EP1905120B1 - Adapteur d'impedance automatique coaxial - Google Patents

Adapteur d'impedance automatique coaxial Download PDF

Info

Publication number
EP1905120B1
EP1905120B1 EP06778882.8A EP06778882A EP1905120B1 EP 1905120 B1 EP1905120 B1 EP 1905120B1 EP 06778882 A EP06778882 A EP 06778882A EP 1905120 B1 EP1905120 B1 EP 1905120B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
probes
transmission line
impedance
coaxial
adaptor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Not-in-force
Application number
EP06778882.8A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP1905120A1 (fr
Inventor
Nicolas Vellas
Christophe Gaquiere
Frédéric BUE
Damien Ducatteau
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite de Lille 1 Sciences et Technologies
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite de Lille 1 Sciences et Technologies
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Universite de Lille 1 Sciences et Technologies filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Publication of EP1905120A1 publication Critical patent/EP1905120A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP1905120B1 publication Critical patent/EP1905120B1/fr
Not-in-force legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
    • H01P5/04—Coupling devices of the waveguide type with variable factor of coupling

Definitions

  • the present invention relates to the field of electronics and communication technologies.
  • the present invention relates more particularly to a coaxial automatic impedance adapter.
  • the displacement of the divers according to the two axes is carried out by means of piloted motors.
  • the plunger For displacement along the axis Oy, ie perpendicular to the axis of the coaxial line, the plunger approaches or moves away from the central conductor locally varying the distance between the central line and the plunger, that is to say say the characteristic impedance of the line.
  • the tuner When the plunger (s) is (are) as far as possible from the center line (plungers removed), the tuner has an impedance equal to 50 ⁇ .
  • These automatic coaxial tuners have the major advantage of being calibrated before measuring the components.
  • the input and output of the tuner are connected to a vector network analyzer.
  • a control software of the vector network analyzer and the tuner makes it possible to acquire the dispersion parameters of the tuner at several frequencies. Calibration of the tuner being completed, it is possible to very quickly characterize a power component and / or noise easily without assembly and disassembly of the measurement system.
  • Coaxial tuners have excellent performance but these are quickly reduced by the insertion losses of the tuner related to the transition between the coaxial connector and the central conductor.
  • Coaxial tuners have the advantage of being broadband and allowing the passage of DC voltages, but loss of insertions reduces their performance at high frequency.
  • tuners are also very bulky and heavy which presents a great disadvantage when the components are measured directly on "wafer” (cake) using microwave spikes. Indeed, given the size of the tuner, the latter is connected to the component by a cable with losses. The distance separating the tuner from the component is increased and the insertion losses between the tuner and the component as well. Under these conditions, the dead zone is then larger. In order to reduce this area, a pre-adaptation system is placed between the tip and the tuner. However, this device does not completely eliminate the limitation mentioned above. In addition, this pre-adaptation is very rigid. This considerably increases the vibrations, in the plane of the microwave peaks, induced by the displacement of the blocks.
  • tuners have, as we have already mentioned, a translational movement of the blocks along the axis Ox.
  • the rapid movement of these blocks (trolley + engine + plunger), whose mass is important, causes significant inertia movements and therefore vibrations.
  • these vibrations quickly degrade the quality of the contacts between the tips and the component and therefore the quality of the measurement.
  • this effect can cause the destruction of this one and spikes especially if the component is polarized at high voltage.
  • Patent is also known US-2,403,252 and US-3,792,385 manual impedance matching tuners whose adjustment operation is very tedious, especially by the use of screws to loosen to move an adapter element.
  • the present invention intends to overcome the drawbacks of the prior art by proposing a coaxial tuner with double "slug" (double probes).
  • This new impedance adapter best meets the characterization of power and noise transistors.
  • This tuner is designed to operate for wide frequency bands and has only a lateral translational movement along the axis Ox.
  • the present invention relates, in its most general sense, a coaxial impedance adapter having two probes (" slugs") and only has a lateral translational movement along the Ox axis .
  • a coaxial impedance adapter for a transmission line comprising in the longitudinal direction a conductive central line Ox axis, the adapter having two probes in the transmission line adapted to move according to a translational movement along the axis Ox, and two motors driving in translation, each, one of said probes, said motors being isolated from the probes by elastic couplings.
  • said impedance adapter operates in the frequency band ranging from 0.25 GHz to 240 GHz.
  • said probes are of circular section and slide longitudinally in the transmission line. They adapt particularly well to transmission guides of circular section. In the case where these guides are of rectangular section or any other shape, probes of identical section will preferably be chosen in order to "fill" the zone of the waveguide.
  • "resonator" probes which comprise a stack of metal layers separated by at least one insulating layer in the longitudinal direction, or "broadband” probes formed of metal cylinders whose faces side have a recess centered towards the inside of the cylinder.
  • a dielectric is deposited on the center line of the impedance adapter or on the slugs (outer and inner diameter). This is to limit short circuits and improve microwave performance.
  • the probes are interchangeable.
  • motors are isolated from the rest of the system via resilient couplings to minimize vibration.
  • the principle of the double slug tuner is based on the displacement of two ends of a characteristic impedance line different from 50 ⁇ inside a cylinder closed on both sides by standard connectors.
  • the principle of this tuner is based on the displacement of two impedance characteristic slugs different from 50 ⁇ in a 50 ohm coaxial line.
  • said probes have a characteristic impedance different from the characteristic impedance of said transmission line, which is 50 ohms in many waveguides.
  • the first slug locally decreases the impedance of the line by changing the value of the diameter D of the outer conductor.
  • Automatic piloting is provided, for example by computer and / or electronic means, probes to allow accurate and reproducible positioning thereof.
  • each probe is secured to a carriage by the elastic coupling, the adapter further comprising motors adapted to drive the carriages in translation in the longitudinal direction of the transmission line. The motors are then driven automatically.
  • said motors are step-by-step or piezoelectric linear motors and the carriages are mounted on guides parallel to the transmission line and driven by the motors.
  • each motor is a rotary motor which rotates a precision ground screw driving a corresponding translational carriage to which an associated probe is connected.
  • said motors are optimized in order to have low travel times as well as precise control of the acceleration and servo profiles.
  • one of the so-called pre-adaptation probes is arranged to move over a distance of ⁇ / 2, where ⁇ is the working wavelength, and the second probe is arranged to move over a distance of ⁇ / 2 relative to said pre-adaptation probe.
  • the impedance adapter has a reflection coefficient greater than 0.98 at 10 GHz.
  • This tuner is based on the displacement of two characteristic impedance slugs different from 50 ⁇ in a 50 ohm coaxial line.
  • the characteristic impedances of coaxial slugs are given by relation (1) below.
  • This impedance adapter is shown Figure 2 .
  • Z vs 138 ⁇ r log 10 d 2 d 1
  • ⁇ r is the dielectric constant of the medium.
  • the figure 2 shows the transmission line 4 of cylindrical shape comprising in the longitudinal direction and at its center a conductive central line 5.
  • the transmission line 4 has a diameter of 6.91 mm and the central line 5 a diameter of 3 mm.
  • the set "transmission line + central line" thus composed has a characteristic impedance of 50 ohms.
  • the probes (“slugs”) 6a and 6b are cylindrical in shape of length 3.75 mm and outer diameter slightly smaller than the internal diameter of the transmission line, about 6.9 mm. They have a longitudinal bore at its center of diameter 3.1 mm allowing the passage of the central line 5. The probes can thus easily slide along the central line (see the arrows of the figure 2 ). Each probe has a characteristic impedance significantly different from that of the transmission line, in this case by the aforementioned dimensions, the impedance of the probes is about 2 ohms.
  • the figure 4 illustrates two examples of probes that can be used in pairs.
  • the probe of the figure 4a is a "resonator" probe of cylindrical shape and composed in the longitudinal direction of two metal layers separated by a layer of insulation. This arrangement reduces the frequency band so that the probe behaves like a resonator.
  • the advantage of reducing the frequency band at which the slug takes effect lies in the ability to control the value of the reflection coefficient presented to the component under test not at one frequency but at several.
  • the probe of the figure 4b is of cylindrical metal having at both end faces a progressive recess from the outside to the center, where slides the conductive central line 5. This recess has the effect of increasing the frequency band of the probe. The latter behaves like a broadband probe.
  • any other form of the transmission line 4 may also be suitable as long as the probes used have substantially the same cross-section as the transmission line and best fit the internal shape of this transmission line. except for the conductive central line 5 on which the probes slide.
  • the slug locally varies the impedance of the line by changing the value of the diameter D of the outer conductor. This local variation of impedance modifies the reflection coefficient of the tuner so the impedance of it.
  • the impedance of the tuner moves on a constant TOS (steady state wave) circle centered on Z c .
  • a displacement of ⁇ / 2 makes it possible to describe the whole circle on the Smith chart.
  • the radius of the circle, on the Smith chart varies. It is then impossible to cover the entire abacus with a single slug with non-parametric characteristics.
  • the impedance of the tuner no longer moves on a circle with constant TOS. If we move the first slug 6b by a distance ⁇ / 2 along the conductor, we describe the entire circle on the chart around the pre-adaptation impedance.
  • the characteristics of the circles drawn depend on the characteristics of the slugs used. So, for example, a combination of slugs will have many points on the edge of the abacus while that another combination will allow a better coverage of the abacus. This adds additional flexibility of use.
  • the adapter made was automated using two stepper motors of very high precision associated with an encoding system to achieve the removal of slugs.
  • the motors rotate, each, a precision ground screw that drives a carriage.
  • Each carriage mounted on a screw moves a slug.
  • the tuner could be placed closer to the component under test, thus not affecting the size of the dead zone.
  • automatic tuner calibration can be used to characterize a component in minutes and accurately.
  • the outer conductor 4 of the transmission line is provided with a slot in the longitudinal direction of the line.

