EP2153070A1 - Turbomolecular pump - Google Patents

Turbomolecular pump

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Publication number
EP2153070A1
EP2153070A1 EP08760568A EP08760568A EP2153070A1 EP 2153070 A1 EP2153070 A1 EP 2153070A1 EP 08760568 A EP08760568 A EP 08760568A EP 08760568 A EP08760568 A EP 08760568A EP 2153070 A1 EP2153070 A1 EP 2153070A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
opening
turbomolecular pump
vacuum
cutouts
pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP08760568A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Robert Schneiders
Markus Henry
Gerhard Wilhelm Walter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum GmbH filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Publication of EP2153070A1 publication Critical patent/EP2153070A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning

Definitions

  • the invention relates to a turbomolecular pump having a suction opening distal to an input rotor stage.
  • the object of the present invention is to provide a simple turbomolecular pump which can provide a plurality of pressure levels.
  • the turbomolecular pump according to the invention has at least two separate opening cut-outs in the plane of the generally circular suction opening.
  • the relatively large suction opening which usually has an annular shape and immediately adjacent to the input rotor stage is divided into two or more opening cutouts.
  • the division of the suction in two or more opening cutouts is technically associated with relatively little effort. Since all opening cutouts are located in the plane of the suction opening, good guide values and thus low pumping losses can be achieved despite the smaller opening cutout areas compared with the suction opening area.
  • the opening cutouts are separated from one another by conduit walls.
  • the cable walls form lines to each of which a separate vacuum chamber can be connected.
  • the cable walls completely enclose the respective opening cutout.
  • the opening cutouts are not equal to each other.
  • different pressure levels and pumping speeds can be achieved with the opening cutouts. This is required, for example, in mass spectrometers that require two different vacuum pressures.
  • the opening cutouts may be circular, circular, concentric, non-concentric and / or sector-shaped.
  • the turbomolecular pump is designed as a caseless cartridge, which is plugged into a housing of the vacuum chambers having device.
  • the device may be, for example, a mass spectrometer. Since the turbomolecular pump is designed as a caseless cartridge whose housing is formed by the device housing or the inner structures of the device housing, a separate turbomolecular pump housing is saved. As a result, not only space and weight are saved, but in principle, the flow resistance at the inlet and the outlet of the turbomolecular pump are reduced.
  • Hg. 1 is a schematic representation of a vacuum arrangement with three
  • FIG. 2 shows a cross section II-II in the region of the intake opening of
  • Fig. 3 is a cross section of the suction port of a second
  • FIG. 4 shows a cross section of the intake opening of a third embodiment of a turbomolecular pump
  • FIG. 5 shows a cross section of the intake opening of a fourth embodiment of a turbomolecular pump
  • Fig. 6 is a schematic representation of a second embodiment of a
  • Vacuum arrangement with a mass spectrometer device and an integrated caseless turbomolecular pump cartridge Vacuum arrangement with a mass spectrometer device and an integrated caseless turbomolecular pump cartridge.
