EP1596988A1 - Düsenanordnung - Google Patents

Düsenanordnung

Info

Publication number
EP1596988A1
EP1596988A1 EP04713522A EP04713522A EP1596988A1 EP 1596988 A1 EP1596988 A1 EP 1596988A1 EP 04713522 A EP04713522 A EP 04713522A EP 04713522 A EP04713522 A EP 04713522A EP 1596988 A1 EP1596988 A1 EP 1596988A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
nozzle
nozzle arrangement
nozzle body
seal
vacuum chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP04713522A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1596988B1 (de
Inventor
Manfred Faubel
Detlef Wolf
Jürgen TROE
Ales Charvat
Bernd Abel
Jens Assmann
Eugene Lugovoi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Georg August Universitaet Goettingen
Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Original Assignee
Georg August Universitaet Goettingen
Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Georg August Universitaet Goettingen, Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV filed Critical Georg August Universitaet Goettingen
Publication of EP1596988A1 publication Critical patent/EP1596988A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1596988B1 publication Critical patent/EP1596988B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
    • B05B1/048—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like having a flow conduit with, immediately behind the outlet orifice, an elongated cross section, e.g. of oval or elliptic form, of which the major axis is perpendicular to the plane of the jet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
    • B05B1/042—Outlets having two planes of symmetry perpendicular to each other, one of them defining the plane of the jet

