EP1903529B1 - Anordnung mit einem Vakuumgerät - Google Patents

Anordnung mit einem Vakuumgerät Download PDF

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EP1903529B1
EP1903529B1 EP07017435.4A EP07017435A EP1903529B1 EP 1903529 B1 EP1903529 B1 EP 1903529B1 EP 07017435 A EP07017435 A EP 07017435A EP 1903529 B1 EP1903529 B1 EP 1903529B1
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EP
European Patent Office
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vacuum pump
communication
radio
module
relay station
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EP07017435.4A
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English (en)
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EP1903529A1 (de
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Jochen BÖTTCHER
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Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G08SIGNALLING
    • G08CTRANSMISSION SYSTEMS FOR MEASURED VALUES, CONTROL OR SIMILAR SIGNALS
    • G08C17/00Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link
    • G08C17/02Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link using a radio link
    • GPHYSICS
    • G08SIGNALLING
    • G08CTRANSMISSION SYSTEMS FOR MEASURED VALUES, CONTROL OR SIMILAR SIGNALS
    • G08C2201/00Transmission systems of control signals via wireless link
    • G08C2201/40Remote control systems using repeaters, converters, gateways

Definitions

  • the invention relates to an arrangement with a vacuum pump according to the preamble of the first claim.
  • vacuum systems are complex and spatially extended. For example, there are often several dozen turbomolecular pumps on glass coating equipment. There are also other vacuum devices such as gauges, backing pumps and the like. In such a system, it is desirable to be able to query the status of individual vacuum devices or groups thereof.
  • portable devices such as portable computers and so-called “personal digital assistants” (PDAs), which are equipped with radio communication means, the desire came to be able to use these in vacuum systems for control and control purposes.
  • PDAs personal digital assistants
  • the two European publications EP 1 497 558 A1 and EP 1 577 559 A1 propose to equip vacuum devices with radio modules and to be able to establish a connection with the control device directly to the individual vacuum devices.
  • the radio link proves to be susceptible to interference when it comes to longer radio links, as they occur, for example, in glass coating systems.
  • the prior art ( DE 10 2004 047 853 A1 ) includes a control device for at least one suction element. According to the prior art, a spatially remote from the suction device display and control device is provided. This display and operating device is used by the user to operate the suction device.
  • the communication between the display and control unit and the suction device takes place either via a radio transmission or via cable. If cables are used, this is very expensive, since they may have to be laid over a long distance. Radio links are susceptible to interference at long distances.
  • the prior art ( US 2005/0129535 A1 ) includes an arrangement with a vacuum device, which has a communication module.
  • the pump unit and the operating unit are designed as separate units. This belonging to the prior art pump unit can be further improved.
  • control unit for a vacuum device.
  • the control unit and the vacuum device are two separate devices. This arrangement can be further improved.
  • the prior art ( US 5,793,963 A ) includes a device with a control system for various devices, such as a valve positioner.
  • the valve positioner has a relay station with a radio module.
  • This device belonging to the prior art can be further improved to the extent that a saving of space is achieved.
  • the object of the invention is therefore to provide a trouble-free integration of the control devices.
  • the interference immunity is achieved in that a relay station is provided, which occurs in place of the direct communication between control unit and vacuum pump. Then only the short distance between the relay station and the control unit has to be bridged. For these, the limited transmission power of the control devices is easily enough. Since it communicates only with the relay station and can be easily ensured that it reaches all associated with her vacuum pumps the system, in contrast to the prior art ensures that the control unit all vacuum pumps of the system are detected.
  • a space-saving arrangement results from the fact that the relay station is designed as a relay module integrated into a vacuum pump.
  • control unit can communicate with a desired vacuum pump by first connecting it to a relay station. From there, forwarding takes place via further vacuum pumps to the desired vacuum pump.
  • This development simplifies the overall design considerably and is also interference-proof. If the individual vacuum pumps communicate with each other via radio, the distances are significantly shorter than between control unit and target vacuum pump. As a result, an interference-proof operation is also given here.
  • a vacuum pump 1 is connected.
  • a vacuum pump 1a with flange-mounted electronic control unit 1b.
  • This control electronics can optionally be flanged or spatially separated and connected via a cable to the vacuum pump.
  • the vacuum pump has a communication module 2, which is arranged directly on the control electronics in the example shown. It can also be separated be from this, for example, in an adjacent cabinet, and then communicate via a cable with the vacuum pump.
  • a control device 3 is used to send and receive control data and operating data, that is to perform bidirectional communication. This data can be visualized and / or stored. It is also conceivable to pass on a network, for example a Local Area Network (LAN), Wide Area Network (WAN) or the Internet.
  • the control device a commercially available laptop, a PDA, a high-performance mobile phone or the like, is equipped with a radio module 4.
  • Operating data in the context referred to here are in particular actual values which can only be read out of the vacuum pump, for example speed, software status, temperature, pressure and the like. Control data includes control commands sent to the vacuum pump, such as "on / off", “accelerate”, and the like.
  • a relay station 5 is provided in the arrangement, which has a radio module 6. This is in communication with the communication module 2 of the vacuum pump in order to send and receive control and operating data via this communication connection 7. Furthermore, the relay station is connected via its radio module 6 to the radio module 4 of the control device 3 in connection. Thus, data is exchanged between the controller and the vacuum pump via the relay station.
  • the relay station can either ensure a real-time connection between the vacuum pump and the control device or have a temporary storage in which the data is kept in full or in part.
  • the control device will usually only be temporarily connected to the relay station, for example during a routine check of the arrangement. But it can also be useful over a longer period of time Connect, for example, to collect statistical data over a period of time.
  • the second figure shows some further developments, which show the possible communication paths and their configurations.
  • the dashed lines represent a radio connection
  • solid lines represent a cable connection.
  • control unit 3 equipped with a radio module 4 is connected via radio to the radio module 6 of the relay station 5. From this go starlike connections 7, 7 'and 7 "to Hannünikationsmodulen 2, 2', 2" of vacuum pumps 1, 1 'and 1 ", which are partially designed as radio links, partly as cable connections.
  • Figure c) in turn shows a relay station 5, which is connected to a bus system 10, to which the communication modules 2, 2 'and 2 "of the vacuum pump 1, 1' and 1" are connected.
  • Part d) of the figure finally shows a chain-like structure of the communication paths.
  • a vacuum pump 11 is constructed so as to have a relay module 5 '. From this relay module, the data sent from the control unit 4 to the vacuum pump 1 "or vice versa is forwarded via the communication module 2 'to the vacuum pump 1' .
  • the chain can be constructed, as shown, with cable connections or alternatively with radio connections also with the structure after Figure part b) are combined by a connection between the vacuum pump 1 "and the vacuum pump 11 is provided.

