EP1763885B1 - Strahlungsoptisches bauelement - Google Patents

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EP1763885B1
EP1763885B1 EP05757025A EP05757025A EP1763885B1 EP 1763885 B1 EP1763885 B1 EP 1763885B1 EP 05757025 A EP05757025 A EP 05757025A EP 05757025 A EP05757025 A EP 05757025A EP 1763885 B1 EP1763885 B1 EP 1763885B1
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EP
European Patent Office
Prior art keywords
radiation
channel
layers
angle
absorbing
Prior art date
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Not-in-force
Application number
EP05757025A
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English (en)
French (fr)
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EP1763885A1 (de
Inventor
Leo Cussen
Thomas Krist
Ferenc Mezei
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Helmholtz Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH
Original Assignee
Helmholtz Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH
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Filing date
Publication date
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Publication of EP1763885A1 publication Critical patent/EP1763885A1/de
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    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/02Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators

Definitions

  • the invention relates to a radiation-optical component for influencing X-ray, synchrotron and neutron radiation with respect to their wavelength spectrum and divergence critical angle ⁇ ⁇ with at least one channel of width d and length L up to a critical angle of incidence ⁇ c to the layer surface radiation-reflecting layers on radiation-transparent substrates and with radiation-absorbing layers.
  • a neutron optical device assembly with a kinked channel with two parallel opposite superspeakers known in which to achieve a wide range of application, the beam paths of different moderators, each serving to produce a type of neutron, are brought together, so that a superimposed neutron beam with a multi-spectrum arises.
  • a targeted adjustment of individual wavelength ranges within the intended spectrum of a single moderator does not take place.
  • the divergence limit angle ⁇ is the maximum radiation angle with which the beam can still pass through the channel unhindered.
  • the collimators with radiation-absorbing inner walls are so-called "Soller collimators". They have a triangular transmission profile (cf. FIG. 1 to the prior art). The radiation with the angle of incidence 0 ° is best, that with the divergence limit angle ⁇ ⁇ is transmitted the worst. In between there is a linear dependence. Due to the triangular transmission function but in the interval ⁇ ⁇ only 50% of the radiation is transmitted. However, a high radiation intensity on the sample is often desirable.
  • the inner walls or the entire walls of the channel can be made of plastic films which are coated with a radiation-absorbing layer. The radiation is transmitted in air. Alternatively, silicon substrates may also be coated with a radiation-absorbing layer. The radiation is then transmitted through the silicon.
  • a neutron polarizer known as a radiation optical device having as active elements a diagonal plate formed polarizer which works in transmission by passing only one spin component and the other reflects, and walls which work in reflection and both spin components up to a certain critical angle reflect.
  • the purpose of a neutron polarizer is to transmit only one spin component and to absorb the other in order to polarize the neutron beam. Only spine-selective reflective layers (D) are described, which are arranged only at a tilt angle to the imaginary channel axis.
  • Layer (A) is a neutron-conducting layer consisting of a wedge-shaped silicon layer, on the first side surface of which a neutron-angle-selectively reflecting layer adjoins, which in turn is adjoined by a neutron-absorbing layer, which is adjoined by an angle-selectively reflecting layer ,
  • the other side surface which has an angle of attack of a few tenths of a degree to the first side surface, is provided with a spinnenektiv reflecting layer.
  • the (imaginary) channel walls are covered with an angle-selectively reflecting layer (B).
  • the object of the present invention is therefore to provide a radiation-optical component of the type described above in such a way that a maximum proportion of the test procedure on a sample of desired radiation with specifically predetermined parameter properties with respect to wavelength and divergence is transmitted and can reach the sample, without being influenced by the radiation-optical component and thus disturbed in the correlation of its characteristic parameters become.
  • the radiation-optical component should be as simple as possible in the construction, handling and maintenance.
  • the solution according to the invention for this task is shown alternatively for the generic radiation-optical component in three independent claims. Advantageous developments can be found in the dependent claims. These will be explained in more detail below in connection with the invention.
  • the radiation-optical component according to the invention is based on the basic idea of influencing only that portion of the radiation which is not required on the sample.
  • the required proportion on the other hand, remains unaffected and thus unchanged even in its characteristic parameter correlation wavelength / angle of incidence.
  • the achieved transmission intensity is similar to that of a known collimator with a rectangular transmission profile, but without causing a half-way change in the parameter correlation.
  • the radiation-optical component according to the invention thus operates in the function of a filter. If a specific wavelength range is to be transmitted, this is a "wavelength filter". In a fixed channel structure, radiation above a predetermined cut-off wavelength is reflected and absorbed.
  • the wavelengths below the cut-off wavelength are transmitted with different intensity (intensity zero at the cut-off wavelength, then increasing). With a doubling of the critical angle of incidence ⁇ c , until the reflection takes place, the cut-off wavelength changes twice. If, on the other hand, a specific divergence is to be set, ie a filtering out of the radiation not required on the sample is carried out outside the divergence limiting angle ⁇ ⁇ , it is accordingly possible to speak of an "angle filter". Due to the correlation of wavelength and angle of incidence in the radiation, this is the same structural design of the radiation-optical component according to the invention. Which parameter - wavelength or divergence - in which range is set depends on the (static or dynamic) dimensioning of the one or the plurality of parallel channels in length L and width d and the angular orientation of the radiation-reflecting layers.
  • at least two angularly oriented mirror systems extend over the entire channel cross-section, the radiation incident on the mirror systems being transmitted below the angle of incidence ⁇ c and being reflected above it and absorbed in a radiation-absorbing layer. From this radiation-absorbing layer, the inner walls of the channel arranged orthogonally to the axial channel plane are occupied by the extent of the radiation-reflecting layers along the channel axis.
  • At least two mirror-symmetrically oriented mirror systems are used, through which the incident radiation is transmitted up to an angle of incidence or a wavelength and initially reflected above it and absorbed at another location.
  • Each radiation-reflecting layer includes a radiation-absorbing layer which occurs in accordance with the reflection angles and which suppresses the respectively reflected radiation by absorption.
  • the two mirror systems are arranged in the vertical axial channel plane, the unwanted radiation components in the horizontal channel plane are filtered out and absorbed on the respective opposite channel wall, with an arrangement in the horizontal axial channel plane corresponding in the vertical channel plane.
  • a combination of two mirror systems oriented at right angles to one another therefore makes it possible to filter the radiation over the entire beam cross section or in both perpendicular directions to the propagation direction of the radiation with respect to the divergence.
  • a pair of mirror systems is sufficient.
  • a device for hiding or stopping a particle beam is indeed from the DE 33 03 572 C2 known.
  • two aperture surfaces are set over the cross section of the channel at an angle, but each aperture surface covers only half the channel cross section.
  • Both diaphragm surfaces are made of a radiation-absorbing material (graphite) and serve the pure radiation absorption of the incident radiation.
  • the transmission is set by the acute angle of the two diaphragm surfaces to each other. If they touch, if the transmission is zero, if they are parallel, the transmission is maximal. Wavelength- or angle-dependent reflection is not used in this device. Furthermore, it is from the publication III of F. Mezei: "Very high reflectivity mirrors and their applications" (Charles Majkrzak, Editor, Proc.
  • SPIE 983, pp. 10-17 (1989 ) although known for a film-coated neutron optical component, to arrange a mirror obliquely at an angle ⁇ through the channel cross-section.
  • the component described there serves exclusively for the polarization of the transmitted radiation, so that the known arrangement is based on other physical approaches.
  • the at least two radiation-reflecting layers on radiation-transmissive substrates there are different possibilities.
  • they can be arranged one behind the other in the channel (V-shape), wherein the first mirror system to one side and the second mirror system to the other side inclined transversely through the channel.
  • V-shape the channel
  • the lateral inner walls over the entire length L must be coated according to radiation absorbing.
  • a significantly shorter construction results when the two radiation-reflecting layers are arranged on radiation-transparent substrates cross-penetrating each other in the channel (X-shape).
  • the channel points then only the length L of a tilted mirror system and must be coated only on this length L radiation absorbing.