Definitions

  • the invention relates to a nozzle arrangement, in particular for injecting a fluid jet into a vacuum Cairan, according to the preamble of claim 1.
  • X-ray radiation sources are known in which a liquid target material is injected with a nozzle arrangement into a vacuum chamber and there is brought into a plasma state by laser radiation in which material-specific X-ray fluorescence radiation is emitted. It is important here that the injected liquid jet remains as stable as possible in the vacuum chamber, but this has so far been unsatisfactory with the known nozzle arrangements.
  • a nozzle arrangement for material processing is known from US Pat. No. 4,131,236, this nozzle arrangement having a nozzle channel which tapers towards the outlet opening and has a convex inner contour.
  • this nozzle arrangement having a nozzle channel which tapers towards the outlet opening and has a convex inner contour.
  • the use of such nozzle arrangements for injecting a fluid jet into a vacuum chamber leads to an unstable fluid jet within the vacuum chamber.
  • the object of the invention is therefore to create a nozzle arrangement which, when injected into a vacuum chamber, generates a fluid jet which is as stable as possible.
  • the invention is based on the knowledge that the stability of the liquid jet injected into the vacuum chamber is favored by a flow that is as laminar as possible within the liquid jet.
  • the invention therefore includes the general technical teaching of designing the nozzle arrangement in such a way that the flow at the outlet opening of the nozzle arrangement is as laminar as possible.
  • the nozzle arrangement according to the invention therefore has a nozzle channel with an at least partially concavely shaped inner contour.
  • concave inner contour used in the context of the invention is to be understood generally and is not restricted to the narrower mathematical meaning of this term.
  • the inner contour of the nozzle channel in the nozzle arrangement according to the invention can also be simply bulged outwards.
  • the nozzle channel has a parabolic inner contour, which has proven to be particularly advantageous.
  • the concave or parabolic inner contour of the nozzle channel preferably extends from the outlet opening counter to the jet direction over a predetermined range. It is therefore not necessary within the scope of the invention that the concave or parabolic inner contour of the nozzle channel extends over the entire length of the nozzle arrangement.
  • the nozzle channel runs in a nozzle body, the nozzle body being at least partially has a convex outer contour.
  • convex outer contour used in the context of the invention is also to be understood generally and is not restricted to the narrow mathematical meaning of this term.
  • the nozzle body can also have only a spherical or curved outer contour, the outer contour preferably tapering in the direction of the outlet opening.
  • the nozzle body preferably has a parabolic outer contour, which has proven to be particularly advantageous when a liquid jet is injected into a vacuum chamber.
  • the convex or parabolic outer contour of the nozzle body preferably extends from the outlet opening against the jet direction over a predetermined range. It is therefore not necessary within the scope of the invention that the convex or parabolic outer contour of the nozzle body extends over its entire length.
  • the nozzle body is preferably made of quartz, sapphire, glass or another dielectric.
  • Such a selection of materials for the nozzle body advantageously leads to a long service life, since these materials, as dielectrics, are not exposed to electro-chemical corrosion, which is particularly important in the case of the X-ray sources mentioned at the beginning, which generate many ions.
  • Another advantage of glass as a material for the nozzle body is its good processability, since outlet openings with an inner diameter of 1 ⁇ m to 1 mm can be realized.
  • the invention is not limited to the above-mentioned materials with respect to the material of the nozzle body. limits, but can also be realized, for example, with a plastic nozzle body, provided the plastic used is sufficiently erosion-resistant and smooth.
  • the nozzle body consists of a transparent material such as glass.
  • the transparency of the nozzle body offers the advantage that bubbles or dirt in the nozzle channel can be identified by a simple visual inspection, which considerably simplifies troubleshooting.
  • the inside diameter of the outlet opening is preferably in the range from 1 ⁇ m to 0.5 mm, any number of intermediate values being possible.
  • an inner diameter of the outlet opening in the range from 5 ⁇ m to 0.25 mm has proven to be particularly advantageous.
  • the nozzle body preferably consists of a thermally conductive material in order to prevent hypothermia or even freezing of the liquid in the nozzle channel. This is particularly advantageous if the nozzle arrangement according to the invention is used for injecting a liquid jet into a vacuum chamber, since liquid evaporates due to the vacuum, which leads to cooling of the liquid due to the associated evaporative cooling.
  • the nozzle body is connected to a feed line, a seal being arranged between the nozzle body and the feed line.
  • the seal has the function, the transition to seal between the supply line and the nozzle body.
  • the seal is intended to prevent the relatively hard supply line from hitting the likewise relatively hard nozzle body, since this would be associated with considerable wear.
  • the seal is therefore preferably made of a much softer material than the nozzle body and / or the feed line.
  • the seal can be made of a plastic such as nylon, but other materials are also possible.
  • Inner channels for supplying the fluid to be injected likewise run in the feed line and the seal.
  • the feed line preferably has an inner channel with an inner diameter of 0.1 mm to 5 mm, while the inner channel arranged in the seal preferably has an inner diameter in the range of 0.01 mm to 5 mm.
  • the inner diameters of the inner channels differ in the feed line, the seal and in the nozzle channel by less than a factor of two.
  • a screw connection is also provided in order to connect the feed line, the seal and / or the nozzle body to one another.
  • Such a screw connection advantageously enables simple disassembly of the nozzle arrangement, for example for cleaning purposes.
  • This screw connection preferably consists of a screw sleeve which can be screwed to the feed line and a screw cap which can be screwed to the screw sleeve.
  • the Screw cap preferably an approach for a tool to screw the screw cap.
  • the nozzle arrangement according to the invention preferably has a pressure resistance of at least 100 bar, since preferably all components are made in one piece and, for example, have no weld seams.
  • the invention comprises a device with a vacuum chamber and a nozzle arrangement according to one of the preceding claims for injecting a fluid jet into the vacuum chamber.
  • the nozzle arrangement according to the invention is advantageously suitable for injecting target material into a vacuum chamber of an X-ray source, as briefly described at the beginning, of a photoelectron spectrometer or a mass spectrometer.
  • the nozzle arrangement according to the invention is heated thermostatically in order to prevent the fluid from being injected into a vacuum chamber
  • FIG. 1c the screw sleeve of the nozzle arrangement from FIG.
  • FIG. 1d shows a cross-sectional view of the seal of the nozzle arrangement from FIG.
  • FIG. 1e shows a cross-sectional view of the screw cap of the nozzle arrangement from FIG.
  • FIG. 1f the nozzle body of the nozzle arrangement from FIG.
  • 1g shows a detailed cross-sectional view of the nozzle body in the region of the outlet opening
  • FIG. 2a shows an alternative embodiment of a nozzle arrangement according to the invention in a cross-sectional representation
  • FIG. 2b shows the feed line of the nozzle arrangement from FIG. 2a in a cross-sectional view
  • FIG. 2c shows the seal of the nozzle arrangement from FIG. 2a in a cross-sectional view
  • FIG. 2d shows the screw cap of the nozzle arrangement from FIG. 2a in a cross-sectional view
  • FIG. 2e shows a detailed cross-sectional view of the nozzle body of the nozzle arrangement from FIG. 2a and FIG. 3 shows an X-ray source with a nozzle arrangement according to the invention.