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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit einer Vakuumpumpe nach dem Oberbegriff des ersten Anspruches.
  • Vakuumanlagen sind je nach Prozess komplex und räumlich ausgedehnt. Beispielsweise befinden sich auf Glasbeschichtungsanlagen oftmals mehrere Dutzend Turbomolekularpumpen. Hinzu kommen noch weitere Vakuumgeräte wie Messröhren, Vorpumpen und dergleichen. Bei einem solchen System ist es wünschenswert, den Status von einzelnen Vakuumgeräten oder von Gruppen derselben abfragen zu können. Mit zunehmender Verbreitung von transportablen Geräten, wie beispielsweise tragbaren Computern und sogenannten "Personal Digital Assistants" (PDAs), welche mit Funkkommunikationsmitteln ausgestattet sind, kam der Wunsch auf, diese bei Vakuumanlagen zu Kontroll- und Steuerzwecken einsetzen zu können.
  • Die beiden europäischen Offenlegungsschriften EP 1 497 558 A1 und EP 1 577 559 A1 schlagen vor, Vakuumgeräte mit Funkmodulen auszurüsten und so mit dem Kontrollgerät direkt eine Verbindung zu den einzelnen Vakuumgeräten aufbauen zu können. Bei der Umsetzung dieser beiden Ideen treten aber Probleme auf. Insbesondere erweist sich die Funkverbindung als störanfällig, wenn es um längere Funkstrecken geht, wie sie beispielsweise bei Glasbeschichtungsanlagen auftreten.
  • Zum Stand der Technik ( DE 10 2004 047 853 A1 ) gehört eine Steuereinrichtung für wenigstens ein Saugelement. Gemäß dem Stand der Technik ist ein räumlich vom Sauggerät entferntes Anzeige- und Bediengerät vorgesehen. Dieses Anzeige- und Bediengerät wird vom Nutzer eingesetzt, um das Sauggerät zu bedienen.
  • Insbesondere die Kommunikation zwischen dem Anzeige- und Bediengerät und dem Sauggerät findet entweder über eine Funkübertragung statt oder über Kabel. Werden Kabel eingesetzt, ist dies sehr aufwendig, da diese unter Umständen über eine große Distanz verlegt werden müssen. Funkverbindungen sind bei großen Distanzen jedoch störanfällig.
  • Weiterhin gehört zum Stand der Technik ( US 2005/0129535 A1 ) eine Vakuumpumpe, die eine Pumpeinheit aufweist sowie ein von der Pumpeinheit räumlich getrenntes Steuer- und Bediengerät. Das Steuer- und Bediengerät kommuniziert mit der Pumpeinheit über eine Funkverbindung. Bei größeren Distanzen sind die Funkverbindungen jedoch relativ störanfällig.
  • Zum Stand der Technik ( US 2005/0129535 A1 ) gehört eine Anordnung mit einem Vakuumgerät, welches ein Kommunikationsmodul aufweist. Die Pumpeneinheit und die Bedienungseinheit sind als getrennte Einheiten ausgebildet. Diese zum Stand der Technik gehörende Pumpeinheit kann weiter verbessert werden.
  • Darüber hinaus gehört zum Stand der Technik ( WO 2006/011414 A1 ) eine Kontrolleinheit für ein Vakuumgerät. Die Kontrolleinheit und das Vakuumgerät sind zwei getrennte Vorrichtungen. Diese Anordnung kann weiter verbessert werden.
  • Zum Stand der Technik ( US 5,793,963 A ) gehört eine Vorrichtung mit einem Kontrollsystem für verschiedene Vorrichtungen, beispielsweise einem Ventilstellungsregler. Der Ventilstellungsregler weist eine Relaisstation mit einem Funkmodul auf. Diese zum Stand der Technik gehörende Vorrichtung kann dahingehend weiter verbessert werden, dass eine Einsparung von Bauraum erzielt wird.
  • Aufgabe der Erfindung ist daher, eine störsichere Einbindung der Kontrollgeräte zu schaffen.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch eine Anordnung mit einer Vakuumpumpe mit den Merkmalen des ersten Patentanspruches.
