EP2062019A2 - Verfahren und vorrichtung zur ortsaufgelösten bestimmung der phase und amplitude des elektromagnetischen feldes in der bildebene einer abbildung eines objektes - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur ortsaufgelösten bestimmung der phase und amplitude des elektromagnetischen feldes in der bildebene einer abbildung eines objektes

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EP2062019A2
EP2062019A2 EP07801502A EP07801502A EP2062019A2 EP 2062019 A2 EP2062019 A2 EP 2062019A2 EP 07801502 A EP07801502 A EP 07801502A EP 07801502 A EP07801502 A EP 07801502A EP 2062019 A2 EP2062019 A2 EP 2062019A2
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EP
European Patent Office
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image
phase
light
amplitude
images
Prior art date
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EP07801502A
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English (en)
French (fr)
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EP2062019B1 (de
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Sascha Perlitz
Steffen Weissenberg
Sandro Förster
Thomas SCHERÜBL
Ulrich Strössner
Herbert Gross
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Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Publication of EP2062019A2 publication Critical patent/EP2062019A2/de
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Publication of EP2062019B1 publication Critical patent/EP2062019B1/de
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
    • G02B27/46—Systems using spatial filters
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
    • G03F1/84—Inspecting

Definitions

  • the invention relates to a method for the spatially resolved determination of the phase and amplitude of the electromagnetic field in the image plane of an image of an object in which images are generated by (a) illuminating the object with coherent light of a lighting device and imaging it in an image plane (b (C) wherein the intensity of the light is determined for each pixel, stored in pixels and the pixels are assigned to an image.
  • a first picture is created.
  • at least one further image is generated, wherein the phase and / or the amplitude of the light are modified in a predetermined manner and the modification for each image differs from that for the remaining images.
  • the first picture is taken without any modification.
  • the phase in the image of the object in the image plane is then determined spatially resolved from the images produced.
  • the invention also relates to a device for spatially resolved determination of the phase and amplitude of the electromagnetic field in the image plane of an image of an object.
  • a device for spatially resolved determination of the phase and amplitude of the electromagnetic field in the image plane of an image of an object.
  • Such a device comprises a lighting device with a coherent light emitting light source, a holder for the object, an imaging optics, a spatially resolving detector with pixels, a memory module and an evaluation module.
  • the device generates images by (a) illuminating the object with the coherent light and imaging it into the image plane by the imaging optics, (b) detecting the light in the image plane spatially resolved in the pixels, (c) where for each pixel the intensity of the light is determined and stored in the memory module in pixels, and the pixels are assigned to an image.
  • a lighting device with a coherent light emitting light source, a holder for the object, an imaging optics, a spatially resolving detector with pixels, a memory module and
  • phase in the wavefront in an image of an unknown object which is irradiated with coherent light various methods exist in the prior art. These are usually the iterative methods in which the phase in the image or the wavefront in the image is iteratively reconstructed from two or more spatially resolved intensity measurements.
  • the intensity measurements differ in a predefined, well-defined way.
  • a first image can be recorded, in which the object and the spatially resolving detector are respectively in the focal position of the imaging optics.
  • a second image can then be taken by making a targeted defocus. If the object is mounted on a holder, then this holder can be moved along the optical axis by a defined distance.
  • the detector can also be displaced, with the shift correspondingly greater, the greater the magnification of the imaging optics.
  • the incident light is registered and converted into intensity values.
  • the intensity values registered under the same recording conditions and at the same time are stored in pixels and combined into one picture. From these at least two images can then be calculated by means of so-called phase retrieval algorithms, the phase or wavefront of the light coming from the object in the image in the focus located in the image plane.
  • phase retrieval algorithms are the families of the so-called Gerchberg-Saxton algorithms (RB Gerchberg, WO Saxton, Optics, Vol. 35, page 237, 1972) or Yang-Gu algorithms (G. Yang, Applied Optics , Volume 33, page 209, 1994).
  • a microscope with which the determination of the phase and amplitude of the electromagnetic field in the image plane of the imaging of an object is possible, is disclosed in WO 91/07682.
  • a confocal laser scanning microscope is described in which a laser beam is focused on a small part of an object. Light from this part of the object is imaged via a pinhole onto a detector. A first image is taken by illuminating the object without intervention.
  • a filter is placed in front of and behind the object in the beam path in two pupil planes.
  • the two filters have an intensity-changing or amplitude-changing function corresponding to a predetermined mathematical function whose properties simplify the evaluation when a filter is used both on the illumination side and on the image side.
  • the object of the invention is to develop a method with which a simple spatially resolved determination of the phase in the image of an object is possible.
  • a device is to be developed which implements the method in a simple manner and allows a high degree of flexibility for taking pictures under different conditions.
  • phase and / or the amplitude of the light is modified by a spatial frequency filtering in a pupil plane between the object and the image plane.
  • the filtering must be carried out only once.
  • spatial frequency filtering offers more possibilities than defocusing, so that images can be recorded under different conditions, which considerably improves the accuracy of the method and permits further applications.
  • the modification is specified exactly. It differs for all images, so that you get different intensity images in one sentence. At least two pictures are taken. All images can be generated with spatial frequency filtering. Alternatively one of the images can be created without filtering. This is not important for the determination of the phase, but may offer advantages for the post-processing. From the recorded image data set - A -
  • spatial frequency filtering lies in the completely free choice of frequency-selective manipulation. In this way, it is possible to compensate for the disadvantages of defocusing, which affects the high-frequency image components much more in phase modulation. By spatial frequency filtering also much more accurate phase reconstructions with less computational complexity are possible.
  • the spatial frequency filtering is performed by introducing at least one spatial frequency filter.
  • This spatial frequency filter is already known, since they enter into the phase retrieval algorithm as a parameter.
  • a plurality of spatial frequency filters can be used simultaneously, wherein, for example, a first filter covers a first frequency range and a second filter covers a second frequency range.
  • a first filter may be configured as an amplitude filter and a second filter as a phase filter. Also possible is the combination of phase and amplitude filters in a single filter.
  • the at least one spatial frequency filter is expediently rotated in the beam path about the optical axis and / or about an axis of rotation perpendicular to the optical axis which intersects the optical axis, and / or is displaced perpendicular to the optical axis.
  • the phase or the amplitude of the light can be modified in many ways with one and the same element. Other shifts and rotations about other axes are possible.
  • At least one spatial frequency filter for example, a single lens, a microlens array, a Siemens star, spiral filter, a transmission grating or a phase grating can be used. These filters can also be used in combination.
  • individual lenses or microlens arrays are particularly well suited because they do not hide the zeroth diffraction order. Even sine checkerboard grids have this advantage.
  • a manifold possibility of manipulation - with mostly symmetrical diffraction spectra - is obtained if the positions of the individual lenses on the array are not regularly distributed but statistically scattered and / or aperiodically distributed.
  • a light field aperture is introduced into the beam path in an object plane of the illumination device.
  • a microscopic imaging optics is used in the rule, which behaves in a first approximation as a Fourier transform optics, this approximation is further improved by the introduction of the field diaphragm, since in this way disturbing edge effects caused by the periodic continuation of the diffraction spectrum , can be minimized.
  • the field diaphragm can be achieved that in accordance with the imaging to the edge of the detector, an intensity drop to zero.
  • the Fourier transformation - which implies a periodic continuation of the image - can then be used without causing edge-to-edge intensity jumps caused by spatial frequency artifacts.
  • filters are also used which produce less smear in the image space.
  • the illuminated field can then be larger or smaller.
  • the use of a microlens array has advantages over a checkered sine grid. Since, in the evaluation of the measurements by means of phase retrieval algorithms, the optical image is usually modeled as a Fourier transformation - realized by means of algorithms for fast Fourier transformation (FFT) -, the accuracy can be increased in this way. In this way, only a small section of the spatially resolving detector is used, at the edges of which the image without period jump actually continues periodically.
  • FFT fast Fourier transformation
  • the image or images are already taken so that the image data meet periodic boundary conditions - i.
  • periodic boundary conditions - i For example, in the case of a rectangular CCD surface of the camera sensor of the detection device, that the recorded intensity values on opposite image edges correspond to each other or their course over the edge region can be described by a continuous function - so can periodic boundary conditions even after recording or generating the image without having to use a field diaphragm.
  • an intensity weighting function is applied to the pixels of each image after the generation, which changes the intensity values such that the course of the intensity in the image corresponds to a continuous, preferably continuously differentiable function in the case of periodic continuation of the image.
  • One way to determine the intensity weighting function is, for example, to interpolate between the values of opposite image edges. Another possibility is to multiply the intensity values by a weighting function. which has the value 1 everywhere, except at the edge where it goes steadily to zero or some other predetermined value.
  • the intensity weighting function can also extend beyond the edge of the image, so that an overlap of the two edge regions of mutually opposite edges occurs. As functions are suitable in the simplest Fa !! Straight lines with a steep gradient, these are then only continuous. At the points of approach, that is, at the points where the intensity weighting function starts from the value 1 back to 0, and at the point where it becomes 0, the function is then continuous, but the derivative is not continuous.
  • the intensity weighting functions in these areas are also continuously differentiable, ie that at least their first derivative is also continuous.
  • a quadratic sine function such as a * sin 2 (bx) which is set at their respective vertices to the constant levels of the weighting function.
  • pixels are added to the original pixels, for example by interpolation.
  • pixels can also be omitted, for example by generating an overlap.
  • a transformation into the frequency domain is then usually carried out.
  • this application consists, for example, of an interpolation, or of a multiplication, or of a multiplication by an addition, the functions described above representing only examples and a large number not mentioned here Functions is also suitable to achieve the desired result - is applied to the pixels, a transformation in the frequency domain, ie a frequency analysis performed.
  • the intensity values or amplitudes can be transformed into the frequency domain by means of a Fourier transformation, which also includes modifications such as the fast Fourier transformation (FFT) which is widespread in numerical mathematics, giving a representation of the frequencies appearing in the image in the pupil space , Other transformations in the frequency domain are of course usable.
  • FFT fast Fourier transformation
  • the frequency representation has a pupil definition function. applied, which defines the area of the pupil. Within the pupil, this function assumes the value 1, outside the value 0. At the edge of the pupil, the function jumps from 1 to 0.
  • This function is modified according to the invention: Instead of the simple pupil definition function or in addition to this one applies to the Fourier-transformed pixels a pupum weighting function, which drops steadily, preferably continuously differentially, to 0 at the edge of the pupil. The jump on the edge of the pupil is thus at least replaced by a continuous function.
  • the pupil is preferably continued outwards, ie the pupil weighting function assumes the value 1 up to the edge of the pupil, in order to fall outside to 0 faster or more slowly.
  • a straight line with a predefined slope can be used here; this is then at the points of approach, ie once at the pupil edge, where the weighting function assumes the value 1 for the last time, viewed outward, and outside, where it is the first Times the value 0, although continuous, but the derivative is not continuous.
  • other functions are used which are continuously differentiable at least at the pupil margin. For example, you can use a downwardly opened parabola. Again, quarter-periods of sine or cosine oscillations can be used, so that the function becomes continuously differentiable in each case. It is also possible to continue the function outside the pupil for a certain length of time before it steadily drops to 0.
