EP2144715A1 - Ultraschallwandler-array für anwendungen in gasförmigen medien - Google Patents
Ultraschallwandler-array für anwendungen in gasförmigen medienInfo
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- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 5
- 238000004049 embossing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000003491 array Methods 0.000 description 6
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 3
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000011149 active material Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0688—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF
- B06B1/0692—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF with a continuous electrode on one side and a plurality of electrodes on the other side
Definitions
- the layer of the piezoelectrically active, cellular electret material is preferably formed by a foil of this material.
- a layer structure of a plurality of superimposed layers or films of a use such electret material.
- An example of a suitable electret material is porous polypropylene.
- One or both electrode structures for the formation of the individual transducer elements are in this case preferably applied directly to the layer of the
- the proposed ultrasonic array can have different geometries and, for example, be designed as a linear array, as a phased array, as a curved array or as a circular array.
- the transducer elements or electrode elements of the array can be curved to allow the beam
- FIG. 3 shows an example of a device for directional radiation and / or for the directional reception of ultrasonic waves with an ultrasonic transducer array according to the present invention
- Example 32 includes finger-shaped electrode elements 3, which are arranged side by side. Through these 32 electrode elements 3, the active aperture of the Ultrasonic transducer arrays formed. Each individual electrode element 3 is electrically contactable via a supply line 7 from the outside independently of the respective other electrode elements. On the back side of the electret film 1, the counterelectrode 4 is applied over its entire area in this example, which is also indicated in FIG.
- FIG. 2 shows by way of example a cross section through such an ultrasonic transducer array in a schematic representation.
- the electret film 1 and the upper 2 and lower electrode structure 4 can be seen.
- the ultrasonic transducer array is designed for an ultrasonic frequency of 250 kHz. This corresponds to an ultrasonic wavelength in air of 1.4 mm.
- the pitch of the electrode elements 3 was set to be less than half the wavelength at 0.5 mm.
- Electrode elements 3 is 0.1 mm and the length of the elements is 10 mm.
- the production of the electrode structure of Figure 1 on the electret film 1 was carried out by sputtering and subsequent etching.
- the cellular electrophotme 1 was mounted on a ceramic substrate having a flat surface.
- a chromium adhesion layer was first sputtered onto the surface of the electret film 1.
- a gold layer was deposited by sputtering on this adhesion layer.
- the electrode structure exposed.
- the counter electrode 4 was applied in the same way to the front side of the electret film 1 and structured to form active finger electrodes.
- the electret film 1 must additionally be charged in the area of the active aperture.
- different techniques are possible, which are known in the art.
- a simple corona poling method was used in which the electret film 1 is exposed to a field strength below the breakdown voltage for a short time.
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Ultraschallwandler-Array, das wenigstens eine Schicht (1) aus einem piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretmaterial zwischen einer ersten (2) und einer zweiten Elektrodenstruktur (4) aufweist. Die erste Elektrodenstruktur (2) ist aus mehreren unabhängig voneinander adressierbaren Elektrodenelementen (3) gebildet, durch die jeweils in Verbindung mit der zweiten Elektrodenstruktur (4) lokale Dickenschwingungen der Schicht (1) oder von Poren in der Schicht (1) mit Frequenzen im Ultraschallbereich erzeugbar und/oder detektierbar sind. Das vorgeschlagene Ultraschallwandler-Array lässt sich vorteilhaft für Anwendungen in gasförmigen Medien einsetzen, lässt sich einfach herstellen und ermöglicht einen phasengesteuerten Betrieb für eine gerichtete Ultraschallabstrahlung und einen gerichteten Ultraschallempfang.
Description
Ultraschallwandler-Array für Anwendungen in gasförmigen Medien
Technisches Anwendungsgebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Ultra- schallwandler-Array für Anwendungen in gasförmigen Medien, bei dem die Ultraschallwellen über eine Dickenschwingung eines piezoelektrisch aktiven Materials erzeugt und/oder detektiert werden.
Ultraschallwandler-Arrays lassen sich vor allem in Bereichen einsetzen, in denen asymmetrische Schallfelder benötigt werden oder eine scannende Bewegung eines Ultraschallstrahls für eine Objekt-, Flächenoder Volumenabtastung erforderlich ist. Gerade für Anwendungen in gasförmigen Medien, wie bspw. Luft, stehen jedoch bisher noch keine kompakten Ultraschallwandler-Arrays zur Verfügung, die einfach aufgebaut sind und keine mechanisch beweglichen Teile umfassen. Dies betrifft bspw. Gebiete wir die Objekterkennung, die Entfernungsmessung oder die Inspektion.
