultraviolet light, as Screen printing pastes are used.
  • thermoplastic substances or hot-melt pastes are preferably solid at room temperature and reach at the temperatures to which the wire is heated, for example> 60 ° C to ⁇ 80 ° C, a viscosity which is comparable to that of conventional screen-printing pastes, for example from> 1000 mPa-s to ⁇ 20,000 mPa-s.
  • the addition of solvents is not required in such hot-melt pastes.
  • the thermoplastic substances cool on contact with the continuous polymer layer and can thus remain contour sharp.
  • the use of a heated screen and a thermoplastic substance has the advantage that can be dispensed with a drying process.
  • Screen printing pastes which comprise high-boiling solvents and / or are drying under ultraviolet light can be applied when using a heated screen, in particular screen-printed fabric, and optionally a heated doctor blade.
  • a heated screen By heating the screen, the viscosity of the paste is lowered.
  • the paste cools and its viscosity increases. This has the advantage that the contour sharpness can be increased.
  • low-viscosity pastes may optionally also be used.
  • the fineness of the fabric is the number of threads per centimeter understood. For example, screen printed fabrics having a filament count of at least 120 threads per centimeter, especially at least 150 threads per centimeter, can be used.
  • the pressure and / or flood doctor blades can be heated.
  • the material of the first or second recesses comprising polymer layer can be partially or completely solidified, for example, dried and / or crosslinked and / or solidified and / or crystallized. If necessary, the prints can be done wet to wet.
  • the positions of the later recesses in the coating process described above are initially masked or masked.
  • transfer coating is understood to mean, in particular, that the polymer layer comprising recesses is first formed on a transfer layer, for example a release paper or release film, by a printing and / or coating process and then transferred to the continuous polymer layer and bonded to the continuous polymer layer.
  • the transfer coating advantageously offers the possibility of spatially and temporally separating the production of the first and / or second recesses comprising polymer layer and the assembly of the Auss complete layer (s) with the continuous layers.
  • the recesses of the polymer layer comprising first recesses are formed continuously by the polymer layer comprising first recesses, in particular in the direction of the continuous polymer layers, and / or the recesses of the polymer layer comprising second recesses are continuous through the polymer layer comprising the second recesses, in particular in the direction of the continuous polymer layers.
  • the cavities formed after completion of the method according to the invention contact one (first) continuous polymer layer on one side and the other (second or third) on the other side continuous poly-layer. This in turn has an advantageous effect on the electromechanical behavior of the produced electromechanical energy converter.
  • the polymer layer comprising the first and / or second recesses may in the context of the present invention be produced both by printing and / or coating the first and second continuous polymer layer with a coherent recesses polymer layer as well as by printing and / or coating the first and second continuous polymer layer with the same or different, isolated or interconnected structures, for example, structures with a rather small area, such as points and lines, for example, curved or straight, single or crossed lines or perimeter lines of geometric figures, such as a circle or a perimeter of a cross, or structures be formed with a larger area, such as filled rectangles, circles, crosses, et cetera.
  • structures with a rather small area such as points and lines, for example, curved or straight, single or crossed lines or perimeter lines of geometric figures, such as a circle or a perimeter of a cross, or structures be formed with a larger area, such as filled rectangles, circles, crosses, et cetera.
  • the size and layer thickness of the structures is preferably set such that the continuous polymer layers can not touch and / or that the total void volume resulting after completion is as large as possible.
  • the polymer layer comprising the first and / or second recesses may, for example, each have a layer thickness of> 1 ⁇ m to ⁇ 800 ⁇ m, in particular of> 10 ⁇ m to ⁇ 400 ⁇ m.
  • the first recesses comprehensive polymer layer in the electromechanical transducer in particular a layer thickness of> 1 microns to ⁇ 800 microns, for example from> 10 microns to ⁇ 400 microns.
  • the common layer thickness of the first recesses comprehensive polymer layer and the second recesses comprehensive polymer layer > 1 .mu.m to ⁇ 800 .mu.m, for example of> 10 microns to ⁇ 400 microns, amount.
  • the layer thickness of the first and / or second recesses may comprise, for example, the use of solvent-containing printing inks, inks, pastes, formulations, paints or adhesives directly after applying the recesses polymer layer to the continuous layer be greater or even significantly greater than the layer thickness of the resulting recesses comprising polymer layer in the electromechanical transducer.
  • the layout, the printing process parameters and / or the coating process parameters are preferably set such that the polymer layers comprising the recesses have no cavities, in particular gas inclusions, which are not in contact with the continuous polymer layers.
  • the recesses of the polymer layer comprising the first recesses and the recesses of the polymer layer comprising the second recesses may be formed and arranged such that at least part of the recesses of the first recesses comprising the polymer layer and a portion of the recesses of the second recesses comprising the polymer layer are partially or completely applied when the cover is applied overlap.
  • the recesses of the polymer layer comprising the first recesses and the recesses of the polymer layer comprising second recesses are formed and arranged in such a way that, when the cover is applied, a recess of the first recesses comprising polymer layer and a recess of the second recesses comprising polymer layer partially or completely overlap.
  • the recesses of the first recesses comprehensive polymer layer and the recesses of the second recesses comprising polymer layer are preferably formed and arranged so that each cover a recess of the first recesses comprehensive polymer layer and a recess of the second recesses comprising polymer layer form a common cavity during application of the cover ,
  • the recesses of the polymer layer comprising the first recesses and the recesses of the polymer layer comprising the second recesses are preferably designed and arranged so that a respective recess of the first recesses comprising the polymer layer and a recess of the second recesses completely overlap the polymer layer.
  • the polymer layer comprising the first and second recesses may be designed congruently, in particular identically. In this way, cavities can be realized which are continuous from the continuous polymer layer on one side to the continuous polymer layer on the other side.
  • At least part of the recesses of the first recesses may comprise a polymer layer and / or the recesses of the second recesses
  • Recesses comprising polymer layer may be formed in forms which a
  • Cross-sectional area selected from the group consisting of substantially round, for example circular, elliptical or oval, polygonal, for example triangular, rectangular, trapezoidal, diamond-shaped, pentagonal, hexagonal, in particular honeycomb, cruciform, star-shaped and partially round and partially polygonal, for example S shaped, cross-sectional areas, have.
  • recesses comprising the polymer layer and / or the recesses of the second recesses comprising polymer layer may also be formed entirely in forms which a cross-sectional area selected from the group consisting of substantially round, for example circular, elliptical or oval, polygons, for example triangular, rectangular, trapezoidal, diamond-shaped, pentagonal, hexagonal, in particular honeycomb-shaped, cross-shaped, star-shaped and partially round and partially polygonal, for example S-shaped, cross-sectional surfaces, have, as well as completely formed in deviating forms.
  • the recesses of the polymer layer comprising the first recesses and / or the recesses of the polymer layer comprising the second recesses are honeycomb-shaped and / or arranged.
  • a honeycomb design and arrangement of the recesses on the one hand has a very large total void volume result.
  • a honeycomb design and arrangement of the recesses can have a high mechanical stability.
  • the size of the cross-sectional areas may be the same or different for all recesses of a recesses-comprising polymer layer.
  • the recesses in the polymer layer comprising the first and / or second recesses may be formed both homogeneously and heterogeneously distributed.
  • the recesses in the first and / or second recesses comprising polymer layer may be formed homogeneously distributed.
  • the recesses in the first and / or second recesses comprising polymer layer may optionally be partially or completely interconnected.
  • the polymer layer comprising first recesses and / or the polymer layer comprising the second recesses comprises recesses formed in different shapes.
  • the polymer layer comprising first and / or second recesses may have a multiplicity of recesses formed in a first shape and a multiplicity of recesses formed in a second shape and optionally a multiplicity of recesses, et cetera, formed in a third shape.
  • the recesses formed in different shapes in the first or second recesses comprising polymer layer can be homogeneously or heterogeneously distributed and / or formed partially or completely connected to each other.
  • the electromechanical, in particular piezoelectric, properties of the electromechanical transducer produced by the method according to the invention can be adjusted by selecting the recess shape, arrangement and / or distribution.
  • the recesses of the first and / or second recesses comprising layer may be formed in forms which have no circular, in particular no substantially circular, cross-sectional area. This is because the total void volume of layers having only cavities with circular or substantially circular cross-sectional areas is less than the total void volume, for example, in a homogeneously distributed array of cavities with circular and diamond-shaped cross-sectional areas or one exclusively on cavities with honeycomb cross-sectional areas based arrangement.
  • the polymer layer comprising first and second recesses may in principle be formed independently of each other from any polymer which is suitable for enabling a poling process in the cavities and for separating the charge layers formed in the polymer films after the charging process.
  • the recesses comprising polymer layers may be formed of an elastomer.
  • a printing ink, an ink, a paste, a formulation, a paint or an adhesive can be used. These can be formulated both directly before processing and commercially available.
  • the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the paint or the adhesive or the first and / or second recesses comprising polymer layer at least one polymer selected from the group consisting of cellulose esters, cellulose ethers, rubber derivatives, polyester resins, unsaturated polyesters, alkyd resins , Phenolic resins, amino resins, amido resins, ketone resins, xylene-formaldehyde resins, epoxy resins, phenoxy resins, polyolefins, polyvinyl chloride, polyvinyl esters, polyvinyl alcohols, polyvinyl acetals, polyvinyl ethers, polyacrylates, polymethacrylates, polystyrenes, polycarbonates, polyesters, copolyesters, polyamides, silicone resins, polyurethanes, especially polyurethanes, and Mixtures of these polymers, in particular as binders, comprise or be formed therefrom.
  • cellulose esters cellulose ether
  • the ink, the ink, the paste, the formulation, the paint or the adhesive or the first and / or second recesses polymer layer comprises a resin
  • the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the paint or the adhesive or the first and / or second Recesses comprising polymer layer optionally further comprise one or more resin hardener.
  • the ink, the paste, the formulation, the paint or the adhesive or the first and / or second recesses polymer layer comprising a variety of commercially available products, in particular as a binder, suitable, for example, under the trade name Noriphan HTR, Noriphan PCI, Noriphan N2K, Noricryl and NoriPET from Pröll KG, Weissenburg in Bavaria, Germany, or under the trade name Maraflex FX from Marabu GmbH & Co.
  • Urethane acrylates can be used as solutions in reactive diluents (low-viscosity meth / acrylic esters), as low-viscosity oligomers, as solids for powder coating technology or as urethane acrylate dipser ions. Urethane acrylates are available, for example, under the trade / trademark Desmolux from Bayer MaterialScience AG (Leverkusen, Germany). For curing, for example, electron beam curing, mono-cure technology and dual-cure technology are suitable. Isocyanatourethanacryle are particularly suitable for dual cure technology.
  • the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the paint or the adhesive may be water-based or based on solvents other than water.
  • the polymer layer comprising the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the lacquer or the adhesive or the first and / or second recesses may comprise or be formed from one or more polyurethanes.
  • the polymer layer comprising the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the lacquer or the adhesive or the first and / or second recesses may comprise one or more one-component polyurethanes and / or one or more two-component polyurethanes and / or comprise one or more aqueous polyurethane dispersions and / or one or more polyurethane hot-melt adhesives or be formed therefrom.
  • the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the lacquer or the adhesive or the first and / or second recesses comprising polymer layer may comprise or be formed from one or more one-component polyurethanes, which prepolymers prepared by reaction of alcohols with a stoichiometric excess of polyfunctional isocyanates having an average functionality greater than 2 and up to 4.
  • these prepolymers may further comprise additives and / or solvents.
  • the prepolymers can be obtained, for example, by reacting polyisocyanates with alcohols which are mixtures of polyols with on average monofunctional alcohols to form urethane groups and terminal isocyanate groups.
  • polyols the polyols known in the art, such as polyether, polyacrylate, polycarbonate, polycaprolactone, polyurethane and polyester polyols known to those skilled in the art can be used, as described, for example, in Ulimanns Enzyklopädie der ischen Chemie, 4. Edition, Volume 19, pp. 304-5, Verlag Chemie, Weinheim, or in polyurethane varnishes, adhesives and sealants by Ulrich Meier-Westhues, Vincentz Network, Hannover, 2007, are described.
  • the polyols designated Desmophen® from Bayer MaterialScience AG, Leverkusen, Germany can be used.
  • polyfunctional isocyanates having an average functionality> 2 the usual in polyurethane chemistry, known in the art products can be used, as described for example in Ulimann's Encyclopedia of Industrial Chemistry, 4th Edition, Volume 19, pp. 303-4, Verlag Chemie, Weinheim, are described. Examples which may be mentioned are biuret trimerized isocyanates, such as trimerized hexamethylene diisocyanate Desmodur® N (trade name of Bayer MaterialScience AG, Leverkusen, Germany), or mixtures thereof with diisocyanates or isocyanurate trimerized isocyanates or their mixtures with diisocyanates. Also, the adducts of diisocyanates to polyols, for example of tolylene diisocyanate to trimethylolpropane are suitable.
  • the prepolymers may contain additives such as catalysts to accelerate the curing, for example tertiary amines such as Dimorpholinodiethylether, bis [2-N, N-
  • the prepolymers can be prepared by reacting the mixture of polyols and monofunctional alcohol with a stoichiometric excess of di- or polyfunctional isocyanate compound. However, it is also possible to react the monofunctional hydroxyl compound in an upstream reaction with the isocyanate compound.
  • the polymer layer comprising the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the lacquer or the adhesive or the first and / or second recesses may also comprise or be formed from one or more two-component polyurethanes comprising, for example, a component with isocyanate groups and a isocyanate-reactive component.
  • the polymer layer comprising suitable polyisocyanates for the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the paint or the adhesive or the first and / or second recesses may be the NCO-functional compounds known to the person skilled in the art having a functionality of preferably 2 or more Find.
  • di- or triisocyanates examples include tetramethylene diisocyanate, cyclohexane-1,3- and 1,4-diisocyanate, hexamethylene diisocyanate (HDI), 1-isocyanato-3,3,5-trimethyl-5-isocyanato-methyl-cyclohexane (isophorone diisocyanate, IPDI), methylene-bis- (4-isocyanatocyclohexane), tetramethylxylylene diisocyanate (TMXDI), triisocyanatononane, tolylene diisocyanate (TDI), di- phenylmethane-2,4> -and / or -4,4 ⁇ -and / or -2,2 ' diisocyanate (MDI), triphenylmethane-4,4'-diisocyanate, naphthylene-l, 5-diisocyanate, 4-isocyanatomethyl-
  • Such polyisocyanates typically have isocyanate contents of from 0.5 weight percent to 60 weight percent, preferably from 3 weight percent to 30 weight percent, more preferably from 5 weight percent to 25 weight percent.
  • isocyanate contents of from 0.5 weight percent to 60 weight percent, preferably from 3 weight percent to 30 weight percent, more preferably from 5 weight percent to 25 weight percent.
  • the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the paint or the adhesive or the first and / or second recesses comprising polymer layer compounds with biuret, üninooxadiazindion, - isocyanurate and / or uretdione groups based on hexamethylene diisocyanate, Isophorone diisocyanate, 4,4'-diisocyanatodicyclohexylmethane, diphenylmethane-4,4'-diisocyanate, diphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate and / or xylylene diisocyanate used.
  • the preparation and / or use of the isocyanate-containing component can be carried out in a solvent, examples being N-methylpyrrolidone, N-ethylpyrrolidone, xylene, solvent naphtha, toluene, butyl acetate, methoxypropyl acetate, acetone or methyl ethyl ketone. It is possible to add solvent after the reaction of the isocyanate groups. It is also possible to use protic solvents, such as alcohols, which serve, for example, to stabilize the solution or to improve paint properties. Any mixtures of solvents are also possible.
  • the amount of solvent is generally such that from 20 weight percent to ⁇ 100 weight percent, preferably 50 weight percent to 90 weight percent solutions result.
  • Suitable catalysts are described in "Polyurethane Chemistry and Technology", Volume XVI, Part 1, Section rv, pages 129-211, The Kinetics and Catalysis of the Isocyanate Reactions, for example, tertiary amines, tin, zinc or bismuth compounds, or basic salts, preferably dibutyltin dilaurate and octoate.
  • Suitable isocyanate-reactive components such as, for example, polyhydroxyl compounds are known per se to the person skilled in the art. These are preferably the known binders based on polyhydroxy polyesters, polyhydroxy polyurethanes, polyhydroxy polyethers, polycarbonate diols or polymers containing hydroxyl groups, such as the known polyhydroxy polyacrylates, polyacrylate polyurethanes and / or polyurethane polyacrylates. Examples which may be mentioned are the Desmophen® polyols from Bayer MaterialScience AG, Leverkusen, Germany.
  • the polymer layer comprising the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the lacquer or the adhesive or the first and / or second recesses may also comprise or be formed from one or more aqueous polyurethane dispersions, for example a polyurethane-polyurea dispersion.
  • aqueous polyurethane dispersions for formulating the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the lacquer or the adhesive are those described, for example, in US Pat. No. 2,479,310 A, US Pat. No. 4,092,286 A, DE 2 811 148 A, DE 3603996 and EP 08019884 ,
  • Suitable diol and / or polyol components for the preparation of polyurethane-polyurea dispersions are compounds having at least two isocyanate-reactive hydrogen atoms and an average molecular weight of> 62 to ⁇ 18,000, preferably> 62 to ⁇ 4,000 g / mol.
  • suitable structural components are polyethers, polyesters, polycarbonate, polylactones and polyamides.
  • Preferred polyols have> 2 to ⁇ 4 preferably> 2 to ⁇ 3 hydroxyl groups. Mixtures of such compounds are also possible.
