EP2149070A1 - Durchstimmbares akusto-optisches filterelement - Google Patents

Durchstimmbares akusto-optisches filterelement

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EP2149070A1
EP2149070A1 EP08749935A EP08749935A EP2149070A1 EP 2149070 A1 EP2149070 A1 EP 2149070A1 EP 08749935 A EP08749935 A EP 08749935A EP 08749935 A EP08749935 A EP 08749935A EP 2149070 A1 EP2149070 A1 EP 2149070A1
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EP
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acousto
filter element
optic
optical
light beam
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Hilmar Gugel
Volker Seyfried
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Leica Microsystems CMS GmbH
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    • G02F2203/24—Function characteristic beam steering

Definitions

  • the invention relates to an acousto-optic filter element according to the preamble of claim 1. Furthermore, the invention relates to an adjustable light source, which comprises an acousto-optical filter element according to the invention, and a microscope for recording image information of a sample, which is an adjustable Light source includes. Furthermore, the invention relates to an acousto-optical beam splitter comprising an acousto-optical filter element according to the invention.
  • Scanning microscopes are known in various variants, which differ, for example, in the nature and production of the microscope beam. For example, electromagnetic radiation in the optical, infrared or ultraviolet region of the spectrum can be used. Further differences between the different types of scanning microscopes arise in the interaction of the or the microscope beam with the sample to be examined. In the following description, reference is essentially made to fluorescence microscopes in which the microscope beam or excitation beam excites a sample fluorescence which is detected. -? -
  • measuring principles can and can be used for image acquisition.
  • measuring principles for example measuring principles which are based on laser spectroscopic methods, measuring principles which are based on particle emission, or other measuring principles.
  • the following invention is fundamentally applicable to all such methods and constructions as well as to other microscopes which do not operate according to the scanning principle.
  • excitation light having one or more predetermined wavelengths.
  • one or more excitation light beams are required, which generally have to have prescribed spectral properties.
  • the excitation light is provided by one or more excitation lasers, but as a rule only a limited wavelength range or a limited selection of spectral lines is available. This limits the use of the microscopes to certain types of specimens, certain microscopy techniques, and / or to certain dyes for staining the specimen. This limited range of applications is unsatisfactory in many cases.
  • microscopes which can utilize coherent white light sources as the light source. Similar to conventional microscopes with non-coherent light sources, which generate incoherent light with a broad wavelength distribution, from which the required spectral ranges are then selected by means of wavelength-selective elements, these microscopes also use broadband, coherent light sources. Such light sources, which have a broad wavelength spectrum, are often referred to as "white light sources”.
  • light sources can be realized by coupling laser radiation whose light has a broad wavelength spectrum.
  • white-light lasers are often referred to as supercontinuum white-light lasers.
  • broadband white-light lasers are listed in DE 101 15 488 A1, in DE 101 15 509 A1 or in DE 101 15 488 A1. The invention described below builds on these white light lasers, but can also be used for the use of other coherent, broadband light sources.
  • a specific wavelength or a specific spectral range can then be selected with the aid of wavelength-selective elements.
  • Various such wavelength-selective elements have long been known, such as prisms or gratings.
  • wavelength-selective elements which are based on the acousto-optical effect (acousto-optical elements).
  • acousto-optical elements usually have a so-called acousto-optical crystal (for example, a tellurium dioxide crystal, TeÜ 2 ), which is cut with a corresponding crystal direction.
  • acoustic signal transducers which are also referred to as “transducers”, are arranged on this acousto-optic crystal, such transducer usually having a piezoelectric material and two or more electrodes contacting this material typically ranging between 30 MHz and 800 MHz, the piezoelectric material is caused to vibrate to form an acoustic wave that traverses the crystal, and most of the time, this acoustic wave is absorbed or passed through an optical interaction region on the opposite side of the crystal
  • Acousto-optical crystals are characterized by the fact that the resulting sound wave changes the optical properties of the crystal, whereby the sound induces an optical lattice or a comparable optically active structure (hologram) tendes light can finally undergo diffraction at this optical grating and be directed in different diffraction orders or diffraction directions.
  • acousto-optic modulators and components that (for example, depending on the radiated radio frequency) selectively on individual wavelengths act (acousto-optical filters, English acusto-optic tunable filter, AOTF).
  • acousto-optical filters English acusto-optic tunable filter, AOTF.
  • the acousto-optic elements have birefringent crystals, such as the mentioned tellurium dioxide, in which case, inter alia, the position of the crystal axis relative to the plane of incidence of the light and its polarization determine the optical properties of the acousto-optic element.
  • one or more wavelength ranges can therefore be selected selectively from the wavelength spectrum of the white light source.
  • An incident light beam passing through the phase grating in the crystal is then split into its diffraction orders.
  • the frequency fo of the acoustic wave By varying the frequency fo of the acoustic wave, the frequency of the phase grating in the acousto-optic crystal and thus also the wavelength ⁇ 0 of the diffracted light changes.
  • AOTFs can be realized in such a way that the center of gravity wavelengths ⁇ 0 of the selected wavelength ranges leave the acousto-optic crystal colinear. However, other wavelengths within the selected wavelength ranges have a different emission direction.
  • This change in the emission direction or the spatial separation between the desired wavelength (also referred to below as the target wavelength) ⁇ o and the remaining light irradiated into the acousto-optic crystal is used to separate the light. This is also described for example in the already cited DE 101 15 488 A1, which shows a light source with a white light laser (with a fiber) and a downstream AOTF.
  • a difficulty of known acousto-optical filters is that the assignment of a coupled radio frequency of an acoustic wave to a certain target wavelength in practice is not unique.
  • the shape of the transfer function of the AOTF ie the frequencies or wavelengths of the target light beam which is transmitted through the AOTF at a fixed radio frequency, does not represent an idealized ⁇ function, but corresponds approximately to the following function:
  • wavelength-selective elements which are intended to separate the actual excitation light from the detection light are often so strongly wavelength-selective that they separate only the actual detection light (for example fluorescence light of the sample) from a specific excitation wavelength ⁇ o, but no sufficient separation with excitation light outside the wavelength ⁇ 0 guarantee.
  • the actual fluorescence signals in the case of fluorescence spectroscopy can be orders of magnitude weaker than the excitation light, so that the actual signal is greatly impaired by the excitation light reaching in addition to the detector.
  • An AOBS also has a transfer function in which the separating effect is characterized by a sharp maximum in the transfer function. As a rule, however, this main maximum is considerably wider than the maximum of the transfer function of an AOTF, so that one or more secondary maxima of the transfer function of the AOTF fall into the maximum of the transfer function of the AOBS. This means that the AOBS spectral components of the white light source, which are in the range of these secondary maxima of the transfer function of the AOTFs, can be reached to a high degree to the detector of the microscope.
  • the acousto-optic filter element should be suitable for efficiently suppressing secondary maxima in the transfer function of its permeability.
  • Such a transformation from the frequency domain into the spatial domain can be effected, for example, by corresponding focusing optical elements, for example a lens and / or a curved mirror. Even more complex arrangements which cause such imaging effects can be chosen. For example, this mapping is from the frequency domain into the spatial domain in a focal plane of the lens or curved mirror.
  • an acousto-optic filter element which has an acousto-optical crystal of the type described above, and an acoustic signal generator for generating acoustic signals in the acousto-optic crystal.
  • the acousto-optic crystal should be set up in this way (for example, by means of corresponding crystal sections) in order to selectively irradiate light of a target wavelength from an acousto-optic crystal in accordance with a high frequency applied to the acoustic signal generator. Spatially divert the incoming input light beam and thus to produce or output a target light beam with a desired target wavelength.
  • the acousto-optic filter element can correspond, for example, to the acousto-optic filter element described in DE 101 15 488 A1 or to another of the acousto-optic filter elements described above.
  • the acousto-optic filter element furthermore has at least one spatial filter element arranged in the aiming light beam.
  • This spatial filter element should be designed to selectively suppress the intensity of the aiming light beam in a plane perpendicular to the propagation direction of the aiming light beam.
  • the spatial filter element can be configured in various ways.
  • the spatial filter element may comprise a lens element which optically images the aiming light beam.
  • the term of the lens element is to be understood broadly, since, as described above, other imaging elements can be used, such as (in addition to simple circular or cylindrical lenses) complex lens systems (for example, lenses with variable focal length), concave mirror, optical resonators or other imaging or imaging elements.
  • the spatial filter element may comprise a diaphragm.
  • this diaphragm can be arranged at least approximately in a focal plane of the lens element, since the described conversion from the frequency to the spatial region is pronounced there.
  • a deviation of the positioning of the diaphragm from the focal plane by no more than twice the beam waist of the target light beam is desirable.
  • at least one further diaphragm can be provided.
  • at least one second diaphragm can be provided in the aperture of the lens element, which acts there as a spatial filter.
  • the diaphragm may comprise various known types of diaphragms. In particular, square apertures, rectangular apertures, circular apertures or irises can be used, as well as combinations of these and / or other apertures. Since the beam deflection through the acousto-optic filter element (hereinafter referred to as AOTF) takes place substantially in one plane, it is particularly preferred if the diaphragm comprises a slit diaphragm, that is to say a diaphragm with a narrow opening slit, which is preferably extends perpendicular to the plane spanned by the input light beam and the aiming light beam.
  • AOTF acousto-optic filter element
  • the diaphragm comprises an adjustable opening.
  • this adjustable opening can be an electronically adjustable opening, which, for example, can easily be realized technically in the case of slit diaphragms and / or irises.
  • the transfer function of the AOTF according to the invention can be influenced electronically, so that, for example, an electronic calibration and / or an electronic control can be realized.
  • the opening width can be adjusted by a stepping motor or a similar actuator.
  • the spatial filter element may comprise an optical waveguide and a lens element arranged between one end (coupling end) of the optical waveguide and the acousto-optical crystal.
  • the term “lens element” is to be understood broadly and may encompass various types of imaging systems
  • the lens element is intended to be arranged to couple a portion of the aiming light beam into the end of the optical waveguide Opening of the optical waveguide, which is preferably a single mode fiber, undesirable side modes of the spatial transfer function.
  • the fiber end should again preferably at least approximately be in the focus of the lens.
  • the numerical aperture of the lens determines to a significant extent The width of the transmission function in the focal plane of the lens, that is in the region of the fiber end.
  • another aperture element can be provided, which further limits the numerical aperture of the lens
  • the numerical aperture and the aperture dimensions or the diameter of the Lichtleitfase Cores are coordinated so that only the desired width of the wavelength range passes through the aperture or is coupled into the fiber.
  • the numerical aperture of the lens and the diaphragm or the fiber is selected so that the secondary maxima of the transfer function are blocked by the diaphragm or are not coupled into the fiber.
  • the distance and / or the orientation of the lens element relative to the end of the optical waveguide is adjustable, preferably electrical nisch (for example, using appropriate servomotors).
  • the lens may be designed as a vario-optic.
  • the Variooptik can also be provided with a motor and controlled for example via software and controlled.
  • the spatial filter element can in particular be set such that secondary maxima of a higher order than 2, preferably already secondary maxima of the first order, are suppressed. This suppression can take place in such a way that these secondary maxima are completely blocked. In this case, only the main maximum of the spatial intensity distribution of the target light beam and thus also the main maximum of the frequency distribution of the transfer function are transmitted. Stronger restrictions are also possible, so that, for example, the spatial filter element is set so narrow that already outer subregions of the main maximum are blocked.
  • the acousto-optic filter element can in particular be designed in such a way that it further comprises an electronic control. This electronic control can be used to control the spatial filter element, that is, to influence the transfer function of the acousto-optic filter element.
  • the electronic controller may be arranged to act on the above-mentioned elements that influence the transfer function.
  • the electronic controller may be configured to adjust a lens focus, lens focal length, iris width, lens-to-aperture distance, lens-fiber distance, or other spatial orientations.
  • the electronic control can also be set up to set the target wavelength, for example by the electronic control setting the high frequency applied to the acoustic signal generator.
  • the electronic control may, for example, comprise one or more electronic components and / or one or more processors, for example a microprocessor.
  • other elements may be provided, such as input and output elements, data storage, etc.
  • an interface for communication with another computer may be provided.
  • the electronic control may, for example, also comprise an electronic memory (for example a volatile or non-volatile memory) in which a curve function of the spatial intensity distribution of the aiming light beam is stored. In this way, for example, a targeted aperture be set to a desired opening width, for example, if certain secondary maxima are targeted to be suppressed.
  • the acousto-optic filter element may further include a calibration device to quickly and conveniently receive transfer functions of the acousto-optic filter element and adjust the acousto-optic filter element accordingly.
  • the calibration device can contain a tunable coherent test light source whose light beam can be coupled into the acousto-optic filter element or the acousto-optic crystal as an input light beam.
  • the calibration device may comprise a detector which is set up to measure an intensity of the target light beam.
  • the wavelength of the test light source can be changed (for example, continuously tuned over a predetermined wavelength range) at a fixed high frequency of the acoustic signal generator, wherein the intensity of the target light beam is measured.
  • the high frequency of the acoustic signal generator can be changed, wherein the intensity of the target light beam can be measured.
  • the sin 2 x / x 2 function described above can be recorded and the width of the maxima of this transfer function can be determined. Accordingly, the spatial filter element can then be set to a desired width.
  • This calibration can be done, for example, during or after factory assembly, or the calibration can also be part of a routine review of a system (eg, a microscope, see below). Various possible uses of such a calibration device are conceivable.
  • the described acousto-optic filter element in one of the illustrated embodiments offers numerous advantages over conventional acousto-optic filter elements.
  • the acousto-optic filter element can be used to Efficiently suppressing excitation light and thus significantly improving the signal-to-noise ratio.
  • an adjustable light source which comprises an acousto-optic filter element in one of the variants described.
  • the adjustable light source comprises a broadband coherent light source which is arranged and arranged to generate the input light beam for the acousto-optic filter element.
  • a single acousto-optical filter element and a plurality of acousto-optical filter elements may be provided.
  • the light source may preferably be designed such that said components of the adjustable light source, and optionally further components, are arranged in a common housing.
  • the broadband coherent light source can also be arranged outside and spatially separated from the acousto-optic filter element and be connected to it via a radiation path and / or an optical waveguide.
  • an optical waveguide can be used for this purpose again.