Stand der Technik
Für Anwendungen in gasförmigen Medien sind unterschiedliche Funktionsprinzipien für Ultraschall - wandler bekannt. In der Regel werden hierfür Ultraschallwandler aus piezoelektrischen keramischen Scheiben eingesetzt, die ein oder mehrere Anpassungs- schichten aufweisen und zur Abstrahlung von Ultraschall in radiale Resonanzschwingungen versetzt werden. Ein
weiteres bekanntes Funktionsprinzip nutzt Biegeschwingungen einer Sandwichstruktur aus keramischen und metallischen Schichten.
Ein grundsätzliches Problem derartiger Ultraschallwandler besteht darin, dass sie zur Erzeugung von Ultraschall, bspw. im Bereich von 250 kHz, relativ große laterale Dimensionen relativ zur Wellenlänge der erzeugten Ultraschallwellen aufweisen. Für die Realisierung eines phasengesteuerten Arrays (phased array) müsste die Größe der Wandlerelemente allerdings im Bereich einer halben Wellenlänge liegen. Zur Realisierung eines linearen Arrays müsste die Größe der Wandlerelemente das ein- bis dreifache der Wellenlänge betragen. Diese geringen Größen lassen sich mit den oben angeführten Ultraschallwandler-Technologien nicht realisieren. Eine scannende Betriebsweise erfordert daher eine mechanische Rotation oder Bewegung der einzelnen Wandlerelemente. Die vor allem durch die Anpassungsschichten bedingte Größe auf der einen Seite sowie die mechanische Bewegung der Wandlerelemente auf der anderen Seite schließt einen Einsatz derartiger Ultraschallwandler für zahlreiche Anwendungen aus.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Ultraschallwandler-Array für Anwendungen in gasförmigen Medien anzugeben, das einen kompakten und einfachen Aufbau aufweist, ohne mechanisch bewegliche Elemente auskommt und sich als lineares oder phasen- gesteuertes Array realisieren lässt.
Darstellung der Erfindung
Die Aufgabe wird mit dem Ultraschallwandler-Array gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen des Ultraschallwandler-Arrays sind Gegen- stand der abhängigen Patentansprüche oder lassen sich der nachfolgenden Beschreibung sowie dem Ausführungs- beispiel entnehmen.
Das vorgeschlagene Ultraschallwandler-Array umfasst wenigstens eine Schicht aus einem piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretmaterial zwischen zwei Elektrodenstrukturen. Die erste Elektrodenstruktur ist dabei aus mehreren unabhängig voneinander adressierbaren bzw. ansteuerbaren Elektrodenelementen gebildet . Durch diese Elektrodenelemente in Verbindung mit der auf der gegenüberliegenden Seite der piezoelektrisch aktiven Schicht angeordneten zweiten Elektrodenstruktur lassen sich lokale Dickenschwingungen der Schicht oder von Poren in der Schicht mit Frequenzen im Ultraschallbereich erzeugen und/oder detektieren. Die zweite Elektrodenstruktur dient hierbei als Gegenelektrode zur ersten Elektrodenstruktur. Die Anregung der Dickenschwingungen erfolgt in bekannter Weise durch geeignete Spannungs- Signale, die zwischen den beiden Elektrodenstrukturen bzw. zwischen den jeweiligen Elektrodenelementen und der Gegenelektrode angelegt werden. Diese Spannungssignale erzeugen die lokalen Dickenschwingungen des piezoelektrisch aktiven Materials oder der Poren in diesem Material, die wiederum die Abstrahlung von Ultraschallwellen bewirken. Bei eintreffenden Ultraschallwellen wird die piezoelektrisch aktive Schicht durch die Ultraschallwellen zu Dicken-
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schwingungen angeregt, die in entsprechende elektrische Signale an den Elektrodenstrukturen gewandelt werden. Dieses Prinzip der Ultraschallwandlung ist dem Fachmann bekannt .