  • the polyurethane-polyurea dispersion can be used both alone and in combination with one or more hydrophilically modified crosslinkers.
  • the additional crosslinking of the polyurethane-polyurea polymer causes a significant increase in the heat resistance and the hydrolysis resistance of the adhesive bond.
  • Latent-reactive polyurethane-polyurea dispersions can also be used.
  • Latent-reactive polyurethane-polyurea dispersions are described, for example, in EP 0 922 720 A and WO 2008/071307.
  • the advantage of this product class lies in the fact that the crosslinking reaction of the polymer is triggered during the laminating process which involves the heating of the recesses, which is in any case necessary for heating the recesses.
  • the dispersion can be used alone or with the binders, auxiliaries and / or impact substances known in coating and adhesive technology, in particular emulsifiers and
  • Sunscreens such as UV absorbers and hindered amines (HALS), antioxidants,
  • Fillers anti-settling agents, defoaming agents, wetting agents, leveling agents, reactive
  • Thickeners and / or additives such as pigments, dyes or matting agents are used. Also tackifiers (“tackifiers”) can be added.
  • the additives can be added immediately before processing. But it is also possible, at least one
  • the rheology of the aqueous polyurethane dispersions is preferably adjusted with suitable thickeners so that they no longer run after application, for example to the continuous polymer layer.
  • the intrinsic viscosity of the flow limit can be high.
  • the use of such an aqueous polyurethane dispersion has the advantage that the recesses comprehensive polymer layer can be dried after application first, wherein the polyurethane polymer - depending on the polymer or polymer mixture used - amorphous solidifies and / or crystallized and the recesses comprehensive polymer layer in a subsequent Lamination process can be heated just to the extent that the polyurethane polymer softens and / or melts and the continuous polymer layer is wetted, wherein the structure of the recesses comprehensive polymer layer is maintained.
  • the polymer layer comprising the ink, the ink, the paste, the formulation, the lacquer or the adhesive or the first and / or second recesses may also comprise or be formed from a reactive or non-reactive polyurethane hotmelt adhesive.
  • Suitable reactive polyurethane hotmelt adhesives are described, for example, in DE 3827724, DE 4114229 and EP 354527. These hot-melt adhesives have free isocyanate groups, which crosslink after application with moisture from the substrate and thus achieve the required heat resistance.
  • the polyurethane hotmelt adhesives can, alone or with the binders, auxiliaries and / or impact substances known in coating and adhesive technology, in particular light stabilizers, such as UV absorbers and sterically hindered amines (HALS), furthermore contain antioxidants, fillers, wetting agents, flow control agents, reactive agents. diluents,
  • light stabilizers such as UV absorbers and sterically hindered amines (HALS)
  • HALS sterically hindered amines
  • Plasticizers neutralizing agents, catalysts, auxiliary solvents, tackifying resins
  • additives such as pigments, dyes or matting agents are used.
  • the additives can be added immediately before processing. But it is also possible, at least some of the additives before or during the production of the reactive
  • Suitable non-reactive polyurethane hotmelt adhesives are described, for example, in DE 1256822, DE 1930336 or EP 192946.
  • Other suitable non-reactive hot melt adhesives include polyesters and copolyesters, polyamide, polyolefins (APAO), ethylene vinyl acetate copolymers, polyester elastomers, polyurethane elastomers and copolyamide elastomers.
  • the ink, the ink, the paste, the formulation, the paint or the adhesive or the first and / or second recesses comprising polymer layer further comprises at least one additive for improving the electret and / or electromechanical, such as piezoelectric properties.
  • the additive can thereby improve any polymer properties as well as parameters which have an effect on the electromechanical, for example piezoelectric, properties of the material.
  • the additive can improve the dielectric constant, the modulus of elasticity, the viscoelastic behavior, the maximum elongation and / or the dielectric strength of the polymer or of the polymer mixture.
  • an additive which lowers the dielectric constant and / or the electrical conductivity and / or the modulus of elasticity of the polymer and / or increases the dielectric strength of the polymer.
  • clay particles, fine ceramic powders and / or plasticizers such as hydrocarbon oils, mineral oils, silicone oils and / or silicone elastomers, in particular of high molecular weight, can be used as additives.
  • the polymer layer comprising the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the lacquer or the adhesive or the first and / or second recesses may comprise additives which simplify the application of the recesses-comprising polymer layer. These are, for example, flow control additives, defoamers and / or rheology additives as well as additives to improve the properties of the recesses comprising polymer layer, such as plasticizers.
  • the printing ink, the ink, the paste, the formulation, the lacquer or the adhesive or the polymer layer comprising first and / or second recesses may also comprise solvents.
  • solvents examples of these are ethyl acetate, butyl acetate, methoxypropyl acetate, Ethoxypropyl acetate, acetone, cyclohexanone, toluene, xylene, Solvesso 100, Shellsol A and / or mixtures of two or more of these solvents.
  • the first and / or second and / or third continuous polymer layers are preferably compact polymer layers.
  • the term "compact" in the sense of the present invention means that the continuous polymer layers have as few, in particular no, inclusions as gas bubbles, in particular the polymer layers may be polymeric solids
  • the first and / or second and / or third continuous polymer layer can be extruded independently of each other via extrusion, doctoring, in particular solution doctoring, centrifuging, in particular
  • commercially available continuous polymer layers or polymer films can also be used as the first and / or second and / or third continuous polymer layer.
  • the first and / or second and / or third continuous polymer layer can, independently of one another, basically be formed from any polymer or polymer mixture which is suitable for holding charge for a long period of time, for example a few months or years.
  • the first and / or second and / or third continuous polymer layers may comprise or consist of almost any, identical or different polymer materials.
  • the first and / or second and / or third continuous polymer layer may comprise at least one polymer selected from the group consisting of polycarbonates, perfluorinated or partially fluorinated polymers and co-polymers such as polytetrafluoroethylene (PTFE), fluorinated ethylene propylene (FEP), perfluoroalkoxyethylenes (PFA).
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • FEP fluorinated ethylene propylene
  • PFA perfluoroalkoxyethylenes
  • Polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) or polyethylene naphthalate (PEN), polyimides, especially polyetherimide, polyethers, polymethyl methacrylates, cyclo-olefin polymers, cyclo-olefin copolymers, polyolefins, such as polypropylene, and mixtures of these polymers include or be formed therefrom.
  • PET polyethylene terephthalate
  • PEN polyethylene naphthalate
  • polyimides especially polyetherimide, polyethers, polymethyl methacrylates, cyclo-olefin polymers, cyclo-olefin copolymers, polyolefins, such as polypropylene, and mixtures of these polymers include or be formed therefrom.
  • Such polymers may advantageously retain the introduced polarization for a long time.
  • Suitable polycarbonates are obtainable, for example, by reaction of carbonic acid derivatives, such as diphenyl carbonate, dimethyl carbonate or phos
  • diols examples include ethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, 1,8-octanediol, neopentyl glycol, 1,4- Bishydroxymethylcyclohexane, 2-methyl-1,3-propanediol, 2,2,4-trimethylpentanediol-1,3-dipropylene glycol, polypropylene glycols, dibutylene glycol, polybutylene glycols, bisphenol A, Bisphenol F, trimethylcyclohexyl-bisphenol (bisphenol-TMC), mixtures of these and lactone-modified diols.
  • ethylene glycol 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol
  • the continuous polymer layers may independently comprise or be formed from a homopolymer.
  • the first and / or second and / or third continuous polymer layer may comprise at least one additive for improving the electret and / or electromechanical, for example piezoelectric, properties.
  • the additive can thereby improve any polymer properties as well as parameters which have an effect on the electromechanical, for example piezoelectric, properties of the material.
  • the additive can improve the electret properties, the dielectric constant, the modulus of elasticity, the viscoelastic behavior, the maximum elongation and / or the dielectric breakdown strength of the polymer or of the polymer mixture.
  • one or more additives are used which improve the electret properties, that is, which increase the charge storage ability, decrease the electrical conductivity and / or increase the dielectric strength of the polymer.
  • clay particles, fine ceramic powders and / or plasticizers such as hydrocarbon oils, mineral oils, silicone oils and / or silicone elastomers, in particular of high molecular weight, can be used as additives.
  • hydrocarbon oils, mineral oils, silicone oils and / or silicone elastomers in particular of high molecular weight
  • the first and / or second and / or third continuous polymer layer can independently of one another have, for example, a layer thickness of> 10 ⁇ m to ⁇ 500 ⁇ m, for example from> 20 ⁇ m to ⁇ 250 ⁇ m.
  • the transducer according to the invention may have one or more further continuous polymer layers.
  • Such a further, continuous polymer layer can, for example, be arranged on the side of the first and / or second and / or third continuous polymer layer, which lies opposite the polymer layer comprising the adjacent recesses.
  • the continuous polymer layers can be tempered before use in the process according to the invention or in the context of the process according to the invention.
  • the method may further comprise the method step D) of applying an electrode to the first continuous polymer layer and an electrode to the cover, in particular to the continuous polymer layer (second or third) of the cover.
  • the electrodes can also already be provided together with the first and / or second and / or third continuous polymer layer, in particular each formed thereon.
  • the electrodes are applied on the outside, that is to say on the side of the first continuous polymer layer or the cover facing away from the recesses.
  • the electrodes can be applied by methods known to those skilled in the art. For this purpose, for example, methods such as sputtering, vapor deposition, chemical vapor deposition (CVD), printing, knife coating, spin coating in question.
  • the electrodes can also be glued in prefabricated form.
  • the electrode materials may be conductive materials known to those skilled in the art.
  • metals, metal alloys, semiconductors, conductive oligo- or polymers such as polythiophenes, polyanilines, polypyrroles, conductive oxides or mixed oxides, such as indium tin oxide (ITO), or polymers filled with conductive fillers come into question.
  • Suitable fillers for polymers filled with conductive fillers are, for example, metals, conductive carbon-based materials, for example carbon black, carbon nanotubes (CNTs), or conductive oligo- or polymers.
  • the filler content of the polymers is preferably above the percolation threshold, which is characterized in that the conductive fillers form continuous electrically conductive paths.
  • the electrodes may also be structured in the context of the present invention.
  • the electrodes may be structured such that the transducer has active and passive regions.
  • the electrodes can be structured in such a way that, in particular in the sensor mode, the signals are detected spatially resolved and / or, in particular in the actuator mode, the active regions can be specifically controlled. This can be achieved, for example, by providing the active regions with electrodes, whereas the passive regions have no electrodes.
  • the method may further comprise the method step E): charging the arrangement resulting from method step C), in particular a sandwich arrangement.
  • the first continuous polymer layer and the cover, in particular the continuous polymer layer (second or third) of the cover can be charged with charges of different sign.
  • the charging can be done, for example, by tribocharging, electron beam bombardment, applying an electrical voltage to the electrodes or Corona discharge done.
  • the charging can be done by a two-electrode Coro ⁇ a- arrangement.
  • the needle voltage may be at least> 20 kV, for example at least> 25 kV, in particular at least> 30 kV.
  • the charging time may be at least> 20 s, for example at least> 30 s, in particular at least> 1 min.
  • both process step D) and then process step E) and also process step E) and then process step D) can be carried out.
  • the method may further comprise the method step F): Stacking of two or more arrangements resulting from method step C), in particular a sandwich arrangement.
  • the first continuous polymer layer and the cover, in particular the continuous layer (two or three) of the cover can each be contacted with an electrode.
  • two adjacent, continuous polymer layers of different arrangements resulting from method step C) are charged with the same polarization.
  • two adjacent, continuous polymer layers of different arrangements emerging from method step C) can contact the same electrode or be contacted with the same electrode.
  • Another object of the present invention is an electromechanical, for example, piezoelectric transducer, in particular produced by a method according to the invention comprising a first continuous polymer layer, a polymer layer comprising first recesses and a cover, wherein the first recesses polymer layer between the first continuous polymer layer and the cover is arranged, wherein the recesses of the first recesses polymer layer are closed on one side by the first continuous polymer layer and on the other side through the cover to form cavities.
  • the surfaces defining the recesses may be different than the recessed surfaces of drilling-made recesses.
  • the surfaces bounding the recesses resulting from the process of the present invention could have less burrs and other sharp-edged surface irregularities that are not characteristic but could still have one, in particular negative, effect on the electromechanical, in particular piezoelectric, properties.
  • the cover comprises a second recesses-containing polymer layer and a second continuous polymer layer, wherein the second continuous polymer layer on the second recesses comprising polymer layer and the second recesses comprising polymer layer, in particular to form common cavities on the first recesses Polymer layer is arranged.
  • the cover is a third continuous polymer layer.
  • the first recesses-comprising polymer layer comprises recesses formed in different shapes and / or recesses comprising the second recesses comprising polymer layer formed in different shapes.
  • the recesses of the polymer layer comprising the first recesses and / or the polymer layer comprising the recesses of the second recesses may optionally be formed partially or completely connected to one another.
  • At least a portion of the recesses of the first recesses-comprising polymer layer is formed in shapes that have no circular, in particular no substantially circular, cross-sectional area, and / or is at least a portion of the recesses of the second recesses polymer layer in forms formed, which have no circular, in particular no substantially circular, cross-sectional area.
  • the total void volume can be increased by at least partially dispensing with recesses which have a circular, in particular a substantially circular, cross-sectional area.
  • the polymer layer comprising the first and second recesses may in particular be congruent, in particular identical.
  • the recesses may be formed homogeneously or heterogeneously distributed in the first and / or second recesses comprising polymer layer.
  • the recesses in the first and / or second recesses comprising polymer layer may be formed homogeneously distributed.
  • the recesses of the first recesses comprising the polymer layer are preferably formed continuously, in particular in the direction of the continuous polymer layers, by the polymer layer comprising the first recesses; and / or the recesses of the second recesses comprising polymer layer throughout, in particular in the direction of the continuous polymer layers, formed by the second recesses comprising polymer layer.
  • the polymer layer comprising the first and / or second recesses may have a multiplicity of recesses formed in a first shape and a plurality of recesses formed in a second shape, and optionally a plurality of recesses formed in a third shape, et cetera.
  • recesses in the first and / or second recesses comprising polymer layer may be homogeneously or heterogeneously distributed and / or partially or completely connected to each other.
  • the recesses may be formed partially or completely in shapes having a cross-sectional area selected from the group consisting of substantially round, for example, circular, elliptical or oval, polygonal, for example, triangular, rectangular, trapezoidal, diamond-shaped, pentagonal , hexagonal, in particular honeycomb-shaped, cross-shaped, star-shaped and partially round and partially polygonal, for example S-shaped, cross-sectional surfaces have.
  • the recesses of the first and / or second recesses layer have a honeycomb-shaped cross-sectional area or are honeycomb-shaped and / or arranged; Particularly preferably, the recesses of the first and second recesses having layer on a honeycomb-shaped cross-sectional area or are honeycomb-shaped and / or arranged.
  • a honeycomb formation and arrangement of the recesses on the one hand has a very large Total void volume result.
  • a honeycomb design and arrangement of the recesses can have a high mechanical stability.
  • the size of the cross-sectional areas may be the same or different for all recesses of the recesses comprising polymer layer.
  • the polymer layer comprising the first and / or second recesses may, for example, each have a layer thickness of> 1 ⁇ m to ⁇ 800 ⁇ m, in particular of> 10 ⁇ m to ⁇ 400 ⁇ m.
  • the first recesses polymer layer may have a layer thickness of> 1 microns to ⁇ 800 microns, for example, from> 10 microns to ⁇ 400 microns.
  • the electromechanical transducer has both a first and a second recesses comprising polymer layer, so the common layer thickness of the first recesses comprehensive polymer layer and the second recesses comprising polymer layer> 1 microns to ⁇ 800 microns, for example from> 10 microns to ⁇ 400 microns, be.
  • the first and / or second and / or third continuous polymer layer can, for example independently of one another, have, for example, a layer thickness of> 10 ⁇ m to ⁇ 500 ⁇ m, for example of> 20 ⁇ m to ⁇ 250 ⁇ m.
  • the polymer layer comprising the first and / or second recesses may be, for example, at least one polymer selected from the group consisting of cellulose esters, cellulose ethers, rubber derivatives, polyester resins, unsaturated polyesters, alkyd resins, phenolic resins, amino resins, amido resins, ketone resins, xylene-formaldehyde resins, epoxy resins, phenoxy resins, polyolefins , Polyvinyl chloride, polyvinyl esters, polyvinyl alcohols, polyvinyl acetals, polyvinyl ethers, polyacrylates, polymethacrylates, polystyrenes, polycarbonates, polyesters, copolyesters, polyamides, silicone resins, polyurethanes, especially polyurethanes, and blends of these polymers.
  • the polymer layer comprising first and / or second recesses may comprise or be formed from one or more one-component polyurethanes and / or one or more two-component polyurethanes and / or one or more polyurethane hotmelt adhesives.
  • the first and / or second and / or third continuous polymer layer can be, for example, at least one polymer selected from the group consisting of polycarbonates, perfluorinated or partially fluorinated polymers and co-polymers, such as polytetrafluoroethylene (PTFE), fluorinated ethylene propylene (FEP), perfluoroalkoxyethylenes (PFA). , Polyesters, such as polyethylene terephthalate (PET) or polyethylene naphthalate (PEN), polyimides, in particular - -
  • Polyetherimide, polyethers, polymethylmethacrylates, cyclo-olefin polymers, cyclo-olefin copolymers, polyolefins such as polypropylene, and mixtures of these polymers include or be formed therefrom.
  • an electromechanical transducer further comprises two electrodes, in particular electrode layers, one electrode contacting the first continuous polymer layer and the other electrode contacting the cover, in particular the continuous polymer layer (second or third) of the cover.