  • the nozzle arrangement 1 according to the invention shown in FIG. 1 a essentially consists of a feed line 2, a seal 3, a screw sleeve 4 screwed onto the feed line 2, a screw cap 5 screwed onto the screw sleeve 4 and a nozzle body 6 inserted into the seal 3, the is not shown for the sake of simplicity in FIG. 1a and is shown in detail in FIGS. 1f and 1g.
  • the pressure-tight nozzle arrangement 1 is particularly advantageously suitable for injecting a liquid jet into a vacuum chamber, since the nozzle arrangement 1 can be used to generate a stable liquid jet.
  • the feed line 2 is shown in detail in FIG. 1b and has a continuous inner channel 7 for supplying the liquid to be injected.
  • the feed line 2 has a head 8 with an outer diameter of 4 mm, the head 8 carrying an external thread which, in the assembled state, engages in a correspondingly adapted internal thread 9 in the screw sleeve 4, the screw sleeve 4 being detailed is shown in Figure lc.
  • the head 8 of the feed line 2 has a conical widening of the inner channel 7 on its free end face, the cone angle of the widening being 90 °.
  • the seal 3 shown in detail in FIG. 1d has a corresponding conical taper 10 on its side facing the feed line 2, the cone angle of this taper 10 likewise being 90 °.
  • the taper 10 of the seal 3 rests in the conical widening of the inner channel 7 of the feed line 2.
  • the seal 3 is made of nylon and is therefore much softer than the metal supply line 2 one causes this material selection ' for the seal 3 a good sealing effect. On the other hand, this avoids a relatively wear-prone metal-glass transition.
  • the seal 3 also has a continuous inner channel 11 through which the liquid to be injected is passed on.
  • the inner channel 11 merges into a receiving chamber 12, in which the nozzle body 6 shown in FIGS. 1f and 1g is arranged in the assembled state, the nozzle body 6 being described in more detail.
  • the seal 3 On the side facing away from the feed line 2, the seal 3 likewise has a conical taper 13, the cone angle of the taper 13 being only 15 °.
  • the screw cap 5 which is shown in detail in FIG. Le, serves to fix the seal 3 in the screw sleeve 4.
  • the screw cap 5 has an internal thread 14 on its inside, which in the assembled state engages in a corresponding external thread 15 which is attached in the outer lateral surface of the screw sleeve 4.
  • the screw cap 5 presses the seal 3 axially against the supply line 2, the screw sleeve 4 fixing the screw connection consisting of the screw cap 5 and the screw sleeve 4 on the supply line 2.
  • the nozzle body 6 essentially consists of a hollow cylindrical glass tube which is transparent and thus allows the detection of bubbles or contaminants within the nozzle body 6 by a simple visual inspection.
  • plastic seal 3 advantageously prevents a glass-metal transition to the feed line 2, since such a glass-metal transition would be very susceptible to wear.
  • the nozzle body 6 furthermore has a continuous nozzle channel 18, the nozzle channel 18 having a concave inner contour 19 in an area adjacent to the outlet opening 17.
  • the concave inner contour 19 of the nozzle channel 18 contributes to a laminar flow at the outlet opening 17 and thus favors the stability of the injected liquid jet.
  • the nozzle body -6 has a convex outer contour 20 in a region adjacent to the * outlet opening 17, which likewise favors a stable liquid jet.
  • the exemplary embodiment of a nozzle arrangement 1 'according to the invention shown in FIGS. 2a-2e largely corresponds to the exemplary embodiment described above, so that in order to avoid repetition, reference is largely made to the above description and the same reference numerals are used below for corresponding components to distinguish them are only identified by an apostrophe.
  • a special feature of the nozzle arrangement 1 ' is that the nozzle body 6' does not have a convex outer contour, but is designed as a cylindrical glass pane.
  • the nozzle channel 18 'arranged in the nozzle body 6' also has a concave inner contour 19 'in order to achieve a flow which is as laminar as possible.
  • FIG. 3 An example of an X-ray source according to the invention is schematically illustrated in FIG. 3.
  • the x-ray source comprises a target source 21, which is connected to a temperature-controllable vacuum chamber 22, an irradiation device 23 and a collection device 24.
  • the target source 21 comprises a reservoir 25 for a target material 26, a feed line 27 and a nozzle arrangement 28, which is designed in accordance with FIGS. 1a-2g or 2a-2e.
  • an actuating device (not shown), which comprises, for example, a pump or a piezoelectric conveying device, the
  • Target material 26 is guided to the nozzle arrangement 28 and released by the latter in the form of a liquid jet and injected into the vacuum chamber 22.
  • the irradiation device 23 comprises a radiation source 29 and a radiation optics 30, with which radiation from the radiation source 29 can be focused on the target material 26.
  • the radiation source 29 is, for example, a laser, the light of which is possibly directed towards the target material 26 with the aid of deflecting mirrors (not shown).
  • an ion source or an electron source can be provided as the radiation device 23, which is also arranged in the vacuum chamber 22.
  • the collecting device 24 comprises a sensor 31 e.g. in the form of a funnel or a capillary, which removes the target material 26, which has not evaporated under the influence of the radiation, from the vacuum chamber 22 and leads it into a collecting container 32.
  • a sensor 31 e.g. in the form of a funnel or a capillary, which removes the target material 26, which has not evaporated under the influence of the radiation, from the vacuum chamber 22 and leads it into a collecting container 32.
  • the collected liquid can advantageously be collected in the collecting container 32 without further measures.
  • cooling of the collecting container 32 can be provided with a cooling device (not shown) and / or a vacuum pump (not shown).
  • the vacuum chamber 22 comprises a housing with at least a first window 33, through which the target material 26 can be irradiated, and at least a second window 33, through which the generated X-ray radiation emerges.
  • the second window 33 is optionally provided in order to decouple the generated X-radiation from the vacuum chamber 22 for a specific application. If this is not necessary, the second window 33 can be dispensed with.
  • the vacuum chamber 22 is also connected to a vacuum device 34, with which a vacuum is generated in the vacuum chamber 22. This negative pressure is preferably below 10 ⁇ 5 mbar.
  • the radiation optics 30 is also arranged in the vacuum chamber 22.
  • the vacuum chamber 22 is equipped with a heating device which comprises one or more thermostats 35-37. With the thermostats 35-37, the housing of the vacuum chamber 22, the sensor 32 and / or the radiation optics 30 can be tempered. Possibly. the target source 21 can also be tempered.
  • a thermostat includes, for example, a resistance heater known per se.
  • the temperature set with the heating device is selected such that the vapor pressure of the target material 26 exceeds the gas pressure which is formed by irradiating the target material 26 with the irradiation device 23. This avoids oversaturation of the gas phase in the vacuum chamber 22.
  • the released polymer remains gaseous and can be pumped out almost quantitatively with the vacuum device 34.
  • the second window 33 consists of a window material transparent to soft X-rays, e.g. B. from beryllium. If the second window 33 is provided, an evacuable processing chamber 38 can be connected, which is connected to a further vacuum device 39. In the processing chamber 38, the x-ray radiation for material processing can be imaged on an object.
  • An X-ray lithography device 40 is provided, for example, with which the surface of a semiconductor substrate is irradiated.
  • the spatial separation of the X-ray source in the vacuum chamber 22 and the X-ray lithography device 40 in the processing chamber 38 has the advantage part that the material to be processed is not exposed to deposits of evaporated target material 26.
  • the x-ray lithography device 40 comprises, for example, a filter 41 for selecting the desired x-ray wavelength, a mask 42 and the substrate 43 to be irradiated.
  • imaging optics for example mirrors