  • an embodiment is provided in the manner of "benders", wherein one or more successive stacks of curved radiation-reflecting layers are arranged on radiation-transmissive substrates orthogonal to at least one axial channel plane over the entire width d of the channel K. wherein the two stacks may have opposite angles of curvature to the channel axis, so that at least two angularly oriented mirror systems extend over the entire channel cross-section, the radiation incident on the mirror systems transmitting below the angle of incidence ⁇ c and reflecting above it and absorbing it in non-curved, radiation-absorbing layers becomes. These occupy the interior walls of the channel orthogonal to the channel plane parallel to and subsequent to the two stacks of curved reflective layers.
  • the principle of action and the range of applications are identical to those of the first invention alternative.
  • the radiation-reflecting layers and the radiation-absorbing layers are in turn arranged spatially separated from one another. It is advantageous in the second alternative, the relatively small length L of Channel.
  • a Bender is for example from the DE 198 44 300 C2 known and consists of the curved beam guidance of neutrons from curved, alternately radiation-reflecting and -absorb Schlden layers.
  • the radiation-reflecting elements of the radiation-absorbing layers are spatially separated from one another. There are no radiation-absorbing layers between the curved radiation-reflecting layers. In addition, only the radiation-reflecting layers are curved along the channel axis.
  • the radiation-absorbing layers are again in a first embodiment on the inner surface of the channel and thus run without bending.
  • the radiation-absorptive effective zone is divided into one or more sections, each extending over the channel cross-section, wherein z. B. in two stacks behind the first curved stack, one half of the filtered radiation and after the second, oppositely curved stack, the other half of the filtered radiation is absorbed.
  • a collimator can still be provided in front of the first stack of curved radiation-reflecting layers, or the collimator between the two stacks can be dispensed with.
  • the function of the radiation-optical component according to the invention in the application form as an angle filter for targeted radiation collimation is given in the proposed configurations in each case for exactly one wavelength. If the angle filter is also to be used for a different wavelength, the distance between the radiation-absorbing layers and the tilt angle of the radiation-reflecting surfaces must be adjusted accordingly. Since both adjustments are in a proportional relationship, the channel can simply be made wider or narrower for adaptation to the respective wavelength and at the same time the tilt angle of the radiation-reflecting surfaces can be changed. This is achieved when the end-points of the radiation-reflecting layers are pivotally connected to the inner walls of the channel. Corresponding to the channel width, the mirror systems are then aligned angularly over the entire channel cross section.
  • the channel width can be varied with the corresponding frequency. Due to the articulated fixed connection of the mirror systems with the channel wall whose angular arrangement in the channel cross section with the same frequency is varied. Thus, a dynamic geometry adaptation for influencing different wavelengths in the radiation can take place. A collimation at a "white" beam (all wavelengths simultaneously) can not be performed with the claimed radiation-optical component with the straight plates, but in the design with the Bendern. Further explanations of the invention in its alternatives and to all mentioned embodiments are given in the following specific description part.
  • the radiation-transmissive substrates for the radiation-reflecting layers are usually made of rigid silicon or quartz.
  • An application of the radiation-reflecting layers on metal or plastic films is also possible if either a self-supporting layer thickness or a supporting backing layer is galvanized or the films are stretched.
  • the radiation-reflecting layers generally have layer thicknesses between 1 .mu.m and 50 .mu.m, the substrates between 5 .mu.m and 1000 .mu.m.
  • this is just a numerical example illustrating the dimensional ranges. Other dimensions and embodiments are readily possible within the scope of the present invention.
  • the FIG. 1 The above shows the state of the art schematically the geometry of a radiation-optical component SB for influencing X-ray or synchrotron radiation and neutron radiation, with a single channel K with radiation-absorbing walls (hereinafter "radiation-absorbing channel” K).
  • the radiation-absorbing channel K is generally rectangular or square and has a length L and a width d .
  • the channel K On its inner walls IW , the channel K has radiation-absorbing layers SA , which absorb radiation at all angles.
  • the transmission diagram corresponding to the absorbing channel K (transmission intensity TI over angle of incidence ⁇ of the radiation) is shown.
  • Complete absorption occurs at the divergence critical angles ⁇ ⁇ . In between there is a linear course, so that a total of a triangular transmission curve is formed. Outside this triangle curve, complete absorption occurs (shown in dashed lines).
  • the prior art shows schematically the geometry of a radiation-optical component SB having a channel K with radiation-reflecting walls (hereinafter "radiation-reflecting channel” K).
  • radiation-reflecting channel K K There are the same geometry ratios as in the radiation-absorbing channel K according to FIG. 1 , However, on the surface of its inner walls IW , the channel K has radiation-reflecting layers SR , which reflects radiation up to a critical angle of incidence ⁇ ⁇ c . Below the radiation-reflecting layers SR are directly on the inner walls IW of the channel K radiation-absorbing layers SA, which absorb the non-reflected at the radiation-reflecting layers SR and thus transmitted radiation.
  • the corresponding transmission diagram (transmission intensity TI over incident angle ⁇ of the radiation) is in FIG. 2 shown below.
  • a rectangular transmission profile results.
  • the radiation is completely reflected and opposite to the triangular profile of the absorbing channel according to FIG. 1 below transmits a maximum of twice the radiation intensity.
  • only half is transmitted uninfluenced. The other half is reflected on the inner walls of the channel K in the direction of the channel axis KA and thus disturbed in their parameter correlation between wavelength and divergence (above the dashed line), which may be undesirable for use on the sample.
  • a radiation-reflecting layer SR 1 , SR 2 on a radiation-transparent substrate SS 1 , SS 2 forms a mirror system SP 1 , SP 2 , both mirror systems SP 1 , SP 2 form a pair P i .
  • the two radiation-reflecting layers SR 1 , SR 2 are arranged one behind the other in VF orm. They each connect to the inner wall IW of the channel K at the tilt angle ⁇ ⁇ .
  • FIG. 3 not shown is a possible arrangement of two orthogonally aligned pairs P i , so that in two mutually orthogonal axial channel planes KE complete interference of the incident radiation can take place.
  • the transmission diagram (transmission intensity TI versus angle of incidence ⁇ of the radiation) for the radiation-optical component SB according to the invention is shown in FIG FIG. 4 shown.
  • the distance from ⁇ ⁇ to ⁇ ⁇ is ⁇ c .
  • a transmission without any influence on the transmitted radiation takes place between the divergence critical angles - ⁇ and + ⁇ .
  • the rectangular transmission behavior of the radiation-optical component SB according to the invention can be seen. It can be clearly seen that the rectangular transmission region for the radiation-optical component SB according to the invention is limited only slightly by the triangular transmission. The undisturbed fraction grows with the ratio ⁇ / ⁇ .
  • FIG. 5 schematically a first possibility of the parallel arrangement of a plurality of pairs P i is shown in each case two mirror systems SP 1 , SP 2 , with which the required length L for absorption of the channel K can be shortened accordingly.
  • Inverse proportionality applies: half length L for two pairs P i , third length L for three pairs P i , quarter length L for four pairs P i, etc.
  • the FIG. 6 shows another possibility in which each second pair P i is rotated by 180 °, so that always show two pairs P i with the tilting tips to each other. The effect is identical, there are optionally manufacturing advantages.
  • FIG. 7 shows you one FIG. 3 analogous construction with the difference that the two radiation-reflecting layers SR 1 , SR 2 are arranged on radiation-transparent substrates SS 1 , SS 2 cross-penetrating each other in the channel K.
  • the transmission diagram is identical to the transmission diagram according to FIG. 4 Since the operating principle is the same. It shows only in the simple embodiment halving the length L relative to the arrangement in V- shape according to FIG. 3 , In contrast, there is a higher manufacturing cost in the production of the X-shaped radiation-reflecting layers SR 1 , SR 2 .
  • the "X" will be made of four correspondingly in the center abutting mirror surfaces.
  • a further shortening of the length L of the channel K can in turn be achieved by a parallel arrangement of several pairs P i of X- shaped arranged radiation-reflecting layers SR 1 , SR 2 with the interposition of radiation-absorbing intermediate layers SAZ (in the embodiment shown in two pairs P i an intermediate layer SAZ) be what's in the FIG. 8 In analogy to FIG. 6 is shown.
  • FIG. 9 An alternative embodiment of the radiation-optical component SB according to the invention is shown in plan view in FIG. 9 shown.