  • a "broadband" coherent light source is in particular a light source which emits light in a spectral range which lies in the ultraviolet and / or visible and / or infrared spectral range, the width of the emitted spectrum preferably being greater than 10 nm, in particular greater than 100 nm.
  • the broadband coherent light source may include one or more light sources.
  • this may comprise a broadband laser, in particular a white light laser.
  • a plurality of laser light sources may be superimposed for this purpose, in particular by means of a suitable device for superimposing the beams of the laser light sources (for example one or more beam splitters).
  • the broadband coherent light source can also comprise an optical waveguide with a spectrally broadening doping and a corresponding pump laser, the doping in particular comprising a rare earth doping, in particular a doping with ErNd, Yb, Ho and / or a Semiconductor doping, in particular a germanium doping.
  • a spectrally broadening optical waveguide can be used, which has a corresponding structuring.
  • this may be a Optical waveguide comprising a tapered fiber, a microstructured fiber, a photonic crystal fiber, a holey fiber, a photonic band-gap fiber or a similar fiber.
  • reference may be made, for example, to DE 101 15 488 A1, DE 101 15 509 A1, DE 101 15 589 A1 or other publications. In this respect, the detailed design of such structured optical waveguides for generating a broadband spectrum should not be discussed further here.
  • the adjustable light source in one of the described embodiments can be used profitably in various fields of the natural sciences, technology or medicine. Again, the described advantageous aspects of the acousto-optic filter element again have a positive effect. Thus, the adjustable light source can be used profitably, in particular in the field of spectroscopy.
  • Another application which is a focus of the present invention, is the use in a microscope to acquire image information of a sample.
  • it may be a biological sample, for example a tissue section of a human, animal or plant tissue.
  • other types of samples can be used, for example, samples from the fields of materials science or other types of samples.
  • the proposed microscope accordingly comprises a beam optic and an adjustable light source in one of the described embodiments.
  • the microscope may be designed, for example, as a normal light microscope, although the configuration is preferred as a scanning microscope.
  • This scanning microscope may in particular be a point scanning microscope or, more preferably, a line scanning microscope. Due to the high resolution, the embodiment is particularly preferred as a confocal microscope.
  • the adjustable light source can be used in the microscope to generate excitation light.
  • excitation light is not to be understood merely as meaning that the sample is excited by the adjustable light source or the light beam emitted by this adjustable light source in the sense of luminescence or phosphorescence the sample are conceivable and included in the proposed arrangement, For example, an arrangement in which the detection light from the sample transmitted and / or reflected excitation light comprises.
  • the microscope in a preferred embodiment comprises a beam splitter with a beam splitter transfer function.
  • a beam splitter with a beam splitter transfer function.
  • the separation or the separation efficiency of detection and excitation light through the beam splitter is dependent on the wavelength.
  • an acousto-optical element can again be used as the beam splitter, which is referred to in this case as an acousto-optic beam splitter.
  • an acousto-optical filter element according to one of the preceding claims can be used as part of such an acousto-optic beam splitter.
  • the transfer function of the acousto-optic filter element of the tunable light source used in the microscope is set by adjusting the spatial filter element such that the spectral width of the aiming light beam generated by the tunable light source becomes smaller is the spectral width of a main maximum of the beam splitter transfer function.
  • the spectral width of the target light beam is preferably chosen to be smaller than the spectral width of the main maximum of the beam splitter transfer function , preferably at most as wide as half the spectral width of the main maximum of the beam splitter transfer function.
  • an acousto-optic beam splitter which comprises an acousto-optical filter element in one of the embodiments described above, can also be used separately, independently of the microscope.
  • an acousto-optical beam splitter with modifiable transfer function by using a spatial filter are identical to the advantages described above, and it can be in this way produce an acousto-optical beam splitter, which has a transfer function with a narrow main maximum and few or even has no secondary maxima.
  • FIG. 1 shows an embodiment of a conventional light source with an acousto-optical filter element
  • FIG. 2 shows an idealized transfer function of a conventional acousto-optic filter element
  • Figure 3 shows an actual transfer function of a conventional acousto-optic filter element at fixed high frequency
  • Figure 4a shows a first embodiment of a light source according to the invention with an acousto-optic filter element and a spatial filter;
  • FIG. 4b shows a detailed representation of the region A in FIG. 4b
  • FIG. 5 a shows a second embodiment of a light source according to the invention with an optical fiber
  • FIG. 5b shows a detailed representation of the region B in FIG. 5a
  • FIG. 6 shows a third embodiment of an adjustable light source with an electronic control and a calibration device
  • FIG. 7 shows an exemplary embodiment of a confocal microscope according to the invention with an adjustable light source according to the invention and a beam splitter element
  • FIG. 8 shows transmission functions of the adjustable light source and of the beam splitter element of the microscope according to FIG. 7.
  • FIG. 1 schematically illustrates an exemplary embodiment of an adjustable light source 110 that corresponds to the prior art.
  • this can be an adjustable light source 110 according to the exemplary embodiment described in DE 101 15 488 A1.
  • the adjustable light source 110 includes a broadband coherent light source 112 and an acousto-optic filter element 114.
  • the broadband coherent light source 112 may be, for example, a white light laser or other of the broadband light sources described above to produce a broadband coherent beam spectrum, such as a pumped fiber laser.
  • a broadband coherent beam spectrum such as a pumped fiber laser.
  • the broadband coherent light source 112 generates an input light beam, which is denoted symbolically by the reference numeral 116 in FIG.
  • This input light beam 116 which comprises a broad spectrum of electromagnetic radiation, is coupled into the a-kusto-optical filter element 114.
  • the acousto-optic filter element 114 comprises an acousto-optic crystal 118, which may comprise, for example, tellurium dioxide (Te ⁇ 2 ) in a corresponding section.
  • acousto-optic crystal 118 may comprise, for example, tellurium dioxide (Te ⁇ 2 ) in a corresponding section.
  • further elements may be provided in the tunable light source 110, for example, elements that match the polarization direction of the coherent input light beam 116 to the orientation of the acousto-optic crystal 118 (for example, ⁇ / 2-plates or similar elements).
  • the acousto-optic filter element 114 comprises an acoustic signal generator
  • This acoustic signal transmitter 120 which is often referred to as a transducer.
  • This acoustic signal transmitter 120 may, as described above, two or more electrodes and a piezoelectric element, wel It is coupled between these electrodes, and is coupled to a high frequency source 122.
  • This high-frequency source 122 is capable of applying electrical signals in the range between a few kHz to a few hundred MHz to the acoustic signal transmitter 120, in which these are converted into acoustic signals, which in turn are coupled into the acousto-optical crystal 118 to generate the above-described acoustic waves there.
  • the acousto-optic filter element 114 is set up in such a way that the input light beam 116 is split into two light beams on the output side: a transmitted light beam 124 which is substantially colinear with the input light beam 116 and which can be blocked by a blocker, for example, or which can be used further. Furthermore, on the output side, a target light beam 126 emerges from the acousto-optical crystal 118, which exactly covers the desired wavelength which is to be separated from the input light beam 116. There is an angular offset between the transmitted light beam 124 and the aiming light beam 126, which is denoted ⁇ in FIG. 1 and which permits a corresponding separation of the light beams 124 and 126.
  • the aiming light beam 126 can thus be used for a specific purpose, for example for use in microscopy, light microscopy and / or (confocal) laser scanning microscopy.
  • FIG. 2 schematically shows a relationship between the coupled-in radio frequency (denoted RF there) and the wavelength ⁇ of the aiming light beam 126 in FIG. It can be seen that (at least within a certain wavelength range) there is a one-to-one relationship between the injected radio frequency of the radio frequency source 122 and the wavelength ⁇ .
  • a particular excitation frequency fo ® can in this idealized representation exactly one wavelength ⁇ 0, fo from the input light beam 116 coupled out as the target light beam 126th
  • a frequency scan of the input light beam 116 should actually result in the intensity of the target light beam 126 at a fixed high frequency fo ⁇ function with a sharp peak at the target wavelength ⁇ o or target frequency fo result.
  • a narrow band, tunable coherent light source would be used.
  • dye lasers or certain solid-state lasers should be mentioned, which produce monochromatic light of a fixed, tunable wavelength instead of broadband light.
  • FIG. 3 illustrates a still idealized but more realistic transmission spectrum of the aiming light beam 126 during such a tuning of the input light beam 116.
  • the transmission T is plotted as a function of the wavelength ⁇ of a coupled monochromatic coherent input light beam 116.
  • the transfer function shown in Figure 3 is usually no difficulty. However, this transfer function is problematic if, as shown in Figure 1, the acousto-optic filter element 114 in an adjustable light source 110 with a broadband coherent light source 112 is used. In this case, the spectrum of the input light beam 116 generally also includes portions in the region of the secondary maxima 130, which thus also form part of the aiming light beam 126 after passing through the acousto-optic filter element 114.
  • FIGS. 4a to 6 therefore show exemplary embodiments of adjustable light sources 110 which are improved according to the invention and which comprise an acousto-optic filter element 114 according to the invention.
  • the adjustable light sources 110 each again comprise a broadband coherent light source 112, wherein reference may be made to the above description.
  • This broadband coherent light source 112 generates an input light beam 116 having a wide electromagnetic spectrum.
  • This input light beam 116 is coupled into the acousto-optic filter element 114.
  • the acousto-optic filter element 114 includes an acousto-optic crystal 118. Not shown in the embodiments is the acoustic signal generator 120, which in turn is provided and which in turn allows the coupling of acoustic signals into the acousto-optic crystal 118.
  • the combination of the acousto-optic crystal 118 with the coupling of an acoustic wave in turn allows the separation of a target light beam 126, analogous to the representation in Figure 1. Further, separated from the target light beam 126 light components, in particular the transmitted light beam 124, are in the figures 4a to 6 not shown for simplicity, since they can be blocked immediately, for example.
  • FIGS. 4a to 6 initially essentially corresponds to the structure according to FIG. 1 and has essentially the same transfer function.
  • a spatial filter element 132 is provided to "clean up" the transmission function shown in Figure 3.
  • This spatial filter element 132 is based on the insight that the transfer function shown in Figure 3 in the frequency domain or wavelength domain can be transformed into a spatial transfer function by appropriate imaging techniques.
  • Such a transformation from the frequency to the spatial domain for example a Fourier transformation, is from various other fields of optics known, for example in the field of holography.
  • FIG. 4 a shows a first exemplary embodiment, wherein FIG. 4 b shows a detailed position of the region A in FIG. 4 a.
  • the spatial filter element 132 for the purpose of transformation, comprises a first lens element 134 which is arranged in the beam path of the aiming light beam 126 behind the exit of the acousto-optic crystal 118.
  • This first lens element 134 which may also comprise a combination of several lenses instead of a single lens, focuses the aiming light beam 126.
  • An aperture 136 is arranged in the focal plane of the first lens element 134.
  • This diaphragm 136 may be, for example, a rectangular aperture or slit diaphragm, which preferably has an adjustable opening width.
  • the diaphragm 136 is adjoined in the beam path by a second lens element 138, which again collimates the now "cleaned" target light beam 126 for further use.
  • the spatial region A (FIG. 4a) and B (FIG. 5a) around the diaphragm 136 are shown again in enlarged detail in FIG. 4b and FIG. 5b, respectively.
  • the transfer function which is shown in Figure 3 in the frequency domain, has now been converted into a spatial transfer function, with a main spatial maximum 140 and a plurality of spatial secondary maxima 142.
  • the aperture 136 is in its opening width so is set such that it preferably essentially allows the main spatial maximum 140 to pass from the illustrated transfer function, whereas the secondary maxima 142 are essentially cut off.
  • FIG. 4a can be used in particular in microscopy, light microscopy and (confocal) laser scanning microscopy.
  • the power and the wavelength of the selected wavelength band of the aiming light beam 126 can be varied (also simultaneously).
  • the structure of the acousto-optic filter element 114 can be integrated into a housing (not shown in the figures) and can thus be distributed as a separate unit.
  • the acousto-optic filter element 114 can also be integrated in a housing (likewise not shown) of the adjustable light source 110 and / or in a housing of a microscope.
  • the width of the selected wavelength range can be varied by varying the width of the aperture of the aperture 136.
  • the lens 134 may be designed as a vario-optic.
  • the variable diaphragm 136 or the zoom optics can also be provided with a motor and, for example, controlled or controlled by means of a software.
  • FIG. 5a shows an adjustable light source 110 which is slightly modified according to the invention and which, downstream of the acousto-optic crystal 118, in turn comprises a lens element 134 in the beam path of the aiming light beam 126.
  • a lens element 134 in the beam path of the aiming light beam 126.
  • an optical waveguide 144 is provided in this embodiment, which is preferably a single-mode fiber. This acts here, in cooperation with the lens element 134, as a spatial filter element 132.
  • the fiber end 146 is preferably positioned in the focal plane of the lens element 134.
  • the fiber or the optical waveguide 144 has a structuring with a fiber core 148 and a fiber cladding 150. Since the coupling essentially has to take place in the fiber core 148, the opening width of the fiber core 148 in this exemplary embodiment acts similarly to the aperture of the diaphragm 136 in the example according to FIGS. 4a and 4b.
  • the fiber end 146 cooperates with the lens 134 as a spatial filter element 132.
  • the width of the selected wavelength range can be adjusted to some extent by, for example, varying the distance between the lens 134 and the fiber end 146.
  • the lens element 134 is designed as a Variooptik, that is, as a lens element 134 with variable, preferably electronically (for example via a motor) adjustable focal length.
  • a control for example via an appropriate software, as well as a corresponding control of this control makes sense.
  • FIG. 6 shows a third exemplary embodiment of an adjustable light source 110 according to the invention.
  • the light source 110 according to the invention is essentially constructed in accordance with the exemplary embodiment in FIG. 4 a, so that reference can be made largely to the description of this figure.
  • a slight difference is the fact that in this case the broadband coherent light source 112 is connected to the acousto-optic filter element 114 via a fiber 152 in the form of a fiber 152.
  • the acousto-optic filter element 114 comprises an electronic controller 154.
  • This electronic controller 154 can also be designed as an electronic controller for the broadband coherent light source 112 at the same time.
  • it can comprise a microprocessor, input and output means (such as, for example, a corresponding interface for connection to further computer systems and / or electronic components), and further electronic components for control.
