EP1582831A2

EP1582831A2 - Apparatus for handling workpieces or workpieces groups

Info

Publication number: EP1582831A2
Application number: EP05004981A
Authority: EP
Inventors: Richard Dr. Buchmann; Andreas Metzger
Original assignee: Duerr Ecoclean GmbH
Current assignee: Ecoclean GmbH
Priority date: 2004-03-30
Filing date: 2005-03-08
Publication date: 2005-10-05
Also published as: EP1582831A3; US20050239011A1; US7210990B2; DE102004015325A1

Abstract

The apparatus for treatment of workpieces or workpiece groups comprises a housing with rotatable treatment chambers arranged at least at two levels, and at least one unit for transfer of workpieces or workpiece groups from an exit opening at one level to an entry opening at another level.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Behandlungsvorrichtung zur Behandlung von Werkstücken oder Werkstückgruppen, welche von einem Eingang zu einem Ausgang der Behandlungsvorrichtung transportiert werden.The present invention relates to a treatment device for treatment of workpieces or groups of workpieces coming from an input to be transported to an outlet of the treatment device.

Eine solche Vorrichtung ist beispielsweise aus der DE 44 42 152 A1 bekannt.Such a device is known for example from DE 44 42 152 A1.

Bei der aus der DE 44 42 152 A1 bekannten Behandlungsvorrichtung werden die zu behandelnden Teile sogenannten "virtuellen Kammern" zugeführt und in diesen virtuellen Kammern durch verfahrenstechnische Behandlungen transportiert. Diese Behandlungsvorrichtung besteht aus mehreren im Abstand übereinander angeordneten kreisrunden Böden, die von einem Wandzylinder umschlossen werden und zwischen den sich jeweils eine mit gleichmäßigen Winkelabständen angeordnete Flügelschar befindet. Die Flügelscharen rotieren gemeinsam relativ zu den Böden, wobei jeder Boden ein Fenster aufweist und die Fenster der in der Durchlaufrichtung der Werkstücke aufeinanderfolgenden Böden relativ zueinander entgegen der Rotationsrichtung der Flügelscharen versetzt angeordnet sind, so daß die Werkstücke, die jeweils in eine durch zwei Flügel begrenzte "virtuelle Kammer" zugeführt werden, auf den Böden jeweils eine unvollständige Kreisbahn bis zum Fenster des betreffenden Bodens zurücklegen und dort dann auf den darunterliegenden Boden fallen, wo die nächste unvollständige Kreisbahn durchlaufen wird. Die Kammern werden bei dieser Vorrichtung als "virtuell" bezeichnet, weil sie während des Werkstücktransports fortlaufend ihre realen Boden- und Deckenwände austauschen. In the treatment device known from DE 44 42 152 A1 the parts to be treated are fed to so-called "virtual chambers" and into these virtual chambers transported by procedural treatments. This treatment device consists of several at a distance superimposed circular floors, by a wall cylinder be enclosed and between each one with even Angular distances arranged wing share is located. The wings are rotating together relative to the floors, each floor having a window and the windows of the successive in the direction of passage of the workpieces Trays relative to each other against the direction of rotation of the wing shares are arranged offset so that the workpieces, each in a through two wings limited "virtual chamber" are fed to the floors in each case an incomplete circular path up to the window of the relevant floor go back and then fall to the underlying ground where the next incomplete circular path is traversed. The chambers will be referred to as "virtual" in this device, because they during the workpiece transport continuously exchange their real floor and ceiling walls.

Die aus der DE 44 42 152 A1 bekannten Behandlungsvorrichtung ist für die verfahrenstechnische Behandlung von kleinen Werkstücken vorgesehen, welche durch den Fall durch ein Bodenfenster von einer Ebene zur nächsten Ebene der Behandlungsvorrichtung nicht beschädigt werden.The known from DE 44 42 152 A1 treatment device is for the procedural treatment of small workpieces provided, which through the case through a floor window from one level to the next Level of the treatment device will not be damaged.

Insbesondere bei schwereren Werkstücken, deren Oberfläche nicht beschädigt werden darf, stellt ein unkontrollierter Fall von einer Ebene zu einer anderen Ebene der Behandlungsvorrichtung jedoch ein erhebliches Risiko dar.Especially for heavier workpieces whose surface is not damaged is an uncontrolled fall from one level to another Level of the treatment device, however, represents a significant risk.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Behandlungsvorrichtung zur Behandlung von Werkstücken oder Werkstückgruppen, welche von einem Eingang zu einem Ausgang der Behandlungsvorrichtung transportiert werden, wobei die Behandlungsvorrichtung mehrere Behandlungsebenen umfaßt, zu schaffen, bei welcher die zu behandelnden Werkstücke in sicherer und kontrollierter Weise von Ebene zu Ebene weiterbewegt werden.The present invention is based on the object, a treatment device for the treatment of workpieces or workpiece groups, which transported from an entrance to an outlet of the treatment device with the treatment device having multiple treatment levels to provide, in which the workpieces to be treated in safer and be moved in a controlled manner from level to level.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Behandlungsvorrichtung gelöst, die ein Gehäuse und relativ zu dem Gehäuse rotierende Aufnahmekammern zur Aufnahme der Werkstücke oder Werkstückgruppen umfaßt, wobei die Aufnahmekammern in mindestens zwei verschiedenen Kammerebenen angeordnet sind und einer ersten Kammerebene, die zuerst von den Werkstücken oder Werkstückgruppen durchlaufen wird, eine Austrittsöffnung in dem Gehäuse und einer zweiten Kammerebene, die nach der ersten Kammerebene von den Werkstücken oder Werkstückgruppen durchlaufen wird, eine Zutrittsöffnung zugeordnet ist, und wobei die Behandlungsvorrichtung mindestens eine Übergabevorrichtung umfaßt, welche die Werkstücke oder Werkstückgruppen von der Austrittsöffnung zu der Zutrittsöffnung bewegt. This object is achieved according to the invention by a treatment device, the housing and rotating relative to the housing receiving chambers for receiving the workpieces or workpiece groups, wherein the receiving chambers arranged in at least two different chamber levels and a first chamber level, the first of the workpieces or workpiece groups is passed through, an outlet opening in the housing and a second chamber level, after the first chamber level is traversed by the workpieces or workpiece groups, a Associated with access opening, and wherein the treatment device at least a transfer device comprising the workpieces or groups of workpieces moved from the outlet opening to the access opening.

Die erfindungsgemäße Behandlungsvorrichtung ermöglicht es, daß auch schwere Werkstücke mit empfindlicher Oberfläche kontrolliert und beschädigungsfrei innerhalb der Ebenen der Behandlungsvorrichtung und während der Übergabe von einer Ebene zur darauffolgenden Ebene bewegt werden können.The treatment device according to the invention makes it possible, too heavy workpieces with sensitive surface inspected and damage-free within the levels of the treatment device and during the Transfer from one level to the next level can be moved.

Dabei bleiben die Vorteile der aus der DE 44 42 152 A1 bekannten Behandlungsvorrichtung erhalten.The advantages of the known from DE 44 42 152 A1 treatment device remain receive.

Insbesondere bleiben vereinzelt der Behandlungsvorrichtung zugeführte Werkstücke in der Behandlungsvorrichtung vereinzelt und werden im gleichen Zeittakt wieder ausgestoßen.In particular, workpieces supplied to the treatment device remain isolated singulated in the treatment device and are at the same time ejected again.

Die erfindungsgemäße Behandlungsvorrichtung ist mit einer aufgewickelten geradlinigen Durchlaufanlage vergleichbar und benötigt somit nur eine kleine Stellfläche.The treatment device according to the invention is wound with a rectilinear flow system comparable and thus requires only a small Footprint.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Behandlungsvorrichtung ist vorgesehen, daß die Werkstücke oder Werkstückgruppen mittels der Übergabevorrichtung in einer definierten Raumlage von der Austrittsöffnung zu der Zutrittsöffnung bewegbar sind.In a preferred embodiment of the treatment device according to the invention is provided that the workpieces or workpiece groups means the transfer device in a defined spatial position of the outlet opening are movable to the access opening.

Ferner ist vorzugsweise vorgesehen, daß die Werkstücke oder Werkstückgruppen in der ersten Kammerebene und/oder in der zweiten Kammerebene um einen Winkel von mindestens ungefähr 90°, vorzugsweise von mindestens ungefähr 180°, insbesondere von mindestens ungefähr 270°, um eine Drehachse der Behandlungsvorrichtung bewegt werden. Furthermore, it is preferably provided that the workpieces or workpiece groups in the first chamber level and / or in the second chamber level an angle of at least about 90 °, preferably at least about 180 °, in particular of at least about 270 °, about an axis of rotation the treatment device to be moved.

Ferner werden die Werkstücke oder Werkstückgruppen in der ersten Kammerebene und/oder in der zweiten Kammerebene vorzugsweise um einen Winkel von weniger als 360° um eine Drehachse der Behandlungsvorrichtung bewegt.Furthermore, the workpieces or workpiece groups in the first chamber level and / or in the second chamber plane preferably at an angle is moved by less than 360 ° about a rotation axis of the treatment device.

Vorzugsweise rotieren alle Aufnahmekammern derselben Kammerebene synchron miteinander.Preferably, all the receiving chambers of the same chamber level rotate synchronously together.

Insbesondere kann vorgesehen sein, daß alle Aufnahmekammern derselben Kammerebene starr miteinander verbunden sind.In particular, it can be provided that all receiving chambers of the same Chamber level are rigidly interconnected.

Ferner ist es von Vorteil, wenn mindestens zwei Aufnahmekammern verschiedener Kammerebenen synchron miteinander rotieren.Furthermore, it is advantageous if at least two receiving chambers different Chamber levels rotate synchronously with each other.

Insbesondere kann vorgesehen sein, daß mindestens zwei Aufnahmekammern verschiedener Kammerebenen starr miteinander verbunden sind.In particular, it can be provided that at least two receiving chambers different chamber levels are rigidly interconnected.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Behandlungsvorrichtung ist vorgesehen, daß alle Aufnahmekammern aller Kammerebenen synchron miteinander rotieren.In a preferred embodiment of the treatment device according to the invention is provided that all receiving chambers of all chamber levels rotate synchronously with each other.

Insbesondere kann vorgesehen sein, daß alle Aufnahmekammern aller Kammerebenen starr miteinander verbunden sind.In particular, it can be provided that all receiving chambers of all chamber levels are rigidly connected.

Die Aufnahmekammern der Behandlungsvorrichtung können insbesondere dadurch gebildet werden, daß die Behandlungsvorrichtung eine, vorzugsweise im wesentlichen zylindrische, Kammertrommel umfaßt, welche um eine Drehachse der Kammertrommel drehbar ist und mindestens eine Bodenwand, die quer zu der Drehachse ausgebildet ist, und mindestens zwei Trennwände, die quer zu der Bodenwand ausgerichtet sind, umfaßt.The receiving chambers of the treatment device can thereby in particular be formed, that the treatment device one, preferably in essentially cylindrical chamber drum, which is about an axis of rotation the chamber drum is rotatable and at least one bottom wall, the is formed transverse to the axis of rotation, and at least two partitions, the are aligned transverse to the bottom wall, comprises.

Insbesondere kann vorgesehen sein, daß die Kammertrommel mindestens zwei Bodenwände und mindestens eine Deckenwand, die quer zu der Drehachse ausgerichtet ist, umfaßt.In particular, it can be provided that the chamber drum at least two bottom walls and at least one ceiling wall transverse to the axis of rotation is aligned.

Um die in der Kammertrommel ausgebildeten Aufnahmekammern fluiddicht voneinander und von der Umgebung der Aufnahmekammern zu trennen, ist vorteilhafterweise vorgesehen, daß die Kammertrommel an ihrem Umfang mit einer Flächendichtung versehen ist. Auf diese Weise ist es möglich, die Werkstücke in den Aufnahmekammern einer Behandlung unter Verwendung eines flüssigen oder gasförmigen Behandlungsmediums zu unterwerfen.To the receiving chambers formed in the chamber drum fluid-tight is to separate from each other and from the environment of the receiving chambers, is advantageously provided that the chamber drum at its periphery with a surface seal is provided. In this way it is possible to get the workpieces in the receiving chambers of a treatment using a to subject liquid or gaseous treatment medium.

Ferner ist es durch die Verwendung einer solchen Dichtung möglich, mindestens eine Kammerebene der Behandlungsvorrichtung als eine Schleuse auszubilden, in welcher die Werkstücke schrittweise von einem Ausgangszustand an einen neuen Umgebungszustand angepaßt werden. Die Anpassungszeit an den neuen Umgebungszustand kann dabei erheblich länger sein als der Zeittakt, in welchem die Werkstücke bzw. Werkstückgruppen, die der Behandlungsvorrichtung zugeführt werden, aufeinander folgen.Furthermore, it is possible by the use of such a seal, at least to form a chamber level of the treatment device as a lock, in which the workpieces gradually from an initial state adapted to a new environmental condition. The adaptation time on the new ambient state can be considerably longer than the clock, in which the workpieces or workpiece groups that the treatment device be fed, follow one another.

Der Bereich der Behandlungsvorrichtung, welcher eine Schleusenfunktion aufweist, kann sich auch über mehrere Ebenen der Behandlungsvorrichtung erstrecken.The area of the treatment device which has a lock function, may also extend over several levels of the treatment device.

Beträgt der Werkstückfolgetakt beispielsweise zehn Werkstücke/Sekunde und umfaßt die Behandlungsvorrichtung beispielsweise zehn Aufnahmekammern pro Ebene, so beträgt die Rotationsgeschwindigkeit der Aufnahmekammern eine Umdrehung/Sekunde. Erstreckt sich der Schleusenbereich über drei Ebenen einer solchen Behandlungsvorrichtung, so stehen für den Einschleusvorgang ungefähr drei Sekunden zur Verfügung, was dem 30-fachen des Werkstückfolgetakts entspricht.If the workpiece follow-up cycle is, for example, ten workpieces / second and For example, the treatment device comprises ten receiving chambers per level, the rotational speed of the receiving chambers one revolution / second. The lock area extends over three levels Such a treatment device, so stand for the Einschleusvorgang about three seconds, which is 30 times the workpiece follow time equivalent.

Das Material der Flächendichtung umfaßt vorzugsweise einen Kunststoff mit geringer Gleitreibung, beispielsweise Polyethylen.The material of the surface seal preferably comprises a plastic low sliding friction, for example polyethylene.

Das Material der Flächendichtung kann ferner ein Fluorpolymer oder ein Fluorpolymer-Compound umfassen, da diese Stoffe eine hohe chemische Beständigkeit und eine geringe Reibung aufweisen.The material of the surface seal can also be a fluoropolymer or a fluoropolymer compound include, as these substances have high chemical resistance and have a low friction.