  • the above-described steps of the application of an intensity weighting function before the transformation into the frequency space and / or the application of a pupil weighting function to the pixels in the frequency domain is not limited to the use in the method according to the invention for the spatially resolved determination of the phase, but can of course also be used to images generated with emulation arrangements for emulation of the behavior of photolithography masks in use.
  • These arrangements for example the AIMS of Carl Zeiss SMS GmbH, take aerial photographs of a photolithography mask as it would act on the photoresist. These aerial photographs are then analyzed. In the analysis method, the steps described above can be easily incorporated and thus lead to a gain in accuracy.
  • further images are generated, wherein in addition the angle of incidence of the light on the object is varied.
  • the illumination device generates a substantially point-like, coherent illumination. To illuminate the angle of incidence, this illumination spot is displaced laterally in a pupil plane of the illumination system.
  • the illumination angle can be tilted by mutually rotatable wedges. A rotation of the entire illumination device on a circular arc with a center on the optical axis is conceivable.
  • This embodiment of the method can be used, for example, to measure or simulate the partially coherent illumination of a photolithography scanner. For this purpose, individual images are sequentially recorded in which the illumination pupil to be simulated is respectively varied.
  • the individual phase and amplitude images are compiled algorithmically.
  • the individual measurements in the pupil plane after centering the diffraction spectra of the individual measurements on a zero frequency by post-processing are combined to form an electromagnetic field and propagated by simulation in the image plane.
  • further images are generated, wherein the object is illuminated with light of a predetermined polarization and the light is detected as a function of polarization.
  • This can be achieved by introducing a polarizer between the illumination device and the object and an analyzer between the object or imaging optics and the image plane, wherein images are generated at different positions of polarizer and analyzer relative to one another and possibly also to the illumination device.
  • the polarization-dependent effect of the object on phase and amplitude can be deduced, as well as the vectorial electric field in the pupil and image plane can be determined.
  • This embodiment of the invention can be used in particular in the production of photolithography masks and the optimization of the photolithography process.
  • the illumination angle, the respective polarization and the numerical aperture are chosen to be the same as those of a photolithography scanner.
  • a larger aperture is also conceivable, provided that the measured object diffraction spectrum is multiplied after the measurement with an aperture mask of the desired diameter and then further processed. With this setting, the scanner-relevant phase and amplitude are measured.
  • the result of the measurements can be used in the production of photolithography masks to optimize the manufacturing process of the mask so that the mask generates a scanner-relevant phase of 180 °.
  • phase-inactive object whose structures are known - for example, a chrome-on-glass pinhole or a pinhole array for averaging over the entire, imaged field of view - used, the diffraction at the objects generates sufficiently large angles to the illuminate the entire numerical aperture.
  • the object is then measured either by defocusing or using the pupil filter and different intensity images are generated. These are then evaluated with the phase retrieval algorithm.
  • the phase or phase distribution calculated for the pupil plane then corresponds to the monochromatic aberrations.
  • phase is subtracted from the calculated phase of the measurement in the pupil plane at each measurement, the phase being stored numerically, for example, as a series expansion according to Zemike polynomials and coefficients.
  • Vector abberation effects can be taken into account by performing the measurement for different polarization directions in illumination and analysis.
  • the invention also relates to a device for the resolved determination of the phase and amplitude of the electromagnetic field in the image plane of an image of an object.
  • the object is achieved in that in the imaging optics at least one in the beam path einkoppelbarer in a pupil plane spatial frequency filter is provided with the phase and / or amplitude of the light is modified, the device is a first image and generates at least one further image, wherein the Phase and / or the amplitude of the light are modified in a predetermined manner by the spatial frequency filter and the modification for each image differs from that for the remaining images.
  • the first image can be generated with out or coupled in spatial frequency filter.
  • the evaluation module processes the stored images and determines, spatially resolved, the phase in the image of the object in the image plane.
  • one or more spatial frequency filters can be provided, one of which modifies, for example, only the phase, another only the amplitude, and a third both in each case in different frequency ranges.
  • a phase retrieval algorithm is then implemented for processing the images, for example according to Gerchberg and Saxon, with which the phase of the wavefront in the image plane is determined iteratively.
  • the coupled-in spatial frequency filter about the optical axis and / or a rotation axis perpendicular to the optical axis which intersects the optical axis, rotatable and / or arranged displaceable perpendicular to the optical axis.
  • the spatial frequency spectrum can be modified in many ways. Other displacements, tiltings or rotations are also conceivable.
  • the prerequisite is that the imaging optics can be modeled essentially by Fourier transformation, ie the imaging optics approximately corresponds to a Fourier transform optics.
  • the diffraction spectrum or diffraction image of the object is captured by a high-resolution objective and Fourier-transformed.
  • the amplitude distribution in the diffraction pattern is Fourier-transformed into the spatial frequency spectrum of the amplitude distribution in the diffractive objective.
  • frequency-selective interventions of this spectrum is now manipulated in phase and / or amplitude and thus changes the amplitude distribution and / or phase distribution in the diffraction pattern. When imaging the object in the image plane, this is noticeable by intensity changes.
  • the device generates a plurality of images at respectively different positions of the at least one spatial frequency filter.
  • a large data set is available, the accuracy of measurement is increased and the convergence accelerated.
  • two pictures are necessary.
  • a single lens As at least one spatial frequency filter, a single lens, a microlens array, a Siemens star, a spiral filter, a transmission grating or a phase grating is preferably provided.
  • Diffraction spectra - if the positions of the individual lenses on the array are not regularly distributed, but statistically scattered and / or aperiodically distributed.
  • a field diaphragm is preferably arranged in an object plane in the beam path of the illumination device.
  • the actual imaging behavior can be brought even closer to the ideal imaging behavior by means of Fourier transformation, i. the deviations between the model based on Fourier transforms and the real device are reduced.
  • the holder is displaceable along the optical axis.
  • the classical method of defocusing - for example, for checking or calibration - can be used for phase determination in the image plane.
  • adjustment means are also provided for adjusting the angle of incidence of the illumination light on the object.
  • the coherent illumination point generated by the illumination device is displaced laterally in a pupil plane of the illumination device by these adjustment means.
  • two mutually movable optical elements are preferably provided, for example two mutually rotatable rotary wedges, which generate an angle in a field plane.
  • Another possibility is the use of two tiltable flat plates, which produce a lateral offset in the pupil plane.
  • a polarizer is disposed between the illumination device and the object, and an analyzer is disposed between the imaging optics and the detector.
  • the unknown object can be illuminated with light of a defined polarization direction.
  • the intensity is then detected polarization-dependent by using the analyzer in different positions in front of the detector.
  • the position of the polarizer can of course be changed.
  • a scalar phase retrieval algorithm can be used to reconstruct the phase and amplitude in the pupil and image space.
  • the prerequisite is that the polarization properties of the imaging objective, ie its Jones matrix, are known.
  • the Jones matrix of the imaging system After the Jones matrix of the imaging system has been calculated, it is thus possible to directly deduce the polarization-dependent effect of the object on phase and amplitude. If one repeats these steps for different directions of polarization in the illumination, ie different positions of the polarizer, then one can infer the vectorial electric field in pupil and image plane. In addition, of course, the illumination angle can be varied. In this way, for example, the Jones matrix of a photolithography mask can be determined.
  • the optical properties of the imaging optics ie their transfer function, preferably correspond substantially to those of the photolithography scanner to be simulated with regard to the numerical aperture;
  • the optical properties of the illumination device likewise preferably correspond substantially to those of the scanner to be simulated, with regard to illumination angle and / or polarization. Also other properties can be selected accordingly.
  • the numerical aperture of the imaging optics can be selected larger than the numerical aperture of the photolithography scanner to be simulated.
  • the electromagnetic field determined in the pupil plane ie a plane conjugate to the image plane, is further processed by multiplication with an aperture mask which corresponds in diameter to the aperture of the scanner.
  • This procedure is particularly suitable for measuring the polarizing properties of photolithography masks. Since in this way the electric field of the diffraction spectrum of such a mask can be determined vectorially, the device according to the invention is particularly well suited for simulating the imaging behavior of a photolithography scanner using the measured electromagnetic fields. With feature widths and depths on the photolithography mask of the order of the illumination wavelength and smaller, rigorous effects of diffraction on the mask can no longer be neglected. Common rigorous simulators that solve the Maxwell equations, for example based on finite element methods, show variations in the results depending on the models used. They therefore require input data of the three-dimensional geometry of the mask, which can only be derived indirectly and with great effort.
  • the partially coherent Image of a scanner taking into account the vectorial effects of the photolithography mask and the photolithography scanner using Hopkins theory be simulated.
  • the electric field of the diffraction spectrum determined by the device contains all the information about the rigorous effects of the mask. A rigorous simulation can thus be dispensed with.
  • the shift of the coherent diffraction spectrum at normal incidence for the different illumination angles of the partially coherent illumination in the Hopkins simulation can be determined by offsetting the measured or interpolated diffraction spectra generated at different illumination angles.
  • the simulation can be improved.
  • various properties can be taken into account, for example the scanner's Jones matrix, aberrations, so-called flare, natural apodization and layer apodization of the scanner, the refractive index of an optional immersion liquid and the Fresnel reflex at the transition of immersion liquid. Air to the photoresist or the antireflection coating.
  • the temporal and spatial coherence function of the illumination system of the scanner can also be taken into account in the scanner simulation.
  • the exposure phase of the phase strongly depends on the angle of incidence of the illumination light, the polarization of the illumination light, and the aperture.
  • the illumination of the scanner possibly by sequential measurements of different illumination angles for interpolation, for example, a dipole illumination - and the imaging aperture of the scanner must be replicated as accurately as possible, which succeeds with the inventive device.
  • the aperture it is also possible to measure with a higher aperture, and the registered diffraction spectrum can be subsequently trimmed by means of special algorithms.
  • the measured or post-processed phase then represents scanner-related optical settings and approximately corresponds to the phase that occurs in the scanner during the exposure process.
  • phase lithography masks By optimizing the manufacturing process of a mask for photolithography so as to produce, for example, a phase of 180 degrees or a predetermined value, an optimum mask has been prepared.
  • the production process can be optimized with these parameters obtained on the basis of the simulation, ie adapted to the desired properties and adjusted accordingly, so that a phase jump of 180 ° is produced when imaging the photolithography mask into the image plane at locations predefined by the mask structure.
  • the production of phase lithography masks can also be monitored in this way.
  • the reverse approach can also be taken, ie, for a given mask structure, the imaging behavior of the photolithography scanner is optimized, ie adjusted and adjusted, so that in the image plane there is a phase jump of at the locations defined by the mask structure 180 ° is generated.
  • the propagation of the electromagnetic diffraction spectrum of the mask is simulated in the image plane, the optical imaging and lighting properties of the scanner are taken into account as well as possible.
  • these properties can then be set with respect to the specific mask structure for the photolithographic process and optimized in this way.
  • Another possible use of the device according to the invention is the determination of the spatial structure of a photolithography mask.