  • FIG. 1 shows a vacuum arrangement 10 which has a turbomolecular pump 12, three vacuum chambers 21, 22, 23 and vacuum lines 31, 32, 33 connecting them to the turbomolecular pump 12.
  • the turbomolecular pump 12 is a multi-stage turbopump having a plurality of rotor stages on a rotor shaft 14, of which the rotor stage closest to a circular intake opening 16 is an input rotor stage 18.
  • the suction port 16 is located distal to the input rotor stage 18 and immediately adjoins it, i. is formed by the pump housing.
  • the circular suction opening 16 is divided into three opening cutouts 41, 42, 43 which are formed by line walls 24, 25, 26 and are separated from one another, as shown in FIG. 2.
  • the rotor blades of the input rotor stage 18 were shown in FIGS. 2-5 omitted for simplicity. ⁇
  • the lines 31, 32, 33 formed by the conduit walls 24, 25, 26 are circular in cross-section. Two of the three lines 32, 33 are not arranged concentrically and have an inner diameter that is at most equal to or less than half the inner diameter of the entire intake opening 16.
  • the first opening cutout 41 is formed from the entire suction opening area minus the other two opening cutout areas.
  • a second embodiment of a turbomolecular pump 12 is shown with a suction opening, which has two opening cut-outs 51,52, which are formed by two concentric circular cross-section walls 53,54.
  • FIG. 4 shows a further alternative embodiment of a turbomolecular pump 12, in which two segmental opening cutouts 61, 62 together form the opening of a first vacuum line, while the remaining area forms an opening cutout 63 of a second vacuum line 64.
  • FIG. 5 shows a further exemplary embodiment of the embodiment of the suction opening or of the opening cutouts of a turbomolecular pump.
  • the opening cutouts 71,72,73 formed as the same size circle sectors.
  • FIG. 6 shows a second embodiment of a vacuum arrangement 80.
  • This vacuum arrangement 80 has a device 92 designed as a mass spectrometer, into the housing 86 of which a cartridge 13 forming a turbomolecular pump 12 'is inserted.
  • a backing pump 90 is connected at a pre-vacuum port 88 of the turbomolecular pump 12 'and the cartridge 13, a backing pump 90 is connected.
  • the device housing 86 has a total of four vacuum chambers 20,21,22,23.
  • the pressure-highest prevacuum vacuum chamber 20 with a pressure of about 2 mbar is connected with its pre-vacuum outlet 94 to a second separate backing pump 91.
  • the Device 92 is, for example, a quadrupole mass spectrometer, but may be another type of mass spectrometer.
  • the present apparatus 92 has three high vacuum vacuum chambers 21,22,23, which are each connected individually to an intermediate inlet 83 of the turbomolecular pump or to each ⁇ réellesausschn ⁇ tt 81.82 of the turbomolecular pump inlet port 16 and pressure levels of 10 "2 to 10 " 7 mbar.
  • the path of the ion current through the vacuum chambers 20,21,22,23 runs here from left to right through an ion current housing inlet 94 and the vacuum chambers 20,21,22,23 and is indicated by the dashed arrows.
  • the turbomolecular pump 12 ' is designed as a cartridge 13, i. it does not have its own housing.
  • the turbomolecular pump cartridge 13 is used without housing in the housing 86 of the device 92.
  • the pump stator 19 is thus held directly by the device housing 86 or inner structures of the device housing 86.
  • the flow resistances of the various inlets of the turbomolecular pump 12 ' i.e., the flow rate, decrease. the intermediate inlet 83 and the inlet forming opening cutouts 81,82.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