Unter einem Fluorpolymer-Compound ist dabei in dieser Beschreibung und in den beigefügten Ansprüchen ein Gemisch aus mindestens einem Fluorpolymer und mindestens einem organischen oder anorganischem Füllstoff zu verstehen. Als solche Füllstoffe kommen insbesondere Graphit, Kohle, Kohlefasern, Bronze, Molybdän-Disulfid oder organische Füllstoffe, insbesondere hochtemperaturbeständige Thermoplaste und duroplastische Kunststoffe, beispielsweise Polyimid, in Betracht.Under a fluoropolymer compound is in this description and in the appended claims a mixture of at least one fluoropolymer and at least one organic or inorganic filler to understand. As such fillers are in particular graphite, carbon, carbon fibers, Bronze, molybdenum disulfide or organic fillers, in particular high temperature resistant Thermoplastics and thermosetting plastics, for example Polyimide, into consideration.

Als Fluorpolymer wird vorzugsweise Polytetrafluorethylen (PTFE) oder ein modifiziertes Polytetrafluorethylen verwendet. Unter einem "modifizierten Polytetrafluorethylen" ist dabei ein PTFE-ähnlicher Stoff zu verstehen, bei welchem die Molekülstruktur des PTFE dadurch chemisch modifiziert worden ist, daß die Fluoratome des PTFE teilweise durch Substituenten ersetzt sind.As a fluoropolymer is preferably polytetrafluoroethylene (PTFE) or a modified Polytetrafluoroethylene used. Under a "modified polytetrafluoroethylene" is to be understood as a PTFE-like substance in which the molecular structure of the PTFE has been chemically modified by the fact that the Fluorine atoms of the PTFE are partially replaced by substituents.

Um Unterschiede in der Wärmeausdehnung des Materials der Flächendichtung einerseits und des Materials anderer Bauelemente der Behandlungsvorrichtung andererseits verringern oder ganz ausgleichen zu können, ist die Flächendichtung vorzugsweise mit Ausgleichsausnehmungen versehen, wobei die Ausgleichsausnehmungen jeweils mindestens einen Ausgleichsbereich umfassen, dessen Breite sich bei einer Temperaturänderung der Flächendichtung und/oder bei Beaufschlagung der Flächendichtung mit einer mechanischen Spannung verändert.To differences in the thermal expansion of the material of the surface seal on the one hand and the material of other components of the treatment device On the other hand, reducing or even compensating is the surface seal preferably provided with compensating recesses, wherein the compensating recesses each comprise at least one compensation area, its width is at a temperature change of the surface seal and / or upon application of the surface seal with a mechanical Tension changed.

Auf diese Weise wird es möglich, die Flächendichtung in einem großen Temperaturbereich ohne Ermüdungsgefahr einzusetzen.In this way, it becomes possible the surface seal in a wide temperature range without risk of fatigue.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Flächendichtung ist vorgesehen, daß mindestens einige der Ausgleichsausnehmungen jeweils mindestens einen Ausgleichsbereich aufweisen, welcher eine quer, vorzugsweise im wesentlichen senkrecht, zur Umfangsrichtung der Kammertrommel ausgerichtete Längsrichtung aufweist.In a preferred embodiment of the surface seal is provided that at least some of the compensatory recesses each have at least one Have balancing area, which is a transversely, preferably substantially perpendicular, aligned with the circumferential direction of the chamber drum longitudinal direction having.

Alternativ oder ergänzend hierzu kann vorgesehen sein, daß mindestens einige der Ausgleichsausnehmungen jeweils mindestens einen Ausgleichsbereich aufweisen, welcher eine im wesentlichen parallel zur Umfangsrichtung der Kammertrommel ausgerichtete Längsrichtung aufweist.Alternatively or additionally, it can be provided that at least some the compensation recesses each have at least one compensation area, which is a substantially parallel to the circumferential direction of the chamber drum aligned longitudinal direction.

Vorzugsweise ist vorgesehen, daß mindestens einige der Ausgleichsausnehmungen jeweils mindestens zwei Ausgleichsbereiche umfassen.It is preferably provided that at least some of the compensating recesses each comprise at least two compensation areas.

Dabei ist es besonders günstig, wenn jeweils mindestens zwei Ausgleichsbereiche einer Ausgleichsausnehmung quer, vorzugsweise im wesentlichen senkrecht, zueinander ausgerichtete Längsrichtungen aufweisen. Auf diese Weise können unterschiedliche Wärmedehnungen sowohl in der Umfangsrichtung als auch in der Axialrichtung der Kammertrommel ausgeglichen werden.It is particularly advantageous if in each case at least two compensation areas a compensating recess transversely, preferably substantially perpendicular, have aligned longitudinal directions. In this way can have different thermal expansions both in the circumferential direction be compensated in the axial direction of the chamber drum.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Behandlungsvorrichtung ist vorgesehen, daß die Ausgleichsausnehmungen der Flächendichtung jeweils mindestens einen Ausgleichsbereich umfassen, dessen Breite sich im montierten Zustand der Flächendichtung bei einer Änderung der Temperatur der Flächendichtung so verändert, daß die unterschiedlichen Wärmedehnungen der Flächendichtung und der Kammertrommel zumindest teilweise, vorzugsweise im wesentlichen vollständig, ausgeglichen werden.In a preferred embodiment of the treatment device according to the invention is provided that the compensating recesses of the surface seal each comprise at least one compensation area whose width is in the assembled state of the surface seal with a change in temperature the surface seal changed so that the different thermal expansions the surface seal and the chamber drum at least partially, preferably substantially completely.

Ferner hat es sich als günstig erwiesen, wenn mindestens einige der Ausgleichsausnehmungen einen zentralen Bereich aufweisen, in welchen mindestens zwei Ausgleichsbereiche der Ausgleichsausnehmung münden.Furthermore, it has proven to be favorable if at least some of the compensating recesses have a central area in which at least two compensation areas of the compensation recess open.

Diese zwei in den zentralen Bereich derselben Ausgleichsausnehmung mündenden Ausgleichsbereiche weisen vorteilhafterweise quer, vorzugsweise im wesentlichen senkrecht, zueinander ausgerichtete Längsrichtungen auf.These two opening into the central area of the same Ausgleichsausnehmung Balancing areas advantageously have transverse, preferably in essentially perpendicular, aligned longitudinal directions.

Um die Werkstücke in die Aufnahmekammern der Kammertrommel einzubringen bzw. daraus entnehmen zu können, weist die Flächendichtung vorteilhafterweise außer den Ausgleichsausnehmungen Zugangsöffnungen auf, welche im montierten Zustand der Flächendichtung den Zugang zu Aufnahmekammern der Kammertrommel ermöglichen.To bring the workpieces into the receiving chambers of the chamber drum or to be able to remove it from, the surface seal advantageously in addition to the compensating recesses access openings on which in the assembled state of the surface seal access to receiving chambers allow the chamber drum.

Wenn die Flächendichtung diese Zugangsöffnungen voneinander trennende Stege umfaßt, so sind vorzugsweise mindestens einige der Ausgleichsausnehmungen der Flächendichtung in Kreuzungsbereichen der Stege angeordnet. When the face seal separates these access openings from each other Webs comprises, so are preferably at least some of the compensating recesses arranged the surface seal in crossing areas of the webs.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Behandlungsvorrichtung ist vorgesehen, daß die Flächendichtung im montierten Zustand die Kammertrommel ringförmig umgibt.In a preferred embodiment of the treatment device according to the invention is provided that the surface seal in the assembled state the Chamber drum surrounds annular.

Besonders günstig ist es, wenn die Flächendichtung einstückig ausgebildet ist. Eine solche einstückige Flächendichtung ist besonders einfach und zeitsparend herstellbar sowie montierbar bzw. bei einer erforderlichen Wartung austauschbar.It is particularly favorable if the surface seal is formed in one piece. Such a one-piece surface seal is particularly simple and time-saving can be produced and mounted or exchanged during a required maintenance.

Die Möglichkeit, die Aufnahmekammern gegeneinander und gegenüber der Umgebung durch eine einzige, die Kammertrommel umspannende Flächendichtung abdichten zu können, stellt einen wesentlichen Vorteil der erfindungsgemäßen Behandlungsvorrichtung gegenüber der aus der DE 44 42 152 A1 bekannten Behandlungsvorrichtung dar, bei welcher sich die Flügel relativ zu den Böden der Behandlungsvorrichtung bewegen und somit zusätzlich für den oberen Rand und den unteren Rand jedes Flügels jeweils eine Dichtung vorgesehen sein muß.The possibility of the receiving chambers against each other and against the Environment through a single, the chamber drum spanning surface seal To be able to seal, represents a significant advantage of the invention Treatment device over from the DE 44 42 152 A1 known treatment device in which the Move wings relative to the bottoms of the treatment device and thus in addition for the upper edge and the lower edge of each wing respectively a seal must be provided.

Ferner entfällt bei der erfindungsgemäßen Behandlungsvorrichtung auch die Notwendigkeit, die Aufnahmekammern gegenüber einer zentralen Drehwelle der Behandlungsvorrichtung abzudichten, da sich die Aufnahmekammern zusammen mit der zentralen Drehwelle der Behandlungsvorrichtung bewegen.Furthermore, in the treatment device according to the invention also eliminates Necessity, the receiving chambers with respect to a central rotating shaft to seal the treatment device, since the receiving chambers together move with the central rotation shaft of the treatment device.

Die Außenfläche der, vorzugsweise zylindrischen, Kammertrommel ist einfach mechanisch zu bearbeiten. The outer surface of the, preferably cylindrical, chamber drum is simple to work mechanically.

Die an dieser Umfangsfläche der Kammertrommel angeordnete Flächendichtung ist gut zugänglich und leicht austauschbar.The arranged on this peripheral surface of the chamber drum surface seal is easily accessible and easily replaceable.

Um die Wartung der Behandlungsvorrichtung besonders einfach zu gestalten, ist vorzugsweise vorgesehen, daß die Aufnahmekammern aus dem Gehäuse entnehmbar sind.In order to make the maintenance of the treatment device particularly simple, is preferably provided that the receiving chambers from the housing are removable.

Besonders günstig ist es, wenn mehrere Aufnahmekammern Bestandteile einer Kammertrommel bilden, die als Ganzes aus dem Gehäuse entnehmbar ist.It is particularly advantageous if several receiving chambers components of a Form chamber drum, which can be removed as a whole from the housing.

Um die Werkstücke während einer verfahrenstechnischen Behandlung innerhalb der jeweiligen Aufnahmekammer drehen zu können, ist bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Behandlungsvorrichtung vorgesehen, daß mindestens eine der Aufnahmekammern mit einer Werkstückhalterung versehen ist, mittels welcher das Werkstück innerhalb der Aufnahmekammer relativ zu der Aufnahmekammer drehbar ist.To the workpieces during a procedural treatment within to be able to rotate the respective receiving chamber is in a preferred Design of the treatment device provided that at least one of the receiving chambers is provided with a workpiece holder, by means of which the workpiece within the receiving chamber relative to the Recording chamber is rotatable.

Insbesondere kann vorgesehen sein, daß das Werkstück mittels der Werkstückhalterung um eine im wesentlichen parallel zu der Drehachse der Aufnahmekammern der Behandlungsvorrichtung ausgerichtete Drehachse drehbar ist.In particular, it can be provided that the workpiece by means of the workpiece holder around a substantially parallel to the axis of rotation of the receiving chambers the treatment device aligned rotational axis rotatable is.

Alternativ hierzu kann auch vorgesehen sein, daß das Werkstück mittels der Werkstückhalterung um eine quer, vorzugsweise im wesentlichen senkrecht, zu der Drehachse der Aufnahmekammern der Behandlungsvorrichtung ausgerichtete Drehachse drehbar ist. Alternatively, it can also be provided that the workpiece by means of Workpiece holder about a transversely, preferably substantially vertically, aligned to the axis of rotation of the receiving chambers of the treatment device Rotary axis is rotatable.

Für das Antreiben der Drehbewegung des Werkstücks innerhalb der Aufnahmekammer gibt es eine Vielzahl von Möglichkeiten.For driving the rotational movement of the workpiece within the receiving chamber There are a lot of possibilities.

So kann beispielsweise vorgesehen sein, daß mindestens eine der Aufnahmekammern mit einer Drehvorrichtung versehen ist, welche Mittel zum Abgreifen einer Drehbewegung von einer Innenwand des Gehäuses der Behandlungsvorrichtung umfaßt.For example, it may be provided that at least one of the receiving chambers is provided with a rotating device, which means for tapping a rotational movement of an inner wall of the housing of the treatment device includes.

Alternativ oder ergänzend hierzu kann vorgesehen sein, daß mindestens eine der Aufnahmekammern mit einer Drehvorrichtung versehen ist, welche eine durch eine Wand der Aufnahmekammer hindurchgeführte Drehwelle umfaßt.Alternatively or additionally, it can be provided that at least one the receiving chambers is provided with a rotating device which a comprising a rotary shaft passed through a wall of the receiving chamber.

Um eine anschließende verfahrenstechnische Behandlung der Werkstücke unter Vakuum durchführen zu können, ist es von Vorteil, wenn mindestens eine Kammerebene der Behandlungsvorrichtung als eine Vakuumschleuse ausgebildet ist.To a subsequent procedural treatment of the workpieces under To be able to perform a vacuum, it is advantageous if at least one Chamber level of the treatment device designed as a vacuum lock is.

Besonders günstig ist es, wenn die Aufnahmekammern der als Vakuumschleuse ausgebildeten Kammerebene während ihrer Bewegung von einer Zutrittsöffnung dieser Kammerebene zu einer Austrittsöffnung dieser Kammerebene in mehreren diskreten Stufen evakuiert werden.It is particularly favorable when the receiving chambers as a vacuum lock trained chamber level during their movement from an access opening this chamber level to an outlet opening of this chamber level be evacuated in several discrete stages.

Durch die mehrstufige Evakuierung steht für die Erzeugung des Vakuums in jeder Aufnahmekammer ein gegenüber der Werkstückfolgezeit verlängerter Zeitraum zur Verfügung. Ferner ist auch die Druckdifferenz und damit die Leckrate über die Kammerdichtung hinweg durch die mehrstufige Evakuierung verringert. Due to the multi-stage evacuation stands for the generation of the vacuum in each receiving chamber extended compared to the workpiece cycle time Period available. Furthermore, the pressure difference and thus the Leak rate across the chamber seal through the multi-stage evacuation reduced.

Ferner ist es günstig, wenn die Aufnahmekammern der als Vakuumschleuse ausgebildeten Kammerebene während ihrer Bewegung von einer Austrittsöffnung dieser Kammerebene zu einer Zutrittsöffnung dieser Kammerebene in mehreren diskreten Stufen belüftet werden.Furthermore, it is advantageous if the receiving chambers of the vacuum lock trained chamber level during its movement from an exit opening this chamber level to an access opening of this chamber level in be ventilated several discrete stages.