  • Die Störsicherheit wird dadurch erreicht, dass eine Relaisstation vorgesehen ist, die an Stelle der direkten Kommunikation zwischen Kontrollgerät und Vakuumpumpe tritt. Es muss dann nur die kurze Entfernung zwischen Relaisstation und Kontrollgerät überbrückt werden. Für diese reicht die begrenzte Sendeleistung der Kontrollgeräte problemlos aus. Da nur mit der Relaisstation kommuniziert wird und leicht sichergestellt werden kann, dass diese alle mit ihr in Verbindung stehenden Vakuumpumpen der Anlage erreicht, ist im Gegensatz zum Stand der Technik gewährleistet, dass über das Kontrollgerät alle Vakuumpumpen der Anlage erfasst werden.
  • Die abhängigen Ansprüche 2 bis 6 geben vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung an.
  • So ist es besonders störsicher, die Kommunikätionsverbindung zwischen Relaisstation und Vakuumpumpen mit elektrischen Leitungen zu gestalten. Diese können gegen elektromagnetische Störstrahlung kostengünstig und einfach abgeschirmt werden.
  • Es kann auch eine Funkverbindung zwischen Relaisstation und Vakuumpumpe realisiert werden. Dies kann bei komplexen Anlagen mit schwierigen räumlichen Gegebenheiten vorteilhaft sein. Diese Variante funktioniert, weil eine Relaisstation im Gegensatz zu einem Kontrollgerät, welches mobil sein soll, mit nahezu beliebiger Funksendeleistung ausgestattet werden kann.
  • Eine raumsparende Anordnung ergibt sich dadurch, dass die Relaisstation als ein in eine Vakuumpumpe integriertes Relaismodul ausgestaltet ist.
  • Es ist eine günstige Weiterbildung, zwischen den Vakuumpumpen eine direkte Kommunikationsverbindung vorzusehen, so dass bei der Kommunikation der Weg über die Relaisstation eingespart werden kann.
  • Eine vorteilhafte Weiterbildung zielt darauf ab, diese Kommunikationsverbindung dazu zu nutzen, eine Kommunikationskette zu bilden. Über diese kann das Kontrollgerät mit einer gewünschten Vakuumpumpe kommunizieren, indem sie zunächst mit einer Relaisstation verbunden wird. Von dort erfolgt eine Weiterleitung über weitere Vakuumpumpen bis zur gewünschten Vakuumpumpe. Diese Weiterbildung vereinfacht den Gesamtaufbau erheblich und ist ebenfalls störsicher. Wenn die einzelnen Vakuumpumpen über Funk miteinander kommunizieren, sind auch hier die Abstände deutlich kürzer als zwischen Kontrollgerät und Zielvakuumpumpe. Dadurch ist auch hier ein störsicherer Betrieb gegeben.
  • Anhand von Ausführungsbeispielen soll die Erfindung näher erläutert werden. Es zeigen:
  • Fig. 1
    schematische Darstellung einer nicht von der Erfindung erfassten Anordnung;
    Fig. 2
    schematische Darstellungen a) bis d) von Weiterbildungen der Anordnung.
  • In Abbildung 1 ist ein erstes Beispiel einer erfindungsgemäßen Anordnung gezeigt. An einem Rezipienten 8 ist eine Vakuumpumpe 1 angeschlossen. Im gezeigten Beispiel ist es eine Vakuumpumpe 1a mit angeflanschter Steüerelektronik 1b. Diese Steuerelektronik kann wahlweise angeflanscht oder räumlich getrennt und über ein Kabel mit der Vakuumpumpe verbunden sein.
  • Die Vakuumpumpe weist ein Kommunikationsmodul 2 auf, welches im gezeigten Beispiel direkt an der Steuerelektronik angeordnet ist. Es kann aber auch getrennt von diesem sein, beispielsweise in einem benachbarten Schaltschrank, und dann über ein Kabel mit der Vakuumpumpe in Verbindung stehen.