  • two successive stacks ST 1 , ST 2 of curved radiation-reflecting layers GSR 1 , GSR 2 are arranged on curved radiation-transparent substrates GSS 1 , GSS 2 in the manner of a Bender orthogonal to an axial channel plane KE over the entire width d of the channel K , wherein the both stacks ST 1 , ST 2 have opposite angles of curvature to the channel axis KA .
  • the inner walls IW of the channel K arranged orthogonally to the axial channel plane KE are coated with a radiation-absorbing layer SA following the two stacks ST 1 , ST 2 of curved radiation-reflecting layers GSR 1 , GSR 2 .
  • the advantage here is the relatively short length of the two stacks ST 1 , ST 2 and the continuous suppression of unwanted angles of incidence ⁇ .
  • the corresponding transmission diagram (transmission intensity TI over incident angle ⁇ of the radiation) is in FIG. 10 shown. It shows in principle the same course as the transmission diagram according to FIG. 4
  • FIG. 11 shows one too FIG. 9 alternative embodiment, in which behind each stack ST 1 , ST 2 of curved radiation-reflective layers GSR 1 , GSR 2 on curved radiation-transparent substrates GSS 1 , GSS 2 stack UST 1 , UST 2 of non-curved radiation-absorbing intermediate layers SAZ 1 , SAZ 2 orthogonal to the channel plane KE over the entire width d of the channel K are arranged.
  • a further advantage of this embodiment is a further shortening of the channel K, since the inner walls IW of the channel K arranged orthogonal to the channel plane KE are not connected to the two stacks ST 1 , ST 2 of curved radiation-reflecting layers GSR 1 , GSR 2 then with a radiation-absorbing Layer are occupied.
  • the associated transmission diagram again corresponds to that in the FIG. 10 shown.
  • the embodiments shown relate to the function of the radiation-optical component according to the invention as an angle filter for divergence limitation of radiation. It was already mentioned at the outset that due to the direct relationship between wavelength and angle of incidence of the radiation, it is also readily possible to use it as a wavelength filter. Accordingly, in the transmission diagrams, the transmission intensity TI is to be applied over the wavelength ⁇ . This results in transmission profiles that run only in the first quadrant and follow a more complicated than a linear distribution.

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein strahlungsoptisches Bauelement zur Beeinflussung von Röntgen-, Synchrotron- und Neutronen-Strahlung in Bezug auf deren Wellenlängenspektrum und Divergenz-Grenzwinkel ± α mit zumindest einem Kanal der Breite d und der Länge L mit bis zu einem kritischen Einfallswinkel Θc zur Schichtoberfläche strahlungsreflektierenden Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten und mit strahlungsabsorbierenden Schichten.
  • Strahlung mit ihrer Dualität Welle/Teilchen unterschiedlicher Art dient einem breiten Spektrum wissenschaftlicher Untersuchungen von der reinen Grundlagenforschung bis hin zu anwendungsnahen Untersuchungen beispielsweise auf dem Gebiet der Materiestrukturforschung. Oft werden dabei Röntgen- bzw. Synchrotronstrahlung und Neutronenstrahlung eingesetzt. Um spezielle Untersuchungen an einer Probe durchführen zu können, muss die Strahlung spezielle Eigenschaften aufweisen. Hierbei kann es sich insbesondere um einen bestimmten Wellenlängenbereich oder um eine bestimmte Divergenz handeln. Aufgrund des direkten Zusammenhangs zwischen der Wellenlänge λ und dem Grenzwinkel der Reflexion Θc (Glanzwinkel) (es gilt : Θc = c · λ, mit c = 1°/nm als Proportionalitätskonstante) ist die Divergenz der reflektierten Strahlung wellenlängenabhängig. An der Probe wird nur Strahlung bis zu einem Divergenz-Grenzwinkel ± α zur Strahlungsachse (in der Regel zwischen 0,1 und 1 °) benötigt. Zur Erzielung einer bestimmten Divergenz muss daher die Winkelverteilung eines auf eine Probe gerichteten divergenten Strahlenbündels begrenzt ("kollimiert") werden. Ein derartiges strahlenoptisches Bauelement wird daher als "Kollimator" bezeichnet.
  • Zur gezielten spektralen Gestaltung von Neutronenstrahlen oder -pulsen ist aus der DE 102 03 591 A1 eine neutronenoptische Bauelementanordnung mit einem geknickten Kanal mit zwei parallel einander gegenüberliegenden Superspiegeln bekannt, bei der zur Erzielung einer großen Anwendungsbreite die Strahlengänge unterschiedlicher Moderatoren, die jeweils der Erzeugung einer Neutronensorte dienen, zusammengeführt werden, sodass ein überlagerter Neutronenstrahl mit einem Multispektrum entsteht. Eine gezielte Einstellung einzelner Wellenlängenbereiche innerhalb des bestimmungsgemäßen Spektrums eines einzelnen Moderators erfolgt nicht.
  • Weiterhin ist aus der Veröffentlichung I von P. Hoghoj et al.: "Neutron wavelength cut-off filter" (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 160 (2000) 431 - 434) ein Wellenlängenfilter für polarisierte Neutronenstrahlung mit einem Schichtenpaket aus Superspiegeln bekannt, bei dem jedoch eine andere Vorgehensweise gewählt ist. Diese erweist sich als nachteilig, da die Filterfunktion nur für einen bestimmten Einfallswinkel der Strahlung erfüllt werden kann. Ist die einfallende Strahlung divergent (was sie in der Regel ist), so werden auch höhere, unerwünschte Wellenlängen transmittiert.
  • Bei den Kollimatoren ist neben dem Einsatz von einfachen Kollimatoren in Form von Schlitzpaaren, deren Abstand voneinander zusammen mit ihrer Breite die gewünschte Kollimation bewirkt, der Einsatz von Kollimatoren bekannt, die eine Vielzahl von parallelen Kanälen der Breite d und der Länge L aufweisen, mit strahlungsabsorbierenden oder -reflektierenden Innenwänden. Aus diesen Abmessungen ergibt sich die Winkel-Halbwertsbreite δ des jeweiligen Kanals zu δ = arc tg (d/L) zur Kanalachse für absorbierende Innenwände. Bei reflektierenden Innenwänden kommt die bis zum kritischen Winkel der Beschichtung reflektierte Strahlung dazu. Die Kanäle werden entsprechend dem gewünschten Divergenz-Grenzwinkel α = δ dimensioniert. Bei dem Divergenz-Grenzwinkel α handelt es sich um den maximalen Strahlungswinkel, mit dem der Strahl noch ungehindert den Kanal passieren kann. Strahlung, die unter einem größeren Winkel einfällt, wird absorbiert oder im Falle der reflektierenden Innenwände reflektiert, wenn der Winkel kleiner ist als der kritische Winkel der Beschichtung. Bei den Kollimatoren mit strahlungsabsorbierenden Innenwänden handelt es sich um sogenannte "Soller-Kollimatoren". Sie weisen ein dreieckiges Transmissionsprofil auf (vergleiche Figur 1 zum Stand der Technik). Die Strahlung mit dem Einfallswinkel 0° wird am besten, die mit dem Divergenz-Grenzwinkel ± δ wird am schlechtesten transmittiert. Dazwischen besteht eine lineare Abhängigkeit. Aufgrund der dreieckigen Transmissionsfunktion werden aber im Intervall ± δ nur 50% der Strahlung transmittiert. Eine hohe Strahlungsintensität an der Probe ist aber oft erwünscht. Bei Soller-Kollimatoren können die Innenwände bzw. die gesamten Wände des Kanals aus Plastikfolien bestehen, die mit einer strahlungsabsorbierenden Schicht belegt sind. Die Strahlung wird in Luft transmittiert. Alternativ können auch Siliziumsubstrate mit einer strahlungsabsorbierenden Schicht belegt sein. Die Strahlung wird dann durch das Silizium transmittiert.
