EP2263428A2 - Verfahren und vorrichtung zum zünden eines lichtbogens - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum zünden eines lichtbogens

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EP2263428A2
EP2263428A2 EP09731134A EP09731134A EP2263428A2 EP 2263428 A2 EP2263428 A2 EP 2263428A2 EP 09731134 A EP09731134 A EP 09731134A EP 09731134 A EP09731134 A EP 09731134A EP 2263428 A2 EP2263428 A2 EP 2263428A2
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EP
European Patent Office
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anode
cathode
arc
electrodes
barrier discharge
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP09731134A
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English (en)
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Inventor
Patrick Grabau
Julius Roch
Volkmar Hopfe
Ines Dani
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Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
    • H05H1/3421—Transferred arc or pilot arc mode

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for igniting an arc between an anode and a cathode arranged at a distance therefrom of a plasma source which can be used for a substrate surface modification under ambient atmospheric conditions.
  • the plasma formed by means of a plasma-forming gas and ignited arc can be directed via an outlet opening onto a substrate surface to be modified.
  • the arc plasma source can be operated in a normal environment at atmospheric pressure, so that it can be dispensed with otherwise commonly used vacuum or vacuum technology. With a per se known arc plasma source, a large-volume plasma can be made available, so that an effective modification of large areas is possible. Substrate surfaces can be cleaned, coated on surfaces.
  • te layers are smoothed, the surface is smoothed or roughened and it is also the formation of layers on surfaces possible, if appropriately suitable gases for the plasma formation or additional reactive gases are used.
  • the invention can also be used in other workpiece processing technologies in which a plasma can be usefully used.
  • Such an arc plasma source is described inter alia in DE 10 2004 015 217 B4.
  • an arc between an anode and a cathode is ignited and then formed with the arc and gas supplied a plasma that can escape through a slot and used. Since the anode and cathode of the plasma source are arranged at a greater distance from each other, an increased effort for the ignition of the arc is required.
  • EP 0 851 720 B1 it is proposed to use a cascaded neutron arrangement which is formed with a stack of copper cascades and insulation material.
  • the Neutroden are arranged between the anode and cathode and can be acted upon by a high voltage electrical.
  • complex ignition electronics With complex ignition electronics, a pilot arc is gradually ignited with the neutrons acting as anodes for a short time, which is successively extended to the total length of the arc to be formed between the actual anode and cathode.
  • this object is achieved by a method having the features of claim 1. It can be worked with a device according to claim 9. Advantageous embodiments and further developments can be achieved with features described in the subordinate claims.
  • the arc is ignited by means of two electrodes arranged parallel to the longitudinal axis between the anode and cathode.
  • the electrodes are connected to a high voltage generator and are acted upon for the ignition with a high-frequency electrical AC voltage.
  • a barrier discharge is ignited.
  • the arc can be ignited with charge carriers arranged on the anode and cathode by the barrier discharge between the anode and the cathode.
  • An inert gas such as argon should be used.
  • the volume flow of this gas should be at least in the ignition phase and for the barrier discharge at 10 to 100 sl / min.
  • a DC electrical voltage applied to the anode and cathode with which also the then ignited arc between the actual anode and cathode of the plasma source can be maintained.
  • the electrical voltage can be chosen depending on the distance between anode and cathode. But it should be at least 100V. At a larger distance, so of about 300 mm, a DC electrical voltage of 500 V can be used.
  • the electrodes used for the formation of the barrier discharge are arranged at a distance which should be as constant as possible over the entire length to each other. Between the electrodes, a gap is formed, at the two end faces once the anode and at the other end side, the cathode are arranged.
  • the electrodes should be provided with a dielectric, but at least high-resistance coating, which should be the case at least on the side of the electrodes, which leads to the respective other electrode has.
  • the electrodes may be rod-shaped or plate-shaped. Their length should be selected so that sufficient charge carriers are present through the barrier discharge in the space between anode and cathode. It is not absolutely necessary to dimension the electrodes in their length so that the length corresponds to the distance from anode to cathode. It may be sufficient that the length of the electrodes is at least 75% of the distance between the anode and the cathode. In this case, the barrier discharge over a length of 80% of the distance between the anode and cathode can be achieved.