The invention relates to a turbomolecular pump (12) with a circular suction opening (16) distal from an inlet rotor stage (18). The suction opening (16) has at least two opening sections (41,42,43) separated from each other.

Description

Turbomolekularpumpe Turbo molecular pump
Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularpumpe mit einer Ansaugöffnung distal einer Eingangsrotorstufe.The invention relates to a turbomolecular pump having a suction opening distal to an input rotor stage.
In der Vakuumtechnik sind eine Reihe von Anwendungen bekannt, bei denen zwei oder mehr Vakuumkammem mit verschiedenen Druckniveaus und/oder verschiedenen Pumpleistungen versorgt werden müssen. Bei Vakuumanordnungen nach dem Stand der Technik wird dies dadurch realisiert, dass jede einzelne Vakuumkammer mit einer separaten Turbomolekuiarpumpe versorgt wird. Alternativ sind sogenannte Multi-Inlet-Turbomolekularpumpen bekannt, die außer der Ansaugöffnung distal der Eingangsrotorstufe Zwischeneinlässe aufweisen, die zwischen einlassferneren Rotorstufen angeordnet sind.In vacuum technology, a number of applications are known in which two or more vacuum chambers have to be supplied with different pressure levels and / or different pump powers. In the case of vacuum arrangements according to the prior art, this is realized by supplying each individual vacuum chamber with a separate turbomolecular pump. Alternatively, so-called multi-inlet turbomolecular pumps are known which, in addition to the suction opening distal to the input rotor stage Have intermediate inlets, which are arranged between einlassferneren rotor stages.
Diese bekannten Lösungen sind technisch relativ aufwändig, erfordern eine große Baugröße und zeichnen sich durch Saugvermögensverluste wegen relativ schlechter Leitwerte aus.These known solutions are technically relatively complex, require a large size and are characterized by Saugvermögensverluste because of relatively poor conductance.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine einfach aufgebaute Turbomolekularpumpe zu schaffen, die mehrere Druckniveaus zur Verfügung stellen kann.The object of the present invention is to provide a simple turbomolecular pump which can provide a plurality of pressure levels.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit den Merkmalen des Patentanspruches 1.This object is achieved by the features of claim 1.
Die erfindungsgemäße Turbomolekularpumpe weist in der Ebene der in der Regel kreisförmigen Ansaugöffnung mindestens zwei voneinander getrennte Öffnungsausschnitte auf. Die relativ großflächige Ansaugöffnung, die in der Regel eine kreisringförmige Form hat und unmittelbar an die Eingangsrotorstufe angrenzt, ist in zwei oder mehr Öffnungsausschnitte aufgeteilt. Durch Variation der Größe der Öffnungsausschnitte und der radialen Position der Öffnungsausschnitte kann das gewünschte Druckniveau und Pumpvermögen entsprechend der jeweils daran angeschlossenen Vakuumkammer eingestellt werden. Die Aufteilung der Ansaugöffnung in zwei oder mehr Öffnungsausschnitte ist technisch mit relativ wenig Aufwand verbunden. Da alle Öffnungsausschnitte in der Ebene der Ansaugöffnung liegen, sind trotz der gegenüber der Ansaugöffnungs-Fläche verkleinerten Öffnungsausschnitts-Flächen gute Leitwerte und damit geringe Saugvermögensverluste realisierbar. Die Aufteilung der Ansaugöffnung in mehrere Öffnungsausschnitte stellt ferner eine kompakte Lösung dar. Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung sind die Öffnungsausschnitte durch Leitungswände voneinander getrennt. Die Leitungswände bilden Leitungen, an die jeweils eine separate Vakuumkammer angeschlossen werden kann. Die Leitungswände umschließen den jeweiligen Öffnungsausschnitt vollständig.The turbomolecular pump according to the invention has at least two separate opening cut-outs in the plane of the generally circular suction opening. The relatively large suction opening, which usually has an annular shape and immediately adjacent to the input rotor stage is divided into two or more opening cutouts. By varying the size of the opening cutouts and the radial position of the opening cutouts, the desired pressure level and pumping capacity can be adjusted in accordance with the particular vacuum chamber connected thereto. The division of the suction in two or more opening cutouts is technically associated with relatively little effort. Since all opening cutouts are located in the plane of the suction opening, good guide values and thus low pumping losses can be achieved despite the smaller opening cutout areas compared with the suction opening area. The division of the suction in several opening cutouts also represents a compact solution. According to a preferred embodiment, the opening cutouts are separated from one another by conduit walls. The cable walls form lines to each of which a separate vacuum chamber can be connected. The cable walls completely enclose the respective opening cutout.
Vorzugsweise sind die Öffnungsausschnitte ungleich zueinander. Hierdurch lassen sich mit den Öffnungsausschnitten verschiedene Druckniveaus und Saugvermögen realisieren. Dies ist beispielsweise bei Massenspektrometern erforderlich, die zwei verschiedene Vakuumdrücke benötigen.Preferably, the opening cutouts are not equal to each other. As a result, different pressure levels and pumping speeds can be achieved with the opening cutouts. This is required, for example, in mass spectrometers that require two different vacuum pressures.
Die Öffnungsausschnitte können kreisflächenförmig, kreisringförmig, konzentrisch, nicht konzentrisch und/oder sektorförmig ausgebildet sein.The opening cutouts may be circular, circular, concentric, non-concentric and / or sector-shaped.
Vorzugsweise ist die Turbomolekularpumpe als gehäuselose Kartusche ausgebildet, die in ein Gehäuse eines die Vakuumkammern aufweisenden Gerätes eingesteckt ist. Das Gerät kann beispielsweise ein Massenspektrometer sein. Da die Turbomolekularpumpe als gehäuselose Kartusche ausgebildet ist, deren Gehäuse von dem Geräte-Gehäuse bzw. den inneren Strukturen des Geräte-Gehäuses gebildet wird, wird ein separates Turbomolekularpumpen- Gehäuse eingespart. Hierdurch wird nicht nur Bauraum und Gewicht eingespart, sondern werden grundsätzlich auch die Strömungswiderstände an den Einlassen und dem Auslass der Turbomolekularpumpe verringert.Preferably, the turbomolecular pump is designed as a caseless cartridge, which is plugged into a housing of the vacuum chambers having device. The device may be, for example, a mass spectrometer. Since the turbomolecular pump is designed as a caseless cartridge whose housing is formed by the device housing or the inner structures of the device housing, a separate turbomolecular pump housing is saved. As a result, not only space and weight are saved, but in principle, the flow resistance at the inlet and the outlet of the turbomolecular pump are reduced.
Im Folgenden werden anhand der Zeichnungen mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert.In the following several embodiments of the invention will be explained in more detail with reference to the drawings.
Es zeigen:Show it:
Hg. 1 eine schematische Darstellung einer Vakuumanordnung mit dreiHg. 1 is a schematic representation of a vacuum arrangement with three
Vakuumkammern und einer Turbomolekularpumpe, Fig. 2 einen Querschnitt II-II im Bereich der Ansaugöffnung derVacuum chambers and a turbomolecular pump, Fig. 2 shows a cross section II-II in the region of the intake opening of
Turbomolekularpumpe der Hg. 1,Turbomolecular pump of Hg. 1,
Fig. 3 einen Querschnitt der Ansaugöffnung einer zweitenFig. 3 is a cross section of the suction port of a second
Ausführungsform einer Turbomolekularpumpe,Embodiment of a turbomolecular pump,
Fig. 4 einen Querschnitt der Ansaugöffnung einer dritten Ausführungsform einer Turbomolekularpumpe,4 shows a cross section of the intake opening of a third embodiment of a turbomolecular pump,