Die Erfinder des vorliegenden Ultraschallwandler- Arrays haben erkannt, dass durch Einsatz einer vorzugsweise zusammenhängenden Schicht aus einem piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretmaterial ein Ultraschallwandler-Array für gasförmige Medien erhalten werden kann, das ohne mechanisch bewegliche Teile auskommt und bei dem die einzelnen Wandlerelemente mit sehr geringen Abmessungen gebildet werden können. Die Wandlerelemente werden hierbei in erster Linie durch die Dimensionen der Elektrodenelemente der Elektrodenstruktur in der Größe festgelegt . Die Elementgröße kann ohne weiteres bis auf den Größenbereich der Ultraschallwellenlänge oder darunter und selbstverständlich auf darüber gewählt werden, bspw. im Bereich zwischen 0,1 bis 100 Wellenlängen der mit den Wandlerelementen erzeugbaren oder empfangbaren Ultraschallwellen. Damit können in einfacher Weise lineare oder phasengesteuerte Ultraschallwandler-Arrays erhalten werden, die sich aufgrund des piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretmaterials ohne zusätzliche Anpassschichten für Anwendungen in gasförmigen Medien eignen.
Die Schicht aus dem piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretmaterial ist vorzugsweise durch eine Folie aus diesem Material gebildet. Selbstverständlich lässt sich auch eine Schichtstruktur aus mehreren übereinander liegenden Schichten oder Folien eines
derartigen Elektretmaterials einsetzen. Ein Beispiel für ein geeignetes Elektretmaterial ist poröses Polypropylen. Eine oder beide Elektrodenstrukturen für die Bildung der einzelnen Wandlerelemente werden hierbei vorzugsweise direkt auf die Schicht aus dem
Elektretmaterial aufgebracht . Dies kann durch bekannte Abscheideverfahren für metallische Schichten erfolgen, bspw. mittels CVD (CVO: Chemical Vapor Deposition) oder durch Sputtern jeweils mit nachfolgender photolitho- graphischer Strukturierung.
Die einzelnen Elektrodenelemente können hierbei, je nach gewünschter Abstrahlcharakteristik, in beliebiger geometrischer Form gewählt werden. Für die Bildung eines linearen Arrays werden vorzugsweise fingerförmige Elektrodenelemente gebildet, die parallel nebeneinander angeordnet sind. Selbstverständlich lassen sich auch andere, bspw. zirkuläre Anordnungen realisieren.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung weist die Schicht Vertiefungen zwischen den Elektrodenelementen auf. Diese Vertiefungen können beispielsweise durch Prägen, Einschneiden oder Durchtrennen der Schicht zwischen den Elektrodenelementen erzeugt werden und bewirken eine verringerte Schallkopplung zwischen den einzelnen Elektrodenelementen.
Durch An- oder Abschalten einzelner Elektroden- elemente oder Gruppen von Elektrodenelementen können Subaperturen zur Ultraschallabstrahlung oder zum Ultraschallempfang gebildet werden. Es ist damit auch möglich, einen Ultraschallstrahl durch phasenge-
steuertes Anregen zu schwenken oder zu fokussieren. Weiterhin können auch spezielle Ultraschallkeulenformen, bspw. eine asymmetrische Form der Schallkeule, durch geeignete Ansteuerung der einzelnen Elektroden- elemente gebildet werden. Die Anzahl der Elemente kann je nach Anwendung beliebig gewählt werden.
Für einen Betrieb des Ultraschallwandler-Arrays sind die Elektrodenstrukturen mit einer Ansteuereinheit verbunden, über die der phasengesteuerte Betrieb oder die An- und Abschaltung einzelner Elektrodenelemente oder Gruppen von Elektrodenelementen ebenso wie die Ansteuerung zur Bildung bestimmter Schallkeulenformen vorgenommen wird. Diese Ansteuereinheit dient einer geeigneten zeitlichen Ansteuerung bzw. einem geeigneten zeitlichen Auslesen der einzelnen Elektrodenelemente.