Landscapes

  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Description

  • La présente invention se rapporte au domaine de l'électronique et des technologies de communication.
  • La présente invention se rapporte plus particulièrement à un adaptateur d'impédance automatique coaxial.
  • L'art antérieur connaît déjà, par le brevet américain US 3 792 385 (« RCA »), un tuner (adaptateur d'impédance) magnétique à sonde coaxial. Une sonde magnétique d'adaptation déplaçable couplée de façon capacitive au conducteur central et au conducteur extérieur d'une ligne de transmission électromagnétique est utilisée pour fournir une impédance de ligne de transmission en réponse à un champ magnétique appliqué.
  • L'art antérieur connaît également, par le brevet américain US 6 297 649 (« Focus Microwaves »), un tuner (adaptateur d'impédance) coaxial capable de réaliser de la réjection d'harmoniques.
  • Les deux principaux fabricants d'adaptateurs d'impédance : « Maury Microwave Corporation » et « Focus Microwaves » (marques déposées) utilisent un ou plusieurs plongeurs qui se déplacent indépendamment l'un par rapport à l'autre suivant l'axe Ox et Oy comme l'indiquent les flèches de la figure 1.
  • Le déplacement des plongeurs suivant les deux axes est réalisé par l'intermédiaire de moteurs pilotés.
  • Pour le déplacement suivant l'axe Ox, c'est-à-dire dans l'axe de la ligne coaxiale, tout le bloc (moteurs + plongeur) se déplace grâce à un axe de guidage. Un logiciel de commande permet d'éviter les collisions entre les deux blocs puisqu'ils se déplacent sur le même axe de guidage.
  • Pour le déplacement suivant l'axe Oy, soit perpendiculairement à l'axe de la ligne coaxiale, le plongeur s'approche ou s'éloigne du conducteur central faisant varier localement la distance entre la ligne centrale et le plongeur, c'est-à-dire l'impédance caractéristique de la ligne.
  • Lorsque le ou les plongeur(s) se trouve(nt) le plus éloigné(s) possible de la ligne centrale (plongeurs sortis), le tuner présente une impédance égale à 50Ω.
  • Ces tuners coaxiaux automatiques présentent l'avantage majeur de pouvoir être étalonnés avant la mesure des composants. L'entrée et la sortie du tuner sont connectées à un analyseur de réseaux vectoriel. Pour plusieurs centaines de positions, un logiciel de commande de l'analyseur de réseaux vectoriel et du tuner permet de faire l'acquisition des paramètres de dispersion du tuner à plusieurs fréquences. Le calibrage du tuner étant terminé, il est possible de caractériser très rapidement un composant en puissance et/ou en bruit aisément sans montage et démontage du système de mesure.
  • Les tuners coaxiaux présentent d'excellentes performances mais ces dernières sont rapidement réduites par les pertes d'insertion du tuner liées à la transition entre le connecteur coaxial et le conducteur central. Plus les pertes au niveau de la transition sont importantes, plus le module du coefficient de réflexion de l'impédance de charge réalisée est faible. Par conséquent, il ne sera pas possible de synthétiser toutes les impédances de l'abaque de Smith.
  • On pourra remarquer sur un abaque de Smith qu'il y a des « zones mortes » : la zone comprise entre le « bord » de l'abaque et le cercle d'impédance à une fréquence donnée est dite « zone morte ». Les impédances présentes dans cette zone ne seront pas réalisables à la fréquence donnée.
  • Les tuners coaxiaux présentent l'avantage d'être large bande et de permettre le passage des tensions continues mais les pertes d'insertions réduisent leurs performances à haute fréquence.
  • Ces tuners sont également très volumineux et lourds ce qui présente un grand désavantage lorsque les composants sont mesurés directement sur « wafer » (galette) à l'aide de pointes hyperfréquences. Effectivement, étant donné la taille du tuner, ce dernier est relié au composant par un câble présentant des pertes. La distance séparant le tuner du composant est augmentée et les pertes d'insertion entre le tuner et le composant également. Dans ces conditions, la zone morte est alors plus importante. Afin de réduire cette zone, un système de préadaptation est placé entre la pointe et le tuner. Cependant ce dispositif ne permet pas de supprimer totalement la limitation précédemment citée. De plus, cette préadaptation est très rigide. Ceci augmente considérablement les vibrations, dans le plan des pointes hyperfréquence, induites par le déplacement des blocs.
  • Ces tuners ont, comme nous l'avons déjà évoqué, un mouvement de translation des blocs suivant l'axe Ox. Le déplacement rapide de ces blocs (chariot + moteur + plongeur), dont la masse est importante, provoque des mouvements d'inertie importants et donc des vibrations. Or, en mesure sous pointes, ces vibrations dégradent rapidement la qualité des contacts entre les pointes et le composant et donc de la qualité de la mesure. Lorsque le composant est sous test, cet effet peut engendrer la destruction de celui-ci et des pointes surtout si le composant est polarisé à forte tension.
  • On connaît également, par les brevets US-2 403 252 et US-3 792 385 , des tuners manuels d'adaptation d'impédance dont le fonctionnement d'ajustement est très fastidieux, notamment par l'utilisation de vis à desserrer pour déplacer un élément d'adaptation.