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
  • Percussion Or Vibration Massage (AREA)
  • Surgical Instruments (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Description

Düsenanordnung
Die Erfindung betrifft eine Düsenanordnung, insbesondere zur Einspritzung eines Fluidstrahls in eine Vakuumkairaner, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Es sind Röntgenstrahlungsquellen bekannt, bei denen ein flüssiges Targetmaterial mit einer Düsenanordnung in eine Vakuumkammer eingespritzt und dort durch Laser-Bestrahlung in einen Plasmazustand versetzt wird, in dem materialspezifische Rönt- genfluoreszenzstrahlung emittiert wird. Hierbei ist es wichtig, dass der eingespritzte Flüssigkeitsstrahl in der Vakuumkammer möglichst stabil bleibt, was jedoch bei den bekannten Düsenanordnungen bisher unbefriedigend war.
Beispielsweise ist aus US 4 131 236 eine Düsenanordnung zur Materialverarbeitung bekannt, wobei diese Düsenanordnung einen Düsenkanal aufweist, der sich zu der Austrittsöffnung hin verjüngt und eine konvexe Innenkontur aufweist. Die Verwendung derartiger Düsenanordnungen zur Einspritzung eines Fluidstrahls in eine Vakuumkammer führt jedoch zu einem instabilen Fluidstrahl innerhalb der Vakuumkammer.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Düsen- anordnung zu schaffen, die bei der Einspritzung in eine Vakuumkammer einen möglichst stabilen Fluidstrahl erzeugt.
Diese Aufgabe wird, ausgehend von der vorstehend beschriebenen bekannten Düsenanordnung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, dass die Stabilität des in die Vakuumkammer eingespritzten Flüssigkeitsstrahls durch eine möglichst laminare Strömung innerhalb des Flüssigkeitsstrahls begünstigt wird.
Die Erfindung umfasst deshalb die allgemeine technische Lehre, die Düsenanordnung so zu gestalten, dass die Strömung an der Austrittsöffnung der Düsenanordnung möglichst laminar ist.
Die erfindungsgemäße Düsenanordnung weist deshalb einen Düsenkanal mit einer mindestens teilweise konkav geformten Innen- kontur auf.
Der im Rahmen der Erfindung verwendete Begriff einer konkaven Innenkontur ist allgemein zu verstehen und nicht auf die engere mathematische Bedeutung dieses Begriffs beschränkt. Bei- spielsweise kann die Innenkontur des Düsenkanals bei der erfindungsgemäßen Düsenanordnung auch einfach nach außen ausgewölbt sein.
In einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Dü- senanordnung weist der Düsenkanal jedoch eine parabolische Innenkontur auf, was sich als besonders vorteilhaft erwiesen hat.
Vorzugsweise erstreckt sich die konkave bzw. parabolische In- nenkontur des Düsenkanals hierbei von der Austrittsöffnung ausgehend entgegen der Strahlrichtung über einen vorgegebenen Bereich. Es ist also im Rahmen der Erfindung nicht erforderlich, dass sich die konkave bzw. parabolische Innenkontur des Düsenkanals über die gesamte Länge der Düsenanordnung er- streckt.
In einer bevorzugten Ausführungsform verläuft der Düsenkanal in einem Düsenkörper, wobei der Düsenkörper mindestens teil- weise eine konvexe Außenkontur aufweist. Auch der im Rahmen der Erfindung verwendete Begriff einer konvexen Außenkontur ist allgemein zu verstehen und nicht auf die enge mathematische Bedeutung dieses Begriffs beschränkt. Beispielsweise kann der Düsenkörper auch lediglich eine ballige oder nach außen gewölbte Außenkontur aufweisen, wobei sich die Außenkontur vorzugsweise in Richtung der Austrittsöffnung verjüngt.
Vorzugsweise weist der Düsenkörper jedoch eine parabolische Außenkontur auf, was sich bei der Einspritzung eines Flüssigkeitsstrahls in eine Vakuumkammer als besonders vorteilhaft erwiesen hat.
Die konvexe bzw. parabolische Außenkontur des Düsenkörpers er- streckt sich hierbei vorzugsweise von der Austrittsöffnung ausgehend entgegen der Strahlrichtung über einen vorgegebenen Bereich. Es ist also im Rahmen der Erfindung nicht erforderlich, dass sich die konvexe bzw. parabolische Außenkontur des Düsenkörpers über dessen Gesamtlänge erstreckt.
Vorzugsweise besteht der Düsenkörper aus Quarz, Saphir, Glas oder einem anderen Dielektrikum. Eine derartige Materialauswahl für den Düsenkörper führt vorteilhaft zu einer langen Lebensdauer, da diese Materialien als Dielektrika keiner e- lektro-chemischen Korrosion ausgesetzt sind, was insbesondere bei den eingangs erwähnten Röntgenstrahlquellen wichtig ist, die viele Ionen erzeugen. Ein weiterer Vorteil von Glas als Material für den Düsenkörper besteht in der guten Vera-rbei- tungsfähigkeit, da sich Austrittsöffnungen mit einem Innen- durchmesser von 1 um bis 1 mm realisieren lassen.
Die Erfindung ist jedoch hinsichtlich des Materials des Düsenkörpers nicht auf die vorstehend erwähnten Materialien be- schränkt, sondern lässt sich beispielsweise auch mit einem Düsenkörper aus Kunststoff realisieren, sofern der verwendete Kunststoff ausreichend erosionsbeständig und glatt ist.
In einer weiteren Variante der Erfindung besteht der Düsenkörper aus einem durchsichtigen Material wie beispielsweise Glas. Die Durchsichtigkeit des Düsenkörpers bietet hierbei den Vorteil, dass Bläschen oder Verschmutzungen in dem Düsenkanal durch eine einfache Sichtkontrolle erkannt werden können, wo- durch die Fehlersuche wesentlich vereinfacht wird.
Hinsichtlich des Durchmessers der Austrittsöffnung der Düsenanordnung bestehen vielfältige Möglichkeiten, jedoch liegt der Innendurchmesser der Austrittsöffnung vorzugsweise im Bereich von 1 μm bis 0,5 mm, wobei beliebig viele Zwischenwerte möglich sind. Bei der Einspritzung eines Flüssigkeitsstrahls in eine Vakuumkammer hat sich ein Innendurchmesser der Austrittsöffnung im Bereich von 5μm bis 0,25 mm als besonders vorteilhaft erwiesen.
Ferner besteht der Düsenkörper vorzugsweise aus einem wärme- leitfähigen Material, um eine Unterkühlung oder gar ein Einfrieren der Flüssigkeit in dem Düsenkanal zu verhindern. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die erfindungsgemäße Düsenanordnung zur Einspritzung eines Flüssigkeitsstrahls in eine Vakuumkammer eingesetzt wird, da dabei aufgrund des Vakuums Flüssigkeit verdampft, was aufgrund der damit verbundenen Verdunstungskälte zu einer Abkühlung der Flüssigkeit führt.
In der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der Düsenkörper mit einer Zuleitung verbunden, wobei zwischen dem Düsenkörper und der Zuleitung eine Dichtung angeordnet ist. Die Dichtung hat hierbei zum einen die Funktion, den Übergang zwischen der Zuleitung und dem Düsenkörper abzudichten. Zum anderen soll die Dichtung verhindern, dass die relativ harte Zuleitung direkt auf den ebenfalls relativ harten Düsenkörper stößt, da dies mit einem erheblichen Verschleiß verbunden wäre. Die Dichtung besteht deshalb vorzugsweise aus einem wesentlich weicheren Material als der Düsenkörper und/oder die Zuleitung. Beispielsweise kann die Dichtung aus einem Kunststoff wie Nylon bestehen, jedoch sind auch andere Materialien möglich.