  • an electronic memory for example a volatile and / or non-volatile memory
  • the opening width of the diaphragm 136 and / or a focal length of the lens 134 can be adjusted if a certain filtering is desired. This can for example be done on a screen by a user, which, for example by appropriate setting markers on a screen that can set the width of the transfer function.
  • the acousto-optic filter element 114 in the exemplary embodiment according to FIG. 6 comprises a calibration device 156.
  • This has a coherent, tunable test light source 158 (for example one of the tunable lasers described above) for generating a coherent, narrow-band test light beam 160 Beam splitter 162 for coupling the test light beam into the acousto-optic crystal 118, a second beam 164 for coupling out a detection beam 166 and a detector 168 for detecting the detection beam 166 on.
  • the controller 154 may be configured to determine a transfer function of the acousto-optic filter element 114 in a calibration process.
  • the test light source 158 can be tuned at a fixed predetermined high frequency of the acoustic signal transmitter 120 over a certain wavelength range, wherein via the detector 168, an intensity of the target light beam 126 is measured. In this way, for example, a function according to FIG. 3 can be measured. Accordingly, for example, also by the electronic controller 154, then, for example, a width of the diaphragm 136 are set to influence this transfer function.
  • the adjustable light source 110 allows rapid calibration and adjustment of the transfer function of the acousto-optic filter element 114, which thus can be easily adapted to other components of the overall system in which the adjustable light source 110 is used.
  • FIG. 7 shows a possible system in which an adjustable light source 110 according to the invention or an acousto-optical filter element 114 according to the invention can be used.
  • This system is designed as a microscope 170 in the present case.
  • the microscope 170 is a confocal laser scanning microscope, although, as described above, other embodiments are also possible, within the scope of which the invention can be implemented.
  • the microscope 170 initially comprises an adjustable light source 110 according to the exemplary embodiment in FIG. 4a.
  • the target light beam 126 generated by this light source 110 is coupled into an optical waveguide 144 and fed to a beam splitter element 174 as excitation light 172 via a beam shaping optical system 176 (merely indicated in FIG. 7).
  • Figure 7 thus shows an embodiment with a combined technique of the embodiments of Figures 4a and 5a.
  • the spatial filter element 132 has two lens elements 134, 138 with an aperture 136 arranged therebetween, on the other hand an optical waveguide 144 is used.
  • an optical waveguide 144 is used.
  • a "pure form" of the embodiments of the spatial filter element 132 according to one of the examples of Figures 4a or 5a would be used.
  • the excitation light 172 is guided in the microscope 170 via an optical system 178 onto a sample 180.
  • a scanning device 181 is used in order to scan the sample 180 with the excitation light 172 by means of the excitation light 172, for example pointwise (point scanner) or line by line (line scanner).
  • the scanning device 181 may include one or more galvanometer mirrors.
  • the detection light 182 emitted thereby (for example via a fluorescence process) from the sample 180 is transmitted at the beam splitter element 174 and thus separated from the excitation light 172.
  • the beam splitter element 174 is adjoined by another lens system 184 with a confocal diaphragm 186.
  • This confocal aperture 186 is an essential element of the confocal structure of the microscope 170 and greatly contributes to the improvement of the resolution of the image quality.
  • the microscope 170 comprises a detector 188, which detects the detection light 182.
  • the microscope 170 also includes other components, such as a central control, which may for example also include the electronic control unit 154 of the adjustable light source 110 or of the acousto-optic filter element 114 (see FIG. 6).
  • This which may in turn comprise a computer system, for example, effects a composition of the image of the sample 180 recorded on a point-by-line or line-by-line basis.
  • a challenge of conventional microscopes 170 lies in particular in the construction of the beam splitter element 174.
  • this beam splitter element 174 Various elements known from the prior art can be used for this beam splitter element 174, such as dichroic mirrors, spatially structured beam splitter elements or similar beam splitter elements. In many cases, however, acousto-optical elements are again used in this beam splitter element 174, so that the beam splitter element 174 can be designed, for example, in the embodiment shown in FIG. 7 as an acousto-optic beam splitter element 190.
  • An example of such an acousto-optic beam splitter element which in turn can separate beams of different wavelengths by an angular offset, which then enables beam splitting, is shown in EP 1 281 997 A2.
  • a problem of such beam splitter elements is that they have a transfer function with a characteristic width.
  • a problem of such beam splitter elements is that they have a transfer function with a characteristic width.
  • FIG. Represented in this illustration are typical transfer functions, curve 192 designating the transfer function of the acousto-optic filter element 114 (which substantially corresponds to the transfer function of FIG. 3), and the curve 194 the transfer function of the acousto-optic beam splitter element 190.
  • the transfer function 194 of the acousto-optical beam splitter element 190 is substantially wider (denoted B BS in FIG. 8), whereas the transfer function 192 of the acousto-optic filter element 114 is considerably narrower (in FIG. 8 B) TF ).
  • the term "width” in each case denotes the distance between the first minima around the main maxima 128. Other definitions of the "width” would also be possible, for example a half-width.
  • the excitation light 172 of the adjustable light source 110 can be set such that it is cut off in the region of the first secondary minima. This means in particular that in the spectrum shown symbolically in FIG. 8, only the main maximum 128 is still contained in the excitation light 172.
  • the transfer function of the acousto-optic filter element 114 is adjusted such that the width B TF is just half the width B BS , which means an effective suppression of the excitation light component in the detection light 182. In this way, the quality of the image information of the sample 180 taken with the microscope 170 can be considerably improved. In particular, image contrasts and signal-to-noise ratios can be optimized, which opens up new application possibilities, for example.
  • the microscope 170 thus comprises two acousto-optical elements, namely the acousto-optic filter element 114 and the acousto-optic beam splitter element 190.
  • an acousto-optical filter element 114 with a spatial filter element 132 can also be used in the acousto-optic beam splitter element 190.
  • FIG. 7 For this purpose, as indicated schematically in FIG.
  • the acousto-optic beam splitter element 190 can also be designed with a spatial filter element 132, which in this exemplary embodiment is additionally introduced in the beam path between the acousto-optic beam splitter element 190 and the scanning device 181.
  • the acousto-optic beam splitter element 190 can be designed as described in EP 1 281 997 A2, ie in turn comprise an acousto-optic crystal 118 with an acoustic signal generator 120.
  • a spatial filter element 132 can again be inserted downstream of this acousto-optic crystal 118, for example once again a spatial filter element which has lens elements 134, 138 (wherein in particular a single lens element 134 would be sufficient), and a diaphragm 136
  • the efficiency of the beam splitting by the acousto-optic beam splitter element 190 or its transfer function would be limited such that only excitation light 172 reaches the specimen 180 within a narrow wavelength range around the target wavelength ⁇ o, but not excitation light 172 with further the target wavelength ⁇ o removed spectral portions, which would be insufficiently deflected on the "return path" of the sample 180 from the acousto-optic beam splitter element 190 and thus kept away

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Abstract

Es wird ein akusto-optisches Filterelement (114) vorgeschlagen, welches einen akusto- optischen Kristall (118) mit einem akustischen Signalgeber (120) zur Erzeugung akustischer Signale in dem akusto-optischen Kristall (118) aufweist. Der akusto-optische Kristall (118) ist eingerichtet, um entsprechend einer an den akustischen Signalgeber (120) applizierten Hochfrequenz selektiv Licht einer Zielwellenlänge aus einem in den akusto-optischen Kristall (116) eintretenden Eingangslichtstrahl (116) räumlich abzulenken und einen Ziellichtstrahl (126) mit der Zielwellenlänge zu erzeugen. Weiterhin umfasst das akusto-optische Filterelement (114) ein in dem Ziellichtstrahl (126) angeordnetes Raumfilterelement (132), welches ausgestaltet ist, um in eine Ebene senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Ziellichtstrahls (126) selektiv die Intensität des Ziellichtstrahls (126) zu unterdrücken.

Description

Durchstimmbares akusto-optisches Filterelement
Gebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft ein akusto-optisches Filterelement gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Weiterhin betrifft die Erfindung eine einstellbare Lichtquelle, welche ein akusto-optisches Filterelement gemäß der Erfindung umfasst, sowie ein Mikroskop zur Auf- nähme von Bildinformationen einer Probe, welches eine erfindungsgemäße einstellbare Lichtquelle umfasst. Weiterhin betrifft die Erfindung einen akusto-optischen Strahlteiler, welcher ein akusto-optisches Filterelement gemäß der Erfindung umfasst.
Stand der Technik
Aus den Naturwissenschaften, der Technik und der Medizin sind Mikroskope zur Aufnahme von Bildinformationen von Proben verschiedener Arten in zahlreichen technischen Ausführungsformen bekannt. Dabei werden zunehmend kohärente Lichtquellen eingesetzt, welche beispielsweise einen oder mehrere Laser als Lichtquellen zur Erzeugung von Anre- gungsstrahlen umfassen. Insbesondere können derartige Lasermikroskope als Scanmikroskope ausgestaltet sein.
Scanmikroskope sind in verschiedenen Varianten bekannt, welche sich beispielsweise in der Art und Erzeugung des Mikroskopstrahls unterscheiden. So können beispielsweise elektromagnetische Strahlen im optischen, infraroten oder ultravioletten Bereich des Spektrums eingesetzt werden. Weitere Unterschiede zwischen den verschiedenen Arten von Scanmikroskopen ergeben sich bei der Wechselwirkung des beziehungsweise der Mikroskopstrahlen mit der zu untersuchenden Probe. Bei der folgenden Beschreibung wird im Wesentlichen auf Fluoreszenzmikroskope Bezug genommen, bei welchen der Mikroskop- strahl beziehungsweise Anregungstrahl eine Probenfluoreszenz anregt, welche erfasst wer- - ? -
den kann und zur Bildaufnahme genutzt werden kann. Daneben existieren jedoch zahlreiche weitere Messprinzipien, beispielsweise Messprinzipien, welche auf laserspektroskopi- schen Verfahren beruhen, Messprinzipien, welche auf einer Teilchenemission beruhen, oder andere Messprinzipien. Die nachfolgende Erfindung ist grundsätzlich auf alle derarti- gen Verfahren und Konstruktionen anwendbar, sowie auch auf andere Mikroskope, welche nicht nach dem Scan-Prinzip arbeiten.
Eine wesentliche Herausforderung bei zahlreichen bekannten Mikroskopen ist, unabhängig vom eingesetzten Verfahren, die Bereitstellung von Anregungslicht mit einer oder mehre- ren vorgegebenen Wellenlängen. Je nach der Art des Mikroskopieverfahrens und/oder nach der Art der Probe (zum Beispiel der Probenbeschaffenheit oder einer Anfärbung der Probe mit einem bestimmten Farbstoff) sind dabei ein oder mehrere Anregungslichtstrahlen erforderlich, welche in der Regel vorgegebene spektrale Eigenschaften aufweisen müssen.
Bei herkömmlichen Lasermikroskopen wird das Anregungslicht durch einen oder mehrere Anregungslaser bereitgestellt, wobei jedoch in der Regel lediglich ein begrenzter Wellenlängenbereich beziehungsweise eine begrenzte Auswahl an Spektrallinien zur Verfügung steht. Dies schränkt die Anwendung der Mikroskope auf bestimmte Arten von Proben, bestimmte Mikroskopieverfahren und/oder auf bestimmte Farbstoffe zum Anfärben der Probe ein. Dieses eingeschränkte Anwendungsspektrum ist in vielen Fällen unbefriedigend.
Es sind daher Mikroskope bekannt, welche als Lichtquelle kohärente Weißlichtquellen ausnutzen können. Ähnlich zu herkömmlichen Mikroskopen mit nicht-kohärenten Lichtquellen, welche inkohärentes Licht mit einer breiten Wellenlängenverteilung generieren, aus welcher dann mittels wellenlängenselektiver Elemente die benötigten Spektralbereiche ausgewählt werden, verwenden auch diese Mikroskope breitbandige, kohärente Lichtquellen. Derartige Lichtquellen, die ein breites Wellenlängenspektrum aufweisen, werden häu- fig auch als „Weißlichtquellen" bezeichnet.
Insbesondere können mit Hilfe von speziellen optischen Elementen, wie zum Beispiel einer getaperten (das heißt strukturierten, insbesondere hinsichtlich ihres Brechungsindexes) Faser, einer mikrostrukturierten Faser (insbesondere einer photonischen Kristallfaser, PCF), einer Holey-Faser, einer photonic-band-gap-Faser (PBC) oder einer speziell dotier- ten Faser (zum Beispiel einer Faser mit einer Dotierung von Seltenerdmetallen oder Halbleitern), Lichtquellen durch Einkopplung von Laserstrahlung realisiert werden, deren Licht ein breites Wellenlängenspektrum aufweist. Derartige Weißlichtlaser werden häufig auch als Weißlichtlaser mit Superkontinuum bezeichnet. Beispiele derartiger breitbandiger Weißlichtlaser sind in DE 101 15 488 Al, in DE 101 15 509 Al oder in DE 101 15 488 Al aufgeführt. Die nachfolgend beschriebene Erfindung baut auf diesen Weißlichtlasern auf, ist jedoch auch für den Einsatz anderer kohärenter, breitbandiger Lichtquellen einsetzbar.
Aus dem von den Weißlichtlasern oder Breitband-Lichtquellen erzeugten breitbandigen kohärenten Licht kann anschießend mit Hilfe wellenlängenselektiver Elemente eine bestimmte Wellenlänge oder ein bestimmter Spektralbereich ausgewählt werden. Verschiedene derartiger wellenlängenselektiver Elemente sind seit langem bekannt, wie beispielsweise Prismen oder Gitter.
Seit einigen Jahren kommen jedoch zunehmend wellenlängenselektive Elemente zum Einsatz, welche auf dem akusto-optischen Effekt basieren (akusto-optische Elemente). Derartige akusto-optische Elemente weisen in der Regel einen so genannten akusto-optischen Kristall auf (zum Beispiel einen Tellurdioxid-Kristall, TeÜ2), welcher mit entsprechender Kristallrichtung geschnitten ist. An diesem akusto-optischen Kristall sind ein oder mehrere akustische Signalgeber angeordnet, welche auch als „Transducer" bezeichnet werden. In der Regel weist ein derartiger Transducer ein piezoelektrisches Material sowie zwei oder mehrere dieses Material kontaktierende Elektroden auf. Durch elektrisches Beschälten der Elektroden mit Radiofrequenzen, die typischerweise im Bereich zwischen 30 MHz und 800 MHz liegen, wird das piezoelektrische Material zum Schwingen angeregt, so dass eine akustische Welle entstehen kann, die den Kristall durchläuft. Meist wird diese akustische Welle nach Durchlaufen eines optischen Wechselwirkungsgebiets an der gegenüberliegenden Kristallseite absorbiert oder reflektiert. Akusto-optische Kristalle zeichnen sich dadurch aus, dass die entstehende Schallwelle die optischen Eigenschaften des Kristalls verändert, wobei durch den Schall ein optisches Gitter oder eine vergleichbare optisch aktive Struktur (Hologramm) induziert wird. Durch den Kristall tretendes Licht kann schließlich an diesem optischen Gitter eine Beugung erfahren und in verschiedene Beugungsordnungen oder Beugungsrichtungen gelenkt werden.