  • On connaît également, par les documents US-6 297 649 et US-2003/0122633 , des adaptateurs d'impédance comprenant deux modules type plongeurs tels que décrits précédemment. Ces plongeurs sont des éléments saillants venant occuper une partie, généralement haute, de la ligne de transmission. De tels plongeurs occupent inégalement l'espace de la ligne de transmission et peuvent provoquer des fuites de charge. En outre, la dissymétrie engendrée par ces plongeurs n'est pas propice à une utilisation de l'adaptateur sur un plan incliné.
  • Les solutions décrites dans ces deux documents ainsi que la solution décrite dans le document JP-57063901 reposent sur l'utilisation de chariots mobiles équipés de moteurs. Une problématique évoquée précédemment subsiste alors : les vibrations engendrées par le fonctionnement des moteurs sont susceptibles d'altérer les sondes à l'intérieur de la ligne de transmission ou de rendre inopérante toute mesure hyperfréquence à l'aide de pointes.
  • La présente invention entend remédier aux inconvénients de l'art antérieur en proposant un tuner coaxial à double « slug » (à double sondes). Ce nouvel adaptateur d'impédance répond au mieux à la caractérisation des transistors de puissance et de bruit. Ce tuner est prévu pour fonctionner pour des larges bandes de fréquence et ne présente qu'un mouvement de translation latéral suivant l'axe Ox.
  • A cet effet, la présente invention concerne, dans son acception la plus générale, un adaptateur d'impédance coaxial comportant deux sondes (« slugs ») et ne présente qu'un mouvement de translation latéral suivant l'axe Ox.
  • Selon un mode de réalisation, il s'agit d'un adaptateur d'impédance coaxial pour ligne de transmission comprenant dans le sens longitudinal une ligne centrale conductrice d'axe Ox, l'adaptateur comportant deux sondes dans la ligne de transmission aptes à se déplacer selon un mouvement de translation suivant l'axe Ox, et deux moteurs entraînant en translation, chacun, une desdites sondes, lesdits moteurs étant isolés des sondes par des accouplements élastiques. On obtient ainsi à la fois un dispositif efficace pour parcourir l'ensemble des impédances de l'abaque de Smith et un adaptateur stable quant aux vibrations émises par les moteurs.
  • Avantageusement, ledit adaptateur d'impédance fonctionne dans la bande de fréquence s'étendant de 0.25 GHz à 240 GHz.
  • Selon un mode de réalisation, lesdites sondes sont de section circulaire et coulissent longitudinalement, dans la ligne de transmission. Elles s'adaptent particulièrement bien à des guides de transmission de section circulaire. Dans le cas où ces guides sont à section rectangulaire ou tout autre forme, on choisira de préférence des sondes de section identique afin de « remplir » la zone du guide d'ondes.
  • Selon les application souhaitées, on recherche des sondes « résonateur » comprenant un empilement de couches métalliques séparées par au moins une couche isolante dans le sens longitudinal, ou des sondes « large bande » formées des cylindres métalliques dont les faces latérales présentent un renfoncement centré vers l'intérieur du cylindre. En jouant sur des combinaisons de sondes, grâce à leur interchangeabilité, l'on peut obtenir une efficacité accrue dans le recouvrement des impédances de l'abaque Smith tout en évitant des fuites de charge ou autre interférence hyperfréquence.
  • Afin d'éviter des courts-circuits, un diélectrique est déposé sur la ligne centrale de l'adaptateur d'impédance ou sur les slugs (diamètre extérieur et intérieur). Ceci afin de limiter les courts-circuits et d'améliorer les performances hyperfréquences.
  • Avantageusement, les sondes (« slugs ») sont interchangeables.
  • On note que les moteurs sont isolés du reste du système via des accouplements élastiques afin de minimiser les vibrations.
  • Selon un aspect, le principe du tuner double slugs est basé sur le déplacement de deux bouts de ligne d'impédance caractéristique différente de 50 Ω à l'intérieur d'un cylindre fermé de part et d'autre par des connecteurs standard.
  • Selon un second aspect, le principe de ce tuner est basé sur le déplacement de deux slugs d'impédance caractéristique différente de 50 Ω dans une ligne coaxiale 50 ohms.
  • Généralement il est donc choisi que lesdites sondes ont une impédance caractéristique différente de l'impédance caractéristique de ladite ligne de transmission, laquelle est de 50 ohms dans de nombreux guides d'onde.
  • Avantageusement, le premier slug fait diminuer localement l'impédance de la ligne en changeant la valeur du diamètre D du conducteur extérieur.
  • On prévoit un pilotage automatique, par exemple par des moyens informatiques et/ou électroniques, des sondes pour permettre un positionnement précis et reproductible de celles-ci. Dans ce dessein, chaque sonde est solidaire d'un chariot par l'accouplement élastique, l'adaptateur comprenant, en outre, des moteurs aptes à entraîner les chariots en translation dans le sens longitudinal de la ligne de transmission. Les moteurs sont alors pilotés automatiquement.
  • Eventuellement, lesdits moteurs sont des moteurs linéaires pas-à-pas ou piézoélectriques et les chariots sont montés sur des guides parallèles à la ligne de transmission et entraînés par les moteurs.