Ferner hat es sich als günstig erwiesen, wenn jeweils mindestens eine der Aufnahmekammern der als Vakuumschleuse ausgebildeten Kammerebene, die sich auf dem Weg von der Zutrittsöffnung dieser Kammerebene zu der Austrittsöffnung dieser Kammerebene befindet, mit jeweils einer anderen Aufnahmekammer dieser Kammerebene gastechnisch verbunden wird, welche sich auf dem Weg von der Austrittsöffnung dieser Kammerebene zu der Zutrittsöffnung dieser Kammerebene befindet. Hierdurch wird ein gastechnischer Kurzschluß zwischen einer noch nicht vollständig evakuierten Aufnahmekammer, die sich auf dem Weg von der Zutrittsöffnung zu der Austrittsöffnung befindet, und einer noch nicht vollständig belüfteten Aufnahmekammer, welche sich auf dem Weg von der Austrittsöffnung zurück zu der Zutrittsöffnung befindet, durchgeführt. Durch einen solchen gastechnischen Kurzschluß wird ein Teil der Evakuierung einer Aufnahmekammer bereits ohne Verwendung einer Vakuumpumpe erzielt, so daß die Vakuumpumpe jede Aufnahmekammer nur noch von einem bereits reduzierten Kammerdruck ausgehend bis auf den gewünschten Vakuumenddruck evakuieren muß. Ferner wird die Gasmenge, welche mittels einer Vakuumpumpe aus den Aufnahmekammern abgepumpt werden muß, auf diese Weise deutlich reduziert.Furthermore, it has proven to be advantageous if in each case at least one of the receiving chambers the trained as a vacuum chamber chamber level, the on the way from the access opening of this chamber level to the outlet opening this chamber level is located, each with a different receiving chamber This Chamber level is connected by gas technology, which on the way from the exit opening of this chamber level to the access opening this chamber level is located. This will be a gas technical Short circuit between a not yet fully evacuated receiving chamber, on the way from the access opening to the exit opening and a not yet fully ventilated receiving chamber, which on the way from the exit opening back to the access opening is carried out. By such a gas short circuit is a part of the evacuation of a receiving chamber already without use achieved a vacuum pump, so that the vacuum pump each receiving chamber only from an already reduced chamber pressure, except for the must evacuate desired vacuum final pressure. Furthermore, the amount of gas which is pumped out of the receiving chambers by means of a vacuum pump must be significantly reduced in this way.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung und der zeichnerischen Darstellung von Ausführungsbeispielen. Further features and advantages of the invention are the subject of the following Description and the drawings of exemplary embodiments.

In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1: einen schematischen horizontalen Querschnitt durch eine Behandlungsvorrichtung;
Fig. 2: einen schematischen vertikalen Längsschnitt durch die Behandlungsvorrichtung aus Fig. 1;
Fig. 3: eine schematische Darstellung einer Übergabevorrichtung zum Transportieren von Werkstücken zwischen zwei Kammerebenen der Behandlungsvorrichtung;
Fig. 4: einen schematischen vertikalen Längsschnitt durch die Behandlungsvorrichtung, wobei eine Kammertrommel der Behandlungsvorrichtung aus einem Gehäuse der Behandlungsvorrichtung herausgehoben wird;
Fig. 5: eine schematische Abwicklung einer Flächendichtung der Behandlungsvorrichtung in einem kalten Montagezustand;
Fig. 6: eine schematische Draufsicht auf eine Ausgleichsausnehmung der Flächendichtung aus Fig. 5, deren Ausgleichsbereiche in dem kalten Montagezustand verbreitert sind;
Fig. 7: eine schematische Abwicklung der Flächendichtung aus Fig. 5 in einem warmen Betriebszustand;
Fig. 8: eine schematische Draufsicht auf eine Ausgleichsausnehmung der Flächendichtung, deren Ausgleichsbereiche in dem warmen Betriebszustand verengt sind;
Fig. 9: eine ausschnittsweise schematische Draufsicht auf die Umfangsfläche einer Kammertrommel der Behandlungsvorrichtung mit einer auf die Kammertrommel aufgelegten Flächendichtung, bevor die Flächendichtung durch Mitnehmerelemente der Kammertrommel gedehnt worden ist;
Fig. 10: ein ausschnittsweiser schematischer radialer Schnitt durch einen Randbereich der Kammertrommel mit der aufgelegten Flächendichtung, bevor die Flächendichtung mittels der Mitnehmerelemente gedehnt worden ist, mit der Blickrichtung in Richtung des Pfeiles 10 in Fig. 9;
Fig. 11: eine der Fig. 9 entsprechende Darstellung, nachdem die Flächendichtung mittels der Mitnehmerelemente gedehnt worden ist;
Fig. 12: eine der Fig. 10 entsprechende Darstellung, nachdem die Flächendichtung mittels der Mitnehmerelemente gedehnt worden ist, mit der Blickrichtung in Richtung des Pfeiles 12 in Fig. 11;
Fig. 13: eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zum Drehen eines Werkstücks in einer Aufnahmekammer, wobei die Drehvorrichtung eine durch eine Wand der Aufnahmekammer hindurchgeführte Antriebswelle umfaßt;
Fig. 14: eine schematische Darstellung einer Drehvorrichtung zum Drehen eines Werkstücks in einer Aufnahmekammer, wobei die Drehvorrichtung durch Reibschluß mit dem Gehäuse der Behandlungsvorrichtung angetrieben wird; und
Fig. 15: einen schematischen horizontalen Schnitt durch eine Kammerebene der Behandlungsvorrichtung, die als Vakuumschleuse ausgebildet ist.

In the drawings show:

Fig. 1: a schematic horizontal cross section through a treatment device;
Fig. 2: a schematic vertical longitudinal section through the treatment device of Fig. 1;
Fig. 3: a schematic representation of a transfer device for transporting workpieces between two chamber levels of the treatment device;
Fig. 4: a schematic vertical longitudinal section through the treatment device, wherein a chamber drum of the treatment device is lifted out of a housing of the treatment device;
Fig. 5: a schematic development of a surface seal of the treatment device in a cold mounting state;
Fig. 6: a schematic plan view of a compensation recess of the surface seal of Figure 5, the compensation areas are widened in the cold mounting state.
Fig. 7: a schematic development of the surface seal of Figure 5 in a warm operating condition.
Fig. 8: a schematic plan view of a compensating recess of the surface seal whose compensation areas are narrowed in the warm operating condition;
Fig. 9: a fragmentary schematic plan view of the peripheral surface of a chamber drum of the treatment device with a surface seal placed on the chamber drum, before the surface seal has been stretched by driving elements of the chamber drum;
Fig. 10: a fragmentary schematic radial section through an edge region of the chamber drum with the applied surface seal before the surface seal has been stretched by means of the driver elements, with the viewing direction in the direction of the arrow 10 in Fig. 9;
Fig. 11: a representation corresponding to Figure 9, after the surface seal has been stretched by means of the driver elements.
Fig. 12: a representation corresponding to FIG. 10, after the surface seal has been stretched by means of the driver elements, with the viewing direction in the direction of the arrow 12 in FIG. 11;
Fig. 13: a schematic representation of an apparatus for rotating a workpiece in a receiving chamber, wherein the rotating device comprises a guided through a wall of the receiving chamber drive shaft;
Fig. 14: a schematic representation of a rotating device for rotating a workpiece in a receiving chamber, wherein the rotating device is driven by frictional engagement with the housing of the treatment device; and
Fig. 15: a schematic horizontal section through a chamber level of the treatment device, which is designed as a vacuum lock.

Gleiche oder funktional äquivalente Elemente sind in allen Figuren mit denselben Bezugszeichen bezeichnet.Equal or functionally equivalent elements are the same in all figures Reference numeral.

Eine in den Fig. 1 bis 8 dargestellte, als Ganzes mit 100 bezeichnete Behandlungsvorrichtung zur verfahrenstechnischen Behandlung von Werkstücken 102 umfaßt ein Gehäuse 104 mit einer kreisscheibenförmigen Bodenplatte 106 und einer hohlzylindrischen Gehäusewand 108, welche sich von der Oberseite der Bodenplatte 106 aus nach oben erstreckt (siehe Fig. 2).A treatment apparatus shown as a whole as 100 shown in FIGS. 1 to 8 for procedural treatment of workpieces 102 comprises a housing 104 with a circular disk-shaped bottom plate 106 and a hollow cylindrical housing wall 108 extending from the top of the Bottom plate 106 extends from above (see Fig. 2).

Die Bodenplatte 106 des Gehäuses 104 ruht auf mehreren Stützen 110, welche sich an einem (nicht dargestellten) Untergrund abstützen.The bottom plate 106 of the housing 104 rests on a plurality of supports 110, which supported on a (not shown) underground.

Nach oben ist das Gehäuse 104 offen.At the top, the housing 104 is open.

Im Innenraum des Gehäuses 104 ist eine als Ganzes mit 112 bezeichnete Kammertrommel um eine im wesentlichen vertikale Drehachse 114 drehbar angeordnet. In the interior of the housing 104 is a designated as a whole with 112 Chamber drum about a substantially vertical axis of rotation 114 rotatable arranged.

Die Kammertrommel 112 umfaßt an ihrem unteren Ende eine kreisscheibenförmige Trommelbodenplatte 116, von deren Oberseite sich eine hohlzylindrische, koaxial zu der Trommelbodenplatte 116 ausgerichtete Hohlwelle 118 nach oben erstreckt.The chamber drum 112 comprises at its lower end a circular disk-shaped Drum bottom plate 116, from the top of which is a hollow cylindrical, Coaxial with the drum bottom plate 116 aligned hollow shaft 118th extends upwards.

Die Höhe der Trommelbodenplatte 116 und der Hohlwelle 118 entsprechen zusammen im wesentlichen der Höhe der Gehäusewand 108.The height of the drum bottom plate 116 and the hollow shaft 118 correspond together substantially the height of the housing wall 108th

Von der Außenseite der Hohlwelle 118 erstrecken sich mehrere kreisscheibenringförmige Bodenplatten 120 und eine am oberen Ende der Hohlwelle 118 angeordnete kreisscheibenringförmige Deckplatte 122 in radialer und horizontaler Richtung nach außen, wobei die Bodenplatten 120 in axialer Richtung der Hohlwelle 118 voneinander, von der Trommelbodenplatte 116 bzw. von der Deckplatte 122 beabstandet sind.From the outside of the hollow shaft 118, a plurality of annular disc-shaped extend Bottom plates 120 and one at the upper end of the hollow shaft 118th arranged circular disc-shaped cover plate 122 in the radial and horizontal Outward direction, wherein the bottom plates 120 in the axial direction of the Hollow shaft 118 from each other, from the drum base plate 116 and of the Cover plate 122 are spaced.

Wie aus Fig. 1 zu ersehen ist, erstrecken sich von der Außenseite der Hohlwelle 118 ferner vertikale Trennwände 124 in radialer Richtung nach außen, wobei jede der Trennwände 124 jeweils zwischen zwei Bodenplatten 120, zwischen einer Bodenplatte 120 und der Trommelbodenplatte 116 oder zwischen einer Bodenplatte 120 und der Deckplatte 122 angeordnet ist.As can be seen from Fig. 1, extend from the outside of the hollow shaft 118 further vertical partition walls 124 in the radially outward direction, wherein each of the partition walls 124 between each two bottom plates 120, between a bottom plate 120 and the drum bottom plate 116 or between a bottom plate 120 and the cover plate 122 is arranged.

Durch jeweils zwei vertikale Trennwände 124, durch einen Abschnitt der Hohlwelle 118 und durch zwei Bodenplatten 120 oder durch eine Bodenplatte 120 und die Trommelbodenplatte 116 oder durch eine Bodenplatte 120 und die Deckplatte 122 wird jeweils eine Aufnahmekammer 126 der Kammertrommel 112 begrenzt. By two vertical partitions 124, through a portion of the hollow shaft 118 and by two bottom plates 120 or by a bottom plate 120th and the drum bottom plate 116 or through a bottom plate 120 and the Cover plate 122 is in each case a receiving chamber 126 of the chamber drum 112 limited.

Die Aufnahmekammern 126, welche in derselben Höhe in der Kammertrommel 112 angeordnet sind, bilden zusammen eine Kammerebene 128 der Kammertrommel 112.The receiving chambers 126, which at the same height in the chamber drum 112 are arranged together form a chamber level 128 of the chamber drum 112th

Die beispielhaft dargestellte Behandlungsvorrichtung 100 umfaßt somit eine Kammertrommel 112 mit sechs Kammerebenen 128, welche jeweils acht Aufnahmekammern 126 umfassen.The exemplified treatment device 100 thus comprises a Chamber drum 112 with six chamber levels 128, each having eight receiving chambers 126 include.

Die Anzahl der Aufnahmekammern 126 muß jedoch nicht in jeder Kammerebene 128 dieselbe sein; vielmehr kann die Anzahl der Aufnahmekammern pro Kammerebene 128 beliebig variieren.However, the number of receiving chambers 126 need not be in each chamber level Be the same; rather, the number of receiving chambers per Chamber level 128 vary as desired.

Insbesondere kann vorgesehen sein, daß in einer oder in mehreren Kammerebenen eine oder mehrere der Trennwände 124 zwischen aufeinanderfolgenden Aufnahmekammern 126 entfallen.In particular, it can be provided that in one or more chamber levels one or more of the partitions 124 between successive ones Recording chambers 126 omitted.

Alle Aufnahmekammern 126 derselben Kammerebene 128 und die Aufnahmekammern 126 verschiedener Kammerebenen 128 sind drehfest miteinander verbunden, so daß sie gemeinsam um die Drehachse 114 der Kammertrommel 112 drehbar sind.All receiving chambers 126 the same chamber level 128 and the receiving chambers 126 different chamber levels 128 are rotatable with each other connected so that they together about the axis of rotation 114 of the chamber drum 112 are rotatable.

Zum Antrieb dieser Drehvorrichtung dient ein als Ganzes mit 130 bezeichneter Drehantrieb, der einen an der Unterseite der Bodenplatte 106 des Gehäuses 104 angeordneten Drehantriebsmotor 132, beispielsweise einen elektrischen Getriebemotor, umfaßt. To drive this rotating device is a designated as a whole with 130 Rotary drive, one at the bottom of the bottom plate 106 of the housing 104 arranged rotary drive motor 132, for example, an electric Geared motor, includes.

Die Abtriebswelle 134 des Drehantriebsmotors 132 ist durch eine mittige Durchtrittsöffnung 136 in der Bodenplatte 106 des Gehäuses 104 hindurchgeführt und mit der Unterseite der Trommelbodenplatte 116 der Kammertrommel 112 drehfest verbunden.The output shaft 134 of the rotary drive motor 132 is through a central Passage opening 136 in the bottom plate 106 of the housing 104 passed and with the underside of the drum bottom plate 116 of the chamber drum 112 rotatably connected.