  • the polarization and illumination angle dependent vector fields of the diffraction spectrum of the mask are used to iteratively optimize parameters for describing this mask until a rigorously simulated diffraction spectrum matches the measured and stored spectrum under different measurement configurations. Since many masks produce the same diffraction pattern, it is necessary here to have as much information as possible. In this way it is possible to deduce the complex refractive index of the layer system of the mask, the layer thickness and the edge steepness of the mask.
  • FIG. 1 shows the exemplary structure of such a device
  • FIG. 2 shows an exemplary method sequence in the application.
  • the device initially comprises a lighting device 1.
  • This lighting device emits coherent light.
  • a laser is preferably provided.
  • Light from the illumination device 1 is irradiated onto an object 2, which may be, for example, a photolithography mask.
  • the side facing away from the illumination device 1 of the object 2 is located in a focal plane 3 of an imaging optics.
  • a field diaphragm 4 is provided, which is the illuminated and shown Are- al reduced, so that the deviations of the actual image are reduced by the modeled by a Fourier transformation image.
  • adjusting means for adjusting the angle of incidence on the object 2 may be provided.
  • the illumination device 1 for example, on a circular arc, with the center of the intersection of the optical axis with the focal plane 3, are moved.
  • the light emitted and diffracted by the object 2 is captured by a high-resolution lens, the image of the object is then greatly enlarged, for example, with a 450-fold magnification.
  • the imaging optics are exemplified herein as a system of two lenses 5 and 6, but typically will comprise more than two lenses.
  • the imaging optics image the light onto a spatially resolving detector 7. There it is registered, the intensities determined and stored in pixels. The pixels of a measurement process are then assigned according to an image.
  • a spatial frequency filter 8 is arranged in a pupil plane of the imaging optics - in the example shown between the lenses 5 and 6 - also a spatial frequency filter 8 is arranged. This spatial frequency filter 8 can be completely removed from the beam path.
  • the device then takes a first image, wherein the spatial frequency filter 8 is completely decoupled from the beam path.
  • Anschmanend at least one further image is generated with coupled spatial frequency filter 8.
  • the pixels of the two images are each stored in a memory module 9 as images. From there, they are forwarded to an evaluation module 10, in which the phase of the image of the object into the image plane in which the detector 7 is located is calculated from the two images by means of a phase retrieval algorithm.
  • the spatial frequency filter 8 can be laterally displaced perpendicular to the optical axis or tilted about an axis perpendicular to the optical axis, which preferably intersects the optical axis. These two movements are indicated by the arrows above the spatial frequency filter 8 in the drawing.
  • the spatial frequency filter 8 can also be rotated about the optical axis as a rotation axis. In this way, a variety of settings possible, an accurate and fast convergent, iterative determination of the phase of the wavefront in the image plane is possible in this way. It is also possible to use several spatial frequency filters 8 which differ, for example, in their frequency selectivity.
  • the spatial frequency filter 8 may be configured, for example, as a microlens array. Before the measurement appropriate calibrations can be carried out.
  • the described device not only the phase of a wavefront in the image plane can be reconstructed, but also a photolithography scanner can be simulated. Also, by means of the device, if sufficient data is available, the structure of the object, in particular a photolithography mask, can be deduced.
  • FIG. 2 shows the essential method steps which are carried out for the simulation of a photolithography scanner or the calculation of the spatial structure of a photolithography mask.
  • the steps that are initially performed to generate the input data for the simulation of the photolithography scanner are shown, including, in particular, a determination of the Jones matrix.
  • the box labeled B lists the steps that are performed specifically for phase and amplitude measurements.
  • a step a1 different illumination angles and different positions of a polarizer are determined, either to measure the Jones matrix or to set a partially coherent illumination, which corresponds to the scanner to be simulated. In this way, a set of N illumination settings is obtained in step a2.
  • the method steps b1 to b6 are then carried out for these N illumination settings, and in the end, in a step a3, a total of N phases and amplitudes in the pupil and image plane are obtained.
  • one of the N illumination settings with respect to angle and polarization is first selected in a step b1.
  • imaging properties in particular the numerical aperture of a photolithography scanner to be simulated, can be set.
  • a step b3 a plurality of intensity images with varying pupil manipulation are recorded, these are evaluated in a step b4, for example with the aid of a P ⁇ ase-Ref / 7eva / algorithm.
  • the phase and amplitude in the pupil and image plane are obtained as a result of the predetermined illumination setting.
  • the pupil amplitude and phase can be post-processed, for example, they can be multiplied by an aperture mask. This is necessary if, in setting the imaging properties in step b2, the numerical aperture was made larger than that of the photolithography scanner to be simulated.
  • a3 the resulting N phases and amplitudes in the pupil and image plane are combined and sent for further processing, either simulations for optimizing and monitoring the mask production or image processing Photolithography process - Box C - or is a solution of the inverse diffraction problem - Box D - acts.
  • the steps d, c2, and d1 are to be understood as alternatives.
  • a photolithography scanner is simulated in view of optimizing and monitoring the mast manufacturing process to produce mask patterns which cause phase jumps of 180 ° when scanning in the image plane.
  • several photolithography scanners can also be simulated in step c2, these having different illumination and imaging properties. These simulated photolithography scanners are then also optimized for generating phase jumps of 180 °.
  • the three-dimensional structure of a photolithography mask can also be calculated in step d1 from the data compiled in step a3.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur ortsaufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objekts. Dabei werden Bilder erzeugt, indem das Objekt mit kohärentem Licht beleuchtet und in eine Bildebene abgebildet wird, Licht in der Bildebene ortsaufgelöst in Pixeln detektiert wird, wobei für jedes Pixel die Intensität des Lichtes bestimmt, in Bildpunkten gespeichert und die Bildpunkte einem Bild zugeordnet werden. Es wird zunächst ein erstes und dann mindestens ein weiteres Bild erzeugt, wobei die Phase und/oder die Amplitude des Lichts in vorgegebener Weise modifiziert wird und sich die Modifikation für ein jedes Bild von denen für die übrigen Bilder unterscheidet. Aus den erzeugten Bildern wird ortsaufgelöst die Phase in der Abbildung des Objekts in der Bildebene bestimmt. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Umsetzung des Verfahrens. Bei einem solchen Verfahren wird die Phase und/oder die Amplitude des Lichts durch eine Ortsfrequenzfilterung in einer Pupillenebene zwischen Objekt und Bildebene modifiziert.

Description

Titel
Verfahren und Vorrichtung zur ortsaufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objektes
Gebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur ortsaufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objektes, bei dem Bilder erzeugt werden, indem (a) das Objekt mit kohärentem Licht einer Beleuchtungseinrichtung beleuchtet und in eine Bildebene abgebildet wird, (b) Licht in der Bildebene ortsaufgelöst in Pixeln detektiert wird, (c) wobei für jedes Pixel die Intensität des Lichts bestimmt, in Bildpunkten gespeichert wird und die Bildpunkte einem Bild zugeordnet werden. Dabei wird zunächst ein erstes Bild erzeugt. Dann wird mindestens ein weiteres Bild erzeugt, wobei die Phase und/oder die Amplitude des Lichts in vorgegebener Weise modifiziert werden und die Modifikation sich für ein jedes Bild von denen für die übrigen Bilder unterscheidet. Das erste Bild wird dabei in der Regel ohne jede Modifikation aufgenommen. Aus den erzeugten Bildern wird dann ortsaufgelöst die Phase in der Abbildung des Objekts in der Bildebene bestimmt.
Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objektes. Eine solche Vorrichtung umfaßt eine Beleuchtungseinrichtung mit einer kohärentes Licht abstrahlenden Lichtquelle, einen Halter für das Objekt, eine Abbildungsoptik, einen ortsauflösenden Detektor mit Pixeln, ein Speichermodul sowie ein Auswertemodul. Die Vorrichtung erzeugt Bilder, indem (a) das Objekt mit dem kohärenten Licht beleuchtet und durch die Abbildungsoptik in die Bildebene abgebildet wird, (b) das Licht in der Bildebene ortsaufgelöst in den Pixeln de- tektiert wird, (c) wobei für jedes Pixel die Intensität des Lichts bestimmt und im Speichermodul in Bildpunkten gespeichert wird, und die Bildpunkte einem Bild zugeordnet werden. Stand der Technik
Zur Bestimmung der Phase der Wellenfront bei einer Abbildung eines unbekannten Objektes, welches mit kohärentem Licht bestrahlt wird, existieren im Stand der Technik verschiedene Methoden. Dabei handelt es sich in der Regel um die iterativen Methoden, bei denen die Phase in der Abbildung bzw. die Wellenfront in der Abbildung aus zwei oder mehr ortsaufgelösten Intensitätsmessungen iterativ rekonstruiert wird. Die Intensitätsmessungen unterscheiden sich dabei in vorgegebener, wohldefinierter Weise. So kann beispielsweise ein erstes Bild aufgenommen werden, bei dem sich Objekt und ortsauflösender Detektor jeweils in der Fokusposition der abbildenden Optik befinden. Ein zweites Bild kann dann aufgenommen werden, indem eine gezielte Defokussierung vorgenommen wird. Ist das Objekt auf einem Halter angebracht, so kann dieser Halter entlang der optischen Achse um eine definierte Strecke verschoben werden. Alternativ und äquivalent kann auch der Detektor verschoben werden, wobei die Verschiebung entsprechend größer ausfällt, je stärker die Vergrößerung der abbildenden Optik ist. Im Detektor wird das einfallende Licht registriert und in Intensitätswerte umgewandelt. Die unter gleichen Aufnahmebedingungen und zur gleichen Zeit registrierten Intensitätswerte werden in Bildpunkten gespeichert und zu einem Bild zusammengefaßt. Aus diesen mindestens zwei Bildern läßt sich dann mittels sogenannter Phase-Retrieval-Algorithmen die Phase bzw. Wellenfront des vom Objekt kommenden Lichts bei der Abbildung in die im Fokus befindliche Bildebene berechnen. Zu den am häufigsten verwendeten Phase-Retrieval-Algorithmen gehören die Familien der sogenannten Gerchberg-Saxton-Algorithmen (R. B. Gerchberg, W. O. Saxton, Optik, Band 35, Seite 237, 1972) oder Yang-Gu-Algorithmen (G. Yang, Applied Optics, Band 33, Seite 209, 1994).
Zwar reichen grundsätzlich zwei Bilder aus, um die Phase zu berechnen, jedoch dauert die Iteration u.U. sehr lange. Aus diesem Grund ist es wünschenswert, möglichst viele Bilder aufzunehmen, wobei dann einige Informationen zwar redundant sind, jedoch letzten Endes eine höhere Genauigkeit erzielt werden kann. Generiert man verschiedene Bilder nur auf Basis einer Defokussierung, so stößt man schnell an die Grenzen, da die Defokussierung nur in einem begrenzten Verstellungsbereich möglich ist und die Bilder ansonsten zu verwaschen sind, um noch vernünftig ausgewertet werden zu können.