  • an adaptation of the electrical parameters can be made, that is, the high-frequency electrical AC voltage and / or applied to the anode and cathode DC voltage to be adjusted accordingly to ensure sufficient values for the electric discharge and the arc of the arc voltage and power.
  • the structural design of an arc plasma source can be considerably simplified.
  • the number of wear parts is reduced because the electrodes are not subject to wear.
  • the effort for operation, maintenance and repair is significantly reduced.
  • FIG. 1 shows in schematic form an example of an embodiment of the invention. inventive device in two views.
  • an anode 4 and on the right a cathode 5 are arranged on the end faces of a combustion channel 7 for an arc and both are connected to a DC voltage source 6.
  • the distance between anode 4 and cathode 5 is 300 mm.
  • An electrical voltage of 500 V is applied.
  • Electrodes 1 and 2 On both sides of the fuel channel 7 are two electrodes 1 and 2, which are aligned parallel to each other and arranged at a distance from each other. They are connected to a high voltage generator 3 and are supplied with an electrical AC voltage of 10 kV at a frequency of 15 kHz.
  • the electrodes 1 and 2 are here provided with a dielectric coating 8 on the surface facing in the direction of the combustion channel 7.
  • argon is introduced as plasma gas 9 into the combustion channel 7. It can be used for the barrier discharge and possibly later ignited arc 11 for the plasma formation.
  • the illustration of anode 4 and cathode 5 has been omitted here.
  • the gap between the electrodes 1 and 2 is 9 mm here. The gap can also be narrower or wider in other designs.
  • Argon is fed at a flow rate of 40 sl / min.
  • the electrical DC voltage can be applied already at training / ignition of the barrier discharge. However, this must be the case at least when the ignition of the arc 11 is to take place and through the barrier discharge sufficient charge carriers in the combustion channel 7 between anode 4 and cathode 5 are present.
  • the electrical AC voltage can be switched off.
  • the formed plasma 10 can be expelled.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Zünden eines Lichtbogens zwischen einer Anode und in einem Abstand dazu angeordneten Kathode einer für eine Substratoberflächenmodifizierung einsetzbaren Plasmaquelle bei Umgebungsatmosphärenbedingungen. Aufgabe der Erfindung ist es, den Aufwand für die Zündung eines Lichtbogens einer Plasmaquelle zu reduzieren und den Zündprozess sicherer zu machen. Bei der Erfindung wird so vorgegangen, dass mittels zweier parallel zur Längsachse zwischen Anode und Kathode angeordneten Elektroden, die an einen Hochspannungsgenerator angeschlossen und bei der Zündung mit einer hochfrequenten elektrischen Wechselspannung beaufschlagt sind, eine Barriere-Entladung mit einem zugeführten Gas gezündet wird. Dadurch kann dann bei an die Anode und die Kathode angelegter elektrischer Gleichspannung mittels der durch die Barriere- Entladung zwischen Anode und Kathode vorhandenen Ladungsträger ein Lichtbogen gezündet werden.

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Zünden eines Lichtbogens
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Zünden eines Lichtbogens zwischen einer Anode und in einem Abstand dazu angeordneten Kathode einer für eine Substratoberflächenmodifizierung einsetzbaren Plasmaquelle bei Umgebungsatmosphärenbedingungen. Dabei kann das mittels eines Plasmabildungsgases und gezündetem Lichtbogen gebildete Plasma über eine Austrittsöffnung auf eine zu modifizierende Substratoberfläche gerichtet. Die Lichtbogenplasmaquelle kann in normaler Umgebung bei Atmosphärendruck betrieben werden, so dass auf ansonsten üblicherweise eingesetzte Vakuum- oder Unterdrucktechnik verzichtet werden kann. Mit einer an sich bekannten Lichtbogenplasmaquelle kann ein großvolumiges Plasma zur Verfügung gestellt werden, so dass eine effektive Modifizierung großer Flächen möglich ist. Substratoberflächen können gereinigt, auf Oberflächen ausgebilde- te Schichten entfernt, die Oberfläche geglättet oder aufgerauht werden und es ist auch die Ausbildung von Schichten auf Oberflächen möglich, wenn entsprechend geeignete Gase für die Plasmabildung oder zusätzliche Reaktivgase eingesetzt werden. Die Erfindung kann auch bei anderen Werkstückbearbeitungstechnologien, bei denen ein Plasma sinnvoll genutzt werden kann, eingesetzt werden.