  • Weiterhin ist aus der DE 199 36 898 C1 ein Neutronenpolarisator als strahlungsoptisches Bauelement bekannt, der als aktive Elemente einen als diagonale Platte ausgebildeten Polarisator, der in Transmission arbeitet, indem er nur eine Spinkomponente durchlässt und die andere reflektiert, und Wände umfasst, die in Reflexion arbeiten und beide Spinkomponenten bis zu einem bestimmten Grenzwinkel reflektieren. Aufgabe eines Neutronenpolarisators ist es, nur eine Spinkomponente zu transmittieren und die andere zu absorbieren, um den Neutronenstrahl zu polarisieren. Es werden ausschließlich spinselektiv reflektierende Schichten (D) beschrieben, die nur unter einem Kippwinkel zur gedachten Kanalachse angeordnet sind. Bei der Schicht (A) handelt es sich um eine neutronenleitende Schicht, die aus einer keilförmig ausgebildeten Siliziumschicht besteht, an deren ersten Seitenfläche eine die Neutronen winkelselektiv reflektierende Schicht angrenzt, an die wiederum eine neutronenabsorbierende Schicht angrenzt, an die wiederum eine winkelselektiv reflektierende Schicht anschließt. Die andere Seitenfläche, die einen Anstellwinkel von einigen Zehntelgrad zu der ersten Seitenfläche aufweist, ist mit einer spinselektiv reflektierenden Schicht versehen. Weiterhin sind die (gedachten) Kanalwände mit einer winkelselektiv reflektierenden Schicht (B) belegt.
  • Werden die Innenwände so beschichtet, dass sie bis zu einem kritischen Einfallswinkel Θc reflektieren und es gilt Θc= δ, so ergibt sich ein rechteckiges Transmissionsprofil (vergleiche Figur 2 zum Stand der Technik), wodurch die Transmissionsintensität der kollimierten Strahlung maximal verdoppelt werden kann. Ein solcher Kollimator ist beispielsweise aus der Veröffentlichung II von Th. Krist and F. Mezei: "High performance, short solid state collimators with reflecting walls" (Nucl. Instr. and Methods in Phys. Res. A 450 (2000) 389-390) bekannt, von der die vorliegende Erfindung als nächstliegendem Stand der Technik ausgeht. Bei einem derartigen Kollimator wird mit einem Einfallswinkel oberhalb des kritischen Einfallswinkels Θc auf die Kanalwände auftreffende Strahlung absorbiert (Intensität gleich Null). Auch hier erfolgt entsprechend zum gewünschten Divergenz-Grenzwinkel ± α die Auslegung des kritischen Einfallswinkels Θc = α. Als Bauform existieren nur Siliziumsubstrate, die mit Multischichten aus einer strahlungsabsorbierenden und darüber einer strahlungsreflektierenden Schicht belegt sind. Da durch die auftretende Reflexion aber die Flugbahn der Hälfte der transmittierten Teilchen geändert wird, wird zwangsläufig eine eventuell vorhandene Korrelation von Einfallswinkel und Wellenlänge in der Strahlung gestört.
  • Die Aufgabe für die vorliegende Erfindung ist daher darin zu sehen, ein strahlungsoptisches Bauelement der eingangs beschrieben Art so auszubilden, dass ein maximaler Anteil von zur Versuchsdurchführung an einer Probe gewünschter Strahlung mit gezielt vorgegebenen Parametereigenschaften bezüglich Wellenlänge und Divergenz transmittiert wird und die Probe erreichen kann, ohne von dem strahlungsoptischen Bauelement beeinflusst und damit in der Korrelation ihrer charakteristischen Parameter gestört zu werden. Dabei soll das strahlungsoptische Bauelement möglichst einfach in der Konstruktion, Handhabung und Wartung sein. Die erfindungsgemäße Lösung für diese Aufgabe, ist für das gattungsgemäße strahlungsoptische Bauelement alternativ in drei unabhängigen Ansprüchen aufgezeigt. Vorteilhafte Weiterbildungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen. Diese werden im Folgenden im Zusammenhang mit der Erfindung näher erläutert.
  • Das erfindungsgemäße strahlungsoptische Bauelement basiert auf der Grundidee, nur denjenigen Anteil der Strahlung zu beeinflussen, der nicht an der Probe benötigt wird. Der benötigte Anteil bleibt hingegen unbeeinflusst und damit auch in seiner charakteristischen Parameterkorrelation Wellenlänge/Einfallswinkel unverändert. Dabei ist die erreichte Transmissionsintensität ähnlich hoch wie bei einem bekannten Kollimator mit rechteckigem Transmissionsprofil, allerdings eben ohne dabei eine hälftige Veränderung der Parameterkorrelation zu bewirken. Das erfindungsgemäße strahlungsoptische Bauelement arbeitet somit in der Funktion eines Filters. Soll ein spezieller Wellenlängenbereich transmittiert werden, handelt es sich um ein "Wellenlängenfilter". Bei einem festen Kanalaufbau wird Strahlung oberhalb einer vorgegebenen Grenzwellenlänge reflektiert und absorbiert. Die Wellenlängen unterhalb der Grenzwellenlänge werden mit unterschiedlicher Intensität transmittiert (Intensität Null bei der Grenzwellenlänge, dann ansteigend). Bei einer Verdopplung des kritischen Einfallswinkels Θc, bis zu dem Reflexion erfolgt, verändert sich die Grenzwellenlänge auf das Doppelte. Soll hingegen eine spezielle Divergenz eingestellt werden, d.h. eine Ausfilterung der an der Probe nicht benötigten Strahlung außerhalb des Divergenz-Grenzwinkels ± α vorgenommen werden, kann entsprechend von einem "Winkelfilter" gesprochen werden. Dabei handelt es sich aufgrund der Korrelation von Wellenlänge und Einfallswinkel in der Strahlung um denselben konstruktiven Aufbau des strahlungsoptischen Bauelements nach der Erfindung. Welcher Parameter - Wellenlänge oder Divergenz - in welchem Bereich eingestellt wird, ist dabei abhängig von der (statischen oder dynamischen) Dimensionierung des einen oder der mehreren parallelen Kanäle in Länge L und Breite d und der winkligen Ausrichtung der strahlungsreflektierenden Schichten.
  • Für den konstruktiven Aufbau sind bei der Erfindung zumindest zwei strahlungsreflektierende Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten orthogonal zu zumindest einer axialen Kanalebene über die gesamte Breite d des Kanals K unter zwei Kippwinkeln ± β = ± (α + Θc) zur Kanalachse angeordnet. Dadurch erstrecken sich über den gesamten Kanalquerschnitt mindestens zwei winklig ausgerichtete Spiegelsysteme, wobei die auf die Spiegelsysteme einfallende Strahlung unterhalb des Einfallswinkels Θc transmittiert und oberhalb davon reflektiert und in einer strahlungsabsorbierenden Schicht absorbiert wird. Von dieser strahlungsabsorbierenden Schicht sind die orthogonal zu der axialen Kanalebene angeordneten Innenwände des Kanals über die Erstreckung der strahlungsreflektierenden Schichten entlang der Kanalachse belegt. Es werden also zumindest zwei winklig zueinander ausgerichtete Spiegelsysteme eingesetzt, durch die die einfallende Strahlung bis zu einem Einfallswinkel bzw. einer Wellenlänge transmittiert und oberhalb davon zunächst reflektiert und an anderer Stelle absorbiert wird. Bei der Erfindung liegt daher eine räumliche Trennung der strahlungsreflektierenden und -absorbierenden Schichten vor. Diese liegen nicht mehr, wie aus dem Stand der Technik bekannt, übereinander, sondern stehen in einem vorgegebenen geometrischen Verhältnis zueinander. Zu jeder strahlungsreflektierenden Schicht gehört eine entsprechend den Reflexionswinkeln auftretende strahlungsabsorbierende Schicht, die die jeweils reflektierte Strahlung durch Absorption ausblendet. Werden die beiden Spiegelsysteme in der vertikalen axialen Kanalebene angeordnet, werden die unerwünschten Strahlungsanteile in der horizontalen Kanalebene herausgefiltert und an der jeweils gegenüberliegenden Kanalwand absorbiert, bei einer Anordnung in der horizontalen axialen Kanalebene entsprechend in der vertikalen Kanalebene. Eine Kombination von zwei rechtwinklig zueinander ausgerichteten Spiegelsystemen ermöglicht daher eine Filterung der Strahlung über den gesamten Strahlquerschnitt bzw. in beiden senkrechten Richtungen zur Ausbreitungsrichtung der Strahlung in Bezug auf die Divergenz. Für die Funktion des Wellenlängenfilters reicht ein Spiegelsystempaar.