  • Ein Kontrollgerät 3 dient dazu, Steuerdaten und Betriebsdaten zu senden und zu empfangen, das heißt eine bidirektionale Kommunikation durchzuführen. Diese Daten können visualisiert und/oder abgespeichert werden. Ebenfalls denkbar ist die Weitergabe über ein Netzwerk, beispielsweise einem Local Area Network (LAN), Wide Area Network (WAN) oder dem Internet. Das Kontrollgerät, ein handelsüblicher Laptop, ein PDA, ein sehr leistungsfähiges Mobiltelefon oder dergleichen, ist mit einem Funkmodul 4 ausgerüstet. Unter Betriebsdaten sind im hier genannten Zusammenhang insbesondere Ist-Werte zu verstehen, welche lediglich aus der Vakuumpumpe ausgelesen werden können, beispielsweise Drehzahl, Softwarestand, Temperatur, Druck und dergleichen. Steuerdaten sind unter anderem Stellbefehle, die an die Vakuumpumpe gesendet werden, beispielsweise "An/Aus", "Beschleunigen" und dergleichen.
  • Erfindungsgemäß ist eine Relaisstation 5 in der Anordnung vorgesehen, welche ein Funkmodul 6 aufweist. Dieses steht mit dem Kommunikationsmodul 2 der Vakuumpumpe in Verbindung, um über diese Kommunikationsverbindung 7 Steuer- und Betriebsdaten zu senden und zu empfangen. Weiterhin steht die Relaisstation über sein Funkmodul 6 mit dem Funkmodul 4 des Kontrollgerätes 3 in Verbindung. Somit werden Daten zwischen dem Kontrollgerät und der Vakuumpumpe über die Relaisstation ausgetauscht. Die Relaisstation kann dabei entweder eine Echtzeitverbindung zwischen Vakuumpumpe und Kontrollgerät gewährleisten oder einen Zwischenspeicher aufweisen, in dem die Daten ganz oder teilweise vorgehalten werden. Das Kontrollgerät wird meist nur temporär mit der Relaisstation verbunden sein, beispielsweise bei einer Routineüberprüfung der Anordnung. Es kann aber auch sinnvoll sein, über einen längeren Zeitraum eine Verbindung bestehen zu lassen, beispielsweise um statistische Daten über einen Zeitraum hinweg zu erheben.
  • Die zweite Abbildung zeigt einige Weiterbildungen auf, die die möglichen Kommunikationswege und deren Ausgestaltungen aufzeigen. Die gestrichelten Linien stellen dabei eine Funkverbindung, durchgezogene Linien eine Kabelverbindung dar.
  • Im Teil a) der Abbildung ist das mit einem Funkmodul 4 ausgestattete Kontrollgerät 3 über Funk mit dem Funkmodul 6 der Relaisstation 5 verbunden. Von dieser gehen sternartig Verbindungen 7, 7' und 7" zu Kommünikationsmodulen 2, 2', 2" von Vakuumpumpen 1, 1' und 1" aus, wobei diese teilweise als Funkverbindungen, teilweise als Kabelverbindungen ausgebildet sind.
  • In Teil b) der Abbildung besteht neben den Verbindungen zwischen den Kommunikationsmodulen 2 und 2' zu der Relaisstation 5 auch eine Verbindung 9 zwischen den Kommunikationsmodulen untereinander.
  • Abbildungsteil c) wiederum zeigt eine Relaisstation 5, die an ein Bussystem 10 angeschlossen ist, an welches die Kommunikationsmodule 2, 2' und 2" der-Vakuumpumpe 1, 1' und 1" angeschlossen sind.
  • Teil d) der Abbildung zeigt schließlich einen kettenartigen Aufbau der Kommunikationswege. Eine Vakuumpumpe 11 ist so aufgebaut, dass sie ein Relaismodul 5' aufweist. Von diesem Relaismodul aus werden die vom Kontrollgerät 4 an die Vakuumpumpe 1" oder umgekehrt gesendeten Daten über das Kömmunikationsmodul 2' der Vakuumpumpe 1' weitergeleitet. Die Kette kann dabei, wie gezeigt, mit Kabelverbindungen oder alternativ mit Funkverbindungen aufgebaut werden. Der kettenartige Aufbau kann außerdem mit dem Aufbau nach Abbildungsteil b) kombiniert werden, indem eine Verbindung zwischen der-Vakuumpumpe 1" und der Vakuumpumpe 11 vorgesehen ist.
  • Die als Funkverbindungen und als Kabelverbindungen ausgebildeten Kommunikationsverbindungen zwischen Relaisstation beziehungsweise Relaismodul und den Kommunikationsmodulen 2, 2' und 2" sind hier beispielhaft gezeigt. Die Wahl der Verbindungsart erfolgt je nach Bedarf und ist nicht auf die gezeigten Varianten beschränkt. Anordnungen sind denkbar, die eine Kombination der Merkmale der in den Abbildungsteilen vorgestellten Anordnungen beinhalten.