  • the first continuous polymer layer and the cover, in particular the continuous polymer layer (second or third) of the cover can have an electrical charge with different signs.
  • an electromechanical transducer may comprise two or more stacked arrangements, in particular a sandwich arrangement, each comprising a first continuous polymer layer, a polymer layer comprising first recesses and a cover, the polymer layer comprising the first recesses between the first continuous polymer layer and the first polymer layer Cover is arranged and wherein the recesses of the first recesses polymer layer are closed on one side by the first continuous polymer layer and on the other side through the cover to form cavities.
  • the first continuous polymer layer and the cover in particular the continuous layer (two or three) of the cover, each contact an electrode.
  • two adjacent, continuous polymer layers of different arrangements have the same charge polarization.
  • two adjacent, continuous polymer layers of different arrangements can contact the same electrode.
  • a transducer according to the invention as a sensor, generator and / or actuator, for example in the electromechanical and / or electro-acoustic field, in particular in the field of energy from mechanical vibrations (energy harvesting), the acoustics, ultrasound, medical diagnostics, acoustic microscopy, mechanical sensors, in particular pressure, force and / or strain sensors, robotics and / or communication technology, in particular in loudspeakers, vibration transducers, light deflectors, membranes, modulators for glass fiber optics, pyroelectric detectors, capacitors and control systems ,
  • a transducer according to the invention for example in the electromechanical and / or electro-acoustic field, in particular in the field of energy from mechanical vibrations (energy harvesting), the acoustics, ultrasound, medical diagnostics, acoustic microscopy, mechanical sensors, in particular pressure, force and / or strain sensors, robotics and / or communication technology, in particular in loudspeakers, vibration transducers, light deflectors
  • FIG. 1 a shows a schematic cross section through a first polymer layer comprising recesses applied to a first continuous polymer layer
  • FIG. 1 b shows a schematic cross section through a form of a cover which comprises a polymer layer comprising a second recesses and a second continuous polymer layer;
  • FIG. 1c shows a schematic cross section through the layer arrangement shown in FIG. 1a on which the cover shown in FIG. 1b has been applied;
  • FIG. 2 a shows a schematic cross section through a first polymer layer comprising recesses applied to a first continuous polymer layer
  • FIG. 2b shows a schematic cross section through the layer arrangement shown in FIG. 2a, on which a cover in the form of a third continuous polymer layer has been applied;
  • FIG. 3 a shows a schematic cross section through the arrangement shown in FIG. 2 b after the charging process
  • FIG. 3b shows a schematic cross section through the arrangement shown in Figure 2b after the charging process and after the attachment of electrodes ..;
  • FIG. 4 shows a schematic cross section through a converter according to the invention with three stacked arrangements, each comprising a first continuous polymer layer, a polymer layer comprising first recesses and a cover in the form of a third continuous polymer layer; and 5a-5i are plan views of various embodiments of recesses comprising polymer layers.
  • FIG. 1a shows a schematic cross section through a first continuous polymer layer 1a on which a polymer layer 2a comprising first recesses 3a has been applied.
  • FIG. 1 b shows a schematic cross section through a form of a cover, which comprises a polymer layer 2 b comprising second recesses 3 b and a second continuous polymer layer 1 b.
  • FIG. 1c shows a schematic cross section through the layer arrangement shown in FIG. 1a, to which the cover shown in FIG. 1b has been applied.
  • FIG. 1 c illustrates that the recesses 3 a of the polymer layer 2 a comprising the first recesses 3 a and the recesses 3 b of the polymer layer 2 b comprising second recesses 3 b are designed and arranged in such a way that after the covering 1b, 2b has been applied to the first recesses 3 a, the polymer layer 2 a each one recess 3a of the first recesses 3a comprising polymer layer 2a and a recess 3b of the second recesses 3b comprehensive polymer layer 2b completely overlap to form a common cavity 5.
  • FIG. 2 a shows a schematic cross section through a first continuous polymer layer 1 on which a polymer layer 2 comprising first recesses 3 has been applied.
  • FIG. 2 a illustrates that the recesses 3 of the polymer layer comprising the first recesses are formed continuously by the polymer layer 2 comprising the recesses 3.
  • FIG. 2b shows that a cover in the form of a third continuous polymer layer 4 has been applied to the polymer layer 2 comprising the first recesses 3 of the layer arrangement shown in FIG.
  • FIG. 2b illustrates that the recesses 3 of the first recesses 3 comprising the polymer layer 2 were closed on one side by the first continuous polymer layer 1 and on the other side by the third continuous polymer layer 4 to form cavities.
  • FIG. 3a shows a schematic cross section through the arrangement shown in FIG. 2b and illustrates the charge distribution after charging the arrangement shown in FIG. 2b.
  • FIG. 3 a illustrates that the negative charges on the first continuous polymer layer 1 and the positive charges on the third continuous polymer layer 4 are located.
  • FIG. 3b shows a schematic cross section through the arrangement shown in FIG. 2b after the charging process and after the attachment of electrodes.
  • the first 1 and third 4 continuous polymer layer each contact an electrode 6a, 6b.
  • De electrodes 6a, 6b are in this case formed as electrode layers on the sides of the first 1 and third 4 polymer layers which are arranged opposite to the sides on which the cavities 5 forming, recesses comprising polymer layer 2 adjacent.
  • FIG. 4 shows a schematic cross section through a converter according to the invention with three stacked arrangements, each comprising a first continuous polymer layer 11a, 11b, 1c, a first recessed polymer layer 12a, 12b, 12c and a cover in the form of a third continuous polymer layer 14a, 14b, 14c.
  • Figure 4 illustrates that two adjacent continuous polymer films I Ia, 14b; I Ib, 14c of different arrangements are charged with a same polarization and thereby the same electrode 16ab; 16bc contact.
  • FIG. 4 also shows a possibility of connecting the electrodes 16a, 16ab, 16bc, 16c to a voltage / current measurement / supply / storage device 17.
  • FIGS. 5a to 5i show various embodiments of recesses 3 comprising polymer layers and recess configurations.
  • the embodiments and configurations shown in Figures 5a to 5i are only examples and are not intended to limit the invention in any way.
  • FIGS. 5a to 5i in each case only one recess of a mold is marked by way of example with a reference symbol.
  • FIG. 5a shows a polymer layer comprising recesses 3, the recesses of which have a circular cross-sectional area.
  • FIG. 5 a further illustrates that a multiplicity of small recesses 3 can be formed by the method according to the invention.
  • FIG. 5b shows a polymer layer comprising recesses 3, the recesses 3 of which have an elongated, rectangular cross-sectional area.
  • FIG. 5b likewise illustrates that a multiplicity of small recesses 3 can be formed by the method according to the invention.
  • FIG. 5c shows a polymer layer comprising recesses 3, whose recesses 3 have a cross-shaped cross-sectional area.
  • FIG. 5 d shows a polymer layer comprising recesses 3, the recesses 3 of which have a circular cross-sectional area.
  • Figure 5d illustrates that the exclusive - -
  • FIG. 5 e shows a polymer layer comprising recesses 3, 3 'whose recesses partially have a circular cross-sectional area 3 and partly a diamond-shaped cross-sectional area 3'.
  • FIG. 5 e illustrates that, in the case of a homogeneously distributed arrangement of recesses having circular 3 and diamond-shaped 3 'cross-sectional areas, a greater overall void volume can be achieved than in the exclusive use of recesses 3 with circular cross-sectional areas as shown in FIG. 5 d.
  • FIG. 5f shows a polymer layer comprising recesses 3 whose recesses 3 have a honeycomb-shaped cross-sectional area.
  • FIG. 5f illustrates that a configuration which is based exclusively on recesses 3 with honeycomb-shaped cross-sectional areas can achieve a significantly greater total void volume than in the exclusive use of recesses 3 with circular cross-sectional areas shown in FIG.
  • FIG. 5g shows a polymer layer comprising recesses 3, the recesses 3 of which have a honeycomb-shaped cross-sectional area and are partially connected to one another.
  • FIG. 5h shows a recesses 3, 3 ', 3 "comprising polymer layer, the recesses are formed in different shapes and sizes and have the cross-shaped 3', 3" and substantially honeycomb-shaped 3 cross-sectional areas.
  • FIG. 5h further shows that the recesses are distributed in an inhomogeneous manner and are partially connected to one another.
  • FIG. 5i shows a polymer layer comprising recesses 3, the recesses 3 of which have been formed by applying a combination of different structures, in particular hexagons / honeycombs, crosses and points of different dot and line thickness, to a continuous polymer layer 1 by a printing and / or coating method.
  • FIG. 5i furthermore shows that at least the edge regions of the continuous polymer layer can be printed and / or coated with a closed structure in order to obtain one or more closed cavities in contact with the continuous polymer layers after completion of the production process according to the invention. In this way, a continuous cavity can be formed.
  • FIG. 5i shows a polymer layer comprising recesses 3, the recesses 3 of which have been formed by applying a combination of different structures, in particular hexagons / honeycombs, crosses and points of different dot and line thickness, to a continuous polymer layer 1 by a printing and / or coating method.
  • FIG. 5i furthermore shows that at least the edge regions of the continuous polymer layer can be printed and / or
  • a polymer layer having recesses may also be understood as meaning a polymer layer which has only one recess 3, in particular which can also be understood as a combination or connection of a plurality of recesses.
  • a first screen printing paste was formulated to produce a recessed polymer layer by a screen printing process. It contained 47.14 percent by weight of Desmodur ® N75 MPA and 52.11 percent by weight of Desmophen ® 670. To the course of the paste and the bubble formation to reduce during printing, the formulation was (BYK 410 50% in butoxyl) was added 0.75 percent by weight of leveling agent ,
  • a second screen printing paste was formulated to produce a further polymer layer comprising recesses by a screen printing process.
  • this was 40.40 percent by weight of Desmodur ® N75 MPA, 44.59 percent by weight of Desmophen ® 670, 11, 26 percent by weight ethoxypropyl acetate, 3.30 percent by weight of leveling agent and 0.45 weight percent of a 1: 1 mixture of BYK 410 used with butoxyl.
  • a printing layer can be applied to a not yet completely solidified, previous printing layer (wet-on-wet process). It has been shown that several printing steps with intermediate drying can be carried out to increase the layer thickness.
  • a print coat may be applied twice by wet-on-wet with intermediate drying.
  • tissues having 12 to 200 threads per centimeter, preferably 22 to 120 threads per centimeter, were used.
  • a fabric with 90 threads per centimeter was used. In this way, with a wet-on-wet printing layer thicknesses of 7 microns and 12 microns and with a double wet-in-wet printing with intermediate drying layer thicknesses of 15 microns to 25 microns could be achieved.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Wandlers, in dem eine erste Aussparungen (3; 3a) umfassende Polymerschicht (2; 2a) auf eine erste durchgehende Polymerschicht (1; 1a) mittels eines Druck- und/oder Beschichtungsverfahrens aufgebracht wird, eine Abdeckung (4;1b, 2b) auf die erste Aussparungen (3; 3a) umfassende Polymerschicht (2; 2a) so aufgebracht wird, dass die Aussparungen (3; 3a) der ersten Aussparungen (3; 3a) umfassenden Polymerschicht (2; 2a) unter Ausbildung von Hohlräumen (5) verschlossen werden und die Abdeckung (4;1b, 2b) mit der ersten Aussparungen (3; 3a) umfassenden Polymerschicht (2; 2a) verbunden wird. Die Erfindung betrifft weiterhin elektromechanische Wandler, welche durch ein erfindungsgemäßes Verfahren herstellbar sind, sowie deren Verwendung.

Description

Verfahren zur Herstellung eines elektromechanischen Wandlers
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Wandlers, elektromechanische Wandler sowie deren Verwendung.
Die Fähigkeit einiger Materialien, ein elektrisches Potential aufgrund einer ausgeübten mechanischen Belastung auszubilden, bezeichnet man als Piezoelektrizität. Etablierte piezoelektrische Materialien sind Blei-Zirkonium-Titanat (PZT) und fluorierte Polymere wie Polyvinylidenfluorid (PVDF). Piezoelektrisches Verhalten wurde auch in geschäumtem, geschlossenporigen Polypropylen (PP) beobachtet. Um Piezoelektrizität zu erreichen, wird ein solcher Polypropylenschaum in einem hohen elektrischen Feld aufgeladen. Dadurch finden innerhalb der Poren elektrische Durchschläge statt, welche Makrodipole generieren und das Material makroskopisch polarisieren. Derartige Polypropylenferroelektrete können einen piezoelektrischen Koeffizienten von einigen Hundert Pikocoulomb pro Newton aufweisen. Um die Sensitivität der Sensorwirkung weiter zu erhöhen, wurden Mehrschichtsysteme aus mehreren übereinander gestapelten Schäumen entwickelt.
Gerhard et al. (2007 Annual Report Conference on Electrical Insulation and Dielectric Phenomena, Seiten 453 bis 456) beschreibt ein Dreischichtferroelektret, in dem ein Polytetrafluorethylenfϊlm, welcher durch mechanisches oder laserbasiertes Bohren mit einer Vielzahl von gleichförmigen, durchgehenden Aussparungen versehen wurde, zwischen zwei gleichförmigen Fluorethylenpropylenfilmen angeordnet ist. Das Einbringen von durchgehenden Aussparungen durch mechanisches oder laserbasiertes Bohren ist jedoch aufwendig und für die Produktion großer Stückzahlen ungeeignet. So muss beispielsweise, wie auch in der oben genannten Quelle (S. 454) offenbart, nach dem mechanischen oder laserbasierten Bohren die gelochte Schicht chemisch gereinigt werden, um metallische (Grate) oder organische Reste zu entfernen.
Dieses bei Gerhard et al. offenbarte Dreischichtferroelektret wird durch ein Laminierungsverfahren hergestellt. Bei diesem Verfahren erfolgt das Verbinden des mit Aussparungen versehenen Porytetrafluorethylenfilms mit den Fluorethylenpropylenfilmen dadurch, dass die Schichten unter erhöhtem Druck und erhöhter Temperatur (310 0C) zwischen zwei heißen, sich drehenden Zylindern durchlaufen.
Wünschenswert wäre, ein Verfahren zur Herstellung eines elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Wandlers zur Verfügung zu stellen, welches zur Produktion großer Stückzahlen geeignet ist. Erfindungsgemäß vorgeschlagen wird daher ein Verfahren zur Herstellung eines elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Wandlers, umfassend die Schritte:
A) Aufbringen einer ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) auf eine erste durchgehende Polymerschicht (l;la) mittels eines Druck- und/oder
Beschichtungsverfahrens, ausgenommen Laminierungsverfahren;
B) Aufbringen einer Abdeckung (4;lb,2b) auf die erste Aussparungen (3;3a) umfassende Polymerschicht (2;2a), so dass die Aussparungen (3;3a) der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) unter Ausbildung von Hohlräumen (5) verschlossen werden; und
C) Verbinden der Abdeckung (4;lb,2b) mit der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a),
wobei
in einem Verfahrensschritt D) außen auf der ersten durchgehenden Polymerschicht (1, Ia) eine Elektrode (6a) und außen auf der Abdeckung (4;lb,2b) eine Elektrode
(6b) aufgebracht wird, wobei das Aufbringen der Elektroden (6a, 6b) unabhängig voneinander oder gleichzeitig vor oder nach einem Schritte A) bis C) erfolgt, und
in einem Verfahrensschritt E) die Anordnung, die nach Verfahrensschritt C) oder einem auf Verfahrensschritt C) folgenden Verfahrensschritt erhalten wird, aufgeladen wird.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren können vorteilhafterweise elektromechanische Wandler in großen Stückzahlen hergestellt werden.
Unter Beschichtungsverfahren im Sinne der Erfindung werden insbesondere nicht Laminierungsverfahren verstanden, wie sie beispielsweise bei Gerhard et al. offenbart sind.
Weiterhin können die Aussparungen durch das erfindungsgemäße Verfahren in zahlreichen unterschiedlichen Formen ausgebildet werden. Die Form der Aussparung ist daher nicht auf eine zylindrische Form mit einer kreisförmigen Querschnittsfläche beschränkt. Darüber hinaus bietet das erfindungsgemäße Verfahren die Möglichkeit, in unterschiedlichen Formen ausgebildete Aussparungen zu kombinieren. Auf diese Weise kann zum einen vorteilhafterweise das Gesamthohlraumvolumen der resultierenden Hohlräume maximiert werden. Zum anderen können die elektromechanischen, insbesondere piezoelektrischen, Eigenschaften der mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten elektromechanischen Wandler durch Auswahl der Aussparungsform, Anordnung und/oder Verteilung angepasst werden.
Darüber hinaus werden durch das erfindungsgemäße Verfahren Grate und andere scharfkantige Aussparungsoberflächenunregelmäßigkeiten vermieden. Dies wirkt sich zum einen vorteilhaft auf die elektromechanischen, insbesondere piezoelektrischen, Eigenschaften aus, zum anderen verringert es den Aufwand bei der Herstellung des Wandlers, da der Arbeitsschritt des Entfernens dieser Unregelmäßigkeiten entfällt.
Die Aussparungen umfassende Polymerschicht kann den herzustellenden elektromechanischen Wandler vorteilhafterweise entlang seiner Dicke weicher machen, damit dessen Elastizitätsmodul erniedrigen, einen Polungsprozess in den resultierenden Hohlräumen ermöglichen und/oder nach dem Aufladungsprozess in den durchgehenden Polymerschichten gebildete Ladungsschichten separieren.