Bei den akusto-optischen Bauteilen unterscheidet man zwischen Bauteilen, die das gesam- te einfallende Licht mehr oder weniger unabhängig von der Wellenlänge beeinflussen - A -
(zum Beispiel akusto-optischen Modulatoren) und Bauteilen, die (zum Beispiel abhängig von der eingestrahlten Radiofrequenz) selektiv auf einzelne Wellenlängen wirken (akusto- optische Filter, englisch acusto-optic tunable filter, AOTF). In vielen Fällen weisen die akusto-optischen Elemente doppelbrechende Kristalle, wie beispielsweise das erwähnte Tellurdioxid auf, wobei dann unter anderem die Lage der Kristallachse relativ zur Einfallsebene des Lichts und seiner Polarisation die optischen Eigenschaften des akusto-optischen Elements bestimmen.
Mit Hilfe der genannten akusto-optischen Filter (AOTFs) können also aus dem Wellenlän- genspektrum der Weißlichtquelle ein oder mehrere Wellenlängenbereiche selektiv ausgewählt werden. Ein einfallender Lichtstrahl, welcher das Phasengitter im Kristall durchläuft, wird dann in seine Beugungsordnungen aufgespalten. Durch Variieren der Frequenz fo der akustischen Welle ändert sich die Frequenz des Phasengitters im akusto-optischen Kristall und damit auch die Wellenlänge λ0 des gebeugten Lichts. AOTFs können so realisiert wer- den, dass die Schwerpunkts Wellenlängen λ0 der ausgewählten Wellenlängenbereiche den akusto-optischen Kristall colinear verlassen. Andere Wellenlängen innerhalb der ausgewählten Wellenlängenbereiche besitzen aber eine andere Abstrahlrichtung.
Diese Änderung der Abstrahlrichtung beziehungsweise die räumliche Trennung zwischen der gewünschten Wellenlänge (im Folgenden auch als Zielwellenlänge bezeichnet) λo und dem übrigen, in den akusto-optischen Kristall eingestrahlten Licht wird zur Trennung des Lichts ausgenutzt. Dies ist beispielsweise ebenfalls in der bereits zitierten DE 101 15 488 Al beschrieben, welche eine Lichtquelle mit einem Weißlichtlaser (mit einer Faser) und einem nachgeschalteten AOTF zeigt.
Eine Schwierigkeit bekannter akusto-optischer Filter besteht jedoch darin, dass die Zuordnung einer eingekoppelten Radiofrequenz einer akustischen Welle zu einer bestimmten Zielwellenlänge in der Praxis nicht eindeutig ist. Die Form der Übertragungsfunktion des AOTFs, also die Frequenzen beziehungsweise Wellenlängen des Ziellichtstrahls, welcher durch den AOTF bei einer festen Radiofrequenz hindurchgelassen wird, stellt keine idealisierte δ-Funktion dar, sondern entspricht in etwa der folgenden Funktion:
T ~ sin2(f - fo)/(f - fo)2 (1) Dies bedeutet, dass die Übertragungsfunktion eines AOTFs zahlreiche Nebenmaxima aufweist, welche zwar erheblich schwächer ausgeprägt sind als das zentrale Hauptmaximum bei der Frequenz f0 beziehungsweise der Wellenlänge λ0 des Lichts, welche sich jedoch in der Spektroskopie störend bemerkbar machen können.
So wird beispielsweise Licht der Zielwellenlänge (Hauptmaximum der Übertragungsfunktion des AOTFs) Licht im Bereich der Nebenmaxima überlagert, da die Weißlichtquelle ebenfalls in diesem Spektralbereich emittiert und der AOTF in diesem Bereich durchlässig ist. Dieses Licht überlagert sich später, beispielsweise nach Reflexion an der Probe, dem eigentlichen Detektionslicht. Wellenlängenselektive Elemente, welche das eigentliche Anregungslicht vom Detektionslicht trennen sollen, sind jedoch häufig so stark wellenlängenselektiv, dass diese lediglich das eigentliche Detektionslicht (zum Beispiel Fluoreszenzlicht der Probe) von einer bestimmten Anregungswellenlänge λo trennen, jedoch keine ausreichende Trennung bei Anregungslicht außerhalb der Wellenlänge λ0 gewährleisten. Dies kann dazu führen, dass Anregungslicht in den Detektor gelangt, was wiederum das Signal- zu-Rausch- Verhältnis des Bildes der Probe stark verschlechtert. So können insbesondere die eigentlichen Fluoreszenzsignale bei einer Fluoreszenzspektroskopie um Größenordnungen schwächer sein als das Anregungslicht, so dass das eigentliche Signal durch das zusätzlich zum Detektor gelangende Anregungslicht stark beeinträchtigt wird.
Besonders ausgeprägt ist diese Problematik bei Mikroskopen, bei welchen die Trennung von Anregungslicht und Detektionslicht mit Hilfe von akusto-optischen Strahlteilern (a- cousto-optic beam splitter, AOBS) erfolgt. Auch ein AOBS weist eine Übertragungsfunktion auf, bei der die trennende Wirkung durch ein scharfes Maximum in der Übertragungs- funktion gekennzeichnet ist. In der Regel ist dieses Hauptmaximum jedoch erheblich breiter als das Maximum der Übertragungsfunktion eines AOTF, so dass in das Maximum der Übertragungsfunktion des AOBS ein oder mehrere Nebenmaxima der Übertragungsfunktion des AOTFs fallen. Dies bedeutet, dass der AOBS spektrale Bestandteile der Weißlichtquelle, welche im Bereich dieser Nebenmaxima der Übertragungsfunktion des AOTFs liegen, in hohem Maße zum Detektor des Mikroskops gelangen lässt.
Aufgabe der Erfindung
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein akusto-optisches Filterelement bereitzustellen, welches die oben beschriebenen Nachteile bekannter akusto-optischer FiI- terelemente vermeidet. Insbesondere soll das akusto-optische Filterelement geeignet sein, um Nebenmaxima in der Übertragungsfunktion seiner Durchlässigkeit effizient zu unterdrücken.
Beschreibung der Erfindung
Diese Aufgabe wird durch ein akusto-optisches Filterelement mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung, welche einzeln oder in Kombination realisiert werden können, sind in den abhängigen Ansprüchen dargestellt.
Die vorliegende Erfindung beruht im Wesentlichen auf der Entdeckung, dass sich die oben beschriebene Übertragungsfunktion bekannter akusto-optischer Filterelemente durch geeignete Abbildungsmaßnahmen vom Frequenzbereich in einen räumlichen Bereich um- wandeln lässt. Aus der beschriebenen Funktion sin2(f - fo)/(f - fo)2 wird bei dieser Transformation eine entsprechende Intensitätsverteilung in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse des Ziellichtstrahls, welche beispielsweise der Funktion I(r) ~ sin2 r/r2 (mit r = Abstand von der optischen Achse) folgt. Eine derartige Transformation vom Frequenzbereich in den räumlichen Bereich kann beispielsweise durch entsprechende fokussierende opti- sehe Elemente erfolgen, beispielsweise eine Linse und/oder einen gekrümmten Spiegel. Auch komplexere Anordnungen, welche derartige Abbildungseffekte bewirken, können gewählt werden. Beispielsweise erfolgt diese Abbildung vom Frequenzbereich in den räumlichen Bereich in einer Brennebene der Linse beziehungsweise des gekrümmten Spiegels.
Diese Umwandlung der Übertragungsfunktion des AOTFs vom Frequenzbereich in den räumlichen Bereich ermöglicht es nunmehr, durch entsprechende Raumfilterung die unerwünschten Anteile zu beseitigen.
Es wird dementsprechend ein akusto-optisches Filterelement vorgeschlagen, welches einen akusto-optischen Kristall der oben beschriebenen Art aufweist, sowie einen akustischen Signalgeber zur Erzeugung akustischer Signale in dem akusto-optischen Kristall. Der akusto-optische Kristall soll derart eingerichtet sein (beispielsweise durch entsprechende Kristallschnitte), um entsprechend einer an den akustischen Signalgeber applizierten Hochfre- quenz selektiv Licht einer Zielwellenlänge aus einem in den akusto-optischen Kristall ein- tretenden Eingangslichtstrahl räumlich abzulenken und so einen Ziellichtstrahl mit einer gewünschten Zielwellenlänge zu erzeugen beziehungsweise auszugeben. Insofern kann das akusto-optische Filterelement beispielsweise dem in DE 101 15 488 Al beschriebenen akusto-optischen Filterelement oder einem anderen der oben beschriebenen akusto- optischen Filterelemente entsprechen.
Unter Ausnutzung des oben beschriebenen Effekts der Transformation vom Frequenz- in den Raumbereich weist das akusto-optische Filterelement jedoch weiterhin mindestens ein im Ziellichtstrahl angeordnetes Raumfilterelement auf. Dieses Raumfilterelement soll aus- gestaltet sein, um in einer Ebene senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Ziellichtstrahls selektiv die Intensität des Ziellichtstrahls zu unterdrücken.
Wie oben beschrieben, kann das Raumfilterelement auf verschiedene Weisen ausgestaltet sein. Insbesondere kann das Raumfilterelement ein Linsenelement umfassen, welches den Ziellichtstrahl optisch abbildet. Dabei ist der Begriff des Linsenelements weit zu fassen, da, wie oben beschrieben, auch andere abbildende Elemente eingesetzt werden können, wie zum Beispiel (neben einfachen kreisförmigen oder zylindrischen Linsen) komplexe Linsensysteme (zum Beispiel Objektive, auch mit variabler Brennweite), Hohlspiegel, optische Resonatoren oder andere abbildende beziehungsweise bildgebende Elemente.
Weiterhin kann das Raumfilterelement eine Blende umfassen. Diese Blende kann insbesondere zumindest näherungsweise in einer Brennebene des Linsenelements angeordnet sein, da dort die beschriebene Umwandlung vom Frequenz- in den Raumbereich stark ausgeprägt ist. Insbesondere ist bei Gaußscher Strahloptik eine Abweichung der Positionie- rung der Blende aus der Fokusebene um nicht mehr als das Doppelte der Strahltaille des Ziellichtstrahls wünschenswert. Zusätzlich zu der Blende kann optional mindestens eine weitere Blende vorgesehen sein. Insbesondere kann mindestens eine zweite Blende in der Apertur des Linsenelements vorgesehen sein, welche dort als Raumfilter wirkt.
Die Blende kann dabei verschiedene bekannte Arten von Blenden umfassen. Insbesondere können quadratische Blenden, Rechteckblenden, Kreisblenden oder Irisblenden zum Einsatz kommen, sowie Kombinationen dieser und/oder anderer Blenden. Da die Strahlablenkung durch das akusto-optische Filterelement (im Folgenden AOTF genannt) im Wesentlichen in einer Ebene erfolgt, ist es besonders bevorzugt, wenn die Blende eine Schlitzblen- de umfasst, also eine Blende mit einem schmalen Öffnungsspalt, welcher sich vorzugswei- se senkrecht zu der vom Eingangslichtstrahl und dem Ziellichtstrahl aufgespannten Ebene erstreckt.
Besonders bevorzugt ist es dabei, wenn die Blende eine einstellbare Öffnung umfasst. Ins- besondere kann es sich bei dieser einstellbaren Öffnung um eine elektronisch einstellbare Öffnung handeln, was beispielsweise bei Schlitzblenden und/oder Irisblenden leicht technisch zu realisieren ist. In diesem Fall kann auf bevorzugte Weise die Übertragungsfunktion des AOTFs nach der Erfindung elektronisch beeinflusst werden, so dass beispielsweise eine elektronische Kalibration und/oder eine elektronische Steuerung realisierbar sind. Bei- spielsweise kann die Öffnungsweite durch einen Schrittmotor oder einen ähnlichen Aktua- tor verstellt werden.
Anstelle einer Kombination eines Linsenelements mit einer Blende lassen sich jedoch auch andere Raumfilterelemente realisieren. Insbesondere kann das Raumfilterelement, alterna- tiv oder zusätzlich, einen Lichtwellenleiter und ein zwischen einem Ende (Einkoppelende) des Lichtwellenleiters und dem akusto-optischen Kristall angeordnetes Linsenelement umfassen. Wiederum ist, wie oben ausgeführt, der Begriff des „Linsenelements" weit zu fassen und kann verschiedene Arten bildgebender Systeme umfassen. Das Linsenelement soll eingerichtet sein, um einen Teil des Ziellichtstrahls in das Ende des Lichtwellenleiters ein- zukoppeln. In diesem Fall schneidet die begrenzte Öffnung des Lichtwellenleiters, bei welchem es sich vorzugsweise um eine Einmodenfaser (single mode fiber) handelt, unerwünschte Seitenmoden der räumlichen Übertragungsfunktion ab. Das Faserende sollte sich wieder vorzugsweise zumindest näherungsweise im Fokus der Linse befinden. Die numerische Apertur der Linse bestimmt dann in wesentlichem Maße die Breite der Übertragungs- funktion in der Brennebene der Linse, das heißt im Bereich des Faserendes. Zusätzlich zur Linse kann ein weiteres Blendenelement vorgesehen sein, welches die numerische Apertur der Linse weiter einschränkt. Die numerische Apertur und die Blendenmaße beziehungsweise der Durchmesser des Lichtleitfaserkerns werden so aufeinander abgestimmt, dass nur die gewünschte Breite des Wellenlängenbereichs die Blende passiert beziehungsweise in die Faser eingekoppelt wird. Vorzugsweise wird die numerische Apertur der Linse und die Blende beziehungsweise die Faser so gewählt, dass die Nebenmaxima der Übertragungsfunktion durch die Blende geblockt werden beziehungsweise nicht in die Faser eingekoppelt werden. Im Falle der Verwendung eines Lichtwellenleiters und eines Linsenelements ist es besonders bevorzugt, wenn der Abstand und/oder die Ausrichtung des Lin- senelements relativ zum Ende des Lichtwellenleiters einstellbar ist, vorzugsweise elektro- nisch (zum Beispiel unter Verwendung entsprechender Stellmotoren). Beispielsweise kann die Linse als Variooptik ausgestaltet sein. Weiterhin kann die Variooptik auch mit einem Motor versehen werden und beispielsweise über Software angesteuert und kontrolliert werden.