Um das Einbringen von Werkstücken 102 in die Behandlungsvorrichtung 100 zu ermöglichen, ist die Gehäusewand 108 auf der Höhe der obersten Kammerebene 128a mit einer, beispielsweise viereckigen, Zutrittsöffnung 138a versehen. Die Ausdehnung der Zutrittsöffnung 138a entspricht im wesentlichen der Ausdehnung der von den vertikalen Trennwänden 124, der Bodenplatte 120 und der Deckplatte 122 begrenzten Mündungsöffnung 140 jeder der Aufnahmekammern 126 der obersten Kammerebene 128a, so daß die Aufnahmekammern 126 der obersten Kammerebene 128a abwechselnd in eine Beladestellung gebracht werden können, in welcher die Mündungsöffnung 140 der jeweiligen Aufnahmekammer 126 mit der Zutrittsöffnung 138a in der Gehäusewand 108 fluchtet, wie dies in Fig. 1 für die Kammer 126a dargestellt ist.To the introduction of workpieces 102 in the treatment apparatus 100th to allow the housing wall 108 is at the height of the top chamber level 128a provided with a, for example quadrangular, access opening 138a. The extent of the access opening 138a substantially corresponds to Expansion of the vertical partitions 124, the bottom plate 120th and the cover plate 122 defining the mouth opening 140 of each of the receiving chambers 126 of the uppermost chamber level 128a, so that the receiving chambers 126 of the top chamber level 128a alternately into a loading position can be brought, in which the mouth opening 140 of the respective receiving chamber 126 with the access opening 138a in the housing wall 108 is aligned, as shown in Fig. 1 for the chamber 126 a.

Nach dem Einbringen eines zu behandelnden Werkstücks 102 durch die Zutrittsöffnung 138 in die jeweils mit der Zutrittsöffnung 138 fluchtende Aufnahmekammer 126 wird die betreffende Aufnahmekammer 126 mit dem darin angeordneten Werkstück 102 durch die Drehbewegung der Kammertrommel 112 - kontinuierlich oder taktweise - um einen Drehwinkel von weniger als 360 Grad um die Drehachse 114 in eine Übergabestellung gedreht, in welcher die Mündungsöffnung 140 der betreffenden Aufnahmekammer 126 mit einer Austrittsöffnung 142 fluchtet, welche in der Gehäusewand 108 ebenfalls auf der Höhe der obersten Kammerebene 128a angeordnet ist. In der Fig. 1 hat die Aufnahmekammer 126g gerade diese Übergabestellung erreicht. After introducing a workpiece 102 to be treated through the access opening 138 in the respectively aligned with the access opening 138 receiving chamber 126, the respective receiving chamber 126 with the therein arranged workpiece 102 by the rotational movement of the chamber drum 112 - continuously or intermittently - by a rotation angle of less than 360 Degree rotated about the rotation axis 114 in a transfer position, in which the Mouth opening 140 of the respective receiving chamber 126 with an outlet opening 142 is aligned, which in the housing wall 108 also on the Height of the uppermost chamber level 128a is arranged. In Fig. 1, the Receiving chamber 126g just reached this transfer position.

Vorzugsweise entspricht der Winkelabstand zwischen der Austrittsöffnung 142 und der Zutrittsöffnung 138 einer Kammerebene 128 dem Umfangswinkel, über den sich eine der Aufnahmekammern 126 oder mehrere Aufnahmekammern 126 der betreffenden Kammerebene 128 erstrecken.Preferably, the angular distance between the outlet opening 142 corresponds and the access opening 138 of a chamber plane 128 to the circumferential angle, over which one of the receiving chambers 126 or more receiving chambers 126 of the relevant chamber level 128 extend.

Auf dem Weg zwischen der Zutrittsöffnung 138 und der Austrittsöffnung 142 kann das in der Aufnahmekammer 126 angeordnete Werkstück 102 einer beliebigen verfahrenstechnischen Behandlung unterworfen werden.On the way between the inlet opening 138 and the outlet opening 142 can arranged in the receiving chamber 126 workpiece 102 of any subjected to process engineering treatment.

Diese verfahrenstechnischen Behandlungen können beispielsweise Wärmebehandlungen, insbesondere Glühbehandlungen, wie beispielsweise das "Weichglühen" von Tuben, oder Trocknungsbehandlungen, wie beispielsweise das Trocknen einer Lackbeschichtung des Werkstücks 102 sein.These procedural treatments may include, for example, heat treatments, in particular annealing treatments, such as "soft annealing" of tubes, or drying treatments, such as the Dry a paint coating of the workpiece 102 be.

Ferner kann es sich bei den verfahrenstechnischen Behandlungen beispielsweise um ein Sandstrahlen eines Werkstücks 102 oder um ein Bedampfen eines Werkstücks 102 handeln.Furthermore, it may be in the procedural treatments, for example for sandblasting a workpiece 102 or for vapor deposition a workpiece 102 act.

Andere mögliche Behandlungen eines Werkstücks 102 sind beispielsweise Waschbehandlungen mit wäßrigen oder kohlenwasserstoffhaltigen Flüssigkeiten und/oder solche Behandlungen, die unter Schutzgas oder im Vakuum erfolgen müssen.Other possible treatments of a workpiece 102 include, for example Washing treatments with aqueous or hydrocarbon liquids and / or those treatments which take place under protective gas or in vacuo have to.

Auf jeder Kammerebene 128 kann das Werkstück 102 einem oder mehreren solcher verfahrenstechnischer Behandlungsschritte unterworfen werden.On each chamber level 128, the workpiece 102 may be one or more be subjected to such procedural treatment steps.

Wenn der Aufnahmekammer 126 für eine solche Behandlung ein Behandlungsmedium zugeführt werden soll, so geschieht dies über Zuführstutzen 144, die an der Gehäusewand 108 an der Winkelposition angeordnet sind, welche von der Aufnahmekammer 126 zum gewünschten Behandlungszeitpunkt passiert wird. Um ein Behandlungsmedium aus einer Aufnahmekammer 126 abzuführen, sind an der Gehäusewand 108 Abführstutzen 146 vorgesehen, die gegenüber dem jeweils zugeordneten Zuführstutzen 144 um einen Drehwinkel versetzt sind, welcher der gewünschten Behandlungsdauer entspricht.If the receiving chamber 126 for such a treatment, a treatment medium to be supplied, this is done via feed nozzle 144, the are arranged on the housing wall 108 at the angular position, which of the receiving chamber 126 happens at the desired time of treatment becomes. To remove a treatment medium from a receiving chamber 126, are provided on the housing wall 108 Abführstutzen 146 opposite the respective associated feed port 144 offset by a rotation angle are, which corresponds to the desired treatment duration.

Der Abführstutzen 146 für ein Behandlungsmedium muß sich aber nicht notwendigerweise auf derselben Ebene befinden wie der Zuführstutzen 144 für dasselbe Behandlungsmedium. Vielmehr kann vorgesehen sein, daß ein auf einer Ebene der Behandlungsvorrichtung 100 zugeführtes Behandlungsmedium erst auf einer unmittelbar oder mittelbar darauffolgenden Ebene wieder abgeführt wird.However, the discharge port 146 for a treatment medium need not necessarily be are on the same plane as the feed port 144 for same treatment medium. Rather, it can be provided that an on a level of the treatment device 100 supplied treatment medium only at an immediately or indirectly subsequent level removed again becomes.

Um ein Werkstück 102 nach Durchlaufen einer Ebene 128 der Behandlungsvorrichtung 100 in eine darauffolgende Behandlungsebene übergeben zu können, umfaßt die Behandlungsvorrichtung 100 mehrere Übergabevorrichtungen 148, von denen eine schematisch in Fig. 3 dargestellt ist.To a workpiece 102 after passing through a plane 128 of the treatment device 100 to hand over to a subsequent treatment level, For example, the treatment device 100 includes a plurality of transfer devices 148, one of which is shown schematically in FIG.

Die Übergabevorrichtung 148 umfaßt ein Gehäuse 150, das fluiddicht an einen Befestigungsflansch 152 des Gehäuses 104 der Behandlungsvorrichtung 100 angeflanscht ist.The transfer device 148 comprises a housing 150, the fluid-tight to a Mounting flange 152 of the housing 104 of the treatment device 100th is flanged.

Der Befestigungsflansch 152 umgibt einen Bereich der Gehäusewand 108, welcher die Austrittsöffnung 142 einer ersten Kammerebene 128a und eine Zutrittsöffnung 138 einer zweiten Kammerebene 128b umgibt, so daß durch den Befestigungsflansch 152, das Gehäuse 150 der Übergabevorrichtung 148 und die Gehäusewand 108 der Behandlungsvorrichtung 100 eine die Austrittsöffnung 142 fluiddicht mit der Zutrittsöffnung 138 verbindende geschlossene Kammer 154 gebildet wird.The mounting flange 152 surrounds a portion of the housing wall 108, which the exit opening 142 of a first chamber level 128a and an access opening 138 a second chamber level 128 b surrounds, so that through the Mounting flange 152, the housing 150 of the transfer device 148 and the housing wall 108 of the treatment device 100 a the outlet opening 142 fluid-tight with the access opening 138 connecting closed Chamber 154 is formed.

Die Übergabevorrichtung 148 umfaßt ferner eine Bewegungsvorrichtung 156 für das Werkstück 102, welche innerhalb der Kammer 154 angeordnet ist.The transfer device 148 further includes a moving device 156 for the workpiece 102, which is disposed within the chamber 154.

Die Bewegungsvorrichtung 156 umfaßt eine bewegliche Werkstückaufnahme 158, beispielsweise in Form einer beweglichen Gabel 160, welche mittels eines Kettenzugs 162 in vertikaler Richtung verschiebbar ist.The moving device 156 comprises a movable workpiece holder 158, for example in the form of a movable fork 160, which by means of a Chain hoist 162 is displaceable in the vertical direction.

Der Kettenzug 162 umfaßt beispielsweise eine Zugkette 164, die über ein angetriebenes Kettenrad 166 und zwei Umlenkkettenräder 168 geführt ist.The chain hoist 162 includes, for example, a pull chain 164, which is driven by a Sprocket 166 and two Umlenkkettenräder 168 is guided.

Der Kettenzug 162 mitsamt der Gabel 160 ist mittels eines Pneumatikkolbens 170 in radialer Richtung der Kammertrommel 112 verschiebbar.The chain hoist 162 together with the fork 160 is by means of a pneumatic piston 170 displaceable in the radial direction of the chamber drum 112.

Der Pneumatikkolben 170 ist in einem Pneumatikzylinder 172 verschieblich gehalten und kann an seinen beiden Stirnseiten 174 abwechselnd mit einem erhöhten Gasdruck beaufschlagt werden, um den Kettenzug 162 mit der darin angeordneten Gabel 160 zur Drehachse 114 der Kammertrommel 112 hin bzw. von der Drehachse 114 weg zu bewegen.The pneumatic piston 170 is displaceable in a pneumatic cylinder 172 held and can at its two end faces 174 alternately with a increased gas pressure to the chain hoist 162 with the therein arranged fork 160 to the axis of rotation 114 of the chamber drum 112 out or to move away from the rotation axis 114.

Das von der Kammerebene 128a zu der Kammerebene 128b zu übergebende Werkstück 102 liegt in der Aufnahmekammer 126 der Kammerebene 128a auf Abstandshaltern 176 auf, die sich am Boden der Aufnahmekammer 126 abstützen. The to be transferred from the chamber level 128a to the chamber level 128b Workpiece 102 rests in the receiving chamber 126 of the chamber level 128a Spacers 176, which are supported on the bottom of the receiving chamber 126.

Zur Aufnahme des Werkstücks 102 wird die Gabel 160 mittels des Kettenzugs 162 auf die Höhe der Kammerebene 128a angehoben.For receiving the workpiece 102, the fork 160 by means of the chain hoist 162 raised to the level of the chamber level 128a.

Anschließend wird die Gabel 160 mittels des Pneumatikkolbens 170 zwischen den Abstandshaltern 176 hindurch unter das Werkstück 102 geschoben.Subsequently, the fork 160 is interposed by means of the pneumatic piston 170 the spacers 176 pushed through under the workpiece 102.

Mittels des Kettenzugs 162 wird darauf die Gabel 160 etwas angehoben, so daß das Werkstück 102 nunmehr auf der Gabel 160 aufliegt und von den Abstandshaltern 176 der Aufnahmekammer 126 abgehoben ist.By means of the chain hoist 162, the fork 160 is slightly raised thereon, so that the workpiece 102 now rests on the fork 160 and the spacers 176 of the receiving chamber 126 is lifted.

Nun wird die Gabel 160 mit dem Werkstück 102 mittels des Pneumatikkolbens 170 aus der Aufnahmekammer 126 der Kammerebene 128a herausgezogen und mittels des Kettenzugs 162 auf die Einfahrhöhe der Kammerebene 128b abgesenkt.Now, the fork 160 with the workpiece 102 by means of the pneumatic piston 170 pulled out of the receiving chamber 126 of the chamber level 128a and by means of the chain hoist 162 to the retracting height of the chamber plane 128b lowered.

Anschließend wird die Gabel 160 mit dem Werkstück 102 mittels des Pneumatikkolbens 170 in eine Aufnahmekammer 126' der Kammerebene 128b eingeschoben.Subsequently, the fork 160 with the workpiece 102 by means of the pneumatic piston 170 inserted into a receiving chamber 126 'of the chamber level 128b.

Durch Absenken der Gabel 160 mittels des Kettenzugs 162 wird das Werkstück 102 auf den Abstandshaltern 176 am Boden der Aufnahmekammer 126' abgelegt.By lowering the fork 160 by means of the chain hoist 162, the workpiece 102 deposited on the spacers 176 at the bottom of the receiving chamber 126 '.

Anschließend zieht der Pneumatikkolben 170 die Gabel 160 wieder vollständig aus der Aufnahmekammer 126' heraus, und die Gabel 160 wird mittels des Kettenzugs 162 auf das Niveau der Kammerebene 128a angehoben, um das nächste Werkstück 102 aus der Kammerebene 128a zu erwarten und zu übernehmen. Subsequently, the pneumatic piston 170 pulls the fork 160 completely again from the receiving chamber 126 'out, and the fork 160 is by means of Chain hoist 162 raised to the level of the chamber level 128a to the expected next workpiece 102 from the chamber level 128a and take over.

Da die Übergabevorrichtung 148 gekapselt ist, kann auch ein eventuell in der Kammerebene 128a zugeführtes Behandlungsmedium durch die Kammer 154 der Übergabevorrichtung 148 weiter in die Kammerebene 128b strömen.Since the transfer device 148 is encapsulated, may also be in the Chamber level 128a supplied treatment medium through the chamber 154th the transfer device 148 continue to flow into the chamber level 128b.

Ferner findet auch ein Druckausgleich zwischen den Aufnahmekammern der Kammerebene 128a und der Kammerebene 128b statt, so daß insbesondere ein in der Kammerebene 128a erzeugtes Vakuum in der Kammerebene 128b erhalten bleibt.Furthermore, there is also a pressure balance between the receiving chambers of Chamber level 128a and the chamber level 128b instead, so that in particular a vacuum generated in the chamber plane 128a in the chamber plane 128b preserved.

Nach der Übergabe eines Werkstücks 102 von einer Kammerebene 128a auf die darauffolgende Kammerebene 128b wird das betreffende Werkstück 102 in der Kammerebene 128b durch Drehung der Kammertrommel 112, um einen Winkel von weniger als 360 Grad um die Drehachse 114, bis zu der Austrittsöffnung 142 der Kammerebene 128b gefördert.After the transfer of a workpiece 102 from a chamber level 128a the subsequent chamber plane 128b becomes the workpiece 102 in question the chamber plane 128b by rotation of the chamber drum 112 to a Angle of less than 360 degrees about the axis of rotation 114, up to the outlet opening 142 of the chamber level promoted 128b.