In einer Ausführungsform des Verfahrens umfasst die Abdeckung eine zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht und eine zweite durchgehende Polymerschicht, wobei die zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht auf der zweiten durchgehenden Polymerschicht angeordnet ist. Insbesondere kann dabei die Abdeckung aus einer zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und einer zweiten durchgehenden Polymerschicht bestehen.
In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens ist die Abdeckung eine dritte durchgehende Polymerschicht.
In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens wird die Abdeckung durch Aufbringen einer zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht auf eine zweite durchgehende Polymerschicht mittels eines Druck- und/oder Beschichtungsverfahrens hergestellt.
Das Material der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht kann nach dem Aufbringen auf die erste durchgehende Polymerschicht teilweise verfestigt, beispielsweise teilweise getrocknet und/oder teilweise vernetzt und/oder teilweise erstarrt und/oder teilweise kristallisiert, werden. Ebenso kann das Material der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht nach dem Aufbringen auf die zweite durchgehende Polymerschicht teilweise verfestigt, beispielsweise teilweise getrocknet und/oder teilweise vernetzt und/oder teilweise erstarrt und/oder teilweise kristallisiert, werden. Insbesondere kann das Material der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht nach dem Aufbringen auf die erste durchgehende Polymerschicht und/oder das Material der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht nach dem Aufbringen auf die zweite durchgehende Polymerschicht so teilweise verfestigt, beispielsweise teilweise getrocknet und/oder teilweise vernetzt und/oder teilweise erstarrt und/oder teilweise kristallisiert, werden, dass dessen Viskosität verglichen mit der Viskosität beim Aufbringen auf die durchgehende Polymerschicht erhöht wird. Auf diese Weise kann zum Einen die Formbeständigkeit der Aussparungen verbessert werden. Zum anderen bietet eine nur teilweise Verfestigung die Möglichkeit, die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht mit der dritten durchgehenden Polymerschicht oder der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht, durch weiteres, insbesondere vollständiges, Verfestigen des Materials zu verbinden.
In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens erfolgt daher das Verbinden der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht mit der Abdeckung durch nur teilweises Verfestigen des Materials der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht nach dem Aufbringen auf die erste durchgehende Polymerschicht, und/oder nur teilweises Verfestigen des Materials der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht nach dem Aufbringen auf die zweite durchgehende Polymerschicht, und weiteres, insbesondere vollständiges, Verfestigen des Materials der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht nach dem Aufbringen der Abdeckung, und/oder weiteres, insbesondere vollständiges, Verfestigen des Materials der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht nach dem Aufbringen der Abdeckung. Unter Verfestigen kann dabei Trocknen und/oder Vernetzen und/oder Erstarren und/oder Kristallisieren verstanden werden.
Zum Beispiel ist es möglich, das Material der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht nach dem Aufbringen auf die erste durchgehende Polymerschicht und/oder das Material der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht nach dem Aufbringen auf die zweite durchgehende Polymerschicht, beispielsweise thermisch, zu trocknen und erst nach dem Aufbringen der Abdeckung zu vernetzen.
Ein weiteres Beispiel ist, ein amorph erstarrendes und/oder kristallisierendes Material, insbesondere Polymer, beispielsweise ein Polyurethan, für die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht und/oder die zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht einzusetzen. Das amorph erstarrende und/oder kristallisierende Material kann beispielsweise als Dispersion unter Ausbildung der ersten beziehungsweise zweiten Aussparungen umfassende Polymerschicht auf die erste beziehungsweise zweite durchgehende Polymerschicht aufgebracht werden. Dabei kann das amorph erstarrende und/oder kristallisierende Material beispielsweise nach dem Aufbringen auf die erste beziehungsweise zweite durchgehende Polymerschicht teilweise amorph erstarren und/oder kristallisieren und nach dem Aufbringen der Abdeckung vollständig amorph erstarren und/oder kristallisieren und dadurch die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht mit der Abdeckung verbinden. Das amorph erstarrende und/oder kristallisierende Material kann jedoch auch nach dem Aufbringen auf die erste beziehungsweise zweite durchgehende Polymerschicht vollständig amorph erstarren und/oder kristallisieren und nach dem Aufbringen der Abdeckung vernetzt werden, wobei die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht mit der Abdeckung verbunden wird. Weiterhin kann das amorph erstarrende und/oder kristallisierende Material nach dem Aufbringen auf die erste beziehungsweise zweite durchgehende Polymerschicht vollständig amorph erstarren und/oder kristallisieren und nach dem Aufbringen der Abdeckung auf eine Temperatur erwärmt werden, bei der das amorph erstarrende und/oder kristallisierende Material erweicht und/oder schmilzt, wobei die dritte durchgehende Polymerschicht beziehungsweise die andere Aussparungen umfassende Polymerschicht benetzt wird, wobei die Struktur der Aussparungen umfassenden Polymerschicht erhalten bleibt und wobei nach dem Abkühlen auf eine niedrigere Temperatur die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht mit der Abdeckung verbunden wird.
Das Material der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht kann beispielsweise thermisch, durch Bestrahlung mit ultraviolettem Licht, durch Bestrahlung mit Infrarotlicht und/oder durch Trocknen vernetzt werden. Insbesondere, wenn eine Schicht Polymere mit einer geringen UV-Stabilität enthält, wie Polycarbonate, kann eine Vernetzung thermisch, durch Bestrahlung mit Infrarotlicht oder durch Trocknen erfolgen.
In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens erfolgt das Aufbringen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und/oder das Aufbringen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht durch folgende Beschichtungs- bzw. Druckverfahren: Rakeln, Lackschleudern (Spincoating), Tauchlackieren (Dipcoating), Sprühlackieren (Spraycoating), Vorhanggießen (Curtaincoating), Beschichtung mittels Düsenauftrag (Slot-dye-coating), Flexodruck, Gravurdruck, Tampondruck, Digitaldruck, Thermotransferdruck, Durchdruck, insbesondere Hochdruck, Flachdruck, Tiefdruck (Offsetdruck) und/oder Siebdruck, und/oder ein Walzenauftragsverfahren, beispielsweise mit Walzenauftragswerken für Hotmelt-Klebstoffe von der Firma Hardo Maschinenbau GmbH (Bad Salzuflen, Deutschland).
Das Aufbringen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und/oder das Aufbringen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht kann beispielsweise durch Rakeln,
Lackschleudern (Spincoating), Tauchlackieren (Dipcoating), Sprühlackieren (Spraycoating) und/oder Vorhanggießen (Curtaincoating) in Kombination mit Matrizen oder Schablonen erfolgen. In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens erfolgt das Aufbringen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und/oder das Aufbringen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht durch ein Siebdruckverfahren.
Das Aufbringen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und/oder das Aufbringen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht kann mit einem, beispielsweise elektrisch, beheizten Sieb, insbesondere Siebdruckgewebe, erfolgen. Beheizte Siebe für den Siebdruck werden beispielsweise von der Firma Koenen GmbH (Ottobrunn, Deutschland) unter dem Handelsnamen Hot Screen angeboten.
Für beheizte Siebe können beispielsweise thermoplastische Substanzen, wie reaktive und nicht- reaktive Schmelzklebstoffe auf Basis von Polyurethan, Polyester und/oder Polyamid, insbesondere Hot-Melt-Pasten, oder Siebdruckpasten, welche hochsiedende Lösungsmittel umfassen und/oder unter ultraviolettem Licht trocknend sind, als Siebdruckpasten eingesetzt werden.
Die thermoplastischen Substanzen beziehungsweise Hot-Melt-Pasten sind vorzugsweise bei Raumtemperatur fest und erreichen bei den Temperaturen auf die das Sieb aufgeheizt wird, beispielsweise > 60 °C bis < 80 °C, eine Viskosität, welche mit der von herkömmlichen Siebdruckpasten vergleichbar ist, beispielsweise von > 1000 mPa-s bis < 20000 mPa-s. Der Zusatz von Lösungsmitteln ist bei derartigen Hot-Melt-Pasten nicht erforderlich. Die thermoplastischen Substanzen kühlen beim Kontakt mit der durchgehenden Polymerschicht ab und können dadurch konturscharf stehenbleiben. Neben den konturscharfen Strukturen hat der Einsatz eines beheizten Siebes und einer thermoplastischen Substanz den Vorteil, dass auf einen Trocknungsprozess verzichtet werden kann.
Siebdruckpasten, welche hochsiedende Lösungsmittel umfassen und/oder unter ultraviolettem Licht trocknend sind, können beim Einsatz eines beheizten Siebs, insbesondere Siebdruckgewebes, und gegebenenfalls einer beheizten Rakel aufgebracht werden. Durch die Heizung des Siebs wird die Viskosität der Paste abgesenkt. Bei Berührung der Paste mit der durchgehenden Polymerschicht kühlt die Paste ab und ihre Viskosität steigt an. Dies hat den Vorteil, dass die Konturschärfe erhöht werden kann. In Abhängigkeit von der Feinheit des Siebdruckgewebes können dabei gegebenenfalls auch niederviskose Pasten eingesetzt werden. Unter der Feinheit des Gewebes wird die Zahl der Fäden pro Zentimeter verstanden. Zum Beispiel können Siebdruckgewebe mit einer Fädenzahl von mindestens 120 Fäden pro Zentimeter, insbesondere von mindestens 150 Fäden pro Zentimeter, eingesetzt werden. Um beim Einsatz eines beheizten Siebes ein Abkühlen der Paste beim Druck zu verhindern und während des Drucks eine optimale Verarbeitbarkeit zu erzielen, können die Druck- und/oder Flutrakel beheizt werden.
Um die Dicke der Aussparungen umfassenden Polymerschichten zu vergrößern, können mehrere Drucke übereinander ausgeführt werden. Zwischen den einzelnen Druckschritten kann das Material der ersten beziehungsweise zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht teilweise oder vollständig verfestigt, beispielsweise getrocknet und/oder vernetzt und/oder erstarrt und/oder kristallisiert, werden. Gegebenenfalls können die Drucke nass in nass ausgeführt werden.
Während durch ein Druckverfahren die Struktur der Aussparungen umfassenden Polymerschicht direkt aufgebracht werden kann, werden die Positionen der späteren Aussparungen in den zuvor beschriebenen Beschichtungsverfahren zunächst abgedeckt oder maskiert.
In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens erfolgt das Aufbringen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und/oder das Aufbringen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht durch Transferbeschichten. Dabei wird unter „Transferbeschichten" insbesondere verstanden, dass die Aussparungen umfassende Polymerschicht zunächst auf einer Transferschicht, beispielsweise ein Trennpapier oder eine Trennfolie, durch ein Druck- und/oder Beschichtungsverfahren, ausgebildet wird und dann auf die durchgehende Polymerschicht übertragen und mit der durchgehenden Polymerschicht verbunden wird. Als Druck- und/oder Beschichtungsverfahren eignen sich dabei die vorgenannten Druck- und/oder Beschichtungsverfahren. Zum Verbinden mit der durchgehenden Polymerschicht eignen sich beispielsweise die zuvor erläuterten Vorgehensweisen auf der Basis von zuerst nur teilweisem und anschließend weiterem, insbesondere vollständigem Verfestigen und das zuvor erläuterte Laminierungsverfahren. Das Transferbeschichten bietet vorteilhafterweise die Möglichkeit der räumlichen und zeitlichen Trennung der Herstellung der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und des Zusammenfügens der Aussparungen umfassenden Schicht/en mit den durchgehenden Schichten.
In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens sind die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht durchgängig durch die erste Aussparungen umfassenden Polymerschicht, insbesondere in Richtung auf die durchgehenden Polymerschichten, ausgebildet und/oder die Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht durchgängig durch die zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht, insbesondere in Richtung auf die durchgehenden Polymerschichten, ausgebildet. Auf diese Weise kontaktieren die nach Abschluss des erfindungsgemäßen Verfahrens entstehenden Hohlräume auf einer Seite die eine (erste) durchgehende Polymerschicht und auf der anderen Seite die andere (zweite oder dritte) durchgehende Polymehrschicht. Dies wirkt sich wiederum vorteilhaft auf das elektromechanische Verhalten des hergestellten elektromechanischen Energiewandlers aus.
Die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht können im Rahmen der vorliegenden Erfindung sowohl durch das Bedrucken und/oder Beschichten der ersten beziehungsweise zweiten durchgehenden Polymerschicht mit einer zusammenhängenden Aussparungen umfassenden Polymerschicht als auch durch das Bedrucken und/oder Beschichten der ersten beziehungsweise zweiten durchgehenden Polymerschicht mit gleichen oder unterschiedlichen, isolierten oder miteinander verbundenen Strukturen, beispielsweise Strukturen mit einer eher geringen Fläche, wie Punkte und Linien, beispielsweise gebogene oder gerade, einzelne oder gekreuzte Linien beziehungsweise Umfangslinien von geometrischen Figuren, etwa einer Kreislinie oder einer Umfangslinie eines Kreuzes, oder Strukturen mit einer größeren Fläche, wie gefüllte Rechtecke, Kreise, Kreuze, et cetera, ausgebildet werden. Die Größe und Schichtdicke der Strukturen wird vorzugsweise derart eingestellt, dass sich die durchgehenden Polymerschichten nicht berühren können und/oder dass das nach Fertigstellung resultierende Gesamthohlraumvolumen möglichst groß ist. Im elektromechanischen Wandler können die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht beispielsweise jeweils eine Schichtdicke von > 1 μm bis < 800 μm, insbesondere von > 10 μm bis < 400 μm, aufweisen. Insofern bei der Herstellung des elektromechanischen Wandlers nur eine erste Aussparungen umfassende Polymerschicht aufgebracht wird, so kann die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht im elektromechanischen Wandler insbesondere eine Schichtdicke von > 1 μm bis < 800 μm, beispielsweise von > 10 μm bis < 400 μm, aufweisen. Insofern bei der Herstellung des elektromechanischen Wandlers sowohl eine erste als auch eine zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht aufgebracht werden, so kann im elektromechanischen Wandler die gemeinsame Schichtdicke der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht > 1 μm bis < 800 μm , beispielsweise von > 10 μm bis < 400 μm , betragen. Abhängig von den bei der Herstellung des elektromechanischen Wandlers angewandten Druck- und/oder Beschichtungsverfahren und -parametern, kann - beispielsweise beim Einsatz von lösungsmittelhaltigen Druckfarben, Tinten, Pasten, Formulierungen, Lacken oder Klebstoffen - die Schichtdicke der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht direkt nach dem Aufbringen der Aussparungen umfassenden Polymerschicht auf die durchgängige Schicht größer oder sogar deutlich größer als die Schichtdicke der resultierenden Aussparungen umfassenden Polymerschicht im elektromechanischen Wandler sein. Vorzugsweise werden das Layout, die Druckverfahrenparameter und/oder die Beschichtungsverfahrensparameter derart eingestellt, dass die Aussparungen umfassenden Polymerschichten keine Hohlräume, insbesondere Gaseinschlüsse, aufweisen, welche mit den durchgehenden Polymerschichten nicht in Kontakt stehen. Die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und die Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht können so ausgebildet und angeordnet sein, dass beim Aufbringen der Abdeckung zumindest ein Teil der Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und ein Teil der Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht teilweise oder vollständig überlappen.
In einer weiteren Ausführungsform des Verfahrens sind die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und die Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht so ausgebildet und angeordnet, dass beim Aufbringen der Abdeckung jeweils eine Aussparung der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und eine Aussparung der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht teilweise oder vollständig überlappen. Das heißt, die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und die Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht sind vorzugsweise so ausgebildet und angeordnet, dass beim Aufbringen der Abdeckung jeweils eine Aussparung der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und eine Aussparung der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht einen gemeinsamen Hohlraum ausbilden. Vorzugsweise sind die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und die Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht so ausgebildet und angeordnet, dass jeweils eine Aussparung der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und eine Aussparung der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht vollständig überlappen. Beispielsweise können die erste und zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht dafür deckungsgleich, insbesondere identisch, ausgebildet sein. Auf diese Weise können Hohlräume realisiert werden, welche von der durchgehenden Polymerschicht auf der einen Seite zur durchgehenden Polymerschicht auf der anderen Seite durchgängig sind.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung kann zumindest ein Teil der Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und/oder der Aussparungen der zweiten
Aussparungen umfassenden Polymerschicht in Formen ausgebildet sein, welche eine
Querschnittsfläche, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus im Wesentlichen runden, beispielsweise kreisförmigen, elliptischen oder ovalen, polygonen, beispielsweise dreieckigen, rechteckigen, trapezförmigen, rautenförmigen, fünfeckigen, sechseckigen, insbesondere wabenförmigen, kreuzförmigen, sternförmigen und teilweise runden und teilweise polygonen, beispielsweise S-förmigen, Querschnittsflächen, aufweisen. Die Aussparungen der ersten
Aussparungen umfassenden Polymerschicht und/oder die Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht können jedoch auch sowohl vollständig in Formen ausgebildet sein, welche eine Querschnittsfläche, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus im Wesentlichen runden, beispielsweise kreisförmigen, elliptischen oder ovalen, polygonen, beispielsweise dreieckigen, rechteckigen, trapezförmigen, rautenförmigen, fünfeckigen, sechseckigen, insbesondere wabenförmigen, kreuzförmigen, sternförmigen und teilweise runden und teilweise polygonen, beispielsweise S-förmigen, Querschnittsflächen, aufweisen, als auch vollständig in davon abweichenden Formen ausgebildet sein.