Das Raumfilterelement kann insbesondere derart eingestellt werden, dass Nebenmaxima einer höheren Ordnung als 2, vorzugsweise bereits Nebenmaxima der 1. Ordnung, unterdrückt werden. Diese Unterdrückung kann derart erfolgen, dass diese Nebenmaxima vollständig geblockt werden. In diesem Fall wird lediglich das Hauptmaximum der räumlichen Intensitätsverteilung des Ziellichtstrahls und somit auch das Hauptmaximum der Frequenzverteilung der Übertragungsfunktion transmittiert. Auch stärkere Einschränkungen sind möglich, so dass beispielsweise das Raumfilterelement derart eng eingestellt wird, dass bereits äußere Teilbereiche des Hauptmaximums geblockt werden. Das akusto- optische Filterelement kann insbesondere derart ausgestaltet sein, dass dieses weiter eine elektronische Steuerung umfasst. Diese elektronische Steuerung kann genutzt werden, um das Raumfilterelement zu steuern, das heißt die Übertragungsfunktion des akusto- optischen Filterelements zu beeinflussen. Hierfür kann die elektronische Steuerung eingerichtet sein, um auf die oben genannten Elemente, die die Übertragungsfunktion beeinflussen, einzuwirken. Insbesondere kann die elektronische Steuerung ausgestaltet sein, um einen Linsenfokus, eine Linsenbrennweite, eine Blendenweite, einen Abstand zwischen Linse und Blende, einen Abstand zwischen Linse und Faser oder andere räumliche Ausrichtungen einzustellen.
Zusätzlich kann die elektronische Steuerung auch eingerichtet werden, um die Zielwellen- länge einzustellen, beispielsweise indem die elektronische Steuerung die an den akustischen Signalgeber applizierte Hochfrequenz einstellt. Die elektronische Steuerung kann dementsprechend beispielsweise einen oder mehrere elektronische Bausteine umfassen und/oder einen oder mehrere Prozessoren, beispielsweise einen Mikroprozessor. Daneben können weitere Elemente vorgesehen sein, wie beispielsweise Ein- und Ausgabeelemente, Datenspeicher etc. Auch eine Schnittstelle zur Kommunikation mit einem weiteren Computer kann vorgesehen sein. Weiterhin kann die elektronische Steuerung beispielsweise auch einen elektronischen Speicher umfassen (beispielsweise einen flüchtigen oder nicht flüchtigen Speicher), in welchem eine Kurvenfunktion der räumlichen Intensitäts Verteilung des Ziellichtstrahls hinterlegt ist. Auf diese Weise kann beispielsweise gezielt eine Blende auf eine gewünschte Öffnungsbreite eingestellt werden, wenn beispielsweise gezielt bestimmte Nebenmaxima unterdrückt werden sollen.
Das akusto-optische Filterelement kann weiterhin eine Kalibrationsvorrichtung umfassen, um auf schnelle und bequeme Weise Übertragungsfunktionen des akusto-optischen Filterelements aufzunehmen und das akusto-optische Filterelement entsprechend einzustellen. So kann die Kalibrationsvorrichtung beispielsweise eine durchstimmbare kohärente Testlichtquelle enthalten, deren Lichtstrahl als Eingangslichtstrahl in das akusto-optische Filterelement beziehungsweise den akusto-optischen Kristall eingekoppelt werden kann. Wei- terhin kann die Kalibrationsvorrichtung einen Detektor umfassen, welcher eingerichtet ist, um eine Intensität des Ziellichtstrahls zu messen.
Die beschriebene Kalibrationsvorrichtung kann genutzt werden, um verschiedene Übertragungsfunktionen aufzunehmen: Einerseits kann bei einer festen Hochfrequenz des akusti- sehen Signalgebers die Wellenlänge der Testlichtquelle verändert (beispielsweise über einen vorgegebenen Wellenlängenbereich kontinuierlich durchgestimmt) werden, wobei die Intensität des Ziellichtstrahls gemessen wird. Alternativ oder zusätzlich kann auch bei einer festen Wellenlänge der Testlichtquelle die Hochfrequenz des akustischen Signalgebers verändert werden, wobei die Intensität des Ziellichtstrahls gemessen werden kann. Auf diese Weise können, nach einem oder beiden der beschriebenen Verfahren, beispielsweise die oben beschriebene sin2 x/x2-Funktion aufgenommen und die Breite der Maxima dieser Übertragungsfunktion ermittelt werden. Dementsprechend kann dann das Raumfilterelement auf eine gewünschte Breite eingestellt werden.
Diese Kalibration kann beispielsweise während oder nach einer werksseitigen Montage erfolgen, oder die Kalibration kann auch Bestandteil einer routinemäßigen Überprüfung beziehungsweise Einstellung eines Systems (zum Beispiel eines Mikroskops, siehe unten) sein. Verschiedene Einsatzmöglichkeiten einer derartigen Kalibrationsvorrichtung sind denkbar.
Das beschriebene akusto-optische Filterelement in einer der dargestellten Ausführungsformen bietet gegenüber herkömmlichen akusto-optischen Filterelementen zahlreiche Vorteile. So kann insbesondere gezielt Einfluss genommen werden auf die spektrale Übertragungsfunktion, was sich besonders positiv in der Laserspektroskopie und in der Lasermik- roskopie bemerkbar macht. Das akusto-optische Filterelement kann genutzt werden, um Anregungslicht effizient zu unterdrücken und auf diese Weise das Signal-zu-Rausch- Verhältnis erheblich zu verbessern.
Neben dem akusto-optischen Filterelement in einer der oben beschriebenen Ausführungs- formen wird weiterhin eine einstellbare Lichtquelle vorgeschlagen, welche ein akusto- optisches Filterelement in einer der beschriebenen Varianten umfasst. Weiterhin umfasst die einstellbare Lichtquelle eine breitbandige kohärente Lichtquelle, welche eingerichtet und angeordnet ist, um den Eingangslichtstrahl für das akusto-optische Filterelement zu erzeugen. Anstelle eines einzelnen akusto-optischen Filterelements können auch mehrere akusto-optische Filterelemente vorgesehen sein. Die Lichtquelle kann vorzugsweise derart ausgestaltet sein, dass die genannten Bauelemente der einstellbaren Lichtquelle, und gegebenenfalls weitere Bauelemente, in einem gemeinsamen Gehäuse angeordnet sind. Alternativ kann die breitbandige kohärente Lichtquelle auch außerhalb und räumlich getrennt von dem akusto-optischen Filterelement angeordnet sein und mit diesem über einen Strah- lengang und/oder einen optischen Lichtwellenleiter verbunden sein. Beispielsweise kann hierfür wieder ein Lichtwellenleiter verwendet werden.
Unter einer „breitbandigen" kohärenten Lichtquelle ist dabei insbesondere eine Lichtquelle zu verstehen, welche Licht in einem Spektralbereich emittiert, welcher im ultravioletten und/oder sichtbaren und/oder infraroten Spektralbereich liegt, wobei die Breite des emittierten Spektrums vorzugsweise größer ist als 10 nm, insbesondere größer als 100 nm.
Die breitbandige kohärente Lichtquelle kann eine oder mehrere Lichtquellen umfassen. Insbesondere kann diese einen breitbandigen Laser, insbesondere einen Weißlichtlaser, umfassen. Zu diesem Zweck können beispielsweise mehrere Laserlichtquellen überlagert werden, insbesondere mittels einer geeigneten Vorrichtung zur Überlagerung der Strahlen der Laserlichtquellen (zum Beispiel eines oder mehrerer Strahlteiler). Weiterhin kann, alternativ oder zusätzlich, die breitbandige kohärente Lichtquelle auch einen Lichtwellenleiter mit einer spektral verbreiternden Dotierung und einen entsprechenden Pumplaser um- fassen, wobei die Dotierung insbesondere eine Seltenerd-Dotierung umfasst, insbesondere eine Dotierung mit ErNd, Yb, Ho und/oder eine Halbleiterdotierung, insbesondere eine Germanium-Dotierung. Derartige dotierte Lichtwellenleiter beziehungsweise Fasern sind dem Fachmann bekannt und bereits teilweise kommerziell erhältlich. Alternativ oder zusätzlich kann auch ein spektral verbreiternder Lichtwellenleiter verwendet werden, welcher eine entsprechende Strukturierung aufweist. Insbesondere kann es sich hierbei um einen Lichtwellenleiter handeln, welcher eine getaperte Faser, eine mikrostrukturierte Faser, eine photonische Kristallfaser, eine Holey-Faser, eine photonic-band-gap-Faser oder eine ähnliche Faser umfasst. Für derartige Faserlichtquellen kann beispielsweise auf DE 101 15 488 Al, DE 101 15 509 Al, DE 101 15 589 Al oder andere Druckschriften verwiesen werden. Insofern soll auf die genauere Ausgestaltung derartiger strukturierter Lichtwellenleiter zur Erzeugung eines breitbandigen Spektrums hier nicht weiter eingegangen werden.
Die einstellbare Lichtquelle in einer der beschriebenen Ausgestaltungen lässt sich in verschiedenen Bereichen der Naturwissenschaften, der Technik oder der Medizin nutzbrin- gend einsetzen. Auch hier machen sich wiederum die beschriebenen vorteilhaften Aspekte des akusto-optischen Filterelements positiv bemerkbar. So kann die einstellbare Lichtquelle insbesondere im Bereich der Spektroskopie gewinnbringend eingesetzt werden. Eine andere Anwendung, welche einen Schwerpunkt der vorliegenden Erfindung bildet, ist die Anwendung in einem Mikroskop zur Aufnahme von Bildinformationen einer Probe. Bei- spielsweise kann es sich dabei um eine biologische Probe, beispielsweise einen Gewebeschnitt eines menschlichen, tierischen oder pflanzlichen Gewebes handeln. Auch andere Arten von Proben sind jedoch einsetzbar, beispielsweise Proben aus den Bereichen der Materialwissenschaften oder andere Arten von Proben.
Das vorgeschlagene Mikroskop umfasst dementsprechend eine Strahloptik und eine einstellbare Lichtquelle in einer der beschriebenen Ausführungsformen. Das Mikroskop kann beispielsweise als gewöhnliches Lichtmikroskop ausgestaltet sein, wobei jedoch die Ausgestaltung als Scanmikroskop bevorzugt ist. Bei diesem Scanmikroskop kann es sich insbesondere um ein Punktscanmikroskop oder, besonders bevorzugt, um ein Zeilenscan- mikroskop handeln. Besonders bevorzugt ist dabei aufgrund der hohen Auflösung die Ausgestaltung als Konfokalmikroskop.
Die einstellbare Lichtquelle kann, in Alleinstellung oder in Kombination mit anderen Lichtquellen, in dem Mikroskop eingesetzt werden, um Anregungslicht zu erzeugen. Dabei ist, entsprechend der Ausgestaltung des Mikroskops, der Begriff „Anregungslicht" nicht lediglich dahingehend zu verstehen, dass die Probe von der einstellbaren Lichtquelle beziehungsweise dem von dieser einstellbaren Lichtquelle emittierten Lichtstrahl angeregt wird im Sinne einer Lumineszenz oder Phosphoreszenz. Auch andere Arten von Wechselwirkungen mit der Probe sind denkbar und von der vorgeschlagenen Anordnung umfasst, beispielsweise eine Anordnung, bei welcher das Detektionslicht von der Probe transmit- tiertes und/oder reflektiertes Anregungslicht umfasst.
Zur Trennung von Anregungslicht und Detektionslicht umfasst das Mikroskop in einer bevorzugten Ausgestaltung einen Strahlteiler mit einer Strahlteiler-Übertragungsfunktion. Dies bedeutet, dass die Trennung beziehungsweise die Trennungseffizienz von Detektions- und Anregungslicht durch den Strahlteiler abhängig ist von der Wellenlänge. Beispielsweise kann als Strahlteiler wiederum ein akusto-optisches Element verwendet werden, welches in diesem Fall als akusto-optischer Strahlteiler bezeichnet wird. Insbesondere kann auch ein akusto-optisches Filterelement gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche als Bestandteil eines derartigen akusto-optischen Strahlteilers eingesetzt werden.
In diesem Fall ist es bevorzugt, wenn die Übertragungsfunktion des akusto-optischen Filterelements der einstellbaren Lichtquelle, welche in dem Mikroskop eingesetzt wird, durch Einstellen des Raumfilterelements derart eingerichtet ist, dass die spektrale Breite des Ziellichtstrahls, welcher von der einstellbaren Lichtquelle erzeugt wird, kleiner ist als die spektrale Breite eines Hauptmaximums der Strahlteiler-Übertragungsfunktion. Beispielsweise kann, insbesondere wenn wiederum ein akusto-optisches Strahlteilerelement verwendet wird, dieses wiederum als Übertragungsfunktion eine sin2x/x2-Funktion aufweisen, wobei in diesem Fall vorzugsweise die spektrale Breite des Ziellichtstrahls kleiner gewählt wird als die spektrale Breite des Hauptmaximums der Strahlteilerübertragungsfunktion, vorzugsweise maximal so breit wie die Hälfte der spektralen Breite des Hauptmaximums der Strahlteiler-Übertragungsfunktion.