Die zweite Elektrodenstruktur, durch die die Gegenelektrode (n) für die Elektrodenelemente der ersten Elektrodenstruktur gebildet wird, ist vorzugsweise vorderseitig auf die Schicht oder Schichtfolge aus dem piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretmaterial aufgebracht. Selbstverständlich kann sowohl zwischen der ersten Elektrodenstruktur und der Schicht aus dem Elektretmaterial als auch zwischen der zweiten Elektrodenstruktur und der Schicht aus dem Elektretmaterial auch eine Zwischenschicht oder Zwischenschichtstruktur vorhanden sein, die jedoch die bestimmungsgemäße Funktion des Ultraschallwandlers nicht stören darf. Die zweite Elektrodenstruktur kann dabei eine vollflächige, d.h. zusammenhängende, Schicht eines elektrisch leitfähigen Materials sein. Weiterhin ist es möglich, die zweite Elektrodenstruktur in gleicher Weise wie die
erste Elektrodenstruktur mit mehreren Elektrodenelementen auszubilden, so dass bspw. jedem Elektrodenelement der ersten Elektrodenstruktur ein Elektrodenelement der zweiten Elektrodenstruktur gegenüber liegt. Die beiden Elektrodenstrukturen können dabei identisch aufgebaut sein. Dies ist jedoch nicht in jedem Falle erforderlich.
Das vorgeschlagene Ultraschallwandler-Array lässt sich vorteilhaft für den Betrieb im Ultraschallbereich zwischen 50 und 500 kHz auslegen, in dem viele Anwendungen in gasförmigen Medien, insbesondere in Luft, möglich sind. Das Ultraschall-Array eignet sich bspw. als phasengesteuertes Array für Anwendungen wie die Oberflächen- oder Profilvermessung, Zugangskontrolle, Roboterführung usw. und lässt sich auch in rauen industriellen Umgebungen oder in sehr reinen medizinischen oder klinischen Umgebungen einsetzen.
Das vorgeschlagene Ultraschall-Array kann unterschiedliche Geometrien aufweisen und bspw. als lineares Array, als phasengesteuertes Array, als gekrümmtes Array oder als zirkuläres Array ausgebildet sein. Die Wandlerelemente bzw. Elektrodenelemente des Arrays können gekrümmt ausgeführt sein, um die Strahl-
Charakteristiken zu optimieren. Weiterhin können die einzelnen Wandlerelemente oder Elektrodenelemente unterschiedliche Geometrien ihrer Öffnung oder Querschnittfläche aufweisen, bspw. rechteckig oder oval.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Das vorgeschlagene Ultraschallwandler-Array wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels in Verbindung mit den Zeichnungen nochmals näher erläutert. Hierbei zeigen:
Fig. 1 ein Beispiel für eine Ausgestaltung der ersten Elektrodenstruktur auf dem vorgeschlagenen Ultraschallwandler-Array;
Fig. 2 schematisch den Aufbau des vorgeschlagenen Ultraschallwandler-Arrays im Querschnitt;
Fig. 3 ein Beispiel für eine Vorrichtung zur gerichteten Abstrahlung und/oder zum gerichteten Empfang von Ultraschallwellen mit einem Ultraschallwandler-Array gemäß der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 4 ein Beispiel für Vertiefungen zwischen den Elektrodenelementen.
Wege zur Ausführung der Erfindung
Im vorgeschlagenen Ultraschallwandler-Array wird eine Schicht aus einem piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretmaterial zwischen den Elektrodenstrukturen eingesetzt. Ein derartiges Material, wie bspw. zelluläres PVDF (Polyvinylidenfluorid) oder poröses Polypropylen, ist bereits gut an die Schall- impedanz von Luft angepasst und lässt sich bspw. mit einfachen Film-Extrusionstechniken herstellen. Im nachfolgenden Beispiel wurde ein piezoelektrisch aktives, zelluläres Polypropylen mit einer Foliendicke
von 50 μm eingesetzt. Über die Foliendicke lässt sich die mittlere Resonanzfrequenz einstellen, mit der die Dickenschwingungen ausgeführt werden. Dies entspricht bei der eingesetzten Folie einer Ultraschallfrequenz von ca. 250 kHz während bspw. eine 35 μm dicke Folie eine mittlere Resonanzfrequenz im Bereich von ca. 325 kHz aufweist.
Für die Bereitstellung eines phasengesteuerten Ultraschallwandler-Arrays müssen die Mittenabstände der einzelnen Wandlerelemente, im vorliegenden Fall der Elektrodenelemente der Elektrodenstruktur, einen Wert aufweisen, der ungefähr der halben Wellenlänge der Ultraschallwellen entspricht, die abgestrahlt oder empfangen werden sollen. Durch diese geringen Abmessungen eines einzelnen Elektrodenelementes relativ zur Wellenlänge der emittierten oder empfangenen Ultraschallwellen wird eine omnidirektionale Strahlungscharakteristik für jedes Wandlerelement erhalten. Eine gerichtete Schallabstrahlung oder ein gerichteter
Schallempfang wird durch zeitkontrollierte Ansteuerung bzw. zeitkontrollierten Empfang der einzelnen Elektrodenelemente mit einer geeigneten Strahl- formungselektronik einer Ansteuereinrichtung erreicht.