Im Rahmen einer weiteren Ausfϊihrungsform des Verfahrens sind die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und/oder die Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht wabenförmig ausgebildet und/oder angeordnet. Eine wabenförmige Ausbildung und Anordnung der Aussparungen hat zum einen ein sehr großes Gesamthohlraumvolumen zur Folge. Zum anderen kann eine wabenförmig Ausbildung und Anordnung der Aussparungen eine hohe mechanische Stabilität aufweisen.
Die Größe der Querschnittsflächen kann bei allen Aussparungen einer Aussparungen umfassenden Polymerschicht gleich oder unterschiedlich sein.
Im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens können die Aussparungen in der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht sowohl homogen als auch heterogen verteilt ausgebildet sein. Insbesondere können die Aussparungen in der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht homogen verteilt ausgebildet sein. In Abhängigkeit vom Anwendungsbereich des herzustellenden elektromechanischen Wandlers, kann es jedoch auch vorteilhaft sein, die Aussparungen in der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht, insbesondere gezielt, ortsaufgelöst heterogen verteilt auszubilden.
Die Aussparungen in der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht können gegebenenfalls teilweise oder vollständig miteinander verbunden sein.
In einer weiteren Ausfuhrungsform des Verfahrens umfasst die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht und/oder die zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht in unterschiedlichen Formen ausgebildete Aussparungen. Insbesondere kann die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht eine Vielzahl an in einer ersten Form ausgebildeten Aussparungen und eine Vielzahl an in einer zweiten Form ausgebildeten Aussparungen und gegebenenfalls eine Vielzahl an in einer dritten Form ausgebildeten Aussparungen, et cetera, aufweisen. Dabei können die in unterschiedlichen Formen ausgebildeten Aussparungen in der ersten beziehungsweise zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht homogen oder heterogen verteilt und/oder teilweise oder vollständig miteinander verbunden ausgebildet sein. Durch eine Kombination aus in unterschiedlichen Formen ausgebildete Aussparungen kann zum einen vorteilhafterweise das Gesamthohlraumvolumen der resultierenden Hohlräume maximiert werden. Zum anderen können die elektromechanischen, insbesondere piezoelektrischen, Eigenschaften der mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten, elektromechanischen Wandler durch Auswahl der Aussparungsform, Anordnung und/oder Verteilung angepasst werden.
Insbesondere kann zumindest ein Teil der Aussparungen der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Schicht in Formen ausgebildet sein, welche keine kreisförmige, insbesondere keine im Wesentlichen kreisförmige, Querschnittsfläche aufweisen. Dies liegt darin begründet, dass das Gesamthohlraumvolumen von Schichten, welche ausschließlich Hohlräume mit kreisförmigen oder im wesentlichen kreisförmigen Querschnittsflächen aufweisen, geringer ist als das Gesamthohlraumvolumen beispielsweise bei einer homogen verteilten Anordnung von Hohlräumen mit kreisförmigen und rautenförmigen Querschnittsflächen oder bei einer ausschließlich auf Hohlräumen mit wabenförmigen Querschnittsflächen basierenden Anordnung.
Die erste und zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht können grundsätzlich unabhängig voneinander aus jedem Polymer ausgebildet sein, welches geeignet ist, einen Polungsprozess in den Hohlräumen zu ermöglichen und die nach dem Aufladungsprozess in den Polytnerfϊlmen gebildeten Ladungsschichten zu separieren. Beispielsweise können die Aussparungen umfassenden Polymerschichten aus einem Elastomer ausgebildet sein.
Zum Aufbringen der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht beziehungsweise zum Ausbilden der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht kann eine Druckfarbe, eine Tinte, eine Paste, eine Formulierung, ein Lack oder ein Klebstoff eingesetzt werden. Diese können sowohl direkt vor der Verarbeitung formuliert werden als auch kommerziell erhältlich sein.
Beispielsweise kann die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht mindestens ein Polymer ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Celluloseestern, Celluloseethern, Kautschukderivaten, Polyesterharzen, ungesättigten Polyestern, Alkydharzen, Phenolharzen, Aminoharzen, Amidoharzen, Ketonharzen, Xylol-Formaldehydharzen, Epoxidharze, Phenoxyharzen, Polyolefinen, Polyvinylchlorid, Polyvinylestern, Polyvinylalkoholen, Polyvinylacetalen, Polyvinylethern, Polyacrylaten, Polymetacrylaten, Polystyrolen Polycarbonaten, Polyestern, Copolyestern, Polyamiden, Silikonharzen, Polyurethanen, insbesondere Polyurethanen, und Mischungen dieser Polymere, insbesondere als Bindemittel, umfassen beziehungsweise daraus ausgebildet sein. Insofern die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht ein Harz umfasst, kann die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht gegebenenfalls weiterhin einen oder mehrere Harzhärter umfassen.
Weiterhin kann für die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, den Lack oder den Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht eine Vielzahl von kommerziell erhältlichen Produkten, insbesondere als Bindemittel, geeignet sein, welche beispielsweise unter den Handelsnamen Noriphan HTR, Noriphan PCI, Noriphan N2K, Noricryl und NoriPET von der Firma Pröll KG, Weißenburg in Bayern, Deutschland, oder unter dem Handelsnamen Maraflex FX von der Firma Marabu GmbH & Co. KG7 Tamm, Deutschland, oder unter dem Handelsnamen Polyplast PY von der Firma Fujifilm Sericol Deutschland GmbH, Bottrop, Deutschland, oder unter den Handelsnamen Siebdruckfarben HG, SG, CP, CX, PK, J, TL sowie YN von der Firma Coates Screen Inks GmbH, Nürnberg, Deutschland, oder unter den Handelsnamen 1500 Series UV Flexiform, 1600 Power Print Series, 1700 Versa Print, 3200 Series, 1800 Power Print plus, 9700 Series, PP Series, 7200 Lacquer und 7900 Series von der Firma Nazdar, Shawnee, Vereinigte Staaten von Amerika, vertrieben werden.
Für eine Druckfarbe, eine Tinte, eine Paste, eine Formulierung, einen Lack oder einen Klebstoff, welche/r unter ultraviolettem Licht härtet, eignen sich, insbesondere als Bindemittel, beispielsweise Epoxy-, Ester-, Ether- und/oder Urethanacrylate. Urethanacrylate können als Lösungen in Reaktiwerdünnern (niederviskose Meth-/Acrylsäureester), als niederviskose Oligomere, als Feststoffe für die Pulverlacktechnologie oder als Urethanacrylat- Dipsersionen eingesetzt werden. Urethanacrylate sind beispielsweise unter dem Handels/Markennamen Desmolux von der Firma Bayer MaterialScience AG (Leverkusen, Deutschland) erhältlich. Zur Härtung eignen sich beispielsweise Elektronenstrahlhärtung, Mono Cure Technologie und Dual Cure Technologie. Für die Dual Cure Technologie sind Isocyanatourethanacryle besonders geeignet.
Die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff können auf Wasserbasis oder auf der Basis anderer Lösungsmittel als Wasser aufgebaut sein.
Die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht kann ein oder mehr Polyurethane umfassen oder daraus ausgebildet sein. Insbesondere können die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht ein oder mehrere Einkomponenten-Polyurethane und/oder ein oder mehrere Zweikomponenten-Polyurethane und/oder eine oder mehrer wässrige Polyurethandispersionen und/oder einen oder mehrere Polyurethan-Schmelzklebstoffe umfassen oder daraus ausgebildet sein.
Beispielsweise kann die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht ein oder mehrere Einkomponenten-Polyurethane umfassen oder daraus ausgebildet sein, welche Prepolymere, herstellbar durch Reaktion von Alkoholen mit einem stöchiometrischen Überschuss von polyfunktionellen Isocyanaten mit einer mittleren Funktionalität größer als 2 und bis zu 4, umfassen. Dies Prepolymere können gegebenenfalls weiterhin Zusatzstoffe und/oder Lösungsmittel umfassen.
Die Prepolymere können beispielsweise durch Umsetzung von Polyisocyanaten mit Alkoholen, die Mischungen von Polyolen mit im Mittel monofunktionellen Alkoholen darstellen, unter Ausbildung von Urethangruppen und endständigen Isocyanatgruppen erhalten werden.
Als Polyole können die dem Fachmann bekannten, in der Polyurethanchemie üblichen Polyole, wie beispielsweise Polyether-, Polyacrylat-, Polycarbonat-, Polycaprolacton-, Polyurethan- und Polyester-Polyole verwendet werden, wie sie zum Beispiel in Ulimanns Enzyklopädie der technischen Chemie, 4. Auflage, Band 19, S. 304-5, Verlag Chemie, Weinheim, oder in Polyurethan Lacke, Kleb- und Dichtstoffe von Ulrich Meier-Westhues, Vincentz Network, Hannover, 2007, beschrieben sind. Zum Beispiel können die Desmophen ® genannten Polyole der Firma Bayer MaterialScience AG, Leverkusen, Deutschland, verwendet werden.
Als polyfunktionelle Isocyanate mit einer mittleren Funktionalität > 2 können die in der Polyurethanchemie üblichen, dem Fachmann bekannten Produkte eingesetzt werden, wie sie zum Beispiel in Ulimanns Enzyklopädie der technischen Chemie, 4. Auflage, Band 19, S. 303-4, Verlag Chemie, Weinheim, beschrieben sind. Als Beispiele seien über Biuretgruppen trimerisierte Isocyanate, wie etwa trimerisiertes Hexamethylendiisocyanat Desmodur ® N (Handelsname der Firma Bayer MaterialScience AG, Leverkusen, Deutschland), oder deren Gemische mit Diisocyanaten oder über Isocyanuratgruppen trimerisierte Isocyanate oder ihre Gemische mit Diisocyanaten genannt. Auch die Addukte von Diisocyanaten an Polyole, beispielsweise von Toluylendiisocyanat an Trimethylolpropan sind geeignet.
Den Prepolymeren können Zusatzstoffe wie Katalysatoren zur Beschleunigung der Aushärtung, beispielsweise tertiäre Amine wie Dimorpholinodiethylether, Bis-[2-N,N-
(dimethylamino)ethyl]ether oder Zinnverbindungen, wie Dibutylzinndilaurat oder Zinn-II-octoat,
Alterungs- und Lichtschutzmittel, Trockenmittel, Stabilisatoren, beispielsweise Benzoylchlorid, Haftvermittler zur Verbesserung der Adhäsion, Weichmacher, beispielsweise Dioctylphthalat, sowie Pigmente und Füllstoffe zugegeben werden.
Wegen der Feuchtigkeitsempfϊndlichkeit der Isocyanate sollte in der Regel unter sorgfaltigem Ausschluss von Wasser gearbeitet werden, das heißt es sollten wasserfreie Rohstoffe eingesetzt werden und der Zutritt von Feuchtigkeit während der Reaktion vermieden werden.
Die Herstellung der Prepolymere kann durch Umsetzung des Gemisches aus Polyolen und monofunktionellem Alkohol mit einem stöchiometrischen Überschuss von di- oder polyfunktioneller Isocyanatverbindung erfolgen. Es ist jedoch auch möglich, die monofunktionelle Hydroxylverbindung in einer vorgeschalteten Reaktion mit der Isocyanatverbindung umzusetzen.
Die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht kann jedoch auch ein oder mehrere Zweikomponenten-Polyurethane umfassen oder daraus ausgebildet sein, welche beispielsweise eine Komponente mit Isocyanatgruppen und eine isocyanatreaktive Komponente umfassen.
Als geeignete Polyisocyanate für die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, den Lack oder den Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht können die dem Fachmann an sich bekannten NCO-funktionellen Verbindungen einer Funktionalität von bevorzugt 2 oder mehr Verwendung finden. Dies sind typischerweise aliphatische, cycloaliphatische, araliphatische und/oder aromatische Di- oder Triisocyanate sowie deren höhermolekulare Folgeprodukte mit Iminooxadiazindion-, Isocyanurat-, Uretdion-, Urethan-, Allophanat-, Biuret-, Harnstoff-, Oxadiazintrion, Oxazolidinon-, Acylharnstoff- und/oder Carbodiimid-Strukturen, die zwei oder mehr freie NCO-Gruppen aufweisen.
Beispiele für solche Di- oder Triisocyanate sind Tetramethylendiisocyanat, Cyclohexan-1,3- und 1,4-diisocyanat, Hexamethylendiisocyanat (HDI), l-Isocyanato-3,3,5-trimethyl-5-isocyanato- methyl-cyclohexan (Isophorondiisocyanat, IPDI), Methylen-bis-(4-isocyanatocyclohexan), Tetramethylxylylendiisocyanat (TMXDI), Triisocyanatononan, Toluylendiisocyanat (TDI), Di- phenylmethan-2,4>-und/oder -4,4 Λ -und/oder -2,2'-diisocyanat (MDI), Triphenylmethan-4,4'-diiso- cyanat, Naphtylen-l,5-diisocyanat, 4-Isocyanatomethyl-l,8-octandiisocyanat (Nonantriisocyanat, Triisocyanatononan, TIN) und/oder 1,6,11 - Undecantriisocyanat sowie deren beliebige Mischungen und gegebenenfalls auch Mischungen anderer Di-, Tri- und/oder Polyisocyanate. Solche Polyisocyanate haben typischerweise Isocyanatgehalte von 0,5 Gewichtsprozent bis 60 Gewichtsprozen, bevorzugt 3 Gewichtsprozent bis 30 Gewichtsprozent, besonders bevorzugt 5 Gewichtsprozent bis 25 Gewichtsprozent. Bevorzugt werden in der Druckfarbe, der Tinte, der Paste, der Formulierung, dem Lack oder dem Klebstoff beziehungsweise der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht die höhermolekularen Verbindungen mit Isocyanurat-, Urethan-, Allophanat-, Biuret-, Iminooxadiazintrion-, Oxadiazintrion- und/oder Uretdiongruppen auf Basis aliphatischer und/oder cycloaliphatischer und/oder aromatischer Diisocyanate eingesetzt.
Besonders bevorzugt werden in der Druckfarbe, der Tinte, der Paste, der Formulierung, dem Lack oder dem Klebstoff beziehungsweise der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht Verbindungen mit Biuret-, üninooxadiazindion,- Isocyanurat- und/oder Uretdiongruppen auf Basis von Hexamethylendiisocyanat, Isophorondiisocyanat, 4,4'- Diisocyanatodicyclohexylmethan, Diphenylmethan-4,4'-diisocyanat, Diphenylmethan-2,4'- diisocyanat, 2,4-Toluylendiisocyanat, 2,6-Toluylendiisocyanat und/oder Xylylendiisocyanat eingesetzt.
Die Herstellung und/oder Verwendung der isocyanathaltigen Komponente kann in einem Lösemittel erfolgen, Beispiele sind N-Methylpyrrolidon, N-Ethylpyrrolidon, Xylol, Solvent Naphtha, Toluol, Butylacetat, Methoxypropylacetat, Aceton oder Methylethylketon. Es ist möglich, nach der Abreaktion der Isocyanatgruppen Lösemittel hinzu zu geben. Hierbei können auch protische Lösemittel wie Alkohole zum Einsatz kommen, die beispielsweise der Stabilisierung der Lösung oder der Verbesserung von Lackeigenschaften dienen. Es sind auch beliebige Mischungen von Lösemitteln möglich. Die Menge Lösemittels wird im allgemeinen so bemessen, dass 20 gewichtsprozentige bis < 100 gewichtsprozentige, vorzugsweise 50 gewichtsprozentige bis 90 gewichtsprozentige Lösungen resultieren.
Zur Beschleunigung der Vernetzung können auch Katalysatoren zugesetzt werden. Geeignete Katalysatoren sind in „Polyurethane Chemistry and Technology", Volume XVI, Part 1 , Abschnitt rv, Seiten 129 - 21 1, The Kinetics and Catalysis of the Isocyanate Reactions, beschrieben. Beispielsweise sind tertiäre Amine, Zinn-, Zink- oder Wismutverbindungen, oder basische Salze geeignet. Bevorzugt sind Dibutylzinndilaurat und -octoat.
Geeignete isocyanatreaktive Komponenten wie beispielsweise Polyhydroxylverbindungen sind dem Fachmann an sich bekannt. Bevorzugt sind dies die an sich bekannten Bindemittel auf Basis von Polyhydroxypolyestern, Polyhydroxypolyurethanen, Polyhydroxypolyethern, Polycarbonat- Diolen oder von Hydroxylgruppen aufweisenden Polymerisaten, wie den an sich bekannten Polyhydroxypolyacrylaten, Polyacrylatpolyurethanen und/oder Polyurethanpolyacrylaten. Als Beispiele seien die Desmophen ® genannten Polyole der Firma Bayer MaterialScience AG, Leverkusen, Deutschland, genannt. Die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht kann jedoch auch eine oder mehrere wässrige Polyurethandispersionen, beispielsweise eine Polyurethan- Polyharnstoffdispersion, umfassen oder aus einer solchen ausgebildet sein. Geeignete wässrige Polyurethandispersionen zur Formulierung der Druckfarbe, der Tinte, der Paste, der Formulierung, des Lacks oder des Klebstoffs sind solche, wie sie beispielsweise in US 2,479,310 A, US 4,092,286 A, DE 2 811 148 A, DE 3603996 und EP 08019884 beschrieben sind.
Geeignete Diol- und /oder Polyolkomponenten für die Herstellung vom Polyurethan- Polyharnstoffdispersionen sind Verbindungen mit mindestens zwei gegenüber Isocyanaten reaktionsfähigen Wasserstoffatomen und einem mittleren Molekulargewicht von > 62 bis < 18000, bevorzugt > 62 bis < 4000 g/mol. Beispiele für geeignete Aufbaukomponenten sind Polyether, Polyester, Polycarbonat, Polylactone und Polyamide. Bevorzugte Polyole weisen > 2 bis < 4 bevorzugt > 2 bis < 3 Hydroxylgruppen auf. Auch Gemische verschiedener derartiger Verbindungen kommen in Frage.