  • Selon une alternative, chaque moteur est un moteur rotatif qui met en rotation une vis rectifiée de précision entraînant un chariot correspondant en translation auquel est reliée une sonde associée.
  • Avantageusement, lesdits moteurs sont optimisés afin de présenter des temps de déplacements faibles ainsi qu'un contrôle précis des profils d'accélérations et d'asservissements.
  • En fonctionnement, l'une des sondes dite de pré-adaptation est agencée pour se déplacer sur une distance de λ/2, où λ est la longueur d'onde de travail, et la deuxième sonde est agencée pour se déplacer sur une distance de λ/2 relativement à ladite sonde de pré-adaptation.
  • Selon un mode de réalisation, l'adaptateur d'impédance présente un coefficient de réflexion supérieur à 0,98 à 10 GHz.
  • Les avantages du tuner automatique coaxial selon la présente invention sont les suivantes :
    • Des performances hyperfréquences nettement meilleures que les systèmes existants. En effet, selon la présente invention, Le système propose une très grande souplesse de synthèse d'impédance à fort coefficient de réflexion.
    • La bande de fréquence pouvant être réalisée pour les tuners coaxiaux s'étend de 0.25 GHz à 240 GHz.
    • Possibilité d'interchanger aisément les slugs pour des applications spécifiques afin d'adapter les performances du tuner au regard des composants étudiés.
    • Le système proposé propose une très grande répétabilité à fort coefficient de réflexion
    • un seul déplacement selon la ligne de transmission existe alors que dans les systèmes existants, il y a deux mouvements dont l'un d'entre eux est perpendiculaire à la ligne de transmission (avec des déplacements très proches de cette ligne).
    • Une très forte robustesse par rapport aux systèmes existants. Dans les systèmes classiques, la sonde mobile doit s'approcher de la ligne centrale suspendue (à quelques dizaines de µm) et cela sur une longue distance. Cela provoque une grande fragilité. Dans notre système, ce problème est totalement éludé. Le tuner peut même fonctionner sur un plan incliné sans pertes d'efficacité. De plus, le dépôt d'un diélectrique permet d'améliorer les performances et d'éviter les courts-circuits.
    • Le système proposé est beaucoup plus stable (d'un point de vue vibratoire) que les systèmes classiques. En effet, les moteurs sont isolés du reste du système via des accouplements élastiques. Ceci est un point très important lors de mesures sous pointes.
    • Masse des slugs très faible n'induisant pas de problème de centre de gravité mobile.
    • Le système de maintien des slugs (remplaçant le système de plongeurs des systèmes classiques) permet un positionnement précis ainsi qu'une très bonne reproductibilité.
    • Les moteurs et l'électronique associée ont été optimisés afin de présenter des temps de déplacements faibles ainsi qu'un contrôle précis des profils d'accélérations et d'asservissements (afin de minimiser les problèmes de vibrations).
    • Dans ces conditions, le coût de réalisation est nettement plus faible que les systèmes existants.
    • Il n'y a pas de modification du centre de gravité grâce à la position des moteurs isolés des slugs et à la légèreté du système.
    • Le système selon l'invention permet une grande robustesse de la ligne centrale. En effet, celle-ci est maintenue à distance constante : il n'y a pas de ligne suspendue comme dans les tuners selon l'art antérieur. Le tuner selon l'invention ne pose pas de problème pour le transport.
    • Le tuner selon l'invention supporte de fortes tensions de polarisation grâce à la conception du tuner.
  • On comprendra mieux l'invention à l'aide de la description, faite ci-après à titre purement explicatif, d'un mode de réalisation de l'invention, en référence aux figures annexée :
    • la figure 1 illustre un exemple d'adaptateur d'impédance selon l'art antérieur ;
    • la figure 2 illustre un exemple d'agencement des sondes dans un adaptateur d'impédance selon la présente invention ;
    • la figure 3 illustre le fonctionnement d'un adaptateur d'impédance selon l'invention ; et
    • la figure 4 représente deux exemples de sondes interchangeables utilisées dans la présente invention.
  • Le principe de ce tuner est basé sur le déplacement de deux slugs d'impédance caractéristique différente de 50 Ω dans une ligne coaxiale 50 ohms. Les impédances caractéristiques des slugs coaxiaux sont données par la relation (1) ci-dessous. Cet adaptateur d'impédance est représenté Figure 2. Z c = 138 ε r log 10 d 2 d 1
    Figure imgb0001
  • Où εr est la constante diélectrique du milieu.
  • La figure 2 montre la ligne de transmission 4 de forme cylindrique comprenant dans le sens longitudinal et en son centre une ligne centrale conductrice 5. La ligne de transmission 4 a un diamètre de 6,91 mm et la ligne centrale 5 un diamètre de 3 mm. L'ensemble « ligne de transmission + ligne centrale » ainsi composé présente une impédance caractéristique de 50 ohms.
  • Les sondes (« slugs ») 6a et 6b sont de forme cylindrique de longueur 3,75 mm et de diamètre extérieur légèrement inférieur au diamètre intérieur de la ligne de transmission, soit environ 6,9 mm. Elles présentent un perçage longitudinal en son centre de diamètre 3,1 mm permettant le passage de la ligne centrale 5. Les sondes peuvent ainsi aisément coulisser le long de la ligne centrale (voir les flèches de la figure 2). Chaque sonde présente une impédance caractéristique nettement différente de celle de la ligne de transmission, en l'occurrence, par les dimensions susmentionnées, l'impédance des sondes est d'environ 2 ohms.