Eine solche Lichtbogenplasmaquelle ist unter anderem in DE 10 2004 015 217 B4 beschrieben. Dabei wird ein Lichtbogen zwischen einer Anode und einer Kathode gezündet und mit dem Lichtbogen und zugeführtem Gas dann ein Plasma gebildet, das über eine Schlitzdüse austreten und genutzt werden kann. Da Anode und Kathode der Plasmaquelle in einem größeren Abstand zueinander angeordnet sind, ist ein erhöhter Aufwand für die Zündung des Lichtbogens erforderlich.
In EP 0 851 720 Bl wird dazu vorgeschlagen eine kaskadiert aufgebaute Neutrodenanordnung, die mit einem Stapel von Kupferkaskaden und Isolationsmaterial gebildet ist, einzusetzen. Die Neutroden sind zwischen Anode und Kathode angeordnet und können mit einer elektrischen Hochspannung beaufschlagt werden. Mit einer komplexen Zündelektronik wird mit den kurzzeitig als Anoden fungierenden Neutroden stufenweise ein Pilotlichtbogen gezündet, der sukzessive bis auf die Gesamtlänge des zwischen der eigentlichen Anode und Kathode auszubildenden Lichtbogens verlängert wird.
Es liegt auf der Hand, dass der hier erforderliche Aufwand erheblich ist. Außerdem können Fertigungstoleranzen der Neutroden die Plasmaströmung negativ beeinflussen, so dass Plasmainhomogenitäten auftreten können.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung den Aufwand für die Zündung eines Lichtbogens einer Plasmaquelle zu reduzieren und den Zündprozess sicherer zu machen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Verfahren, das die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, gelöst. Dabei kann mit einer Vorrichtung gemäß Anspruch 9 gearbeitet werden. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen können mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen erreicht werden.
Beim erfindungsgemäßen Verfahren zum Zünden eines Lichtbogens zwischen einer Anode und in einem Abstand dazu angeordneten Kathode einer für eine Substratoberflächenmodifizierung einsetzbaren Plasmaquelle bei Umgebungsatmosphärenbedingungen wird der Lichtbogen mit Hilfe von zwei parallel zur Längsachse zwischen Anode und Kathode angeordneten Elektroden gezündet. Die Elektroden sind an einen Hochspannungsgenerator angeschlossen und werden für die Zündung mit einer hochfrequenten elektrischen Wechselspannung beaufschlagt. Mit einem zugeführten Gas wird eine Barriere-Entladung gezündet. Dadurch kann mit an die A- node und die Kathode angelegter elektrischer Gleichspannung durch die Barriere-Entladung zwischen Anode und Kathode vorhandenen Ladungsträgern der Lichtbogen gezündet werden. Es ist kein vollständig geschlossenes Gehäuse erforderlich, um bestimmte atmosphärische Bedingungen, insbesondere kein bestimmtes Gas mit konstanter Konsistenz oder einen erniedrigten Druck bis hin zum Vakuum einhalten zu können. Es kann bei ümgebungsdruckbedingungen gearbeitet werden. Für die Zündung der Barriere-Entladung sollte eine elektrische Spannung von mindestens 1 kV, bevorzugt von 5 kV und besonders bevorzugt von 10 kV, mit einer Frequenz von mindestens 5 kHz, bevorzugt 15 kHz eingesetzt werden. Diese Parameter sollten zumindest bis zur Zündung des Lichtbogens aufrechterhalten werden.