  • Eine Einrichtung zum Ausblenden oder Stoppen eines Teilchenstrahls ist zwar aus der DE 33 03 572 C2 bekannt. Bei dieser Einrichtung werden über den Querschnitt des Kanals winklig zwei Blendenflächen eingestellt, wobei jedoch jede Blendenfläche nur den halben Kanalquerschnitt überdeckt. Beide Blendenflächen sind aus einem strahlungsabsorbierenden Material (Graphit) und dienen der reinen Strahlungsabsorption der auftreffenden Strahlung. Die Transmission wird durch die Spitzwinkel der beiden Blendenflächen zueinander eingestellt. Berühren sie sich, ist die Transmission gleich Null, verlaufen sie parallel, ist die Transmission maximal. Eine wellenlängen- bzw. winkelabhängige Reflexion wird bei dieser Einrichtung nicht genutzt. Weiterhin ist es aus der Veröffentlichung III von F. Mezei: "Very high reflectivity mirrors and their applications" (Charles Majkrzak, Editor, Proc. SPIE 983, pp 10-17 (1989)) zwar für ein filmbeschichtetes neutronenoptisches Bauelement bekannt, einen Spiegel schräg unter einem Winkel α durch den Kanalquerschnitt anzuordnen. Das dort beschriebene Bauelement dient aber ausschließlich der Polarisation der transmittierten Strahlung, sodass der bekannten Anordnung andere physikalische Ansätze zugrunde liegen.
  • Bei der Anordnung der zumindest zwei strahlungsreflektierenden Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten (Spiegelsystem) nach der Erfindung gibt es unterschiedliche Möglichkeiten. Zunächst können sie hintereinander im Kanal angeordnet sein (V-Form), wobei das erste Spiegelsystem nach der einen Seite und das zweite Spiegelsystem nach der anderen Seite geneigt quer durch den Kanal verläuft. Hierdurch ergibt sich aber eine relativ große Länge L des Kanals, dessen seitliche Innenwände über die ganze Länge L entsprechend strahlungsabsorbierend beschichtet sein müssen. Eine wesentlich kürzere Bauweise ergibt sich, wenn die beiden strahlungsreflektierenden Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten einander kreuzförmig durchdringend im Kanal angeordnet sind (X-Form). Der Kanal weist dann nur noch die Länge L eines schräggestellten Spiegelsystems auf und muss auch nur auf dieser Länge L strahlungsabsorbierend beschichtet sein. Jeweils eine weitere Längenverkürzung sowohl für die V-Form als auch für die X-Form kann erreicht werden, wenn zwei oder mehr Paare von strahlungsreflektierenden Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten parallel nebeneinander im Kanal angeordnet sind, wobei die Paare durch strahlungsabsorbierende Zwischenschichten voneinander getrennt sind. Die Strahlung wird entsprechend auf die parallelen Sektionen aufgespalten und gefiltert. Beschränkungen bei der Anzahl der parallelen Paare ergeben sich lediglich fertigungstechnisch. Hier gibt es im Stand der Technik jedoch hochgenaue Fertigungsverfahren, mit deren Hilfe entsprechend klein dimensionierte Konstruktionen aufgebaut werden können.
  • Bei einem alternativen erfindungsgemäßen strahlungsoptischen Bauelement ist eine Ausgestaltung nach der Art von "Bendern" (Krümmer) vorgesehen, wobei ein oder mehrere aufeinanderfolgende Stapel von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten orthogonal zu zumindest einer axialen Kanalebene über die gesamte Breite d des Kanals K angeordnet sind, wobei die beiden Stapel entgegengesetzte Krümmungswinkel zur Kanalachse aufweisen können, so dass sich über den gesamten Kanalquerschnitt mindestens zwei winklig ausgerichtete Spiegelsysteme erstrecken, wobei die auf die Spiegelsysteme einfallende Strahlung unterhalb des Einfallswinkels Θc transmittiert und oberhalb davon reflektiert und in ungekrümmten, strahlungsabsorbierenden Schichten absorbiert wird. Diese belegen die orthogonal zu der Kanalebene angeordneten Innenwände des Kanals parallel zu und im Anschluss an die beiden Stapel von gekrümmten reflektierenden Schichten. Das Wirkprinzip und die Anwendungspalette sind identisch mit dem der ersten Erfindungsalternative. Die strahlungsreflektierenden Schichten und die strahlungsabsorbierenden Schichten sind wiederum räumlich von einander getrennt angeordnet. Vorteilhaft ist bei der zweiten Alternative die relativ geringe Länge L des Kanals. Ein Bender ist beispielsweise aus der DE 198 44 300 C2 bekannt und besteht zur gekrümmten Strahlführung von Neutronen aus gekrümmten, abwechselnd strahlungsreflektierenden und -absorbierenden Schichten. Bei dem alternativen strahlungsoptischen Bauelement nach der Erfindung sind wiederum die strahlungsreflektierenden von den strahlungsabsorbierenden Schichten räumlich voneinander getrennt. Zwischen den gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten befinden sich keine strahlungsabsorbierenden Schichten. Außerdem sind nur die strahlungsreflektierenden Schichten entlang der Kanalachse gekrümmt. Die strahlungsabsorbierenden Schichten befinden sich in einer ersten Ausführungsform wiederum auf der inneren Oberfläche des Kanals und verlaufen somit ungekrümmt. Die Länge des strahlungsabsorbierenden Abschnittes hinter den beiden gegenläufig gekrümmten Stapeln aus strahlungsreflektierenden Schichten bestimmt sich wiederum aus der Kanalgeometrie mit L = d /tg δ, wobei δ die Winkel-Halbwertsbreite ist.
  • Eine wesentliche Bauelementverkürzung ergibt sich, wenn hinter jedem Stapel von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten Stapel von ungekrümmten strahlungsabsorbierenden Zwischenschichten orthogonal zu der Kanalebene über die gesamte Breite d des Kanals K angeordnet sind, wobei die orthogonal zu der Kanalebene angeordneten Innenwände des Kanals im Anschluss an die ein oder mehreren Stapel von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten dann nicht mit einer strahlungsabsorbierenden Schicht belegt sind. Somit wird die strahlungsabsorptiv wirksame Zone in ein oder mehrere Abschnitte, die sich jeweils über den Kanalquerschnitt erstrecken, aufgeteilt, wobei z. B. bei zwei Stapeln hinter dem ersten gekrümmten Stapel die eine Hälfte der ausgefilterten Strahlung und nach dem zweiten, entgegengesetzt gekrümmten Stapel, die andere Hälfte der ausgefilterten Strahlung absorbiert wird. Die mit der strahlungsabsorbierenden Schicht belegten Innenwände des Kanals entfallen. Je nach einfallender Divergenz kann noch ein Kollimator vor dem ersten Stapel von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten vorgesehen sein oder der Kollimator zwischen den beiden Stapeln entfallen.
  • Die Funktion des strahlungsoptischen Bauelements nach der Erfindung in der Anwendungsform als Winkelfilter zur gezielten Strahlungskollimation ist bei den vorgeschlagenen Konfigurationen jeweils für genau eine Wellenlänge gegeben. Soll der Winkelfilter auch für eine andere Wellenlänge eingesetzt werden, so müssen der Abstand zwischen den strahlungsabsorbierenden Schichten und der Kippwinkel der strahlungsreflektierenden Flächen entsprechend eingestellt werden. Da beide Verstellungen in einem proportionalen Zusammenhang stehen, kann zur Anpassung an die jeweilige Wellenlänge einfach der Kanal breiter oder schmaler gemacht und gleichzeitig der Kippwinkel der strahlungsreflektierenden Flächen verändert werden. Dies wird erreicht, wenn die Endpunkte der strahlungsreflektierenden Schichten gelenkig mit den Innenwänden des Kanals verbunden sind. Entsprechend der Kanalbreite werden dann die Spiegelsysteme über dem gesamten Kanalquerschnitt winklig ausgerichtet. Wird das Winkelfilter an einer Spallationsquelle oder einem Time-of-Flight-Instrument eingesetzt, bei denen die verschiedenen Wellenlängen zu verschiedenen Zeiten eintreffen, so kann die Kanalbreite mit der entsprechenden Frequenz variiert werden. Durch die gelenkige feste Verbindung der Spiegelsysteme mit der Kanalwandung wird deren winklige Anordnung im Kanalquerschnitt mit der gleichen Frequenz variiert. Es kann also eine dynamische Geometrieanpassung zur Beeinflussung unterschiedlicher Wellenlängen in der Strahlung erfolgen. Eine Kollimation bei einem "weißen" Strahl (alle Wellenlängen gleichzeitig) kann mit dem beanspruchten strahlungsoptischen Bauelement mit den geraden Platten nicht durchgeführt werden, wohl aber bei der Bauform mit den Bendern. Weitere Erläuterungen zur Erfindung in ihren Alternativen und zu allen genannten Ausführungsformen sind dem nachfolgenden speziellen Beschreibungsteil zu entnehmen.