  • La figure 4 illustre deux exemples de sondes qui peuvent être utilisées par paire. La sonde de la figure 4a est une sonde « résonateur » de forme cylindrique et composée dans le sens longitudinal de deux couches de métal séparées par une couche d'isolant. Cet agencement réduit la bande de fréquence de telle sorte que la sonde se comporte telle un résonateur. L'avantage de la réduction de la bande de fréquence à laquelle le slug fait effet réside dans la possibilité de contrôler la valeur du coefficient de réflexion présenté au composant sous test non pas à une fréquence mais à plusieurs.
  • La sonde de la figure 4b est en métal de forme cylindrique présentant aux deux faces d'extrémité un renfoncement progressif de l'extérieur vers le centre, là où coulisse la ligne centrale conductrice 5. Ce renfoncement a pour effet d'augmenter la bande de fréquence de la sonde. Cette dernière se comporte donc comme une sonde large bande.
  • Toute autre forme de la ligne de transmission 4 (par exemple section carré ou rectangulaire) peut également convenir pour autant que les sondes utilisées aient sensiblement la même section que la ligne de transmission et épousent au mieux la forme intérieure de cette ligne de transmission à l'exception de la ligne centrale conductrice 5 sur laquelle coulissent les sondes.
  • Le slug fait varier localement l'impédance de la ligne en changeant la valeur du diamètre D du conducteur extérieur. Cette variation locale d'impédance modifie le coefficient de réflexion du tuner donc l'impédance de celui-ci.
  • Si on coulisse le slug 6b sur la ligne d'impédance Zc, l'impédance du tuner se déplace sur un cercle à TOS (taux d'onde stationnaire) constant centré sur Zc. Un déplacement de λ/2 (où λ représente la longueur d'onde de travail) permet de décrire l'ensemble du cercle sur l'abaque de Smith. Selon les caractéristiques du slug (diamètre intérieur et longueur), le rayon du cercle, sur l'abaque de Smith, varie. Il est alors impossible de couvrir l'ensemble de l'abaque avec un seul slug aux caractéristiques non paramétrables. On ajoute alors un deuxième slug 6a devant le premier. Celui-ci va permettre d'effectuer une pré-adaptation ou « prématching » : en déplaçant le centre du cercle décrit.
  • L'impédance du tuner ne se déplace plus sur un cercle à TOS constant. Si on déplace le premier slug 6b d'une distance λ/2 le long du conducteur, on décrit le cercle entier sur l'abaque autour de l'impédance de préadaptation.
  • Si on fait varier la position du second slug, le centre du cercle décrit se déplace sur un cercle à TOS constant. Parcourir une distance de λ/2 avec le deuxième slug, et pour chaque position de celui-ci balayer une distance de λ/2 avec le premier permet de tracer une multitude de cercles qui permettent de couvrir l'abaque de Smith dans sa globalité.
  • Les caractéristiques des cercles tracés (rayon, cercle à TOS constant sur lequel se déplace le centre) dépendent des caractéristiques des slugs utilisés. Ainsi, par exemple, une combinaison de slugs permettra d'avoir de nombreux points au bord de l'abaque tandis qu'une autre combinaison permettra une meilleure couverture de l'abaque. Ceci ajoute une souplesse supplémentaire d'utilisation.
  • L'adaptateur réalisé a été automatisé en utilisant deux moteurs pas à pas de très grande précision associés à un système d'encodage pour réaliser le déplacement des slugs. Les moteurs font tourner, chacun, une vis rectifiée de précision qui entraîne un chariot. Chaque chariot monté sur une vis entraîne le déplacement d'un slug.
  • Le tuner pourrait être placé au plus près du composant sous test, n'affectant pas ainsi la taille de la zone morte. Comme pour les tuners commerciaux, l'étalonnage automatique du tuner permet de caractériser un composant en quelques minutes et de façon précise.
  • En référence à la figure 3, un mode de réalisation de l'adaptateur d'impédance est proposé. Il comprend :
    • un conducteur intérieur de diamètre d1 (5) et un conducteur extérieur de diamètre d2 (4), l'ensemble constituant une ligne de transmission, ainsi que deux sondes 6a et 6b. Cet ensemble est similaire à celui décrit en référence à la figure 2 ;
    • un connecteur coaxial standard (non représenté) de chaque côté de la ligne de transmission ;
    • un chariot (2) équipée d'un moteur (1) permettant de coulisser le long d'un guide (3). Le moteur (1) est de type linéaire permettant, à l'inverse des moteurs rotatifs, de limiter les vibrations engendrées lors de son fonctionnement. Les sondes 6a et 6b sont chacune reliées à un bloc « chariot 2 + moteur 1 + guide 3 » par un bras d'accouplement 7 muni de moyens élastiques d'absorption de vibration. L'absorption des vibrations est réalisée au niveau du bras d'accouplement à l'aide d'une languette de matériau souple prise en sandwich entre les deux parties métalliques situées respectivement vers le bloc « moteur + chariot + guide » et vers la sonde.
  • Pour permettre le déplacement des sondes 6 par les bras de liaison 7, le conducteur extérieur 4 de la ligne de transmission est pourvu d'une fente dans le sens longitudinal de la ligne.