Während des Durchlaufens dieser Ebene der Behandlungsvorrichtung 100 kann das Werkstück 102 in der Aufnahmekammer 126' weiteren verfahrenstechnischen Behandlungen unterzogen werden.While passing through this level of treatment device 100 may the workpiece 102 in the receiving chamber 126 'further procedural Treatments are subjected.

Bei Erreichen der Austrittsöffnung 142 der Kammerebene 128b wird das Werkstück 102 mittels einer weiteren Übergabevorrichtung 148, die entsprechend der vorstehend erläuterten Übergabevorrichtung 148 ausgebildet sein kann, zu der Zutrittsöffnung 138 einer weiteren Kammerebene 128 übergeben oder, falls es sich bei der Kammerebene 128b um die letzte von dem Werkstück 102 zu durchlaufende Ebene handelt, aus der Behandlungsvorrichtung 100 entnommen. Upon reaching the exit opening 142 of the chamber level 128b, the workpiece 102 by means of another transfer device 148, the corresponding the above-described transfer device 148 may be formed to the access opening 138 passed to another chamber level 128 or, if the chamber plane 128b is the last one of the workpiece 102 to be traversed level, taken from the treatment device 100.

Im vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel werden die Ebenen der Behandlungsvorrichtung 100 von oben nach unten durchlaufen. Ebensogut wäre es jedoch auch möglich, die Werkstücke 102 zunächst in die unterste Kammerebene 128f einzubringen und die Werkstücke 102 dann von unten nach oben durch die Behandlungsvorrichtung 100 bis zu der obersten Kammerebene 128a zu fördern und sie aus dieser Ebene wieder der Behandlungsvorrichtung 100 zu entnehmen.In the embodiment described above, the levels of the treatment device Go through 100 from top to bottom. As well would be However, it is also possible, the workpieces 102 first in the lowest chamber level 128f and bring the workpieces 102 from the bottom to at the top through the treatment device 100 up to the uppermost chamber level To promote 128a and return it from this level to the treatment device 100 to take.

Insbesondere dann, wenn in der Behandlungsvorrichtung 100 flüssige oder gasförmige Behandlungsmedien eingesetzt werden und/oder wenn innerhalb der Behandlungsvorrichtung 100 ein Vakuum erzeugt wird, ist es erforderlich, daß sich zwischen der äußeren Oberfläche der Kammertrommel 112 und der Innenfläche der Gehäusewand 108 eine Flächendichtung 178 befindet, die verhindert, daß ein flüssiges oder gasförmiges Medium von einer Aufnahmekammer 126 in vertikal oder horizontal benachbarte Aufnahmekammern 126 oder in die Umgebung abfließt.In particular, when in the treatment apparatus 100 is liquid or gaseous treatment media are used and / or if within the treatment device 100 is generated a vacuum, it is necessary that between the outer surface of the chamber drum 112 and the Inner surface of the housing wall 108 is a surface seal 178, which prevents that a liquid or gaseous medium from a receiving chamber 126 in vertically or horizontally adjacent receiving chambers 126 or drains into the environment.

Diese Flächendichtung 178 ist an der Umfangsfläche der Kammertrommel 112 drehfest angeordnet und bewegt sich zusammen mit der Kammertrommel 112 durch den Innenraum des Gehäuses 104 der Behandlungsvorrichtung 100.This surface seal 178 is on the peripheral surface of the chamber drum 112 rotatably arranged and moves together with the chamber drum 112th through the interior of the housing 104 of the treatment apparatus 100.

Die Flächendichtung 178 ist als eine einstückige Wickelfoliendichtung ausgebildet.The surface seal 178 is formed as a one-piece wrapping foil seal.

Eine Abwicklung der auf die Kammertrommel 112 aufgezogenen Flächendichtung 178 in einem kalten Montagezustand (bei Raumtemperatur) ist in Fig. 5 dargestellt. A settlement of the wound up on the chamber drum 112 surface seal 178 in a cold mounting state (at room temperature) is shown in FIG. 5 shown.

Eine Abwicklung der Flächendichtung 178 in einem warmen Betriebszustand (bei einer Betriebstemperatur von beispielsweise 120° C) ist in Fig. 7 dargestellt.A development of the surface seal 178 in a warm operating condition (At an operating temperature of for example 120 ° C) is shown in Fig. 7.

Die Flächendichtung 178 ist als eine Folie aus einem Dichtungsmaterial hergestellt, welches aus einem Fluorpolymer-Kunststoff oder aus einem Fluorpolymer-Compound hergestellt ist. Insbesondere kann die Flächendichtung 178 aus einer Polytetrafluorethylen (PTFE)-Folie gebildet sein.The surface seal 178 is made as a film of a sealing material, which is made of a fluoropolymer plastic or a fluoropolymer compound is made. In particular, the surface seal 178 be formed of a polytetrafluoroethylene (PTFE) film.

Wie aus den Fig. 5 und 7 zu ersehen ist, ist die Flächendichtung 178 mit im wesentlichen rechteckigen Durchtrittsöffnungen 180 versehen, welche im auf der Kammertrommel 112 angeordneten Zustand der Flächendichtung 178 jeweils mit einer Mündungsöffnung 140 einer Aufnahmekammer 126 im wesentlichen deckungsgleich sind.As can be seen from Figs. 5 and 7, the surface seal 178 with in essentially rectangular openings 180 provided, which in on the chamber drum 112 arranged state of the surface seal 178 respectively with a mouth 140 of a receiving chamber 126 substantially are congruent.

Folglich sind die Durchtrittsöffnungen 180 in einem regelmäßigen Gitter angeordnet, wobei die Anzahl der übereinanderliegenden Reihen 182 der Anzahl der Kammerebenen 128 der Behandlungsvorrichtung 100 und die Anzahl der Spalten 184 des Gitters der Anzahl der Aufnahmekammern 126 pro Kammerebene 128 entspricht.Consequently, the passage openings 180 are arranged in a regular grid, wherein the number of superimposed rows 182 of the number the chamber levels 128 of the treatment device 100 and the number of Columns 184 of the grid of the number of receiving chambers 126 per chamber level 128 corresponds.

Die Durchtrittsöffnungen 180 der Flächendichtungen 178 sind durch vertikale Stege 186 und durch horizontale Stege 188 voneinander getrennt, wobei sich die horizontalen Stege 188 und die vertikalen Stege 186 in ungefähr quadratischen Kreuzungsbereichen 190 schneiden. The passage openings 180 of the surface seals 178 are by vertical Webs 186 and separated by horizontal webs 188, wherein the horizontal webs 188 and the vertical webs 186 in approximately square Intersection areas 190 intersect.

Im montierten Zustand der Flächendichtung 178 erstrecken sich die horizontalen Stege 188 längs der Umfangsrichtung 187 der Kammertrommel 112 und die vertikalen Stege 186 längs der Axialrichtung 189 der Kammertrommel 112.In the assembled state of the surface seal 178, the horizontal extend Webs 188 along the circumferential direction 187 of the chamber drum 112 and the vertical webs 186 along the axial direction 189 of the chamber drum 112th

Wie am besten aus den Fig. 5 und 6 zu ersehen ist, ist die Flächendichtung 178 in jedem Kreuzungsbereich 190 mit jeweils einer Ausgleichsausnehmung 192 versehen, die einen im wesentlichen kreisförmigen mittigen Bereich 193 umfaßt, von welchem sich zwei vertikale Ausgleichsbereiche 194, die die Form vertikaler Schlitze aufweisen, nach oben bzw. nach unten und von welchem sich zwei horizontale Ausgleichsbereiche 196, welche die Form horizontaler Schlitze aufweisen, nach links bzw. nach rechts erstrecken.As best seen in Figs. 5 and 6, the surface seal is 178 in each crossing region 190, each with a compensation recess 192, which has a substantially circular central area 193 from which there are two vertical compensation areas 194, which are the shape have vertical slots, up and down and from which There are two horizontal compensation areas 196, which form the horizontal Slots, extend to the left or to the right.

Die Durchtrittsöffnungen 180 und die Ausgleichsausnehmungen 192 sind durch ein geeignetes Trennverfahren aus einer im wesentlichen ebenen Folie des Dichtungsmaterials, beispielsweise durch Ausstanzen oder Ausschneiden, herausgetrennt.The passage openings 180 and the Ausgleichsausnehmungen 192 are through a suitable separation process from a substantially flat film of the Sealing material, for example, by punching or cutting, separated out.

Bei einem konkreten Ausführungsbeispiel beträgt die Dicke der Flächendichtung 178 ungefähr 5 mm. Die Höhe der Kammertrommel 112 und damit die Höhe H der Flächendichtung 178 beträgt beispielsweise ungefähr 1.000 mm. Der Durchmesser der Kammertrommel 112 beträgt beispielsweise ungefähr 800 mm, so daß der Umfang der Kammertrommel 112 und somit die Länge L der Flächendichtung 178 ungefähr 2.513 mm beträgt. Ferner sind in dem Ausführungsbeispiel sechs Kammerebenen 128 und acht Aufnahmekammern 126 pro Kammerebene 128 vorgesehen, so daß die Breite der vertikalen Stege 186 und der horizontalen Stege 188 jeweils ungefähr 30 mm beträgt. In a specific embodiment, the thickness of the surface seal 178 about 5 mm. The height of the chamber drum 112 and thus the Height H of the surface seal 178 is, for example, about 1,000 mm. For example, the diameter of the chamber drum 112 is approximately 800 mm, so that the circumference of the chamber drum 112 and thus the length L the surface seal 178 is about 2,513 mm. Furthermore, in the Embodiment six chamber levels 128 and eight receiving chambers 126 provided per chamber level 128, so that the width of the vertical webs 186 and the horizontal webs 188 each about 30 mm.

Die horizontale Ausdehnung I und die vertikale Ausdehnung h der Ausgleichsausnehmungen 192 ist vorzugsweise größer als die Breite der vertikalen Stege 186 bzw. der horizontalen Stege 188.The horizontal extension I and the vertical extension h of the compensating recesses 192 is preferably larger than the width of the vertical webs 186 and the horizontal webs 188th

In einem konkreten Ausführungsbeispiel beträgt die vertikale Ausdehnung h der Ausgleichsausnehmungen 192 beispielsweise ungefähr 40 mm. In demselben Ausführungsbeispiel beträgt die horizontale Ausdehnung I der Ausgleichsausnehmungen 192 beispielsweise ebenfalls ungefähr 40 mm.In a specific embodiment, the vertical extent h the compensation recesses 192, for example, about 40 mm. In the same Embodiment is the horizontal extension I of the compensating recesses 192, for example, also about 40 mm.

Das Material der Flächendichtung 178 (beispielsweise PTFE oder ein PTFE-Compound) weist einen deutlich höheren Wärmeausdehnungskoeffizienten auf als das Material der Kammertrommel 112 (in der Regel ein metallisches Material, insbesondere ein Stahl). Bei der Erwärmung von Raumtemperatur auf eine Betriebstemperatur von beispielsweise ungefähr 120° C dehnt sich daher die Flächendichtung 178 um ungefähr 1 Prozent relativ zu der Umfangsfläche der Kammertrommel 112, bei dem vorstehend beschriebenen konkreten Ausführungsbeispiel also um ungefähr 25 mm in der Umfangsrichtung der Kammertrommel 112 und um ungefähr 10 mm in der Axialrichtung der Kammertrommel 112.The material of the surface seal 178 (for example PTFE or a PTFE compound) has a much higher thermal expansion coefficient as the material of the chamber drum 112 (usually a metallic material, especially a steel). When heated from room temperature to an operating temperature of, for example, about 120 ° C therefore expands the surface seal 178 is about 1 percent relative to the peripheral surface the chamber drum 112, in the concrete embodiment described above ie about 25 mm in the circumferential direction of the chamber drum 112 and about 10 mm in the axial direction of the chamber drum 112th

Dieser Unterschied in den Wärmedehnungen der Flächendichtung 178 einerseits und der Kammertrommel 112 andererseits wird durch die in den Kreuzungsbereichen 190 der Flächendichtung 178 vorgesehen Ausgleichsausnehmungen 192 ausgeglichen.This difference in the thermal expansions of the surface seal 178 on the one hand and the chamber drum 112, on the other hand, is replaced by those in the intersection areas 190 of the surface seal 178 provided Ausgleichsausnehmungen 192 balanced.

Wie aus den Fig. 5 und 6 zu ersehen ist, steht die auf die Kammertrommel 112 aufgezogene Flächendichtung 178 im Montagezustand (bei Raumtemperatur) unter einer mechanischen Vorspannung, aufgrund welcher die Ausgleichsbereiche 194, 196 der Ausgleichsausnehmungen 192 geweitet sind.As can be seen from Figs. 5 and 6, stands on the chamber drum 112th mounted surface seal 178 in the assembled state (at room temperature) under a mechanical bias, due to which the compensation areas 194, 196 of the compensating recesses 192 are widened.

Insbesondere erweitern sich die vertikalen Ausgleichsbereiche 194 von ihrer punktförmigen Spitze 198 bis zu ihrer Mündung in den mittigen Bereich der Ausgleichsaufnehmung 192 bis auf eine Breite b₁ von beispielsweise ungefähr 3 mm. Die horizontalen Ausgleichsbereiche 196 erweitern sich im Montagezustand bei Raumtemperatur jeweils von ihrer Spitze 200 bis zu ihrer Mündung in den mitten Bereich 193 der Ausgleichsausnehmung 192 bis auf eine Breite b₂ von beispielsweise ungefähr 1,5 mm.In particular, the vertical compensation regions 194 extend from their punctiform tip 198 to their mouth in the central region of the Ausgleichsaufnehmung 192 to a width b _1, for example, about 3 mm. The horizontal compensation regions 196 expand in the assembled state at room temperature in each case from its tip 200 to its mouth in the middle region 193 of the compensation recess 192 to a width b ₂ of, for example, approximately 1.5 mm.

Durch die größere Wärmedehnung der Flächendichtung 178 relativ zu der Kammertrommel 112 bei der Erwärmung von Raumtemperatur auf die Betriebstemperatur von beispielsweise ungefähr 120° C nimmt die Breite der vertikalen Ausgleichsbereiche 194 und der horizontalen Ausgleichsbereiche 196 bei der Erwärmung der Kammertrommel 112 und der Flächendichtung 178 auf die Betriebstemperatur ab, bis die Breite b₁ der vertikalen Ausgleichsbereiche 194 und die Breite b₂ der horizontalen Ausgleichsbereiche 196 im Betriebszustand ungefähr gleich null ist (siehe Fig. 8).Due to the greater thermal expansion of the surface seal 178 relative to the chamber drum 112 when heating from room temperature to the operating temperature of, for example, about 120 ° C, the width of the vertical compensation areas 194 and horizontal compensation areas 196 increases upon heating of the chamber drum 112 and the surface seal 178 Operating temperature until the width b _{1 of} the vertical compensation areas 194 and the width b _{2 of} the horizontal compensation regions 196 in the operating state is approximately equal to zero (see Fig. 8).