Claims (6)

  1. Anordnung mit einer Vakuumpumpe (1, 1', 1"), welche ein Kommunikationsmodul (2) aufweist, und mit einem Kontrollgerät (3), welches ein Funkmodul (4) aufweist, wobei Kommunikatiöns- und Funkmodul zum Senden und Empfangen von Betriebs- und Steuerdaten eingerichtet sind, wobei die Anordnung eine Relaisstation (5) mit einem Funkmodul (6) aufweist, womit sie drahtlos bidirektional mit dem Kontrollgerät kommuniziert, wobei zwischen Relaisstation und Kömmunikationsmodul der Vakuumpumpe eine Kommunikationsverbindung (7, 7', 7") besteht, dadurch gekennzeichnet, dass die Relaisstation (5) als ein in die Vakuumpumpe (1, 1', 1") integriertes Relaismodul ausgestaltet ist.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kommunikationsverbindung (7, 7', 7") eine elektrische Leitung umfasst.
  3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kommunikationsverbindung (7, 7', 7") eine Funkverbindung umfasst.
  4. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Kommunikationsmodul (2) einer Vakuumpumpe. (11) ein Relaismodul (5') umfasst.
  5. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine erste (1) und eine zweite (1') Vakuumpumpe aufweist, wobei diese eine Kommunikationsverbindung (9) untereinander aufweisen.
  6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass über die Kommunikationsverbindung (9) eine Verbindung zwischen Kontrollgerät (3) und zweiter Vakuumpumpe (1') besteht.
EP07017435.4A 2006-09-23 2007-09-06 Anordnung mit einem Vakuumgerät Active EP1903529B1 (de)