  • Die strahlungsdurchlässigen Substrate für die strahlungsreflektierenden Schichten bestehen in der Regel aus biegesteifem Silizium oder Quarz. Ein Aufbringen der strahlungsreflektierenden Schichten auf Metall- oder Kunststofffolien ist ebenfalls möglich, wenn entweder eine selbsttragende Schichtstärke erreicht oder eine tragende Rückschicht aufgalvanisiert wird oder die Folien gespannt werden. Die strahlungsreflektierenden Schichten haben in der Regel Schichtstärken zwischen 1 µm und 50 µm, die Substrate zwischen 5 µm und 1000 µm. Nach der Formel ± β = ± (α + Θc) für die Festlegung der Kippwinkel für die beiden Spiegelsysteme im Kanalquerschnitt bei der Erfindung werden bei einem üblichen Divergenz-Grenzwinkel α zwischen 0,1° und 1° und einem kritischen Winkel Θc bei einer für Neutronen üblichen Strahlungswellenlänge λ zwischen 0,1 nm und 2 nm von Θc = c · λ, mit c=1°/nm und einer Strahlbreite zwischen 1 cm und 5 cm in der Regel Kippwinkel β zwischen 0.2° und 3° eingestellt werden. Hierbei handelt es sich aber lediglich um ein Zahlenbeispiel zur Veranschaulichung der Dimensionsbereiche. Andere Dimensionierung und Ausführungsformen sind im Rahmen der vorliegenden Erfindung ohne Weiteres möglich.
  • Ausbildungsformen des beanspruchten strahlungsoptischen Bauelements werden nachfolgend zum weiteren Verständnis der Erfindung anhand der schematischen Figuren näher erläutert. Dabei zeigt :
  • Figur 1
    zum Stand der Technik die Geometrie- und Transmissionsverhältnisse in einem strahlungsabsorbierenden Kanal,
    Figur 2
    zum Stand der Technik die Geometrie- und Transmissionsverhältnisse in einem strahlungsreflektierenden Kanal,
    Figur 3
    zur Erfindung eine einfache Anordnung von zwei Spiegelsystemen in V-Form in einem strahlungsoptischen Bauelement,
    Figur 4
    das Transmissionsverhalten des strahlungsoptischen Bauelement,
    Figur 5
    eine erste parallele Anordnung von mehreren Paaren aus zwei Spiegelsystemen in V-Form,
    Figur 6
    eine zweite parallele Anordnung von mehreren Paaren aus zwei Spiegelsystemen in V-Form,
    Figur 7
    eine einfache Anordnung von zwei Spiegelsystemen in X-Form in einem strahlungsoptischen Bauelement nach der Erfindung,
    Figur 8
    eine parallele Anordnung von mehreren Paaren aus zwei Spiegelsystemen in X-Form,
    Figur 9
    eine einfache Anordnung von zwei Spiegelsystemen in gekrümmter Form in einem alternativen strahlungsoptischen Bauelement,
    Figur 10
    das Transmissionsverhalten des strahlungsoptischen Bauelements gemäß Figur 9 und
    Figur 11
    eine einfache Anordnung von zwei Spiegelsystemen in gekrümmter Form mit zwischengeschalteten Absorptionssystemen.
  • Die Figur 1 oben zeigt zum Stand der Technik schematisch die Geometrie an einem strahlungsoptischen Bauelement SB zur Beeinflussung von Röntgen- bzw. Synchrotronstrahlung und Neutronenstrahlung, mit einem einzelnen Kanal K mit strahlungsabsorbierenden Wänden (im Folgenden "strahlungsabsorbierender Kanal" K). Bei einer Anordnung von mehreren parallelen Kanälen ist die Darstellung entsprechend zu vervielfachen. Der strahlungsabsorbierende Kanal K ist in der Regel rechteckig oder quadratisch und weist eine Länge L und eine Breite d auf. Die für das Absorptionsverhalten relevante Winkelhalbwertsbreite ±δ ist bei einem Kollimator δ = arc tg d/L. Für eine vorgegebene Breite d und einem gewünschten Divergenz-Grenzwinkel ± α = ± δ (in der Figur 1 ist die einfallende Strahlung durch eine breiten Pfeil angedeutet) berechnet sich die erforderliche Länge L zu L = d/tg δ. Auf seinen Innenwänden IW weist der Kanal K strahlungsabsorbierende Schichten SA auf, die Strahlung unter allen Winkeln absorbieren.
  • In der Figur 1 unten ist das für den absorbierenden Kanal K entsprechende Transmissionsdiagramm (Transmissionsintensität TI über Einfallswinkel Θ der Strahlung) dargestellt. Das Transmissionsmaximum wird bei zur Kanalachse KA parallel einfallender Strahlung (Θ = 0°) erreicht. Eine vollständige Absorption erfolgt bei den Divergenz-Grenzwinkeln ± α. Dazwischen ergibt sich ein linearer Verlauf, sodass insgesamt eine dreieckige Transmissionskurve entsteht. Außerhalb dieser Dreieckskurve erfolgt vollständige Absorption (gestrichelt dargestellt).
  • Die Figur 2 oben zeigt zum Stand der Technik schematisch die Geometrie an einem strahlungsoptischen Bauelement SB mit einem Kanal K mit strahlungsreflektierenden Wänden (im Folgenden "strahlungsreflektierender Kanal" K) . Es liegen die gleichen Geometrieverhältnisse vor wie bei dem strahlungsabsorbierenden Kanal K gemäß Figur 1 . Auf der Oberfläche seiner Innenwände IW weist der Kanal K jedoch strahlungsreflektierende Schichten SR auf, die Strahlung bis zu einem kritischen Einfallswinkel ±Θc reflektiert. Unterhalb der strahlungsreflektierenden Schichten SR befinden sich direkt auf den Innenwänden IW des Kanals K strahlungsabsorbierende Schichten SA, die die an den strahlungsreflektierenden Schichten SR nicht reflektierte und damit transmittierte Strahlung absorbieren.
  • Das zugehörige Transmissionsdiagramm (Transmissionsintensität TI über Einfallswinkel Θ der Strahlung) ist in der Figur 2 unten dargestellt. Bei einer Gleichsetzung des gewünschten Divergenz-Grenzwinkels ± α mit dem kritischem Einfallswinkel Θc und dem geometriebedingten Winkel δ ergibt sich ein rechteckiges Transmissionsprofil. Bis zum Divergenz-Grenzwinkel ± α von der Kanalachse KA aus wird die Strahlung vollständig reflektiert und gegenüber dem Dreiecksprofil des absorbierenden Kanals gemäß Figur 1 unten maximal die doppelte Strahlungsintensität transmittiert. Allerdings wird nur die Hälfte unbeeinflusst transmittiert. Die andere Hälfte wird an den Innenwänden des Kanals K in Richtung auf die Kanalachse KA reflektiert und damit in ihrer Parameterkorrelation zwischen Wellenlänge und Divergenz gestört (oberhalb der gestrichelten Linie), was zur Nutzung an der Probe unerwünscht sein kann.
  • Die Figur 3 zeigt in der Draufsicht ein strahlungsoptisches Bauelement SB nach der Erfindung ohne Störung der Parameterkorrelation trotz hoher Intensitätsausbeute, bei dem in einer axialen Kanalebene KE zwei strahlungsreflektierende Schichten SR1, SR2 auf strahlungsdurchlässigen Substraten SS1, SS2 orthogonal zu der Kanalebene KE über die gesamte Breite d des Kanals K unter zwei Kippwinkeln ± β = ± (α + Θc) zur Kanalachse KA angeordnet sind. Weiterhin sind die orthogonal zu der axialen Kanalebene KE angeordneten Innenwände IW des Kanals K über die Erstreckung der strahlungsreflektierenden Schichten SR1, SR2 mit einer strahlungsabsorbierenden Schicht SA belegt.