Im Betriebszustand liegt somit die Flächendichtung 178 im wesentlichen spannungsfrei, insbesondere ohne in der Umfangsrichtung 187 der Kammertrommel 112 oder in der Axialrichtung 189 der Kammertrommel 112 wirkende Spannungen, an der Außenseite der Kammertrommel 112 an. Auf diese Weise kann die Flächendichtung 178 in einem großen Betriebstemperaturbereich ohne Ermüdungsgefahr eingesetzt werden.In the operating state, the surface seal 178 is thus essentially free of stress, in particular without in the circumferential direction 187 of the chamber drum 112 or acting in the axial direction 189 of the chamber drum 112 Tensions, on the outside of the chamber drum 112 at. In this way For example, the face seal 178 may be in a wide operating temperature range be used without risk of fatigue.

Die Flächendichtung 178 kann bei der Herstellung der Behandlungsvorrichtung 100 oder bei einem nach einer gewissen Betriebsdauer erforderlich werdenden Austausch in einfacher Weise auf die Kammertrommel 112 aufgezogen werden.The surface seal 178 may be used in the manufacture of the treatment device 100 or when required after a certain period of operation Exchange can be easily mounted on the chamber drum 112.

Hierfür wird zunächst die Kammertrommel 112, wie in Fig. 4 dargestellt, nach oben aus dem Gehäuse 104 der Behandlungsvorrichtung 100 herausgehoben.For this purpose, first the chamber drum 112, as shown in Fig. 4, after lifted out of the housing 104 of the treatment apparatus 100 above.

Hierfür kann eine als Ganzes mit 202 bezeichnete Hebevorrichtung verwendet werden, welche mehrere an der Oberseite der Deckplatte 122 festgelegte Halteringe 204 umfaßt, durch welche jeweils ein Halteseil 206 gezogen ist. Die oberen Enden der Halteseile 206 sind an der Stelle 208 mit einem unteren Ende eines Tragseils 210 verbunden, welches über eine stationäre Umlenkrolle 212 geführt ist und mittels einer (nicht dargestellten) motorisch betriebenen Seilwinde anhebbar oder absenkbar ist, um die Kammertrommel 112 aus dem Gehäuse 104 herauszuheben bzw. die Kammertrommel 112 wieder abzusenken.For this purpose, as a whole with 202 designated lifting device used which are several set at the top of the cover plate 122 Holding ring 204 includes, through which a tether 206 is pulled. The upper ends of the tethers 206 are at location 208 with a lower one End of a support cable 210 connected, which via a stationary pulley 212 is guided and by means of a motor (not shown) Rope winch can be raised or lowered to the chamber drum 112 from the To lift out housing 104 or to lower the chamber drum 112 again.

Die Flächendichtung 178 ist in ihren Abmessungen auf den warmen Betriebszustand ausgelegt, das heißt so ausgelegt, daß die vertikalen und horizontalen Schlitze der Ausgleichsausnehmungen 192 im warmen Betriebszustand geschlossen sind.The surface seal 178 is in its dimensions to the warm operating condition designed, that is designed so that the vertical and horizontal Slots of Ausgleichsausnehmungen 192 closed in the warm operating condition are.

Die Flächendichtung 178 kann nun grundsätzlich bei der Betriebstemperatur auf die Kammertrommel 112 aufgezogen werden. Hierzu müssen jedoch die Kammertrommel 112 und die Flächendichtung 178 außerhalb des Gehäuses 104 der Behandlungsvorrichtung auf die Betriebstemperatur erwärmt werden, was - insbesondere im Falle des Austauschs einer Flächendichtung 178 im Zuge einer Wartung der Behandlungsvorrichtung 100 - gar nicht oder nur schwer möglich ist. The surface seal 178 can now basically at the operating temperature be mounted on the chamber drum 112. However, this must be the Chamber drum 112 and the surface seal 178 outside the housing 104 of the treatment device are heated to the operating temperature, what - especially in the case of the replacement of a surface seal 178 in As part of a maintenance of the treatment device 100 - not at all or only difficult is possible.

Alternativ hierzu kann die Flächendichtung 178 jedoch auch im kalten Zustand auf die kalte Kammertrommel 112 zunächst lose aufgelegt und dann sukzessive in der Umfangsrichtung 187 und in der Axialrichtung 189 der Kammertrommel 112 gedehnt werden.Alternatively, however, the surface seal 178 may be cold initially placed loosely on the cold chamber drum 112 and then successively in the circumferential direction 187 and in the axial direction 189 of the chamber drum 112 are stretched.

Die Dehnung der Flächendichtung 178 in der Umfangsrichtung 187 der Kammertrommel 112 erfolgt mittels vertikaler Mitnehmerbleche 214 (siehe Fig. 9), welche durch mehrere, beispielsweise jeweils zwei, Befestigungsschrauben 216, die mit ihren Schäften in vertikal von einander beabstandete Gewindesacklöcher 218 eingreifen und jeweils ein Durchtrittsloch 220 in dem vertikalen Mitnehmerblech 214 durchgreifen, an jeweils einer der Trennwände 124 der Kammertrommel 112, und zwar im Bereich der Mündungsöffnung 140 einer Aufnahmekammer 126, gehalten sind, wobei ein äußerer Rand 222 des jeweiligen Mitnehmerblechs 214 in radialer Richtung der Kammertrommel 112 um eine Strecke d, welche kleiner ist als die Dicke der Flächendichtung 178, beispielsweise um ungefähr 3 mm, über die betreffende Trennwand 124 nach außen übersteht (siehe Fig. 10).The expansion of the surface seal 178 in the circumferential direction 187 of the chamber drum 112 takes place by means of vertical carrier plates 214 (see FIG. 9), which by several, for example two, fixing screws 216, with their shafts in vertically spaced threaded blind holes 218 engage and each have a through hole 220 in the vertical Pass through the driver plate 214, on each one of the partitions 124 of the Chamber drum 112, in the region of the mouth opening 140 a Receiving chamber 126, are held, wherein an outer edge 222 of the respective Mitnehmerblechs 214 in the radial direction of the chamber drum 112 um a distance d which is smaller than the thickness of the surface seal 178, for example by about 3 mm, over the respective partition 124 after protrudes outside (see Fig. 10).

Die erforderliche Dehnung der Flächendichtung 178 in der Axialrichtung 189 der Kammertrommel 112 erfolgt mittels horizontaler Mitnehmerbleche 224, die jeweils durch mehrere, beispielsweise jeweils vier, Befestigungsschrauben 216, die Durchtrittslöcher 220 in dem horizontalen Mitnehmerblech 224 durchsetzen und in Gewindesacklöcher 218 in der Bodenwand oder der Deckenwand einer Aufnahmekammer 126 eingedreht sind, an der betreffenden Bodenwand oder Deckenwand der Aufnahmekammer 126 gehalten sind, und zwar nahe der Mündungsöffnung 140 der Aufnahmekammer 126, wobei ein äußerer Rand 222 des horizontalen Mitnehmerblechs 224 in radialer Richtung der Kammertrommel 112 um eine Strecke d', die kleiner ist als die Dicke der Flächendichtung 178, beispielsweise um ungefähr 3 mm, über die betreffende Bodenplatte 120, 116 bzw. Deckplatte 122 der Kammertrommel 112 nach außen übersteht.The required elongation of the surface seal 178 in the axial direction 189 The chamber drum 112 is effected by means of horizontal driving plates 224, the each by a plurality, for example four, fixing screws 216, pass through the passage holes 220 in the horizontal drive plate 224 and in threaded sack holes 218 in the bottom wall or ceiling wall of one Receiving chamber 126 are screwed to the respective bottom wall or Ceiling wall of the receiving chamber 126 are held, close to the Mouth opening 140 of the receiving chamber 126, wherein an outer edge 222 the horizontal driving plate 224 in the radial direction of the chamber drum 112 by a distance d ', which is smaller than the thickness of the surface seal 178, for example by about 3 mm, over the relevant bottom plate 120, 116 and cover plate 122 of the chamber drum 112 protrudes outward.

Bei Raumtemperatur ist die Länge L der Flächendichtung 178 (um beispielsweise 25 mm) kürzer als der Umfang der Kammertrommel 112 und die Höhe H der Flächendichtung (um beispielsweise 10 mm) geringer als die Höhe der Kammertrommel 112.At room temperature, the length L of the surface seal 178 (e.g. 25 mm) shorter than the circumference of the chamber drum 112 and the height H the surface seal (for example, 10 mm) is less than the height of the Chamber drum 112.

Im kalten Vormontage-Zustand der Flächendichtung, in dem die Flächendichtung 178 keinen äußeren Spannungen unterworfen ist, sind die Ausgleichsbereiche 194, 196 der Ausgleichsausnehmungen 192 der Flächendichtung 178 (ebenso wie im warmen Betriebszustand) geschlossen.In the cold pre-assembly condition of the surface seal in which the surface seal 178 is not subjected to external stresses, are the compensation areas 194, 196 of the compensating recesses 192 of the surface seal 178 (as well as in warm operating condition) closed.

Zum Aufziehen der Flächendichtung 178 auf die Kammertrommel 112 wird die Flächendichtung 178 zunächst mit einem ihrer vertikalen Stege 186 auf eine Reihe untereinander angeordneter Trennwände 124 der Kammertrommel 112 aufgelegt und an diesem Steg 186 mittels der hierzu benachbarten vertikalen Mitnehmerbleche 214 an der Kammertrommel 112 befestigt, indem die Befestigungsschrauben 216 der betreffenden vertikalen Mitnehmerbleche 214 vollständig angezogen werden, bis die Mitnehmerbleche 214 an der betreffenden Trennwand 124 flächig anliegen.For mounting the surface seal 178 on the chamber drum 112 is the Surface seal 178 first with one of its vertical bars 186 on a Row of mutually arranged partitions 124 of the chamber drum 112th placed on and on this web 186 by means of the adjacent thereto vertical Carrier plates 214 attached to the chamber drum 112 by the mounting screws 216 of the relevant vertical carrier plates 214 completely be tightened until the driver plates 214 to the relevant Partition 124 lie flat.

Der Rest der Flächendichtung 178 wird zunächst nur locker um die Kammertrommel 112 gezogen, so daß ein Spalt von mindestens 25 mm Breite zwischen den Enden der Flächendichtung 178 verbleibt.The rest of the surface seal 178 is initially only loose around the chamber drum 112 pulled so that a gap of at least 25 mm width between the ends of the surface seal 178 remains.

Ausgehend von dem ersten vertikalen Steg 186, mit dem die Flächendichtung 178 an der Kammertrommel 112 befestigt worden ist, wird die Flächendichtung 178 an ihrem in der Umfangsrichtung 187 der Kammertrommel 112 benachbarten vertikalen Steg 186' um die zu erwartende Wärmeausdehnung gedehnt, indem die Befestigungsschrauben 216 der vertikalen Mitnehmerbleche 214, welche an dem vertikalen Steg 186' anliegen und zunächst noch um ungefähr 4 mm aus der betreffenden Trennwand 124 herausstehen (siehe Fig. 9), vollständig angezogen werden (siehe Fig. 11), bis die jeweils zugeordneten vertikalen Mitnehmerbleche 214 flächig an der betreffenden Trennwand 124 anliegen. Dabei wird die Flächendichtung 178 an den vertikalen Ausgleichsbereichen 194 der an den Stegen 186 angeordneten Ausgleichsausnehmungen 192 auseinandergezogen und dadurch in der Umfangsrichtung 187 der Kammertrommel 112 gedehnt.Starting from the first vertical web 186, with which the surface seal 178 has been attached to the chamber drum 112, the surface seal 178 at its in the circumferential direction 187 of the chamber drum 112th adjacent vertical web 186 'to the expected thermal expansion stretched by the fastening screws 216 of the vertical driving plates 214, which rest against the vertical web 186 'and initially at about 4 mm from the respective partition wall 124 protrude (see FIG. 9) are fully tightened (see FIG. 11) until the respectively associated ones vertical cam plates 214 flat on the respective partition 124th issue. In this case, the surface seal 178 at the vertical compensation areas 194 arranged on the webs 186 Ausgleichsausnehmungen 192 pulled apart and thereby in the circumferential direction 187 of the chamber drum 112 stretched.

Da hierbei nur schmale, neben den vertikalen Ausgleichsbereichen 194 liegende Stegbereiche der Flächendichtung 178 leicht verformt werden, ist diese Dehnung der Flächendichtung 178 mit einem weit geringeren Kraftaufwand verbunden als dies der Fall wäre, wenn die gesamten vertikalen Stege 186 in ihrer gesamten Breite von beispielsweise ungefähr 30 mm aus ihrem Material heraus um den gleichen Betrag (von beispielsweise ungefähr 3mm) gedehnt werden müßten.Since this is only narrow, lying next to the vertical compensation areas 194 Web portions of the surface seal 178 are easily deformed, this is Elongation of the surface seal 178 with a much lower force connected as would be the case if the entire vertical webs 186 in their entire width of, for example, about 30 mm from their material stretched out by the same amount (for example, about 3mm) would have to be.

In der gleichen, vorstehend beschriebenen Weise wird die Flächendichtung 178 mit ihren in der Umfangsrichtung 187 der Kammertrommel 112 auf den vertikalen Steg 186' folgenden vertikalen Stegen an der Kammertrommel 112 befestigt.In the same manner described above, the surface seal 178 with their in the circumferential direction 187 of the chamber drum 112 on the vertical Stay 186 'following vertical webs attached to the chamber drum 112.

Anschließend wird die Flächendichtung 178 sukzessive in der Axialrichtung 189 der Kammertrommel 112 gedehnt. Subsequently, the surface seal 178 is successively in the axial direction 189th the chamber drum 112 stretched.

Hierzu wird die Flächendichtung 178 mit einem horizontalen Steg 188 an einer Bodenplatte 120 der Kammertrommel 112 befestigt, indem die Befestigungsschrauben 216 der benachbarten horizontalen Mitnehmerbleche 224 vollständig angezogen werden, bis die betreffenden horizontalen Mitnehmerbleche 224 flächig an der Oberseite bzw. an der Unterseite der betreffenden Bodenplatte 120 anliegen.For this purpose, the surface seal 178 with a horizontal web 188 at a Bottom plate 120 of the chamber drum 112 attached by the fastening screws 216 of the adjacent horizontal cam plates 224 completely be tightened until the respective horizontal Mitnehmerbleche 224 flat at the top or at the bottom of the relevant base plate 120 abut.

Anschließend wird die Flächendichtung 178 in der Axialrichtung 189 der Kammertrommel 112 gedehnt, indem ein dem ersten horizontalen Steg 188 in vertikaler Richtung benachbarter horizontaler Steg 188' an einer vertikal benachbarten Bodenplatte 120' befestigt wird, und zwar durch vollständiges Anziehen der Befestigungsschrauben 216 der an dem horizontalen Steg 188' anliegenden horizontalen Mitnehmerbleche 224, bis auch diese Mitnehmerbleche 224 flächig an der Unterseite bzw. an der Oberseite der Bodenplatte 120' anliegen.Subsequently, the surface seal 178 in the axial direction 189 of the chamber drum 112 stretched by a first horizontal bar 188 in vertical Direction adjacent horizontal ridge 188 'at a vertically adjacent Base plate 120 'is fixed, by fully tightening the fastening screws 216 of the horizontal web 188 'adjacent horizontal driver plates 224, to also these driver plates 224th lie flat against the underside or at the top of the bottom plate 120 '.