Die Polyurethan-Polyharnstoff-Dispersion kann sowohl alleine als auch in Kombination mit einem oder mehreren hydrophil modifizierten Vernetzern verwendet werden. Die zusätzliche Vernetzung des Polyurethan-Polyharnstoff-Polymers bewirkt eine deutliche Erhöhung der Wärmebeständigkeit und der Hydrolysebeständigkeit der Klebeverbindung.
Auch eine oder mehrere latent-reaktive Polyurethan-Polyharnstoff-Dispersionen können eingesetzt werden. Latent-reaktive Polyurethan-Polyharnstoff-Dispersionen sind beispielsweise in EP 0 922 720 A und WO 2008/071307 beschrieben. Der Vorteil dieser Produktklasse liegt darin, dass die Vernetzungsreaktion des Polymers bei der ohnehin notwendigen Erwärmung der Aussparungen umfassenden Polymerschicht beim Laminierprozess ausgelöst wird.
Die Dispersion kann alleine oder mit den in der Beschichtungs- und Klebstofftechnologie bekannten Bindemitteln, Hilfsstoffen und/oder Zugschlagstoffen, insbesondere Emulgatoren und
Lichtschutzmitteln, wie UV-Absorbern und sterisch gehinderte Aminen (HALS), Antioxidantien,
Füllstoffen, Antiabsetzmitteln, Entschäumungsmitteln, Netzmitteln, Verlaufmitteln, Reaktiv-
Verdünnern, Weichmachern, Neutralisationsmitteln, Katalysatoren, Hilfslösemitteln und/oder
Verdickern und/oder Additiven, wie Pigmenten, Farbstoffen oder Mattierungsmitteln, eingesetzt werden. Auch Klebrigmacher ("Tackifier") können zugegeben werden. Die Additive können dabei unmittelbar vor der Verarbeitung zugegeben werden. Es ist aber auch möglich, zumindest einen
Teil der Additive vor oder während der Dispergierung des Bindemittels zuzugeben. - -
Die Auswahl und die Dosierung dieser Stoffe, die den Einzelkomponenten und/oder der Gesamtmischung zugegeben werden können, sind dem Fachmann prinzipiell bekannt und können ohne ungebührlich hohen Aufwand auf den speziellen Anwendungsfall zugeschnitten durch einfache Vorversuche ermittelt werden.
Die Rheologie der wässrigen Polyurethandispersionen wird vorzugsweise mit geeigneten Verdickern so eingestellt, dass diese nach dem Aufbringen, beispielsweise auf die durchgehende Polymerschicht, nicht mehr verläuft. Insbesondere die Strukturviskosität der Fließgrenze kann dabei hoch sein. Der Einsatz einer derartigen wässrigen Polyurethandispersion hat den Vorteil, dass die Aussparungen umfassende Polymerschicht nach dem Aufbringen zunächst getrocknet werden kann, wobei das Polyurethanpolymer - in Abhängigkeit von dem eingesetzten Polymer oder Polymergemisch - amorph erstarrt und/oder kristallisiert und die Aussparungen umfassende Polymerschicht in einem nachfolgenden Laminierungsverfahren gerade soweit erwärmt werden kann, dass das Polyurethanpolymer erweicht und/oder schmilzt und die durchgehende Polymerschicht benetzt wird, wobei die Struktur der Aussparungen umfassenden Polymerschicht erhalten bleibt.
Die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht kann jedoch auch einen reaktiven oder nicht-reaktiven Polyurethan-Schmelzklebstoff umfassen oder aus einem solchen ausgebildet sein.
Geeignete reaktive Polyurethan-Schmelzklebstoffe sind beispielsweise in DE 3827724, DE 4114229 und EP 354527 beschrieben. Diese Schmelzklebstoffe besitzen freie Isocyanat-Gruppen, die nach dem Aufbringen mit Feuchtigkeit aus dem Substrat vernetzen und so die geforderte Wärmebeständigkeit erreichen.
Die Polyurethan-Schmelzklebstoffe können alleine oder mit den in der Beschichtungs- und Klebstofftechnologie bekannten Bindemitteln, Hilfsstoffen und/oder Zugschlagstoffen, insbesondere Lichtschutzmitteln, wie UV-Absorbern und sterisch gehinderte Aminen (HALS), weiterhin Antioxidantien, Füllstoffen, Netzmitteln, Verlaufmitteln, Reaktiv-Verdünnern,
Weichmachern, Neutralisationsmitteln, Katalysatoren, Hilfslösemitteln, klebrigmachenden Harzen
(Tackifier) und/oder Additiven, wie Pigmenten, Farbstoffen oder Mattierungsmitteln, eingesetzt werden. Die Additive können dabei unmittelbar vor der Verarbeitung zugegeben werden. Es ist aber auch möglich, zumindest einen Teil der Additive vor oder während Herstellung des reaktiven
Schmelzklebstoffes zuzugeben. Die Auswahl und die Dosierung dieser Stoffe, die den Einzelkomponenten und/oder der Gesamtmischung zugegeben werden können, sind dem Fachmann prinzipiell bekannt und können ohne ungebührlich hohen Aufwand auf den speziellen Anwendungsfall zugeschnitten durch einfache Vorversuche ermittelt werden.
Geeignete nicht-reaktive Polyurethan-Schmelzklebstoffe sind beispielsweise in DE 1256822, DE 1930336 oder EP 192946 beschrieben. Weitere geeignete, nicht reaktive Schmelzklebstoffe sind Polyester und Copolyester, Polyamid, Polyolefine (APAO), Ethylenvinylacetat-Copolymere, Polyesterelastomere, Polyurethanelastomere und Copolyamidelastomere.
Vorzugsweise umfasst die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht weiterhin mindestens ein Additiv zur Verbesserung der Elektret- und/oder elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Eigenschaften. Das Additiv kann dabei jegliche Polymereigenschaften sowie Parameter verbessern, die eine Auswirkung auf die elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Eigenschaften des Materials haben. Beispielsweise kann das Additiv die Dielektrizitätskonstante, den Elastizitätsmodul, das viskoelastische Verhalten, die Maximaldehnung und/oder die dielektrische Durchschlagsfestigkeit des Polymers beziehungsweise des Polymergemisches verbessern. Vorzugsweise wird ein Additiv eingesetzt, welches die Dielektrizitätskonstante und/oder die elektrische Leitfähigkeit und/oder das Elastizitätsmodul des Polymers erniedrigt und/oder die dielektrische Durchschlagsfestigkeit des Polymers erhöht. Beispielsweise können Tonpartikel, feine keramische Pulver und/oder Weichmacher wie Kohlenwasserstofföle, Mineralöle, Silikonöle und/oder Silikonelastomere, insbesondere mit hohem Molekulargewicht, als Additive eingesetzt werden. Durch die Auswahl von mehreren Additiven können vorteilhafterweise mehrere Materialeigenschaften gleichzeitig verbessert werden. Weiterhin kann Die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht Additive umfassen, die das Aufbringen der Aussparungen umfassenden Polymerschicht vereinfachen. Dies sind beispielsweise Verlaufsadditive, Entschäumer und/oder Rheologieadditive sowie Zuschlagsstoffe zur Verbesserung der Eigenschaften der Aussparungen umfassenden Polymerschicht, wie Weichmacher.
Weiterhin kann die Druckfarbe, die Tinte, die Paste, die Formulierung, der Lack oder der Klebstoff beziehungsweise die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht, insbesondere vor der Fertigstellung des elektromechanischen Wandlers, auch Lösungsmittel umfassen. Beispiele hierfür sind Ethylacetat, Butylacetat, Methoxypropylacetat, Ethoxypropylacetat, Aceton, Cyclohexanon, Toluol, Xylol, Solvesso 100, Shellsol A und/oder Mischungen aus zwei oder mehreren dieser Lösungsmittel.
Bei der ersten und/oder zweiten und/oder dritten durchgehenden Polymerschichten handelt es sich vorzugsweise um kompakte Polymerschichten. Dabei bedeutet der Begriff „kompakt" im Sinn der vorliegenden Erfindung, dass die durchgehenden Polymerschichten möglichst wenige, insbesondere keine, Einschlüsse wie Gasblasen aufweisen. Insbesondere kann es sich bei den durchgehenden Polymerschichten um Polymerfüme handeln. Die erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehende Polymerschicht können grundsätzlich unabhängig voneinander durch alle bekannten Verfahren zur Herstellung von, insbesondere dünnen, Schichten und Filmen hergestellt werden. Beispielsweise können die erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehende Polymerschicht unabhängig voneinander über Extrusion, Rakeln, insbesondere Lösungsrakeln. Schleudern, insbesondere Lackschleudern, oder Sprühen hergestellt werden. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung können jedoch auch kommerziell erhältliche durchgehende Polymerschichten beziehungsweise Polymerfilme als erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehende Polymerschicht verwendet werden.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung können die erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehende Polymerschicht unabhängig voneinander grundsätzlich aus jedem Polymer beziehungsweise Polymergemisch ausgebildet sein, welches geeignet ist, Ladung über einen langen Zeitraum, beispielsweise einige Monate oder Jahre, zu halten. Zum Beispiel können die erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehende Polymerschicht fast beliebige, gleiche oder unterschiedliche Polymermaterialien umfassen oder daraus bestehen. Beispielsweise können die erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehende Polymerschicht mindestens ein Polymer, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Polycarbonaten, perfluorierten oder teilfluorierten Polymeren und Co-Polymeren, wie Polytetrafluoethylen (PTFE), Fluorethylenpropylen (FEP), Perfluoralkoxyethylenen (PFA), Polyestern, wie Polyethylenterephthalat (PET) oder Polyethylennaphthalat (PEN), Polyimiden, insbesondere Polyetherimid, Polyethern, Polymethylmethacrylaten, Cyclo-Olefϊn-Polymeren, Cyclo-Olefin-Copolymeren, Polyolefϊnen, wie Polypropylen, und Mischungen dieser Polymere umfassen oder daraus ausgebildet sein. Derartige Polymere können die eingebrachte Polarisierung vorteilhafterweise über lange Zeit halten. Geeignete Polycarbonate sind beispielsweise durch Reaktion von Kohlensäurederivaten, wie Diphenylcarbonat, Dimethylcarbonat oder Phosgen, mit Polyolen, bevorzugt Diolen, erhältlich. Beispiele für geeignete Diole sind dabei Ethylenglykol, 1,2- Propandiol, 1,3-Propandiol, 1,3- Butandiol, 1,4-Butandiol, 1 ,6-Hexandiol, 1,8-Octandiol, Neopentylglykol, 1,4- Bishydroxymethylcyclohexan, 2-Methyl-l,3-propandiol, 2,2,4-Trimethylpentandiol-l,3, Dipropylenglykol, Polypropylenglykole, Dibutylenglykol, Polybutylenglykole, Bisphenol A, Bisphenol F, Trimethyl-cyclohexyl-bisphenol (Bisphenol-TMC), Mischungen aus diesen und lactonmodifizierte Diole. Bevorzugt sind Polycarbonate hergestellt Bisphenol A, Bisphenol F, Trimethyl- cyclohexyl-bisphenol (Bisphenol-TMC) und Mischungen daraus und ganz besonders bevorzugt sind Polycarbonate basierend aus Bisphenol A. Darüber hinaus können die durchgehenden Polymerschichten unabhängig voneinander ein Homopolymer umfassen oder daraus ausgebildet sein.
Darüber hinaus können die erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehende Polymerschicht mindestens ein Additiv zur Verbesserung der Elektret- und/oder elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Eigenschaften umfassen. Das Additiv kann dabei jegliche Polymereigenschaften sowie Parameter verbessern, die eine Auswirkung auf die elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Eigenschaften des Materials haben. Beispielsweise kann das Additiv die Elektreteigenschaften, die Dielektrizitätskonstante, den Elastizitätsmodul, das viskoelastische Verhalten, die Maximaldehnung und/oder die dielektrische Durchschlagsfestigkeit des Polymers beziehungsweise des Polymergemisches verbessern. Vorzugsweise werden ein Additiv oder mehrere Additive eingesetzt, welche die Elektreteigenschaften verbessern, das heißt, welche die Ladungsspeicherfähigkeit erhöhen, die elektrische Leitfähigkeit erniedrigen und/oder die dielektrische Durchschlagsfestigkeit des Polymers erhöhen. Beispielsweise können Tonpartikel, feine keramische Pulver und/oder Weichmacher wie Kohlenwasserstofföle, Mineralöle, Silikonöle und/oder Silikonelastomere, insbesondere mit hohem Molekulargewicht, als Additive eingesetzt werden. Durch die Auswahl von mehreren Additiven können vorteilhafterweise mehrere Materialeigenschaften gleichzeitig verbessert werden.
Die erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehenden Polymerschicht können im Rahmen der vorliegenden Erfindung, insbesondere Im elektromechanischen Wandler, unabhängig voneinander beispielsweise eine Schichtdicke von > 10 μm bis < 500 um, beispielsweise von > 20 μm bis < 250 μm aufweisen.
Neben der ersten und/oder zweiten und/oder dritten durchgehenden Polymerschicht kann der erfindungsgemäße Wandler eine oder mehrere weitere durchgehende Polymerschichten aufweisen. Eine solche weitere, durchgehende Polymerschicht kann beispielsweise auf der Seite der ersten und/oder zweiten und/oder dritten durchgehenden Polymerschicht angeordnet sein, welche der angrenzenden Aussparungen umfassenden Polymerschicht gegenüber liegt.
Gegebenenfalls können die durchgängigen Polymerschichten vor dem Einsatz in dem erfindungsgemäßen Verfahren oder im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens getempert werden. Das Verfahren kann weiterhin den Verfahrensschritt D): Aufbringen einer Elektrode auf die erste durchgehende Polymerschicht und einer Elektrode auf die Abdeckung, insbesondere auf die durchgehende Polymerschicht (zweite oder dritte) der Abdeckung, umfassen. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung können die Elektroden jedoch auch bereits zusammen mit den ersten und/oder zweiten und/oder dritten durchgehenden Polymerschicht, insbesondere jeweils auf diesen ausgebildet, bereitgestellt werden. Die Elektroden werden außen, d.h. auf der den Aussparungen abgewandten Seite der ersten durchgehenden Polymerschicht bzw. der Abdeckung aufgebracht.
Die Elektroden können mittels dem Fachmann bekannter Verfahren aufgebracht werden. Hierfür kommen beispielsweise Verfahren wie Sputtern, Aufdampfen, Chemical Vapor Deposition (CVD), Drucken, Rakeln, Spin-Coaten in Frage. Die Elektroden können auch in vorgefertigter Form aufgeklebt werden.
Bei den Elektrodenmaterialien kann es sich um dem Fachmann bekannte leitfähige Materialien handeln. Hierfür kommen beispielsweise Metalle, Metall-Legierungen, Halbleiter, leitfähige Oligo- oder Polymere, wie Polythiophene, Polyaniline, Polypyrrole, leitfähige Oxide oder Mischoxide, wie Indiumzinnoxid (ITO), oder mit leitfähigen Füllstoffen gefüllte Polymere in Frage. Als Füllstoffe für mit leitfähigen Füllstoffen gefüllte Polymere kommen beispielsweise Metalle, leitfähige Kohlenstoff basierende Materialien, beispielsweise Ruß, Kohlenstoffnanoröhrchen (Carbonanotubes (CNTs)), oder leitfähige Oligo- oder Polymere, in Frage. Der Füllstoffgehalt der Polymere liegt dabei vorzugsweise oberhalb der Perkolationsschwelle, welche dadurch gekennzeichnet ist, dass die leitfähigen Füllstoffe durchgehende elektrisch leitfähige Pfade ausbilden.
Die Elektroden können im Rahmen der vorliegenden Erfindung auch strukturiert sein. Beispielsweise können die Elektroden derart strukturiert sein, dass der Wandler aktive und passive Bereiche aufweist. Insbesondere können die Elektroden derart strukturiert sein, dass, insbesondere im Sensor-Modus, die Signale ortsaufgelöst detektiert und/oder, insbesondere im Aktuator-Modus, die aktiven Bereiche gezielt angesteuert werden können. Dies kann beispielsweise dadurch erzielt werden, dass die aktiven Bereiche mit Elektroden versehen sind, wohingegen die passiven Bereiche keine Elektroden aufweisen.
Das Verfahren kann weiterhin den Verfahrensschritt E): Aufladen der aus dem Verfahrensschritt C) hervorgehenden Anordnung, insbesondere Sandwich- Anordnung, umfassen. Insbesondere können dabei die erste durchgehende Polymerschicht und die Abdeckung, insbesondere die durchgehende Polymerschicht (zweite oder dritte) der Abdeckung mit Ladungen unterschiedlichen Vorzeichens aufgeladen werden. Das Aufladen kann beispielsweise durch Triboaufladung, Elektronenstrahlbeschuss, Anlegen einer elektrischen Spannung an die Elektroden oder Coronaentladung erfolgen. Insbesondere kann das Aufladen durch eine Zweielektroden-Coroπa- Anordnung erfolgen. Dabei kann die Nadelspannung mindestens > 20 kV, beispielsweise mindestens > 25 kV, insbesondere mindestens > 30 kV, betragen. Die Aufladezeit kann dabei mindestens > 20 s, beispielsweise mindestens > 30 s, insbesondere mindestens > 1 min, betragen. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung kann sowohl erst Verfahrensschritt D) und dann Verfahrensschritt E) als auch erst Verfahrensschritt E) und dann Verfahrensschritt D) durchgeführt werden.