Fig. 5 einen Querschnitt der Ansaugöffnung einer vierten Ausführungsform einer Turbomolekularpumpe, und5 shows a cross section of the intake opening of a fourth embodiment of a turbomolecular pump, and
Fig. 6 eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführung einerFig. 6 is a schematic representation of a second embodiment of a
Vakuumanordnung mit einem Massenspektrometer-Gerät und einer integrierten gehäuselosen Turbomolekularpumpen-Kartusche.Vacuum arrangement with a mass spectrometer device and an integrated caseless turbomolecular pump cartridge.
In der Fig. 1 ist eine Vakuumanordnung 10 dargestellt, die eine Turbomolekularpumpe 12, drei Vakuumkammern 21,22,23 und diese mit der Turbomolekularpumpe 12 verbindende Vakuumleitungen 31,32,33 aufweist.FIG. 1 shows a vacuum arrangement 10 which has a turbomolecular pump 12, three vacuum chambers 21, 22, 23 and vacuum lines 31, 32, 33 connecting them to the turbomolecular pump 12.
Die Turbomolekularpumpe 12 ist eine mehrstufige Turbopumpe, die auf einer Rotorwelle 14 mehrere Rotorstufen aufweist, von denen die einer kreisförmigen Ansaugöffnung 16 nächste Rotorstufe eine Eingangsrotorstufe 18 ist. Die Ansaugöffnung 16 ist distal der Eingangsrotorstufe 18 angeordnet und grenzt unmittelbar an diese an, d.h. wird von dem Pumpengehäuse gebildet.The turbomolecular pump 12 is a multi-stage turbopump having a plurality of rotor stages on a rotor shaft 14, of which the rotor stage closest to a circular intake opening 16 is an input rotor stage 18. The suction port 16 is located distal to the input rotor stage 18 and immediately adjoins it, i. is formed by the pump housing.
Die kreisflächenförmige Ansaugöffnung 16 ist in drei Öffnungsausschnitte 41,42,43 aufgeteilt, die von Leitungswänden 24,25,26 gebildet und voneinander separiert sind, wie in Fig. 2 dargestellt. Die Rotorblätter der Eingangsrotorstufe 18 wurden in den Fign. 2-5 der Einfachheit halber weggelassen. ΩThe circular suction opening 16 is divided into three opening cutouts 41, 42, 43 which are formed by line walls 24, 25, 26 and are separated from one another, as shown in FIG. 2. The rotor blades of the input rotor stage 18 were shown in FIGS. 2-5 omitted for simplicity. Ω
Die von den Leitungswänden 24,25,26 gebildeten Leitungen 31,32,33 sind im Querschnitt kreisförmig ausgebildet. Zwei der drei Leitungen 32,33 sind nicht konzentrisch angeordnet und weisen einen Innendurchmesser auf, der maximal gleich bzw. kleiner als der halbe Innendurchmesser der gesamten Ansaugöffnung 16 ist. Der erste Öffnungsausschnitt 41 wird von der gesamten Ansaugöffnungs- Fläche abzüglich der beiden anderen Öffnungsausschnitt-Flächen gebildet.The lines 31, 32, 33 formed by the conduit walls 24, 25, 26 are circular in cross-section. Two of the three lines 32, 33 are not arranged concentrically and have an inner diameter that is at most equal to or less than half the inner diameter of the entire intake opening 16. The first opening cutout 41 is formed from the entire suction opening area minus the other two opening cutout areas.
In Fig. 3 ist eine zweite Ausführungsform einer Turbomolekularpumpe 12 mit einer Ansaugöffnung dargestellt, die zwei Öffnungsausschnitte 51,52 aufweist, die durch zwei konzentrische im Querschnitt kreisförmige Leitungswände 53,54 gebildet werden.In Fig. 3, a second embodiment of a turbomolecular pump 12 is shown with a suction opening, which has two opening cut-outs 51,52, which are formed by two concentric circular cross-section walls 53,54.
In der Fig. 4 ist eine weitere alternative Ausführungsform einer Turbomolekularpumpe 12 dargestellt, bei der zwei segmentförmige Öffnungsausschnitte 61,62 gemeinsam die Öffnung einer ersten Vakuumleitung bilden, während der verbleibende Bereich einen Öffnungsausschnitt 63 einer zweiten Vakuumleitung 64 bildet.FIG. 4 shows a further alternative embodiment of a turbomolecular pump 12, in which two segmental opening cutouts 61, 62 together form the opening of a first vacuum line, while the remaining area forms an opening cutout 63 of a second vacuum line 64.