Neben einem Einsatz in dem Mikroskop kann ein akusto-optischer Strahlteiler, welcher ein akusto-optisches Filterelement in einer der oben beschriebenen Ausführungsvarianten umfasst, auch separat, unabhängig von dem Mikroskop eingesetzt werden. Beispielsweise kann, neben einem Einsatz in der Mikroskopie, auch ein Einsatz auf anderen Gebieten erfolgen, beispielsweise auf dem Gebiet der Laserspektroskopie. Die Vorteile eines derarti- gen akusto-optischen Strahlteilers mit modifizierbarer Übertragungsfunktion durch Verwendung eines Raumfilters sind identisch zu den oben beschriebenen Vorteilen, und es lässt sich auf diese Weise ein akusto-optischer Strahlteiler erzeugen, welcher eine Übertragungsfunktion mit einem schmalen Hauptmaximum und wenigen oder gar keinen Neben- maxima aufweist. Ausführungsbeispiele
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den Unteran- Sprüchen. Hierbei können die jeweiligen Merkmale für sich alleine oder zu mehreren in Kombination miteinander verwirklicht sein. Die Erfindung ist nicht auf die Ausführungsbeispiele beschränkt. Die Ausführungsbeispiele sind in den Figuren schematisch dargestellt. Gleiche Bezugsziffern in den einzelnen Figuren bezeichnen dabei gleiche oder funktionsgleiche beziehungsweise hinsichtlich ihrer Funktionen einander entsprechende EIe- mente.
Im Einzelnen zeigt:
Figur 1 ein Ausführungsbeispiel einer herkömmlichen Lichtquelle mit einem akusto- optischen Filterelement;
Figur 2 eine idealisierte Übertragungsfunktion eines herkömmlichen akusto-optischen Filterelements,
Figur 3 eine tatsächliche Übertragungsfunktion eines herkömmlichen akusto-optischen Filterelements bei fester Hochfrequenz;
Figur 4a ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Lichtquelle mit einem akusto-optischen Filterelement und einem Raumfilter;
Figur 4b eine Detaildarstellung des Bereichs A in Figur 4b;
Figur 5 a ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Lichtquelle mit einer optischen Faser;
Figur 5b eine Detaildarstellung des Bereichs B in Figur 5a;
Figur 6 ein drittes Ausführungsbeispiel einer einstellbaren Lichtquelle mit einer elektronischen Steuerung und einer Kalibrationsvorrichtung; Figur 7 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Konfokalmikroskops mit einer erfindungsgemäßen einstellbaren Lichtquelle und einem Strahlteilerelement; und
Figur 8 Übertragungsfunktionen der einstellbaren Lichtquelle und des Strahlteilerelements des Mikroskops gemäß Figur 7.
In Figur 1 ist ein dem Stand der Technik entsprechendes Ausführungsbeispiel einer einstellbaren Lichtquelle 110 schematisch dargestellt. Beispielsweise kann es sich dabei um eine einstellbare Lichtquelle 110 gemäß dem in DE 101 15 488 Al beschriebenen Ausführungsbeispiel handeln. Die einstellbare Lichtquelle 110 umfasst eine breitbandige kohärente Lichtquelle 112 und ein akusto-optisches Filterelement 114.
Bei der breitbandigen kohärenten Lichtquelle 112 kann es sich beispielsweise um einen Weißlichtlaser oder eine andere der oben beschriebenen breitbandigen Lichtquellen zur Erzeugung eines breitbandigen kohärenten Strahlenspektrums handeln, wie beispielsweise einen gepumpten Faserlaser. Auf die oben beschriebenen Möglichkeiten kann dabei Bezug genommen werden.
Die breitbandige kohärente Lichtquelle 112 erzeugt einen Eingangslichtstrahl, welcher in Figur 1 symbolisch mit der Bezugsziffer 116 bezeichnet ist. Dieser Eingangslichtstrahl 116, welcher ein breites Spektrum elektromagnetischer Strahlung umfasst, wird in das a- kusto-optische Filterelement 114 eingekoppelt.
Das akusto-optische Filterelement 114 umfasst einen akusto-optischen Kristall 118, welcher beispielsweise Tellurdioxid (Teθ2) in einem entsprechenden Schnitt umfassen kann. Zur optimalen Einkopplung des Eingangslichtstrahls 116 in den akusto-optischen Kristall 118 können weitere Elemente in der einstellbaren Lichtquelle 110 vorgesehen sein, beispielsweise Elemente, welche die Polarisationsrichtung des kohärenten Eingangslicht- Strahls 116 an die Ausrichtung des akusto-optischen Kristalls 118 anpassen (zum Beispiel λ/2-Plättchen oder ähnliche Elemente).
Weiterhin umfasst das akusto-optische Filterelement 114 einen akustischen Signalgeber
120, welcher häufig auch als Transducer bezeichnet wird. Dieser akustische Signalgeber 120 kann, wie oben beschrieben, zwei oder mehr Elektroden und ein Piezoelement, wel- ches zwischen diese Elektroden eingekoppelt ist, umfassen und ist mit einer Hochfrequenzquelle 122 gekoppelt. Diese Hochfrequenzquelle 122 ist in der Lage, um elektrische Signale im Bereich zwischen einigen kHz bis einigen hundert MHz an den akustischen Signalgeber 120 zu applizieren, in welchem diese in akustische Signale umgewandelt wer- den, welche wiederum in den akusto-optischen Kristall 118 eingekoppelt werden, um dort die oben beschriebenen akustischen Wellen zu erzeugen.
Das akusto-optische Filterelement 114 ist derart eingerichtet, dass der Eingangslichtstrahl 116 ausgangsseitig in zwei Lichtstrahlen aufgespalten wird: einen Transmissionslichtstrahl 124, welcher im Wesentlichen colinear zum Eingangslichtstrahl 116 verläuft und welcher beispielsweise durch einen Blocker geblockt werden kann oder welcher weiter genutzt werden kann. Weiterhin tritt ausgangsseitig aus dem akusto-optischen Kristall 118 ein Ziellichtstrahl 126 aus, welcher exakt die gewünschte Wellenlänge, welche aus dem Eingangslichtstrahl 116 abgetrennt werden soll, umfasst. Zwischen dem Transmissionslicht- strahl 124 und dem Ziellichtstrahl 126 besteht ein Winkelversatz, welcher in Figur 1 mit α bezeichnet ist und welcher eine entsprechende Trennung der Lichtstrahlen 124 und 126 ermöglicht. Der Ziellichtstrahl 126 kann somit einer bestimmten Verwendung zugeführt werden, beispielsweise einer Verwendung in der Mikroskopie, der Lichtmikroskopie und/oder der (konfokalen) Laserrastermikroskopie.
In Figur 2 ist ein Zusammenhang zwischen der eingekoppelten Hochfrequenz (dort mit RF bezeichnet) und der Wellenlänge λ des Ziellichtstrahls 126 in Figur 1 schematisch dargestellt. Es lässt sich erkennen, dass (zumindest innerhalb eines bestimmten Wellenlängenbereiches) eine eineindeutige Beziehung zwischen der eingekoppelten Hochfrequenz der Hochfrequenzquelle 122 und der Wellenlänge λ besteht. Bei einer bestimmten Anregungsfrequenz fo ® lässt sich in dieser idealisierten Darstellung exakt eine Wellenlänge λ0, fo aus dem Eingangslichtstrahl 116 als Ziellichtstrahl 126 auskoppeln.
Bei der in Figur 2 dargestellten idealisierten Beziehung zwischen der eingekoppelten akus- tischen Hochfrequenz und der Zielwellenlänge λ0 (beziehungsweise Zielfrequenz f0) des Ziellichtstrahls 126 sollte sich eigentlich bei einem Frequenzscan des Eingangslichtstrahls 116 in der Intensität des Ziellichtstrahls 126 bei einer festen Hochfrequenz fo eine δ- Funktion mit einem scharfen Peak bei der Zielwellenlänge λo beziehungsweise Zielfrequenz fo ergeben. Dies könnte (siehe unten) beispielsweise dadurch getestet werden, dass als Lichtquelle zur Erzeugung des Eingangslichtstrahls 116 anstelle der breitbandigen ko- härenten Lichtquelle 112 eine schmalbandige, durchstimmbare kohärente Lichtquelle eingesetzt würde. Als Beispiel derartiger Lichtquellen wären Farbstofflaser oder bestimmte Festkörperlaser zu nennen, welche anstelle von breitbandigem Licht monochromatisches Licht einer festen, durchstimmbaren Wellenlänge erzeugen. Durch Messung der Intensität des Ziellichtstrahls 126 ließe sich auf diese Weise eine Transmissionskurve beziehungsweise eine Übertragungsfunktion messen.
In Figur 3 ist ein noch idealisiertes, jedoch realistischeres Transmissionsspektrum des Ziellichtstrahls 126 bei einem derartigen Durchstimmen des Eingangslichtstrahls 116 darge- stellt. Aufgetragen ist die Transmission T als Funktion der Wellenlänge λ eines eingekoppelten, monochromatischen kohärenten Eingangslichtstrahls 116.
Deutlich ist zu erkennen, dass, anstelle der erwarteten Dirac' sehen δ-Funktion in der Übertragungsfunktion ein Hauptmaximum 128 und mehrere Nebenmaxima 130 auftreten. Die Nebenmaxima werden üblicherweise, entsprechend ihrer Entfernung zum Hauptmaximum 128, als Nebenmaxima L, 2. usw. Ordnung bezeichnet. Allgemein stellt die Übertragungsfunktion T(λ) beziehungsweise T(f) einen Verlauf einer sin2 x/x2-Funktion dar, was sich auch theoretisch begründen lässt. Gemessene Ausführungsbeispiele von Transmissionskurven akusto-optischer Elemente (dort akusto-optischer Strahlteilerelemente, bei denen ähnliche Übertragungsfunktionen auftreten) sind beispielsweise auch in EP 1 281 997 A2 dargestellt.
Bei Verwendung einer monochromatischen Lichtquelle zur Erzeugung des Eingangslichtstrahls 116 stellt die in Figur 3 dargestellte Übertragungsfunktion in der Regel keine Schwierigkeit dar. Problematisch ist diese Übertragungsfunktion jedoch, wenn, wie in Figur 1 dargestellt, das akustooptische Filterelement 114 in einer einstellbaren Lichtquelle 110 mit einer breitbandigen kohärenten Lichtquelle 112 verwendet wird. In diesem Fall umfasst das Spektrum des Eingangslichtstrahls 116 in der Regel auch Anteile im Bereich der Nebenmaxima 130, welche somit nach Passieren des akusto-optischen Filterelements 114 ebenfalls Bestandteil des Ziellichtstrahls 126 bilden. Für verschiedene Anwendungen, insbesondere im Bereich der Laserspektroskopie und/oder im Bereich der Mikroskopie, stellt dies ein erhebliches Problem dar, da diese unerwünschten spektralen Anteile des Ziellichtstrahls 126 beispielsweise unerwünschte atomare oder molekulare Übergänge anregen können oder sich, wie oben beschrieben und wie unten noch weiter ausgeführt wird, dem Detektionslicht in einem Detektor überlagern und somit die Signalqualität erheblich verschlechtern können.
In den Figuren 4a bis 6 sind daher Ausführungsbeispiele von einstellbaren Lichtquellen 110 dargestellt, welche erfindungsgemäß verbessert sind und welche ein akusto-optisches Filterelement 114 gemäß der Erfindung umfassen.
In allen Fällen umfassen die einstellbaren Lichtquellen 110 jeweils wiederum eine breit- bandige kohärente Lichtquelle 112, wobei auf die obige Beschreibung verwiesen werden kann. Diese breitbandige kohärente Lichtquelle 112 erzeugt jeweils einen Eingangslichtstrahl 116 mit einem breiten elektromagnetischen Spektrum. Dieser Eingangslichtstrahl 116 wird in das akusto-optische Filterelement 114 eingekoppelt.
Wiederum enthält das akusto-optische Filterelement 114 einen akusto-optischen Kristall 118. Nicht dargestellt in den Ausführungsbeispielen ist der akustische Signalgeber 120, welcher wiederum vorgesehen ist und welcher wiederum die Einkopplung akustischer Signale in den akusto-optischen Kristall 118 ermöglicht.
Die Kombination des akusto-optischen Kristalls 118 mit der Einkopplung einer akusti- sehen Welle ermöglicht wiederum die Separation eines Ziellichtstrahls 126, analog zur Darstellung in Figur 1. Weitere, vom Ziellichtstrahl 126 abgetrennte Lichtbestandteile, insbesondere der Transmissionslichtstrahl 124, sind in den Figuren 4a bis 6 zur Vereinfachung nicht dargestellt, da diese beispielsweise unmittelbar geblockt werden können.
Insofern entspricht der in den Figuren 4a bis 6 dargestellte Aufbau zunächst im Wesentlichen dem Aufbau gemäß Figur 1 und weist im Wesentlichen dieselbe Übertragungsfunktion auf.
Erfindungsgemäß ist jedoch zur „Bereinigung" der in Figur 3 dargestellten Übertragungs- funktion ein Raumfilterelement 132 vorgesehen. Dieses Raumfilterelement 132 basiert auf der Erkenntnis, dass sich die in Figur 3 im Frequenzbereich beziehungsweise Wellenlängenbereich dargestellte Übertragungsfunktion durch geeignete Abbildungsmaßnahmen in eine räumliche Übertragungsfunktion transformieren lässt. Eine derartige Transformation vom Frequenz- in den räumlichen Bereich, beispielsweise eine Fourier-Transformation, ist aus verschiedenen anderen Bereichen der Optik bekannt, beispielsweise aus dem Bereich der Holographie.
In Figur 4a ist ein erstes Ausführungsbeispiel dargestellt, wobei Figur 4b eine Detaildar- Stellung des Bereichs A in Figur 4a zeigt. Bei dem Aufbau in den Figuren 4a und 4b um- fasst das Raumfilterelement 132 zum Zweck der Transformation ein erstes Linsenelement 134, welches im Strahlengang des Ziellichtstrahls 126 hinter dem Ausgang des akusto- optischen Kristalls 118 angeordnet ist. Dieses erste Linsenelement 134, welches anstelle einer einzelnen Linse auch eine Kombination mehrerer Linsen umfassen kann, fokussiert den Ziellichtstrahl 126. In der Brennebene des ersten Linsenelements 134 ist eine Blende 136 angeordnet. Bei dieser Blende 136 kann es sich beispielsweise um eine rechteckförmi- ge Blende oder Schlitzblende handeln, welche vorzugsweise eine einstellbare Öffnungsbreite aufweist. An die Blende 136 schließt sich im Strahlengang ein zweites Linsenelement 138 an, welches den, nunmehr „auf gereinigten" Ziellichtstrahl 126 für eine weitere Verwendung wieder kollimiert.