Claims (10)

  1. Adaptateur d'impédance coaxial pour une ligne de transmission (4, 5), ladite ligne de transmission comprenant dans le sens longitudinal une ligne centrale conductrice (5) d'axe Ox, l'adaptateur comportant deux sondes (6) munies chacune d'un perçage permettant le passage de ladite ligne centrale de manière que chacune des sondes soit apte à coulisser dans la ligne de transmission le long de ladite ligne centrale selon un mouvement de translation suivant l'axe Ox, et deux moteurs (1), entraînant, chacun, un chariots (2) en translation, chaque chariot étant solidaire d'une desdites sondes (6), caractérisé en ce que lesdites sondes sont reliées aux chariots par des bras d'accouplement (7) muni de moyens élastiques, les moyens élastiques comprenant une languette de matériau souple prise en sandwich entre deux parties métalliques, l'adaptation d'impédance étant réalisée par déplacement d'au moins l'une desdites sondes dans ladite ligne de transmission.
  2. Adaptateur d'impédance coaxial selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites sondes sont de section circulaire.
  3. Adaptateur d'impédance coaxial selon la revendication précédente, caractérisé en ce que lesdites sondes comprennent un empilement de couches métalliques séparées par au moins une couche isolante dans le sens longitudinal.
  4. Adaptateur d'impédance coaxial selon la revendication 2, caractérisé en ce que lesdites sondes sont des cylindres métalliques dont les faces latérales présentent un renfoncement centré vers l'intérieur du cylindre.
  5. Adaptateur d'impédance coaxial selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'un diélectrique est déposé sur ladite ligne centrale conductrice.
  6. Adaptateur d'impédance coaxial selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'un diélectrique est déposé sur l'un des diamètres intérieur et extérieur desdites sondes.
  7. Adaptateur d'impédance coaxiale selon l'une au moins des revendications précédentes, caractérisé en ce que lesdites sondes ont une impédance caractéristique différente de l'impédance caractéristique de ladite ligne de transmission.
  8. Adaptateur d'impédance coaxial selon la revendication précédente, caractérisé en ce que ladite ligne de transmission a une impédance caractéristique de 50 ohms.
  9. Adaptateur d'impédance coaxial selon la revendication précédente, caractérisé en ce que lesdits moteurs sont des moteurs linéaires et les chariots sont montés sur des guides parallèles à la ligne de transmission.
  10. Adaptateur d'impédance coaxial selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'une des sondes dite de pré-adaptation (6a) est agencée pour se déplacer sur une distance de λ/2, où λ est la longueur d'onde de travail, et la deuxième sonde (6b) est agencée pour se déplacer sur une distance de λ/2 relativement à ladite sonde de pré-adaptation (6a).
EP06778882.8A 2005-07-18 2006-07-18 Adapteur d'impedance automatique coaxial Not-in-force EP1905120B1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0507607A FR2888670B1 (fr) 2005-07-18 2005-07-18 Adapteur d'impedance automatique coaxial
PCT/FR2006/001759 WO2007010134A1 (fr) 2005-07-18 2006-07-18 Adapteur d'impedance automatique coaxial