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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013106474B4 (de) 2013-06-20 2024-10-10 Pfeiffer Vacuum Gmbh Anordnung mit einem Vakuumgerät sowie Verfahren zur Erfassung von in einer Kommunikationsleitung zwischen einem Vakuumgerät und einer zentralen Steuereinrichtung kommunizierten Daten
EP3951738B1 (de) * 2021-12-13 2023-12-13 Pfeiffer Vacuum Technology AG Vorrichtung und verfahren zur kommunikation mit einem vakuumgerät

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5793963A (en) * 1994-10-24 1998-08-11 Fisher Rosemount Systems, Inc. Apparatus for providing non-redundant secondary access to field devices in a distributed control system
US20050129535A1 (en) * 2002-04-20 2005-06-16 Christian Beyer Vacuum pump
WO2006011414A1 (ja) * 2004-07-27 2006-02-02 Yokogawa Electric Corporation フィールド制御システム及び無線通信装置
DE102004047853A1 (de) * 2004-10-01 2006-04-20 Festo Ag & Co. Steuereinrichtung für wenigstens ein Saugelement

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2165976A1 (de) * 1971-04-29 1972-11-16 Bauer, Heinrich, 6750 Kaiserslautern Anordnung für Sofortmessungen bzw. -Prüfungen von wesentlichen Sollwerten der für den Betrieb eines Kraftfahrzeuges und dergi. notwendigen Einrichtungen, insbesondere Prüfvorrichtungen für Meßgrößen
DE10209965A1 (de) * 2002-03-06 2003-10-02 Integrated Electronic Systems Sys Consulting Gmbh Verfahren zur Steuerung von Industrie- oder Baugeräten
US6915943B2 (en) * 2002-11-27 2005-07-12 Crc-Evans Pipeline International, Inc. Tetherless internal line-up unit for pipeline welding
EP1577559B2 (de) * 2004-03-15 2016-11-16 Agilent Technologies, Inc. Vakuumpumpenanlage
DE102004062157B4 (de) * 2004-12-20 2007-12-20 EMH Elektrizitätszähler GmbH & Co. KG Vorrichtung zum Erfassen von Zählerständen
DE102005008488B4 (de) * 2005-02-24 2011-08-18 VEGA Grieshaber KG, 77709 Datenübertragungssystem zur drahtlosen Kommunikation

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5793963A (en) * 1994-10-24 1998-08-11 Fisher Rosemount Systems, Inc. Apparatus for providing non-redundant secondary access to field devices in a distributed control system
US20050129535A1 (en) * 2002-04-20 2005-06-16 Christian Beyer Vacuum pump
WO2006011414A1 (ja) * 2004-07-27 2006-02-02 Yokogawa Electric Corporation フィールド制御システム及び無線通信装置
DE102004047853A1 (de) * 2004-10-01 2006-04-20 Festo Ag & Co. Steuereinrichtung für wenigstens ein Saugelement

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Publication number Publication date
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