In der Zuleitung und der Dichtung verlaufen hierbei ebenfalls Innenkanäle zur Zuführung des einzuspritzenden Fluids. Die Zuleitung weist hierbei vorzugsweise einen Innenkanal mit einem Innendurchmesser von 0,1 mm bis 5 mm auf, während der in der Dichtung angeordnete Innenkanal vorzugsweise einen Innendurchmesser im Bereich von 0,01 mm bis 5 mm aufweist.
Zur Erreichung eines möglichst stabilen Flüssigkeitsstrahls hat es sich ferner als vorteilhaft erwiesen, wenn sich die In- nendurchmesser der Innenkanäle in der Zuleitung, der Dichtung und in dem Düsenkanal um weniger als den Faktor 2 unterscheiden.
In der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ferner eine Schraubverbindung vorgesehen, um die Zuleitung, die Dichtung und/oder den Düsenkörper miteinander zu verbinden. Eine derartige Schraubverbindung ermöglicht vorteilhaft eine einfache Zerlegung der Düsenanordnung beispielsweise zu Reinigungszwecken.
Vorzugsweise besteht diese Schraubverbindung aus einer mit der Zuleitung verschraubbaren Schraubhülse und einer mit der Schraubhülse verschraubbaren Schraubkappe. Hierbei weist die Schraubkappe vorzugsweise einen Ansatz für ein Werkzeug auf, um die Schraubkappe festzuschrauben.
Ferner ist zu erwähnen, dass die erfindungsgemäße Düsenanord- nung vorzugsweise eine Druckfestigkeit von mindestens 100 bar aufweist, da vorzugsweise alle Komponenten einstückig ausgeführt sind und beispielsweise- keine Schweißnähte aufweisen.
Weiterhin umfasst die Erfindung eine Vorrichtung mit einer Va- kuumkammer und einer Düsenanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Einspritzung^ eines Fluidstrahls in die Vakuumkammer. Beispielsweise eignet sich die erfindungsgemäße Düsenanordnung vorteilhaft zur Einspritzung von Targetmaterial in eine Vakuumkammer einer Röntgenstrahlquelle, wie eingangs kurz beschrieben wurde, eines Photoelektronenspektrometers o- der eines Massenspektrometers .
Zur Erreichung eines stabilen Flüssigkeitsstrahls in der Vakuumkammer hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die Vaku- umkammer erst dann evakuiert wird, wenn der Flüssigkeitsstrahl gestartet wurde.
Darüber hinaus kann es sinnvoll sein, wenn die erfindungsgemäße Düsenanordnung thermostatisch beheizt wird, um die bei der Einspritzung eines Fluids in eine Vakuumkammer entstehende
Verdunstungskälte zu kompensieren, ohne den Flüssigkeitsdampfdruck übermäßig zu erhöhen.
Andere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet und werden nachstehend zusammen mit der Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Figuren näher erläutert. Es zeigen: Fig. la eine erfindungsgemäße Düsenanordnung in einer Querschnittsansicht,
Fig. lb die Zuleitung der Düsenanordnung aus Fig. la in einer Querschnittsansicht, Fig. lc die Schraubhülse der Düsenanordnung aus Fig. la in einer Querschnittsansicht,
Fig. ld eine Querschnittsansicht der Dichtung der Düsenanordnung aus Fig. la,
Fig. le eine Querschnittsansicht der Schraubkappe der Düsenanordnung aus Fig. la,
Fig. lf den Düsenkörper der Düsenanordnung aus Fig. la,
Fig. lg eine detaillierte Querschnittsansicht des Düsenkörpers im Bereich der Austrittsöffnung,
Fig. 2a ein alternatives Ausführungsbeispiel einer er- findungsgemäßen Düsenanordnung in einer Quer- schnittsdarsteilung,
Fig. 2b die Zuleitung der Düsenanordnung aus Fig. 2a in einer Querschnittsansicht,
Fig. 2c die Dichtung der Düsenanordnung aus Fig. 2a in einer Querschnittsansicht,
Fig. 2d die Schraubkappe der Düsenanordnung aus Fig. 2a in einer Querschnittsansicht,
Fig. 2e eine detaillierte Querschnittsansicht des Düsenkörpers der Düsenanordnung aus Fig. 2a sowie Fig. 3 eine Röntgenstrahlquelle mit einer erfindungsgemäßen Düsenanordnung.
Die in Figur la .dargestellte erfindungsgemäße Düsenanordnung- 1 besteht im wesentlichen aus einer Zuleitung 2, einer Dichtung 3, einer auf die Zuleitung 2 aufgeschraubten Schraubhülse 4, einer auf die Schraubhülse 4 aufgeschraubten Schraubkappe 5 sowie einem in die Dichtung 3 eingesetzten Düsenkörper 6, der zur Vereinfachung in Figur la nicht dargestellt ist und in den Figuren lf und lg detailliert gezeigt ist.
Besonders vorteilhaft eignet sich die druckdichte Düsenanord- nung 1 zur Einspritzung eines Flüssigkeitsstrahls in eine Vakuumkammer, da sich mit der Düsenanordnung 1 ein stabiler Flüssigkeitsstrahl erzeugen läßt.
Die Zuleitung 2 ist detailliert in Figur lb dargestellt und weist einen durchgehenden Innenkanal 7 zur Zuführung der einzuspritzenden Flüssigkeit auf.
An ihrem freien Ende weist die Zuleitung 2 einen Kopf 8 mit einem Außendurchmesser von 4 mm auf, wobei der Kopf 8 ein Au- ßengewinde trägt, das im montierten Zustand in ein entsprechend angepasstes Innengewinde 9 in der Schraubhülse 4 eingreift, wobei die Schraubhülse 4 detailliert in Figur lc dargestellt ist.
Weiterhin weist der Kopf 8 der Zuleitung 2 an seiner freien Stirnfläche eine konische Erweiterung des Innenkanals 7 auf, wobei der Konuswinkel der Erweiterung 90° beträgt.
Die in Figur ld detailliert dargestellte Dichtung 3 weist an ihrer der Zuleitung 2 zugewandten Seite eine entsprechende konische Verjüngung 10 auf, wobei der Konuswinkel dieser Verjüngung 10 ebenfalls 90° beträgt. In dem in Figur la dargestellten montierten Zustand ruht die -Verjüngung 10 der -Dichtung 3 in der konischen Erweiterung des Innenkanals 7 der Zuleitung 2.
Die Dichtung 3 besteht hierbei aus Nylon und ist somit wesentlich weicher als die aus Metall bestehende Zuleitung 2. Zum einen bewirkt diese Materialauswahl' für die Dichtung 3 eine gute Dichtwirkung. Zum anderen wird so ein relativ verschleißanfälliger Metall-Glas-Übergang vermieden.
Die Dichtung 3 weist ebenfalls einen durchgehenden Innenkanal 11 auf, durch den die einzuspritzende Flüssigkeit weiter geleitet wird.
Innerhalb der Dichtung 3 geht der Innenkanal 11 in eine Auf- nahmekammer 12 über, in der im montierten Zustand der in den Figuren lf und lg dargestellte Düsenkörper 6 angeordnet ist, wobei der Düsenkörper 6 noch detailliert beschrieben wird.
Auf der der Zuleitung 2 abgewandten Seite weist die Dichtung 3 ebenfalls eine konische Verjüngung 13 auf, wobei der Konuswinkel der Verjüngung 13 lediglich 15° beträgt.
Zur Fixierung der Dichtung 3 in der Schraubhülse 4 dient die Schraubkappe 5, die in Figur le detailliert dargestellt ist.
So weist die Schraubkappe 5 an Ihrer Innenseite ein Innengewinde 14 auf, das im montierten Zustand in ein entsprechendes Außengewinde 15 eingreift, das in der äußeren Mantelfläche der Schraubhülse 4 angebracht ist. Bei einer Verschraubung drückt also die Schraubkappe 5 die Dichtung 3 axial gegen die Zuleitung 2, wobei die Schraubhülse 4 die aus der Schraubkappe 5 und der Schraubhülse 4 bestehende Verschraubung an der Zuleitung 2 fixiert. •■ •■ ■•-..■
In der Schraubkappe 5 ist hierbei eine radial durchgehende
Bohrung 16 angebracht, die als Ansatz für ein Schraubwerkzeug dient, um die Schraubkappe 5 auf der Schraubhülse 4 festschrauben zu können. Im folgenden wird nun der in den Figuren lf und lg dargestellte Düsenkörper 6 näher beschrieben.