  • Jeweils eine strahlungsreflektierende Schicht SR1, SR2 auf einem strahlungsdurchlässigen Substrat SS1, SS2 bildet ein Spiegelsystem SP1, SP2, beide Spiegelsysteme SP1, SP2 bilden ein Paar Pi. Im gemäß Figur 3 gezeigten Ausführungsbeispiel sind die beiden strahlungsreflektierenden Schichten SR1, SR2 hintereinander in V-Form zueinander angeordnet. Sie schließen jeweils an die Innenwand IW des Kanals K unter dem Kippwinkel ± β an. In der Figur 3 nicht dargestellt ist eine mögliche Anordnung von zwei orthogonal zueinander ausgerichteten Paaren Pi, sodass in beiden entsprechend orthogonal zueinander stehenden axialen Kanalebenen KE eine vollständige Beeinflussung der einfallenden Strahlung stattfinden kann.
  • Das Transmissionsdiagramm (Transmissionsintensität TI über Einfallswinkel Θ der Strahlung) für das strahlungsoptische Bauelement SB nach der Erfindung ist in der Figur 4 dargestellt. Die Kippwinkel sind ± β = ± (α + Θc). Im Transmissionsdiagramm (dicker Kurvenverlauf) ist zu erkennen, dass die Absorption durch Reflexion an den Spiegelplatten zwischen +α und +β und -a und -β stattfindet und die durch die Kollimationswirkung der Wände entlang der gestrichelten Linie. Der Abstand von ± α zu ± β beträgt Θc. Eine Transmission ohne jegliche Beeinflussung der transmittierten Strahlung findet zwischen den Divergenz-Grenzwinkeln - α und +α statt. Das rechteckige Transmissionsverhalten des strahlungsoptischen Bauelements SB nach der Erfindung ist zu erkennen. Deutlich ist zu erkennen, dass das rechteckige Transmissionsgebiet für das strahlungsoptische Bauelement SB nach der Erfindung nur wenig von der dreieckigen Transmission eingeschränkt wird. Der ungestörte Anteil wächst mit dem Verhältnis β/α.
  • Wird das dreieckige Transmissionsdiagramm gemäß Figur 1 zu dem rechteckigen gemäß Figur 2 ergänzt, ergibt sich für die Bereiche außerhalb des Dreiecks eine Spiegelung an der vertikalen Intensitätsachse, was einer Beeinflussung der Parameterkorrelation Wellenlänge/ Divergenz in der reflektierten Strahlung entspricht. Beim rechteckigen Transmissionsdiagramm gemäß Figur 4 ergibt sich hingegen keine Spiegelung, die Ergänzungen bleiben seitenrichtig, was einer Nichtbeeinflussung der transmittierten Strahlung bei erhöhter Transmissionsintensität entspricht.
  • In der Figur 5 ist schematisch eine erste Möglichkeit der parallelen Anordnung mehrerer Paare Pi aus jeweils zwei Spiegelsystemen SP1, SP2 gezeigt, mit der die für die Absorption erforderliche Länge L des Kanals K entsprechend verkürzt werden kann. Es gilt umgekehrte Proportionalität : halbe Länge L bei zwei Paaren Pi, drittel Länge L bei drei Paaren Pi, viertel Länge L bei vier Paaren Pi usw.. Zwischen den einzelnen Paaren Pi ist jeweils eine strahlungsabsorbierende Zwischenschicht SAZ1, SAZ2 angeordnet. Die Figur 6 zeigt eine andere Möglichkeit, bei der jedes zweite Paar Pi um 180° gedreht wird, sodass immer zwei Paare Pi mit den Kippspitzen zueinander zeigen. Die Wirkung ist identisch, es ergeben sich gegebenenfalls herstellungstechnische Vorteile.
  • Die Figur 7 zeigt einen zu Figur 3 analogen Aufbau mit dem Unterschied, dass die beiden strahlungsreflektierenden Schichten SR1, SR2 auf strahlungsdurchlässigen Substraten SS1, SS2 einander kreuzförmig durchdringend im Kanal K angeordnet sind. Es ergibt sich eine Anordnung in X-Form. Das Transmissionsdiagramm ist identisch mit dem Transmissionsdiagram gemäß Figur 4 , da das Wirkprinzip identisch ist. Es zeigt sich lediglich bereits bei der einfachen Ausführung eine Halbierung der Länge L gegenüber der Anordnung in V-Form gemäß Figur 3 . Demgegenüber steht ein höherer Fertigungsaufwand bei der Herstellung der X-förmig angeordneten strahlungsreflektierenden Schichten SR1, SR2. In der Regel wird das "X" aus vier entsprechend im Zentrum aneinander stoßenden Spiegelflächen hergestellt werden. Eine weitere Verkürzung der Länge L des Kanals K kann wiederum durch eine Parallelanordnung mehrerer Paare Pi aus X-förmig angeordneten strahlungsreflektierenden Schichten SR1, SR2 unter Zwischenschaltung von strahlungsabsorbierenden Zwischenschichten SAZ (im gezeigten Ausführungsbeispiel bei zwei Paaren Pi eine Zwischenschicht SAZ) erreicht werden, was in der Figur 8 in Analogie zu Figur 6 dargestellt ist.
  • Eine alternative Ausführungsform des strahlungsoptischen Bauelements SB nach der Erfindung ist in der Draufsicht in der Figur 9 dargestellt. Hierbei sind zwei aufeinanderfolgende Stapel ST1, ST2 von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten GSR1, GSR2 auf gekrümmten strahlungsdurchlässigen Substraten GSS1, GSS2 nach Art eines Benders orthogonal zu einer axialen Kanalebene KE über die gesamte Breite d des Kanals K angeordnet, wobei die beiden Stapel ST1, ST2 entgegengesetzte Krümmungswinkel zur Kanalachse KA aufweisen. Weiterhin sind die orthogonal zu der axialen Kanalebene KE angeordneten Innenwände IW des Kanals K im Anschluss an die beiden Stapel ST1, ST2 von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten GSR1, GSR2 mit einer strahlungsabsorbierenden Schicht SA belegt. Vorteilhaft ist hierbei die relativ geringe Baulänge der beiden Stapel ST1, ST2 und die kontinuierliche Ausblendung unerwünschter Einfallswinkel Θ.
  • Das zugehörige Transmissionsdiagramm (Transmissionsintensität TI über Einfallswinkel Θ der Strahlung) ist in der Figur 10 dargestellt. Es zeigt prinzipiell den gleichen Verlauf wie das Transmissionsdiagramm gemäß Figur 4
  • (dicker Kurvenverlauf). Zu erkennen ist die kontinuierliche Ausblendung der unerwünschten Einfallswinkel Θ > α.
  • Die Figur 11 zeigt eine zu Figur 9 alternative Ausführungsform, bei der hinter jedem Stapel ST1, ST2 von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten GSR1, GSR2 auf gekrümmten strahlungsdurchlässigen Substraten GSS1, GSS2 Stapel UST1, UST2 von ungekrümmten strahlungsabsorbierenden Zwischenschichten SAZ1, SAZ2 orthogonal zu der Kanalebene KE über die gesamte Breite d des Kanals K angeordnet sind. Vorteilhaft ist bei dieser Ausführungsvariante eine weitere Verkürzung des Kanals K, da die orthogonal zu der Kanalebene KE angeordneten Innenwände IW des Kanals K im Anschluss an die beiden Stapel ST1, ST2 von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten GSR1, GSR2 dann nicht mit einer strahlungsabsorbierenden Schicht belegt sind. Das zugehörige Transmissionsdiagramm entspricht wiederum dem in der Figur 10 dargestellten.
  • Die aufgezeigten Ausführungsbeispiele beziehen sich auf die Funktion des strahlungsoptischen Bauelements nach der Erfindung als Winkelfilter zur Divergenzbegrenzung von Strahlung. Bereits eingangs wurde erwähnt, dass aufgrund des direkten Zusammenhangs zwischen Wellenlänge und Einfallswinkel der Strahlung auch eine Anwendung als Wellenlängenfilter ohne Weiteres möglich ist. Entsprechend ist dann in den Transmissionsdiagrammen die Transmissionsintensität TI über der Wellenlänge λ aufzutragen. Es ergeben sich Transmissionsprofile, die nur in ersten Quadranten verlaufen und einer komplizierteren als einer linearen Verteilung folgen.