Dabei wird die Flächendichtung 178 an den horizontalen Ausgleichsbereichen 196 der Ausgleichsausnehmungen 192, welche im Bereich des horizontalen Steges 188 angeordnet sind, auseinandergezogen, wodurch die Flächendichtung 178 um die zu erwartende Wärmeausdehnung in der Axialrichtung 189 der Kammertrommel 112 gedehnt wird.In this case, the surface seal 178 at the horizontal compensation areas 196 of the compensating recesses 192, which in the range of horizontal Bridge 188 are arranged, pulled apart, causing the surface seal 178 about the expected thermal expansion in the axial direction 189 the chamber drum 112 is stretched.

Die Dehnung der Flächendichtung 178 in der Axialrichtung 189 wird dann fortgesetzt, indem die Flächendichtung 178 mit einem weiteren, auf den Steg 188' in der Axialrichtung 189 folgenden horizontalen Steg an einer weiteren Bodenplatte 120 oder an der Deckplatte 122 oder an der Trommelbodenplatte 116 der Kammertrommel 112 festgelegt wird.The stretching of the surface seal 178 in the axial direction 189 is then continued, by the surface seal 178 with another, on the web 188 ' in the axial direction 189 following horizontal web on another base plate 120 or on the cover plate 122 or on the drum bottom plate 116th the chamber drum 112 is set.

Wenn alle vertikalen Stege 186 und alle horizontalen Stege 188 der Flächendichtung 178 mittels der Mitnehmerbleche 214, 224 an der Kammertrommel 112 festgelegt und somit die Flächendichtung 178 vollständig auf die Kammertrommel 112 aufgespannt ist, ist die Montage der Flächendichtung 178 an der Kammertrommel 112 beendet.If all vertical webs 186 and all horizontal webs 188 of the surface seal 178 by means of the driver plates 214, 224 on the chamber drum 112 determined and thus the surface seal 178 completely on the chamber drum 112 is clamped, the assembly of the surface seal 178 is on the chamber drum 112 finished.

Anschließend kann die Kammertrommel 112 mittels der Hebevorrichtung 202 wieder in das Gehäuse 104 der Behandlungsvorrichtung 100 eingesetzt werden.Subsequently, the chamber drum 112 by means of the lifting device 202 be re-inserted into the housing 104 of the treatment apparatus 100.

Bei einer in Fig. 13 dargestellten zweiten Ausführungsform der Behandlungsvorrichtung 100 sind die die Behandlungsvorrichtung 100 durchlaufenden Werkstücke 102 in zumindest einer Aufnahmekammer 126 nicht auf stationären Abstandshaltern 176 abgelegt, sondern in einer Werkstückhalterung 226 aufgenommen, welche um eine radial zur Drehachse 114 der Kammertrommel 112 ausgerichtete Drehachse 228 drehbar ist.In a second embodiment of the treatment device shown in FIG 100 are the processing device 100 passing through Workpieces 102 in at least one receiving chamber 126 is not stationary Spacers 176 stored, but in a workpiece holder 226th which is about a radial to the axis of rotation 114 of the chamber drum 112 aligned rotation axis 228 is rotatable.

Die Drehung um die Drehachse 228 erfolgt dabei mittels einer Drehwelle 230, welche an einer radial inneren Stirnwand 232 der Werkstückhalterung 226 festgelegt ist und an der Hohlwelle 118 der Kammertrommel 112 drehbar gelagert ist.The rotation about the axis of rotation 228 takes place by means of a rotary shaft 230, which on a radially inner end wall 232 of the workpiece holder 226th is fixed and rotatably mounted on the hollow shaft 118 of the chamber drum 112 is.

Ein innerhalb der Hohlwelle 118 liegendes Ende der Drehwelle 230 ist mit einem Kegelrad 234 versehen, das in Eingriff mit einem stationären zentralen Kegelrad 236 steht, welches koaxial zu der Drehachse 114 der Kammertrommel 112 ausgerichtet ist und über ein vertikales Halterohr 238, das eine Durchtrittsbohrung 240 in der Trommelbodenplatte 116 durchsetzt, mit der Oberseite der Bodenplatte 106 des Gehäuses 104 der Behandlungsvorrichtung 100 verbunden ist. An inside of the hollow shaft 118 lying end of the rotary shaft 230 is with a bevel gear 234 which engages a stationary central Bevel gear 236 is, which is coaxial with the axis of rotation 114 of the chamber drum 112 is aligned and via a vertical holding tube 238, the one Through hole 240 in the drum base plate 116 passes through, with the Top of the bottom plate 106 of the housing 104 of the treatment device 100 is connected.

Bei einer Drehbewegung der Hohlwelle 118 um die Drehachse 114 der Kammertrommel 112 dreht sich folglich das mit dem stationären zentralen Kegelrad 236 kämmende Kegelrad 234 und damit die Werkstückhalterung 226 mit dem darin aufgenommen Werkstück 102 um die horizontale Drechachse 228.During a rotational movement of the hollow shaft 118 about the axis of rotation 114 of the chamber drum 112 thus rotates with the stationary central bevel gear 236 meshing bevel gear 234 and thus the workpiece holder 226 with the workpiece 102 received therein around the horizontal axis of rotation 228.

Um das Werkstück 102 mittels einer Übergabevorrichtung 148 aus der Werkstückhalterung 226 entnehmen zu können, sind an der Werkstückhalterung 226 mehrere Abstandshalter 242 vorgesehen, so daß eine bewegliche Werkstückaufnahme 158 der Übergabevorrichtung 148, beispielsweise eine bewegliche Gabel 160, in den Raum zwischen dem Werkstück 102 und einer Wandung der Werkstückhalterung 226 hinein bewegt werden kann, um das Werkstück 202 von den Abstandshaltern 242 abzuheben und aus der Werkstückhalterung 226 herauszubewegen.To the workpiece 102 by means of a transfer device 148 from the workpiece holder To be able to remove 226, are on the workpiece holder 226 a plurality of spacers 242 provided so that a movable Workpiece holder 158 of the transfer device 148, for example a movable fork 160, in the space between the workpiece 102 and a Wall of the workpiece holder 226 can be moved to the To lift workpiece 202 from the spacers 242 and out of the workpiece holder 226 move out.

Um die Rotationsgeschwindigkeit der Werkstückhalterungen 226 in den Aufnahmekammern 126 von der Rotationsgeschwindigkeit der Kammertrommel 112 um die Drehachse 114 zu entkoppeln, kann auch vorgesehen sein, daß das zentrale Kegelrad 236, das mit der Drehachse 114 koaxial ausgebildet ist, nicht feststeht, sondern relativ zu dem Gehäuse 104 drehbar gelagert ist und einen eigenen Drehantrieb aufweist.To the rotational speed of the workpiece holders 226 in the receiving chambers 126 of the rotational speed of the chamber drum 112 to decouple about the axis of rotation 114 may also be provided that the central bevel gear 236, which is formed coaxially with the rotation axis 114, not fixed, but is rotatably mounted relative to the housing 104 and has its own rotary drive.

Im übrigen stimmt die zweite Ausführungsform einer Behandlungsvorrichtung 100 hinsichtlich Aufbau und Funktion mit der ersten Ausführungsform überein, auf deren vorstehende Beschreibung insoweit Bezug genommen wird.Otherwise, the second embodiment of a treatment device is correct 100 in terms of structure and function with the first embodiment, to the above description in this respect reference is made.

Eine in Fig. 14 dargestellte dritte Ausführungsform einer Behandlungsvorrichtung 100 unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, daß die Werkstücke 102 in mindestens einer Aufnahmekammer 126 der Kammertrommel 112 nicht auf stationären Abstandshaltern 176 ruhen, sondern in einer um eine parallel zur Drehachse 114 der Kammertrommel 112 ausgerichtete Drehachse 244 drehbaren Werkstückhalterung 246 gehalten sind.A illustrated in Fig. 14 third embodiment of a treatment device 100 differs from the first embodiment in that the Workpieces 102 in at least one receiving chamber 126 of the chamber drum 112 do not rest on stationary spacers 176, but in one aligned about a parallel to the axis of rotation 114 of the chamber drum 112 Rotary axis 244 rotatable workpiece holder 246 are held.

Die Werkstückhalterung 246 umfaßt eine Drehscheibe 248, an deren Oberseite Abstandshalter 250 angeordnet sind, auf welchen das jeweilige Werkstück 102 aufliegt.The workpiece holder 246 includes a hub 248 at the top thereof Spacer 250 are arranged, on which the respective workpiece 102nd rests.

Die Unterseite der Drehscheibe 248 ist über eine koaxial zur Drehachse 244 ausgerichtete und (mittels nicht dargestellter Lager) an dem Boden der Aufnahmekammer 126 drehbar gelagerte Drehwelle 252 mit einem Reibrad 254 verbunden, dessen Umfangsfläche mit der Innenfläche der Gehäusewand 108 des Gehäuses 104 der Behandlungsvorrichtung 100 in Kontakt steht.The underside of the hub 248 is coaxial with the axis of rotation 244 aligned and (by means not shown bearings) at the bottom of the receiving chamber 126 rotatably mounted rotary shaft 252 with a friction wheel 254th connected, the peripheral surface with the inner surface of the housing wall 108th of the housing 104 of the treatment device 100 is in contact.

Bei einer Drehbewegung der Kammertrommel 112 um die Drehachse 114 rollt das Reibrad 254 an der Innenfläche der Gehäusewand 108 aufgrund des Reibschlusses zwischen dem Reibrad 254 und der Gehäusewand 108 ab, wodurch das Reibrad 254 und somit die Werkstückhalterung 246 in eine Drehbewegung um die Drehachse 244 versetzt werden.During a rotational movement of the chamber drum 112 about the rotation axis 114 rolls the friction wheel 254 on the inner surface of the housing wall 108 due to the frictional engagement between the friction wheel 254 and the housing wall 108, whereby the friction wheel 254 and thus the workpiece holder 246 in a rotational movement be offset about the rotation axis 244.

Die Abstandshalter 250 der Werkstückhalterung 246 ermöglichen es, daß eine bewegliche Werkstückaufnahme 158 einer Übergabevorrichtung 148 zwischen die Drehscheibe 248 und das Werkstück 102 bewegt werden kann, um das Werkstück 102 von den Abstandshaltern 250 abzuheben und anschließend aus der Aufnahmekammer 126 herauszubewegen.The spacers 250 of the workpiece holder 246 allow a movable workpiece holder 158 a transfer device 148 between the turntable 248 and the workpiece 102 can be moved to the Pick workpiece 102 from the spacers 250 and then out the receiving chamber 126 to move out.

Im übrigen stimmt die dritte Ausführungsform einer Behandlungsvorrichtung 100 hinsichtlich Aufbau und Funktion mit der ersten Ausführungsfunktion überein, auf deren vorstehende Beschreibung insoweit Bezug genommen wird. Otherwise, the third embodiment of a treatment device is correct 100 in terms of structure and function with the first execution function to the above description of which reference is made.

Bei einer in Fig. 15 dargestellten vierten Ausführungsform einer Behandlungsvorrichtung 100 hat zumindest eine Ebene der Behandlungsvorrichtung 100 die Funktion einer Vakuumschleuse.In a fourth embodiment of a treatment device shown in FIG 100 has at least one plane of the treatment device 100 the function of a vacuum lock.

In dem in Fig. 15 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die betreffende Kammerebene 128 mit 16 Aufnahmekammern 126 versehen, welche aufgrund der Drehbewegung der Kammertrommel 112 um die Drehachse 114 von der Zutrittsöffnung 138 der Kammerebene 128, durch welche die Kammerebene 128 mit der umgebenden Atmosphäre in Verbindung steht und durch welche die Werkstücke 102 in die Kammerebene 128 eingebracht werden, zu der in einem Winkelabstand von 180 Grad der Zutrittsöffnung 138 gegenüberliegenden Austrittsöffnung 142 der Kammerebene 128 bewegt werden, an welcher der Vakuumenddruck der Kammerebene 128 erreicht ist und über welche die Kammerebene 128 mit einer nachfolgenden, ebenfalls zumindest teilweise unter Vakuum stehenden Kammerebene 128 verbunden ist.In the embodiment shown in Fig. 15, the relevant chamber level 128 provided with 16 receiving chambers 126, which due to the Rotary movement of the chamber drum 112 about the axis of rotation 114 of the Access opening 138 of the chamber level 128, through which the chamber level 128 communicates with the surrounding atmosphere and through which the workpieces 102 are introduced into the chamber plane 128, to the in an angular distance of 180 degrees of the access opening 138 opposite Outlet opening 142 of the chamber plane 128 are moved, at which the vacuum end pressure of the chamber level 128 is reached and over which the Chamber level 128 with a subsequent, also at least partially connected under vacuum chamber level 128 is connected.

Aufgrund der Drehbewegung der Kammertrommel 112 werden die Aufnahmekammern 126 - nach Entnahme der Werkstücke 102 durch die Austrittsöffnung 142 - im leeren Zustand zu der Zutrittsöffnung 138 zurückbewegt.Due to the rotational movement of the chamber drum 112, the receiving chambers 126 - after removal of the workpieces 102 through the outlet opening 142 - moved back to the access opening 138 in the empty state.

Auf dieser Ebene wandert jede Aufnahmekammer 126 also stets von einem Bereich mit hohem Druck (Zutrittsöffnung 138) zu einem Bereich mit dem Vakuumenddruck (Austrittsöffnung 142) und wieder zurück.At this level, each receiving chamber 126 thus always moves from one High pressure area (access opening 138) to an area with the Vakuumenddruck (outlet opening 142) and back again.

Bei der in Fig. 15 dargestellten Vakuumschleuse wird das Vakuum stufenweise erzeugt, indem jeweils eine leere Aufnahmekammer 126, in der noch Vakuum ist, mit einer mit einem Werkstück 102 bestückten Aufnahmekammer, in welcher der Vakuumenddruck noch nicht erreicht ist, gastechnisch kurzgeschlossen wird.In the vacuum lock shown in Fig. 15, the vacuum gradually becomes generated by each an empty receiving chamber 126, in the still vacuum is, with a equipped with a workpiece 102 receiving chamber, in which the final vacuum pressure is not yet reached, gas shorted becomes.

Zu diesem Zweck ist die Gehäusewand 108 in einem (in der Drehrichtung 255 gesehen) auf die Zutrittsöffnung 138 folgenden Bereich mit einem ersten Luftabführstutzen 256a versehen, welcher über eine erste Kurzschlußleitung 258a mit einem ersten Luftzuführstutzen 260a verbunden ist, welcher an der Gehäusewand 108 (in der Drehrichtung 255 gesehen) nach der Austrittsöffnung 142 und vor der Zutrittsöffnung 138 angeordnet ist.For this purpose, the housing wall 108 in a (in the direction of rotation 255 seen) on the access opening 138 following area with a first Luftabführstutzen 256a provided via a first shorting line 258a is connected to a first air supply port 260a, which on the housing wall 108 (seen in the direction of rotation 255) after the outlet opening 142 and in front of the access opening 138 is arranged.