So besteht der Düsenkörper 6 im Wesentlichen aus einem hohlzy- lindrischen Glasrohr, das durchsichtig ist und somit durch eine einfache Sichtkontrolle die Erkennung von Bläschen oder Verschmutzungen innerhalb des Düsenkörpers 6 erlaubt.
Ein weiterer Vorteil der Verwendung von Glas als Material für den Düsenkörper 6 besteht in der guten Verarbeitbarkeit, so dass sich eine Austrittsöffnung 17 mit einem Innendurchmesser von dD= 20μm realisieren läßt.
Die Verwendung der aus Kunststoff bestehenden Dichtung 3 verhindert hierbei vorteilhaft einen Glas-Metall-Übergang zu der Zuleitung 2, da ein derartiger Glas-Metall-Übergang sehr verschleißanfällig wäre.
Der Düsenkörper 6 weist weiterhin einen durchgehenden Düsenkanal 18 auf, wobei der Düsenkanal 18 in einem an die Austrittsöffnung 17 angrenzenden Bereich eine konkave Innenkontur 19 aufweist. Die konkave Innenkontur 19 des Düsenkanals 18 trägt zu einer laminaren Strömung an der Austrittsöffnung 17 bei und begünstigt somit die Stabilität des eingespritzten Flüssigkeitsstrahls .
Darüber hinaus weist der Düsenkörper -6 in einem an die*-Aus- trittsöffnung 17 angrenzenden Bereich eine konvexe Außenkon- tur 20 auf, wodurch ebenfalls ein stabiler Flüssigkeitsstrahl begünstigt wird. Das in den Figuren 2a - 2e dargestellte Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Düsenanordnung 1' stimmt weitgehend mit dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel überein, so dass zur Vermeidung von Wiederholungen weitgehend auf die vorstehende Beschreibung verwiesen wird und im folgenden für entsprechende Bauteile dieselben Bezugszeichen verwendet werden, die zur Unterscheidung lediglich durch ein Apostroph gekennzeichnet sind.
Eine Besonderheit der Düsenanordnung 1' besteht darin, dass der Düsenkörper 6' keine konvexe Außenkontur aufweist, sondern als zylindrische Glasscheibe ausgebildet ist.
Der in dem Düsenkörper 6' angeordneten Düsenkanal 18' weist hierbei jedoch ebenfalls eine konkave Innenkontur 19' auf, um eine möglichst laminare Strömung zu erreichen.
In Fig. 3 ist ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Röntgenquelle schematisch illustriert.
Die Röntgenquelle umfasst eine Targetquelle 21, die mit einer temperierbaren Vakuumkammer 22 verbunden ist, eine Bestrahlungseinrichtung 23 und eine Sammeleinrichtung 24.
Die Targetquelle 21 umfasst ein Reservoir 25 für ein Targetmaterial 26, eine Zufuhrleitung 27 und eine Düsenanordnung 28, die entsprechend den Figuren la-lg oder 2a- 2e ausgebildet ist. Mit einer (nicht dargestellten) Betätigungseinrichtung, die bspw. eine Pumpe oder eine piezoelektrische Fördereinrichtung umfasst, wird das
Targetmaterial 26 zu der Düsenanordnung 28 geführt und von dieser in Form eines Flüssigkeitsstrahls abgegeben und in die Vakuumkammer 22 injiziert. Die Bestrahlungseinrichtung 23 umfasst eine Strahlungsquelle 29 und eine Bestrahlungsoptik 30, mit der Strahlung von der Strahlungsquelle 29 auf das Targetmaterial 26 fokussierbar sind. Die Strahlungsquelle 29 ist bspw. ein Laser, dessen Licht ggf. mit Hilfe von Umlenkspiegeln (nicht dargestellt) hin zu dem Targetmaterial 26 gelenkt wird. Alternativ kann als Bestrahlungseinrichtung 23 eine Ionenquelle oder eine Elektronenquelle vorgesehen sein, die mit in der Vakuumkammer 22 angeordnet ist.
Die Sammeleinrichtung 24 umfasst einen Aufnehmer 31 z.B. in Form eines Trichters oder einer Kapillare, der das Targetmaterial 26, das nicht unter Einwirkung der Bestrahlung verdampft ist, aus der Vakuumkammer 22 entfernt und in einen Sammelbe- hälter 32 leitet. Bei einer Verwendung eines flüssigen Targetmaterials 26 mit niedrigem Dampfdruck kann die gesammelte Flüssigkeit vorteilhafterweise ohne weitere Maßnahmen in dem Sammelbehälter 32 aufgefangen werden. Um ggf. die Gefahr eines Rückstroms von gesammeltem Targetmaterial 26 in die Vakuumkam- mer 22 zu vermeiden, kann eine Kühlung des Sammelbehälters 32 mit einer Kühleinrichtung (nicht dargestellt) und/oder eine Vakuumpumpe (nicht dargestellt) vorgesehen sein.
Die Vakuumkammer 22 umfasst ein Gehäuse mit mindestens einem ersten Fenster 33, durch das das Targetmaterial 26 bestrahlbar ist, und mindestens einem zweiten Fenster 33, durch das die generierte Röntgenstrahlung austritt. Das zweite Fenster 33 ist optional vorgesehen, um die generierte Röntgenstrahlung aus der Vakuumkammer 22 für eine bestimmte Anwendung auszukop- peln. Falls dies nicht erforderlich ist, kann auf das zweite Fenster 33 verzichtet werden. Die Vakuumkammer 22 ist ferner mit einer Vaküumeinrichtung 34 verbunden, mit der in der Vakuumkammer 22 ein Unterdruck erzeugt wird. Dieser Unterdruck liegt vorzugsweise unterhalb von 10~5 mbar. Die Bestrahlungsoptik 30 ist ebenfalls in der Vakuumkammer 22 angeordnet.
Die Vakuumkammer 22 ist mit einer Heizeinrichtung ausgestat- tet, die einen oder mehrere Thermostaten 35-37 umfasst. Mit den Thermostaten 35-37 sind das Gehäuse der Vakuumkammer 22, der Aufnehmer 32 und/oder die Bestrahlungsoptik 30 temperierbar. Ggf. kann auch die Targetquelle 21 temperiert werden. Ein Thermostat umfasst beispielsweise eine an sich bekannte Wider- standsheizung.
Die mit der Heizeinriσhtung eingestellte Temperatur wird so gewählt, dass der Dampfdruck des Targetmaterials 26 den Gasdruck übersteigt, der durch Bestrahlung des Targetmaterials 26 mit der Bestrahlungseinrichtung 23 gebildet wird. Dadurch wird erfindungsgemäß eine Übersättigung der Gasphase in der Vakuumkammer 22 vermieden. Das freigesetzte Polymer bleibt gasförmig und kann nahezu quantitativ mit der Vakuumeinrichtung 34 abgepumpt werden.
Das zweite Fenster 33 besteht aus einem für weiche Röntgenstrahlung transparenten Fenstermaterial, z. B. aus Beryllium. Wenn das zweite Fenster 33 vorgesehen ist, kann sich eine evakuierbare Bearbeitungskammer 38 anschließen, die mit einer weiteren Vakuumeinrichtung 39 verbunden ist. In der Bearbeitungskammer 38 kann die Röntgenstrahlung zur Materialbearbeitung auf ein Objekt abgebildet werden. Es ist bspw. eine-Röntgenlithographieeinrichtung 40 vorgesehen, mit der die Oberfläche eines Halblei- tersubstrats bestrahlt wird. Die räumliche Trennung der Röntgenquelle in der Vakuumkammer 22 und der Röntgenlithographieeinrichtung 40 in der Bearbeitungskammer 38 besitzt den Vor- teil, dass das zu bearbeitende Material nicht Ablagerungen von verdampftem Targetmaterial 26 ausgesetzt wird.
Die Röntgenlithographieeinrichtung 40 umfasst bspw. einen Filter 41 zur Selektion der gewünschten Röntgen-Wellenlänge, eine Maske 42 und das zu bestrahlende Substrat 43. Zusätzlich können Abbildungsoptiken (bspw. Spiegel) vorgesehen sein, um die Röntgenstrahlung auf die Röntgenlithographieeinrichtung 40 zu lenken.
Die Erfindung ist nicht auf die vorstehend beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr ist eine Vielzahl von Varianten und Abwandlungen möglich, die ebenfalls von dem Erfindungsgedanken Gebrauch machen und deshalb in den Schutzbereich fallen.
•& ~k -k - ■-