In der Mikroskopie andererseits sind Verfahren bekannt, mit denen der Phasenkontrast bei der Abbildung erhöht werden kann. Bei solchen Verfahren werden die nicht sichtbaren, geringen Phasenänderungen, die das Licht in oder an mikroskopischen oder makroskopischen Objekten erleidet, in Intensitätsänderungen umgewandelt. Auf diese Weise werden sie sichtbar gemacht. Dies wird erreicht, indem bei der Abbildung dieser Objekte das ungebeugte Licht gegenüber dem am Objekt gebeugten Licht in der Phase und Amplitude verändert wird, wobei in das Beugungsspektrum des Objektes in einer Pupillenebene eingegriffen wird. Dabei macht man sich zunutze, daß Mikroskopobjektive näherungsweise wie Fourier-Transformations-Optiken aufgebaut sind, so daß in einer Pupillenebene der Abbildungsoptik gezielte Eingriffe in das Ortsfrequenzspektrum der Intensitätsverteilung des vom Objekt gebeugten Lichtes möglich sind.
Ein Mikroskop, mit dem die Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene der Abbildung eines Objektes möglich ist, wird in der WO 91/07682 offenbart. Dort wird ein konfokales Laser-Scanning-Mikroskop beschrieben, bei dem ein Laserstrahl auf einen kleinen Teil eines Objektes fokussiert wird. Licht von diesem Teil des Objekts wird über ein Pinhole auf einen Detektor abgebildet. Ein erstes Bild wird aufgenommen, indem das Objekt ohne Eingriffe beleuchtet wird. Für das zweite Bild wird in den Strahlengang in zwei Pupillenebenen ein Filter jeweils vor und hinter dem Objekt eingebracht. Die beiden Filter haben dabei eine intensitätsverändernde bzw. amplitudenverändernde Funktion entsprechend einer vorgegebenen mathematischen Funktion, deren Eigenschaften die Auswertung vereinfacht, wenn sowohl auf der Beleuchtungs-, als auch auf der Abbildungsseite ein Filter verwendet wird. Für den kleinen Teil des Objekts läßt sich dann die Phase im Bild berechnen. Da das Licht über ein Pinhole auf einen Detektor abgebildet wird, ist eine ortsaufgelöste Messung umständlich und langwierig. Auch die Verwendung der beiden Filter, die aneinander angepaßt sein müssen, ist umständlich.
Beschreibung der Erfindung
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zu entwickeln, mit dem eine einfache ortsaufgelöste Bestimmung der Phase in der Abbildung eines Objektes möglich ist. Außerdem soll eine Vorrichtung entwickelt werden, die das Verfahren auf einfache Weise umsetzt und ein hohes Maß an Flexibilität für die Aufnahme von Bildern unter verschiedenen Bedingungen ermöglicht.
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs beschriebenen Art dadurch gelöst, daß die Phase und/oder die Amplitude des Lichts durch eine Ortsfrequenzfilterung in einer Pupillenebene zwischen Objekt und Bildebene modifiziert wird. Im Gegensatz zu dem oben beschriebe- nen Mikroskop muß die Filterung nur einmal durchgeführt werden. Eine Ortsfrequenzfilterung bietet darüber hinaus gegenüber einer Defokussierung mehr Möglichkeiten, so daß Bilder unter verschiedenen Bedingungen aufgenommen werden können, was die Genauigkeit des Verfahrens erheblich verbessert und weitere Anwendungsmöglichkeiten gestattet. Die Modifikation ist dabei genau vorgegeben. Sie unterscheidet sich für alle Bilder, so daß man in einem Satz ver- schiedene Intensitätsbilder erhält. Mindestens jedoch werden zwei Bilder aufgenommen. Dabei können alle Bilder mit Ortsfrequenzfilterung erzeugt werden. Alternativ kann auch eines der Bilder ohne Filterung erzeugt werden. Dies spielt für die Bestimmung der Phase keine Rolle, bietet jedoch u.U. Vorteile für die Nachbearbeitung. Aus dem aufgenommenen Bilddatensatz - A -
läßt sich dann durch ein iteratives Verfahren - beispielsweise einen Algorithmus aus der Gerch- berg-Saxton-Familie - auf die Phase im Bildraum und damit auf die durch den Abbildungsprozeß beschränkte Phase im Objektraum zurückrechnen. Der wesentliche Vorteil der Ortsfrequenzfilterung liegt in der völlig freien Wahl der frequenzselektiven Manipulation. Auf diese Weise ist es möglich, die Nachteile der Defokussierung, welche bei der Phasenmodulation hochfrequente Bildanteile viel stärker beeinflußt, zu kompensieren. Durch eine Ortsfrequenzfilterung sind auch wesentlich genauere Phasenrekonstruktionen mit geringerem Rechenaufwand möglich.
Bevorzugt wird die Ortsfrequenzfilterung durch Einbringen mindestens eines Ortsfrequenzfilters vorgenommen. Die Eigenschaften dieses Ortsfrequenzfilters sind dabei vorbekannt, da sie in den Phase-Retrieval-Algorithmus als Parameter eingehen. Selbstverständlich können auch mehrere Ortsfrequenzfilter gleichzeitig verwendet werden, wobei beispielsweise ein erster Filter einen ersten Frequenzbereich und ein zweiter Filter einen zweiten Frequenzbereich abdeckt. Auch kann ein erster Filter als Amplitudenfilter und ein zweiter Filter als Phasenfilter ausgestaltet sein. Möglich ist auch die Kombination von Phasen- und Amplitudenfilter in einem einzigen Filter. Zur Modifikation von Phase und/oder Amplitude wird der mindestens eine Ortsfrequenzfilter zweckmäßig im Strahlengang um die optische Achse und/oder um eine zur optischen Achse senkrechte Drehachse, die die optische Achse schneidet, gedreht, und/oder senkrecht zur opti- sehen Achse verschoben. Auf diese Weise kann die Phase bzw. die Amplitude des Lichtes auf vielfache Weise mit ein und demselben Element modifiziert werden. Auch andere Verschiebungen und Drehungen um andere Achsen sind möglich.
Als mindestens ein Ortsfrequenzfilter kann beispielsweise eine Einzellinse, ein Mikrolinsen- Array, ein Siemensstern, Spiralfilter, ein Transmissionsgitter oder auch ein Phasengitter verwendet werden. Diese Filter können auch in Kombination eingesetzt werden. Insbesondere einzelne Linsen oder Mikrolinsenarrays sind besonderes gut geeignet, da sie die nullte Beugungsordnung nicht ausblenden. Auch Sinus-Schachbrett-Gitter weisen diesen Vorteil auf.
Eine vielfältige Manipulationsmöglichkeit - bei meist symmetrischen Beugungsspektren - erhält man, wenn die Positionen der Einzellinsen auf dem Array nicht regelmäßig, sonder statistisch gestreut und / oder aperiodisch verteilt sind.
Zweckmäßig ist es auch, vor der ortsaufgelösten Bestimmung der Phase eine Kalibrierung des Ortsfrequenzfilters durchzuführen. Dies erhöht die Genauigkeit. Zur Kalibrierung des Ortsfrequenzfilters wird ein Objekt, dessen Abbildungseigenschaften bekannt sind, verwendet. Zur Phasenmanipulation wird dann entweder ausschließlich eine Defokussierung oder eine Verschiebung des Filters entlang der optischen Achse durchgeführt. In beiden Fällen läßt sich nach Durchlauf durch den Phase-Retrieval-Algorithmus auf die Phasen- und Amplitudenmanipulation durch den Ortsfrequenzfilter schließen.
In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens wird in den Strahlengang in einer Objektebene der Beleuchtungseinrichtung eine Leuchtfeld blende eingebracht. Zwar wird in der Regel eine mikroskopische Abbildungsoptik verwendet, die sich in erster Näherung wie eine Fourier-Transformations-Optik verhält, diese Näherung wird durch das Einbringen der Leuchtfeldblende weiter verbessert, da auf diese Weise störende Randeffekte, die durch die periodische Fortsetzung des Beugungsspektrums entstehen, minimiert werden können. Durch die Leuchtfeldblende läßt sich erreichen, daß abbildungskonform zum Rand des Detektors ein Intensitätsabfall auf Null erfolgt. Als Abbildungsmodell kann dann die Fourier-Transformation - die eine periodische Fortsetzung des Bildes impliziert - verwendet werden, ohne daß am Rand Intensitätssprünge entstehen, die durch Ortsfrequenzartefakte verursacht werden. Vorteilhaft werden daher auch Filter verwendet, die im Bildraum eine geringere Verschmierung hervorru- fen. Je nach Ausgestaltung des Ortsfrequenzfilters kann das beleuchtete Feld dann größer oder kleiner sein. Beispielsweise weist die Verwendung eines Mikrolinsen-Arrays hier gegenüber einem schachbrettartigen Sinusgitter Vorteile auf. Da bei der Auswertung der Messungen mittels Phase-Retrieval-Algorithmen in der Regel die optische Abbildung als Fourier- Transformation modelliert wird - rechnerisch mittels Algorithmen zur schnellen Fourier- Transformation (FFT) realisiert -, kann auf diese Weise die Genauigkeit erhöht werden. Auf diese Weise wird nur ein kleiner Ausschnitt des ortsauflösenden Detektors verwendet, an dessen Rändern sich das Abbild ohne Phasensprung tatsächlich periodisch fortsetzt.
Während bei Verwendung einer Leuchtfeldblende das Bild bzw. die Bilder bereits so aufge- nommen werden, daß die Bilddaten periodischen Randbedingungen genügen - d.h. beispielsweise bei einer rechteckigen CCD-Fläche des Kamerasensors der Detektierungseinrichtung, daß die aufgenommenen Intensitätswerte an einander gegenüberliegenden Bildrändern einander entsprechen bzw. ihr Verlauf über den Randbereich durch eine stetige Funktion beschrieben werden kann - so lassen sich periodische Randbedingungen auch nach Aufnahme bzw. Erzeugung des Bildes erzeugen, ohne eine Leuchtfeldblende verwenden zu müssen. Dazu wird auf die Bildpunkte eines jeden Bildes nach der Erzeugung eine Intensitätsgewichtungsfunktion angewendet, die die Intensitätswerte derart verändert, daß der Verlauf der Intensität im Bild bei periodischer Fortsetzung des Bildes einer stetigen, bevorzugt stetig differenzierbaren Funktion entspricht.
Eine Möglichkeit, die Intensitätsgewichtungsfunktion zu bestimmen, besteht zum Beispiel darin, zwischen den Werten von einander gegenüberliegenden Bildrändern zu interpolieren. Eine andere Möglichkeit besteht darin, die Intensitätswerte mit einer Gewichtungsfunktion zu multiplizie- ren, die überall den Wert 1 hat, außer am Rand, wo sie stetig gegen null oder einen anderen vorgegebenen Wert geht. Die Intensitätsgewichtungsfunktion kann auch über den Bildrand hinaus reichen, so daß es zu einem Überlapp der beiden Randbereiche einander gegenüberliegender Ränder kommt. Als Funktionen eignen sich im einfachsten Fa!! Geraden mit einer vcr- gegebenen Steigung, diese sind dann nur stetig. An den Ansatzpunkten, d.h. an den Punkten, wo die Intensitätsgewichtungsfunktion vom Wert 1 anfängt auf 0 zurückzugehen und an dem Punkt, wo sie 0 wird, ist die Funktion dann zwar stetig, die Ableitung ist allerdings nicht stetig. Aus rechentechnischen Gründen, insbesondere für die Genauigkeit der Berechnungen, ist es jedoch vorteilhaft, wenn die Intensitätsgewichtungsfunktionen in diesen Bereichen auch stetig differenzierbar ist, d.h. daß mindestens ihre erste Ableitung ebenfalls stetig ist. In diesem Fall läßt sich beispielsweise anstelle einer Geraden eine Viertel-Periode einer quadratischen Sinus- Funktion - wie z.B. a*sin2(bx) - verwenden, die an ihren jeweiligen Scheitelpunkten an die konstanten Niveaus der Gewichtungsfunktion angesetzt wird.