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1905120A1 EP1905120A1 (fr) 2008-04-02
EP1905120B1 true EP1905120B1 (fr) 2017-08-30

Family

ID=36088428

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP06778882.8A Not-in-force EP1905120B1 (fr) 2005-07-18 2006-07-18 Adapteur d'impedance automatique coaxial

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7936233B2 (fr)
EP (1) EP1905120B1 (fr)
JP (1) JP4782833B2 (fr)
FR (1) FR2888670B1 (fr)
WO (1) WO2007010134A1 (fr)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2151007A1 (fr) * 2007-05-02 2010-02-10 ViaSat, Inc. Interface coaxiale d'impédance à faible perte pour des circuits intégrés
US8525518B1 (en) * 2008-11-04 2013-09-03 The Florida State University Research Foundation, Inc. Impedance matching in NMR probe with an adjustable segmented transmission line
JP4852091B2 (ja) * 2008-12-22 2012-01-11 株式会社日立メディコ 傾斜磁場コイル装置、核磁気共鳴撮像装置、および、コイルパターンの設計方法
US8259025B2 (en) * 2009-03-26 2012-09-04 Laird Technologies, Inc. Multi-band antenna assemblies
CN102365785B (zh) 2009-03-27 2014-02-26 东京毅力科创株式会社 调谐器和微波等离子体源
US8203348B1 (en) * 2009-05-01 2012-06-19 Christos Tsironis Autonomous impedance tuner with human control interface
FR2972858B1 (fr) * 2011-03-18 2014-01-03 Arnaud Curutchet Synthetiseur d'impedance coaxial
US8823392B2 (en) 2011-04-06 2014-09-02 Maury Microwave, Inc. Web-enabled controller for impedance tuner systems
JP6444782B2 (ja) * 2015-03-17 2018-12-26 東京エレクトロン株式会社 チューナおよびマイクロ波プラズマ源
KR20200026848A (ko) * 2020-02-21 2020-03-11 박상규 마이크로파 시스템

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2089650A5 (fr) * 1970-04-15 1972-01-07 Jorn Raoul