Figur 1 zeigt ein Beispiel eines Ultraschallwandler-Arrays für phasengesteuerten Betrieb mit linearer Anordnung der Wandlerelemente. Auf der piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretfolie 1 ist eine Elektrodenstruktur 2 aufgebracht, die in diesem
Beispiel 32 fingerförmige Elektrodenelemente 3 umfasst, die nebeneinander angeordnet sind. Durch diese 32 Elektrodenelemente 3 wird die aktive Apertur des
Ultraschallwandler-Arrays gebildet. Jedes einzelne Elektrodenelement 3 ist über eine Zuleitung 7 von außen unabhängig von den jeweils anderen Elektrodenelementen elektrisch kontaktierbar. Auf der Rückseite der Elektretfolie 1 ist in diesem Beispiel vollflächig die Gegenelektrode 4 aufgebracht, die in Figur 1 ebenfalls angedeutet ist.
Figur 2 zeigt beispielhaft einen Querschnitt durch ein derartiges Ultraschallwandler-Array in schematisierter Darstellung. In dieser Darstellung sind die Elektretfolie 1 sowie die obere 2 und untere Elektrodenstruktur 4 zu erkennen.
Das Ultraschallwandler-Array ist für eine Ultraschallfrequenz von 250 kHz ausgelegt. Dies entspricht einer Ultraschallwellenlänge in Luft von 1,4 mm. Im vorliegenden Beispiel wurde der Mittenabstand der Elektrodenelemente 3 geringer als die halbe Wellenlänge auf 0,5 mm festgelegt. Der Spalt zwischen den einzelnen
Elektrodenelementen 3 liegt bei 0,1 mm und die Länge der Elemente beträgt 10 mm.
Die Herstellung der Elektrodenstruktur der Figur 1 auf der Elektretfolie 1 erfolgte durch Sputtern und anschließendes Ätzen. Der zellulare Elekretfilm 1 wurde hierzu auf einem Keramiksubstrat mit einer ebenen Oberfläche angebracht. Eine Chrom-Adhäsionsschicht wurde zunächst auf die Oberfläche der Elektretfolie 1 gesputtert . Auf diese Adhäsionsschicht wurde wiederum eine Goldschicht mittels Sputtern abgeschieden. Anschließend wurde unter Einsatz eines photolithographischen Verfahrens die Elektrodenstruktur
freigelegt. Durch die photolithographische Technik lassen sich auf einfache Weise sehr feine Elektrodenstrukturen erzeugen, wie sie für phasengesteuerte Ultraschallwandler-Arrays erforderlich sind.
Die Gegenelektrode 4 wurde in gleicher Weise auf die Vorderseite der Elektretfolie 1 aufgebracht und zur Bildung aktiver Fingerelektroden strukturiert. Zur Fertigstellung des Ultraschallwander-Arrays muss die Elektretfolie 1 zusätzlich im Bereich der aktiven Apertur geladen werden. Bei diesem Prozess sind unterschiedliche Techniken möglich, die dem Fachmann bekannt sind. Im vorliegenden Beispiel wurde eine einfache Korona-Polungs-Methode eingesetzt, bei der die Elektretfolie 1 für kurze Zeit einer Feldstärke unterhalb der Durchschlagspannung ausgesetzt wird.
Für die Ansteuerung des Ultraschallwandler-Arrays ist eine geeignete Ansteuereinheit erforderlich. Figur 3 zeigt hierzu eine Vorrichtung zur Erzeugung und zum Empfang gerichteter Ultraschallsignale, bei der das Ultraschallwandler-Array 5 mit einer Ansteuereinheit 6 verbunden ist. Die Ansteuereinrichtung umfasst dabei elektronische Schalteinheiten für die Strahlformung, ein Übertragungs- und Empfangsmodul, ein Modul für die Verarbeitung und Steuerung der Hochfrequenzdaten und einen Multiplexer für die im vorliegenden Beispiel 32 Kanäle. Es besteht auch die Möglichkeit, eine geringere Anzahl von Kanälen in der Ansteuereinrichtung vorzusehen, wobei dann mehrere der Elektrodenelemente des Ultraschall -Arrays in einem Kanal zusammengefasst werden können, um Untergruppen der Elemente gemeinsam
anzusteuern. Selbstverständlich lässt sich ein derartiges System auch um weitere Kanäle erweitern, wenn ein entsprechendes Ultraschallarray mit einer höheren Anzahl von Elektrodenelementen bereitgestellt wird. Vorzugsweise ist die Ansteuereinheit programmierbar ausgestattet, so dass sie je nach gewünschter Anwendung über eine entsprechende Schnittstelle vorprogrammiert werden kann. Weiterhin ist eine Schnittstelle zur Übertragung der empfangenen und ggf. vorverarbeiteten Signale oder Daten vorgesehen, die dann bspw. in einem Computer weiter ausgewertet werden können .