Claims

PATENTANSPRÜCHE
1. Düsenanordnung (1, 1', 28), insbesondere zur Einspritzung eines Fluids in eine Vakuumkammer, mit einem Düsenkanal (18, 18') mit einer vorgegebenen Innenkontur (19, 19'), wobei der Düsenkanal (18, 18') in eine Austrittsöffnung (17, 17') mündet, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenkontur (19, 19') des Düsenkanals (18, 18') mindestens teilweise konkav geformt ist.
2. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenkontur (19, 19') des Düsenkanals (18, 18') eine parabolische Form aufweist.
3. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenkanal (18, 18') in einem an die Austrittsöffnung (17, 17') angrenzenden Bereich eine konkave oder parabolische Innenkontur (19, 19') aufweist.
4. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenkanal (18, 18') in einem Düsenkörper (6, 6') verläuft, wobei der Düsenkörper (6, 6') mindestens teilweise eine konvexe Außenkontur (20) aufweist.
5. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenkörper (6, 6') eine parabolische Außenkontur (20) aufweist.
6. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenkörper (6, 6') in einem an die Austrittsöffnung (17, 17') angrenzenden Bereich eine konvexe oder parabolische Außenkontur (20) aufweist.
7. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenkörper (6, 6') aus Quarz, Saphir oder Glas besteht.
8. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenkörper (6, 6') aus einem durchsichtigen Material besteht.
9. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Austrittsöffnung
(17, 17') einen Innendurchmesser im Bereich von 1 μm bis 0,5 mm aufweist.
10. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenkörper (6, 6') aus einem wärmeleitfähigen Material besteht.
11. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Düsenkörper (6,
6') mit einer Zuleitung (2, 2') verbunden ist, wobei zwischen dem Düsenkörper (6, 6') und der Zuleitung (2, 2') eine Dichtung (3, 3') angeordnet ist.
12. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtung (3, 3') aus einem wesentlich weicheren Material besteht als der Düsenkörper (6, 6') und/oder die Zuleitung (2, 2').' "
13. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtung (3, 3') aus Kunststoff besteht.
14. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuleitung (2, 2'') einen Innendurchmesser im Bereich von 0,1 mm bis 5 mm aufweist.
15. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtung (3, 3') einen Innendurchmesser im Bereich von 0,01 mm bis 5 mm aufweist.
16. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Innendurchmesser der
Zuleitung (2, ,2'), der Dichtung (3, 3') und des Düsenkanals * (18, 18') um weniger als den Faktor 2 unterscheiden.
17. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass zur Verbindung der Zuleitung
(2, 2'), der Dichtung (3, 3') und/oder des Düsenkörpers (6, 6') eine Schraubverbindung vorgesehen ist.
18. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach Anspruch 17, dadurch ge- kennzeichnet, dass die Schraubverbindung aus einer mit der Zuleitung (2, 2') verschraubbaren Schraubhülse (4) und einer mit der Schraubhülse (4) verschraubbaren Schraubkappe (5, 5') besteht.
19. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Schraubkappe (5, 5') einen Ansatz (16, 16') für ein Werkzeug aufweist, um die Schraubkappe (5, 5') festzuschrauben. •• • • . ...
20. Düsenanordnung (1, 1', 28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Druckfestigkeit von mindestens 100 bar.
21. Vorrichtung mit einer Vakuumkammer (22) und einer Düsenanordnung (28) nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Einspritzung eines Fluidstrahls in die Vakuumkammer.
5 22. Betriebsverfahren für eine Vorrichtung nach Anspruch 21 mit den folgenden Schritten:
- Einspritzung eines Fluidstrahls in die Vakuumkammer (22) mittels der Düsenanordnung (28) ,
- Evakuierung der Vakuumkammer (22) während oder nach der Ein- 10 spritzung- des Fluidstrahls.
23. Betriebsverfahren für eine Vorrichtung nach Anspruch 21 o- der 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Düsenanordnung (28) beheizt wird. ]_5 * * * * *
EP04713522A 2003-02-26 2004-02-23 Düsenanordnung Expired - Lifetime EP1596988B1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10308299A DE10308299A1 (de) 2003-02-26 2003-02-26 Düsenanordnung
DE10308299 2003-02-26
PCT/EP2004/001761 WO2004076071A1 (de) 2003-02-26 2004-02-23 Düsenanordnung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1596988A1 true EP1596988A1 (de) 2005-11-23
EP1596988B1 EP1596988B1 (de) 2006-12-13

Family

ID=32863906

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP04713522A Expired - Lifetime EP1596988B1 (de) 2003-02-26 2004-02-23 Düsenanordnung

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20080191051A1 (de)
EP (1) EP1596988B1 (de)
JP (1) JP2006522997A (de)
AT (1) ATE347935T1 (de)
DE (2) DE10308299A1 (de)
WO (1) WO2004076071A1 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1672674A1 (de) 2004-12-17 2006-06-21 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Untersuchungsverfahren und -system zur Hochdurchsatzmassenanalyse
DE102005032983B4 (de) * 2005-07-14 2007-05-31 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Düsenanordnung
JP5485056B2 (ja) * 2010-07-21 2014-05-07 東京エレクトロン株式会社 イオン供給装置及びこれを備えた被処理体の処理システム
DE102016216568B4 (de) * 2016-09-01 2019-06-27 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung der Innenkontur eines Rohres
TWI888405B (zh) 2019-09-06 2025-07-01 荷蘭商Ａｓｍｌ荷蘭公司 用於極紫外線光源之裝置及用於目標材料供應系統之支撐結構