Dabei sollte ein inertes Gas, wie Argon eingesetzt werden. Der Volumenstrom dieses Gases sollte zumindest in der Zündphase und für die Barriereentladung bei 10 bis 100 sl/min liegen.
Während der Generierung zumindest jedoch nach vollständig ausgebildeter Barriere-Entladung ist bzw. wird eine elektrische Gleichspannung an Anode und Kathode angelegt, mit der auch der dann gezündete Lichtbogen zwischen der eigentlichen Anode und Kathode der Plasmaquelle aufrechterhalten werden kann. Die elektrische Spannung kann Abhängigkeit des Abstandes zwischen Anode und Kathode gewählt werden. Sie sollte aber bei mindestens 100 V liegen. Bei einem größeren Abstand, also von ca. 300 mm kann eine elektrische Gleichspannung von 500 V eingesetzt werden.
Die für die Ausbildung der Barriere-Entladung eingesetzten Elektroden sind in einem Abstand, der über die gesamte Länge möglichst konstant sein sollte, zueinander angeordnet. Zwischen den Elektroden ist ein Spalt ausgebildet, an dessen beiden Stirnseiten einmal die Anode und an der anderen Stirnseite die Kathode angeordnet sind.
Die Elektroden sollten mit einer dielektrischen, zumindest aber hochohmigen Beschichtung versehen sein, was zumindest an der Seite der Elektroden der Fall sein sollte, die zu der jeweils anderen Elektrode weist. Die Elektroden können stab- oder plattenförmig ausgebildet sein. Ihre Länge sollte so gewählt sein, dass ausreichend Ladungsträger durch die Barriere- Entladung im Raum zwischen Anode und Kathode vorhanden sind. Dabei ist es nicht unbedingt erforderlich die Elektroden in ihrer Länge so zu dimensionieren, dass die Länge dem Abstand von Anode zu Kathode entspricht. Es kann ausreichend sein, die Länge der E- lektroden bei mindestens 75 % des Abstandes der Anode zur Kathode beträgt. Dabei kann die Barriereentladung über eine Länge von 80 % des Abstandes zwischen Anode und Kathode erreicht werden. Dabei kann eine Anpassung der elektrischen Parameter vorgenommen werden, also die hochfrequente elektrische Wechselspannung und/oder die an Anode und Kathode angelegte Gleichspannung entsprechend angepasst sein, um für die Barriere-Entladung und die Zündung des Lichtbogens ausreichende Werte für elektrische Spannung und Leistung zu gewährleisten.
Mit der Erfindung kann der konstruktive Aufbau einer Lichtbogenplasmaquelle erheblich vereinfacht werden. Die Anzahl von Verschleißteilen wird reduziert, da die Elektroden keinem Verschleiß unterliegen. Der Aufwand für Betrieb, Wartung und Reparatur ist deutlich verringert. Es ist keine aufwändige Zündelektronik, wie bei der mit Neutroden versehenen Ausführung erforderlich und es kann auch auf eine Kühlung verzichtet werden.
Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.
Dabei zeigt:
Figur 1 in schematischer Form ein Beispiel einer er- findungsgemäßen Vorrichtung in zwei Ansichten.
In der oberen Darstellung von Figur 1 wird der prinzipielle Aufbau deutlich. So sind links eine Anode 4 und rechts eine Kathode 5 an den Stirnseiten eines Brennkanals 7 für einen Lichtbogen angeordnet und beide an eine Gleichspannungsquelle 6 angeschlossen. Der Abstand zwischen Anode 4 und Kathode 5 beträgt 300 mm. Es wird eine elektrische Spannung von 500 V angelegt .
An beiden Seiten des Brennkanals 7 sind zwei Elektroden 1 und 2, die parallel zueinander ausgerichtet und in einem Abstand zueinander angeordnet. Sie sind an einen Hochspannungsgenerator 3 angeschlossen und werden mit einer elektrischen Wechselspannung von 10 kV bei einer Frequenz von 15 kHz beaufschlagt. Die E- lektroden 1 und 2 sind hier an der Oberfläche, die in Richtung des Brennkanals 7 weist, mit einer dielektrischen Beschichtung 8 versehen ist.