Dabei ist es auch möglich, daß zu den ursprünglichen Bildpunkten weitere Bildpunkte hinzukommen, beispielsweise durch eine Interpolation. Genauso können auch Bildpunkte wegfallen, beispielsweise durch die Erzeugung einer Überlappung.
Zur weiteren Verarbeitung der Bildpunkte wird dann in der Regel eine Transformation in den Frequenzraum durchgeführt. Um periodische Randbedingungen zu erzeugen, kann auch - alternativ oder in Ergänzung zur Anwendung der Intensitätsgewichtungsfunktion auf die Bildpunkte eines jeden Bildes nach der Erzeugung und nach dieser Transformation in den Frequenzraum - auf die in den Frequenzraum transformierten Bildpunkte eine Pupillengewich- tungsfunktion angewendet werden, die am Rand einer Pupille nach außen stetig, bevorzugt stetig differenzierbar auf Null abfällt.
Nachdem die Intensitätsgewichtungsfunktion auf die Bildpunkte angewendet wurde - entsprechend der vorangegangenen Beschreibung besteht diese Anwendung also beispielsweise in einer Interpolation, oder einer Multiplikation, oder auch in einer Multiplikation mit einer Addition, wobei die vorangehend beschriebenen Funktionen nur Beispiele darstellen und eine große Zahl hier nicht genannter Funktionen sich ebenfalls eignet, um das gewünschte Ergebnis zu erzielen - wird auf die Bildpunkte eine Transformation in den Frequenzraum angewendet, d.h. eine Frequenzanalyse durchgeführt. Die Intensitätswerte bzw. Amplituden können beispielsweise mittels einer Fourier-Transformation - dazu zählen auch Abwandlungen wie die in der numerischen Mathematik verbreitete schnelle Fourier-Transformation (FFT) - in den Frequenz-Raum transformiert, man erhält eine Darstellung der im Bild auftauchenden Frequenzen im Pupillenraum. Auch andere Transformationen in den Frequenzraum sind selbstverständlich verwendbar. Üblicherweise wird im Stand der Technik auf die Frequenzdarstellung eine Pupillendefinitionsfunkti- on angewendet, die den Bereich der Pupille definiert. Innerhalb der Pupille nimmt diese Funktion den Wert 1 an, außerhalb den Wert 0. Am Rand der Pupille springt die Funktion von 1 auf 0. Diese Funktion wird erfindungsgemäß modifiziert: Statt der einfachen Pupillendefinitionsfunktion oder in Ergänzung dazu wendet man auf die Fourier-transformierten Bildpunkte eine PupiNen- gewichtungsfunktion an, die am Rand der Pupille stetig, bevorzugt stetig differenzierbar auf 0 abfällt. Der Sprung am Rand der Pupille wird also mindestens durch eine stetige Funktion ersetzt. Dabei wird die Pupille bevorzugt nach außen fortgesetzt, d.h. bis zum Rand der Pupille nimmt die Pupillengewichtungsfunktion den Wert 1 an, um außerhalb schneller oder langsamer auf 0 abzufallen. Im einfachsten Fall läßt sich hier eine Gerade mit vorgegebener Steigung ver- wenden, diese ist dann an den Ansatzpunkten, d.h. einmal am Pupillenrand, wo die Gewichtungsfunktion - in Richtung nach außen betrachtet - letztmalig den Wert 1 annimmt, sowie außerhalb, wo sie das erste Mal den Wert 0 annimmt, zwar stetig, jedoch ist die Ableitung nicht stetig. Aus rechentechnischen Gründen verwendet man daher auch andere Funktionen, die mindestens am Pupillenrand stetig differenzierbar sind. Beispielsweise kann man eine nach unten geöffnete Parabel verwenden. Auch hier lassen sich wieder Viertelperioden von Sinusoder Kosinus-Schwingungen verwenden, so daß die Funktion in jedem Fall stetig differenzierbar wird. Auch ist es möglich, die Funktion außerhalb der Pupille ein bestimmtes Stück weit konstant fortzusetzen, bevor sie dann stetig gegen 0 abfällt.
Auf diese Weise läßt sich eine Periodizität herstellen, die es ermöglicht, periodische Randbedingungen zu simulieren, ohne eine Leuchtfeldblende verwenden zu müssen. Die Fourier- Transformation, die implizit periodische Randbedingungen verwendet, läßt sich auf diese Weise anwenden, ohne daß es zu größeren Abweichungen kommt, da durch die Anwendung mindestens einer der Gewichtungsfunktionen auch bei real nicht-periodischen Randbedingungen solche simuliert werden.
Die vorangehend beschriebenen Schritte der Anwendung einer Intensitätsgewichtungsfunktion vor der Transformation in den Frequenzraum und / oder der Anwendung einer Pupillengewichtungsfunktion auf die Bildpunkte im Frequenzraum ist dabei nicht auf die Verwendung im erfin- dungsgemäßen Verfahren zur ortsaufgelösten Bestimmung der Phase beschränkt, sondern läßt sich vielmehr selbstverständlich auch auf Bilder, die mit Emulationsanordnungen zur Emulation des Verhaltens von Photolithographiemasken beim Einsatz erzeugt wurden, verwenden. Diese Anordnungen, beispielsweise das AIMS der Carl Zeiss SMS GmbH, nehmen Luftbilder einer Photolithographiemaske auf, wie sie auf den Photolack wirken würde. Diese Luftbilder werden dann analysiert. In das Analyseverfahren lassen sich die vorangehend beschriebenen Schritte ohne weiteres einbauen und führen so zu einem Gewinn an Genauigkeit. In einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens werden weitere Bilder erzeugt, wobei zusätzlich der Einfallswinkel des Lichts auf das Objekt variiert wird. Die Beleuchtungseinrichtung generiert eine im wesentlichen punktförmige, kohärente Beleuchtung. Zur Beleuchtung des Einfallswinkels wird dieser Beleuchtungsfleck in einer Pupillenebene des Beleuchtungssystems lateral verschoben. Alternativ kann in einer Feldebene der Beleuchtungseinrichtung der Beleuchtungswinkel durch zueinander drehbare Keile gekippt werden. Auch ein Drehen der gesamten Beleuchtungseinrichtung auf einem Kreisbogen mit einem Mittelpunkt auf der optischen Achse ist denkbar. Diese Ausgestaltung des Verfahrens kann beispielsweise dazu verwendet werden, die teilkohärente Beleuchtung eines Photolithographiescanners zu vermessen bzw. zu simulie- ren. Dazu werden sequentiell einzelne Bilder aufgenommen, bei denen die zu simulierende Beleuchtungspupille jeweils variiert wird. Anschließend werden die einzelnen Phasen- und Amplitudenbilder algorithmisch zusammengesetzt. Dabei werden die einzelnen Messungen in der Pupillenebene nach Zentrierung der Beugungsspektren der einzelnen Messungen auf eine Nullfrequenz per Nachbearbeitung zu einem elektromagnetischen Feld zusammengefaßt und per Simulation in die Bildebene propagiert.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung werden weitere Bild erzeugt, wobei das Objekt mit Licht einer vorgegebenen Polarisation beleuchtet wird und das Licht polarisationsabhängig detektiert wird. Dies kann durch Einbringen eines Polarisators zwischen Beleuchtungseinrich- tung und Objekt und eines Analysators zwischen Objekt bzw. Abbildungsoptik und Bildebene erreicht werden, wobei Bilder bei verschiedenen Stellungen von Polarisator und Analysator zueinander und ggf. auch zur Beleuchtungseinrichtung erzeugt werden. Auf diese Weise läßt sich bei bekannten Polarisationseigenschaften des Abbildungsobjektivs auf die polarisationsabhängige Wirkung des Objekts auf Phase und Amplitude schließen, sowie das vektorielle elektri- sehe Feld in Pupillen- und Bildebene bestimmen.
Diese Ausgestaltung der Erfindung kann insbesondere bei der Herstellung von Photolithographiemasken und der Optimierung des Photolithographieprozesses angewendet werden. Bei der Einstellung werden der Beleuchtungswinkel, die jeweilige Polarisation und die numerische Aper- tur gleich denen eines Photolithographiescanners gewählt. Bei der Wahl der Apertur ist dabei allerdings auch eine größere Apertur denkbar, sofern das vermessene Objektbeugungsspektrum nach der Messung mit einer Aperturmaske des gewünschten Durchmessers multipliziert und anschließend weiterverarbeitet wird. Mit dieser Einstellung werden die scanner-relevante Phase und Amplitude vermessen.
Das Ergebnis der Messungen kann bei der Herstellung von Photolithographiemasken genutzt werden, den Herstellungsprozeß der Maske so zu optimieren, daß die Maske eine scannerrelevante Phase von 180° erzeugt. Schließlich ist es zweckmäßig, die Möglichkeit vorzusehen, Phase und/oder Amplitude des Lichts zusätzlich durch eine Defokussierung zu modifizieren. Diese kann auch zur Eichung des Ortsfrequenzfilters herangezogen werden.
Um die Genauigkeit des Verfahrens zu erhöhen, ist es außerdem zweckmäßig, vor der ortsaufgelösten Bestimmung der Phase eine Kalibrierung in bezug auf die monochromatischen Abberationen durchzuführen. Dazu wird ein phaseninaktives Objekt, dessen Strukturen bekannt sind - beispielsweise ein Chrom-auf-Glas-Pinhole oder auch ein Pinhole-Array zur Mittelung über das gesamte, abgebildete Bildfeld - verwendet, wobei die Beugung an den Objekten ausreichend große Winkel erzeugt, um die gesamte numerische Apertur auszuleuchten. Das Objekt wird dann entweder mittels Defokussierung oder unter Verwendung des Pupillenfilters vermessen und es werden verschiedene Intensitätsbilder erzeugt. Diese werden anschließend mit dem Phase-Retrieval-Algorithmus ausgewertet. Die für die Pupillenebene berechnete Phase bzw. Phasenverteilung entspricht dann den monochromatischen Abberationen. Sie wird bei jeder Messung von der berechneten Phase der Messung in der Pupillenebene abgezogen, wobei die Phase numerisch beispielsweise als Reihenentwicklung nach Zemike-Polynomen und - Koeffizienten gespeichert wird. Vektorielle Abberationseffekte lassen sich berücksichtigen, indem die Messung für verschiedene Polarisationsrichtungen bei der Beleuchtung und der Analyse durchgeführt wird.