Das Verfahren kann weiterhin den Verfahrensschritt F): Aufeinander Stapeln von zwei oder mehr aus dem Verfahrensschritt C) hervorgehenden Anordnungen, insbesondere Sandwich-Anordnung, umfassen. Dabei können die erste durchgehende Polymerschicht und die Abdeckung, insbesondere die durchgehende Schicht (zwei oder drei) der Abdeckung, jeweils mit einer Elektrode kontaktiert werden. Vorzugsweise werden dabei zwei benachbarte, durchgehende Polymerschichten unterschiedlicher aus dem Verfahrensschritt C) hervorgehender Anordnungen mit einer gleichen Polarisation aufgeladen. Insbesondere können dabei zwei benachbarte, durchgehende Polymerschichten unterschiedlicher aus dem Verfahrensschritt C) hervorgehender Anordnungen die gleiche Elektrode kontaktieren oder mit der gleichen Elektrode kontaktiert werden.
Hinsichtlich weiterer Merkmale eines erfindungsgemäßen Verfahrens wird hiermit explizit auf die Erläuterungen im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen elektromechanischen Wandler und dessen Verwendung verwiesen.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein elektromechanischer, beispielsweise piezoelektrischer, Wandler, insbesondere hergestellt durch ein erfindungsgemäßes Verfahren, welcher eine erste durchgehende Polymerschicht, eine erste Aussparungen umfassende Polymerschicht und eine Abdeckung umfasst, wobei die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht zwischen der ersten durchgehenden Polymerschicht und der Abdeckung angeordnet ist, wobei die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht auf einer Seite durch die erste durchgehende Polymerschicht und auf der anderen Seite durch die Abdeckung unter Ausbildung von Hohlräumen verschlossen sind.
Da das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren auf einem Druck- und/oder Beschichtungsverfahren beruht, können insbesondere die Oberflächen, welche die Aussparungen begrenzen, anders beschaffen sein als die Aussparungen begrenzenden Oberflächen von durch Bohren hergestellten Aussparungen. Zum Beispiel könnten die aus dem erfindungsgemäßen Verfahren resultierenden Aussparungen begrenzenden Oberflächen weniger Grate und andere scharfkantige Oberflächenunregelmäßigkeiten aufweisen, welche sich nicht in Kennwerte fassen lassen, aber dennoch eine, insbesondere negative, Auswirkung auf die elektromechanischen, insbesondere piezoelektrischen, Eigenschaften haben könnten.
In einer Ausführungsform des elektromechanischen Wandlers umfasst die Abdeckung eine zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht und eine zweite durchgehende Polymerschicht, wobei die zweite durchgehende Polymerschicht auf der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und die zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht, insbesondere unter Ausbildung von gemeinsamen Hohlräumen, auf der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht angeordnet ist.
In einer Ausführungsform des elektromechanischen Wandlers ist die Abdeckung eine dritte durchgehende Polymerschicht.
In einer Ausführungsform des elektromechanischen Wandlers umfasst die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht in unterschiedlichen Formen ausgebildete Aussparungen und/oder umfasst die zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht in unterschiedlichen Formen ausgebildete Aussparungen.
Wie bereits erläutert, kann durch eine Kombination aus in unterschiedlichen Formen ausgebildeten Aussparungen vorteilhafterweise zum einen das Gesamthohlraumvolumen der resultierenden Hohlräume maximiert werden und zum anderen die elektromechanischen, insbesondere piezoelektrischen, Eigenschaften angepasst werden.
Die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und/oder die Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht können gegebenenfalls teilweise oder vollständig miteinander verbunden ausgebildet sein.
In einer Ausführungsform des elektromechanischen Wandlers ist zumindest ein Teil der Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht in Formen ausgebildet, welche keine kreisförmige, insbesondere keine im Wesentlichen kreisförmige, Querschnittsfläche aufweisen, und/oder ist zumindest ein Teil der Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht in Formen ausgebildet, welche keine kreisförmige, insbesondere keine im Wesentlichen kreisförmige, Querschnittsfläche aufweisen.
Wie ebenfalls bereits erläutert, kann durch einen zumindest teilweisen Verzicht auf Aussparungen, welche eine kreisförmige, insbesondere eine im Wesentlichen kreisförmige, Querschnittsfläche aufweisen, das Gesamthohlraumvolumen vergrößert werden. Die erste und zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht können insbesondere deckungsgleich, insbesondere identisch, ausgebildet sein.
Die Aussparungen können in der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht homogen oder heterogen verteilt ausgebildet sein. Insbesondere können die Aussparungen in der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht homogen verteilt ausgebildet sein. In Abhängigkeit vom Anwendungsbereich des herzustellenden elektromechanischen Wandlers, kann es jedoch auch vorteilhaft sein, die Aussparungen in der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht, insbesondere gezielt, ortsaufgelöst heterogen verteil auszubilden.
Vorzugsweise sind die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht durchgängig, insbesondere in Richtung auf die durchgehenden Polymerschichten, durch die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht ausgebildet; und/oder die Aussparungen der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht durchgängig, insbesondere in Richtung auf die durchgehenden Polymerschichten, durch die zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht ausgebildet.
Die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht kann eine Vielzahl an in einer ersten Form ausgebildeten Aussparungen und eine Vielzahl an in einer zweiten Form ausgebildeten Aussparungen und gegebenenfalls eine Vielzahl an in einer dritten Form ausgebildeten Aussparungen, et cetera, aufweisen. Dabei können in unterschiedlichen Formen ausgebildete Aussparungen in der ersten und/oder zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht homogen oder heterogen verteilt und/oder teilweise oder vollständig miteinander verbunden ausgebildet sein.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung können die Aussparungen zum Beispiel teilweise oder vollständig in Formen ausgebildet sein, welche eine Querschnittsfläche ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus im Wesentlichen runden, beispielsweise kreisförmigen, elliptischen oder ovalen, polygonen, beispielsweise dreieckigen, rechteckigen, trapezförmigen, rautenförmigen, fünfeckigen, sechseckigen, insbesondere wabenförmigen, kreuzförmigen, sternförmigen und teilweise runden und teilweise polygonen, beispielsweise S-förmigen, Querschnittsflächen, aufweisen. Vorzugsweise weisen die Aussparungen der ersten und/oder zweiten Aussparungen aufweisenden Schicht eine wabenförmige Querschnittsfläche auf beziehungsweise sind wabenfδrmig ausgebildet und/oder angeordnet; insbesondere vorzugsweise weisen die Aussparungen der ersten und zweiten Aussparungen aufweisenden Schicht eine wabenförmige Querschnittsfläche auf beziehungsweise sind wabenförmig ausgebildet und/oder angeordnet. Eine wabenförmig Ausbildung und Anordnung der Aussparungen hat zum einen ein sehr großes Gesamthohlraumvolumen zur Folge. Zum anderen kann eine wabenförmig Ausbildung und Anordnung der Aussparungen eine hohe mechanische Stabilität aufweisen.
Die Größe der Querschnittsflächen kann bei allen Aussparungen der Aussparungen umfassenden Polymerschicht gleich oder unterschiedlich sein.
Die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht können beispielsweise jeweils eine Schichtdicke von > 1 μm bis < 800 μm, insbesondere von > 10 μm bis < 400 μm, aufweisen. Insofern der elektromechanische Wandler nur eine erste Aussparungen umfassende Polymerschicht aufweist, so kann die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht eine Schichtdicke von > 1 μm bis < 800 μm, beispielsweise von > 10 μm bis < 400 μm, aufweisen. Insofern der elektromechanische Wandlers sowohl eine erste als auch eine zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht aufweist, so kann die gemeinsame Schichtdicke der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht und der zweiten Aussparungen umfassenden Polymerschicht > 1 μm bis < 800 μm , beispielsweise von > 10 μm bis < 400 μm, betragen.
Die erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehenden Polymerschicht können beispielsweise unabhängig voneinander beispielsweise eine Schichtdicke von > 10 μm bis < 500 μm, beispielsweise von > 20 μm bis < 250 μm aufweisen.
Die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht kann beispielsweise mindestens ein Polymer ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Celluloseestern, Celluloseethern, Kautschukderivaten, Polyesterharzen, ungesättigten Polyestern, Alkydharzen, Phenolharzen, Aminoharzen, Amidoharzen, Ketonharzen, Xylol-Formaldehydharzen, Epoxidharze, Phenoxyharzen, Polyolefinen, Polyvinylchlorid, Polyvinylestern, Polyvinylalkoholen, Polyvinylacetalen, Polyvinylethern, Polyacrylaten, Polymetacrylaten, Polystyrolen Polycarbonaten, Polyestern, Copolyestern, Polyamiden, Silikonharzen, Polyurethanen, insbesondere Polyurethanen, und Mischungen dieser Polymere umfassen beziehungsweise daraus ausgebildet sein. Insbesondere kann die erste und/oder zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht ein oder mehrere Einkomponenten-Polyurethane und/oder ein oder mehrere Zweikomponenten-Polyurethane und/oder einen oder mehrere Polyurethan-Schmelzklebstoffe umfassen oder daraus ausgebildet sein.
Die erste und/oder zweite und/oder dritte durchgehende Polymerschicht kann beispielsweise mindestens ein Polymer, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Polycarbonaten, perfluorierten oder teilfluorierten Polymeren und Co-Polymeren, wie Polytetrafluoethylen (PTFE), Fluorethylenpropylen (FEP), Perfluoralkoxyethylenen (PFA), Polyestern, wie Polyethylenterephthalat (PET) oder Polyethylennaphthalat (PEN), Polyimiden, insbesondere - -
Polyetherimid, Polyethern, Polymethylmethacrylaten, Cyclo-Olefin-Polymeren, Cyclo-Olefϊn- Copolymeren, Polyolefinen, wie Polypropylen, und Mischungen dieser Polymere umfassen oder daraus ausgebildet sein.
Vorzugsweise umfasst ein elektromechanischer Wandler weiterhin zwei Elektroden, insbesondere Elektrodenschichten, wobei eine Elektrode die erste durchgehende Polymerschicht und die andere Elektrode die Abdeckung, insbesondere die durchgehende Polymerschicht (zweite oder dritte) der Abdeckung, kontaktiert. Weiterhin können die erste durchgehende Polymerschicht und die Abdeckung, insbesondere die durchgehende Polymerschicht (zweite oder dritte) der Abdeckung, eine elektrische Ladung mit unterschiedlichem Vorzeichen aufweisen. Insbesondere kann ein erfindungsgemäßer elektromechanischer Wandler zwei oder mehr aufeinander gestapelte Anordnungen, insbesondere Sandwich-Anordnung, umfassen, welche jeweils eine erste durchgehende Polymerschicht, eine erste Aussparungen umfassende Polymerschicht und eine Abdeckung umfassen, wobei die erste Aussparungen umfassende Polymerschicht zwischen der ersten durchgehenden Polymerschicht und der Abdeckung angeordnet ist und wobei die Aussparungen der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht auf einer Seite durch die erste durchgehende Polymerschicht und auf der anderen Seite durch die Abdeckung unter Ausbildung von Hohlräumen verschlossen sind. Dabei können die erste durchgehende Polymerschicht und die Abdeckung, insbesondere die durchgehende Schicht (zwei oder drei) der Abdeckung, jeweils eine Elektrode kontaktieren. Vorzugsweise weisen dabei zwei benachbarte, durchgehende Polymerschichten unterschiedlicher Anordnungen die gleiche Ladungspolarisation auf. Insbesondere können dabei zwei benachbarte, durchgehende Polymerschichten unterschiedlicher Anordnungen die gleiche Elektrode kontaktieren.
Hinsichtlich weiterer Merkmale eines erfindungsgemäßen elektromechanischen Wandlers wird hiermit explizit auf die Erläuterungen im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und der erfindungsgemäßen Verwendung verwiesen.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist die Verwendung eines erfindungsgemäßen Wandlers als Sensor, Generator und/oder Aktuator, beispielsweise im elektromechanischen und/oder elektroakustischen Bereich, insbesondere im Bereich der Energiegewinnung aus mechanischen Schwingungen (Energy-Harvesting), der Akustik, des Ultraschalls, der medizinischen Diagnostik, der akustischen Mikroskopie, der mechanischen Sensorik, insbesondere Druck- Kraft- und/oder Dehnungssensorik, der Robotik und/oder der Kommunikationstechnologie, insbesondere in Lautsprechern, Schwingungswandlern, Lichtdeflektoren, Membranen, Modulatoren für Glasfaseroptik, pyroelektrischen Detektoren, Kondensatoren und Kontrollsystemen. Hinsichtlich weiterer Merkmale einer erfindungsgemäßen Verwendung wird hiermit explizit auf die Erläuterungen im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und dem erfindungsgemäßen elektromechanischen Wandler verwiesen.
Zβichnungen und Versuchsbeschreibung
Die erfindungsgemäße Herstellung und der Aufbau eines erfindungsgemäßen elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Wandlers wird anhand der Zeichnungen, der folgenden Zeichnungsbeschreibung und der folgenden Versuchsbeschreibungen näher erläutert. Dabei ist zu beachten, dass die Zeichnungen und die Versuchsbeschreibungen nur einen beschreibenden Charakter haben und nicht dazu gedacht sind, die Erfindung in irgendeiner Form einzuschränken.
Zeichnungen
Es zeigen:
Fig. Ia einen schematischen Querschnitt durch eine erste, auf einer ersten durchgehenden Polymerschicht aufgebrachte Aussparungen umfassende Polymerschicht;
Fig. Ib einen schematischen Querschnitt durch eine Form einer Abdeckung, welche eine zweite Aussparungen umfassende Polymerschicht und eine zweite durchgehende Polymerschicht umfasst;
Fig. Ic einen schematischen Querschnitt durch die in den Fig. Ia gezeigte Schichtanordnung, aufweiche die in Fig. Ib gezeigte Abdeckung aufgebracht wurde;
Fig. 2a einen schematischen Querschnitt durch eine erste, auf einer ersten durchgehenden Polymerschicht aufgebrachte Aussparungen umfassende Polymerschicht;
Fig. 2b einen schematischen Querschnitt durch die in Fig. 2a gezeigte Schichtanordnung, auf welcher eine Abdeckung in Form einer dritten durchgehenden Polymerschicht aufgebracht wurde;
Fig. 3 a einen schematischen Querschnitt durch die in Fig. 2b gezeigte Anordnung nach dem Aufladungsprozess;
Fig. 3b einen schematischen Querschnitt durch die in Fig. 2b gezeigte Anordnung nach dem Aufladungsprozess und nach dem Anbringen von Elektroden;
Fig. 4 einen schematischen Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen Wandler mit drei aufeinander gestapelten Anordnungen, welche jeweils eine erste durchgehende Polymerschicht, eine erste Aussparungen umfassende Polymerschicht und eine Abdeckung in Form einer dritten durchgehenden Polymerschicht umfassen; und Fig. 5a-5i Draufsichten auf verschiedene Ausfuhrungsformen von Aussparungen umfassenden Polymerschichten.
Figur Ia zeigt einen schematischen Querschnitt durch eine erste durchgehende Polymerschicht Ia, auf der eine erste Aussparungen 3a umfassende Polymerschicht 2a aufgebracht wurde.
Figur Ib zeigt einen schematischen Querschnitt durch eine Form einer Abdeckung, welche eine zweite Aussparungen 3b umfassende Polymerschicht 2b und eine zweite durchgehende Polymerschicht Ib umfasst.
Figur Ic zeigt einen schematischen Querschnitt durch die in der Figur Ia gezeigte Schichtanordnung, auf weiche die in Figur Ib gezeigte Abdeckung aufgebracht wurde. Figur Ic veranschaulicht, dass die Aussparungen 3 a der ersten Aussparungen 3a umfassenden Polymerschicht 2a und die Aussparungen 3b der zweiten Aussparungen 3b umfassenden Polymerschicht 2b so ausgebildet und angeordnet sind, dass nach dem Aufbringen der Abdeckung Ib, 2b auf die erste Aussparungen 3a umfassende Polymerschicht 2a jeweils eine Aussparung 3a der ersten Aussparungen 3a umfassenden Polymerschicht 2a und eine Aussparung 3b der zweiten Aussparungen 3b umfassenden Polymerschicht 2b vollständig unter Ausbildung eines gemeinsamen Hohlraums 5 überlappen.
Figur 2a zeigt einen schematischen Querschnitt durch eine erste durchgehende Polymerschicht 1, auf der eine erste Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht 2 aufgebracht wurde. Figur 2 a veranschaulicht, dass die Aussparungen 3 der ersten Aussparungen umfassenden Polymerschicht durchgängig durch die Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht 2 ausgebildet sind.
Figur 2b zeigt, dass auf die erste Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht 2 der in Fig. Ia gezeigten Schichtanordnung eine Abdeckung in Form einer dritten durchgehenden Polymerschicht 4 aufgebracht wurde. Figur 2b veranschaulicht, dass dabei die Aussparungen 3 der ersten Aussparungen 3 umfassenden Polymerschicht 2 auf der einen Seite durch die erste durchgehende Polymerschicht 1 und auf der anderen Seite durch die dritte durchgehende Polymerschicht 4 unter Ausbildung von Hohlräumen verschlossen wurden.