In der Fig. 5 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der Ausgestaltung der Ansaugöffnung bzw. der Öffnungsausschnitte einer Turbomolekularpumpe dargestellt. Hier sind die Öffnungsausschnitte 71,72,73 als gleich große Kreissektoren ausgebildet.FIG. 5 shows a further exemplary embodiment of the embodiment of the suction opening or of the opening cutouts of a turbomolecular pump. Here are the opening cutouts 71,72,73 formed as the same size circle sectors.
In der Fig. 6 ist eine zweite Ausführungsform einer Vakuumanordnung 80 dargestellt. Diese Vakuumanordnung 80 weist ein als Massenspektrometer ausgebildetes Gerät 92 auf, in dessen Gehäuse 86 eine eine Turbomolekularpumpe 12' bildende Kartusche 13 eingesteckt ist. An einem Vorvakuum-Anschluss 88 der Turbomolekularpumpe 12' bzw. der Kartusche 13 ist eine Vorvakuumpumpe 90 angeschlossen. Das Geräte-Gehäuse 86 weist insgesamt vier Vakuumkammern 20,21,22,23 auf. Die druckhöchste Vorvakuum-Vakuumkammer 20 mit einem Druck von ca. 2 mbar ist mit ihrem Vorvakuum-Auslass 94 an eine zweite separate Vorvakuumpumpe 91 angeschlossen.FIG. 6 shows a second embodiment of a vacuum arrangement 80. This vacuum arrangement 80 has a device 92 designed as a mass spectrometer, into the housing 86 of which a cartridge 13 forming a turbomolecular pump 12 'is inserted. At a pre-vacuum port 88 of the turbomolecular pump 12 'and the cartridge 13, a backing pump 90 is connected. The device housing 86 has a total of four vacuum chambers 20,21,22,23. The pressure-highest prevacuum vacuum chamber 20 with a pressure of about 2 mbar is connected with its pre-vacuum outlet 94 to a second separate backing pump 91.
Das Gerät 92 ist beispielsweise ein Quadrulpol-Massenspektrometer, kann jedoch auch ein anderer Massenspektrometer-Typ sein. Das vorliegende Gerät 92 weist drei Hochvakuum-Vakuumkammern 21,22,23 auf, die jeweils einzeln an einen Zwischeneinlass 83 der Turbomolekularpumpe bzw. an jeweils einen Öffnungsausschnϊtt 81,82 der Turbomolekularpumpen-Einlassöffnung 16 angeschlossen sind und Druckniveaus von 10"2 bis 10"7 mbar aufweisen. Der Weg des Ionenstroms durch die Vakuumkammern 20,21,22,23 verläuft vorliegend von links nach rechts durch einen Ionenstrom-Gehäuse-Einlass 94 und die Vakuumkammern 20,21,22,23 und ist durch die gestrichelten Pfeile angedeutet.Device 92 is, for example, a quadrupole mass spectrometer, but may be another type of mass spectrometer. The present apparatus 92 has three high vacuum vacuum chambers 21,22,23, which are each connected individually to an intermediate inlet 83 of the turbomolecular pump or to each Öffnungsausschnϊtt 81.82 of the turbomolecular pump inlet port 16 and pressure levels of 10 "2 to 10 " 7 mbar. The path of the ion current through the vacuum chambers 20,21,22,23 runs here from left to right through an ion current housing inlet 94 and the vacuum chambers 20,21,22,23 and is indicated by the dashed arrows.
Die Turbomolekularpumpe 12' ist als Kartusche 13 ausgebildet, d.h. sie weist kein eigenes Gehäuse auf. Die Turbomolekularpumpen-Kartusche 13 wird gehäuselos in das Gehäuse 86 des Gerätes 92 eingesetzt. Der Pumpenstator 19 wird also direkt von dem Geräte-Gehäuse 86 bzw. inneren Strukturen des Geräte-Gehäuses 86 gehalten. Hierdurch wird einerseits eine materialsparende Konstruktion realisiert. Ferner verringern sich die Strömungswiderstände der verschiedenen Einlasse der Turbomolekularpumpe 12', d.h. des Zwischeneinlasses 83 und der Einlasse bildenden Öffnungsausschnitte 81,82. The turbomolecular pump 12 'is designed as a cartridge 13, i. it does not have its own housing. The turbomolecular pump cartridge 13 is used without housing in the housing 86 of the device 92. The pump stator 19 is thus held directly by the device housing 86 or inner structures of the device housing 86. As a result, on the one hand a material-saving construction is realized. Further, the flow resistances of the various inlets of the turbomolecular pump 12 ', i.e., the flow rate, decrease. the intermediate inlet 83 and the inlet forming opening cutouts 81,82.