Figur 4 zeigt schließlich auszugsweise einen Querschnitt durch einen Aufbau Ultraschallwandler-
Arrays wie dem der Figur 1, bei dem die Elektretfolie 1 Vertiefungen bzw. Gräben zwischen den einzelnen Elektrodenelementen 3 aufweist. Die Vertiefungen 8 sind in diesem Beispiel durch Prägen der Folie 1 entstanden, können jedoch auch durch andere Techniken erhalten werden. Die Folie 1 kann auch zwischen den Elektrodenelementen 3 vollständig durchtrennt werden. Die Vertiefungen 8 bieten den Vorteil einer stärkeren Schallentkopplung der unabhängig ansteuerbaren Elektrodenelemente 3.
Bezugszeichenliste
1 Elektretfolie 2 erste Elektrodenstruktur
3 Elektrodenelemente
4 zweite Elektrodenstruktur
5 Ultraschallwandler-Array
6 Ansteuereinheit 7 Zuleitungen
8 Vertiefungen
Claims
1. Ultraschallwandler-Array, das wenigstens eine Schicht (1) aus einem piezoelektrisch aktiven, zellulären Elektretmaterial zwischen einer ersten (2) und einer zweiten Elektrodenstruktur (4) aufweist, wobei die erste Elektrodenstruktur (2) aus mehreren unabhängig voneinander adressierbaren Elektrodenelementen (3) gebildet ist, durch die jeweils in Verbindung mit der zweiten Elektrodenstruktur (4) lokale Dickenschwingungen der Schicht (1) oder von Poren in der Schicht (1) mit Frequenzen im Ultraschallbereich erzeugbar und/oder detektierbar sind.
2. Ultraschallwandler-Array nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Elektrodenstruktur (2) direkt auf die Schicht (1) aus dem Elektretmaterial aufge- bracht ist.
3. Ultraschallwandler-Array nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (1) durch Prägen, Einschneiden oder Durchtrennen der Schicht (1) erhaltene
Vertiefungen zwischen den Elektrodenelementen (3) der ersten Elektrodenstruktur (2) aufweist.
4. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass ein Mittenabstand der Elektrodenelemente (3) kleiner oder gleich dem 10 -fachen einer Wellenlänge von Ultraschallwellen ist, die mit dem Ultraschallwandler-Array erzeugbar oder detektier- bar sind.
5. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass ein Mittenabstand der Elektrodenelemente (3) kleiner oder gleich einer halben Wellenlänge von Ultraschallwellen ist, die mit dem Ultraschallwandler-Array erzeugbar oder detektierbar sind.
6. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrodenelemente (3) fingerförmig ausgebildet und nebeneinander angeordnet sind.
7. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Elektrodenstruktur (4) durch eine zusammenhängende elektrisch leitfähige Schicht gebildet ist.
8. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Elektrodenstruktur (4) zu den Elektrodenelementen (3) der ersten Elektrodenstruktur (2) korrespondierende Elektrodenelemente aufweist .
9. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Ultraschallwandler-Array (5) mit einer Ansteuereinheit (6) verbunden ist, über die eine phasengesteuerter Betrieb der Elektrodenelemente (3) ermöglicht wird.
10. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Ultraschallwandler-Array (5) mit einer Ansteuereinheit (6) verbunden ist, über die eine An- und Abschaltung einzelner Elektrodenelemente (3) oder Gruppen von Elektrodenelementen (3) unabhängig voneinander ermöglicht wird.
11. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Ultraschallwandler-Array (5) mit einer Ansteuereinheit (6) verbunden ist, über die eine Erzeugung unterschiedlicher Schallkeulenformen ermöglicht wird.
12. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Ultraschallwandler-Array (5) mit einer Ansteuereinheit (6) verbunden ist, über die eine gerichtete Abstrahlung und/oder ein gerichteter Empfang von Ultraschall ermöglicht wird.
13. Ultraschallwandler-Array nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (1) aus dem Elektretmaterial für einen Betrieb im Ultraschallbereich zwischen 50 und 50OkHz ausgelegt ist.
14. Verwendung des Ultraschallarrays nach einem oder mehreren der vorangehenden Patentansprüche für die Abstrahlung und/oder den Empfang von Ultraschall- wellen in gasförmigen Medien.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102007021392 | 2007-05-04 | ||
| PCT/DE2008/000540 WO2008135004A1 (de) | 2007-05-04 | 2008-03-28 | Ultraschallwandler-array für anwendungen in gasförmigen medien |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| EP2144715A1 true EP2144715A1 (de) | 2010-01-20 |
Family
ID=39705308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| EP08748715A Withdrawn EP2144715A1 (de) | 2007-05-04 | 2008-03-28 | Ultraschallwandler-array für anwendungen in gasförmigen medien |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP2144715A1 (de) |
| DE (1) | DE112008001734A5 (de) |
| WO (1) | WO2008135004A1 (de) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010063438A1 (de) * | 2010-12-17 | 2012-06-21 | Robert Bosch Gmbh | Schallwellenbasierter Sensor zur Umfelddetektion und Verwendung desselben |
| DE102012202422A1 (de) | 2012-02-16 | 2013-08-22 | Robert Bosch Gmbh | Schallwandleranordnung |
| SE541810C2 (en) * | 2016-05-24 | 2019-12-17 | Scania Cv Ab | Variable cam timing phaser having two central control valves |
| DE102018005540B4 (de) | 2018-07-13 | 2022-06-09 | Pepperl+Fuchs Ag | 1D-Ultraschallwandler-Einheit |
| DE102018006127B4 (de) | 2018-08-03 | 2021-07-08 | Pepperl+Fuchs Ag | 1D-Ultraschallwandler-Einheit für die Materialerfassung |
| DE102018006139B3 (de) | 2018-08-03 | 2019-06-19 | Pepperl+Fuchs Gmbh | 1D-Ultraschallwandler-Einheit für die Bereichsüberwachung |
| DE102018006130B3 (de) | 2018-08-03 | 2019-08-08 | Pepperl + Fuchs Gmbh | 1D-Ultraschallwandler-Einheit zur Gefahrenerkennung für ein Fahrzeug |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144565A (ja) * | 1984-12-18 | 1986-07-02 | Toshiba Corp | 高分子圧電型超音波探触子 |
| JPH03178645A (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-02 | Hitachi Ltd | 超音波映像装置用駆動回路 |
| AU2002243224A1 (en) * | 2000-11-16 | 2002-06-24 | The Trustees Of The Stevens Institute Of Technology | Large aperture vibration and acoustic sensor |
-
2008
- 2008-03-28 EP EP08748715A patent/EP2144715A1/de not_active Withdrawn
- 2008-03-28 WO PCT/DE2008/000540 patent/WO2008135004A1/de active Application Filing
- 2008-03-28 DE DE112008001734T patent/DE112008001734A5/de not_active Ceased
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| LEKKALA J ET AL: "EMFi - New Electret Material for Sensors and Actuators", ELECTRETS, 1999. ISE 10. PROCEEDINGS. 10TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ATHENS, GREECE 22-24 SEPT. 1999, PISCATAWAY, NJ, USA,IEEE, US, 22 September 1999 (1999-09-22), pages 743 - 746, XP010376652, ISBN: 978-0-7803-5025-0, DOI: 10.1109/ISE.1999.832151 * |
| See also references of WO2008135004A1 * |
| SESSLER G M ET AL: "Electromechanical Response of Cellular Electret Films", ELECTRETS, 1999. ISE 10. PROCEEDINGS. 10TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ATHENS, GREECE 22-24 SEPT. 1999, PISCATAWAY, NJ, USA,IEEE, US, 22 September 1999 (1999-09-22), pages 261 - 264, XP010376538, ISBN: 978-0-7803-5025-0, DOI: 10.1109/ISE.1999.832037 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2008135004A1 (de) | 2008-11-13 |
| DE112008001734A5 (de) | 2010-04-15 |
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