Der räumliche Bereich A (Figur 4a) bzw. B (Figur 5a) um die Blende 136 herum ist in Figur 4b bzw. in Figur 5b jeweils nochmals in vergrößerter Detaildarstellung gezeigt. Dabei ist, wie oben beschrieben, zu erkennen, dass die Übertragungsfunktion, welche in Figur 3 im Frequenzbereich dargestellt ist, nunmehr in eine räumliche Übertragungsfunktion umgewandelt wurde, mit einem räumlichen Hauptmaximum 140 und mehreren räumlichen Nebenmaxima 142. Die Blende 136 wird in ihrer Öffnungsbreite derart eingestellt, dass diese aus der dargestellten Übertragungsfunktion vorzugsweise im Wesentlichen das räumliche Hauptmaximum 140 hindurchlässt, wohingegen die Nebenmaxima 142 im Wesentli- chen abgeschnitten werden. Auch andere Ausgestaltungen sind möglich, beispielsweise eine Ausgestaltung, bei der die Öffnungsbreite der Blende 136 derart gewählt wird, dass auch die ersten Nebenmaxima 142 hindurchgelassen werden, oder eine Ausgestaltung, bei welcher die Öffnungsweite derart eng gewählt wird, dass nicht nur die Nebenmaxima 142 abgeschnitten werden, sondern auch ein äußerer Teil des räumlichen Hauptmaximums 140. Die räumliche Intensitätsverteilung, welche ebenfalls einer sin2 x/x2-Funktion entspricht, kann, beispielsweise durch Ersetzen der Blende 136 durch einen Schirm, auch unmittelbar mit dem Auge oder einer Vergrößerungseinrichtung beobachtet werden, um dann die Blendenbreite entsprechend einzustellen. Die in Figur 4a dargestellte einstellbare Lichtquelle 110 kann insbesondere in der Mikroskopie, der Lichtmikroskopie und der (konfokalen) Laserrastermikroskopie eingesetzt werden. Mit Hilfe des akusto-optischen Filterelements 114 können (auch gleichzeitig) die Leistung und die Wellenlänge des ausgewählten Wellenlängenbandes des Ziellichtstrahls 126 variiert werden. Der Aufbau des akusto-optischen Filterelements 114 kann in ein (in den Figuren nicht dargestelltes) Gehäuse integriert werden und kann somit als selbstständige Einheit vertrieben werden. Insbesondere kann das akusto-optische Filterelement 114 auch in ein Gehäuse (ebenfalls nicht dargestellt) der einstellbaren Lichtquelle 110 und/oder in ein Gehäuse eines Mikroskops integriert werden.
Die Breite des ausgewählten Wellenlängenbereichs kann variiert werden, indem die Breite der Blendenöffnung der Blende 136 variiert wird. Alternativ oder zusätzlich kann auch die Linse 134 als Variooptik ausgestaltet sein. Die variable Blende 136 beziehungsweise die Variooptik kann auch mit einem Motor versehen werden und zum Beispiel über eine Soft- wäre angesteuert oder kontrolliert werden. Insbesondere kann es sinnvoll sein, die Breite des ausgewählten Wellenlängenbereichs in Abhängigkeit von einer Übertragungsfunktion nachgeschalteter Elemente einzustellen (siehe unten).
In Figur 5 a ist eine gegenüber Figur 4a leicht modifizierte erfindungsgemäße einstellbare Lichtquelle 110 dargestellt, welche, nachgeschaltet zum akusto-optischen Kristall 118, im Strahlengang des Ziellichtstrahls 126 wiederum ein Linsenelement 134 umfasst. Anstelle oder zusätzlich zu einer Blende 136 ist jedoch in diesem Ausführungsbeispiel ein Lichtwellenleiter 144 vorgesehen, bei welchem es sich vorzugsweise um eine Einmodenfaser handelt. Diese wirkt hier, in Zusammenwirkung mit dem Linsenelement 134, als Raumfil- terelement 132.
Wiederum ist eine Detaildarstellung des Bereichs B des Raumfilterelements 132 in Figur 5b vergrößert gezeigt. Dabei ist zu erkennen, dass wiederum die räumliche Intensitätsverteilung in der Brennebene des Lichtwellenleiters 144 auftritt. Dabei ist vorzugsweise das Faserende 146 in der Brennebene des Linsenelements 134 positioniert. Die Faser beziehungsweise der Lichtwellenleiter 144 weist eine Strukturierung mit einem Faserkern 148 und einem Fasermantel 150 auf. Da die Einkopplung im Wesentlichen in den Faserkern 148 erfolgen muss, wirkt die Öffnungsweite des Faserkerns 148 in diesem Ausführungsbeispiel ähnlich zur Blendenöffnung der Blende 136 im Beispiel gemäß den Figuren 4a und 4b. Somit wirkt das Faserende 146 gemeinsam mit der Linse 134 als Raumfilterelement 132.
In diesem Fall kann die Breite des ausgewählten Wellenlängenbereichs beispielsweise durch Verändern des Abstandes zwischen der Linse 134 und dem Faserende 146 in gewissem Maße eingestellt werden. Bevorzugt ist es jedoch, wenn das Linsenelement 134, wie oben beschrieben, als Variooptik ausgestaltet wird, das heißt als Linsenelement 134 mit variabler, vorzugsweise elektronisch (zum Beispiel über einen Motor) einstellbarer Brennweite. Wiederum ist eine Steuerung, zum Beispiel über eine entsprechende Software, so- wie eine entsprechende Kontrolle dieser Steuerung sinnvoll.
In Figur 6 ist ein drittes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen einstellbaren Lichtquelle 110 dargestellt. Die erfindungsgemäße Lichtquelle 110 ist im Wesentlichen aufgebaut gemäß dem Ausführungsbeispiel in Figur 4a, so dass weitgehend auf die Beschrei- bung zu dieser Figur verwiesen werden kann. Ein geringfügiger Unterschied besteht in der Tatsache, dass in diesem Fall die breitbandige kohärente Lichtquelle 112 mit dem akusto- optischen Filterelement 114 über einen Lichtwellenleiter in Form einer Faser 152 verbunden ist.
Weiterhin umfasst in dem in Figur 6 dargestellten Ausführungsbeispiel das akusto-optische Filterelement 114 eine elektronische Steuerung 154. Diese elektronische Steuerung 154 kann gleichzeitig auch als elektronische Steuerung für die breitbandige kohärente Lichtquelle 112 ausgestaltet sein. Sie kann insbesondere einen Mikroprozessor, Ein- und Ausgabemittel (wie beispielsweise eine entsprechende Schnittstelle zur Verbindung mit weite- ren Computersystemen und/oder elektronischen Komponenten) sowie weitere elektronische Komponenten zur Steuerung umfassen. Insbesondere kann, wie oben ausgeführt, in der elektronischen Steuerung auch ein elektronischer Speicher (zum Beispiel ein flüchtiger und/oder nicht flüchtiger Speicher) vorgesehen sein, in welchem beispielsweise eine oder mehrerer Kurvenverläufe der Transmissionsfunktionen gemäß der Figuren 3 und/oder der räumlichen Übertragungsfunktion gemäß dem Ausschnitt A bzw. B in den Figuren 4a bzw. 5 a gespeichert sein können. Entsprechend kann elektronisch dann beispielsweise die Öffnungsbreite der Blende 136 und/oder eine Brennweite der Linse 134 eingestellt werden, wenn eine bestimmte Filterung gewünscht ist. Dies kann beispielsweise an einem Bildschirm durch einen Benutzer erfolgen, welcher, zum Beispiel durch entsprechendes Setzen von Markierungen an einem Bildschirm, die Breite der Übertragungsfunktion einstellen kann.
Weiterhin umfasst das akusto-optische Filterelement 114 in dem Ausführungsbeispiel ge- maß Figur 6 eine Kalibrationsvorrichtung 156. Diese weist eine kohärente, durchstimmba- re Testlichtquelle 158 (zum Beispiel einen der oben beschriebenen durchstimmbaren Laser) zur Erzeugung eines kohärenten, schmalbandigen Testlichtstrahls 160, einen Strahlteiler 162 zur Einkopplung des Testlichtstrahls in den akusto-optischen Kristall 118, einen zweiten Strahl teuer 164 zur Auskopplung eines Detektionsstrahls 166 und einen Detektor 168 zur Detektion des Detektionsstrahls 166 auf. Die Steuerung 154 kann dementsprechend eingerichtet sein, um in einem Kalibrationsvorgang eine Übertragungsfunktion des akusto-optischen Filterelements 114 zu bestimmen. Dementsprechend kann beispielsweise die Testlichtquelle 158 bei einer festen vorgegebenen Hochfrequenz des akustischen Signalgebers 120 über einen bestimmten Wellenlängenbereich durchgestimmt werden, wobei über den Detektor 168 eine Intensität des Ziellichtstrahls 126 gemessen wird. Auf diese Weise kann beispielsweise eine Funktion gemäß Figur 3 ausgemessen werden. Entsprechend kann, beispielsweise ebenfalls durch die elektronische Steuerung 154, dann beispielsweise eine Breite der Blende 136 eingestellt werden, um diese Übertragungsfunktion zu beeinflussen.
Alternativ oder zusätzlich können auch bei einer festen Wellenlänge der Testlichtquelle 158 die eingekoppelten Hochfrequenzen verändert werden, wobei die Intensität des Ziellichtstrahls 126 gemessen wird. Auf diese Weise ermöglicht die einstellbare Lichtquelle 110 gemäß dem Ausführungsbeispiel in Figur 6 eine schnelle Kalibration und Einstellung der Übertragungsfunktion des akusto-optischen Filterelements 114, was somit problemlos auf übrige Komponenten des Gesamtsystems, in welchem die einstellbare Lichtquelle 110 eingesetzt wird, angepasst werden kann.
In Figur 7 ist ein mögliches System dargestellt, in dessen Rahmen eine erfindungsgemäße einstellbare Lichtquelle 110 beziehungsweise ein erfindungsgemäßes akusto-optisches Filterelement 114 eingesetzt werden kann. Dieses System ist in dem vorliegenden Fall als Mikroskop 170 ausgestaltet. Bei der hier dargestellten Ausführungsform handelt es sich bei dem Mikroskop 170 um ein konfokales Laserscan-Mikroskop, wobei, wie oben beschrieben, jedoch auch andere Ausführungsformen möglich sind, in deren Rahmen die Erfindung umsetzbar ist. Das Mikroskop 170 umfasst zunächst eine einstellbare Lichtquelle 110 gemäß dem Ausführungsbeispiel in Figur 4a. Der von dieser Lichtquelle 110 erzeugte Ziellichtstrahl 126 wird in einen Lichtwellenleiter 144 eingekoppelt und als Anregungslicht 172 über eine Strahlformungsoptik 176 (in Figur 7 lediglich angedeutet) einem Strahlteilerelement 174 zugeleitet.
Die Figur 7 zeigt somit ein Ausführungsbeispiel mit einer kombinierten Technik der Ausführungsbeispiele der Figuren 4a und 5a. Zum einen weist das Raumfilterelement 132 zwei Linsenelemente 134, 138 mit einer dazwischen angeordneten Blende 136 auf, zum anderen wird ein Lichtwellenleiter 144 verwendet. Alternativ wäre natürlich auch eine „Reinform" der Ausführungen des Raumfilterelements 132 gemäß einem der Beispiele der Figuren 4a oder 5a einsetzbar.
Über das Strahlteilerelement 174 wird in dem Mikroskop 170 das Anregungslicht 172 über eine Optik 178 auf eine Probe 180 geleitet. Dabei wird in dem in Figur 7 dargestellten Ausführungsbeispiel eine Scanvorrichtung 181 eingesetzt, um mittels des Anregungslichts 172 beispielsweise punktweise (Punktscanner) oder zeilenweise (Zeilenscanner) die Probe 180 mit dem Anregungslicht 172 abzutasten. Beispielsweise kann die Scanvorrichtung 181 einen oder mehrere Galvanometerspiegel umfassen.
Das dabei (beispielsweise über einen Fluoreszenzvorgang) von der Probe 180 emittierte Detektionslicht 182 wird am Strahlteilerelement 174 transmittiert und somit vom Anregungslicht 172 getrennt. An das Strahlteilerelement 174 schließt sich ein weiteres Linsen- System 184 mit einer Konfokalblende 186 an. Diese Konfokalblende 186 ist ein wesentliches Element des Konfokalaufbaus des Mikroskops 170 und trägt erheblich zur Verbesserung der Auflösung der Bildqualität bei.
Anschließend an das Linsensystem 184 umfasst das Mikroskop 170 einen Detektor 188, welcher das Detektionslicht 182 detektiert. Das Mikroskop 170 umfasst daneben weitere Komponenten, wie beispielsweise eine zentrale Steuerung, welche beispielsweise auch die elektronische Steuerung 154 der einstellbaren Lichtquelle 110 beziehungsweise des akus- to-optischen Filterelements 114 umfassen kann (siehe Figur 6). Diese, welche beispielsweise wiederum ein Computersystem umfassen kann, bewirkt eine Zusammensetzung des punktweise beziehungsweise zeilenweise aufgenommenen Bildes der Probe 180. Eine Herausforderung herkömmlicher Mikroskope 170 liegt insbesondere im Aufbau des Strahlteilerelements 174. Für dieses Strahlteilerelement 174 können verschiedene, aus dem Stand der Technik bekannte Elemente eingesetzt werden, wie beispielsweise dichroitische Spiegel, räumlich strukturierte Strahlteilerelemente oder ähnliche Strahlteilerelemente. In vielen Fällen werden jedoch in diesem Strahlteilerelement 174 wiederum akusto-optische Elemente eingesetzt, so dass das Strahl teilerelement 174 beispielsweise in dem in Figur 7 dargestellten Ausführungsbeispiel als akusto-optisches Strahlteilerelement 190 ausgestaltet sein kann. Ein Beispiel eines derartigen akusto-optischen Strahlteilerelements, welches wiederum durch einen Winkelversatz Strahlen unterschiedlicher Wellenlängen voneinander trennen kann, was dann die Strahlteilung ermöglicht, ist in EP 1 281 997 A2 dargestellt.