Claims

Patentansprüche claims
1. Turbomolekularpumpe (12) mit einer Ansaugöffnung (16) distal einer Eingangsrotorstufe (18),A turbomolecular pump (12) having a suction port (16) distal to an input rotor stage (18),
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,characterized ,
dass die Ansaugöffnung (16) mindestens zwei voneinander getrennte Öffnungsausschnitte (41,42,43) aufweist.the suction opening (16) has at least two mutually separate opening cutouts (41, 42, 43).
2. Turbomolekularpumpe (12) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungsausschnitte (41,42,43) durch Leitungswände (24,25,26) voneinander getrennt sind.2. turbomolecular pump (12) according to claim 1, characterized in that the opening cutouts (41,42,43) by conduit walls (24,25,26) are separated from each other.
3. Turbomolekularpumpe (12) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungsausschnitte (41,42,43) ungleich zueinander geformt sind.3. turbomolecular pump (12) according to claim 1 or 2, characterized in that the opening cutouts (41,42,43) are shaped unequal to each other.
4. Turbomolekularpumpe (12) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Öffnungsausschnitt (51) kreisringförmig geformt ist.4. turbomolecular pump (12) according to one of claims 1 to 3, characterized in that at least one opening cutout (51) is formed annularly.
5. Turbomolekularpumpe (12) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einer der Öffnungsausschnitte (51,52) kreisförmig und konzentrisch ist.5. turbomolecular pump (12) according to one of claims 1 to 4, characterized in that at least one of the opening cutouts (51,52) is circular and concentric.
6. Turbomolekularpumpe (12) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Öffnungsausschnitt (71,72,73) sektorförmig geformt ist. 6. turbomolecular pump (12) according to one of claims 1 to 3, characterized in that at least one opening cutout (71,72,73) is shaped sector-shaped.
7. Vakuumanordnung (10) mit mindestens zwei Vakuumkammern (21,22,23) und einer Turbomolekularpumpe (12) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei je ein Öffnungsausschnitt (41,42,43) durch jeweils eine separate Vakuumleitung (31,32,33) mit je einer der Vakuumkammern (21,22,23) verbunden ist.7. Vacuum arrangement (10) with at least two vacuum chambers (21, 22, 23) and a turbomolecular pump (12) according to one of claims 1 to 6, wherein one opening opening (41, 42, 43) is in each case provided by a separate vacuum line (31, 32, 33) is connected to one of the vacuum chambers (21, 22, 23).
8. Vakuumanordnung (80) nach Anspruch 7, wobei die Turbomolekularpumpe (12') als gehäuselose Kartusche (13) ausgebildet ist, die in ein Gehäuse (86) eines die Vakuumkammern (20,21,22,23) aufweisenden Gerätes (80) eingesteckt ist.8. Vacuum arrangement (80) according to claim 7, wherein the turbomolecular pump (12 ') is designed as a caseless cartridge (13) which is in a housing (86) of a vacuum chambers (20,21,22,23) having device (80). is plugged in.
9. Vakuumanordnung (80) nach Anspruch 8, wobei das Gerät (92) ein Massenspektrometer ist. The vacuum assembly (80) of claim 8, wherein the device (92) is a mass spectrometer.
EP08760568A 2007-06-11 2008-06-05 Turbomolecular pump Withdrawn EP2153070A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007027354A DE102007027354A1 (en) 2007-06-11 2007-06-11 Turbo molecular pump
PCT/EP2008/056991 WO2008151979A1 (en) 2007-06-11 2008-06-05 Turbomolecular pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP2153070A1 true EP2153070A1 (en) 2010-02-17

Family

ID=39691048

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP08760568A Withdrawn EP2153070A1 (en) 2007-06-11 2008-06-05 Turbomolecular pump

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20100187415A1 (en)
EP (1) EP2153070A1 (en)
JP (1) JP2010529359A (en)
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