Eine weitere Verbesserung der Genauigkeit läßt sich erreichen, indem vor der Erzeugung bzw. Aufnahme der Bilder eine Kalibrierung zur Kompensation zufälliger Defokussierungen durchgeführt wird. Diese Defokussierungen treten während der Messung auf und sind zeitlich veränder- lieh, so daß diese Kalibrierung bevorzugt vor der Erzeugung eines jeden Bildes erneut durchgeführt wird. Wird die Phase der Wellenfront bei der Abbildung eines unbekannten Objektes in der Pupille nach Polynomen entwickelt, so tritt in dieser Entwicklung ein quadratischer Term auf, falls eine Defokussierung vorliegt. Der Koeffizient des quadratischen Terms läßt sich dann extrahieren und der Term somit von der Phase in der Pupille abziehen. Auch andere, ähnliche Strategien zur Berücksichtigung des quadratischen Phasenterms zur Kalibrierung der Defokussierung sind anwendbar.
Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur aufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objektes. Für eine solche Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß bei der Abbildungsoptik mindestens ein in den Strahlengang in eine Pupillenebene einkoppelbarer Ortsfrequenzfilter vorgesehen ist, mit dem die Phase und/oder Amplitude des Lichts modifiziert wird, wobei die Vorrichtung ein erstes Bild und mindestens ein weiteres Bild erzeugt, wobei die Phase und / oder die Amplitude des Lichts in vorgegebener Weise durch den Ortsfrequenzfilter modifiziert werden und die Modifikation sich für ein jedes Bild von denen für die übrigen Bilder unterscheidet. Das erste Bild kann dabei mit aus- oder eingekoppeltem Ortsfrequenzfilter erzeugt werden. Werden die mindestens zwei Bilder beide mit eingekoppeltem Filter erzeugt, so impliziert dies eine Anordnung, in der der Filter beweglich bzw. in seiner Stellung im Strahlengang veränderbar angeordnet ist, d.h. es muß mindestens eine zweite Stellung des Filters möglich sein, damit die Bilder unter verschiedenen Bedingungen aufgenommen werden können. Auch ein Wechsel zwischen zwei verschiedenen Filtern ist denkbar, diese müssen dann nicht beweglich sein. Das Auswertemodul verarbeitet dann die gespeicherten Bilder und bestimmt ortsaufgelöst die Phase in der Abbildung des Objektes in der Bildebene. Durch die Verwendung eines Ortsfrequenzfilters läßt sich gegenüber herkömmlichen Anordnungen zur Phasenbestimmung, die mittels des Prinzips der Defokussierung arbeiten, eine Verbesserung der Genauigkeit erzielen, außerdem stehen verschiedene Möglichkeiten zur Verfügung, Phase und/oder Amplitude zu modifizieren. So können ein oder mehrere Ortsfrequenzfilter vorgesehen sein, von de- nen einer beispielsweise nur die Phase, ein anderer nur die Amplitude, und ein dritter beides modifiziert, jeweils in unterschiedlichen Frequenzbereichen. Im Auswertemodul ist zur Verarbeitung der Bilder dann ein Phase-Retrieval-Algorithmus, beispielsweise nach Gerchberg und Sax- ton, implementiert, mit dem die Phase der Wellenfront in der Bildebene iterativ bestimmt wird. Mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung läßt sich das vorangehend beschriebene Verfahren durchführen. Gegenüber dem Stand der Technik läßt sich eine schnellere Konvergenz bei der Lösung des entsprechenden, iterativen Gleichungssystems erzielen.
Bevorzugt ist der eingekoppelte Ortsfrequenzfilter um die optische Achse und/oder eine zur optischen Achse senkrechte Drehachse die die optische Achse schneidet, rotierbar und/oder senkrecht zur optischen Achse verschiebbar angeordnet. Im eingekoppelten Zustand kann der Ortsfrequenzfilter zum einen um die optische Achse rotiert werden, gegen die optische Achse gekippt werden oder auch lateral verschoben werden. Auf diese Weise steht eine Vielzahl von Eingriffmöglichkeiten in den Strahlengang zur Verfügung, das Ortsfrequenzspektrum kann so auf vielfache Weise modifiziert werden. Auch andere Verschiebungen, Kippungen oder Rotatio- nen sind denkbar. Voraussetzung ist dabei, daß die Abbildungsoptik im wesentlichen durch Fourier-Transformation modelliert werden kann, d.h. die Abbildungsoptik näherungsweise einer Fourier-Transformations-Optik entspricht. Das Beugungsspektrum bzw. Beugungsbild des Objekts wird durch ein hochauflösendes Objektiv aufgefangen und Fourier-transformiert. Durch die abbildende Optik wird die Amplitudenverteilung im Beugungsbild in das Ortsfrequenzspektrum der Amplitudenverteilung im beugenden Objektiv Fourier-transformiert. Durch entsprechende, ortsfrequenzselektive Eingriffe wird dieses Spektrum nun in Phase und/oder Amplitude manipuliert und so die Amplitudenverteilung und / oder Phasenverteilung im Beugungsbild verändert. Bei der Abbildung des Objektes in die Bildebene macht sich dies entsprechend durch Intensitätsveränderungen bemerkbar.
Zweckmäßig erzeugt die Vorrichtung eine Vielzahl von Bildern bei jeweils unterschiedlichen Stellungen des mindestens einen Ortsfrequenzfilters. Auf diese Weise steht ein großer Datensatz zur Verfügung, die Meßgenauigkeit wird erhöht und die Konvergenz beschleunigt. Mindestens jedoch sind zwei Bilder notwendig.
Als mindestens ein Ortsfrequenzfilter ist bevorzugt eine Einzellinse, ein Mikrolinsen-Array, ein Siemensstern, ein Spiralfilter, ein Transmissionsgitter oder auch ein Phasengitter vorgesehen.
Bevorzugt werden dabei solche Ortsfrequenzfilter verwendet, die die nullte Beugungsordnung nicht ausblenden, da so eine höhere Genauigkeit erzielt werden kann. Im Falle eines Mikrolin- sen-Arrays erhält man eine vielfältige Manipulationsmöglichkeit - bei meist symmetrischen
Beugungsspektren -, wenn die Positionen der Einzellinsen auf dem Array nicht regelmäßig, sonder statistisch gestreut und / oder aperiodisch verteilt sind.
Bevorzugt ist bei der Vorrichtung in einer Objektebene im Strahlengang der Beleuchtungseinrichtung eine Leuchtfeldblende angeordnet. Auf diese Weise kann das tatsächliche Abbildungsverhalten noch näher an das ideale Abbildungsverhalten mittels Fourier-Transformation heran- geführt werden, d.h. die Abweichungen zwischen dem Modell, basierend auf Fourier- Transformationen und der realen Vorrichtung werden verringert.
Schließlich kann auch vorgesehen sein, daß der Halter entlang der optischen Achse verschiebbar ist. Auf diese Weise läßt sich auch die klassische Methode der Defokussierung - beispiels- weise zur Kontrolle oder zur Kalibrierung - bei der Phasenbestimmung in der Bildebene einsetzen.
Vorzugsweise sind außerdem Einstellmittel zur Einstellung des Einfallswinkels des Beleuchtungslichts auf das Objekt vorgesehen. Der durch die Beleuchtungseinrichtung generierte kohä- rente Beleuchtungspunkt wird durch diese Einstellmittel lateral in einer Pupillenebene der Beleuchtungseinrichtung verschoben. Bevorzugt sind dazu zwei gegeneinander bewegliche optische Elemente vorgesehen, beispielsweise zwei gegeneinander verdrehbare Drehkeile, die in einer Feldebene einen Winkel erzeugen. Eine andere Möglichkeit besteht in der Verwendung zweier kippbarer Planplatten, die in der Puppillenebene einen Lateralversatz erzeugen.
In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist zwischen der Beleuchtungseinrichtung und Objekt ein Polarisator und zwischen Abbildungsoptik und Detektor ein Analysator angeordnet. Auf diese Weise kann das unbekannte Objekt mit Licht einer definierten Polarisationsrich- tung beleuchtet werden, die Intensität wird dann durch Verwendung des Analysators in verschiedenen Stellungen vor dem Detektor polarisationsabhängig detektiert. Auch die Stellung des Polarisators kann selbstverständlich verändert werden. Unter der Annahme des skalaren Verhaltens des Abbildungssystems zwischen Pupillen- und Bildebene, d.h. der Voraussetzung kleiner Abbildungswinkel kann ein skalarer Phase-Retrieval-Algorithmus zur Rekonstruktion der Phase und Amplitude im Pupillen- und Bildraum angewendet werden. Voraussetzung ist, daß man die Polarisationseigenschaften des Abbildungsobjektivs, d.h. dessen Jones-Matrix, kennt. Nach der Verrechnung der Jones-Matrix des Abbildungssystems läßt sich auf diese Weise direkt auf die polarisationsabhängige Wirkung des Objekts auf Phase und Amplitude schließen. Wiederholt man diese Schritte für verschiedene Richtungen der Polarisation bei der Beleuchtung, d.h. verschiedene Stellungen des Polarisators, so läßt sich auf das vektorielle elektrische Feld in Pupillen- und Bildebene rückschließen. Zusätzlich kann natürlich auch der Beleuchtungswinkel variiert werden. Auf diese Weise läßt sich beispielsweise die Jones-Matrix einer Photolithographiemaske bestimmen. Um das Abbildungsverhalten eines Photolithographie- Scanners zu simulieren, entsprechen die optischen Eigenschaften der Abbildungsoptik, d.h. ihre Übertragungsfunktion, bevorzugt im wesentlichen denen des zu simulierenden Photolithographiescanners im Hinblick auf die numerische Apertur; die optischen Eigenschaften der Beleuchtungseinrichtung entsprechen ebenfalls bevorzugt im wesentlichen denen des zu simulierenden Scanners, was Beleuchtungswinkel und / oder Polarisation betrifft. Auch weitere Eigenschaften können entsprechend gewählt werden. Alternativ kann auch die numerische Apertur der Abbildungsoptik größer als die numerische Apertur des zu simulierenden Photolithographiescanners gewählt werden. In einem weiteren Verarbeitungsschritt wird dann das in der Pupillenebene, d.h. einer zur Bildebene konjugierten Ebene, bestimmte elektromagnetische Feld durch Multiplikation mit einer Aperturmaske, die im Durchmesser der Apertur des Scanners entspricht, wei- terverarbeitet.
Diese Vorgehensweise eignet sich besonders zur Vermessung der polarisierenden Eigenschaften von Photolithographiemasken. Da sich auf diese Weise das elektrische Feld des Beugungsspektrums einer solchen Maske vektoriell bestimmen läßt, eignet sich die erfindungsgemäße Vorrichtung besonders gut zur Simulation des Abbildungsverhaltens eines Photolithographie- Scanners, unter Verwendung der vermessenen elektromagnetischen Felder. Bei Strukturbreiten und -tiefen auf der Photolithographiemaske in der Größenordnung der Beleuchtungswellenlänge und kleiner können rigorose Effekte der Beugung auf der Maske nicht mehr vernachlässigt werden. Gängige rigorose Simulatoren, die die Maxwell-Gleichungen lösen, beispielsweise basierend auf Finite-Elemente-Methoden, zeigen Schwankungen der Ergebnisse in Abhängigkeit der verwendeten Modelle. Sie benötigen daher Eingangsdaten der dreidimensionalen Geometrie der Maske, welche nur indirekt und mit großem Aufwand abgeleitet werden können. Mittels der Meßergebnisse der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann das partiell kohärente Abbild eines Scanners unter Berücksichtigung der vektoriellen Effekte der Photolithographiemaske und des Photolithographiescanners mittels der Hopkins'schen Theorie simuliert werden. Das durch die Vorrichtung bestimmte elektrische Feld des Beugungsspektrums enthält sämtliche Informationen über die rigorosen Effekts dsr Maske. Auf eine rigorose Simulation kann somit verzichtet werden.