  • Bezugszeichenliste
  • d
    Breite
    GSR
    gekrümmte strahlungsreflektierende Schicht
    GSS
    gekrümmtes strahlungsdurchlässiges Substrat
    IW
    Innenwand
    K
    Kanal
    KA
    Kanalachse
    KE
    axiale Kanalebene
    L
    Länge
    m
    Spiegelfaktor
    Pi
    ites Paar
    SA
    strahlungsabsorbierende Schicht
    SAZ
    strahlungsabsorbierende Zwischenschicht
    SB
    strahlungsoptisches Bauelement
    SP
    Spiegelsystem
    SR
    strahlungsreflektierende Schicht
    SS
    strahlungsdurchlässiges Substrat
    ST
    Stapel (gekrümmt)
    TI
    Transmissionsintensität
    UST
    Stapel (ungekrümmt)
    ± α
    Divergenz-Grenzwinkel
    ± β
    Kippwinkel
    ± δ
    Winkelhalbwertsbreite
    λ
    Wellenlänge
    Θ
    Einfallswinkel
    Θc
    kritischer Einfallswinkel

Claims (8)

  1. Strahlungsoptisches Bauelement zur Beeinflussung von Röntgen-, Synchrotron- und Neutronen-Strahlung in Bezug auf deren Wellenlängenspektrum und Divergenz-Grenzwinkel ± α mit zumindest einem Kanal der Breite d und der Länge L mit bis zu einem kritischen Einfallswinkel Θc zur Schichtoberfläche strahlungsreflektierenden Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten und mit strahlungsabsorbierenden Schichten,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    zumindest zwei strahlungsreflektierende Schichten (SR1, SR2) auf strahlungsdurchlässigen Substraten (SS1, SS2) orthogonal zu zumindest einer axialen Kanalebene (KE) über die gesamte Breite (d) des Kanals (K) unter zwei Kippwinkeln ± β = ± (α + Θc) zur Kanalachse (KA) angeordnet sind, so dass sich über den gesamten Kanalquerschnitt mindestens zwei winklig ausgerichtete Spiegelsysteme (SP1, SP2) erstrecken, wobei die auf die Spiegelsysteme (SP1, SP2) einfallende Strahlung unterhalb des Einfallswinkels Θc transmittiert und oberhalb davon reflektiert und in einer strahlungsabsorbierenden Schicht (SA) absorbiert wird, die die orthogonal zu der axialen Kanalebene (KE) angeordneten Innenwände (IW) des Kanals (K) über die Erstreckung der winkelabhängig strahlungsreflektierenden Schichten (SR1, SR2) entlang der Kanalachse (KA) belegt, so dass die strahlungsreflektierenden Schichten (SR1, SR2) und die strahlungsabsorbierenden Schichten (SA) räumlich von einander getrennt angeordnet sind.
  2. Strahlungsoptisches Bauelement nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die beiden strahlungsreflektierenden Schichten (SR1, SR2) auf strahlungsdurchlässigen Substraten (SS1, SS2) hintereinander im Kanal (K) angeordnet sind.
  3. Strahlungsoptisches Bauelement nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die beiden strahlungsreflektierenden Schichten (SR1, SR2) auf strahlungsdurchlässigen Substraten (SS1, SS2) einander kreuzförmig durchdringend im Kanal (K) angeordnet sind.
  4. Strahlungsoptisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    zwei oder mehr Paare (P1) von strahlungsreflektierenden Schichten (SR1, SR2) auf strahlungsdurchlässigen Substraten (SS1, SS2) parallel nebeneinander im Kanal (K) angeordnet sind, wobei die Paare (Pi) durch strahlungsabsorbierende Zwischenschichten (SAZ1, SAZ2) voneinander getrennt sind.
  5. Strahlungsoptisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Breite (d) des Kanals (K) dynamisch veränderbar und die Endpunkte der strahlungsreflektierenden Schichten (SR1, SR2) gelenkig mit den Innenwänden (IW) des Kanals (K) verbunden sind.
  6. Strahlungsoptisches Bauelement zur Beeinflussung von Röntgen-, Synchrotron- und Neutronen-Strahlung in Bezug auf deren Wellenlängenspektrum und Divergenz-Grenzwinkel ± α mit zumindest einem Kanal der Breite d und der Länge L mit bis zu einem kritischen Einfallswinkel Θc zur Schichtoberfläche strahlungsreflektierenden Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten und mit strahlungsabsorbierenden Schichten,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    ein oder mehrere aufeinanderfolgende Stapel (ST1, ST2) von gekrümmten, strahlungsreflektierenden Schichten (GSR1, GSR2) auf gekrümmten strahlungsdurchlässigen Substraten (GSS1, GSS2) orthogonal zu zumindest einer axialen Kanalebene (KE) über die gesamte Breite (d) des Kanals (K) angeordnet sind, wobei die Stapel (ST1, ST2) unterschiedliche Krümmungs- und Kippwinkel zur Kanalachse (KA) aufweisen können, so dass sich über den gesamten Kanalquerschnitt mindestens zwei winklig ausgerichtete Spiegelsysteme erstrecken, wobei die auf die Spiegelsysteme einfallende Strahlung unterhalb des Einfallswinkels Θc transmittiert und oberhalb davon reflektiert und in ungekrümmten, strahlungsabsorbierenden Schichten (SA) absorbiert wird, die die orthogonal zu der axialen Kanalebene (KE) angeordneten Innenwände (IW) des Kanals (K) parallel zu und im Anschluss an die beiden Stapel (ST1, ST2) von gekrümmten, winkelabhängig strahlungsreflektierenden Schichten (GSR1, GSR2) belegen, so dass die strahlungsreflektierenden Schichten (GSR1, GSR2) und die strahlungsabsorbierenden Schichten (SA) räumlich von einander getrennt angeordnet sind.
  7. Strahlungsoptisches Bauelement zur Beeinflussung von Röntgen-, Synchrotron- und Neutronen-Strahlung in Bezug auf deren Wellenlängenspektrum und Divergenz-Grenzwinkel ± α mit zumindest einem Kanal der Breite d und der Länge L mit bis zu einem kritischen Einfallswinkel Θc zur Schichtoberfläche strahlungsreflektierenden Schichten auf strahlungsdurchlässigen Substraten und mit strahlungsabsorbierenden Schichten,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    ein oder mehrere Stapel (ST1, ST2) von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten (GSR1, GSR2) auf gekrümmten strahlungsdurchlässigen Substraten (GSS1, GSS2) orthogonal zu zumindest einer axialen Kanalebene (KE) über die gesamte Breite (d) des Kanals (K) angeordnet sind, wobei die Stapel (ST1, ST2) unterschiedliche Krümmungs- und Kippwinkel zur Kanalachse (KA) aufweisen können, so dass sich über den gesamten Kanalquerschnitt mindestens zwei winklig ausgerichtete Spiegelsysteme erstrecken, wobei die auf die Spiegelsysteme einfallende Strahlung unterhalb des Einfallswinkels Θc transmittiert und oberhalb davon reflektiert und in ungekrümmten, strahlungsabsorbierenden Zwischenschichten (SAZ1, SAZ2) als strahlungsabsorbierende Schichten, die in Stapeln (UST1, UST2) hinter jedem Stapel (ST1, ST2) von gekrümmten strahlungsreflektierenden Schichten (GSR1, GSR2) auf gekrümmten strahlungsdurchlässigen Substraten (GSS1, GSS2) orthogonal zu der Kanalebene (KE) über die gesamte Breite (d) des Kanals (K) angeordnet sind, absorbiert wird, so dass die strahlungsreflektierenden Schichten (GSR1, GSR2) und die strahlungsabsorbierenden Zwischenschichten (SAZ1, SAZ2) räumlich von einander getrennt angeordnet sind.
  8. Strahlungsoptisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Ausfilterung in der horizontalen und/oder vertikalen axialen Kanalebene (KE) erfolgt.
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