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE474967A (fr) * 1944-11-16
US3792385A (en) * 1972-11-06 1974-02-12 Rca Corp Coaxial magnetic slug tuner
JPS49112552A (fr) * 1973-02-24 1974-10-26
JPS5229041A (en) * 1975-08-31 1977-03-04 Toshinori Chiyo Foot pedal vehicle
JPS5763901A (en) * 1980-10-07 1982-04-17 Toshiba Corp High-frequency impedance variable device
JPH09317824A (ja) * 1996-03-29 1997-12-12 Nok Megurasutikku Kk 防振マウント
US6297649B1 (en) * 1999-09-30 2001-10-02 Focus Microwaves Inc. Harmonic rejection load tuner
US7034629B2 (en) * 2001-12-31 2006-04-25 Christos Tsironis High frequency, high reflection pre-matching tuners with variable zero initialization
JP3845598B2 (ja) * 2002-05-21 2006-11-15 長野日本無線株式会社 同軸型インピーダンス整合器
JP2004031678A (ja) 2002-06-26 2004-01-29 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置および半導体素子搭載用保持具
JP2004316782A (ja) * 2003-04-16 2004-11-11 Toyo Tire & Rubber Co Ltd モータ用防振ゴム

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2089650A5 (fr) * 1970-04-15 1972-01-07 Jorn Raoul

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009502075A (ja) 2009-01-22
FR2888670B1 (fr) 2009-11-20
EP1905120A1 (fr) 2008-04-02
FR2888670A1 (fr) 2007-01-19
JP4782833B2 (ja) 2011-09-28
US20090146757A1 (en) 2009-06-11
WO2007010134A1 (fr) 2007-01-25
US7936233B2 (en) 2011-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1905120B1 (fr) Adapteur d'impedance automatique coaxial
EP2068164B1 (fr) Procédé de réglage d'un circuit d'excitation et détection pour résonance magnétique nucléaire
EP0047203B1 (fr) Filtre hyperfréquence à résonateur diélectrique, accordable dans une grande largeur de bande
FR2609167A1 (fr) Capteur de proximite a hyperfrequence
EP2690703B1 (fr) Filtre passe bande accordable en fréquence pour onde hyperfréquence
EP3004900B1 (fr) Dispositif de mesure de tension
EP2156201A2 (fr) Système d'émission d'impulsion électrique et dispositif de découplage capacitif pour un tel système
FR3015684A1 (fr) Dispositif de mesure de l'usure d'une rotule, rotule integrant ce dispositif et methode de mesure de l'usure d'une telle rotule
FR2892521A1 (fr) Systeme de mesure de permeabilite magnetique et echantillon de reference utilise dans celui-ci
EP0467818A1 (fr) Elément de transition entre guides d'ondes électromagnétiques, notamment entre un guide d'ondes circulaire et un guide d'ondes coaxial
EP1955081B1 (fr) Mesure deportee du courant traversant une charge
EP0468857A1 (fr) Dispositif de réception sans fil pour appareils d'imagerie par résonance magnétique nucléaire
EP2853004B1 (fr) Synthétiseur d'impédance coaxial
EP3631481B1 (fr) Système de réflectométrie pour la détection de défauts sur un connecteur multipoints durci d'un réseau électrique
EP2887451A1 (fr) Filtre hyperfréquence passe-bande accordable par rotation d'un élément diélectrique
EP0534826A1 (fr) Dispositif pour tests hyperfréquences à large bande réalisés in situ
FR2685490A1 (fr) Dispositif de mesure de parametres dielectriques et magnetiques de materiaux et systeme de mesure desdits parametres utilisant ce dispositif.
WO2020120598A1 (fr) Capteur micro-onde du type à micro-ruban
EP3477709B1 (fr) Commutateur
CA2194470A1 (fr) Transformateur d'impedance a haute frequence
FR2886768A1 (fr) Adaptateur d'impedance automatique compact en guide d'onde
FR3122496A1 (fr) Porte échantillon destiné à la caractérisation des propriétés diélectriques et/ou magnétiques d’un échantillon
FR2696009A1 (fr) Dispositif de calibrage pour ajuster en hyperfréquence les plans de référence d'un appareillage de mesure des paramètres de dispersion d'éléments de circuits intégrés.
EP0487388A1 (fr) Inductance, notamment pour ondes courtes
FR2885446A1 (fr) Sonde coaxiale, son procede de fabrication et dispositif de mesure en champ proche electromagnetique sur des systemes a distance submicrometrique

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20080118

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)
17Q First examination report despatched

Effective date: 20081126

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20170308

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 924455

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20170915

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: FRENCH

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 602006053477

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: MP

Effective date: 20170830

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG4D

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MK05

Ref document number: 924455

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20170830

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171201

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171130

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20171230

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 602006053477

Country of ref document: DE

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 13

26N No opposition filed

Effective date: 20180531

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20180727

Year of fee payment: 13

Ref country code: DE

Payment date: 20180710

Year of fee payment: 13

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20180718

Year of fee payment: 13

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180718

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

REG Reference to a national code

Ref country code: BE

Ref legal event code: MM

Effective date: 20180731

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: MM4A

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180731

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180718

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180731

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20180731

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 602006053477

Country of ref document: DE

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20190718

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200201

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20190718

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO

Effective date: 20060718

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170830

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20190731