Darüber hinaus kann die Verschiebung des kohärenten Beugungsspektrums bei senkrechtem Einfall für die verschiedenen Beleuchtungswinkel der partiell kohärenten Beleuchtung in der Hopkins'schen Simulation durch Verrechnung der gemessenen bzw. interpolierten Beugungs- spektren, die unter verschiedenen Beleuchtungswinkeln erzeugt wurden, bestimmt werden.
Auf diese Weise kann die Simulation verbessert werden. Bei der Simulation des Scanners können verschiedene Eigenschaften berücksichtigt werden, beispielsweise die Jones-Matrix des Scanners, Aberrationen, sogenanntes Flare, die natürliche Apodisation und die Schichtapodisa- tion des Scanners, der Brechungsindex einer optionalen Immersionsflüssigkeit sowie der Fres- nelreflex am Übergang von Immersionsflüssigkeit/Luft zum Photolack bzw. der Antireflex- Beschichtung. Auch die zeitliche und räumliche Kohärenzfunktion des Beleuchtungssystems des Scanners kann bei der Scannersimulation berücksichtigt werden.
Für Strukturgrößen in der Nähe der verwendeten Wellenlänge und des Auflösungsvermögens hängt die Phase bei der Belichtung stark vom Einfallswinkel des Beleuchtungslichts, der Polarisation des Beleuchtungslichts sowie der Apertur ab. Um die Phase zu bestimmen, die beim Photolithographiescanner auftritt, muß die Beleuchtung des Scanners - u.U. durch sequentielle Messungen verschiedener Beleuchtungswinkel zur Interpolation beispielsweise einer Dipolbe- leuchtung - und die Abbildungsapertur des Scanners möglichst genau nachgebildet werden, was mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung gelingt. Bezüglich der Apertur ist dabei auch die Messung mit einer höheren Apertur möglich, das registrierte Beugungsspektrum kann mittels spezieller Algorithmen nachträglich beschnitten werden. Die gemessene bzw. nach der Verarbeitung ausgegebene Phase repräsentiert dann scannerrelevante optische Einstellungen und entspricht etwa der Phase, die beim Scanner beim Belichtungsprozeß auftritt. Optimiert man den Herstellungsprozeß einer Maske für die Photolithographie, so daß sie beispielsweise eine Phase von 180 Grad oder einen vorgegebenen Wert erzeugt, so hat man eine optimale Maske hergestellt. Der Herstellungsprozeß kann mit diesen, aufgrund der Simulation erhaltenen Parametern optimiert werden, d.h. an die gewünschten Eigenschaften angepaßt und entsprechend eingestellt werden, so daß bei der Abbildung der Photolithographiemaske in die Bildebene dort an durch die Maskenstruktur vorgegebenen Stellen einen Phasensprung von 180° erzeugt wird. Die Herstellung von Phasenlithographiemasken kann auf diese Weise auch überwacht werden. Anstatt den Herstellungsprozeß für die kostenintensiven Masken zu optimieren kann auch der umgekehrte Weg beschritten werden, d.h. für eine gegebene Maskenstruktur wird das Abbildungsverhalten des Photolithographiescanners optimiert, d.h. angepaßt und eingestellt, so daß in der Bildebene dort an den durch die Maskenstruktur vorgegebenen Stellen ein Phasensprung von 180° erzeugt wird. Dabei wird die Propagation des elektromagnetischen Beugungsspektrums der Maske in die Bildebene simuliert, wobei die optischen Abbildungs- und Beleuchtungseigenschaften des Scanners so gut wie möglich berücksichtigt werden. Anhand der Auswertung der simulierten Bilder können dann diese Eigenschaften in bezug auf die spezielle Maskenstruktur für den Photolithographieprozeß eingestellt und auf diese Weise optimiert wer- den.
Eine weitere Verwendungsmöglichkeit der erfindungsgemäßen Vorrichtung liegt in der Bestimmung der räumlichen Struktur einer Photolithographiemaske. Zur Rückgewinnung von Informationen über die dreidimensionale Struktur einer solchen Maske sowie ihrer Materialeigenschaf- ten werden die polarisations- und beleuchtungswinkelabhängigen vektoriellen Felder des Beugungsspektrums der Maske genutzt, um Parameter zur Beschreibung dieser Maske iterativ zu optimieren, bis ein rigoros simuliertes Beugungsspektrum dem gemessenen und gespeicherten Spektrum unter verschiedenen Meßkonfigurationen entspricht. Da viele Masken das gleiche Beugungsbild erzeugen, ist es hier notwendig, möglichst viele Informationen zu haben. Auf diese Weise kann auf den komplexen Brechungsindex des Schichtsystems der Maske, die Schichtdicke und die Kantensteilheit der Maske geschlossen werden.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen Die Erfindung soll im folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. In den dazugehörigen Zeichnungen zeigt
Fig.1 den beispielhaften Aufbau einer solchen Vorrichtung und Fig.2 einen beispielhaften Verfahrensablauf in der Anwendung.
Ausführliche Beschreibung der Zeichnungen
Die Vorrichtung umfaßt zunächst eine Beleuchtungseinrichtung 1. Diese Beleuchtungseinrichtung sendet kohärentes Licht aus. Als Lichtquelle ist bevorzugt ein Laser vorgesehen. Licht aus der Beleuchtungseinrichtung 1 wird auf ein Objekt 2 gestrahlt, bei dem es sich beispielsweise um eine Photolithographiemaske handeln kann. Die der Beleuchtungseinrichtung 1 abgewandte Seite des Objektes 2 liegt in einer Fokusebene 3 einer Abbildungsoptik. Bei der Beleuchtungseinrichtung 1 ist eine Leuchtfeldblende 4 vorgesehen, die das beleuchtete und abgebildete Are- al verkleinert, so daß die Abweichungen der tatsächlichen Abbildung von der durch eine Fou- rier-Transformation modellierten Abbildung verringert werden. Außerdem können - nicht gezeigt - Einstellmittel zur Einstellung des Lichteinfallswinkels auf das Objekt 2 vorgesehen sein. Dies läßt sich beispielsweise erreichen, indem der durch die Beleuchtungseinrichiung 1 erzeugte Beleuchtungsfleck in einer Pupillenebene der Beleuchtungseinrichtung lateral verschoben wird. Alternativ kann auch die Beleuchtungseinrichtung 1 beispielsweise auf einem Kreisbogen, mit dem Mittelpunkt des Schnittpunkts der optischen Achse mit der Fokusebene 3, verfahren werden.
Das vom Objekt 2 abgestrahlte und gebeugte Licht wird durch ein hochauflösendes Objektiv aufgefangen, die Abbildung des Objektes wird dann stark nachvergrößert, beispielsweise mit einem 450fachen Abbildungsmaßstab. Die Abbildungsoptik ist hier beispielhaft als ein System von zwei Linsen 5 und 6 dargestellt, in der Regel wird sie jedoch mehr als zwei Linsen umfassen. Durch die Abbildungsoptik wird das Licht auf einen ortsauflösenden Detektor 7 abgebildet. Dort wird es registriert, die Intensitäten bestimmt und in Bildpunkten abgespeichert. Die Bildpunkte eines Meßvorgangs werden dann entsprechend einem Bild zugeordnet. In einer Pupillenebene der Abbildungsoptik - im gezeigten Beispiel also zwischen den Linsen 5 und 6 - ist außerdem ein Ortsfrequenzfilter 8 angeordnet. Dieser Ortsfrequenzfilter 8 kann vollständig aus dem Strahlengang entfernt werden. Die Vorrichtung nimmt dann ein erstes Bild auf, wobei der Ortsfrequenzfilter 8 vollständig aus dem Strahlengang ausgekoppelt ist. Anschießend wird mindestens ein weiteres Bild mit eingekoppelten Ortsfrequenzfilter 8 erzeugt. Die Bildpunkte der beiden Bilder werden jeweils in einem Speichermodul 9 als Bilder gespeichert. Von dort werden sie an ein Auswertemodul 10 weitergegeben, in dem aus den beiden Bildern mittels eines Pha- se-Retrieval-Algorithmus die Phase der Abbildung des Objektes in die Bildebene, in der sich der Detektor 7 befindet, berechnet wird.
Dabei ist es vorteilhaft, nicht nur zwei Bilder aufzunehmen, sondern eine ganze Reihe von Bildern, die bei verschiedenen Stellungen des Ortsfrequenzfilters 8 aufgenommen werden. Der Ortsfrequenzfilter 8 kann dazu senkrecht zur optischen Achse lateral verschoben oder um eine Achse senkrecht zur optischen Achse, welche bevorzugt die optische Achse schneidet, gekippt werden. Diese beiden Bewegungen sind durch die Pfeile oberhalb des Ortsfrequenzfilters 8 in der Zeichnung angedeutet. Zusätzlich kann der Ortsfrequenzfilter 8 auch um die optische Achse als Rotationsachse gedreht werden. Auf diese Weise ist eine Vielzahl von Einstellungen möglich, eine genaue und schnell konvergente, iterative Bestimmung der Phase der Wellenfront in der Bildebene ist auf diese Weise möglich. Auch können mehre Ortsfrequenzfilter 8 verwendet werden, die sich beispielsweise in ihrer Frequenzselektivität unterscheiden. Schließlich kann zwischen Beleuchtungseinrichtung 1 und Objekt 2 ein - nicht gezeigter - Polarisator und zwischen der Linse 6 und dem Detektor 7 - ebenfalls nicht gezeigter - Analysator angeordnet sein. Durch verschiedene Stellungen von Polarisator und Analysator zueinander lassen sich Bilderserien erzeugen, die zur Bestimmung des vektoriellen elektrischen Feldes in der Pupillenebene und damit auch der Bildebene verwendet werden können. Diese Bestimmung kann ebenfalls im Auswertemodul 10 erfolgen. Der Ortsfrequenzfilter 8 kann beispielsweise als Mikrolinsen-Array ausgestaltet sein. Vor der Messung können entsprechende Kalibrierungen durchgeführt werden.
Mit der beschriebenen Vorrichtung läßt sich nicht nur die Phase einer Wellenfront in der Bildebene rekonstruieren, sondern ebenfalls ein Photolithographie-Scanner simulieren. Auch kann mittels der Vorrichtung, sofern genügend Daten vorliegen, auf die Struktur des Objektes, insbesondere einer Photolithographie-Maske zurückgeschlossen werden.
In Fig.2 sind die wesentlichen Verfahrensschritte dargestellt, die für die Simulation eines Photolithographiescanners oder die Berechnung der räumlichen Struktur einer Photolithographiemas- ke durchgeführt werden. Im äußeren linken, mit A gekennzeichneten Kasten sind die Schritte dargestellt, die anfangs durchgeführt werden, um die Eingangsdaten für die Simulation des Photolithographiescanners zu generieren, wobei insbesondere auch eine Bestimmung der Jones-Matrix eingeschlossen ist. Im mit B gekennzeichneten Kasten sind die Schritte, die speziell zur Phasen- und Amplitudenmessung durchgeführt werden, aufgeführt.