Figur 3 a zeigt einen schematischen Querschnitt durch die in Figur 2b gezeigte Anordnung und veranschaulicht die Ladungsverteilung nach dem Aufladen der in Figur 2b gezeigten Anordnung. Figur 3a veranschaulicht, dass die negativen Ladungen auf der ersten durchgehenden Polymerschicht 1 und die positiven Ladungen auf der dritten durchgehenden Polymerschicht 4 lokalisiert sind. Figur 3b zeigt einen schematischen Querschnitt durch die in Figur 2b gezeigte Anordnung nach dem Aufladungsprozess und nach dem Anbringen von Elektroden. Die erste 1 und dritte 4 durchgehende Polymerschicht kontaktieren jeweils eine Elektrode 6a, 6b. De Elektroden 6a, 6b sind dabei als Elektrodenschichten jeweils auf den Seiten der ersten 1 und dritten 4 Polymerschicht ausgebildet, welche gegenüberliegend zu den Seiten, an denen die Hohlräume 5 ausbildende, Aussparungen umfassende Polymerschicht 2 angrenzt, angeordnet sind.
Figur 4 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen Wandler mit drei aufeinander gestapelten Anordnungen, welche jeweils eine erste durchgehende Polymerschicht I Ia, I Ib, l lc, eine erste Aussparungen umfassende Polymerschicht 12a, 12b, 12c und eine Abdeckung in Form einer dritten durchgehenden Polymerschicht 14a, 14b, 14c umfassen. Figur 4 veranschaulicht, dass zwei benachbarte durchgehende Polymerfilme I Ia, 14b; I Ib, 14c unterschiedlicher Anordnungen mit einer gleichen Polarisation aufgeladen sind und dabei die gleiche Elektrode 16ab; 16bc kontaktieren. Figur 4 zeigt darüber hinaus eine Möglichkeit des Anschlusses der Elektroden 16a, 16ab, 16bc, 16c an eine Spannungs/Strom- Mess/Versorgungs/Speicher- Vorrichtung 17.
Die Figuren 5a bis 5i zeigen verschiedene Ausführungsformen von Aussparungen 3 umfassenden Polymerschichten und Aussparungsausgestaltungen. Die in den Figuren 5a bis 5i gezeigten Ausfuhrungsformen und Ausgestaltungen stellen jedoch nur Beispiele dar und sind nicht dazu gedacht, die Erfindung in irgendeiner Form einzuschränken. Aus Gründen der Übersichtlichkeit ist in den Figuren 5a bis 5i jeweils nur eine Aussparung einer Form beispielhaft mit einem Bezugszeichen gekennzeichnet.
Figur 5a zeigt eine Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht, deren Aussparungen eine kreisförmige Querschnittfläche aufweisen. Figur 5a veranschaulicht darüber hinaus, dass durch das erfindungsgemäße Verfahren eine Vielzahl von kleinen Aussparungen 3 ausgebildet werden kann.
Figur 5b zeigt eine Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht, deren Aussparungen 3 eine längliche, rechteckige Querschnittfläche aufweisen. Figur 5b veranschaulicht ebenfalls, dass durch das erfindungsgemäße Verfahren eine Vielzahl von kleinen Aussparungen 3 ausgebildet werden kann.
Figur 5c zeigt eine Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht, deren Aussparungen 3 eine kreuzförmige Querschnittfläche aufweisen.
Figur 5d zeigt eine Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht, deren Aussparungen 3 eine kreisförmige Querschnittfläche aufweisen. Figur 5d veranschaulicht, dass beim ausschließlichen - -
Einsatz von Aussparungen 3 mit kreisförmigen Querschnittsflächen kein optimales Gesamthohlraumvolumen erzielt werden kann.
Figur 5e zeigt eine Aussparungen 3, 3' umfassende Polymerschicht, deren Aussparungen teilweise eine kreisförmige Querschnittfläche 3 und teilweise eine rautenförmige Querschnittsfläche 3' aufweisen. Figur 5e veranschaulicht, dass bei einer homogen verteilten Anordnung von Aussparungen mit kreisförmigen 3 und rautenförmigen 3' Querschnittsflächen ein größeres Gesamthohlraumvolumen erzielt werden kann als bei dem in Figur 5d gezeigten, ausschließlichen Einsatz von Aussparungen 3 mit kreisförmigen Querschnittsflächen.
Figur 5f zeigt eine Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht, deren Aussparungen 3 eine wabenförmige Querschnittfläche aufweisen. Figur 5f veranschaulicht, dass durch eine Anordnung, welche ausschließlich auf Aussparungen 3 mit wabenförmigen Querschnittsflächen basiert, ein deutlich größeres Gesamthohlraumvolumen erzielt werden kann als bei dem in Figur 5d gezeigten, ausschließlichen Einsatz von Aussparungen 3 mit kreisförmigen Querschnittsflächen.
Figur 5g zeigt eine Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht, deren Aussparungen 3 eine wabenförmige Querschnittfläche aufweisen und teilweise miteinander verbunden ausgebildet sind.
Figur 5h zeigt eine Aussparungen 3, 3', 3" umfassende Polymerschicht, deren Aussparungen in unterschiedlichen Formen und Größen ausgebildet sind und die kreuzförmige 3', 3" und im wesentlichen wabenförmige 3 Querschnittflächen aufweisen. Figur 5h zeigt weiterhin, dass die Aussparungen unhomogen verteilt und teilweise miteinander verbunden ausgebildet sind.
Figur 5i zeigt eine Aussparungen 3 umfassende Polymerschicht, deren Aussparungen 3 durch Aufbringen einer Kombination unterschiedlicher Strukturen, insbesondere von Sechsecken/Waben, Kreuzen und Punkten unterschiedlicher Punkt- und Linienstärke, auf eine durchgehende Polymerschicht 1 durch ein Druck- und/oder Beschichtungsverfahren ausgebildet wurden. Figur 5i zeigt weiterhin, dass zumindest die Randbereiche der durchgehenden Polymerschicht mit einer geschlossenen Struktur bedruckt und/oder beschichtet sein können, um nach Abschluss des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens einen oder mehr abgeschlossene, mit den durchgehenden Polymerschichten in Kontakt stehende Hohlräume zu erhalten. Auf diese Weise kann ein zusammenhängender Hohlraum ausgebildet werden. Figur 5i veranschaulicht weiterhin, dass im Rahmen der vorliegenden Erfindung unter einer Aussparungen aufweisenden Polymerschicht auch eine Polymerschicht verstanden werden kann, welche nur eine Aussparung 3 aufweist, insbesondere welche auch als Zusammenschluss beziehungsweise Verbindung von mehreren Aussparungen verstanden werden kann. Beispiele
Versuchsbeschreibuπg
Beispiel 1
Zur Herstellung einer Aussparungen umfassenden Polymerschicht durch ein Siebdruckverfahren wurde eine erste Siebdruckpaste formuliert. Diese enthielt 47,14 Gewichtsprozent Desmodur® N75 MPA und 52,11 Gewichtsprozent Desmophen® 670. Um den Verlauf der Paste und die Blasenbildung während des Drucks zu reduzieren, wurden der Formulierung 0,75 Gewichtsprozent Verlaufsmittel (BYK 410 50 % in Butoxyl) zugesetzt.
Beispiel 2
Zur Herstellung einer weiteren Aussparungen umfassenden Polymerschicht durch ein Siebdruckverfahren wurde eine zweite Siebdruckpaste formuliert. In dieser wurden 40,40 Gewichtsprozent Desmodur® N75 MPA, 44,59 Gewichtsprozent Desmophen® 670, 11 ,26 Gewichtsprozent Ethoxypropylacetat, 3,30 Gewichtsprozent Verlaufsmittel und 0,45 Gewichtsprozent einer 1 :1 Mischung von BYK 410 mit Butoxyl verwendet.
Mehrere Siebdruckexperimente haben ergeben, dass mit den Siebdruckpasten nach Beispiel 1 und 2 sowohl einmal eine Druckschicht als auch nacheinander mehrer Druckschichten aufgebracht werden können. Insbesondere kann dabei eine Druckschicht auf eine noch nicht vollständig verfestigte, vorherige Druckschicht aufgetragen werden (Nass-in-nass-Verfahren). Es hat sich gezeigt, dass zur Erhöhung der Schichtdicke mehrere Druckschritte mit Zwischentrocknung durchgeführt werden können. Zum Beispiel kann auf einer durchgehenden Polycarbonatfolie zweimal eine Druckschicht im Nass-in-nass-Verfahren mit Zwischentrocknung aufgebracht werden. Zum Druck wurden Gewebe mit 12 bis 200 Fäden pro Zentimeter, vorzugsweise mit 22 bis 120 Fäden pro Zentimeter, verwendet. Um bei feinen Strukturen eine gute Schichtdicke zu erreichen, wurde ein Gewebe mit 90 Fäden pro Zentimeter eingesetzt. Auf diese Weise ließen sich mit einem Nass-in-nass-Druck Schichtdicken von 7 μm und 12 μm und mit einem zweifachen Nass-in-nass-Druck mit Zwischentrocknung Schichtdicken von 15 μm bis 25 μm erzielen.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung eines elektromechanischen Wandlers, umfassend die Schritte:
A) Aufbringen einer ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) auf eine erste durchgehende Polymerschicht (l;la) mittels eines Druck- und/oder Beschichtungsverfahrens, ausgenommen Laminierungsverfahren;
B) Aufbringen einer Abdeckung (4;lb,2b) auf die erste Aussparungen (3;3a) umfassende Polymerschicht (2;2a), so dass die Aussparungen (3;3a) der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) unter Ausbildung von Hohlräumen (5) verschlossen werden; und
C) Verbinden der Abdeckung (4;lb,2b) mit der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a),
wobei
in einem Verfahrensschritt D) außen auf der ersten durchgehenden Polymerschicht (1, Ia) eine Elektrode (6a) und außen auf der Abdeckung (4;lb,2b) eine Elektrode (6b) aufgebracht wird, wobei das Aufbringen der Elektroden (6a, 6b) unabhängig voneinander oder gleichzeitig vor oder nach einem Schritte A) bis C) erfolgt, und
in einem Verfahrensschritt E) die Anordnung, die nach Verfahrensschritt C) oder einem auf Verfahrensschritt C) folgenden Verfahrensschritt erhalten wird, aufgeladen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei
die Abdeckung eine zweite Aussparungen (3b) umfassende Polymerschicht (2b) und eine zweite durchgehende Polymerschicht (Ib) umfasst, wobei die zweite Aussparungen (3 b) umfassende Polymerschicht (2b) auf der zweiten durchgehende Polymerschicht (Ib) angeordnet ist, wobei die Abdeckung derart angeordnet ist, dass die zweiten Aussparungen (3b) den ersten Aussparungen (3a) zugewandt angeordnet sind oder
die Abdeckung eine dritte durchgehende Polymerschicht (4) ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Abdeckung durch Aufbringen einer zweiten Aussparungen (3b) umfassenden Polymerschicht (2b) auf eine zweite durchgehende Polymerschicht (Ib) mittels eines Druck- und/oder Beschichtungsverfahrens hergestellt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Verbinden der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) mit der Abdeckung (4;lb,2b) durch
- nur teilweises Verfestigen des Materials der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) nach dem Aufbringen auf die erste durchgehende Polymerschicht (l;la) und/oder
nur teilweises Verfestigen des Materials der zweiten Aussparungen (3b) umfassenden Polymerschicht (2b) nach dem Aufbringen auf die zweite durchgehende Polymerschicht ( 1 b), und
weiteres Verfestigen des Materials der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) nach dem Aufbringen der Abdeckung (4;lb,2b), und/oder
weiteres Verfestigen des Materials der zweiten Aussparungen (3b) umfassenden Polymerschicht (2b) nach dem Aufbringen der Abdeckung (4;lb,2b)
erfolgt.
5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Aufbringen der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) und/oder das Aufbringen der zweiten Aussparungen (3b) umfassenden Polymerschicht (2b) durch Rakeln, Lackschleudern, Tauchlackieren, Srühlackieren, Vorhanggießen, Beschichtung mittels Düsenauftrag, Flexodruck, Gravurdruck, Tampondruck, Digitaldruck, Thermotransferdruck, Durchdruck, ein
Walzenauftragsverfahren und /oder durch ein Siebdruckverfahren erfolgt.
6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Aussparungen (3;3a) der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) durchgängig durch die erste Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) ausgebildet sind und/oder die Aussparungen (3b) der zweiten Aussparungen (3b) umfassenden Polymerschicht (2b) durchgängig durch die zweite
Aussparungen (3 b) umfassende Polymerschicht (2b) ausgebildet sind.
7. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die Aussparungen (3a) der ersten Aussparungen (3a) umfassenden Polymerschicht (2a) und die Aussparungen (3 b) der zweiten Aussparungen (3b) umfassenden Polymerschicht (2b) so ausgebildet und angeordnet sind, dass beim Aufbringen der Abdeckung (lb,2b) jeweils eine Aussparung (3a) der ersten Aussparungen (3a) umfassenden Polymerschicht (2a) und eine Aussparung (3b) der zweiten Aussparungen (3b) umfassenden Polymerschicht (2b) teilweise oder vollständig überlappen.
8. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die erste Aussparungen (3;3a) umfassende Polymerschicht (2; 2a) und/oder die zweite Aussparungen (3b) umfassende Polymerschicht (2b) in unterschiedlichen Formen ausgebildete Aussparungen (3;3a,3b), bevorzugt wabenförmig ausgebildete und/oder angeordnete Aussparungen (3;3a,3b) umfasst.
9. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei
die erste Aussparungen (3;3a) umfassende Polymerschicht (2;2a) und/oder die zweite Aussparungen (3b) umfassende Polymerschicht (2b) mindestens ein Polymer, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Celluloseestern,
Celluloseethern, Kautschukderivaten, Polyesterharzen, ungesättigten Polyestern, Alkydharzen, Phenolharzen, Aminoharzen, Amidoharzen, Ketonharzen, Xylol- Formaldehydharzen, Epoxidharzen, Phenoxyharzen, Polyolefinen,
Polyvinylchlorid, Polyvinylestern, Polyvinylalkoholen, Polyvinylacetalen, Polyvinylethern, Polyacrylaten, Polymetacrylaten, Polystyrolen, Polycarbonaten,
Polyestern, Copolyestern, Polyamiden, Silikonharzen, Polyurethanen und Mischungen dieser Polymere, umfasst, und/oder
die erste durchgehende Polymerschicht (l;la) und/oder die zweite durchgehende Polymerschicht (Ib) und/oder die dritte durchgehende Polymerschicht (4) mindestens ein Polymer, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus
Polycarbonaten, perfluorierten oder teilfluorierten Polymeren und Co- Polymeren, Polyestern, Polyimiden, Polyethern, Polymethylmethacrylaten, Cyclo- Olefϊn-Polymeren, Cyclo-Olefin-Copolymeren, Polyolefinen und Mischungen dieser Polymere, umfasst.
10. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei
die erste Aussparungen (3;3a) umfassende Polymerschicht (2;2a) eine Schichtdicke von > 1 μm bis < 800 μm aufweist, und/oder die zweite Aussparungen (3b) umfassende Polymerschicht (2b) eine Schichtdicke von > 1 μm bis < 800 μm aufweist, und/oder
- die erste durchgehende Polymerschicht (l;la) und/oder die zweite durchgehende
Polymerschicht (Ib) und/oder die dritte durchgehende Polymerschicht (4) eine Schichtdicke von > 10 μm bis < 500 μm aufweist.
11. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die erste Aussparungen (3;3a) umfassende Polymerschicht (2;2a) und/oder die zweite Aussparungen (3b) umfassende Polymerschicht (2b) ein oder mehrere Einkomponenten-Polyurethane und/oder ein oder mehrere Zweikomponenten-Polyurethane und/oder eine oder mehrere wässrige Polyurethandispersionen und/oder einen oder mehrere Polyurethan-Schmelzklebstoffe umfasst.
12. Elektromechanischer Wandler, hergestellt durch ein Verfahren nach Anspruch 1 oder 2.
13. Elektromechanischer Wandler nach Anspruch 12, wobei die erste Aussparungen (3;3a) umfassende Polymerschicht (2;2a) in unterschiedlichen Formen ausgebildete Aussparungen (3;3a) umfasst und/oder die zweite Aussparungen (3b) umfassende Polymerschicht (2b) in unterschiedlichen Formen ausgebildete Aussparungen (3b) umfasst, bevorzugt zumindest ein Teil der Aussparungen (3;3a) der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) in Formen ausgebildet ist, welche eine nicth-kreisförmige Querschnittsfläche, insbesondere eine Wabenstruktur, aufweisen, und/oder zumindest ein Teil der Aussparungen (3b) der zweiten Aussparungen (3b) umfassenden Polymerschicht
(2b) in Formen ausgebildet ist, welche eine nicht-kreisförmige Querschnittsfläche, insbesondere eine Wabenstruktur, aufweisen.
14. Verwendung des elektromechanischen Wandlers nach Anspruch 12 oder 13 als Sensor, Generator und/oder Aktuator, insbesondere im elektromechanischen und/oder elektroakustischen Bereich, vorzugsweise im Bereich der Energiegewinnung aus mechanischen Schwingungen, der Akustik, des Ultraschalls, der medizinischen Diagnostik, der akustischen Mikroskopie, der mechanischen Sensorik, insbesondere Druck- Kraft- und/oder Dehnungssensorik, der Robotik und/oder der Kommunikationstechnologie, insbesondere in Lautsprechern, Schwingungswandlern, Lichtdeflektoren, Membranen, Modulatoren für Glasfaseroptik, pyroelektrischen Detektoren, Kondensatoren und
Kontrollsystemen.
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