Eine Problematik derartiger Strahlteilerelemente, wie insbesondere akusto-optischer Strahlteilerelemente 190, besteht jedoch wiederum darin, dass diese eine Übertragungsfunktion mit einer charakteristischen Breite aufweisen. Zur Verdeutlichung der Vorteile der Verwendung einer erfindungsgemäßen einstellbaren Lichtquelle 110 beziehungsweise eines akusto-optischen Filterelements 114 sei auf die Darstellung in Figur 8 verwiesen. In dieser Darstellung sind typische Übertragungsfunktionen dargestellt, wobei die Kurve 192 die Übertragungsfunktion des akusto-optischen Filterelements 114 bezeichnet (welche im Wesentlichen der Übertragungsfunktion gemäß Figur 3 entspricht), und die Kurve 194 die Übertragungsfunktion des akusto-optischen Strahlteilerelements 190.
Dabei ist zu erkennen, dass die Übertragungsfunktion 194 des akusto-optischen Strahltei- lerelements 190 wesentlich breiter ist (in Figur 8 mit BBS bezeichnet), die Übertragungs- funktion 192 des akusto-optischen Filterelements 114 hingegen erheblich schmaler (in Figur 8 mit BTF bezeichnet). Als „Breite" wurde dabei jeweils der Abstand zwischen den ersten Minima um die Hauptmaxima 128 herum bezeichnet. Auch andere Definitionen der „Breite" wären möglich, beispielsweise eine Halbwertsbreite.
Deutlich erkennbar ist, dass die Nebenmaxima 130 dieser „unbereinigten" Übertragungsfunktion 192 des akusto-optischen Filterelements 114 außerhalb des Hauptmaximums der Übertragungsfunktion 194 des akusto-optischen Strahlteilerelements 190 liegen. Dies bedeutet jedoch, dass Anteile des Anregungslichts 172, welche zur Probe 180 gelangen und von dieser reflektiert werden, am akusto-optischen Strahlteilerelement 190 auf dem „Rückweg" nicht wieder in Richtung der Lichtquelle 110 abgelenkt und somit vom Detektor 188 ferngehalten werden, sondern im Wesentlichen ungehindert zum Detektor 188 gelangen können. In Anbetracht der Tatsache, dass in vielen Fällen das eigentliche Detekti- onslicht 182 um Größenordnungen schwächer ist als das Anregungslicht 172, stellt dies eine erhebliche Problematik der Detektion des eigentlichen Detektionslichts 182 dar.
Mittels des in Figur 7 dargestellten akusto-optischen Filterelements 114 lässt sich jedoch das Anregungslicht 172 der einstellbaren Lichtquelle 110 derart einstellen, dass dieses im Bereich der ersten Nebenminima abgeschnitten wird. Dies bedeutet insbesondere, dass bei dem in Figur 8 symbolisch dargestellten Spektrum lediglich das Hauptmaximum 128 noch im Anregungslicht 172 enthalten ist. Üblicherweise wird die Übertragungsfunktion des akusto-optischen Filterelements 114 derart eingestellt, dass die Breite BTF gerade die Hälfte der Breite BBS beträgt, was eine wirksame Unterdrückung des Anregungslichtanteils im Detektionslicht 182 bedeutet. Auf diese Weise lässt sich die Qualität der mit dem Mikro- skop 170 aufgenommenen Bildinformationen der Probe 180 erheblich verbessern. Insbesondere lassen sich Bildkontraste und Signal-zu-Rausch- Verhältnisse optimieren, was beispielsweise neue Anwendungsmöglichkeiten eröffnet.
In dem in Figur 7 dargestellten Ausführungsbeispiel umfasst das Mikroskop 170 somit zwei akusto-optische Elemente, nämlich das akusto-optische Filterelement 114 und das akusto-optische Strahlteilerelement 190. Alternativ oder zusätzlich zur Verwendung eines Raumfilterelements 132 im akusto-optischen Filterelement 114 der einstellbaren Lichtquelle 110 lässt sich ein akusto-optisches Filterelement 114 mit einem Raumfilterelement 132 auch im akusto-optischen Strahlteilerelement 190 einsetzen. Zu diesem Zweck kann, wie in Figur 7 schematisch angedeutet, auch das akusto-optische Strahlteilerelement 190 mit einem Raumfilterelement 132 ausgestaltet werden, welches in diesem Ausführungsbeispiel zusätzlich im Strahlengang zwischen dem akusto-optischen Strahlteilerelement 190 und der Scanvorrichtung 181 eingebracht ist.
Beispielsweise kann das akusto-optische Strahlteilerelement 190 ausgestaltet sein wie in EP 1 281 997 A2 beschrieben, also wiederum einen akusto-optischen Kristall 118 mit einem akustischen Signalgeber 120 umfassen. Diesem akusto-optischen Kristall 118 nachgeschaltet kann dann wiederum ein Raumfilterelement 132 eingesetzt werden, beispielsweise wiederum ein Raumfilterelement, welches Linsenelemente 134, 138 aufweist (wobei ins- besondere ein einzelnes Linsenelement 134 ausreichen würde), sowie eine Blende 136. In diesem Fall würde die Effizienz der Strahlteilung durch das akusto-optische Strahlteilerelement 190 beziehungsweise dessen Übertragungsfunktion derart eingeschränkt, dass lediglich Anregungslicht 172 innerhalb eines schmalen Wellenlängenbereichs um die Zielwellenlänge λo herum zur Probe 180 gelangt, nicht hingegen Anregungslicht 172 mit wei- ter von der Zielwellenlänge λo entfernten spektralen Anteilen, welche auf dem „Rückweg" von der Probe 180 vom akusto-optischen Strahlteilerelement 190 lediglich ungenügend abgelenkt und somit vom Detektor 188 ferngehalten würden. Auch auf diese Weise lässt sich, alternativ oder zusätzlich, die Idee des akusto-optischen Filterelements 114 mit dem Raumfilterelement 132 vorteilhaft einsetzen und zur Verbesserung der Bildqualität nutzen.
Bezugszeichenliste
110 einstellbare Lichtquelle
112 breitbandige kohärente Lichtquel
Ie
114 akusto-optisches Filterelement
116 Eingangslichtstrahl
118 akusto-optischer Kristall
120 akustischer Signalgeber
122 Hochfrequenzquelle
124 Transmissionslichtstrahl
126 Ziellichtstrahl
128 Hauptmaximum
130 Nebenmaxima
132 Raumfilterelement
134 erstes Linsenelement
136 Blende
138 zweites Linsenelement
140 räumliches Hauptmaximum
142 räumliche Nebenmaxima
144 Lichtwellenleiter
146 Faserende
148 Faserkern
150 Fasermantel
152 Faser
154 elektronische Steuerung
156 Kalibrationsvorrichtung
158 Testlichtquelle
160 Testlichtstrahl
162 Strahlteiler
164 Strahlteiler
166 Detektions strahl
168 Detektor
170 Mikroskop 172 Anregungslicht
174 Strahlteilerelement
176 Strahlformungsoptik
178 Optik
180 Probe
181 Scanvorrichtung
182 Detektionslicht 184 Linsensystem
186 Konfokalblende
188 Detektor
190 akusto-optisches Strahlteilerelement
192 Übertragungsfunktion AOTF
194 Übertragungsfunktion AOBS

Claims

Patentansprüche
1. Akusto-optisches Filterelement (114), umfassend einen akusto-optischen Kristall (118) mit einem akustischen Signalgeber (120) zur Erzeugung akustischer Signale in dem akusto-optischen Kristall (118), wobei der akusto-optische Kristall (118) eingerichtet ist, um entsprechend einer an den akustischen Signalgeber (120) applizierten Hochfrequenz selektiv Licht einer Zielwellenlänge aus einem in den akusto- optischen Kristall (118) eintretenden Eingangslichtstrahl (116) räumlich abzulenken und einen Ziellichtstrahl (126) mit der Zielwellenlänge zu erzeugen, gekennzeichnet durch ein im Ziellichtstrahl (126) angeordnetes Raumfilterelement (132), wobei das Raumfilterelement (132) ausgestaltet ist, um in einer Ebene senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des Ziellichtstrahls (126) selektiv die Intensität des Ziellichtstrahls (126) zu unterdrücken.
2. Akusto-optisches Filterelement (114) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Raumfilterelement (132) ein Linsenelement (134, 138) umfasst.
3. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der beiden vorhergehenden An- sprüche, wobei das Linsenelement (134, 138) ein Linsenelement (134, 138) mit einer variablen Brennweite, insbesondere mit einer motorisch und/oder elektronisch einstellbaren Brennweite, umfasst.
4. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Raumfilterelement (132) eine Blende (136) umfasst.
5. Akusto-optisches Filterelement (114) nach den beiden vorhergehenden Ansprüchen, wobei die Blende (136) zumindest näherungsweise in einer Brennebene des Linsenelements (134, 138) angeordnet ist.
6. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei die Blende (136) mindestens eine der folgenden Blenden umfasst: eine Schlitzblende, eine quadratische Blende, eine Rechteckblende, eine Kreisblende, eine Irisblende.
7. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, wobei die Blende (136) eine einstellbare Blende (136) umfasst, insbesondere eine Blende (136) mit einer elektronisch einstellbaren Öffnung.
8. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Raumfilterelement (132) einen Lichtwellenleiter (144) und ein zwischen einem Ende (146) des Lichtwellenleiters (144) und dem akusto-optischen Kristall (118) angeordnetes Linsenelement (134, 138) umfasst, welches eingerichtet ist, um einen Teil des Ziellichtstrahls in (126) das Ende (146) des Lichtwellenleiters (144) einzukoppeln.
9. Akusto-optisches Filterelement (114) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei der Lichtwellenleiter (144) eine Einmodenfaser umfasst.
10. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei ein Abstand und/oder eine Ausrichtung des Linsenelements (134, 138) relativ zum Ende (146) des Lichtwellenleiters (144) einstellbar ist, vorzugsweise elektronisch einstellbar ist.
11. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Raumfilterelement (132) derart eingestellt ist, dass Nebenmaxima einer höheren Ordnung als 2 einer räumlichen Intensitätsverteilung des Ziellichtstrahls (126) unterdrückt werden.
12. Akusto-optisches Filterelement (114) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei zusätzlich Nebenmaxima der 1. Ordnung unterdrückt werden, derart, dass lediglich das Hauptmaximum der räumlichen Intensitäts Verteilung des Ziellichtstrahls (126) transmittiert wird.
13. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin umfassend eine elektronische Steuerung (154), welche eingerichtet ist, um das Raumfilterelement (132) zu steuern.
14. Akusto-optisches Filterelement (114) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die elektronische Steuerung (154) weiterhin eingerichtet ist, um die Zielwellenlänge einzustellen.
15. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei die elektronische Steuerung (154) weiterhin einen elektronischen Speicher umfasst, wobei eine Kurvenform einer räumlichen Intensitätsverteilung des Ziellichtstrahls (126) in dem elektronischen Speicher hinterlegt ist.
16. Akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin umfassend eine Kalibrationsvorrichtung (156), wobei die Kalibrationsvor- richtung (156) eine durchstimmbare kohärente Testlichtquelle (158) und einen Detektor (168) umfasst, und wobei die Kalibrationsvorrichtung (156) eingerichtet ist, um mindestens eine der folgenden Kalibrationsprozeduren zur Ermittlung einer Ü- bertragungsfunktion des akusto-optischen Filterelements (114) durchzuführen:
- bei einer festen Hochfrequenz des akustischen Signalgebers (120) wird die Wellenlänge der Testlichtquelle (158) verändert und die Intensität des Ziellichtstrahls (126) gemessen;
- bei einer festen Wellenlänge der Testlichtquelle (158) wird die Hochfrequenz des akustischen Signalgebers (120) verändert und die Intensität des Ziellichtstrahls
(126) gemessen.
17. Einstellbare Lichtquelle (110), umfassend eine breitbandige kohärente Lichtquelle (112) sowie ein akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die breitbandige kohärente Lichtquelle (112) eingerichtet ist, um den Eingangslichtstrahl (116) des akusto-optischen Filterelements (114) zu erzeugen.
18. Einstellbare Lichtquelle (110) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die breitbandige kohärente Lichtquelle (112) mindestens eine der folgenden Lichtquellen um- fasst: einen breitbandigen Laser, insbesondere einen Weißlichtlaser; mehrere Laserlichtquellen und eine Vorrichtung zur Überlagerung der Strahlen der Laserlichtquellen; einen Lichtwellenleiter mit einer spektral verbreiternden Dotierung und einem Pumplaser, wobei die Dotierung insbesondere eine Seltenerd-Dotierung umfasst, insbesondere eine Dotierung mit Er, Nd, Yb, Ho, und/oder eine Halbleiterdotierung, insbesondere eine Ge-Dotierung; einen spektral verbreiternden Lichtwellenleiter, insbesondere mit einer getaperten Faser, einer mikrostrukturierten Faser, einer photonischen Kristallfaser, einer Holey-Faser, einer photonic-band-gap-Faser.
19. Mikroskop (170) zur Aufnahme von Bildinformationen einer Probe (180), umfassend eine Strahloptik (176, 178, 184) und eine einstellbare Lichtquelle (110) nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche.
20. Mikroskop (170) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei das Mikroskop (170) als Scanmikroskop, insbesondere als Zeilenscanmikroskop, ausgestaltet ist.
21. Mikroskop (170) nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei das Mikroskop (170) als Konfokalmikroskop ausgestaltet ist.
22. Mikroskop (170) nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, umfassend einen Strahlteiler (174) zur Trennung von Anregungslicht und Detektions licht, wobei der
Strahlteiler (174) eine Strahlteiler-Übertragungsfunktion (194) aufweist, wobei die Übertragungsfunktion (194) des akusto-optischen Filterelements (114) der einstellbaren Lichtquelle (110) durch Einstellen des Raumfilterelements (132) derart eingerichtet ist, dass die spektrale Breite des Ziellichtstrahls (126) kleiner ist als die spekt- rale Breite eines Hauptmaximums der Strahlteiler-Übertragungsfunktion (194).
23. Mikroskop (170) nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die spektrale Breite des Ziellichtstrahls (126) der einstellbaren Lichtquelle (110) maximal so breit gewählt ist wie die Hälfte der spektralen Breite des Hauptmaximums der Strahlteiler- Übertragungsfunktion (194).
24. Mikroskop (170) nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei der Strahlteiler (174) einen akusto-optischen Strahlteiler (190) umfasst.
25. Akusto-optischer Strahlteiler (190), umfassend ein akusto-optisches Filterelement (114) nach einem der vorhergehenden, ein Akusto-optisches Filterelement (114) betreffenden Ansprüche.
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