Zunächst werden in einem Schritt a1 verschiedene Beleuchtungswinkel und verschiedene Stellungen eines Polarisators festgelegt, entweder zur Vermessung der Jones-Matrix oder zur Einstellung einer partiell kohärenten Beleuchtung, wie sie dem zu simulierenden Scanner entspricht. Man erhält auf diese Weise in Schritt a2 einen Satz von N Beleuchtungseinstellungen. Für diese N Beleuchtungseinstellungen werden dann die Verfahrensschritte b1 bis b6 durchgeführt, am Ende erhält man in einem Schritt a3 insgesamt N Phasen und Amplituden in der Pupillen- und Bildebene.
Bei der im Kasten B dargestellten Phasen- und Amplitudenmessung wird zunächst in einem Schritt b1 eine der N Beleuchtungseinstellungen bezüglich Winkel und Polarisation ausgewählt. In einem optionalen Schritt b2 können Abbildungseigenschaften, wie insbesondere die numerische Apertur eines zu simulierenden Photolithographiescanners eingestellt werden. Anschließend werden in einem Schritt b3 mehrere Intensitätsbilder mit variierender Pupillenmanipulation aufgenommen, diese werden in einem Schritt b4 ausgewertet, beispielsweise mit Hilfe eines PΛase-Ref/7eva/-Algorithmus. In einem Schritt b5 erhält man als Ergebnis für die vorgegebene Beleuchtungseinstellung Phase und Amplitude in der Pupillen- und Bildebene. In einem weiteren optionalen Schritt b6 kann die Pupillenamplitude und -phase nachbearbeitet werden, beispielsweise können sie mit einer Aperturmaske multipliziert werden. Dies ist dann notwendig, wenn bei der Einstellung der Abbildungseigenschaften in Schritt b2 die numerische Apertur größer als die des zu simulierenden Photolithographiescanners gewählt wurde.
Sind diese Schritte für aüe N BeleuGhtungseinsteNungen durchgeführt, so werden in einem Schritt a3 die sich daraus ergebenden N Phasen und Amplituden in der Pupillen- und Bildebene zusammengestellt und einer weiteren Verarbeitung zugeführt, wobei es sich entweder um Simulationen zur Optimierung und Überwachung des Maskenherstellungs- oder Photolithographieprozesses - Kasten C - oder um eine Lösung des inversen Beugungsproblems - Kasten D - handelt. Die Schritte d , c2, und d1 sind dabei als Alternativen zu verstehen.
Im Schritt d wird ein Photolithographiescanner im Hinblick darauf simuliert, daß der Mastenherstellungsprozeß optimiert und überwacht wird, so daß Maskenstrukturen hergestellt werden, die beim Scannen in der Bildebene Phasensprünge von 180° bewirken. Alternativ können auch in Schritt c2 mehrere Photolithographiescanner simuliert werden, wobei diese unterschiedliche Beleuchtungs- und Abbildungseigenschaften haben. Diese simulierten Photolithographiescanner werden dann ebenfalls im Hinblick auf die Erzeugung von Phasensprüngen von 180° optimiert.
Schließlich kann auch in Schritt d1 aus den in Schritt a3 zusammengestellten Daten die dreidi- mensionale Struktur einer Photolithographiemaske berechnet werden.
Bezugszeichenliste
1 Rc-Ic-I jrhti inπcpinrirhti inn
2 Objekt
3 Fokusebene
4 Leuchtfeldblende
5,6 Linse
7 Detektor
10 8 Ortsfrequenzfilter
9 Speichermodul
10 Auswertemodul

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur ortsaufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objekts, bei dem Bilder erzeugt werden, indem a. das Objekt mit kohärentem Licht einer Beleuchtungseinrichtung beleuchtet und in eine Bildebene abgebildet wird, b. Licht in der Bildebene ortsaufgelöst in Pixeln detektiert wird, c. wobei für jedes Pixel die Intensität des Lichts bestimmt, in Bildpunkten gespeichert wird, und die Bildpunkte einem Bild zugeordnet werden, zunächst ein erstes Bild, und dann mindestens ein weiteres Bild erzeugt wird, wobei die Phase und / oder die Amplitude des Lichts in vorgegebener Weise modifiziert werden und die Modifikation sich für ein jedes Bild von denen für die übrigen Bilder unterscheidet, und aus den erzeugten Bildern ortsaufgelöst die Phase in der Abbildung des Objekts in der Bildebene bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Phase und / oder die Amplitude des Lichts durch eine Ortsfrequenzfilterung in einer Pupillenebene zwischen Objekt und Bildebene modifiziert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Ortsfrequenzfilterung durch Einbringen mindestens eines Ortsfrequenzfilters vorgenommen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Ortsfrequenzfilter zur Modifikation von Phase und / oder Amplitude im Strahlengang um die optische Achse und / oder um eine zur optischen Achse senkrechte Drehachse, die die optische Achse schneidet, gedreht wird, und / oder senkrecht zur optischen Achse verschoben wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß als mindestens ein Ortsfrequenzfilter eine Einzellinse, ein Mikrolinsen-Array, ein Siemensstern, ein Spiralfilter, ein Transmissions- oder ein Phasengitter verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Lage der Linsen auf dem Mikrolinsen-Array aperiodisch und / oder statistisch gewählt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß vor der ortsaufgelösten Bestimmung der Phase eine Kalibrierung des Ortsfrequenzfilters durchgeführt wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Bildpunkte eines jeden Bildes nach der Erzeugung eine Intensitätsgewichtungsfunktion angewendet wird, die die Intensitätswerte derart verändert, daß der Verlauf der Intensität im Bild bei periodischer Fortsetzung des Bildes einer stetigen, bevorzugt stetig differenzierbaren Funktion entspricht.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Bildpunkte eines jeden Bildes nach der Erzeugung eine Transformation in den Frequenzraum angewendet wird, und auf die in den Frequenzraum transformierten Bildpunkte eine Pupillengewichtungsfunkti- on angewendet wird, die am Rand einer Pupille nach außen stetig, bevorzugt stetig differenzierbar auf Null abfällt.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß in den Strahlengang in eine Objektebene der Beleuchtungseinrichtung eine Leuchtfeldblende einge- bracht wird.
10. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß weitere Bilder erzeugt werden, wobei zusätzlich der Einfallswinkel des Lichts auf das Objekt variiert wird.
11. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß weitere Bilder erzeugt werden, wobei das Objekt mit Licht einer vorgegebenen Polarisation beleuchtet wird und das Licht polarisationsabhängig detektiert wird.
12. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Phase und / oder Amplitude des Lichts zusätzlich durch eine Defokussierung modifiziert werden.
13. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor der ortsaufgelösten Bestimmung der Phase eine Kalibrierung in bezug auf monochromatische Aberrationen durchgeführt wird.
14. Verfahren nach einem der vorgenannten Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Erzeugung der Bilder eine Kalibrierung zur Kompensation zufälliger Defokussierun- gen durchgeführt wird.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Kalibrierung vor der Erzeugung eines jeden Bildes durchgeführt wird.
16. Vorrichtung zur ortsaufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objekts, umfassend - eine Beleuchtungseinrichtung mit einer kohärentes Licht abstrahlenden Lichtquelle, einen Halter für das Objekt, eine Abbildungsoptik, einen ortsauflösenden Detektor mit Pixeln, ein Speichermodul, sowie ein Auswertemodul, wobei die Vorrichtung Bilder erzeugt, indem a. das Objekt mit dem kohärenten Licht beleuchtet und durch die Abbildungsoptik in die Bildebene abgebildet wird, b. das Licht in der Bildebene ortsaufgelöst in den Pixeln detektiert wird, c. wobei für jedes Pixel die Intensität des Lichts bestimmt und im Speichermodul in Bildpunkten gespeichert wird, und die Bildpunkte einem Bild zugeordnet werden, dadurch gekennzeichnet, daß - bei der Abbildungsoptik mindestens ein in den Strahlengang in eine Pupillenebene ein- koppelbarer Ortsfrequenzfilter vorgesehen ist, mit dem die Phase und / oder Amplitude des Lichts modifiziert wird, die Vorrichtung ein erstes Bild und mindestens ein weiteres Bild erzeugt, wobei die Phase und / oder die Amplitude des Lichts in vorgegebener Weise durch den Ortsfrequenzfilter modifiziert werden und die Modifikation sich für ein jedes Bild von denen für die übrigen
Bilder unterscheidet, und das Auswertemodul die gespeicherten Bilder verarbeitet und ortsaufgelöst die Phase in der Abbildung des Objekts in der Bildebene bestimmt.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der eingekoppelte Ortsfrequenzfilter um die optische Achse und / oder eine zur optischen Achse senkrechte Drehachse, die die optische Achse schneidet, rotierbar und / oder senkrecht zur optischen Achse verschiebbar angeordnet ist.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß als mindestens ein Ortsfrequenzfilter eine Einzellinse, ein Mikrolinsen-Array, ein Siemensstern, ein Spiralfilter, ein Transmissions- oder ein Phasengitter vorgesehen ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Positionen der Linsen auf dem Mikrolinsen-Array aperiodisch und / oder statistisch verteilt sind.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 19. dadurch gekennzeichnet, daß im Aus- wertemodul ein Phase-Retrieval-Verfahren implementiert ist.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Objektebene im Strahlengang der Beleuchtungseinrichtung eine Leuchtfeldblende angeordnet ist.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 21 , dadurch gekennzeichnet, daß der Halter entlang der optischen Achse verschiebbar ist.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß Einstell- mittel zur Einstellung des Einfallswinkels des Lichts auf das Objekt vorgesehen sind.
24. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellmittel zwei gegeneinander bewegliche optische Elemente umfassen.
25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Beleuchtungseinrichtung und Objekt ein Polarisator und zwischen Abbildungsoptik und Detektor ein Analysator angeordnet ist.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die opti- sehen Eigenschaften der Abbildungsoptik und / oder der Beleuchtungseinrichtung im wesentlichen den optischen Eigenschaften eines zu simulierenden Photolithographiescanners entsprechen.
27. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 26 zur Simulation des Abbildungsverhaltens eines Photolithographiescanners.
28. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 26 zur Bestimmung der räumlichen Struktur einer Photolithographiemaske.
29. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 26 zur Bestimmung der Jones-Matrix einer Photolithographiemaske.
30. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 25 zur Anpassung und Einstellung des Herstellungsprozesses einer Photolithographiemaske, so daß bei ihrer Abbildung in die Bildebene dort an durch die Maskenstruktur vorgegebenen Stellen einen Phassnspruπg von 180° erzeugt wird.
31. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 26 zur Anpassung und Einstellung des Abbildungsverhaltens eines Photolithographiescanners für eine gegebene Photolithographiemaske, so daß bei deren Abbildung in die Bildebene dort an durch die Maskenstruktur vorgegebenen Stellen einen Phasensprung von 180° erzeugt wird.
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