Aus der unteren Darstellung von Figur 1 geht hervor, wie Argon als Plasmagas 9 in den Brennkanal 7 eingeführt wird. Es kann für die Barriereentladung und ggf. später bei gezündetem Lichtbogen 11 für die Plasmabildung genutzt werden. Auf die Darstellung von Anode 4 und Kathode 5 ist hier verzichtet worden. Das Spaltmass zwischen den Elektroden 1 und 2 beträgt hier 9 mm. Der Spalt kann aber bei anderen Ausführungen auch schmaler oder breiter sein. Argon wird mit einem Volumenstrom von 40 sl/min zugeführt.
Die elektrische Gleichspannung kann bereits bei Ausbildung/Zündung der Barriere-Entladung angelegt sein. Dies muss aber zumindest dann der Fall sein, wenn die Zündung des Lichtbogens 11 erfolgen soll und durch die Barriere-Entladung ausreichend Ladungsträger im Brennkanal 7 zwischen Anode 4 und Kathode 5 vorhanden sind.
Nach Zündung des Lichtbogens kann die elektrische Wechselspannung abgeschaltet werden. Das gebildete Plasma 10 kann ausgetrieben werden.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Zünden eines Lichtbogens zwischen einer Anode und in einem Abstand dazu angeordneten Kathode einer für eine Substratoberflächenmodifizierung einsetzbaren Plasmaquelle bei Umgebungsatmosphärenbedingungen, bei dem mittels zweier parallel zur Längsachse zwischen Anode (4) und Kathode (5) angeordneten Elektroden (1,
2) , die an einen Hochspannungsgenerator (3) angeschlossen und bei der Zündung mit einer hochfrequenten elektrischen Wechselspannung beaufschlagt sind, eine Barriere-Entladung mit einem zugeführten Gas gezündet und dadurch bei an die Anode (4) und die Kathode (5) angelegter e- lektrischer Gleichspannung mittels der durch die Barriere-Entladung zwischen Anode (4) und Kathode (5) vorhandenen Ladungsträger ein Lichtbogen (11) gezündet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Barriere-Entladung mit einer e- lektrischen Spannung von mindestens 1 kV gezündet und zumindest bis zur Zündung des Lichtbogens (11) aufrechterhalten wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Frequenz für die Barriere-Entladung von mindestens 5 kHz eingehalten wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass für die Zündung ein inertes Gas eingesetzt wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtbogen (11) bei einer elektrischen Gleichspannung von mindestens 100 V gezündet und aufrechterhalten wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtbogen (11) über eine Länge von mindestens 150 mm zwischen Anode (4) und Kathode (5) ausgebildet wird.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Barriere- Entladung über eine Länge von mindestens 80%, des Abstandes zwischen Anode (4) und Kathode (5) gezündet und zumindest bis zur Zündung des Lichtbogens (11) aufrechterhalten wird.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dass die Gaszufuhr mit einem Volumenstrom von mindestens 10 sl/min durchgeführt wird.
9. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Elektroden (1, 2) parallel zueinander und zu einer Längsachse zwischen einer Anode (4) und einer Kathode (5) angeordnet, an einen Hochspannungsgenerator (3) angeschlossen und mit einer elektrischen hochfrequenten Wechselspannung betrieben sind, so dass mit einem in den Spalt zwischen den Elektroden (1, 2) und der Anode (4) und Kathode (5) zuführbares Gas angeregt und eine Barriereentladung ausgebildet wird.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (1, 2) mit einer dielektrischen Beschichtung (8) versehen sind.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (1, 2) stab- oder plattenförmig ausgebildet sind.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (1, 2) eine Länge aufweisen, die mindestens 75 % des Abstandes zwischen Anode (4) und Kathode (5) beträgt.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Spalt zwischen den Elektroden (1, 2) eine Austrittsdüse für Plasma (10) bildet.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2994046A1 (de) * 2013-02-15 2016-03-16 Stichting VU-VUmc System und verfahren zur atmungsüberwachung, maske, atmungskreislauf sowie beatmungskreislauffilter zur verwendung in solch einem system und verfahren sowie computerprogramm
WO2016053936A2 (en) 2014-09-29 2016-04-07 The University Of Florida Research Foundation, Inc. Electro-fluid transducers
CN111886934A (zh) * 2018-03-20 2020-11-03 株式会社富士 等离子体装置、等离子体生成方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE806181A (fr) * 1973-10-17 1974-02-15 Soudure Autogene Elect Procede d'amorcage d'une colonne de plasma a l'interieur d'une enceinte et canne-electrode pour l'execution dudit procede
DD125890A1 (de) * 1976-03-02 1977-06-01
DD299812A7 (de) * 1989-03-27 1992-05-07 Ilmenauer Glaswerke Gmbh,De Verfahren zur lagestabilisierung von lichtboegen in plasmaschmelzanordnungen
DE3914923A1 (de) 1989-05-06 1990-11-08 Heraeus Holding Entladungsvorrichtung
DE4117005C2 (de) * 1990-06-11 2003-07-24 Tokyo Electron Ltd Verfahren und Anordnung zum Einwirken mit einem Lichtstrahl in einen Entladungsraum
US5319282A (en) * 1991-12-30 1994-06-07 Winsor Mark D Planar fluorescent and electroluminescent lamp having one or more chambers
DE4302465C1 (de) * 1993-01-29 1994-03-10 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung zum Erzeugen einer dielektrisch behinderten Entladung
DE4440130A1 (de) * 1994-11-10 1996-05-15 Blz Bayrisches Laserzentrum Ge Anordnung und Verfahren zum Zünden bzw. Löschen von Gasentladungen, insbesondere bei Gaslasern
DE19517515A1 (de) * 1995-05-12 1996-11-14 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Entladungslampe und Verfahren zum Betreiben derartiger Entladungslampen
DE59700524D1 (de) 1996-12-23 1999-11-11 Sulzer Metco Ag Wohlen Indirektes Plasmatron
DE19705884A1 (de) * 1997-02-15 1998-08-20 Leybold Ag Plasma-Zündvorrichtung
DE19816377C2 (de) * 1998-04-11 2001-03-08 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Anregung von Entladungen zwischen wenigstens zwei Hauptelektroden sowie Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens
DE10042629C2 (de) * 2000-08-30 2003-08-28 Angaris Gmbh Zündvorrichtung für einen Lichtbogenverdampfer
DE10051508C2 (de) * 2000-10-18 2003-08-07 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Einrichtung zur Reduzierung der Zündspannung von Leistungspulsen gepulst betriebener Plasmen
DE10140298B4 (de) * 2001-08-16 2005-02-24 Mtu Aero Engines Gmbh Verfahren zum Plasmaschweißen
JP2003173887A (ja) * 2001-12-06 2003-06-20 Harison Toshiba Lighting Corp 誘電体バリア放電ランプ点灯装置及び点灯方法
DE10224991A1 (de) * 2002-06-05 2004-01-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Einrichtung zur Reduzierung der Zündspannung von Plasmen
US6831421B1 (en) * 2003-03-24 2004-12-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Shunt-induced high frequency excitation of dielectric barrier discharges
DE102004010261A1 (de) * 2004-03-03 2005-09-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zum Zünden einer Hohlkatodenbogenentladung
DE102004015217B4 (de) 2004-03-23 2006-04-13 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Ausbildung dünner Schichten aus Siliziumnitrid auf Substratoberflächen
BG66022B1 (bg) * 2005-06-14 2010-10-29 ДИНЕВ Петър Метод за плазмено-химична повърхнинна модификация
CN101331805A (zh) * 2006-02-13 2008-12-24 松下电器产业株式会社 介质阻挡放电灯设备和用于液晶显示器的背光

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2009124542A2 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009124542A2 (de) 2009-10-15
CN101983542A (zh) 2011-03-02
DE102008018589A1 (de) 2009-11-05
US20110108539A1 (en) 2011-05-12
WO2009124542A3 (de) 2009-12-03

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