Ein (in der Drehrichtung 255 gesehen) nach dem ersten Luftabführstutzen 256a angeordneter zweiter Luftabführstutzen 256b ist über eine zweite Kurzschlußleitung 258b mit einem (in der Drehrichtung 255 gesehen) vor dem ersten Luftzuführstutzen 260a angeordneten zweiten Luftzuführstutzen 260b verbunden.One (seen in the direction of rotation 255) after the first air outlet 256a arranged second Luftabführstutzen 256b is connected via a second shorting line 258b with one (seen in the direction of rotation 255) in front of the first air supply port 260a disposed second air supply port 260b connected.

Ein (in der Drehrichtung 255 gesehen) nach dem zweiten Luftabführstutzen 256b angeordneter dritter Luftabführstutzen 256c ist über eine dritte Kurzschlußleitung 258c mit einem (in der Drehrichtung 255 gesehen) vor dem zweiten Luftzuführstutzen 260b angeordneten dritten Luftzuführstutzen 260c verbunden.One (seen in the direction of rotation 255) after the second air outlet 256b arranged third Luftabeitstutzen 256c is connected via a third shorting line 258c with a (seen in the direction of rotation 255) in front of the second air supply port 260b arranged third air supply port 260c connected.

Ein (in der Drehrichtung 255 gesehen) nach dem dritten Luftabführstutzen 256c angeordneter vierter Luftabführstutzen 256d ist über eine vierte Kurzschlußleitung 258d mit einer (in der Drehrichtung 255 gesehen) vor dem dritten Luftzuführstutzen 260c angeordneten vierten Luftzuführstutzen 260d verbunden. One (seen in the direction of rotation 255) after the third air outlet 256c arranged fourth air outlet nozzle 256d is via a fourth shorting line 258d with one (seen in the direction of rotation 255) before the third Air supply port 260c arranged fourth air supply port 260d connected.

Zwischen dem vierten Luftabführstutzen 256d und der Austrittsöffnung 142 der Kammerebene 128 ist ein fünfter Luftabführstutzen 256e angeordnet, welcher über eine Absaugleitung 262 mit einer (nicht dargestellten) Vakuumpumpe verbunden ist.Between the fourth air discharge nozzle 256 d and the outlet opening 142 the chamber level 128, a fifth Luftabeitstutzen 256e is arranged, which via a suction line 262 with a (not shown) vacuum pump connected is.

Ein zwischen dem ersten Luftzuführstutzen 260a und der Zutrittsöffnung 138 der Kammerebene 128 angeordneter fünfter Luftzuführstutzen 260e mündet in die umgebende Atmosphäre, so daß die jeweils im Bereich des fünften Luftzuführstutzens 260e befindliche Aufnahmekammer 126 durch den fünften Luftzuführstutzen 260e bis auf Atmosphärendruck belüftbar ist.A between the first air supply port 260 a and the access opening 138 the chamber level 128 arranged fifth air supply nozzle 260e opens into the surrounding atmosphere, so that each in the area of the fifth air supply 260e receiving chamber 126 through the fifth air supply pipe 260e is ventilated to atmospheric pressure.

Bei der vorstehend beschriebenen, als Vakuumschleuse dienenden Kammerebene 128 wird somit insgesamt viermal ein Kurzschluß zwischen einer noch nicht vollständig evakuierten Aufnahmekammer 126, die sich auf dem Weg von der Zutrittsöffnung 138 zu der Austrittsöffnung 142 befindet, und einer noch nicht vollständig belüfteten Aufnahmekammer 126, welche sich auf dem Weg von der Austrittsöffnung 142 zurück zu der Zutrittsöffnung 138 befindet, durchgeführt.In the above-described, serving as a vacuum lock chamber level 128 thus becomes a total of four times a short circuit between one not fully evacuated receiving chamber 126, which is on the way from the inlet opening 138 to the outlet opening 142, and a not fully ventilated receiving chamber 126, which is located on the Away from the exit port 142 back to the access port 138, carried out.

Ausgehend von einem Atmosphärendruck von beispielsweise 1.000 mbar und einem angestrebten Vakuumenddruck von beispielsweise 10 mbar beträgt der Kammerdruck nach dem Druckausgleich durch die erste Kurzschlußleitung 258a noch beispielsweise ungefähr 800 mbar, nach dem Druckausgleich durch die zweite Kurzschlußleitung 258b noch beispielsweise ungefähr 600 mbar, nach dem Druckausgleich durch die dritte Kurzschlußleitung 258c noch beispielsweise ungefähr 400 mbar und nach dem Druckausgleich durch die vierte Kurzschlußleitung 258d noch beispielsweise ungefähr 200 mbar. Starting from an atmospheric pressure of, for example, 1,000 mbar and a desired vacuum pressure of, for example, 10 mbar is the Chamber pressure after pressure equalization through the first short circuit line 258a still, for example, about 800 mbar, after the pressure equalization by the second shorting line 258b, for example, about 600 mbar, after the pressure equalization by the third shorting line 258c, for example about 400 mbar and after pressure equalization by the fourth Short circuit line 258d, for example, about 200 mbar.

Die Vakuumpumpe muß die im Bereich des fünften Luftabführstutzens 256e befindliche Aufnahmekammer 126 also nur noch von ungefähr 200 mbar auf den angestrebten Vakuumenddruck von 10 mbar abpumpen.The vacuum pump must be in the area of the fifth Luftabführstutzens 256e So receiving chamber 126 so only on about 200 mbar pump off the target vacuum pressure of 10 mbar.

Durch die mehrstufige Evakuierung hat die Vakuumpumpe somit deutlich weniger Gas aus den Aufnahmekammern 126 abzupumpen.Due to the multi-stage evacuation, the vacuum pump has significantly less Gas from the receiving chambers 126 pump.

Außerdem steht für die Erzeugung des Vakuums in einer Aufnahmekammer 126 ein deutlich verlängerter Zeitraum (bei Verwendung von 16 Kammern in der als Vakuumschleuse dienenden Kammerebene 128 beispielsweise die fünffache Werkstückfolgezeit) für die Vakuumerzeugung zur Verfügung.It also stands for the generation of the vacuum in a receiving chamber 126 a much longer period (using 16 chambers in serving as a vacuum chamber chamber level 128, for example, the fivefold workpiece cycle time) for vacuum generation.

Ferner ist auch die Druckdifferenz und damit die Leckrate über die Flächendichtung 178 zwischen in der Umfangsrichtung 187 der Kammertrommel 112 aufeinanderfolgenden Aufnahmekammern 126 durch die mehrstufige Evakuierung verringert.Furthermore, the pressure difference and thus the leak rate over the surface seal 178 between in the circumferential direction 187 of the chamber drum 112th successive receiving chambers 126 through the multi-stage evacuation reduced.

Im übrigen stimmt die vierte Ausführungsform einer Behandlungsvorrichtung 100 hinsichtlich Aufbau und Funktion mit der ersten Ausführungsform überein, auf deren vorstehende Beschreibung insoweit Bezug genommen wird.Otherwise, the fourth embodiment of a treatment device is correct 100 in terms of structure and function with the first embodiment, to the above description in this respect reference is made.

Claims

Treatment device for treating workpieces (102) or groups of workpieces, which are transported from an entrance to an exit of the treatment device (100),
comprising a housing (104) and receiving chambers (126) rotating relative to the housing (104) for receiving the workpieces (102) or groups of workpieces,
wherein the receiving chambers (126) are arranged in at least two different chamber levels (128) and a first chamber level, which is first passed through by the workpieces (102) or workpiece groups, an outlet opening (142) in the housing (104) and a second chamber level ( 128), which after the first chamber level is passed through by the workpieces (102) or workpiece groups, is assigned an access opening (138),
and at least one transfer device (148) which moves the workpieces (102) or groups of workpieces from the exit opening (142) to the access opening (138).

Treatment device according to claim 1, characterized in that the workpieces (102) or groups of workpieces are movable by means of the transfer device (148) in a defined spatial position from the outlet opening (142) to the access opening (138).

Treatment apparatus according to one of claims 1 or 2, characterized in that the workpieces (102) or groups of workpieces in the first chamber plane (128) and / or in the second chamber plane (128) at an angle of at least about 90 °, preferably at least about 180 °, in particular of at least approximately 270 °, about an axis of rotation (114) of the treatment device (100) are moved.

Treatment apparatus according to one of Claims 1 to 3, characterized in that the workpieces (102) or groups of workpieces in the first chamber plane (128a) and / or in the second chamber plane (128b) are inclined by an angle of less than 360 ° about an axis of rotation (114 ) of the treatment device (100) are moved.

Treatment device according to one of claims 1 to 4, characterized in that all the receiving chambers (126) of the same chamber level (128) rotate synchronously with each other.

Treatment device according to Claim 5, characterized in that all the receiving chambers (126) of the same chamber plane (128) are rigidly connected to one another.

Treatment device according to one of claims 1 to 6, characterized in that at least two receiving chambers (126) of different chamber levels (128) rotate synchronously with each other.

Treatment device according to claim 7, characterized in that at least two receiving chambers (126) of different chamber levels (128) are rigidly connected to each other.

Treatment device according to one of claims 1 to 8, characterized in that all the receiving chambers (126) of all chamber levels (128) rotate synchronously with each other.

Treatment device according to claim 9, characterized in that all receiving chambers (126) of all chamber levels (128) are rigidly connected to each other.

Treatment apparatus according to one of claims 1 to 10, characterized in that the treatment device (100) comprises a chamber drum (112) which is rotatable about a rotation axis (114) of the chamber drum (112) and at least one bottom wall (116, 120) transverse to the axis of rotation (114) and at least two partitions (124) oriented transversely of the bottom wall (116, 120).

A treatment device according to claim 11, characterized in that the chamber drum (112) comprises at least two bottom walls (116, 120) and at least one top wall (122) oriented transversely to the axis of rotation (114).

Treatment device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the chamber drum (112) is provided at its periphery with a surface seal (178).

Treatment device according to claim 13, characterized in that the material of the surface seal (178) comprises a plastic with low sliding friction, preferably a fluoropolymer or a fluoropolymer compound.

Treatment device according to one of claims 13 or 14, characterized in that the surface seal (178) is provided with compensating recesses (192), wherein the compensating recesses (192) each comprise at least one compensating area (194, 196) whose width changes when the temperature changes Surface seal (178) and / or upon application of the surface seal (178) changed with a mechanical tension.

Treatment apparatus according to claim 15, characterized in that at least some of the compensating recesses (192) each have at least one compensating area (194) which has a longitudinal, preferably substantially perpendicular, direction to the circumferential direction (187) of the chamber drum (112).

Treatment device according to one of claims 15 or 16, characterized in that at least some of the compensating recesses (192) each have at least one compensation area (196) which has a longitudinal direction substantially parallel to the circumferential direction (187) of the chamber drum (112).

Treatment device according to one of claims 15 to 17, characterized in that at least some of the compensating recesses (192) each comprise at least two compensating regions (194, 196).

Treatment apparatus according to claim 18, characterized in that at least some of the compensating recesses (192) each comprise at least two compensating regions (194, 196) which have transverse, preferably substantially perpendicular, longitudinal directions aligned with each other.

Treatment device according to one of Claims 15 to 19, characterized in that the compensation recesses (192) each comprise at least one compensating region (194, 196) whose width is in the assembled state of the surface seal (178) when the temperature of the surface seal (178) changes. changed so that the different thermal expansions of the surface seal (178) and the chamber drum (112) at least partially, preferably substantially completely, are compensated.

Treatment device according to one of claims 15 to 20, characterized in that at least some of the compensating recesses (192) each have a central region (193) into which at least two compensating regions (194, 196) open.

Treatment device according to claim 21, characterized in that at least some of the compensating recesses (192) comprise a central region (193) into which at least two compensating regions (194, 196) open, which have transverse, preferably substantially perpendicular, longitudinal directions aligned with each other.

Treatment device according to one of Claims 15 to 22, characterized in that the surface seal (178) has, in addition to the compensating recesses (192), access openings (180) which, in the assembled state of the surface seal (178), provide access to receiving chambers (126) of the chamber drum (112 ) enable.

A treatment device according to claim 23, characterized in that the surface seal (178) comprises webs (186, 188) separating the access openings (180) and at least some of the compensating recesses (192) are located in intersections (190) of the webs (186, 188) are.

Treatment device according to one of claims 13 to 24, characterized in that the surface seal (178) in the assembled state surrounds the chamber drum (112) in an annular manner.

Treatment device according to one of claims 13 to 25, characterized in that the surface seal (178) is integrally formed.

Treatment device according to one of claims 1 to 26, characterized in that the receiving chambers (126) can be removed from the housing (104).

Treatment device according to claim 27, characterized in that a plurality of receiving chambers (126) form components of a chamber drum (112) which can be removed as a whole from the housing (104).

Treatment device according to one of claims 1 to 28, characterized in that at least one of the receiving chambers (126) is provided with a workpiece holder (226, 246) by means of which the workpiece (102) within the receiving chamber (126) relative to the receiving chamber (126 ) is rotatable.

Treatment apparatus according to claim 29, characterized in that the workpiece (102) is rotatable by means of the workpiece holder (246) about an axis of rotation (244) oriented substantially parallel to the axis of rotation (114) of the receiving chambers (126) of the treatment device (100).

A treatment device according to claim 29, characterized in that the workpiece (102) by means of the workpiece holder (226) about a rotational axis (228) aligned transversely, preferably substantially perpendicular, to the axis of rotation (114) of the receiving chambers (126) of the treatment device (114). is rotatable.

A treatment device according to any one of claims 1 to 31, characterized in that at least one of the receiving chambers (126) is provided with a turning device which comprises means for picking up a rotational movement from an inner wall of the housing (104) of the treating device (100).

Treatment apparatus according to one of claims 1 to 32, characterized in that at least one of the receiving chambers (126) is provided with a rotating device which comprises a rotary shaft (230) guided through a wall (118) of the receiving chamber (126).

Treatment device according to one of claims 1 to 33, characterized in that at least one chamber level (128) of the treatment device (100) is designed as a vacuum lock.

Treatment apparatus according to Claim 34, characterized in that the receiving chambers (126) of the chamber level (128) designed as a vacuum lock are evacuated during their movement from an access opening (138) of this chamber level to an outlet opening (142) of this chamber level in a plurality of discrete stages.

Treatment device according to one of claims 34 or 35, characterized in that the receiving chambers (126) of the chamber plane (128) designed as a vacuum lock ventilate during its movement from an exit opening (142) of this chamber level to an access opening (138) of this chamber level in a plurality of discrete stages become.

Treatment device according to one of Claims 34 to 36, characterized in that in each case at least one of the receiving chambers (126) of the chamber level (128) designed as a vacuum lock, which moves on the way from the access opening (138) of this chamber plane (128) to the outlet opening (128). 142) of this chamber level, with a respective other receiving chamber (126) of this chamber level (128) is gas-technically connected, which is on the way from the outlet opening (142) of this chamber level to the access opening (138) of this chamber level (128).