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2683627A (en) * 1952-08-25 1954-07-13 Spraying Systems Co Spray nozzle with rearwardly extending airways
DE1057024B (de) * 1953-12-19 1959-05-06 Rudolf Eichenauer Spritzpistole mit Kolbenpumpe zur Zerstaeubung von Fluessigkeiten
US3257046A (en) * 1964-09-28 1966-06-21 James Paul O Sullivan Dispensing cap for collapsible tubes
US3393988A (en) * 1965-03-04 1968-07-23 Clevite Corp Method of forming a miniature nozzle from a glass tube
US3750961A (en) * 1971-07-16 1973-08-07 N Franz Very high velocity fluid jet nozzles and methods of making same
US3843055A (en) * 1973-07-18 1974-10-22 Nordson Corp Spray nozzle
US4131236A (en) * 1975-12-24 1978-12-26 The British Hydromechanics Research Association High velocity liquid jet cutting nozzle
US4854263B1 (en) * 1987-08-14 1997-06-17 Applied Materials Inc Inlet manifold and methods for increasing gas dissociation and for PECVD of dielectric films
DE3911330A1 (de) * 1989-04-07 1990-10-11 Uraca Pumpen Spritzduese
JPH067937B2 (ja) * 1990-02-15 1994-02-02 アロイ工器株式会社 エアレス塗装用噴霧ノズル
JP2809995B2 (ja) * 1994-10-19 1998-10-15 住友重機械工業株式会社 極低温用ウルトラクリーンノズルとその製造方法
DE19541174C2 (de) * 1995-11-04 1998-11-26 Spraying Systems Deutschland G Hochleistungsstrahldüse
GB2330163B (en) * 1997-10-13 2002-03-13 Smith International Drill bit
EP0989595A3 (de) * 1998-09-18 2001-09-19 Ims-Ionen Mikrofabrikations Systeme Gmbh Vorrichtung zur Bearbeitung von Substratoberflächen
DE19918257A1 (de) * 1999-04-22 2000-11-23 Lechler Gmbh & Co Kg Hochdrucksprühdüse
US6972421B2 (en) * 2000-06-09 2005-12-06 Cymer, Inc. Extreme ultraviolet light source
US6604546B1 (en) * 2001-07-02 2003-08-12 E-Z Flo Injection Systems, Inc. Hose-end chemical delivery system
US7160101B2 (en) * 2003-03-20 2007-01-09 Mold-Masters Limited Apparatus for heating a nozzle with radiant energy

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2004076071A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004076071A1 (de) 2004-09-10
DE502004002294D1 (de) 2007-01-25
DE10308299A1 (de) 2004-09-16
JP2006522997A (ja) 2006-10-05
ATE347935T1 (de) 2007-01-15
US20080191051A1 (en) 2008-08-14
EP1596988B1 (de) 2006-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112007003062B4 (de) Ionentransferröhre mit Mehrfachbohrung zu Einzelbohrung
DE102005055686B3 (de) Anordnung zur Erzeugung kurzwelliger Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas sowie Verfahren zur Herstellung von kühlmitteldurchströmten Elektrodengehäusen
WO2003015929A1 (de) Dralldruck-düse
DE102005023060A1 (de) Gasentladungsquelle, insbesondere für EUV-Strahlung
WO2009062851A1 (de) Aerostatisches lager und verfahren zu dessen herstellung
DE102014205343A1 (de) Kühlvorrichtung für eine Spritzdüse bzw. Spritzdüsenanordnung mit einer Kühlvorrichtung für das thermische Spritzen
EP2345494A2 (de) Spannfutter für Werkzeuge
EP2937892A1 (de) Strahlerzeugungsvorrichtung und verfahren zur erzeugung eines flüssigkeitsstrahls
EP1596988B1 (de) Düsenanordnung
DE2350807B2 (de) Röntgenröhre mit einer flüssigkeitsgekühlten Anode
EP1356868B1 (de) Zweistoffsprühdüse mit wechselbarem Einsatz
DE10050811A1 (de) Elektronenstrahltransparentes Fenster
DE102007024221B4 (de) Verfahren zum Herstellen einer Hochdrucksprühdüse und Hochdrucksprühdüse
EP3113904A1 (de) Bearbeitungskopf und bearbeitungseinrichtung
DE10050810A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines elektronenstrahltransparenten Fensters sowie elektronenstrahltransparentes Fenster
EP1828558A1 (de) Kolbenspritzd]se
DE102015105069B4 (de) Verfahren zum Verbinden mindestens zweier Bauteile eines Endoskops
DE10322595B4 (de) Kolbenpumpe, sowie Verfahren zu ihrer Herstellung
EP3012033B1 (de) Heissklebepistole
WO2014023341A1 (de) Rotordüse für ein hochdruckreinigungsgerät
DE102010054816B3 (de) Stabanode einer Mikrofocus-Röntgenröhre
EP1537765A1 (de) Flüssigkeitsfalle zum auffangen von flüssigkeiten in einer vakuumeinrichtung
DE19848149C2 (de) Brenner eines Fahrzeugheizgeräts
DE69805314T2 (de) Verfahren zum schneiden eines glasrohrs wie eine gaschromatographkolonne, eine glasfaser und ähnliches und vorrichtung zum ausüben dieses verfahrens
WO2000017515A1 (de) Kraftstoffeinspritzdüse mit optimierter spritzlochkanalgeometrie sowie verfahren zur herstellung einer solchen spritzlochkanalgeometrie

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20050809

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20061213

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN

REF Corresponds to:

Ref document number: 502004002294

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20070125

Kind code of ref document: P

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070228

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070313

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070313

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 20070215

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070324

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070514

NLV1 Nl: lapsed or annulled due to failure to fulfill the requirements of art. 29p and 29m of the patents act
ET Fr: translation filed
PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20070914

BERE Be: lapsed

Owner name: MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER WISSEN

Effective date: 20070228

Owner name: GEORG-AUGUST-UNIVERSITAT GOTTINGEN

Effective date: 20070228

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070228

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070314

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20080220

Year of fee payment: 5

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070223

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20080421

Year of fee payment: 5

Ref country code: FR

Payment date: 20080226

Year of fee payment: 5

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20080229

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20080229

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20070223

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20061213

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20070614

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20090223

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20091030

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090901

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090223

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090302